JPWO2019217078A5 - - Google Patents

Description

例示的な実施形態を参照しながら本発明を具体的に図示・説明したが、当業者であれば、添付の特許請求の範囲に包含された本発明の範囲を逸脱しない範疇で形態や細部に様々な変更が施されてもよいことを理解するであろう。
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様１〕
流量制限体、流量調整弁、および当該流量制限体と当該流量調整弁との間にある流路圧力センサをそれぞれ具備した、複数の流路と、
前記複数の流路から又は前記複数の流路へと流体を運ぶ共有流路であって、当該共有流路と前記流路圧力センサとの間に各流路の前記流量制限体がある、共有流路と、
共有流路圧力を検出するように構成された、前記共有流路における共有圧力センサと、
流路圧力及び前記共有流路圧力に基づいて各流路内の質量流量を求め、各流路内の質量流量を制御するように前記流路の前記流量調整弁を制御するコントローラと、
を備える、流体制御システム。
〔態様２〕
態様１に記載の流体制御システムにおいて、前記複数の流路の各流路が、さらに、温度センサを具備している、流体制御システム。
〔態様３〕
態様１または２に記載の流体制御システムにおいて、前記コントローラが、各流路内の質量流量を、当該流路を流れる前記流体の特性、前記流量制限体の特性、および前記流量制限体と前記共有圧力センサとの間の流路特性に基づいて求める、流体制御システム。
〔態様４〕
態様３に記載の流体制御システムにおいて、前記流路特性が、前記流路の、前記流量制限体から前記共有圧力センサまでの容積及び長さである、流体制御システム。
〔態様５〕
態様１から４のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、前記コントローラが：（１）前記複数の流路について、前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接した位置の流路圧力；（２）各流路内の質量流量；および（３）前記共有流路内の総質量流量；を再帰的に求める、流体制御システム。
〔態様６〕
態様１から５のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、前記コントローラが、前記複数の流路のうちの所与の流路内の質量流量を：（ｉ）当該流路について、流路圧力検出値を提供する前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの流路圧力を仮定し；（ｉｉ）前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの前記流路圧力、および当該流路の前記流路圧力検出値に基づいて、当該流路内の当該質量流量を求めて；（ｉｉｉ）前記複数の流路の各流路内の質量流量に基づいて総質量流量を求めて；（ｉｖ）当該流路について、（ｉｉｉ）で求めた前記総質量流量を用いて、前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの前記流路圧力を計算し；（ｉｉ）～（ｉｖ）を繰り返す；ことによって求める、流体制御システム。
〔態様７〕
態様１から６のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、前記共有流路が、前記複数の流路の下流側にある、流体制御システム。
〔態様８〕
態様１から６のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、前記共有流路が、前記複数の流路の上流側にある、流体制御システム。
〔態様９〕
態様１から６のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、さらに、
流量制限体、流量調整弁、および当該流量制限体と当該流量調整弁との間にある流路圧力センサをそれぞれ具備した、第２の複数の流路、
を備え、前記共有流路が、前記複数の流路から前記第２の複数の流路へと流体を運び、前記第２の複数の流路の各流路では、前記流路圧力センサと前記共有流路との間に前記流量制限体があり、前記コントローラが、さらに、前記第２の複数の流路の各流路内の質量流量を流路圧力及び前記共有流路圧力に基づいて求め、各流路内の質量流量を制御するように前記流路の前記流量調整弁を制御する、流体制御システム。
〔態様１０〕
態様１から６、および態様９のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、前記コントローラが、前記共有流路の上流側にあるｉ番目の流路について、流路圧力センサとは反対側で流量制限体に隣接したところの流路圧力を、式（１）：
Ｐ_ｄ，ｉ＝ｆ_Ｐｄ（Ｐ_ｄ，Ｑ_ｔ，Ｖ_ｉ，Ｌ_ｉ） （１）
（式中、ｆ _Ｐｄ は、前記共有圧力センサで検出された下流側圧力Ｐ _ｄ 、前記共有流路内の総流量Ｑ _ｔ 、ならびに前記ｉ番目の流路の、制限体から前記共有圧力センサまでの容積Ｖ _ｉ 及び長さＬ _ｉ の関数である。）
を用いて計算する、流体制御システム。
〔態様１１〕
態様１０に記載の流体制御システムにおいて、ｆ _Ｐｄ は、経験則的データおよび／または実験で得られたものである、流体制御システム。
〔態様１２〕
態様１０または１１に記載の流体制御システムにおいて、ｆ _Ｐｄ は、式（２）：
ｆ _Ｐｄ （Ｐ _ｄ ，Ｑ _ｔ ，Ｖ _ｉ ，Ｌ _ｉ ）＝ｋ _ｉ，１ ×Ｐ _ｄ ＋ｋ _ｉ，２ ×Ｑ _ｔ ＋ｋ _ｉ，３ ×Ｖ _ｉ ＋ｋ _ｉ，４ ×Ｌ _ｉ
（２）
（式中、ｋ _ｉ，１ 、ｋ _ｉ，２ 、ｋ _ｉ，３ 及びｋ _ｉ，４ は、経験則的に又は実験で得られた線形係数である。）
により表される、流体制御システム。
〔態様１３〕
態様１から６および態様９から１２のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、前記コントローラが、ｊ番目の流路について、流路圧力センサとは反対側で流量制限体に隣接したところの流路圧力を、式（６）：
Ｐ _ｕ，ｊ ＝ｆ _Ｐｕ （Ｐ _ｕ ，Ｑ _ｔ ，Ｖ _ｊ ，Ｌ _ｊ ） （６）
（式中、ｆ _Ｐｕ は、前記共有圧力センサで検出された上流側圧力Ｐ _ｕ 、前記共有流路内の総流量Ｑ _ｔ 、ならびに前記ｊ番目の流路の、制限体から前記共有圧力センサまでの容積Ｖ _ｊ 及び長さＬ _ｊ の関数である。）
を用いて計算する、流体制御システム。
〔態様１４〕
態様１３に記載の流体制御システムにおいて、ｆ _Ｐｕ は、経験則的データおよび／または実験で得られたものである、流体制御システム。
〔態様１５〕
態様１３または１４に記載の流体制御システムにおいて、ｆ _Ｐｕ は、式：
ｆ _Ｐｕ （Ｐ _ｕ ，Ｑ _ｔ ，Ｖ _ｊ ，Ｌ _ｊ ）＝ｋ _ｊ，１ ×Ｐ _ｕ ＋ｋ _ｊ，２ ×Ｑ _ｔ ＋ｋ _ｊ，３ ×Ｖ _ｊ ＋ｋ _ｊ，４ ×Ｌ _ｊ
（７）
（式中、ｋ _ｊ，１ 、ｋ _ｊ，２ 、ｋ _ｊ，３ 及びｋ _ｊ，４ は、経験則的に又は実験で得られた線形係数である。）
により表される、流体制御システム。
〔態様１６〕
態様９から１５のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、前記第２の複数の流路の各流路が、さらに、温度センサを具備している、流体制御システム。
〔態様１７〕
態様１から１６のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、前記複数の流路が、一体的システムの一部である、流体制御システム。
〔態様１８〕
態様９から１６のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、前記複数の流路および前記第２の複数の流路が、一体的システムの一部である、流体制御システム。
〔態様１９〕
態様１８に記載の流体制御システムにおいて、前記共有圧力センサが、前記一体的システムの一部でない、流体制御システム。
〔態様２０〕
態様１から１９のいずれか一態様に記載の流体制御システムにおいて、前記流体が、ガスである、流体制御システム。
〔態様２１〕
流量制限体及び流量調整弁をそれぞれ具備した複数の流路に流体を流す過程と、
前記複数の流路から又は前記複数の流路へと共有流路を通して流体を流す過程と、
前記共有流路における共有流路圧力を検出する過程と、
各流路について、流量調整弁と流量制限体との間で流路圧力を検出する過程と、
前記流路圧力及び前記共有流路圧力に基づいて各流路内の質量流量を求める過程と、
各流路内の質量流量を制御するように前記流路の前記流量調整弁を制御する過程と、
を備える、流体制御方法。
〔態様２２〕
態様２１に記載の流体制御方法において、さらに、
各流路について、流量調整弁と流量制限体との間で流路温度を検出する過程、
を備える、流体制御方法。
〔態様２３〕
態様２１または２２に記載の流体制御方法において、各流路内の質量流量が、当該流路を流れる前記流体の特性、前記流量制限体の特性、および前記流量制限体と前記共有流路圧力が検出される箇所との間の流路特性に基づいて求められる、流体制御方法。
〔態様２４〕
態様２１または２２に記載の流体制御方法において、（１）各流路内の質量流量；（２）前記複数の流路について、前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接した位置の流路圧力；および（３）前記共有流路内の総質量流量；が再帰的に求められる、流体制御方法。
〔態様２５〕
態様２１から２４のいずれか一態様に記載の流体制御方法において、前記複数の流路のうちの所与の流路内の質量流量を求める過程が：（ｉ）当該流路について、前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの流路圧力を仮定すること；（ｉｉ）前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの前記流路圧力、および当該流路の前記流路圧力検出値に基づいて、当該流路内の当該質量流量を求めること；（ｉｉｉ）前記複数の流路の各流路内の質量流量に基づいて総質量流量を求めること；（ｉｖ）当該流路について、（ｉｉｉ）で求めた前記総質量流量を用いて、前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの前記流路圧力を計算すること；ならびに（ｉｉ）～（ｉｖ）を繰り返すこと；を含む、流体制御方法。
〔態様２６〕
態様２１から２５のいずれか一態様に記載の流体制御方法において、さらに、
前記複数の流路からの流体を、前記共有流路を通して、流量制限体及び流量調整弁をそれぞれ具備した第２の複数の流路に流す過程と、
前記第２の複数の流路の各流路について、流量調整弁と流量制限体との間で流路圧力及び流路温度を検出する過程と、
前記流路圧力及び前記共有流路圧力に基づいて前記第２の複数の流路の各流路内の質量流量を求める過程と、
を備える、流体制御方法。
〔態様２７〕
態様２１から２６のいずれか一態様に記載の流体制御方法において、さらに、
前記共有流路の上流側にあるｉ番目の流路について、流路圧力センサとは反対側で流量制限体に隣接したところの流路圧力を、式（１）：
Ｐ _ｄ，ｉ ＝ｆ _Ｐｄ （Ｐ _ｄ ，Ｑ _ｔ ，Ｖ _ｉ ，Ｌ _ｉ ） （１）
（式中、ｆ _Ｐｄ は、前記共有圧力センサで検出された下流側圧力Ｐ _ｄ 、前記共有流路内の総流量Ｑ _ｔ 、ならびに前記ｉ番目の流路の、制限体から前記共有圧力センサまでの容積Ｖ _ｉ 及び長さＬ _ｉ の関数である。）
を用いて計算する過程、
を備える、流体制御方法。
〔態様２８〕
態様２７に記載の流体制御システムにおいて、ｆ _Ｐｄ が、経験則的データおよび／または実験で得られたものである、流体制御システム。
〔態様２９〕
態様２７または２８に記載の流体制御システムにおいて、ｆ _Ｐｄ は、式（２）：
ｆ _Ｐｄ （Ｐ _ｄ ，Ｑ _ｔ ，Ｖ _ｉ ，Ｌ _ｉ ）＝ｋ _ｉ，１ ×Ｐ _ｄ ＋ｋ _ｉ，２ ×Ｑ _ｔ ＋ｋ _ｉ，３ ×Ｖ _ｉ ＋ｋ _ｉ，４ ×Ｌ _ｉ
（２）
（式中、ｋ _ｉ，１ 、ｋ _ｉ，２ 、ｋ _ｉ，３ 及びｋ _ｉ，４ は、経験則的に又は実験で得られた線形係数である。）
により表される、流体制御システム。
〔態様３０〕
態様２１から２９のいずれか一態様に記載の流体制御方法において、さらに、
前記共有流路の下流側にあるｊ番目の流路について、流路圧力センサとは反対側で流量制限体に隣接したところの流路圧力を、式（６）：
Ｐ _ｕ，ｊ ＝ｆ _Ｐｕ （Ｐ _ｕ ，Ｑ _ｔ ，Ｖ _ｊ ，Ｌ _ｊ ） （６）
（式中、ｆ _Ｐｄ は、前記共有圧力センサで検出された上流側圧力Ｐ _ｕ 、前記共有流路内の総流量Ｑ _ｔ 、ならびに前記ｊ番目の流路の、制限体から前記共有圧力センサまでの容積Ｖ _ｊ 及び長さＬ _ｊ の関数である。）
を用いて計算する過程、
を備える、流体制御方法。
〔態様３１〕
態様３０に記載の流体制御システムにおいて、ｆ _Ｐｕ は、経験則的データおよび／または実験で得られたものである、流体制御システム。
〔態様３２〕
態様３０または３１に記載の流体制御システムにおいて、ｆ _Ｐｕ は、式（７）：
ｆ _Ｐｕ （Ｐ _ｕ ，Ｑ _ｔ ，Ｖ _ｊ ，Ｌ _ｊ ）＝ｋ _ｊ，１ ×Ｐ _ｕ ＋ｋ _ｊ，２ ×Ｑ _ｔ ＋ｋ _ｊ，３ ×Ｖ _ｊ ＋ｋ _ｊ，４ ×Ｌ _ｊ
（７）
（式中、ｋ _ｊ，１ 、ｋ _ｊ，２ 、ｋ _ｊ，３ 及びｋ _ｊ，４ は、経験則的に又は実験で得られた線形係数である。）
により表される、流体制御システム。
〔態様３３〕
態様２６に記載の流体制御方法において、さらに、
前記第２の複数の流路の各流路について、流量調整弁と流量制限体との間で流路温度を検出する過程、
を備える、流体制御方法。
〔態様３４〕
態様２１から３３のいずれか一態様に記載の流体制御方法において、前記流体が、ガスである、流体制御方法。

Claims (34)

1. 流量制限体、流量調整弁、および当該流量制限体と当該流量調整弁との間にある流路圧力センサをそれぞれ具備した、複数の流路と、
   前記複数の流路から又は前記複数の流路へと流体を運ぶ共有流路であって、当該共有流路と前記流路圧力センサとの間に各流路の前記流量制限体がある、共有流路と、
   共有流路圧力を検出するように構成された、前記共有流路における共有圧力センサと、
   流路圧力及び前記共有流路圧力に基づいて各流路内の質量流量を求め、各流路内の質量流量を制御するように前記流路の前記流量調整弁を制御するコントローラと、
   を備える、流体制御システム。
2. 請求項１に記載の流体制御システムにおいて、前記複数の流路の各流路が、さらに、温度センサを具備している、流体制御システム。
3. 請求項１または２に記載の流体制御システムにおいて、前記コントローラが、各流路内の質量流量を、当該流路を流れる前記流体の特性、前記流量制限体の特性、および前記流量制限体と前記共有圧力センサとの間の流路特性に基づいて求める、流体制御システム。
4. 請求項３に記載の流体制御システムにおいて、前記流路特性が、前記流路の、前記流量制限体から前記共有圧力センサまでの容積及び長さである、流体制御システム。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、前記コントローラが：（１）前記複数の流路について、前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接した位置の流路圧力；（２）各流路内の質量流量；および（３）前記共有流路内の総質量流量；を再帰的に求める、流体制御システム。
6. 請求項１から５のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、前記コントローラが、前記複数の流路のうちの所与の流路内の質量流量を：（ｉ）当該流路について、流路圧力検出値を提供する前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの流路圧力を仮定し；（ｉｉ）前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの前記流路圧力、および当該流路の前記流路圧力検出値に基づいて、当該流路内の当該質量流量を求めて；（ｉｉｉ）前記複数の流路の各流路内の質量流量に基づいて総質量流量を求めて；（ｉｖ）当該流路について、（ｉｉｉ）で求めた前記総質量流量を用いて、前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの前記流路圧力を計算し；（ｉｉ）～（ｉｖ）を繰り返す；ことによって求める、流体制御システム。
7. 請求項１から６のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、前記共有流路が、前記複数の流路の下流側にある、流体制御システム。
8. 請求項１から６のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、前記共有流路が、前記複数の流路の上流側にある、流体制御システム。
9. 請求項１から６のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、さらに、
   流量制限体、流量調整弁、および当該流量制限体と当該流量調整弁との間にある流路圧力センサをそれぞれ具備した、第２の複数の流路、
   を備え、前記共有流路が、前記複数の流路から前記第２の複数の流路へと流体を運び、前記第２の複数の流路の各流路では、前記流路圧力センサと前記共有流路との間に前記流量制限体があり、前記コントローラが、さらに、前記第２の複数の流路の各流路内の質量流量を流路圧力及び前記共有流路圧力に基づいて求め、各流路内の質量流量を制御するように前記流路の前記流量調整弁を制御する、流体制御システム。
10. 請求項１から６、および請求項９のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、前記コントローラが、前記共有流路の上流側にあるｉ番目の流路について、流路圧力センサとは反対側で流量制限体に隣接したところの流路圧力を、式（１）：
    Ｐ_ｄ，ｉ＝ｆ_Ｐｄ（Ｐ_ｄ，Ｑ_ｔ，Ｖ_ｉ，Ｌ_ｉ） （１）
    （式中、ｆ_Ｐｄは、前記共有圧力センサで検出された下流側圧力Ｐ_ｄ、前記共有流路内の総流量Ｑ_ｔ、ならびに前記ｉ番目の流路の、制限体から前記共有圧力センサまでの容積Ｖ_ｉ及び長さＬ_ｉの関数である。）
    を用いて計算する、流体制御システム。
11. 請求項１０に記載の流体制御システムにおいて、ｆ_Ｐｄは、経験則的データおよび／または実験で得られたものである、流体制御システム。
12. 請求項１０または１１に記載の流体制御システムにおいて、ｆ_Ｐｄは、式（２）：
    ｆ_Ｐｄ（Ｐ_ｄ，Ｑ_ｔ，Ｖ_ｉ，Ｌ_ｉ）＝ｋ_ｉ，１×Ｐ_ｄ＋ｋ_ｉ，２×Ｑ_ｔ＋ｋ_ｉ，３×Ｖ_ｉ＋ｋ_ｉ，４×Ｌ_ｉ
    （２）
    （式中、ｋ_ｉ，１、ｋ_ｉ，２、ｋ_ｉ，３及びｋ_ｉ，４は、経験則的に又は実験で得られた線形係数である。）
    により表される、流体制御システム。
13. 請求項１から６および請求項９から１２のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、前記コントローラが、ｊ番目の流路について、流路圧力センサとは反対側で流量制限体に隣接したところの流路圧力を、式（６）：
    Ｐ_ｕ，ｊ＝ｆ_Ｐｕ（Ｐ_ｕ，Ｑ_ｔ，Ｖ_ｊ，Ｌ_ｊ） （６）
    （式中、ｆ_Ｐｕは、前記共有圧力センサで検出された上流側圧力Ｐ_ｕ、前記共有流路内の総流量Ｑ_ｔ、ならびに前記ｊ番目の流路の、制限体から前記共有圧力センサまでの容積Ｖ_ｊ及び長さＬ_ｊの関数である。）
    を用いて計算する、流体制御システム。
14. 請求項１３に記載の流体制御システムにおいて、ｆ_Ｐｕは、経験則的データおよび／または実験で得られたものである、流体制御システム。
15. 請求項１３または１４に記載の流体制御システムにおいて、ｆ_Ｐｕは、式：
    ｆ_Ｐｕ（Ｐ_ｕ，Ｑ_ｔ，Ｖ_ｊ，Ｌ_ｊ）＝ｋ_ｊ，１×Ｐ_ｕ＋ｋ_ｊ，２×Ｑ_ｔ＋ｋ_ｊ，３×Ｖ_ｊ＋ｋ_ｊ，４×Ｌ_ｊ
    （７）
    （式中、ｋ_ｊ，１、ｋ_ｊ，２、ｋ_ｊ，３及びｋ_ｊ，４は、経験則的に又は実験で得られた線形係数である。）
    により表される、流体制御システム。
16. 請求項９から１５のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、前記第２の複数の流路の各流路が、さらに、温度センサを具備している、流体制御システム。
17. 請求項１から１６のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、前記複数の流路が、一体的システムの一部である、流体制御システム。
18. 請求項９から１６のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、前記複数の流路および前記第２の複数の流路が、一体的システムの一部である、流体制御システム。
19. 請求項１８に記載の流体制御システムにおいて、前記共有圧力センサが、前記一体的システムの一部でない、流体制御システム。
20. 請求項１から１９のいずれか一項に記載の流体制御システムにおいて、前記流体が、ガスである、流体制御システム。
21. 流量制限体及び流量調整弁をそれぞれ具備した複数の流路に流体を流す過程と、
    前記複数の流路から又は前記複数の流路へと共有流路を通して流体を流す過程と、
    前記共有流路における共有流路圧力を検出する過程と、
    各流路について、流量調整弁と流量制限体との間で流路圧力を検出する過程と、
    前記流路圧力及び前記共有流路圧力に基づいて各流路内の質量流量を求める過程と、
    各流路内の質量流量を制御するように前記流路の前記流量調整弁を制御する過程と、
    を備える、流体制御方法。
22. 請求項２１に記載の流体制御方法において、さらに、
    各流路について、流量調整弁と流量制限体との間で流路温度を検出する過程、
    を備える、流体制御方法。
23. 請求項２１または２２に記載の流体制御方法において、各流路内の質量流量が、当該流路を流れる前記流体の特性、前記流量制限体の特性、および前記流量制限体と前記共有流路圧力が検出される箇所との間の流路特性に基づいて求められる、流体制御方法。
24. 請求項２１または２２に記載の流体制御方法において、（１）各流路内の質量流量；（２）前記複数の流路について、前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接した位置の流路圧力；および（３）前記共有流路内の総質量流量；が再帰的に求められる、流体制御方法。
25. 請求項２１から２４のいずれか一項に記載の流体制御方法において、前記複数の流路のうちの所与の流路内の質量流量を求める過程が：（ｉ）当該流路について、前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの流路圧力を仮定すること；（ｉｉ）前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの前記流路圧力、および当該流路の前記流路圧力検出値に基づいて、当該流路内の当該質量流量を求めること；（ｉｉｉ）前記複数の流路の各流路内の質量流量に基づいて総質量流量を求めること；（ｉｖ）当該流路について、（ｉｉｉ）で求めた前記総質量流量を用いて、前記流路圧力センサとは反対側で前記流量制限体に隣接したところの前記流路圧力を計算すること；ならびに（ｉｉ）～（ｉｖ）を繰り返すこと；を含む、流体制御方法。
26. 請求項２１から２５のいずれか一項に記載の流体制御方法において、さらに、
    前記複数の流路からの流体を、前記共有流路を通して、流量制限体及び流量調整弁をそれぞれ具備した第２の複数の流路に流す過程と、
    前記第２の複数の流路の各流路について、流量調整弁と流量制限体との間で流路圧力及び流路温度を検出する過程と、
    前記流路圧力及び前記共有流路圧力に基づいて前記第２の複数の流路の各流路内の質量流量を求める過程と、
    を備える、流体制御方法。
27. 請求項２１から２６のいずれか一項に記載の流体制御方法において、さらに、
    前記共有流路の上流側にあるｉ番目の流路について、流路圧力センサとは反対側で流量制限体に隣接したところの流路圧力を、式（１）：
    Ｐ_ｄ，ｉ＝ｆ_Ｐｄ（Ｐ_ｄ，Ｑ_ｔ，Ｖ_ｉ，Ｌ_ｉ） （１）
    （式中、ｆ_Ｐｄは、前記共有圧力センサで検出された下流側圧力Ｐ_ｄ、前記共有流路内の総流量Ｑ_ｔ、ならびに前記ｉ番目の流路の、制限体から前記共有圧力センサまでの容積Ｖ_ｉ及び長さＬ_ｉの関数である。）
    を用いて計算する過程、
    を備える、流体制御方法。
28. 請求項２７に記載の流体制御方法において、ｆ_Ｐｄが、経験則的データおよび／または実験で得られたものである、流体制御方法。
29. 請求項２７または２８に記載の流体制御方法において、ｆ_Ｐｄは、式（２）：
    ｆ_Ｐｄ（Ｐ_ｄ，Ｑ_ｔ，Ｖ_ｉ，Ｌ_ｉ）＝ｋ_ｉ，１×Ｐ_ｄ＋ｋ_ｉ，２×Ｑ_ｔ＋ｋ_ｉ，３×Ｖ_ｉ＋ｋ_ｉ，４×Ｌ_ｉ
    （２）
    （式中、ｋ_ｉ，１、ｋ_ｉ，２、ｋ_ｉ，３及びｋ_ｉ，４は、経験則的に又は実験で得られた線形係数である。）
    により表される、流体制御方法。
30. 請求項２１から２９のいずれか一項に記載の流体制御方法において、さらに、
    前記共有流路の下流側にあるｊ番目の流路について、流路圧力センサとは反対側で流量制限体に隣接したところの流路圧力を、式（６）：
    Ｐ_ｕ，ｊ＝ｆ_Ｐｕ（Ｐ_ｕ，Ｑ_ｔ，Ｖ_ｊ，Ｌ_ｊ） （６）
    （式中、ｆ_Ｐｄは、前記共有圧力センサで検出された上流側圧力Ｐ_ｕ、前記共有流路内の総流量Ｑ_ｔ、ならびに前記ｊ番目の流路の、制限体から前記共有圧力センサまでの容積Ｖ_ｊ及び長さＬ_ｊの関数である。）
    を用いて計算する過程、
    を備える、流体制御方法。
31. 請求項３０に記載の流体制御方法において、ｆ_Ｐｕは、経験則的データおよび／または実験で得られたものである、流体制御方法。
32. 請求項３０または３１に記載の流体制御方法において、ｆ_Ｐｕは、式（７）：
    ｆ_Ｐｕ（Ｐ_ｕ，Ｑ_ｔ，Ｖ_ｊ，Ｌ_ｊ）＝ｋ_ｊ，１×Ｐ_ｕ＋ｋ_ｊ，２×Ｑ_ｔ＋ｋ_ｊ，３×Ｖ_ｊ＋ｋ_ｊ，４×Ｌ_ｊ
    （７）
    （式中、ｋ_ｊ，１、ｋ_ｊ，２、ｋ_ｊ，３及びｋ_ｊ，４は、経験則的に又は実験で得られた線形係数である。）
    により表される、流体制御方法。
33. 請求項２６に記載の流体制御方法において、さらに、
    前記第２の複数の流路の各流路について、流量調整弁と流量制限体との間で流路温度を検出する過程、
    を備える、流体制御方法。
34. 請求項２１から３３のいずれか一項に記載の流体制御方法において、前記流体が、ガスである、流体制御方法。