JP2014119441A - 超音波探傷装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】低周波且つ大振幅の超音波を被検査対象1へ送信する超音波送信機構13と、被検査対象からの超音波エコーを受信する超音波受信機構14と、受信された超音波信号中の超音波エコーを逆問題演算して、超音波エコーの発生位置を散乱源空間分布として得る演算機構17と、散乱源空間分布における各位置の超音波エコーを任意の周波数成分でフィルタリングするフィルタリング機構18と、フィルタリング機構にて得られた各位置の超音波エコーの基本波成分及び非線形超音波成分について強度を抽出し、これらの基本波成分及び非線形超音波成分の発生効率を算出する強度抽出機構19と、を有するものである。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明に係る超音波探傷装置の第1実施形態を示す構成図であり、図2は、図1の被検査対象から発生する形状エコーと欠陥エコーを概念的に示す斜視図である。図1に示す超音波探傷装置10は、低周波且つ大振幅の超音波(入射超音波Ui)を被検査対象1へ送信して、この被検査対象1を広範囲に探傷すると共に、被検査対象1の欠陥Dから生ずる非線形超音波成分(高調波成分Uh、分調波成分Us)を受信して欠陥Dを検出するものであり、信号発生機構11、印加電圧増幅機構12、超音波送信機構13、超音波受信機構14、受信信号増幅機構15、AD変換機構16、演算機構17、フィルタリング機構18、強度抽出機構19、表示機構20及び制御機構21を有して構成される。
(1)被検査対象1に低周波の超音波を入射超音波Uiとして送信することでこの超音波を広範囲に伝播して検査範囲を拡大でき、検査の効率化を実現できる。また、被検査対象1に大振幅の超音波を入射超音波Uiとして送信することで、被検査対象1の欠陥Dに開閉挙動現象や滑り現象などを誘起して非線形超音波成分(高調波成分Uh、分調波成分Us)を発生させ、これによりに被検査対象1に生じた欠陥Dの位置及びサイズを定量的に評価して検査の確実性を向上させることができる。
図11は、本発明に係る超音波探傷装置の第2実施形態を示す構成図である。この第2実施形態が第1実施形態と同様な部分については、同一の符号を付すことにより説明を簡略化し、または省略する。
図14は、本発明に係る超音波探傷装置の第3実施形態を示す構成図である。この第3実施形態が第1実施形態と同様な部分については、同一の符号を付すことにより説明を簡略化し、または省略する。
図18は、本発明に係る超音波探傷装置の第4実施形態を示す構成図である。この第4実施形態において、第1実施形態と同様な部分については、同一の符号を付すことにより説明を簡略化し、または省略する。
10 超音波探傷装置
11 信号発生機構
12 印加電圧増幅機構
13 超音波送信機構
14 超音波受信機構
15 受信信号増幅機構
16 AD変換機構
17 演算機構
18 フィルタリング機構
19 強度抽出機構
20 表示機構
21 制御機構
25 識別機構
30 超音波探傷装置
31 超音波送信機構
32 超音波受信機構
33 ケーブル
34 水
35 ハイドロフォン
36 レーザ干渉計
37 レーザ振動計
38 反射体
40 超音波探傷装置
41 走査機構
50 超音波探傷装置
51 撮像機構
D 欠陥
Uc 形状エコー
Ud 欠陥エコー
Uh 高調波成分
Us 分調波成分
Claims (11)
- 電圧波形を生成する信号発生機構と、
低周波且つ大振幅の超音波を被検査対象へ送信する超音波送信機構と、
前記被検査対象からの超音波エコーを受信する超音波受信機構と、
増幅された超音波信号をデジタル化してデジタル超音波信号とするAD変換機構と、
前記デジタル超音波信号中の超音波エコーを逆問題演算して、前記超音波エコーの発生位置を散乱源空間分布として得る演算機構と、
前記散乱源空間分布における各位置の超音波エコーを任意の周波数成分でフィルタリングするフィルタリング機構と、
前記フィルタリング機構にて得られた各位置の超音波エコーの基本波成分及び非線形超音波成分について強度を抽出し、これらの基本波成分及び非線形超音波成分の発生効率を算出する強度抽出機構と、
前記デジタル超音波信号、前記散乱源空間分布、この散乱源空間分布の各位置における基本波成分及び非線形超音波成分の強度、これらの基本波成分及び非線形超音波成分の発生効率の少なくとも一部を表示する表示機構と、
前記信号発生機構、前記超音波送信機構、前記超音波受信機構、前記AD変換機構、前記演算機構、前記フィルタリング機構、前記強度抽出機構、前記表示機構の少なくとも一機構を制御する制御機構と、を有して構成されたことを特徴とする超音波探傷装置。 - 前記低周波且つ大振幅の超音波は、周波数が1MHz以下で且つ変位振幅が数十nm以上の超音波であることを特徴とする請求項1に記載の超音波探傷装置。
- 前記デジタル超音波信号、散乱源空間分布、この散乱源空間分布の各位置における基本波成分及び非線形超音波成分の強度、これらの基本波成分及び非線形超音波成分の発生効率における一部もしくは全ての情報を用いて、被検査対象の形状に起因する形状エコーと、前記被検査対象の欠陥に起因する欠陥エコーとを識別する識別機構を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の超音波探傷装置。
- 前記超音波送信機構及び超音波受信機構並びにこれらの機構に接続されるケーブルが防水構造に構成され、水中にて使用可能に構成されたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の超音波探傷装置。
- 前記超音波送信機構と超音波受信機構のうち片方もしくは両方を複数個備え、演算機構は、複数個の前記超音波受信機構のそれぞれから得られたデジタル超音波信号中の超音波エコーを逆問題演算することで、前記超音波エコーの発生位置を特定するよう構成されたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の超音波探傷装置。
- 前記超音波送信機構と超音波受信機構のうち片方もしくは両方が走査機構により走査され、演算機構は、前記超音波受信機構の各測定位置で得られたデジタル超音波信号中の超音波エコーを逆問題演算することで、前記超音波エコーの発生位置を特定するよう構成されたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の超音波探傷装置。
- 前記超音波受信機構は、ハイドロフォン、レーザ干渉計またはレーザ振動計にて構成され、被検査対象の欠陥から水中に漏洩した漏洩超音波を受信するよう構成されたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の超音波探傷装置。
- 前記被検査対象における超音波による探傷範囲を撮像する撮像機構を備え、表示機構は、欠陥位置などの欠陥情報を、前記撮像機構にて得られた画像に重畳して表示するよう構成されたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の超音波探傷装置。
- 電圧波形を生成する信号発生ステップと、
低周波且つ大振幅の超音波を被検査対象へ送信する超音波送信ステップと、
前記被検査対象からの超音波エコーを受信する超音波受信ステップと、
増幅された超音波信号をデジタル化してデジタル超音波信号とするAD変換ステップと、
前記デジタル超音波信号中の超音波エコーを逆問題演算して、前記超音波エコーの発生位置を散乱源空間分布として得る演算ステップと、
前記散乱源空間分布における各位置の超音波エコーを任意の周波数成分でフィルタリングするフィルタリングステップと、
前記フィルタリングステップにて得られた各位置の超音波エコーの基本波成分及び非線形超音波成分について強度を抽出し、これらの基本波成分及び非線形超音波成分の発生効率を算出する強度抽出ステップと、
前記デジタル超音波信号、前記散乱源空間分布、この散乱源空間分布における各位置の基本波成分及び非線形超音波成分の強度、これらの基本波成分及び非線形超音波成分の発生効率の少なくとも一部を表示する表示ステップと、を有することを特徴とする超音波探傷方法。 - 前記低周波且つ大振幅の超音波は、周波数が1MHz以下で且つ変位振幅が数十nm以上の超音波であることを特徴とする請求項9に記載の超音波探傷方法。
- 前記デジタル超音波信号、散乱源空間分布、この散乱源空間分布における各位置の基本波成分及び非線形超音波成分の強度、これらの基本波成分及び非線形超音波成分の発生効率における一部もしくは全ての情報を用いて、被検査対象の形状に起因する形状エコーと、前記被検査対象の欠陥に起因する欠陥エコーとを識別する識別ステップを備えたことを特徴とする請求項9または10に記載の超音波探傷方法。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014186029A (ja) * | 2013-02-20 | 2014-10-02 | Toshiba Corp | 超音波探傷装置およびその評価方法 |
WO2017221324A1 (ja) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 株式会社島津製作所 | 音波伝搬映像化装置及び方法 |
CN110231400A (zh) * | 2019-04-24 | 2019-09-13 | 武汉工程大学 | 面向汽车焊缝微小缺陷的高清晰度非线性检测方法 |
JP2019191043A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 株式会社東芝 | 超音波計測装置、超音波計測方法および部材の接合方法 |
WO2020110197A1 (ja) * | 2018-11-27 | 2020-06-04 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
WO2022003916A1 (ja) * | 2020-07-02 | 2022-01-06 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置 |
WO2022254805A1 (ja) * | 2021-05-31 | 2022-12-08 | 三菱重工業株式会社 | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4052889A (en) * | 1976-06-10 | 1977-10-11 | Adaptronics, Inc. | System for measurement of subsurface fatigue crack size |
WO1999039194A1 (en) * | 1998-02-03 | 1999-08-05 | The Trustees Of The Stevens Institute Of Technology | Method and apparatus for acoustic detection and location of defects in structures or ice on structures |
JP2001264302A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-26 | Murakami Yukitaka | 非接触によるコンクリート構造物の検査方法および装置 |
JP2001305109A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-10-31 | Japan Science & Technology Corp | 非線形超音波を用いた内部微視亀裂検出方法及び装置 |
JP2005128018A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | General Electric Co <Ge> | 初期機械的破損を判定するための検査方法及び装置 |
JP2006133122A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Olympus Corp | 非破壊検査装置 |
JP2006284428A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Nippon Steel Corp | 非線形超音波による介在物検出方法及び装置 |
WO2010007830A1 (ja) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | 国立大学法人東北大学 | 構造物欠陥の映像化方法、構造物欠陥の映像化装置、気泡や病変部の映像化方法および気泡や病変部の映像化装置 |
JP2011013150A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Okumura Corp | コンクリート構造物のひび割れ状態計測方法およびその装置 |
WO2012064839A2 (en) * | 2010-11-12 | 2012-05-18 | Chevron U.S.A. Inc. | System and method for investigating sub-surface features of a rock formation |
JP2012122729A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Babcock Hitachi Kk | 超音波を用いた材料劣化検出方法及び装置 |
-
2012
- 2012-12-19 JP JP2012277416A patent/JP5996415B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4052889A (en) * | 1976-06-10 | 1977-10-11 | Adaptronics, Inc. | System for measurement of subsurface fatigue crack size |
WO1999039194A1 (en) * | 1998-02-03 | 1999-08-05 | The Trustees Of The Stevens Institute Of Technology | Method and apparatus for acoustic detection and location of defects in structures or ice on structures |
JP2001264302A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-26 | Murakami Yukitaka | 非接触によるコンクリート構造物の検査方法および装置 |
JP2001305109A (ja) * | 2000-04-21 | 2001-10-31 | Japan Science & Technology Corp | 非線形超音波を用いた内部微視亀裂検出方法及び装置 |
JP2005128018A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | General Electric Co <Ge> | 初期機械的破損を判定するための検査方法及び装置 |
JP2006133122A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Olympus Corp | 非破壊検査装置 |
JP2006284428A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Nippon Steel Corp | 非線形超音波による介在物検出方法及び装置 |
WO2010007830A1 (ja) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | 国立大学法人東北大学 | 構造物欠陥の映像化方法、構造物欠陥の映像化装置、気泡や病変部の映像化方法および気泡や病変部の映像化装置 |
JP2011013150A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Okumura Corp | コンクリート構造物のひび割れ状態計測方法およびその装置 |
WO2012064839A2 (en) * | 2010-11-12 | 2012-05-18 | Chevron U.S.A. Inc. | System and method for investigating sub-surface features of a rock formation |
JP2012122729A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Babcock Hitachi Kk | 超音波を用いた材料劣化検出方法及び装置 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014186029A (ja) * | 2013-02-20 | 2014-10-02 | Toshiba Corp | 超音波探傷装置およびその評価方法 |
US10942152B2 (en) | 2016-06-21 | 2021-03-09 | Shimadzu Corporation | Defect inspection device and method |
WO2017221324A1 (ja) * | 2016-06-21 | 2017-12-28 | 株式会社島津製作所 | 音波伝搬映像化装置及び方法 |
CN109416346A (zh) * | 2016-06-21 | 2019-03-01 | 株式会社岛津制作所 | 声波传播影像化装置和方法 |
JPWO2017221324A1 (ja) * | 2016-06-21 | 2019-03-14 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置及び方法 |
JP7109980B2 (ja) | 2018-04-26 | 2022-08-01 | 株式会社東芝 | 超音波計測装置、超音波計測方法および部材の接合方法 |
JP2019191043A (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 株式会社東芝 | 超音波計測装置、超音波計測方法および部材の接合方法 |
WO2020110197A1 (ja) * | 2018-11-27 | 2020-06-04 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
CN113167767A (zh) * | 2018-11-27 | 2021-07-23 | 株式会社岛津制作所 | 缺陷检查装置和缺陷检查方法 |
JPWO2020110197A1 (ja) * | 2018-11-27 | 2021-09-27 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
JP7095751B2 (ja) | 2018-11-27 | 2022-07-05 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
CN110231400A (zh) * | 2019-04-24 | 2019-09-13 | 武汉工程大学 | 面向汽车焊缝微小缺陷的高清晰度非线性检测方法 |
WO2022003916A1 (ja) * | 2020-07-02 | 2022-01-06 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置 |
JP7444257B2 (ja) | 2020-07-02 | 2024-03-06 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査装置 |
WO2022254805A1 (ja) * | 2021-05-31 | 2022-12-08 | 三菱重工業株式会社 | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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