JP2014132667A - 基板搬送装置、基板搬送方法及びその基板搬送方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
基台と、基台から進退自在に設けられ、基板Wを保持する保持部3Aと、保持部3Aが基板Wを保持した状態で後退しているときに、保持部3Aが保持している基板Wの周縁部の位置を、それぞれ異なる位置で検出する4個以上の検出部5と、検出部5が周縁部の位置を検出した検出値に基づいて、検出部5のいずれかが基板Wの周縁部の切欠きが設けられた部分WNを検出したか否かを判定し、一の検出部5が切欠きが設けられた部分WNを検出したと判定したときに、一の検出部5以外の3個の検出部5の検出値に基づいて、次の処理ユニットに搬送するときに処理ユニットの基板Wの受渡し位置に補正する、制御部とを有する。
【選択図】図7
Description
(第1の実施の形態)
先ず、図1から図4を参照し、本発明の第1の実施の形態に係る基板処理装置である、塗布現像装置に露光装置を接続したレジストパターン形成装置について、図面を参照しながら簡単に説明する。
ADC56は、CCDラインセンサ52からの検出信号であるアナログ出力信号を、検出部5A〜5Dから出力するために、デジタル変換するためのものである。
Δa[mm]={(a'点の画素数)−(a点の画素数)}×画素間隔[mm] (1)
Δb[mm]={(b'点の画素数)−(b点の画素数)}×画素間隔[mm] (2)
Δc[mm]={(c'点の画素数)−(c点の画素数)}×画素間隔[mm] (3)
Δd[mm]={(d'点の画素数)−(d点の画素数)}×画素間隔[mm] (4)
なお、a点の画素数とは、リニアイメージセンサ52のウェハWの中心側における始点からa点までにおける画素の数を意味する。
=(X−(R+Δa)sinθ1,Y−(R+Δa)cosθ1) (6) b点 (X2,Y2)=(X−Rsinθ2,Y+Rcosθ2) (7) b'点 (X2',Y2')=(X2−Δbsinθ2,Y2+Δbcosθ2)
=(X−(R+Δb)sinθ2,Y+(R+Δb)cosθ2) (8) c点 (X3,Y3)=(X+Rsinθ3,Y+Rcosθ3) (9) c'点 (X3',Y3')=(X3+Δcsinθ3,Y3+Δccosθ3)
=(X+(R+Δc)sinθ3,Y+(R+Δc)cosθ3) (10) d点 (X4,Y4)=(X+Rsinθ4,Y−Rcosθ4) (11) d'点 (X4',Y4')=(X4+Δdsinθ4,Y4−Δdcosθ4)
=(X+(R+Δd)sinθ4,Y−(R+Δd)cosθ4) (12) 従って、式(6)、式(8)、式(10)、式(12)により、a´点(X1´,Y1´)、b´点(X2´,Y2´)、c´点(X3´,Y3´)、d´点(X4´,Y4´)の座標を求めることができる。
このときは、4個のリニアイメージセンサ52A〜52DのいずれかがウェハWの切欠部を検出したと判定される。図14に示す例では、ウェハWのノッチ(切欠部)WNが平面視においてb´点の近傍にある。
ΔX[mm]=X´−X (16)
ΔY[mm]=Y´−Y (17)
により算出する。
例えば、異常の発生したCCDが全く光を検出できないとき、異常の発生したCCDよりなる画素は、例えば第1の値n1等の、第2の値n2と異なる値を検出する。従って、フォーク3AがウェハWを保持していないときに、第2の値n2でない検出値を有する画素があるとき、制御部6は、リニアイメージセンサ52に異常が発生していると判定することができる。
(第2の実施の形態)
次に、図23から図25を参照し、本発明の第2の実施の形態に係る基板処理方法について説明する。
従って、4つの検出部5のうち、いずれか1つがなくてもよい。
(第2の実施の形態の第1の変形例)
次に、図26を参照し、本発明の第2の実施の形態の第1の変形例に係る基板処理方法について説明する。
そして、モジュール間移動工程+ノッチ回避工程(ステップS50)の後、再検出工程(ステップS51)から再ずれ量計算工程(ステップS53)を行う。再検出工程(ステップS51)、再中心位置算出工程(ステップS52)、及び再ずれ量計算工程(ステップS53)は、検出工程(ステップS43)、中心位置算出工程(ステップS44)、及びずれ量計算工程(ステップS46)のそれぞれと同様にして行うことができる。
(第2の実施の形態の第2の変形例)
次に、図27を参照し、本発明の第2の実施の形態の第2の変形例に係る基板処理方法について説明する。
31 基台
41A〜41D 真空吸着部
5、5A〜5D 検出部
51、51A〜51D 光源
52、52A〜52D リニアイメージセンサ
6 制御部
Claims (27)
- 基台と、
前記基台から進退自在に設けられ、円形の基板の裏面を保持爪により吸着保持する保持部と、
前記保持部が後退し基板を保持した状態でいるときに、前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を、それぞれ異なる位置で検出する4個の検出部と、
3個の検出部の組の検出値に基づいて基板の中心位置及び基板の半径を求め、求めた半径と基板の既知の半径とを比較するステップと、この比較結果により検出部が基板の周縁部の切欠きを検出していないと判定したときには、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求めるステップと、前記比較の結果、求めた半径と基板の既知の半径とが異なることにより検出部が前記切欠きを検出したと判定したときには、前記切欠きが前記検出部に検出されないように前記保持部を基台に対して進退させることにより前記検出部に対して移動させ、移動した前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を前記検出部により再び検出した再検出値に基づいて基板の中心位置を求め、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求めるステップと、求めたずれ量に基づいて基板が次の処理ユニットにおける受渡し位置に受け渡されるように搬送動作を補正するステップと、を実行するように制御信号を出力する制御部と、を有する基板搬送装置。 - 基台と、
前記基台から進退自在に設けられ、円形の基板の裏面を保持爪により吸着保持する保持部と、
前記保持部が後退し基板を保持した状態でいるときに、前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を、それぞれ異なる位置で検出する3個の検出部と、
3個の検出部の組の検出値に基づいて基板の中心位置及び基板の半径を求め、求めた半径と基板の既知の半径とを比較するステップと、この比較結果により検出部が基板の周縁部の切欠きを検出していないと判定したときには、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求めるステップと、前記比較の結果、求めた半径と基板の既知の半径とが異なることにより検出部が前記切欠きを検出したと判定したときには、前記切欠きが前記検出部に検出されないように前記保持部を基台に対して進退させることにより前記検出部に対して移動させ、移動した前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を前記検出部により再び検出した再検出値に基づいて基板の中心位置を求め、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求めるステップと、求めたずれ量に基づいて基板が次の処理ユニットにおける受渡し位置に受け渡されるように搬送動作を補正するステップと、を実行するように制御信号を出力する制御部と、を有する基板搬送装置。 - 前記検出部が前記切欠きを検出したと判定したときに前記切欠きが前記検出部に検出されないように前記保持部を基台に対して進退させる動作は、前記基台を搬送先の処理ユニットの前に移動させながら行われる請求項1または請求項2に記載の基板搬送装置。
- 前記制御部は、前記検出部が前記切欠きを検出したと判定し、前記切欠きが前記検出部に検出されないように前記保持部を基台に対して進退させ、前記ずれ量を求めた後、前記基台を処理ユニットの前まで移動するステップと、次いで、前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を前記検出部により検出し、当該検出における検出値に基づいて基板の中心位置を求め、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求めるステップと、を行う請求項1または請求項2に記載の基板搬送装置。
- 前記検出部が基板の周縁部の切欠きを検出していないと判定し、前記ずれ量を求めた後、前記基台を処理ユニットの前まで移動するステップと、次いで、前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を前記検出部により検出し、当該検出における検出値に基づいて基板の中心位置を求め、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求めるステップと、を行う請求項1または請求項2に記載の基板搬送装置。
- 前記受光部は、リニアイメージセンサであり、
前記制御部は、前記保持部が正常な状態で後退した位置にあるときにリニアイメージセンサの受光量が受光状態から遮光状態に変化した変化点の画素番号と、異常を判定すべき前記保持部が後退した位置にあるときにリニアイメージセンサの受光量が受光状態から遮光状態に変化した変化点の画素番号とを比較して、前記保持部の形状の異常を判定することを特徴とする、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 前記保持部は、上下に重なるように複数個設けられており、
前記検出部は、前記保持部のいずれか1個が基板を保持した状態で後退しているときに、前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を検出するものである、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 前記検出部の各々は、後退している前記保持部が保持している基板を上下から挟むように設けられた、一対の、光源と受光部とにより構成され、
前記受光部は、複数の受光素子が配列してなるものである、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 前記基台は、前記保持部の進退方向と直交して伸びるガイド機構に沿って移動できるように構成され、
前記保持部は、進退機構を介して前記基台にガイドされながら進退できるように構成され
前記光源と受光部とは、前記基台上における保持部に保持された基板の下面に対向する部位と、前記基台から伸び出している支持部材に支持され、前記基板の上面に対向する部位と、のうちの一方及び他方に設けられている、請求項8に記載の基板搬送装置。 - 前記制御部は、前記光源により発光した光が前記保持部に保持されている基板に通常遮られない位置に配置されている前記受光素子により、前記光の光量を検出し、検出した検出値に基づいて、前記光源の異常を検知するものである、請求項8または9に記載の基板搬送装置。
- 前記制御部は、前記保持部が基板を保持していないときに、前記受光素子により、前記光源により発光した光の光量を検出し、検出した検出値に基づいて、前記受光素子の異常を検知するものである、請求項8から請求項10のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 前記受光部は、リニアイメージセンサである、請求項8から請求項11のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 前記制御部は、一の前記検出部が、互いに異なる2つの前記周縁部の位置を検出したときに、前記基板が割れていると判定するものである、請求項1から請求項12のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 基台と、前記基台から進退自在に設けられ、円形の基板の裏面を保持爪により吸着保持する保持部と、前記保持部が後退し基板を保持した状態でいるときに、前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を、それぞれ異なる位置で検出する4個の検出部と、を有する、基板搬送装置における基板搬送方法であって、
3個の検出部の組の検出値に基づいて基板の中心位置及び基板の半径を求め、求めた半径と基板の既知の半径とを比較する工程と、
この比較結果により検出部が基板の周縁部の切欠きを検出していないと判定したときには、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求める工程と、
前記比較の結果、求めた半径と基板の既知の半径とが異なることにより検出部が前記切欠きを検出したと判定したときには、前記切欠きが前記検出部に検出されないように前記保持部を基台に対して進退させることにより前記検出部に対して移動させ、移動した前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を前記検出部により再び検出した再検出値に基づいて基板の中心位置を求め、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求める工程と、
求めたずれ量に基づいて基板が次の処理ユニットにおける受渡し位置に受け渡されるように搬送動作を補正する工程と、を含む、基板搬送方法。 - 基台と、前記基台から進退自在に設けられ、円形の基板の裏面を保持爪により吸着保持する保持部と、前記保持部が後退し基板を保持した状態でいるときに、前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を、それぞれ異なる位置で検出する3個の検出部と、を有する、基板搬送方法における基板搬送方法であって、
3個の検出部の組の検出値に基づいて基板の中心位置及び基板の半径を求め、求めた半径と基板の既知の半径とを比較する工程と、
この比較結果により検出部が基板の周縁部の切欠きを検出していないと判定したときには、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求める工程と、
前記比較の結果、求めた半径と基板の既知の半径とが異なることにより検出部が前記切欠きを検出したと判定したときには、前記切欠きが前記検出部に検出されないように前記保持部を基台に対して進退させることにより前記検出部に対して移動させ、移動した前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を前記検出部により再び検出した再検出値に基づいて基板の中心位置を求め、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求める工程と、
求めたずれ量に基づいて基板が次の処理ユニットにおける受渡し位置に受け渡されるように搬送動作を補正する工程と、を含む、基板搬送方法。 - 前記検出部が前記切欠きを検出したと判定したときに前記切欠きが前記検出部に検出されないように前記保持部を基台に対して進退させる動作は、前記基台を搬送先の処理ユニットの前に移動させながら行われる請求項14または請求項15に記載の基板搬送方法。
- 前記検出部が前記切欠きを検出したと判定し、前記切欠きが前記検出部に検出されないように前記保持部を基台に対して進退させ、前記ずれ量を求めた後、前記基台を処理ユニットの前まで移動する工程と、次いで、前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を前記検出部により検出し、当該検出における検出値に基づいて基板の中心位置を求め、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求める工程と、を行う、請求項14または15に記載の基板搬送方法。
- 前記検出部が基板の周縁部の切欠きを検出していないと判定し、前記ずれ量を求めた後、前記基台を処理ユニットの前まで移動する工程と、次いで、前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を前記検出部により検出し、当該検出における検出値に基づいて基板の中心位置を求め、求めた中心位置と、保持部の基準位置に保持されているときの基板の中心位置と、の間のずれ量を求める工程と、を行う請求項14または請求項15に記載の基板搬送方法。
- 前記受光部は、リニアイメージセンサであり、
前記保持部が正常な状態で後退した位置にあるときにリニアイメージセンサの受光量が受光状態から遮光状態に変化した変化点の画素番号と、異常を判定すべき前記保持部が後退した位置にあるときにリニアイメージセンサの受光量が受光状態から遮光状態に変化した変化点の画素番号とを比較して、前記保持部の形状の異常を判定することを特徴とする、請求項14から請求項18のいずれか一項に記載の基板搬送方法。 - 前記保持部は、上下に重なるように複数個設けられており、
前記検出部は、前記保持部のいずれか1個が基板を保持した状態で後退しているときに、前記保持部が保持している前記基板の周縁部の位置を検出するものである、請求項14から請求項19のいずれか一項に記載の基板搬送方法。 - 前記検出部の各々は、後退している前記保持部が保持している基板を上下から挟むように設けられた、一対の、光源と受光部とにより構成され、
前記受光部は、複数の受光素子が配列してなるものである、請求項14から請求項20のいずれか一項に記載の基板搬送方法。 - 前記基台は、前記保持部の進退方向と直交して伸びるガイド機構に沿って移動できるように構成され、
前記保持部は、進退機構を介して前記基台にガイドされながら進退できるように構成され
前記光源と受光部とは、前記基台上における保持部に保持された基板の下面に対向する部位と、前記基台から伸び出している支持部材に支持され、前記基板の上面に対向する部位と、のうちの一方及び他方に設けられている、請求項21記載の基板搬送方法。 - 前記光源により発光した光が前記保持部に保持されている基板に通常遮られない位置に配置されている前記受光素子により、前記光の光量を検出し、検出した検出値に基づいて、前記光源の異常を検知する、請求項21または請求項22に記載の基板搬送方法。
- 前記保持部が基板を保持していないときに、前記受光素子により、前記光源により発光した光の光量を検出し、検出した検出値に基づいて、前記受光素子の異常を検知する、請求項21から請求項23に記載の基板搬送方法。
- 前記受光部は、リニアイメージセンサである、請求項14から請求項24のいずれか一項に記載の基板搬送方法。
- 一の前記検出部が、互いに異なる2つの前記周縁部の位置を検出したときに、前記基板が割れていると判定する、請求項14から請求項25のいずれかに記載の基板搬送方法。
- コンピュータに請求項14から請求項26のいずれかに記載の基板搬送方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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