JPWO2021091695A5

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Publication number: JPWO2021091695A5
Application number: JP2022525164A
Authority: JP
Publication date: 2023-10-04

Description

本開示を、いくつかの例示的な実施形態により説明してきたが、本開示の範囲内にある変更、修正、置き換え、および様々な代替の同等物が存在する。また、本開示の方法および装置を実施するための多くの代替の方法があることにも、留意されたい。そのため、以下の添付の特許請求の範囲は、本開示の真の精神および範囲内にあるそのような変更、修正、置き換え、および様々な代替の同等物を含むと解釈されることが意図される。
[形態１]
プラズマ処理チャンバのコンポーネントを形成する方法であって、
少なくとも１つの単結晶金属酸化物インゴットを設置することと、
前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物インゴットを機械加工して、前記コンポーネントを形成することと、
前記機械加工後に、前記コンポーネントの表面処理を行うことと
を含む、方法。
[形態２]
形態１に記載の方法であって、
前記機械加工の前に、前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物インゴットをアニーリングすることをさらに含む、方法。
[形態３]
形態１に記載の方法であって、
前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物が、単結晶スピネルである、方法。
[形態４]
形態１に記載の方法であって、
前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物が、単結晶ＹＡＧである、方法。
[形態５]
形態１に記載の方法であって、
前記機械加工が、前記コンポーネントに、ドリル加工により孔を形成することを含む、方法。
[形態６]
形態１に記載の方法であって、
前記機械加工が、前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物インゴットをスライシングすることを含む、方法。
[形態７]
形態５に記載の方法であって、
前記コンポーネントがガスインジェクタである、方法。
[形態８]
形態１に記載の方法であって、前記機械加工の前に、第２の単結晶金属酸化物インゴットを前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物インゴットに接合することをさらに含む、方法。
[形態９]
形態１に記載の方法により形成される、プラズマ処理チャンバのコンポーネント。
[形態１０]
プラズマ処理チャンバのコンポーネントであって、前記コンポーネントの少なくとも１つのプラズマ対向表面が、単結晶金属酸化物材料を含む、コンポーネント。
[形態１１]
形態１０に記載コンポーネントであって、前記コンポーネントの前記少なくとも１つのプラズマ対向表面が単結晶金属酸化物インゴットから機械加工される、コンポーネント。
[形態１２]
形態１０に記載コンポーネントであって、前記少なくとも１つのプラズマ対向表面が、前記コンポーネントの本体に接合された前記単結晶金属酸化物材料の層を含む、コンポーネント。
[形態１３]
形態１０に記載のコンポーネントであって、前記単結晶金属酸化物材料が、単結晶スピネルである、コンポーネント。
[形態１４]
形態１０に記載のコンポーネントであって、前記単結晶金属酸化物材料が、単結晶ＹＡＧである、コンポーネント。
[形態１５]
形態１０に記載のコンポーネントであって、前記コンポーネントがガスインジェクタであり、前記ガスインジェクタの突出部が前記単結晶金属酸化物を含み、前記突出部が前記プラズマ処理チャンバ内のプラズマに曝露される前記ガスインジェクタの一部である、コンポーネント。
[形態１６]
形態１５に記載のコンポーネントであって、前記突出部が前記コンポーネントの本体に拡散接合され、前記本体が前記単一金属酸化物材料とは異なる材料から形成される、コンポーネント。
[形態１７]
形態１６に記載のコンポーネントであって、前記本体が多結晶材料から形成される、コンポーネント。
[形態１８]
プラズマ処理チャンバのガスインジェクタであって、
本体と、
単結晶金属酸化物材料を含む少なくとも１つのプラズマ対向表面と
を含む、ガスインジェクタ。
[形態１９]
形態１８に記載のガスインジェクタであって、前記単結晶金属酸化物材料が単結晶スピネルである、ガスインジェクタ。
[形態２０]
形態１８に記載のガスインジェクタであって、前記単結晶金属酸化物材料が単結晶ＹＡＧである、ガスインジェクタ。
[形態２１]
形態１８に記載のガスインジェクタであって、前記ガスインジェクタが単結晶金属酸化物インゴットから機械加工される、ガスインジェクタ。
[形態２２]
形態１８に記載のガスインジェクタであって、前記単結晶金属酸化物インゴットが、機械加工される前にアニーリングされる、ガスインジェクタ。
[形態２３]
形態１８に記載のガスインジェクタであって、前記少なくとも１つのプラズマ対向表面が、前記本体に接合された前記単結晶金属酸化物材料の層を含む、ガスインジェクタ。
[形態２３]
形態１８に記載のガスインジェクタであって、前記本体を貫通するよう機械加工された中央流路をさらに含む、ガスインジェクタ。
[形態２４]
形態２３に記載のガスインジェクタであって、前記本体を貫通するよう機械加工された、複数のより小さな流路をさらに含み、その複数のより小さな流路が前記中央流路を囲む、ガスインジェクタ。
[形態２５]
形態２４に記載のガスインジェクタであって、各々の前記複数のより小さな流路は側部ガスインジェクタ孔につながっており、各々の前記複数のより小さな流路は、前記ガスインジェクタ内で角度を有して配向されている部分を有し、前記側部ガスインジェクタ孔につながっている、ガスインジェクタ。

Claims

プラズマ処理チャンバのコンポーネントを形成する方法であって、
少なくとも１つの単結晶金属酸化物インゴットを設置することと、
前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物インゴットを機械加工して、前記コンポーネントを形成することと、
前記機械加工後に、前記コンポーネントの表面処理を行うことと
を含む、方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記機械加工の前に、前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物インゴットをアニーリングすることをさらに含む、方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物が、単結晶スピネルである、方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物が、単結晶ＹＡＧである、方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記機械加工が、前記コンポーネントに、ドリル加工により孔を形成することを含む、方法。
請求項１に記載の方法であって、
前記機械加工が、前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物インゴットをスライシングすることを含む、方法。
請求項５に記載の方法であって、
前記コンポーネントがガスインジェクタである、方法。
請求項１に記載の方法であって、前記機械加工の前に、第２の単結晶金属酸化物インゴットを前記少なくとも１つの単結晶金属酸化物インゴットに接合することをさらに含む、方法。
請求項１に記載の方法により形成される、プラズマ処理チャンバのコンポーネント。
プラズマ処理チャンバのコンポーネントであって、前記コンポーネントの少なくとも１つのプラズマ対向表面が、単結晶金属酸化物材料を含む、コンポーネント。
請求項１０に記載コンポーネントであって、前記コンポーネントの前記少なくとも１つのプラズマ対向表面が単結晶金属酸化物インゴットから機械加工される、コンポーネント。
請求項１０に記載コンポーネントであって、前記少なくとも１つのプラズマ対向表面が、前記コンポーネントの本体に接合された前記単結晶金属酸化物材料の層を含む、コンポーネント。
請求項１０に記載のコンポーネントであって、前記単結晶金属酸化物材料が、単結晶スピネルである、コンポーネント。
請求項１０に記載のコンポーネントであって、前記単結晶金属酸化物材料が、単結晶ＹＡＧである、コンポーネント。
請求項１０に記載のコンポーネントであって、前記コンポーネントがガスインジェクタであり、前記ガスインジェクタの突出部が前記単結晶金属酸化物を含み、前記突出部が前記プラズマ処理チャンバ内のプラズマに曝露される前記ガスインジェクタの一部である、コンポーネント。
請求項１５に記載のコンポーネントであって、前記突出部が前記コンポーネントの本体に拡散接合され、前記本体が前記単結晶金属酸化物材料とは異なる材料から形成される、コンポーネント。
請求項１６に記載のコンポーネントであって、前記本体が多結晶材料から形成される、コンポーネント。
プラズマ処理チャンバのガスインジェクタであって、
本体と、
単結晶金属酸化物材料を含む少なくとも１つのプラズマ対向表面と
を含む、ガスインジェクタ。
請求項１８に記載のガスインジェクタであって、前記単結晶金属酸化物材料が単結晶スピネルである、ガスインジェクタ。
請求項１８に記載のガスインジェクタであって、前記単結晶金属酸化物材料が単結晶ＹＡＧである、ガスインジェクタ。
請求項１８に記載のガスインジェクタであって、前記ガスインジェクタが単結晶金属酸化物インゴットから機械加工される、ガスインジェクタ。
請求項１８に記載のガスインジェクタであって、前記単結晶金属酸化物インゴットが、機械加工される前にアニーリングされる、ガスインジェクタ。
請求項１８に記載のガスインジェクタであって、前記少なくとも１つのプラズマ対向表面が、前記本体に接合された前記単結晶金属酸化物材料の層を含む、ガスインジェクタ。
請求項１８に記載のガスインジェクタであって、前記本体を貫通するよう機械加工された中央流路をさらに含む、ガスインジェクタ。
請求項２４に記載のガスインジェクタであって、前記本体を貫通するよう機械加工された、複数のより小さな流路をさらに含み、その複数のより小さな流路が前記中央流路を囲む、ガスインジェクタ。
請求項２５に記載のガスインジェクタであって、各々の前記複数のより小さな流路は側部ガスインジェクタ孔につながっており、各々の前記複数のより小さな流路は、前記ガスインジェクタ内で角度を有して配向されている部分を有し、前記側部ガスインジェクタ孔につながっている、ガスインジェクタ。