JP3938785B2 - 欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents
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て、対策内容を提案する。
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- 光源から発射されて偏光の状態が制御された光により対物レンズの瞳位置に輪帯状の2次
光源像を結像させ、該結像させた輪帯状の2次光源像からの光をパターンが形成された試
料に照射し、該照射による前記試料からの反射光のうち前記対物レンズを透過した反射光
による像を結像させ、該結像させた反射光の像をTDIイメージセンサで検出し、該検出
して得た信号を記憶しておいた参照信号と比較して前記試料上の欠陥を検出する欠陥検査
方法であって、1/2波長板と1/4波長板とを用いて前記試料に照射する光の偏光の状
態と前記結像させる試料からの反射光の偏光の状態を調整することを特徴とする欠陥検査
方法。 - 前記光源から発射されて偏光の状態が制御された光は、波長帯域が100〜300nmの紫
外光であることを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。 - 前記光源はパルス発振レーザ光源であって、前記TDIイメージセンサの1蓄積時間内に
30パルス以上のレーザを発射することを特徴とする請求項1又は2に記載の欠陥検査方
法。 - 前記パルス発振レーザ光源から発射されたパルスレーザを光路長が異なる複数の光路に
分岐し、該分岐したパルスレーザを合成した後に偏光の状態を制御して輪帯状の2次光源
像を形成し、前記試料を照明することを特徴とする請求項3記載の欠陥検査方法。 - 前記輪帯状の2次光源像からの光を前記パターンが形成された試料に対してブリュースタ
ー角を含む方向から照射することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。 - 前記1/2波長板で前記偏光の楕円の方位角を、また前記1/4波長板で前記偏光の楕
円率を調整することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。 - 前記1/2波長板と1/4波長板とを用いて前記結像させる試料からの反射光の0次光
と高次回折光の振幅を調整することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査方法。 - 光源と、該光源から発射された光の偏光の状態を制御する偏光制御手段と、該偏光制御手
段で偏光の状態を制御された光を入射する対物レンズ手段と、該対物レンズ手段の瞳位置
に前記偏光制御手段で偏光の状態が制御された光による輪帯状の2次光源像を結像させる2
次光源像形成手段と、該2次光源像形成手段で結像させた輪帯状の2次光源像からの光が照
射される試料を載置するテーブル手段と、該テーブル手段に載置されて前記2次光源像か
らの光が照射された試料からの反射光のうち前記対物レンズ手段に入射した反射光による
光学像を結像させる結像光学系手段と、該結像光学系手段により結像させた前記反射光に
よる光学像を検出する像検出手段と、該像検出手段で前記光学像を検出して得た信号を処
理して前記試料上の欠陥を検出する信号処理手段とを備え、前記偏光制御手段は1/2波
長板と1/4波長板とを有し、該1/2波長板と1/4波長板とを用いて前記対物レンズ
手段を介して試料に照射する光の偏光の状態と前記結像光学系手段を介して結像させる試
料からの反射光の偏光の状態を調整することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記光源は、波長が100〜300nmの紫外光を発射することを特徴とする請求項8記載
の欠陥検査装置。 - 前記光源はパルス発振レーザ光源であって、前記TDIイメージセンサの1蓄積時間内に
30パルス以上のレーザを発射することを特徴とする請求項8又は9に記載の欠陥検査装
置。 - 前記パルス発振レーザ光源から発射されたパルスレーザを光路長が異なる複数の光路に
分岐し該分岐したパルスレーザを合成する分岐・合成光路手段を更に備え、該分岐・合成
光路手段で一旦分岐した後に合成したパルスレーザを前記偏光制御手段に入射させことを
特徴とする請求項10記載の欠陥検査装置。 - 前記像検出手段はTDIイメージセンサを有し、前記結像光学系手段により結像させた前
記試料からの反射光による光学像を前記TDIイメージセンサで検出することを特徴とす
る請求項8又は9に記載の欠陥検査装置。 - 前記2次光源像形成手段は、前記パターンが形成された試料に対してブリュースター角
を含む方向から前記紫外光を照射するように前記対物レンズ手段の瞳位置に輪帯状の2次
光源像を結像させることを特徴とする請求項8記載の欠陥検査装置。 - 前記偏光制御手段は前記1/2波長板で前記偏光の楕円の方位角を、また前記1/4波
長板で前記偏光の楕円率を調整することを特徴とする請求項8記載の欠陥検査装置。 - 前記偏光制御手段は前記1/2波長板と1/4波長板とで前記結像光学系手段で結像さ
せる試料からの反射光の0次光と高次回折光の振幅を調整することを特徴とする請求項8
記載の欠陥検査装置。
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