JPWO2020110197A1 - 欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査装置および欠陥検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2020110197A1 JPWO2020110197A1 JP2020557434A JP2020557434A JPWO2020110197A1 JP WO2020110197 A1 JPWO2020110197 A1 JP WO2020110197A1 JP 2020557434 A JP2020557434 A JP 2020557434A JP 2020557434 A JP2020557434 A JP 2020557434A JP WO2020110197 A1 JPWO2020110197 A1 JP WO2020110197A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- inspection target
- still image
- control unit
- discontinuous portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
- G01N29/0609—Display arrangements, e.g. colour displays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
- G01N29/0654—Imaging
- G01N29/069—Defect imaging, localisation and sizing using, e.g. time of flight diffraction [TOFD], synthetic aperture focusing technique [SAFT], Amplituden-Laufzeit-Ortskurven [ALOK] technique
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2418—Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/50—Depth or shape recovery
- G06T7/521—Depth or shape recovery from laser ranging, e.g. using interferometry; from the projection of structured light
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/90—Determination of colour characteristics
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N9/00—Details of colour television systems
- H04N9/64—Circuits for processing colour signals
- H04N9/643—Hue control means, e.g. flesh tone control
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N9/00—Details of colour television systems
- H04N9/64—Circuits for processing colour signals
- H04N9/70—Circuits for processing colour signals for colour killing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/0289—Internal structure, e.g. defects, grain size, texture
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/10—Image acquisition modality
- G06T2207/10141—Special mode during image acquisition
- G06T2207/10152—Varying illumination
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30164—Workpiece; Machine component
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
- Immunology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
図1および図2を参照して、本発明の一実施形態による欠陥検査装置100の構成について説明する。欠陥検査装置100は、検査対象7の欠陥を検査する装置である。
Φj=−arctan{(Ij3−Ij1)/(Ij2−Ij0)}・・・(1)
また、制御部4は、光位相Φjに対して、最小二乗法により正弦波近似を行い、式(2)における近似係数A、θ、Cを求める。
Φj=Acos(θ+jπ/4)+C=Bexp(jπ/4)+C・・・(2)
ただし、Bは、複素振幅であり、式(3)のように、表される。
B=Aexp(iθ):複素振幅・・・(3)
また、制御部4は、式(3)から定数項Cを除いた近似式より、振動の各位相時刻 ξ(0≦ξ<2π)における光位相変化を表示する動画像(30〜60フレーム)を構成し出力する。なお、上記過程において、ノイズ除去のため複素振幅Bについて適宜空間フィルタが適用される。また、位相シフト量やレーザ照射タイミングのステップ(上記例ではそれぞれλ/4およびT/8、ただしTは振動の周期)はこれに限らない。この場合、計算式は上記式(1)〜式(3)とは異なる式になる。
次に、図4を参照して、本実施形態の欠陥検査装置100による欠陥表示処理をフローチャートに基づいて説明する。なお、欠陥表示処理は、制御部4により、行われる。
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
2 レーザ照明
3 スペックル・シェアリング干渉計(干渉部)
4 制御部
7 検査対象
21 インコヒーレント照明
35 イメージセンサ(撮像部)
73 欠陥部分
100 欠陥検査装置
Claims (7)
- 検査対象に音波振動を励起する励振部と、
前記検査対象にレーザ光を照射するレーザ照明と、
前記励振部により励振された前記検査対象の互いに異なる位置から到来するレーザ光の反射光を干渉させる干渉部と、
干渉された反射光を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像した干渉された反射光に基づいて、前記検査対象の振動の伝播により生じる、周期的に変化する物理量の空間分布を測定するとともに、物理量の空間分布に基づいて、振動の不連続部分を抽出する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記撮像部により撮像した前記検査対象の静止画像に、抽出した振動の不連続部分を強調して重ねて表示する制御を行うように構成されている、欠陥検査装置。 - 前記制御部は、抽出した振動の不連続部分において周期的に変化する物理量を動画像として静止画像に重ねて表示する制御を行うように構成されている、請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記制御部は、抽出した振動の不連続部分の物理量の変化に応じて、静止画像に重ねて表示する色を変化させて強調表示する制御を行うように構成されている、請求項2に記載の欠陥検査装置。
- 前記制御部は、抽出した振動の不連続部分の物理量の変化に応じて、静止画像に重ねて表示する色を変化させる際に色味をなくすタイミングが存在するように制御を行うように構成されている、請求項3に記載の欠陥検査装置。
- 前記制御部は、前記撮像部により撮像した複数の静止画像に基づいて取得した1枚の静止画像に、抽出した振動の不連続部分を強調して重ねて表示する制御を行うように構成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。
- 前記検査対象にインコヒーレントな光を照射するインコヒーレント照明をさらに備え、
前記制御部は、インコヒーレント照明から光を照射した状態で前記撮像部により撮像した静止画像に、抽出した振動の不連続部分を強調して重ねて表示する制御を行うように構成されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。 - 検査対象に音波振動を励起し、
前記検査対象にレーザ光を照射し、
励振された前記検査対象の互いに異なる位置から到来するレーザ光の反射光を干渉させ、
干渉された反射光を撮像し、
撮像した干渉された反射光に基づいて、前記検査対象の振動の伝播により生じる、周期的に変化する物理量の空間分布を測定し、
物理量の空間分布に基づいて、振動の不連続部分を抽出し、
撮像した前記検査対象の静止画像に、抽出した振動の不連続部分を強調して重ねて表示する、欠陥検査方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/043562 WO2020110197A1 (ja) | 2018-11-27 | 2018-11-27 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020110197A1 true JPWO2020110197A1 (ja) | 2021-09-27 |
JP7095751B2 JP7095751B2 (ja) | 2022-07-05 |
Family
ID=70854190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020557434A Active JP7095751B2 (ja) | 2018-11-27 | 2018-11-27 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220051390A1 (ja) |
JP (1) | JP7095751B2 (ja) |
CN (1) | CN113167767A (ja) |
WO (1) | WO2020110197A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113227781B (zh) * | 2018-12-20 | 2024-02-13 | 株式会社岛津制作所 | 缺陷检查装置和缺陷检查方法 |
JPWO2022059710A1 (ja) * | 2020-09-18 | 2022-03-24 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5146289A (en) * | 1990-12-21 | 1992-09-08 | Laser Technology, Inc. | Nondestructive testing using air-coupled acoustic excitation |
US5505090A (en) * | 1993-11-24 | 1996-04-09 | Holographics Inc. | Method and apparatus for non-destructive inspection of composite materials and semi-monocoque structures |
JP2004101189A (ja) * | 2002-09-04 | 2004-04-02 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
US20040149021A1 (en) * | 2001-08-22 | 2004-08-05 | Kessler Lawrence W. | Acoustic micro imaging method providing improved information derivation and visualization |
JP2010032434A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Hitachi Kokusai Denki Engineering:Kk | 超音波探傷装置 |
JP2014119441A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Toshiba Corp | 超音波探傷装置及び方法 |
JP2017219318A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-14 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006308338A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Honda Electronic Co Ltd | 超音波画像検査方法、超音波画像検査装置、超音波擬似染色方法 |
JP2010019618A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Toshiba Corp | レーザ超音波探傷装置 |
US8656779B2 (en) * | 2009-03-05 | 2014-02-25 | Purdue Research Foundation | Damage detection using laser vibrometry |
US8483977B1 (en) * | 2010-06-04 | 2013-07-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Method of laser vibration defect analysis |
US8505384B2 (en) * | 2011-02-08 | 2013-08-13 | United Technologies Corporation | Rig for measuring bladed component mistuning |
US8553233B2 (en) * | 2011-06-30 | 2013-10-08 | John W. Newman | Method and apparatus for the remote nondestructive evaluation of an object using shearography image scale calibration |
US20150215584A1 (en) * | 2014-01-28 | 2015-07-30 | The Boeing Company | Non-Destructive Evaluation of Structures Using Motion Magnification Technology |
US9726644B2 (en) * | 2014-07-11 | 2017-08-08 | The Boeing Company | Nondestructive inspection using acousto-optics |
US10151731B2 (en) * | 2015-11-13 | 2018-12-11 | The Boeing Comapny | Ultrasonic system for nondestructive testing |
GB2544727A (en) * | 2015-11-16 | 2017-05-31 | Optonor As | Optical interferometry |
CN108601583B (zh) * | 2016-02-08 | 2021-05-11 | 富士胶片株式会社 | 声波图像生成装置及声波图像生成方法 |
JP6595703B2 (ja) * | 2016-03-30 | 2019-10-23 | 富士フイルム株式会社 | レーザ装置および光音響計測装置 |
US11371878B2 (en) * | 2016-08-29 | 2022-06-28 | Elbit Systems Land And C4I Ltd. | Optical detection of vibrations |
US10180403B1 (en) * | 2017-06-21 | 2019-01-15 | The Boeing Company | Shearography for sub microcellular substrate nondestructive inspection |
US10337969B2 (en) * | 2017-06-21 | 2019-07-02 | The Boeing Company | High speed vacuum cycling excitation system for optical inspection systems |
US10620051B2 (en) * | 2018-09-19 | 2020-04-14 | Bae Systems Information And Electonic Systems Integration Inc. | Polarization change detection |
-
2018
- 2018-11-27 US US17/296,934 patent/US20220051390A1/en active Pending
- 2018-11-27 WO PCT/JP2018/043562 patent/WO2020110197A1/ja active Application Filing
- 2018-11-27 JP JP2020557434A patent/JP7095751B2/ja active Active
- 2018-11-27 CN CN201880099763.2A patent/CN113167767A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5146289A (en) * | 1990-12-21 | 1992-09-08 | Laser Technology, Inc. | Nondestructive testing using air-coupled acoustic excitation |
US5505090A (en) * | 1993-11-24 | 1996-04-09 | Holographics Inc. | Method and apparatus for non-destructive inspection of composite materials and semi-monocoque structures |
US20040149021A1 (en) * | 2001-08-22 | 2004-08-05 | Kessler Lawrence W. | Acoustic micro imaging method providing improved information derivation and visualization |
JP2004101189A (ja) * | 2002-09-04 | 2004-04-02 | Hitachi Ltd | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
JP2010032434A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Hitachi Kokusai Denki Engineering:Kk | 超音波探傷装置 |
JP2014119441A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Toshiba Corp | 超音波探傷装置及び方法 |
JP2017219318A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-14 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113167767A (zh) | 2021-07-23 |
WO2020110197A1 (ja) | 2020-06-04 |
JP7095751B2 (ja) | 2022-07-05 |
US20220051390A1 (en) | 2022-02-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6451695B2 (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
US11226294B2 (en) | Defect inspection apparatus | |
WO2020213101A1 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP7095751B2 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
WO2019239618A1 (ja) | 欠陥検出方法及び装置 | |
JP7371700B2 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP2008003597A (ja) | 物体の光学的測定を行うための走査型顕微鏡 | |
JP6276092B2 (ja) | 検査システムおよび検査方法 | |
WO2022059710A1 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP7396374B2 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP6420131B2 (ja) | 検査システム、及び検査方法 | |
JP2018009849A (ja) | 検査システムおよび検査方法 | |
JP7099545B2 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
WO2022264362A1 (ja) | 欠陥検査システム、欠陥検査装置、および、欠陥検査方法 | |
JP7480915B2 (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP7444257B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
TW201344147A (zh) | 影像處理系統及其方法 | |
JP6909377B2 (ja) | 検査システムおよび検査方法 | |
JPWO2011135698A1 (ja) | 変形計測方法 | |
JP2019039685A (ja) | 検査システムおよび検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210401 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210401 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220524 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220606 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7095751 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |