JPWO2020158568A1 - ワーク保持治具及び表面処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の他の幾つかの態様は、ワークの縁部のうちクランプされない領域の表面処理をダミー板により調整可能としながら、自動機によりワークをワーク保持治具に着脱できるようにすることを目的とする。
前記整流器と導通可能な少なくとも一つの支持部と、
前記少なくとも一つの支持部に支持され、前記ワークの縁部の一部をクランプする導電性の少なくとも一つのクランパーと、
前記少なくとも一つの支持部に支持され、前記ワークの前記縁部のうち前記少なくとも一つのクランパーで保持されない領域と接近して配置される導電性の少なくとも一つのダミー板と、
前記少なくとも一つのダミー板の少なくとも一面に、前記少なくとも一面を覆うように移動可能に支持され、前記少なくとも一つのダミー板の露出導電面積を調整する少なくとも一つの絶縁板と、
を有するワーク保持治具に関する。
前記ワークを囲む枠体を有し、前記枠体は、上枠、下枠及び一対の縦枠を含み、
前記少なくとも一つの支持部は、前記上枠と前記下枠とを含み、
前記少なくとも一つのクランパーは、前記上枠に支持されて前記ワークの上縁部の一部をクランプする上側クランパーと、前記下枠に支持されて前記ワークの下縁部の一部をクランプする下側クランパーと、を含み、
前記少なくとも一つのダミー板は、前記ワークの前記上縁部のうち前記上側クランパーで保持されない領域と接近して配置される上側ダミー板と、前記ワークの前記下縁部のうち前記下側クランパーで保持されない領域と接近して配置される下側ダミー板と、を含み、
前記少なくとも一つの絶縁板は、前記上側ダミー板の少なくとも一面を覆う上側絶縁板と、前記下側ダミー板の少なくとも一面を覆う下側絶縁板と、を含むことができる。
こうすると、ワークの上縁部及び下縁部に流れる電流を調整して表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。
前記少なくとも一つの絶縁板は、前記少なくとも一つのダミー板の表面を覆う表側絶縁板と、前記少なくとも一つのダミー板の裏面を覆う裏側絶縁板と、を含むことができる。
こうすると、ワークの表面及び裏面の双方において、ワークの縁部(上縁部及び下縁部)に流れる電流を調整して表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。
前記少なくとも一つのダミー板は、ヒンジを介して屈曲可能であり、前記ワークの前記縁部のうち前記少なくとも一つのクランパーで保持されない領域と接近して前記ワークと平行に配置される第1の位置と、前記ヒンジにより屈曲されて前記ワークと非平行に配置される第2の位置と、に可変とすることができる。
こうすると、復帰外力を付与せずに、ダミー板を第2の位置から第1の位置に復帰させることができる。特に、自動機の前進外力によりダミー板を押動してダミー板を第1の位置から第2の位置に移動させ、自動機の後退時に外力ではない付勢力によりダミー板を第2の位置から第1の位置に復帰させることができる。
前記整流器と導通可能な少なくとも一つの支持部と、
前記少なくとも一つの支持部に支持され、前記ワークの縁部の一部をクランプする導電性の少なくとも一つのクランパーと、
前記少なくとも一つの支持部に支持され、前記ワークの前記縁部のうち前記少なくとも一つのクランパーで保持されない領域と接近して配置される導電性の少なくとも一つのダミー板と、
前記少なくとも一つの支持部にヒンジを介して支持され、前記ワークの前記縁部のうち前記少なくとも一つのクランパーで保持されない領域と接近して前記ワークと平行に配置される第1の位置と、前記ヒンジにより屈曲されて前記ワークと非平行に配置される第2の位置とに可変である少なくとも一つのダミー板と、
を有するワーク保持治具に関する。
上述された(1)〜(6)のいずれかのワーク保持治具と、
整流器に接続され、前記保持治具と接触する給電部と、
前記整流器に接続される陽極を備えた表面処理槽と、
を有し、
前記ワーク保持治具は、前記給電部と接触し、かつ、前記少なくとも一つの支持部と導通する接触部を含む表面処理装置に関する。
図1は、表面処理装置例えば連続メッキ処理装置の縦断面図である。連続メッキ処理装置10は、回路基板等のワーク20をそれぞれ保持する複数の搬送治具30が、図1の紙面と垂直な方向に循環搬送される。図1では、循環搬送路100のうちのは平行な2つの直線搬送路110,120を示している。この2つの直線搬送路110,120は両端にて連結されてループ状の循環搬送路100を形成している。
ワーク保持部500は、図5に示すように、矩形ワーク20の上縁部20aをクランプする導電性の複数の上側クランパー510と、矩形ワーク20の下縁部20bをクランプする導電性の複数の下側クランパー520と、矩形ワーク20を囲んで配置され、複数の上側クランパー510及び複数の下側クランパー520を支持する枠体530と、を有する。
本実施形態では、ワーク保持治具30に設けられる導電部材であって、整流器及びワーク20と電気的に接続可能な導電部材が、第1及び第2の分岐導電部材と、第1及び第2の分岐導電部材と電気的に接続された共通導電部材とを含んでいる。
図6は、本実施形態のように共通接続部360に高抵抗値rの材料を含まない比較例の治具を模式的に示す。図6中の比較例の治具の搬送方向Aの上流側の接触部に流れる電流A1と、搬送方向Aの下流側の接触部に流れる電流A2とする。
図8は、共通接続部360に高抵抗値rの材料を含む本実施形態の治具30を模式的に示す。図8中の治具30の搬送方向Aの上流側の接触部341Aに流れる電流A1と、搬送方向Aの下流側の接触部341Bに流れる電流A2と、一対の第1接続部370A,370Bに流れる電流A3,A4と、一対の第2接続部380A,380Bに流れる電流A5,A6とする。
図5に示すように、上枠531及び/又は下枠532を導電性の支持部としたとき、支持部には上側及び/又は下側クランパー510,520加えて、導電性の上側ダミー板610及び/又は導電性の下側ダミー板620を有することができる。上側ダミー板610は、ワーク20の上縁部20aのうち上側クランパー510で保持されない領域にて、ワーク20の上縁部20aと接近して配置される。下側ダミー板620は、ワーク20の下縁部20bのうち下側クランパー520で保持されない領域にて、ワーク20の下縁部20bと接近して配置される。
以下、上側クランパー510及び下側クランパー520の一方又は双方に設けられるダミー板及び調整部材を、下側クランパー520を例に挙げて説明する。上側クランパー510に設けられるダミー板及び調整部材については、以下の説明中の「下側クランパー520」を「上側クランパー510」と、「下枠532」を「上枠531」と読み替えることで理解される。
図5に示すように、ワーク保持治具30は、ワーク20の両測縁部に接近して配置される導電性の第1及び第2のサイドダミー部材800A,800Bをさらに有することができる。図5のD−D矢視図である図15に示すように、第1のサイドダミー部材800Aは、ワーク20の側縁部20dと縦枠534との間に配置される。第2のサイドダミー部材800Bは、ワーク20の側縁部20cと縦枠534との間に配置される。
前記整流器と導通可能な少なくとも一つの支持部と、
前記少なくとも一つの支持部に支持され、前記ワークの縁部の一部をクランプする導電性の少なくとも一つのクランパーと、
前記少なくとも一つの支持部にヒンジを介して支持され、前記ワークの前記縁部のうち前記少なくとも一つのクランパーで保持されない領域と接近して前記ワークと平行に配置される第1の位置と、前記ヒンジにより屈曲されて前記ワークと非平行に配置される第2の位置とに可変である少なくとも一つのダミー板と、
を有するワーク保持治具に関する。
Claims (7)
- 表面処理されるワークを保持可能で、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
前記整流器と導通可能な少なくとも一つの支持部と、
前記少なくとも一つの支持部に支持され、前記ワークの縁部の一部をクランプする導電性の少なくとも一つのクランパーと、
前記少なくとも一つの支持部に支持され、前記ワークの前記縁部のうち前記少なくとも一つのクランパーで保持されない領域と接近して配置される導電性の少なくとも一つのダミー板と、
前記少なくとも一つのダミー板の少なくとも一面に、前記少なくとも一面を覆うように移動可能に支持され、前記少なくとも一つのダミー板の露出導電面積を調整する少なくとも一つの絶縁板と、
を有することを特徴とするワーク保持治具。 - 請求項1において、
前記ワークを囲む枠体を有し、前記枠体は、上枠、下枠及び一対の縦枠を含み、
前記少なくとも一つの支持部は、前記上枠と前記下枠とを含み、
前記少なくとも一つのクランパーは、前記上枠に支持されて前記ワークの上縁部の一部をクランプする上側クランパーと、前記下枠に支持されて前記ワークの下縁部の一部をクランプする下側クランパーと、を含み、
前記少なくとも一つのダミー板は、前記ワークの前記上縁部のうち前記上側クランパーで保持されない領域と接近して配置される上側ダミー板と、前記ワークの前記下縁部のうち前記下側クランパーで保持されない領域と接近して配置される下側ダミー板と、を含み、
前記少なくとも一つの絶縁板は、前記上側ダミー板の少なくとも一面を覆う上側絶縁板と、前記下側ダミー板の少なくとも一面を覆う下側絶縁板と、を含むことを特徴とするワーク保持治具。 - 請求項1または2において、
前記少なくとも一つの絶縁板は、前記少なくとも一つのダミー板の表面を覆う表側絶縁板と、前記少なくとも一つのダミー板の裏面を覆う裏側絶縁板と、を含むことを特徴とするワーク保持治具。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記少なくとも一つのダミー板は、ヒンジを介して屈曲可能であり、前記ワークの前記縁部のうち前記少なくとも一つのクランパーで保持されない領域と接近して前記ワークと平行に配置される第1の位置と、前記ヒンジにより屈曲されて前記ワークと非平行に配置される第2の位置と、に可変であることを特徴とするワーク保持治具。 - 請求項4において、
前記少なくとも一つのダミー板は、前記ヒンジ自体のばね性または前記ヒンジに設けられた付勢部材により、前記第1の位置に移動付勢されていることを特徴とするワーク保持治具。 - 表面処理されるワークを保持可能で、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
前記整流器と導通可能な少なくとも一つの支持部と、
前記少なくとも一つの支持部に支持され、前記ワークの縁部の一部をクランプする導電性の少なくとも一つのクランパーと、
前記少なくとも一つの支持部に支持され、前記ワークの前記縁部のうち前記少なくとも一つのクランパーで保持されない領域と接近して配置される導電性の少なくとも一つのダミー板と、
前記少なくとも一つの支持部にヒンジを介して支持され、前記ワークの前記縁部のうち前記少なくとも一つのクランパーで保持されない領域と接近して前記ワークと平行に配置される第1の位置と、前記ヒンジにより屈曲されて前記ワークと非平行に配置される第2の位置と、に可変である少なくとも一つのダミー板と、
を有することを特徴とするワーク保持治具。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載のワーク保持治具と、
整流器に接続され、前記保持治具と接触する給電部と、
前記整流器に接続される陽極を備えた表面処理槽と、
を有し、
前記ワーク保持治具は、前記給電部と接触し、かつ、前記少なくとも一つの支持部と導通する接触部を含むことを特徴とする表面処理装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05148693A (ja) * | 1992-01-14 | 1993-06-15 | Toshiba Corp | 電気銅鍍金用治具 |
JP2006291337A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Nippon Mektron Ltd | プリント基板のめっき方法 |
JP2013194309A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Almex Pe Inc | ワーク保持治具及び表面処理装置 |
WO2018062259A1 (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | アルメックスPe株式会社 | ワーク保持治具及び表面処理装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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DE102012012990B4 (de) * | 2011-06-30 | 2014-09-04 | Almex Pe Inc. | Oberflächenbehandlungssystem und Werkstückhaltestütze |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05148693A (ja) * | 1992-01-14 | 1993-06-15 | Toshiba Corp | 電気銅鍍金用治具 |
JP2006291337A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Nippon Mektron Ltd | プリント基板のめっき方法 |
JP2013194309A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Almex Pe Inc | ワーク保持治具及び表面処理装置 |
WO2018062259A1 (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | アルメックスPe株式会社 | ワーク保持治具及び表面処理装置 |
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