JP7450609B2 - フィデューシャルフィルタリング自動ウエハセンタリングプロセスおよび関連するシステム - Google Patents
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Description
[形態1]
自動ウエハセンタリング方法であって、
ロボットのウエハハンドリング構成要素上にウエハを位置決めすることと、
前記ロボットを動作させて前記ウエハハンドリング構成要素を移動させ、前記ウエハがセンサアレイを通って移動するようにすることであって、前記センサアレイ内の各センサは、前記ウエハのエッジが前記センサを通過する時点を検出して信号を送るように構成されることと、
ウエハエッジ検出位置の数(N)を決定することであって、各ウエハエッジ検出位置は、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記センサアレイの任意のセンサが前記ウエハの前記エッジを検出する位置であり、前記ウエハハンドリング構成要素の座標系における座標(x,y)のセットによって定義されることと、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の各固有のセット(N-1)に対して、性能指標値を実質的に最小化する推定ウエハオフセットを決定することであって、前記推定ウエハオフセットは、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系の中心から前記ウエハの推定中心位置に延びるベクトルとして定義され、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の各固有のセット(N-1)は、対応する推定ウエハオフセットおよび対応する性能指標値を有することと、
対応する性能指標値の最小値を有する前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記固有のセット(N-1)に対応する前記推定ウエハオフセットとして、最終ウエハオフセットを識別することと、
前記最終ウエハオフセットを使用して、前記ウエハをターゲットステーションの中心に配置することと
を含む、自動ウエハセンタリング方法。
[形態2]
形態1に記載の方法であって、
前記センサアレイは、少なくとも3つのセンサを含む、方法。
[形態3]
形態1に記載の方法であって、
前記センサアレイは、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記ウエハの中心の進行方向に対して前記ウエハの第1の半分を通過するように位置決めされた少なくとも1つのセンサを含み、前記センサアレイは、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記ウエハの前記中心の前記進行方向に対して前記ウエハの第2の半分を通過するように位置決めされた少なくとも1つのセンサを含む、方法。
[形態4]
形態1に記載の方法であって、
前記センサアレイ内の各センサは、光ビームセンサである、方法。
[形態5]
形態4に記載の方法であって、
前記光ビームセンサは、前記光ビームセンサの光ビームが前記ウエハによって遮断されたとき、前記ウエハの前記エッジの検出を示す信号を送信するように構成され、前記光ビームセンサは、前記光ビームセンサの遮断された光ビームが再形成されたとき、前記ウエハの前記エッジの検出を示す信号を送信するように構成される、方法。
[形態6]
形態1に記載の方法であって、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の所与の固有のセット(N-1)に対する前記推定ウエハオフセットは、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系内で前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)に最適な円の中心に対応する、方法。
[形態7]
形態6に記載の方法であって、
前記性能指標値は、前記ウエハのi番目のウエハエッジ検出位置での前記ウエハの推定ウエハ半径と既知の公称半径との差の2乗であり、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)にわたって合計されたものとして定義され、最小化された性能指標値および関連する推定ウエハ中心は、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系内で前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)に最適な円に対応する、方法。
[形態8]
形態1に記載の方法であって、
前記対応する性能指標値の最小値を有する前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記固有のセット(N-1)は、前記ウエハのフィデューシャルにおいて、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の1つを除外する、方法。
[形態9]
自動ウエハセンタリングシステムであって、
センサアレイであって、前記センサアレイ内の各センサは、ウエハのエッジが前記センサを通過するときを検出するように構成されるセンサアレイと、
ロボットのウエハハンドリング構成要素がウエハを前記ウエハハンドリング構成要素上に保持した状態で移動するときに前記ウエハハンドリング構成要素の位置を示すデータを受信するように構成されたコントローラであって、前記コントローラは、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記センサアレイから信号を受信するように構成され、前記信号は、前記ウエハの前記エッジが前記センサアレイの特定のセンサを通過するときを示すコントローラと
を備え、
前記コントローラは、ウエハエッジ検出位置の数(N)を決定するように構成され、各ウエハエッジ検出位置は、前記センサアレイの任意のセンサが前記ウエハの前記エッジを検出する位置であり、前記ウエハハンドリング構成要素の座標系における座標(x,y)のセットによって定義され、
前記コントローラは、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の各固有のセット(N-1)に対する性能指標値を実質的に最小化する推定ウエハオフセットを決定するように構成され、前記推定ウエハオフセットは、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系の中心から前記ウエハの推定中心位置に延びるベクトルとして定義され、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の各固有のセット(N-1)は、対応する推定ウエハオフセットおよび対応する性能指標値を有し、
前記コントローラは、対応する性能指標値の最小値を有する前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記固有のセット(N-1)に対応する前記推定ウエハオフセットとして、最終ウエハオフセットを識別するように構成され、
前記コントローラは、前記最終ウエハオフセットを使用して、前記ウエハをターゲットステーションの中心に配置する指示を前記ロボットに与えるように構成される、
自動ウエハセンタリングシステム。
[形態10]
形態9に記載のシステムであって、
前記センサアレイは、少なくとも3つのセンサを含む、システム。
[形態11]
形態9に記載のシステムであって、
前記センサアレイは、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記ウエハの中心の進行方向に対して前記ウエハの第1の半分を通過するように位置決めされた少なくとも1つのセンサを含み、前記センサアレイは、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記ウエハの前記中心の前記進行方向に対して前記ウエハの第2の半分を通過するように位置決めされた少なくとも1つのセンサを含む、システム。
[形態12]
形態9に記載のシステムであって、
前記センサアレイ内の各センサは、光ビームセンサである、システム。
[形態13]
形態12に記載のシステムであって、
前記光ビームセンサは、前記光ビームセンサの光ビームが前記ウエハによって遮断されたとき、前記ウエハの前記エッジの検出を示す信号を送信するように構成され、前記光ビームセンサは、前記光ビームセンサの遮断された光ビームが再形成されたとき、前記ウエハの前記エッジの検出を示す信号を送信するように構成される、システム。
[形態14]
形態9に記載のシステムであって、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の所与の固有のセット(N-1)に対する前記推定ウエハオフセットは、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系内で前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)に最適な円の中心に対応する、システム。
[形態15]
形態14に記載のシステムであって、
前記性能指標値は、前記ウエハのi番目のウエハエッジ検出位置での前記ウエハの推定ウエハ半径と既知の公称半径との差の2乗であり、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)にわたって合計されたものとして定義され、最小化された性能指標値および関連する推定ウエハ中心は、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系内で前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)に最適な円に対応する、システム。
[形態16]
形態9に記載のシステムであって、
前記対応する性能指標値の最小値を有する前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記固有のセット(N-1)は、前記ウエハのフィデューシャルにおいて、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の1つを除外する、システム。
[形態17]
自動ウエハセンタリング方法であって、
ウエハエッジ検出位置の数(N)を取得することであって、各ウエハエッジ検出位置は、ウエハハンドリング構成要素の座標系における座標(x,y)のセットによって定義されることと、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の各固有のセット(N-1)に対して最小化された性能指標値を決定することであって、前記最小化された性能指標値は、関連する推定ウエハオフセットを有し、前記関連する推定ウエハオフセットは、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系内で前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の対応する固有のセット(N-1)に最適な円の中心に対応することと、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)について最小化された性能指標値の最小値を決定することと、
前記最小化された性能指標値の最小値およびその関連するウエハオフセットを使用して、前記ウエハをターゲットステーションの中心に配置することと
を含む、自動ウエハセンタリング方法。
[形態18]
形態17に記載の方法であって、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)は、少なくとも3つのセンサを含む光ビームセンサアレイに前記ウエハを通過させることによって取得される、方法。
[形態19]
形態17に記載の方法であって、
前記性能指標値は、前記ウエハのi番目のウエハエッジ検出位置での前記ウエハの推定ウエハ半径と既知の公称半径との差の2乗であり、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の所与の固有のセット(N-1)にわたって合計されたものとして定義される、方法。
[形態20]
形態17に記載の方法であって、
前記最小化された性能指標値の最小値を有する前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の特定の固有のセット(N-1)は、前記ウエハのフィデューシャルにおいて、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の1つを除外する、方法。
Claims (15)
- 自動ウエハセンタリング方法であって、
ロボットを動作させてウエハハンドリング構成要素を移動させ、ウエハがセンサアレイを通って移動するようにすることであって、前記センサアレイ内の各センサは、前記ウエハのエッジが前記センサを通過する時点を検出して信号を送るように構成されることと、
前記ウエハが前記センサアレイを通過した後にウエハエッジ検出位置の数(N)を決定することであって、各ウエハエッジ検出位置は、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記センサアレイの任意のセンサが前記ウエハの前記エッジを検出する位置であり、前記ウエハハンドリング構成要素の座標系における座標(x,y)のセットによって定義されることと、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の各固有のセット(N-1)に対して、性能指標値を実質的に最小化する推定ウエハオフセットを決定することであって、前記推定ウエハオフセットは、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系の中心から前記ウエハの推定中心位置に延びるベクトルとして定義され、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の各固有のセット(N-1)は、対応する推定ウエハオフセットおよび対応する性能指標値を有することと、
対応する性能指標値の最小値を有する前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記固有のセット(N-1)に対応する前記推定ウエハオフセットとして、最終ウエハオフセットを識別することと、
前記最終ウエハオフセットを使用して、前記ウエハをターゲットステーションの中心に配置することと
を含み、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の所与の固有のセット(N-1)に対する前記推定ウエハオフセットは、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系内で前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)に最適な円の中心に対応し、
前記性能指標値は、前記ウエハのi番目のウエハエッジ検出位置での前記ウエハの推定ウエハ半径と既知の公称半径との差の2乗であり、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)にわたって合計されたものとして定義され、最小化された性能指標値および関連する推定ウエハ中心は、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系内で前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)に最適な円に対応する、自動ウエハセンタリング方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記センサアレイは、少なくとも3つのセンサを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記センサアレイは、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記ウエハの中心の進行方向に対して前記ウエハの第1の半分を通過するように位置決めされた少なくとも1つのセンサを含み、前記センサアレイは、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記ウエハの前記中心の前記進行方向に対して前記ウエハの第2の半分を通過するように位置決めされた少なくとも1つのセンサを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記センサアレイ内の各センサは、光ビームセンサである、方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記光ビームセンサは、前記光ビームセンサの光ビームが前記ウエハによって遮断されたとき、前記ウエハの前記エッジの検出を示す信号を送信するように構成され、前記光ビームセンサは、前記光ビームセンサの遮断された光ビームが再形成されたとき、前記ウエハの前記エッジの検出を示す信号を送信するように構成される、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記対応する性能指標値の最小値を有する前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記固有のセット(N-1)は、前記ウエハのフィデューシャルにおいて、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の1つを除外する、方法。 - 自動ウエハセンタリングシステムであって、
センサアレイであって、前記センサアレイ内の各センサは、ウエハのエッジが前記センサを通過するときを検出するように構成されるセンサアレイと、
ロボットのウエハハンドリング構成要素がウエハを前記ウエハハンドリング構成要素上に保持した状態で移動するときに前記ウエハハンドリング構成要素の位置を示すデータを前記センサアレイから受信するように構成されたコントローラと
を備え、
前記コントローラは、ウエハエッジ検出位置の数(N)を決定するようにさらに構成され、各ウエハエッジ検出位置は、前記ウエハハンドリング構成要素の座標系における座標(x,y)のセットによって定義され、
前記コントローラは、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の各固有のセット(N-1)に対する性能指標値を実質的に最小化する推定ウエハオフセットを決定するようにさらに構成され、前記推定ウエハオフセットは、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系の中心から前記ウエハの推定中心位置に延びるベクトルとして定義され、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の各固有のセット(N-1)は、対応する推定ウエハオフセットおよび対応する性能指標値を有し、
前記コントローラは、対応する性能指標値の最小値を有する前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記固有のセット(N-1)に対応する前記推定ウエハオフセットとして、最終ウエハオフセットを識別するようにさらに構成され、
前記自動ウエハセンタリングシステムは、前記最終ウエハオフセットを使用して、前記ウエハをターゲットステーションの中心に配置するように構成され、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の所与の固有のセット(N-1)に対する前記推定ウエハオフセットは、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系内で前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)に最適な円の中心に対応し、
前記性能指標値は、前記ウエハのi番目のウエハエッジ検出位置での前記ウエハの推定ウエハ半径と既知の公称半径との差の2乗であり、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)にわたって合計されたものとして定義され、最小化された性能指標値および関連する推定ウエハ中心は、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系内で前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記所与の固有のセット(N-1)に最適な円に対応する、
自動ウエハセンタリングシステム。 - 請求項7に記載のシステムであって、
前記センサアレイは、少なくとも3つのセンサを含む、システム。 - 請求項7に記載のシステムであって、
前記センサアレイは、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記ウエハの中心の進行方向に対して前記ウエハの第1の半分を通過するように位置決めされた少なくとも1つのセンサを含み、前記センサアレイは、前記ウエハが前記センサアレイを通って移動するときに前記ウエハの前記中心の前記進行方向に対して前記ウエハの第2の半分を通過するように位置決めされた少なくとも1つのセンサを含む、システム。 - 請求項7に記載のシステムであって、
前記センサアレイ内の各センサは、光ビームセンサである、システム。 - 請求項10に記載のシステムであって、
前記光ビームセンサは、前記光ビームセンサの光ビームが前記ウエハによって遮断されたとき、前記ウエハの前記エッジの検出を示す信号を送信するように構成され、前記光ビームセンサは、前記光ビームセンサの遮断された光ビームが再形成されたとき、前記ウエハの前記エッジの検出を示す信号を送信するように構成される、システム。 - 請求項7に記載のシステムであって、
前記対応する性能指標値の最小値を有する前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の前記固有のセット(N-1)は、前記ウエハのフィデューシャルにおいて、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の1つを除外する、システム。 - 自動ウエハセンタリング方法であって、
ウエハエッジ検出位置の数(N)を取得することであって、各ウエハエッジ検出位置は、ウエハハンドリング構成要素の座標系における座標(x,y)のセットによって定義されることと、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の各固有のセット(N-1)に対して最小化された性能指標値を決定することであって、前記最小化された性能指標値は、関連する推定ウエハオフセットを有し、前記関連する推定ウエハオフセットは、前記ウエハハンドリング構成要素の前記座標系内で前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の対応する固有のセット(N-1)に最適な円の中心に対応することと、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)について最小化された性能指標値の最小値を決定することと、
前記最小化された性能指標値の最小値およびその関連するウエハオフセットを使用して、前記ウエハをターゲットステーションの中心に配置することと
を含み、
前記性能指標値は、前記ウエハのi番目のウエハエッジ検出位置での前記ウエハの推定ウエハ半径と既知の公称半径との差の2乗であり、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の所与の固有のセット(N-1)にわたって合計されたものとして定義される、自動ウエハセンタリング方法。 - 請求項13に記載の方法であって、
前記ウエハエッジ検出位置の数(N)は、少なくとも3つのセンサを含む光ビームセンサアレイに前記ウエハを通過させることによって取得される、方法。 - 請求項13に記載の方法であって、
前記最小化された性能指標値の最小値を有する前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の特定の固有のセット(N-1)は、前記ウエハのフィデューシャルにおいて、前記ウエハエッジ検出位置の数(N)の1つを除外する、方法。
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