JPWO2020090961A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2020090961A5 JPWO2020090961A5 JP2020554024A JP2020554024A JPWO2020090961A5 JP WO2020090961 A5 JPWO2020090961 A5 JP WO2020090961A5 JP 2020554024 A JP2020554024 A JP 2020554024A JP 2020554024 A JP2020554024 A JP 2020554024A JP WO2020090961 A5 JPWO2020090961 A5 JP WO2020090961A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- irradiating
- light
- placing
- object placed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2024139593A JP7775949B2 (ja) | 2018-10-31 | 2024-08-21 | 加工システム、及び、加工方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JPPCT/JP2018/040625 | 2018-10-31 | ||
| PCT/JP2018/040625 WO2020090074A1 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 加工システム、及び、加工方法 |
| PCT/JP2019/042734 WO2020090961A1 (ja) | 2018-10-31 | 2019-10-31 | 加工システム、及び、加工方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2024139593A Division JP7775949B2 (ja) | 2018-10-31 | 2024-08-21 | 加工システム、及び、加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2020090961A1 JPWO2020090961A1 (ja) | 2021-09-30 |
| JPWO2020090961A5 true JPWO2020090961A5 (https=) | 2022-11-08 |
Family
ID=70461831
Family Applications (5)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020554700A Active JP7310829B2 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 加工システム、及び、加工方法 |
| JP2020554024A Ceased JPWO2020090961A1 (ja) | 2018-10-31 | 2019-10-31 | 加工システム、及び、加工方法 |
| JP2023111532A Active JP7533712B2 (ja) | 2018-10-31 | 2023-07-06 | 加工システム、及び、加工方法 |
| JP2024118560A Pending JP2024133403A (ja) | 2018-10-31 | 2024-07-24 | 加工システム、及び、加工方法 |
| JP2024139593A Active JP7775949B2 (ja) | 2018-10-31 | 2024-08-21 | 加工システム、及び、加工方法 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020554700A Active JP7310829B2 (ja) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 加工システム、及び、加工方法 |
Family Applications After (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023111532A Active JP7533712B2 (ja) | 2018-10-31 | 2023-07-06 | 加工システム、及び、加工方法 |
| JP2024118560A Pending JP2024133403A (ja) | 2018-10-31 | 2024-07-24 | 加工システム、及び、加工方法 |
| JP2024139593A Active JP7775949B2 (ja) | 2018-10-31 | 2024-08-21 | 加工システム、及び、加工方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20210339359A1 (https=) |
| EP (1) | EP3875206B1 (https=) |
| JP (5) | JP7310829B2 (https=) |
| CN (3) | CN118237728A (https=) |
| TW (1) | TW202035047A (https=) |
| WO (2) | WO2020090074A1 (https=) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI755030B (zh) * | 2020-08-18 | 2022-02-11 | 財團法人工業技術研究院 | 用於整形工件的整形設備與整形方法、及可執行整形方法的電腦可讀取非暫態媒體 |
| CN113319424B (zh) * | 2021-05-31 | 2022-07-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种三维形貌精确控制加工系统及加工方法 |
| JP2022185291A (ja) * | 2021-06-02 | 2022-12-14 | 株式会社ニコン | 造形装置及び造形方法、並びに、加工装置及び加工方法 |
| WO2024057496A1 (ja) * | 2022-09-15 | 2024-03-21 | 株式会社ニコン | 加工システム、データ構造及び加工方法 |
| WO2024189767A1 (ja) * | 2023-03-14 | 2024-09-19 | 株式会社ニコン | 加工システム及び加工方法 |
| WO2025094320A1 (ja) * | 2023-11-01 | 2025-05-08 | 株式会社ニコン | データ生成方法、コンピュータプログラム、記録媒体及び加工装置 |
| EP4663333A1 (en) | 2024-06-11 | 2025-12-17 | United Machining Mill SA | Laser machining method and laser machine tool for machining a texture or a cavity on a workpiece |
Family Cites Families (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6049887A (ja) * | 1983-08-29 | 1985-03-19 | Mitsubishi Motors Corp | レ−ザ溶接方法 |
| JPH0513635A (ja) * | 1991-07-02 | 1993-01-22 | Nec Corp | タイバー切断方法 |
| JPH08187586A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-23 | Sharp Corp | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法及びその製造装置 |
| JPH1015684A (ja) * | 1996-07-01 | 1998-01-20 | Nikon Corp | レーザ加工装置 |
| JPH10109423A (ja) * | 1996-10-08 | 1998-04-28 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法、製造装置 |
| JPH115185A (ja) * | 1997-06-11 | 1999-01-12 | Nikon Corp | レーザ加工装置 |
| JP2000162243A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Ando Electric Co Ltd | 電気光学サンプリングプローバ |
| JP2001219282A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-08-14 | Canon Inc | レーザ加工方法、該レーザ加工方法を用いたインクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法で製造されたインクジェット記録ヘッド |
| US6277659B1 (en) * | 1999-09-29 | 2001-08-21 | Advanced Micro Devices, Inc. | Substrate removal using thermal analysis |
| JP3819662B2 (ja) | 1999-12-24 | 2006-09-13 | 三洋電機株式会社 | 三次元モデリング装置、方法及び媒体並びに三次形状データ記録装置、方法及び媒体 |
| JP3686317B2 (ja) | 2000-08-10 | 2005-08-24 | 三菱重工業株式会社 | レーザ加工ヘッド及びこれを備えたレーザ加工装置 |
| JP3926620B2 (ja) * | 2001-12-19 | 2007-06-06 | 日立ビアメカニクス株式会社 | レーザ加工装置およびその方法 |
| US7047095B2 (en) * | 2002-12-06 | 2006-05-16 | Tokyo Electron Limited | Process control system and process control method |
| JP4688525B2 (ja) | 2004-09-27 | 2011-05-25 | 株式会社 日立ディスプレイズ | パターン修正装置および表示装置の製造方法 |
| JP5209883B2 (ja) | 2006-02-14 | 2013-06-12 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
| JP3938785B2 (ja) * | 2006-04-17 | 2007-06-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法及びその装置 |
| JP4977411B2 (ja) * | 2006-07-06 | 2012-07-18 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
| JP2008032524A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | レーザ加工装置および計測用レーザ光の焦点検出方法 |
| JP2008119716A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Marubun Corp | レーザ加工装置およびレーザ加工装置における焦点維持方法 |
| US8237084B2 (en) * | 2006-12-22 | 2012-08-07 | Taylor Fresh Foods, Inc. | Laser microperforated fresh produce trays for modified/controlled atmosphere packaging |
| JP2009045637A (ja) * | 2007-08-17 | 2009-03-05 | Fuji Xerox Co Ltd | レーザ加工装置 |
| KR100990519B1 (ko) * | 2008-08-07 | 2010-10-29 | (주)하드램 | 레이저를 이용한 기판 절단 장치 및 기판 절단 방법 |
| JP2010082663A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Sunx Ltd | レーザ加工機 |
| CH700111B1 (fr) * | 2009-09-25 | 2010-06-30 | Agie Sa | Machine d'usinage par laser. |
| JP2013102019A (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Toshiba Corp | 光中継器及びレーザ加工装置 |
| KR101279578B1 (ko) * | 2012-04-03 | 2013-06-27 | 주식회사 이오테크닉스 | 레이저 가공용 오토포커싱 장치 및 이를 이용한 오토포커싱 방법 |
| JP6320123B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-05-09 | 三菱重工業株式会社 | 三次元積層装置及び三次元積層方法 |
| CN104907704B (zh) * | 2014-04-02 | 2016-10-05 | 温州大学 | 一种变焦距激光精密加工深槽深孔装置 |
| JP6218770B2 (ja) * | 2014-06-23 | 2017-10-25 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
| JP5905060B1 (ja) | 2014-09-16 | 2016-04-20 | 株式会社東芝 | 積層造形装置および積層造形方法 |
| JP6395586B2 (ja) * | 2014-12-15 | 2018-09-26 | 株式会社ディスコ | 被加工物の分割方法 |
| CN204747769U (zh) * | 2015-05-27 | 2015-11-11 | 华中科技大学 | 一种激光在线测量加工检测装置 |
| CN108698164B (zh) * | 2016-01-19 | 2021-01-29 | 恩耐公司 | 处理3d激光扫描仪系统中的校准数据的方法 |
| DE102016124742A1 (de) * | 2016-12-19 | 2018-06-21 | GFH GmbH | Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels Laserstrahlung |
| PL3561089T3 (pl) * | 2016-12-23 | 2023-10-23 | Posco Co., Ltd | Sposób rafinowania domeny magnetycznej w elektrotechnicznej blasze stalowej o ziarnie zorientowanym oraz urządzenie dla tego sposobu |
| US10541180B2 (en) * | 2017-03-03 | 2020-01-21 | Veeco Precision Surface Processing Llc | Apparatus and method for wafer thinning in advanced packaging applications |
| JP6751040B2 (ja) | 2017-03-13 | 2020-09-02 | 株式会社神戸製鋼所 | 積層造形物の製造方法、製造システム、及び製造プログラム |
| CN107378255B (zh) * | 2017-07-14 | 2019-03-15 | 中国科学院微电子研究所 | 一种激光加工晶圆的方法及装置 |
-
2018
- 2018-10-31 WO PCT/JP2018/040625 patent/WO2020090074A1/ja not_active Ceased
- 2018-10-31 JP JP2020554700A patent/JP7310829B2/ja active Active
- 2018-10-31 US US17/286,688 patent/US20210339359A1/en active Pending
-
2019
- 2019-10-30 TW TW108139306A patent/TW202035047A/zh unknown
- 2019-10-31 CN CN202410540060.6A patent/CN118237728A/zh active Pending
- 2019-10-31 CN CN201980070423.1A patent/CN112930241A/zh active Pending
- 2019-10-31 WO PCT/JP2019/042734 patent/WO2020090961A1/ja not_active Ceased
- 2019-10-31 CN CN202410540065.9A patent/CN118237729A/zh active Pending
- 2019-10-31 JP JP2020554024A patent/JPWO2020090961A1/ja not_active Ceased
- 2019-10-31 EP EP19880348.8A patent/EP3875206B1/en active Active
-
2023
- 2023-07-06 JP JP2023111532A patent/JP7533712B2/ja active Active
-
2024
- 2024-07-24 JP JP2024118560A patent/JP2024133403A/ja active Pending
- 2024-08-21 JP JP2024139593A patent/JP7775949B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPWO2020090961A5 (https=) | ||
| EP3910929A4 (en) | CAMERA MODULE AND CAMERA WITH IT | |
| HUE071150T2 (hu) | Berendezés és eljárás akkumulátor diagnosztizálására | |
| EP3860192A4 (en) | Measurement method and device | |
| EP3847994C0 (en) | DENTAL APPLIANCE WITH LASER MARKING | |
| EP3820366C0 (en) | BREATH ANALYTE DETECTION DEVICE | |
| JP2014240830A5 (https=) | ||
| KR102209382B9 (ko) | 병변 진단에 대한 정보 제공 방법 및 이를 이용한 병변 진단에 대한 정보 제공용 디바이스 | |
| MX364011B (es) | Aparato y metodo de medicion de soldadura. | |
| MX348395B (es) | Aparato y método para determinar la desviación de posición objetivo de dos cuerpos. | |
| DK3791132T3 (da) | Surface measuring device and method for a headlamp test bench | |
| EP3851842A4 (en) | DEVICE FOR MEASURING ELECTROLYTE CONCENTRATION | |
| LT3637081T (lt) | Optinis testavimo prietaisas su išimama kasete | |
| EP2508921A3 (en) | Systems and methods for characterizing turbulence regions | |
| JP2017508217A5 (https=) | ||
| IL282017A (en) | Metrological method, pattern device, device and computer software | |
| EP3756340A4 (en) | PHOTOGRAPHY PROCESS AND APPARATUS | |
| EP3683565A4 (en) | MEASURING DEVICE, MEASURING PROCESS AND PROGRAM | |
| EP3857920C0 (en) | METHODS AND DEVICES FOR SITE REPORTING | |
| KR102272812B9 (ko) | 생체분자 분석용 나노 플라즈모닉 센서, 키트 및 이를 이용한 생체분자 분석 방법 | |
| EP3826355C0 (en) | METHOD, APPARATUS, AND MEASUREMENT INDICATION SYSTEM | |
| KR102656520B9 (ko) | 기판 처리 장치 및 이 장치를 이용한 기판 처리 방법 | |
| MX338030B (es) | Dispositivo para determinar la ubicacion de elementos mecanicos. | |
| IL292195A (en) | Measuring method and measuring apparatus | |
| IL276318B1 (en) | An apparatus and method for accessing metadata when debugging a device |