JPWO2021215315A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2021215315A5 JPWO2021215315A5 JP2022516984A JP2022516984A JPWO2021215315A5 JP WO2021215315 A5 JPWO2021215315 A5 JP WO2021215315A5 JP 2022516984 A JP2022516984 A JP 2022516984A JP 2022516984 A JP2022516984 A JP 2022516984A JP WO2021215315 A5 JPWO2021215315 A5 JP WO2021215315A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- support substrate
- layer
- piezoelectric
- velocity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052839 forsterite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 steatite Chemical compound 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Description
中間層140は、支持基板110の上面111に配置された高音速層142と、当該高音速層142上に配置された低音速層141とを含む。高音速層142は、圧電層130に伝搬する弾性バルク波の速度よりも高速の弾性バルク波を伝搬するように構成される。高音速層142としては、たとえばDLC(Diamond-like Carbon)膜、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、シリコン、サファイア、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶等の圧電体、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト等の各種セラミック、マグネシアダイヤモンド、または、上記各材料を主成分とする材料、上記各材料の混合物を主成分とする材料のいずれかを用いることができる。
低音速層141は、圧電層130に伝搬する弾性バルク波の速度よりも低速の弾性バルク波を伝搬するように構成される。低音速層141は、たとえば、酸化ケイ素、ガラス、酸窒化ケイ素、酸化タンタル、酸化ケイ素にフッ素または炭素またはホウ素を加えた化合物、または、上記各材料を主成分とする材料のいずれかを用いることができる。低音速層141と高音速層142との境界で生じる音速差によって、機能素子120から圧電層130に励振された弾性波を反射させることによって、弾性波のエネルギーを圧電層130内に効果的に閉じ込めることができる。
Claims (4)
- 支持基板と、
前記支持基板上の第1領域に配置された中間層と、
前記中間層上に配置された圧電層と、
前記圧電層上に形成された機能素子と、
前記支持基板上において、前記第1領域に隣接する第2領域に配置された絶縁層とを備え、
前記第2領域における前記支持基板の表面粗さは、前記第1領域における前記支持基板の表面粗さよりも大きい、圧電デバイス。 - 前記第2領域は、前記第1領域に隣接する第1部分と、前記第1部分よりも前記第1領域から遠い第2部分とを含み、
前記第1部分における前記支持基板の表面粗さは、前記第2部分における前記支持基板の表面粗さよりも大きい、請求項1に記載の圧電デバイス。 - 前記第2領域における前記支持基板の厚みは、前記第1領域における前記支持基板の厚みよりも薄く、
前記支持基板は、前記第1領域と前記第2領域との間に傾斜領域を有する、請求項1または2に記載の圧電デバイス。 - 前記中間層は、
前記支持基板上に配置され、前記圧電層に伝搬する弾性バルク波の速度よりも高速の弾性バルク波を伝搬する高音速層と、
前記高音速層と前記圧電層との間に配置され、前記圧電層に伝搬する弾性バルク波の速度よりも低速の弾性バルク波を伝搬する低音速層とを含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の圧電デバイス。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020076004 | 2020-04-22 | ||
JP2020076004 | 2020-04-22 | ||
PCT/JP2021/015373 WO2021215315A1 (ja) | 2020-04-22 | 2021-04-14 | 圧電デバイス |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021215315A1 JPWO2021215315A1 (ja) | 2021-10-28 |
JPWO2021215315A5 true JPWO2021215315A5 (ja) | 2022-10-28 |
JP7384277B2 JP7384277B2 (ja) | 2023-11-21 |
Family
ID=78269213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022516984A Active JP7384277B2 (ja) | 2020-04-22 | 2021-04-14 | 圧電デバイス |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230032680A1 (ja) |
JP (1) | JP7384277B2 (ja) |
KR (1) | KR20220145884A (ja) |
CN (1) | CN115428338A (ja) |
WO (1) | WO2021215315A1 (ja) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3760378B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2006-03-29 | 株式会社村田製作所 | 端面反射型表面波装置及びその製造方法 |
JP6248600B2 (ja) * | 2013-12-13 | 2017-12-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波デバイス |
DE112014006080B4 (de) | 2013-12-27 | 2022-05-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vorrichtung für elastische Wellen |
KR101867285B1 (ko) * | 2016-09-21 | 2018-07-19 | 삼성전기주식회사 | 음향 공진기 및 필터 |
WO2018154950A1 (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
JP2019179961A (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP7042195B2 (ja) * | 2018-08-31 | 2022-03-25 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品及び電子部品の製造方法 |
-
2021
- 2021-04-14 CN CN202180027877.8A patent/CN115428338A/zh active Pending
- 2021-04-14 KR KR1020227033163A patent/KR20220145884A/ko not_active Application Discontinuation
- 2021-04-14 JP JP2022516984A patent/JP7384277B2/ja active Active
- 2021-04-14 WO PCT/JP2021/015373 patent/WO2021215315A1/ja active Application Filing
-
2022
- 2022-10-07 US US17/961,604 patent/US20230032680A1/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6825722B2 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2020100744A1 (ja) | 弾性波装置 | |
CN107615653B (zh) | 弹性波装置 | |
WO2020259661A1 (zh) | 一种高频声表面波谐振器及其制备方法 | |
KR101636220B1 (ko) | 복합 기판, 압전 디바이스 및 복합 기판의 제법 | |
US20190097602A1 (en) | Elastic wave device | |
JPWO2008078481A1 (ja) | 弾性境界波装置 | |
WO2014188842A1 (ja) | 圧電デバイスの製造方法,圧電デバイス,及び圧電自立基板 | |
CN111446942A (zh) | 弹性波装置 | |
JP2020156003A (ja) | 弾性波装置 | |
JP2007228225A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
KR102667725B1 (ko) | 탄성파 장치 | |
US11824513B2 (en) | Acoustic wave device | |
JP2015122566A (ja) | 弾性波装置 | |
JP2010200197A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
JPWO2021215315A5 (ja) | ||
WO2021241681A1 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2022220222A1 (ja) | 弾性波装置 | |
US20230051116A1 (en) | Composite substrate and acoustic wave device | |
JP2008054277A (ja) | 圧電基板及びその製造方法 | |
JP2010251827A (ja) | 弾性表面波素子 | |
JP7384277B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP7544151B2 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2022264933A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP7529018B2 (ja) | 弾性波装置 |