JPWO2020055766A5 - - Google Patents

Description

図１Ａの例では、ウエハ１０１は、ロボットのブレード上に位置決めされ、ロボットによって方向１０５に移動されてセンサ１０３Ａおよび１０３Ｂを通過する。したがって、ウエハ１０１がセンサ１０３Ａおよび１０３Ｂを通って移動するとき、センサ１０３Ａおよび１０３Ｂのビームは、それぞれ経路１０７Ａおよび１０７Ｂに沿って進行する。図１Ａの例は、ウエハ１０１がセンサ１０３Ａおよび１０３Ｂを通って移動するときに、センサ１０３Ａおよび１０３Ｂのビームが直線経路１０７Ａおよび１０７Ｂに沿ってウエハ１０１を横切ることを示す。しかし、いくつかの実施形態では、ウエハ１０１をロボットによって非線形に移動させてセンサ１０３Ａおよび１０３Ｂを通過させることができ、これによりセンサ１０３Ａおよび１０３Ｂのビームが非線形経路に沿ってウエハ１０１を横切ることを理解されたい。ウエハ１０１が方向１０５に移動すると、ウエハ１０１の先端外周エッジは、位置Ｂａ₁でセンサ１０３Ａのビームに到達してビームを遮断し、位置Ｂａ₂でセンサ１０３Ｂのビームに到達してビームを遮断する。ウエハ１０１が方向１０５に移動し続けると、ウエハ１０１の後端外周エッジはセンサ１０３Ａおよび１０３Ｂを通過し、それにより、センサ１０３Ａおよび１０３Ｂのビームの遮断がそれぞれ位置Ｂａ ₄ およびＢａ ₃ で解除される。このようにして、ウエハ１０１がセンサ１０３Ａ、１０３Ｂを通って移動するとき、ウエハ１０１の先端エッジがセンサビーム１０９を遮断し、ウエハ１０１の後端エッジがセンサビーム１０９を再形成する。センサビーム１０９が遷移する（すなわち、遮断または再形成される）たびに、センサ１０３Ａ、１０３Ｂから割り込み信号が送信され、現在のブレード位置の記録をトリガする。ウエハエッジ検出位置Ｂａ₁、Ｂａ₂、Ｂａ₃、およびＢａ₄の各々は、座標軸Ｘ_BおよびＹ_Bによって表されるブレードの座標系内で指定される。

例として、図２のＡＷＣ構成について検討する。この構成では、Ｎ＝６個のベクトルＢａ₁、Ｂａ₂、Ｂａ₃、Ｂａ₄、Ｂａ₅、およびＢａ₆がある。この構成の場合、フィデューシャルフィルタリングＡＷＣプロセスは、ウエハオフセットＯの６つの異なる推定値および対応する性能指標（ＩＰ_z）の決定を含む。具体的には、１番目の推定値（ｚ＝１）として、ベクトルＢａ₁を除外し、ベクトルのセット（Ｂａ₂、Ｂａ₃、Ｂａ₄、Ｂａ₅、Ｂａ₆）がウエハオフセットＯの推定値を決定する。２番目の推定値（ｚ＝２）として、ベクトルＢａ₂を除外し、ベクトルのセット（Ｂａ₁、Ｂａ₃、Ｂａ₄、Ｂａ₅、Ｂａ₆）がウエハオフセットＯの推定値を決定する。３番目の推定値（ｚ＝３）として、ベクトルＢａ₃を除外し、ベクトルのセット（Ｂａ₁、Ｂａ₂、Ｂａ₄、Ｂａ₅、Ｂａ₆）がウエハオフセットＯの推定値を決定する。４番目の推定値（ｚ＝４）として、ベクトルＢａ₄を除外し、ベクトルのセット（Ｂａ₁、Ｂａ₂、Ｂａ₃、Ｂａ₅、Ｂａ₆）がウエハオフセットＯの推定値を決定する。５番目の推定値（ｚ＝５）として、ベクトルＢａ₅を除外し、ベクトルのセット（Ｂａ₁、Ｂａ₂、Ｂａ₃、Ｂａ₄、Ｂａ₆）がウエハオフセットＯの推定値を決定する。６番目の推定値（ｚ＝６）として、ベクトルＢａ₆を除外し、ベクトルのセット（Ｂａ₁、Ｂａ₂、Ｂａ₃、Ｂａ₄、Ｂａ₅）がウエハオフセットＯの推定値を決定する。

図７は、いくつかの実施形態によるコントローラ６０７の例示的な図を示す。様々な実施形態において、コントローラ６０７は、プロセッサ７０１、ストレージハードウェアユニット（ＨＵ）７０３（例えば、メモリ）、入力ＨＵ７０５、出力ＨＵ７０７、入力／出力（Ｉ／Ｏ）インターフェース７０９、Ｉ／Ｏインターフェース７１１、ネットワークインターフェースコントローラ（ＮＩＣ）７１３、およびデータ通信バス７１５を含む。プロセッサ７０１、ストレージＨＵ７０３、入力ＨＵ７０５、出力ＨＵ７０７、Ｉ／Ｏインターフェース７０９、Ｉ／Ｏインターフェース７１１、およびＮＩＣ７１３は、データ通信バス７１５を介して互いにデータ通信することができる。入力ＨＵ７０５は、ロボット６０１およびセンサ２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃなどのいくつかの外部デバイスからのデータ通信を受信するように構成される。入力ＨＵ７０５の例としては、データ収集システム、データ収集カードなどが挙げられる。出力ＨＵ７０７は、ロボット６０１などのいくつかの外部デバイスにデータを送信するように構成される。出力ＨＵ７０７の一例は、デバイスコントローラである。ＮＩＣ７１３の例としては、ネットワークインターフェースカード、ネットワークアダプタなどが挙げられる。Ｉ／Ｏインターフェース７０９および７１１の各々は、Ｉ／Ｏインターフェースに接続された異なるハードウェアユニット間の互換性を提供するように定義される。例えば、Ｉ／Ｏインターフェース７０９は、入力ＨＵ７０５から受信した信号を、データ通信バス７１５と互換性のある形式、振幅、および／または速度に変換するように定義することができる。また、Ｉ／Ｏインターフェース７１１は、データ通信バス７１５から受信した信号を、出力ＨＵ７０７と互換性のある形式、振幅、および／または速度に変換するように定義することができる。本明細書では、コントローラ６０７のプロセッサ７０１によって実施されるものとして様々な動作が説明されているが、いくつかの実施形態では、様々な動作が、コントローラ６０７の複数のプロセッサによって、および／またはコントローラ６０７とデータ通信する複数のコンピューティングシステムの複数のプロセッサによって実施され得ることを理解されたい。また、いくつかの実施形態では、コントローラ６０７に関連するユーザインターフェースが存在する。ユーザインターフェースは、ディスプレイ（例えば、装置および／またはプロセス条件のディスプレイ画面および／またはグラフィカルソフトウェアディスプレイ）およびポインティングデバイス、キーボード、タッチスクリーン、マイクロフォンなどのユーザ入力デバイスを含み得る。