JPH05281130A - 異物検査装置 - Google Patents
異物検査装置Info
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- JPH05281130A JPH05281130A JP4109215A JP10921592A JPH05281130A JP H05281130 A JPH05281130 A JP H05281130A JP 4109215 A JP4109215 A JP 4109215A JP 10921592 A JP10921592 A JP 10921592A JP H05281130 A JPH05281130 A JP H05281130A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 異物の粒径を正確に推定できる異物検査装置
を得る。 【構成】 各々のへたり領域が重ならないように選択さ
れた波長λ1 ，波長λ2を有する第１，第２のレーザ
１，２からのレーザ光をハーフミラー３で同一光軸上に
重ねてウエハ１２上に照射し、発生する散乱光を波長分
岐型ビームスプリッター５を通して波長ごとに分けて検
出し、波長λ1 の照射光の散乱光強度と異物の粒径が１
対１対応の領域に入っている場合は波長λ1 の散乱光に
より異物の粒径を推定し、波長λ1 の照射光の散乱光強
度と異物の粒径が１対多領域に入っている場合は、１対
１対応を保っている波長λ2 の散乱光より異物径を推定
する。 【効果】 異物の粒径を正確に推定することができ、推
定精度を向上できる。
を得る。 【構成】 各々のへたり領域が重ならないように選択さ
れた波長λ1 ，波長λ2を有する第１，第２のレーザ
１，２からのレーザ光をハーフミラー３で同一光軸上に
重ねてウエハ１２上に照射し、発生する散乱光を波長分
岐型ビームスプリッター５を通して波長ごとに分けて検
出し、波長λ1 の照射光の散乱光強度と異物の粒径が１
対１対応の領域に入っている場合は波長λ1 の散乱光に
より異物の粒径を推定し、波長λ1 の照射光の散乱光強
度と異物の粒径が１対多領域に入っている場合は、１対
１対応を保っている波長λ2 の散乱光より異物径を推定
する。 【効果】 異物の粒径を正確に推定することができ、推
定精度を向上できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は空間中、液体中、ウエ
ハ表面上の微小な異物を検出する異物検査装置に関する
ものである。
ハ表面上の微小な異物を検出する異物検査装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は特開平２−８７０４７号公報に示
された表面検査装置の基本構成を示す図である。図にお
いて、１２は被検査物であるウエハ、１９はアルゴンイ
オンレーザ、２０はアルゴンイオンレーザ１９より発生
されたレーザ光を拡大するためのビームエキスパンダ
ー、２１，２２はビームエキスパンダー２０により拡大
された光をポリゴンミラーに送るためのミラー、２３は
一定の速度で回転しており、Ｆθレンズとの組合わせに
よりウエハ１２上で集光されたレーザ光を一定速度で走
査するポリゴンミラー、２４はＦθレンズ、２５はウエ
ハ１２上の異物による散乱光を光検出器に導くための光
ファイバ、２６は光検出器である。
された表面検査装置の基本構成を示す図である。図にお
いて、１２は被検査物であるウエハ、１９はアルゴンイ
オンレーザ、２０はアルゴンイオンレーザ１９より発生
されたレーザ光を拡大するためのビームエキスパンダ
ー、２１，２２はビームエキスパンダー２０により拡大
された光をポリゴンミラーに送るためのミラー、２３は
一定の速度で回転しており、Ｆθレンズとの組合わせに
よりウエハ１２上で集光されたレーザ光を一定速度で走
査するポリゴンミラー、２４はＦθレンズ、２５はウエ
ハ１２上の異物による散乱光を光検出器に導くための光
ファイバ、２６は光検出器である。
【０００３】次に動作について説明する。この装置はア
ルゴンイオンレーザ１９から発生したアルゴンレーザ光
をウエハ１２上に照射すると正反射光が生じる。この
際、ウエハ１２上に塵等の異物が付着していると散乱光
が発生する。このウエハ１２上の異物により散乱された
光を光ファイバ２５を通して光検出器２６で検出するこ
とでウエハ上の異物を検査するものである。
ルゴンイオンレーザ１９から発生したアルゴンレーザ光
をウエハ１２上に照射すると正反射光が生じる。この
際、ウエハ１２上に塵等の異物が付着していると散乱光
が発生する。このウエハ１２上の異物により散乱された
光を光ファイバ２５を通して光検出器２６で検出するこ
とでウエハ上の異物を検査するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、異物粒径と
散乱光強度の関係は、Ｍｉｅ散乱理論に基づいて計算で
き、その例を図６に示す。図６から分かるように、粒径
が大きくなるに従い、散乱光強度が強くなる。ただし、
照射光の波長と近い異物の粒径付近で、一時的に散乱光
強度が低下する現象があり、散乱光強度と粒径が１対１
対応ではない場合が存在する。よって、図６に示す領域
Ａの範囲にはいる散乱光強度、例えばＩ0が測定された
場合、それより推定される異物の粒径はｄ1 ，ｄ2 ，ｄ
3 の３つの値が考えられ、正確に粒径を推定することが
できないという問題があった。この発明は上記のような
問題点を解消するためになされたもので、異物の粒径を
正確に推定することができる異物検査装置を提供するこ
とを目的とする。
散乱光強度の関係は、Ｍｉｅ散乱理論に基づいて計算で
き、その例を図６に示す。図６から分かるように、粒径
が大きくなるに従い、散乱光強度が強くなる。ただし、
照射光の波長と近い異物の粒径付近で、一時的に散乱光
強度が低下する現象があり、散乱光強度と粒径が１対１
対応ではない場合が存在する。よって、図６に示す領域
Ａの範囲にはいる散乱光強度、例えばＩ0が測定された
場合、それより推定される異物の粒径はｄ1 ，ｄ2 ，ｄ
3 の３つの値が考えられ、正確に粒径を推定することが
できないという問題があった。この発明は上記のような
問題点を解消するためになされたもので、異物の粒径を
正確に推定することができる異物検査装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係る異物検査
装置は、複数の波長の異なるレーザ光を同一光軸上で検
査領域に照射する照射手段と、検査領域中の異物の散乱
光強度を照射レーザ光の波長毎に分離して測定する測定
手段と、検出された複数の波長の散乱光強度から、異物
の粒径を推定する演算手段とを備えたものである。
装置は、複数の波長の異なるレーザ光を同一光軸上で検
査領域に照射する照射手段と、検査領域中の異物の散乱
光強度を照射レーザ光の波長毎に分離して測定する測定
手段と、検出された複数の波長の散乱光強度から、異物
の粒径を推定する演算手段とを備えたものである。
【０００６】また、この発明に係る異物検査装置は、複
数の波長の異なるレーザ光を、同一光軸上に出射するレ
ーザ光源と、上記レーザ光源の出射する複数の波長の異
なるレーザ光のうち特定の波長のレーザ光を選択し、か
つ選択するレーザ光の波長を順次切り換えて同一の検査
領域に照射する照射レーザ光波長選択手段と、検査領域
中の異物からの散乱光強度を測定する測定手段と、検出
された複数の波長の散乱光強度から、異物の粒径を推定
する演算手段とを備えたものである。
数の波長の異なるレーザ光を、同一光軸上に出射するレ
ーザ光源と、上記レーザ光源の出射する複数の波長の異
なるレーザ光のうち特定の波長のレーザ光を選択し、か
つ選択するレーザ光の波長を順次切り換えて同一の検査
領域に照射する照射レーザ光波長選択手段と、検査領域
中の異物からの散乱光強度を測定する測定手段と、検出
された複数の波長の散乱光強度から、異物の粒径を推定
する演算手段とを備えたものである。
【０００７】
【作用】この発明の異物検査装置においては、上述の構
成を備え、演算手段によりある波長の照射光の散乱光強
度と異物の粒径が、１対多領域に入っている場合は、他
の１対１対応を保っている他の波長の散乱光より異物の
粒径を推定するようにしたので、異物の推定精度を向上
することができる。
成を備え、演算手段によりある波長の照射光の散乱光強
度と異物の粒径が、１対多領域に入っている場合は、他
の１対１対応を保っている他の波長の散乱光より異物の
粒径を推定するようにしたので、異物の推定精度を向上
することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図について説明す
る。図１は本発明の第１の実施例による異物検査装置の
構成を示しており、図１において、１は波長λ1 の第１
のレーザ、２は波長λ2 の第２のレーザで、波長λ1 と
波長λ2 は各々のへたり領域が重ならないように選択さ
れている。３は第１，第２のレーザ１，２から出たレー
ザ光を同一の光軸上に重ねるためのハーフミラー、４は
ウエハからの散乱光をビームスプリッターに集光するた
めのレンズ、５は波長分岐ビームスプリッター、６は第
１の光検出器、７は第２の光検出器、８は散乱光強度か
ら異物の粒径を推定する演算部、９は第１，第２のレー
ザ１，２から出たレーザ光が同一の光軸上に重なった照
射光、１０は異物からの散乱光、１１はウエハ表面で反
射した反射光、１２はウエハ、１３はステージである。
る。図１は本発明の第１の実施例による異物検査装置の
構成を示しており、図１において、１は波長λ1 の第１
のレーザ、２は波長λ2 の第２のレーザで、波長λ1 と
波長λ2 は各々のへたり領域が重ならないように選択さ
れている。３は第１，第２のレーザ１，２から出たレー
ザ光を同一の光軸上に重ねるためのハーフミラー、４は
ウエハからの散乱光をビームスプリッターに集光するた
めのレンズ、５は波長分岐ビームスプリッター、６は第
１の光検出器、７は第２の光検出器、８は散乱光強度か
ら異物の粒径を推定する演算部、９は第１，第２のレー
ザ１，２から出たレーザ光が同一の光軸上に重なった照
射光、１０は異物からの散乱光、１１はウエハ表面で反
射した反射光、１２はウエハ、１３はステージである。
【０００９】波長λ1 と波長λ2 の各々の照射光におけ
る、異物の散乱光強度の粒径依存性を図４に示す。各々
の波長の依存性は、それぞれ従来例と同様に、一時低下
領域Ｈ1 とＨ2 を持つが、異物の粒径軸上で、互いの領
域が重ならないように選択されている。
る、異物の散乱光強度の粒径依存性を図４に示す。各々
の波長の依存性は、それぞれ従来例と同様に、一時低下
領域Ｈ1 とＨ2 を持つが、異物の粒径軸上で、互いの領
域が重ならないように選択されている。
【００１０】次に動作について説明する。まず、波長λ
1 と波長λ2 の照射光をハーフミラー３で光軸を一致さ
せ、ウエハ１２上に照射する。そして、ウエハ１２上で
散乱された散乱光１０を集光レンズ４で集めて、波長分
岐型ビームスプリッター５に導入する。導入された光は
波長分岐型ビームスプリッター５によって波長λ1 と波
長λ2 の光に分離され、第１の光検出器６によって波長
λ1 の散乱光強度が、第２の光検出器７によっ波長λ2
の散乱光強度が測定される。第１，第２の光検出器６，
７の出力はともに演算部８に導入される。
1 と波長λ2 の照射光をハーフミラー３で光軸を一致さ
せ、ウエハ１２上に照射する。そして、ウエハ１２上で
散乱された散乱光１０を集光レンズ４で集めて、波長分
岐型ビームスプリッター５に導入する。導入された光は
波長分岐型ビームスプリッター５によって波長λ1 と波
長λ2 の光に分離され、第１の光検出器６によって波長
λ1 の散乱光強度が、第２の光検出器７によっ波長λ2
の散乱光強度が測定される。第１，第２の光検出器６，
７の出力はともに演算部８に導入される。
【００１１】演算部８による処理において、２つの場合
を考える。始めに、第１の光検出器６によって測定され
た波長λ1 の散乱光強度が、図４に示すＰの強度領域に
入っていない場合、例えば波長λ1 の散乱光強度がＩN
の場合は、強度と粒径は１対１対応なので、ＩN より推
定したｄN を推定した粒径とする。
を考える。始めに、第１の光検出器６によって測定され
た波長λ1 の散乱光強度が、図４に示すＰの強度領域に
入っていない場合、例えば波長λ1 の散乱光強度がＩN
の場合は、強度と粒径は１対１対応なので、ＩN より推
定したｄN を推定した粒径とする。
【００１２】一方、ＩI がＰの強度領域に入っている場
合、例えば異物の粒径がｄM で波長λ1 の散乱光強度が
ＩM の場合、波長λ1 の散乱光強度と粒径は１対１対応
ではなく、ｄK ，ｄL ，ｄM の３つの粒径が推定され
る。そこで、このように第１の検出器６の出力が図４に
示すＰの強度領域に入っている場合は、第２の光検出器
７によって測定された波長λ2 の散乱光強度ＩC より粒
径を推定する。粒径ｄMはλ2 の一時低下領域Ｈ2 に入
っていないので１対１対応を保っている。よって、出力
ＩC より粒径を推定することで正確なｄM を得ることが
できる。
合、例えば異物の粒径がｄM で波長λ1 の散乱光強度が
ＩM の場合、波長λ1 の散乱光強度と粒径は１対１対応
ではなく、ｄK ，ｄL ，ｄM の３つの粒径が推定され
る。そこで、このように第１の検出器６の出力が図４に
示すＰの強度領域に入っている場合は、第２の光検出器
７によって測定された波長λ2 の散乱光強度ＩC より粒
径を推定する。粒径ｄMはλ2 の一時低下領域Ｈ2 に入
っていないので１対１対応を保っている。よって、出力
ＩC より粒径を推定することで正確なｄM を得ることが
できる。
【００１３】以上のように、本実施例によれば、各々の
へたり領域が重ならないように選択した波長λ1 ，波長
λ2 の第１，第２のレーザ１，２を用い、これらのレー
ザ光をハーフミラー３で同一光軸上に重ねてウエハ１２
上に照射し、発生する散乱光を波長分岐型ビームスプリ
ッター５を通して波長ごとに分けて検出し、波長λ1の
照射光の散乱光強度と異物の粒径が１対１対応の領域に
入っている場合は波長λ1 の散乱光により異物の粒径を
推定し、波長λ1 の照射光の散乱光強度と異物の粒径が
１対多領域に入っている場合は、１対１対応を保ってい
る波長λ2 の散乱光より異物径を推定するようにしたの
で、異物の粒径を正確に推定することができ、推定精度
を向上することができる。
へたり領域が重ならないように選択した波長λ1 ，波長
λ2 の第１，第２のレーザ１，２を用い、これらのレー
ザ光をハーフミラー３で同一光軸上に重ねてウエハ１２
上に照射し、発生する散乱光を波長分岐型ビームスプリ
ッター５を通して波長ごとに分けて検出し、波長λ1の
照射光の散乱光強度と異物の粒径が１対１対応の領域に
入っている場合は波長λ1 の散乱光により異物の粒径を
推定し、波長λ1 の照射光の散乱光強度と異物の粒径が
１対多領域に入っている場合は、１対１対応を保ってい
る波長λ2 の散乱光より異物径を推定するようにしたの
で、異物の粒径を正確に推定することができ、推定精度
を向上することができる。
【００１４】なお、上記実施例では各々のへたり領域が
重ならないように選ばれた２種類の波長λ1 ，λ2 を有
するレーザ光を同一光軸上に重ねたものを照射光として
用いた例について示したが、本発明はこれに限定される
ものではなく、各々のへたり領域が重ならないように選
択された３種類以上の複数のレーザ光を同一光軸上に重
ねたものを用いるようにしてもよい。
重ならないように選ばれた２種類の波長λ1 ，λ2 を有
するレーザ光を同一光軸上に重ねたものを照射光として
用いた例について示したが、本発明はこれに限定される
ものではなく、各々のへたり領域が重ならないように選
択された３種類以上の複数のレーザ光を同一光軸上に重
ねたものを用いるようにしてもよい。
【００１５】次に、本発明の第２の実施例による異物検
査装置の構成を図２に示す。図２において、６は光検出
器、８は散乱光強度から異物の粒径を推定する演算部、
９はレーザ１４から出たレーザ光、１０は異物からの散
乱光、１１はウエハ表面で反射した反射光、１２はウエ
ハ、１３はステージ、１４は波長λ1 ，λ2 を発生する
多波長レーザ（但し、λ1 ≠λ2 ）、１５は多波長レー
ザ光のうち、特定の波長のレーザ光のみ透過させる波長
選択器である。
査装置の構成を図２に示す。図２において、６は光検出
器、８は散乱光強度から異物の粒径を推定する演算部、
９はレーザ１４から出たレーザ光、１０は異物からの散
乱光、１１はウエハ表面で反射した反射光、１２はウエ
ハ、１３はステージ、１４は波長λ1 ，λ2 を発生する
多波長レーザ（但し、λ1 ≠λ2 ）、１５は多波長レー
ザ光のうち、特定の波長のレーザ光のみ透過させる波長
選択器である。
【００１６】次に動作について説明する。まず、多波長
レーザ１４の出力のうち、波長λ1のみを波長選択器１
５で選択透過させて、ウエハ１２上に照射する。そし
て、ステージ１３を動かしながら、ウエハ１２上より発
生する散乱光を光検出器６で検出する。検出された散乱
光強度は演算部８に導入する。次に、波長選択器１５で
波長λ2 のみを選択透過させてウエハ１２上に照射し、
同様に散乱光を測定、データを演算部８に導入する。
レーザ１４の出力のうち、波長λ1のみを波長選択器１
５で選択透過させて、ウエハ１２上に照射する。そし
て、ステージ１３を動かしながら、ウエハ１２上より発
生する散乱光を光検出器６で検出する。検出された散乱
光強度は演算部８に導入する。次に、波長選択器１５で
波長λ2 のみを選択透過させてウエハ１２上に照射し、
同様に散乱光を測定、データを演算部８に導入する。
【００１７】初めに、波長λ1 の散乱光強度より異物の
粒径を推定する。その際、上記第１の実施例と同様に、
波長λ1 の散乱光強度が１対１領域である場合は、波長
λ1の散乱光強度により異物の粒径を測定する。一方、
波長λ1 の散乱光強度が１対多領域であるＰの範囲にあ
るときは、波長λ1 の散乱光強度を用いず、波長λ2の
散乱光強度より粒径を推定する。
粒径を推定する。その際、上記第１の実施例と同様に、
波長λ1 の散乱光強度が１対１領域である場合は、波長
λ1の散乱光強度により異物の粒径を測定する。一方、
波長λ1 の散乱光強度が１対多領域であるＰの範囲にあ
るときは、波長λ1 の散乱光強度を用いず、波長λ2の
散乱光強度より粒径を推定する。
【００１８】このような本実施例においても、各々のへ
たり領域が重ならないように選択した波長λ1 ，波長λ
2 を有する多波長レーザ１４を用い、これから発生され
るレーザ光を順次波長選択器１５で選択してウエハ１２
上に照射し、発生する散乱光を順次検出器６によって検
出し、波長λ1 の照射光の散乱光強度と異物の粒径が１
対１対応の領域に入っている場合は波長λ1 の散乱光に
より異物の粒径を推定し、波長λ1 の照射光の散乱光強
度と異物の粒径が１対多領域に入っている場合は、１対
１対応を保っている波長λ2 の散乱光より異物径を推定
するようにしたので、異物の粒径を正確に推定すること
ができ、推定精度を向上することができる。
たり領域が重ならないように選択した波長λ1 ，波長λ
2 を有する多波長レーザ１４を用い、これから発生され
るレーザ光を順次波長選択器１５で選択してウエハ１２
上に照射し、発生する散乱光を順次検出器６によって検
出し、波長λ1 の照射光の散乱光強度と異物の粒径が１
対１対応の領域に入っている場合は波長λ1 の散乱光に
より異物の粒径を推定し、波長λ1 の照射光の散乱光強
度と異物の粒径が１対多領域に入っている場合は、１対
１対応を保っている波長λ2 の散乱光より異物径を推定
するようにしたので、異物の粒径を正確に推定すること
ができ、推定精度を向上することができる。
【００１９】なお、上記実施例では、照射部として２種
類の波長λ1 ，λ2 を有する多波長レーザ１４を用いた
例について示したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、各々のへたり領域が重ならないように選択され
た３種類以上の複数の波長を有する多波長レーザを用い
てもよい。
類の波長λ1 ，λ2 を有する多波長レーザ１４を用いた
例について示したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、各々のへたり領域が重ならないように選択され
た３種類以上の複数の波長を有する多波長レーザを用い
てもよい。
【００２０】次に本発明の第３の実施例による異物検査
装置を図３に示す。図３において、１は波長λ1 の第１
のレーザ、２は波長λ2 の第２のレーザで、波長λ1 と
波長λ2 は上記第１，第２の実施例と同様に各々のへた
り領域が重ならないように選択されている。また、３は
第１，第２のレーザ１，２から出たレーザ光を同一の光
軸上に重ねるためのハーフミラー、４はウエハからの散
乱光をビームスプリッターに集光するためのレンズ、５
は波長分岐ビームスプリッター、６は第１の光検出器、
７は第２の光検出器、８は散乱光強度から異物の粒径を
推定する演算部、９は第１，第２のレーザから出たレー
ザ光が同一の光軸上に重なった照射光、１６は試料が通
過する通過管、１７は測定試料の通過する方向、１８は
測定部を通過したレーザ光である。
装置を図３に示す。図３において、１は波長λ1 の第１
のレーザ、２は波長λ2 の第２のレーザで、波長λ1 と
波長λ2 は上記第１，第２の実施例と同様に各々のへた
り領域が重ならないように選択されている。また、３は
第１，第２のレーザ１，２から出たレーザ光を同一の光
軸上に重ねるためのハーフミラー、４はウエハからの散
乱光をビームスプリッターに集光するためのレンズ、５
は波長分岐ビームスプリッター、６は第１の光検出器、
７は第２の光検出器、８は散乱光強度から異物の粒径を
推定する演算部、９は第１，第２のレーザから出たレー
ザ光が同一の光軸上に重なった照射光、１６は試料が通
過する通過管、１７は測定試料の通過する方向、１８は
測定部を通過したレーザ光である。
【００２１】次に動作について説明する。照射光９を、
通過管１６を通る異物を含む液体、または気体に照射す
る。その時発生した散乱光を集光レンズ４によって波長
分岐型ビームスプリッター５に導入する。導入された光
は波長分岐型ビームスプリッター５によって波長λ1 と
波長λ2 の光に分離され、第１の光検出器６によって波
長λ1 の散乱光強度が、第２の光検出器７によって波長
λ2 の散乱光強度が測定される。第１，第２の光検出器
６，７の出力はともに演算部８に導入される。第１，第
２の光検出器６，７の出力は演算部８で上記第１の実施
例と同様の演算、即ち、波長λ1 の照射光の散乱光強度
と異物の粒径が１対１対応の領域に入っている場合は波
長λ1 の散乱光により異物の粒径を推定し、波長λ1 の
照射光の散乱光強度と異物の粒径が１対多領域に入って
いる場合は、１対１対応を保っている波長λ2 の散乱光
より異物径を推定することにより測定領域を通過する異
物の粒径を推定する。よって本実施例では空間中，液体
中の微小な異物の粒径を正確に推定することができ、推
定精度を向上できるという効果がある。
通過管１６を通る異物を含む液体、または気体に照射す
る。その時発生した散乱光を集光レンズ４によって波長
分岐型ビームスプリッター５に導入する。導入された光
は波長分岐型ビームスプリッター５によって波長λ1 と
波長λ2 の光に分離され、第１の光検出器６によって波
長λ1 の散乱光強度が、第２の光検出器７によって波長
λ2 の散乱光強度が測定される。第１，第２の光検出器
６，７の出力はともに演算部８に導入される。第１，第
２の光検出器６，７の出力は演算部８で上記第１の実施
例と同様の演算、即ち、波長λ1 の照射光の散乱光強度
と異物の粒径が１対１対応の領域に入っている場合は波
長λ1 の散乱光により異物の粒径を推定し、波長λ1 の
照射光の散乱光強度と異物の粒径が１対多領域に入って
いる場合は、１対１対応を保っている波長λ2 の散乱光
より異物径を推定することにより測定領域を通過する異
物の粒径を推定する。よって本実施例では空間中，液体
中の微小な異物の粒径を正確に推定することができ、推
定精度を向上できるという効果がある。
【００２２】なお、上記実施例では各々のへたり領域が
重ならないように選ばれた２種類の波長λ1 ，λ2 を有
するレーザ光を同一光軸上に重ねたものを照射光として
用いた例について示したが、本発明はこれに限定される
ものではなく、各々のへたり領域が重ならないように選
択された３種類以上の複数のレーザ光を同一光軸上に重
ねたものを用いるようにしてもよい。
重ならないように選ばれた２種類の波長λ1 ，λ2 を有
するレーザ光を同一光軸上に重ねたものを照射光として
用いた例について示したが、本発明はこれに限定される
ものではなく、各々のへたり領域が重ならないように選
択された３種類以上の複数のレーザ光を同一光軸上に重
ねたものを用いるようにしてもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、互い
のへたりの領域が重ならないように選択した異なる波長
の複数のレーザ光を検査領域に照射して散乱光を測定
し、ある波長の照射光の散乱光強度と異物の粒径が、１
対多領域に入っている場合は、他の１対１対応を保って
いる他の波長の散乱光より異物の粒径を推定するように
したので、異物の推定精度を向上することができる効果
がある。
のへたりの領域が重ならないように選択した異なる波長
の複数のレーザ光を検査領域に照射して散乱光を測定
し、ある波長の照射光の散乱光強度と異物の粒径が、１
対多領域に入っている場合は、他の１対１対応を保って
いる他の波長の散乱光より異物の粒径を推定するように
したので、異物の推定精度を向上することができる効果
がある。
【図１】本発明の第１の実施例による異物検査装置の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例による異物検査装置の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図３】本発明の第３の実施例による異物検査装置の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図４】本発明における異物の散乱光強度の粒径依存性
を示す図である。
を示す図である。
【図５】従来の表面検査装置を示す図である。
【図６】従来例による異物の散乱光強度の粒径依存性を
示す図である。
示す図である。
１ 第１のレーザ光（波長λ1 ） ２ 第２のレーザ光（波長λ2 ） ３ ハーフミラー ４ 集光レンズ ５ 波長分岐型ビームスプリッター ６ 第１の光検出器 ７ 第２の光検出器 ８ 演算部 ９ 照射光 １０ 散乱光 １１ 反射光 １２ ウエハ １３ ステージ １４ 多波長レーザ １５ 波長選択器 １６ 通過管 １７ 試料通過方向 １８ 検出領域通過光 １９ アルゴンイオンレーザ ２０ ビームエキスパンダー ２１ 第１のミラー ２２ 第２のミラー ２３ ポリゴンミラー ２４ Ｆθレンズ ２５ 光ファイバ ２６ 光検出器
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の波長の異なるレーザ光を、同一光
軸上で検査領域に照射する照射手段と、 検査領域中の異物の散乱光強度を、照射レーザ光の波長
毎に分離して測定する測定手段と、 検出された複数の波長の散乱光強度から、異物の粒径を
推定する演算手段とを備えたことを特徴とする異物検査
装置。 - 【請求項２】 複数の波長の異なるレーザ光を、同一光
軸上に出射するレーザ光源と、 上記レーザ光源の出射する複数の波長の異なるレーザ光
のうち特定の波長のレーザ光を選択し、かつ選択するレ
ーザ光の波長を順次切り換えて同一の検査領域に照射す
る照射レーザ光波長選択手段と、 検査領域中の異物からの散乱光強度を測定する測定手段
と、 検出された複数の波長の散乱光強度から、異物の粒径を
推定する演算手段とを備えたことを特徴とする異物検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4109215A JPH05281130A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4109215A JPH05281130A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 異物検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05281130A true JPH05281130A (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=14504520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4109215A Pending JPH05281130A (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 異物検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05281130A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002243623A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Horiba Ltd | 粒径分布測定装置 |
| JP2003130808A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-08 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法及びその装置 |
| JP2006250944A (ja) * | 2006-04-17 | 2006-09-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法及びその装置 |
| JP2006300858A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Toshiba Corp | 水質検査装置 |
| JP2010537219A (ja) * | 2008-02-19 | 2010-12-02 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー，リミテッド | 暗視野検査装置 |
-
1992
- 1992-03-31 JP JP4109215A patent/JPH05281130A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002243623A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Horiba Ltd | 粒径分布測定装置 |
| JP2003130808A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-08 | Hitachi Ltd | 欠陥検査方法及びその装置 |
| US7161671B2 (en) | 2001-10-29 | 2007-01-09 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for inspecting defects |
| JP2006300858A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Toshiba Corp | 水質検査装置 |
| JP4660266B2 (ja) * | 2005-04-25 | 2011-03-30 | 株式会社東芝 | 水質検査装置 |
| JP2006250944A (ja) * | 2006-04-17 | 2006-09-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法及びその装置 |
| JP2010537219A (ja) * | 2008-02-19 | 2010-12-02 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー，リミテッド | 暗視野検査装置 |
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