JPH0953964A - 流量計の流路構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小流量測定手段の近傍における流体の流れを
均一に整えることにより測定精度を向上させることがで
きる流量計の流路構造を提供する。 【解決手段】 大流量を測定するためのフルイディック
素子２０を流路１５中に配設し、小流量を測定するため
の流速センサ３３を流路３１中に配設する。流速センサ
３３よりも上流側の流路３１中に圧力変動吸収装置４０
を配設し、圧力変動吸収装置４０の出口部４１２と流速
センサ３３との間の流路３１中に整流網３４を設ける。
整流網３４は、上流側から下流側に向かって適宜の間隔
をあけて配設された２個の網状部材３４ａによって形成
されており、流路３１の断面を覆っている。これによ
り、圧力変動吸収装置４０の出口部４１２から排出され
た気体は、整流網３４によって流れが均一に整えられた
のち、流速センサ３３に到達する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体の流量のうち
大流量を大流量計測手段によって測定し、一方、小流量
を小流量計測手段によって測定すると共に、小流量測定
手段の上流側流路中に圧力変動吸収装置を設けてなる流
量計の流路構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】ガスメータ等に利用される流量計とし
て、流体の流量のうち大流量をいわゆるフルイディック
発振を利用した大流量測定部（フルイディック素子）に
よって測定すると共に、小流量をフルイディック発振以
外の方法を利用した小流量測定部によって測定してなる
フルイディック流量計が考えられている。

【０００３】このフルイディック流量計は、流量計の上
流側に設けられたガスガバナやガスヒートポンプなどの
影響により流体に脈動などのノイズが生ずると、特に、
小流量測定部においてその圧力変動の影響を受けやすい
ことから、小流量測定部の上流側流路中に圧力変動吸収
装置を配設し、このようなノイズによる圧力変動を吸収
するように構成されていた。また、圧力変動吸収装置と
小流量測定部との間の流路中には、図１０に示したよう
に、流体を通過させるための直径１ｍｍ程度の孔が複数
形成された整流板１３４が配設されており、圧力変動吸
収装置の出口部から排出された流体の流れを均一に整え
るようになっていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
フルイディック流量計では、圧力変動吸収装置と小流量
測定部との間の流路中に整流板１３４を配設したもの
の、この整流板１３４では流体の流れを十分に均一に整
えることができなかった。そのため、小流量測定部の出
力のばらつきおよび出力と流量との関係の直線性を改善
することができず、測定精度を向上させることができな
いという問題があった。

【０００５】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、小流量測定手段における流体の流れ
を均一に整えることにより測定精度を向上させることが
できる流量計の流路構造を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
流体の流量のうち大流量を測定するための大流量測定手
段と小流量を測定するための小流量測定手段とを流体流
路中に配設すると共に、小流量測定手段の上流側流路中
に流体の圧力変動のうちノイズによる変動を吸収する圧
力変動吸収手段を設けてなる流量計の流路構造であっ
て、網状部材によって形成された整流網を、前記圧力変
動吸収手段の出口部と前記小流量測定手段との間の流体
流路中にその断面を覆うように設け、小流量測定手段近
傍における流体の流れを均一に整えるようにしたもので
ある。

【０００７】この流量計の流路構造では、圧力変動吸収
手段の出口部から排出された流体は、整流網によりその
流れが均一に整えられたのち、小流量測定手段に達す
る。

【０００８】請求項２記載の流量計の流路構造は、請求
項１記載のものにおいて、前記整流網を、流体の上流側
から下流側に向かって互いに所定の間隔をあけて配設さ
れた複数の網状部材によって構成したものである。

【０００９】請求項３記載の発明は、流体の流量のうち
大流量を測定する大流量測定手段と小流量を測定する小
流量測定手段とを流体流路中に配設すると共に、小流量
測定手段の上流側流路中に、上流側と下流側との差圧に
応じて入口部から流入した流体の圧力変動のうちノイズ
による変動を吸収する圧力変動吸収手段を設けてなる流
量計の流路構造であって、前記圧力変動吸収手段の出口
部と前記小流量測定手段との間に所定の長さを有する整
流路を形成し、この整流路により前記小流量測定手段近
傍における流体の流れを均一に整えるようにしたもので
ある。

【００１０】この流量計の流路構造では、圧力変動吸収
手段の出口部から排出された流体は、所定の長さの整流
路を経てその流れが均一に整えられたのち、小流量測定
手段に至る。

【００１１】請求項４記載の流量計の流路構造は、請求
項３記載のものにおいて、前記圧力変動吸収手段が、外
周面が流体流路の内周面との間に整流路を形成するよう
に配設されたケースと、このケース内を上流側と下流側
との間の差圧に応じて上下移動するフロートとからなる
と共に、前記ケースの出口部を前記小流量測定手段に対
向する位置から１８０度回転させた位置に形成し、前記
ケースの出口部から排出された流体が前記ケースの外周
面にそった整流路を経て前記小流量測定手段に至るよう
に構成したものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。

【００１３】図１は本発明の第１の実施の形態に係る流
量計の流路構造を表すものである。図２は図１に示した
流量計の流路構造のＩ−Ｉ線に沿った断面構造の一部を
拡大して表すものである。

【００１４】この流量計は、例えばガスメータとして使
用されるもので、気体（ガス）を受け入れる入口部１１
と気体を排出する出口部１２とを有する本体１０を備え
ている。本体１０内には隔壁１３が設けられ、入口部１
１から隔壁１３にかけて流路１４が設けられている。一
方、隔壁１３から出口部１２にかけて大流量測定用の流
路１５が設けられている。隔壁１３には開口部１６が設
けられている。開口部１６の上流側には、開口部１６を
開閉するための遮断弁１７が設けられている。遮断弁１
７にはロッド１８の一端が接続されている。このロッド
１８の他端側は、本体１０に固定されたアクチュエータ
１９に接続されている。このアクチュエータ１９はロッ
ド１８を介して遮断弁１７を駆動して開口部１６を開閉
するようになっている。

【００１５】流路１５内には、この流路１５を通過する
気体の流量を検出する大流量測定手段としてのフルイデ
ィック素子２０が設けられている。フルイディック素子
２０は、ノズル部２０１と、このノズル部２０１の下流
側に設けられ、拡大された流路を形成する一対の側壁２
０２，２０３を有している。これらの側壁２０２，２０
３の間には、所定の間隔を開けて、上流側に第１ターゲ
ット２０４、下流側に第２ターゲット２０５がそれぞれ
配設されている。側壁２０２，２０３の外側には、ノズ
ル部２０１を通過した気体を各側壁２０２，２０３の外
周部に沿ってノズル部２０１の噴出口側へ帰還させる一
対のフィードバック流路２０６，２０７を形成するため
のリターンガイド２０８が配設されている。フィードバ
ック流路２０６，２０７の各出口部分と出口部１２との
間には、リターンガイド２０８の背面と本体１０とによ
って、一対の排出路２０９，２１０が形成されている。

【００１６】フルイディック素子２０は、また、ノズル
部２０１の噴出口の近傍に設けられた導圧孔２１１，２
１２を有している。導圧孔２１１，２１２に対応する本
体１０の外側には、図示しない導圧路を介して導圧孔２
１１，２１２に連通し、導圧孔２１１と導圧孔２１２に
おける差圧を検出してフルイディック発振を検出するた
めの圧電膜センサが設けられている。

【００１７】本体１０内には、また、流路１５と並列的
に小流量測定用の流路３１が設けられており、この流路
３１により、流路１４と、流路１５のうちフルイディッ
ク素子２０よりも上流側の部分とが連通されている。こ
の流路３１の途中には拡幅部３２が形成されており、こ
の拡幅部３２内に圧力変動吸収装置４０が配設されてい
る。拡幅部３２の内周は、圧力変動吸収装置４０の外周
よりも大きく形成されており、圧力変動吸収装置４０の
外周にそって流路３１が形成されている。

【００１８】圧力変動吸収装置４０は、両端部が閉鎖さ
れた円筒形状のケース４１０内にフロート４２０を収容
したものである。ケース４１０の外周面は流路３１の内
周面に対向し、その底面は拡幅部３２の底部に固定され
ている。ケース４１０の底面には気体の入口部４１１が
形成されており、この入口部４１１が流路３１のうち拡
幅部３２よりも上流側に連通されている。ケース４１０
の外周面には気体の出口部４１２が形成されており、こ
の出口部４１２が流路３１のうち拡幅部３２よりも下流
側が連通されている。

【００１９】ケース４１０の底面内側には、下端面が入
口部４１１に対応して開放されると共に、上端面が閉鎖
された円筒形状の内ケース４１３が形成されている。こ
の内ケース４１３の側面には出口部４１２に対向する位
置に開口部４１４が形成されており、入口部４１１から
導入された気体が開口部４１４を介して出口部４１２か
ら排出されるようになっている。

【００２０】フロート４２０は円筒形状であって、下端
面が開放されると共に上端面が閉鎖されている。フロー
ト４２０の内周面は内ケース４１３の外周面に対向して
おり、外周面はケース４１０の内周面に対向している。
フロート４２０の内周面と内ケース４１３の外周面との
間およびフロート４２０の外周面とケース４１０の内周
面の間には、隙間が形成されており、上流側と下流側と
の差圧に応じてフロート４２０がケース４１０内を上下
移動できるようになっている。

【００２１】流路３１内には、また、圧力変動吸収装置
４０の出口部４１２に対向する位置の下流側に、小流量
測定手段としての流速センサ３３が設けられている。流
速センサ３３は、図示しないが、発熱部と、この発熱部
の上流側および下流側に配設された２つの温度センサと
を有しており、２つの温度センサによって検出される温
度の差を一定に保つために発熱部へ供給した電力量から
流速を求めたり、一定電流または一定電力で発熱部を加
熱し、２つの温度センサによって検出される温度の差か
ら流速を求めるものである。

【００２２】流路３１内には、更に、圧力変動吸収装置
４０と流速センサ３３との間に、金属製の網状部材３４
ａによって形成された整流網３４が設けられている。整
流網３４は、図２に示したように、流路３１の断面のう
ち流速センサ３３寄りの一部を覆うようになっている。
網状部材３４ａの目の大きさは、粗すぎると気体の流れ
を整えることができず、細かすぎると気体の流れを阻害
してしまうので、その間において適宜に決定される。ま
た、網状部材３４ａは、上流側から下流側に向かって適
宜の間隔をあけて２個配設されており、目の粗いものを
使用しても気体の流れを十分均一に整えることができる
ようになっている。

【００２３】流路３１の拡幅部３２よりも上流側には、
流路３１の入口部を開閉するための遮断弁３５が設けら
れている。遮断弁３５にはロッド３６の一端が接続され
ている。このロッド３６の他端側は、本体１０に固定さ
れたアクチュエータ３７に接続されている。このアクチ
ュエータ３７はロッド３６を介して遮断弁３５を駆動し
流路３１の入口部を開閉するようになっている。

【００２４】本体１０には、更に、流路１５の内外を流
路３１とフルイディック素子２０との間で連通する導圧
孔５１が形成されている。導圧孔５１に対応する本体１
０の外側には、導圧孔５１を介して流路１５内の気体の
圧力を検出する圧力センサ５２が配設されている。

【００２５】圧力センサ５２は、アクチュエータ１９，
３７とそれぞれ接続された制御装置５３に接続されてお
り、圧力センサ５１の出力に基づき、アクチュエータ１
９，３７をそれぞれ制御して遮断弁１７，３５を駆動さ
せるようになっている。なお、制御装置５３は、適宜の
コンピュータによって構成されている。

【００２６】次に、本実施の形態に係る流量計の流路構
造の作用を説明する。

【００２７】流量計の流路内に気体が流れていないと、
制御装置５３は、圧力センサ５２からの出力に基づいて
気体の流量を“０”と判断し、遮断弁１７，３５を駆動
させない。また、流路３１内にも気体が流れておらず、
図１に示したように、圧力変動吸収装置４０のフロート
４２０が出口部４１２を閉鎖した状態なっている。

【００２８】流量計の流路内に少量の気体が流れると、
制御装置５３は、圧力センサ５２からの出力に基づいて
気体の流量を“小流量”と判断し、アクチュエータ１
９，３７をそれぞれ制御して遮断弁１７，３５をそれぞ
れ駆動させて、遮断弁１７により開口部１６を閉鎖する
と共に、遮断弁３５により流路３１を開放する。これに
よって、入口部１１から導入された気体は、流路３１内
を通って圧力変動吸収装置４０の入口部４１１に案内さ
れる。

【００２９】圧力変動吸収装置４０では、図３に示した
ように、気体の流量に基づいて生ずる入口部４１１の圧
力と出口部４１２の圧力との圧力差に応じてフロート４
２０がケース４１０内を上方向に移動し、これにより出
口部４１２が開口される。従って、気体は、圧力変動吸
収装置４０内を通過して出口部４１２から流路３１内に
排出され、整流網３４によって流れが均一に整えられた
のち、流速センサ３３の近傍を通過し、流路１５内を介
して出口部１２から排出される。流速センサ３３は、流
路３１内を流れる気体の流速を検出し、この流速センサ
３３の出力が流量の算出に利用される。

【００３０】流量計の流路内に大量の気体が流れると、
制御装置５３は、圧力センサ５２からの出力に基づいて
気体の流量を“大流量”と判断し、遮断弁１７によって
開口部１６を開放させると共に、遮断弁３５によって流
路３１を閉鎖する。これによって、入口部１１から導入
された気体は、開口部１６を介して流路１５内に案内さ
れ、フルイディック素子２０に達する。

【００３１】フルイディック素子２０のノズル部２０１
を通過した気体は、フルイディック発振を生ずる。これ
により導圧孔２１１と導圧孔２１２との間で圧力差が生
じ、圧電膜センサは、その差圧変化に基づきフルイディ
ック発振を検出する。圧電膜センサによって検出された
フルイディック発振信号は、流量の算出に利用される。

【００３２】このように本実施の形態によれば、流路３
１内の圧力変動吸収装置４０の出力部４１２と流速セン
サ３３との間に、その断面のうち流速センサ３３寄りの
一部を覆うように整流網３４を設けるようにしたので、
圧力変動吸収装置４０の出力部４１２から排出された気
体の流れを均一に整えることができる。よって、流速セ
ンサ３３の出力のばらつきおよび出力と流量との関係の
直線性を改善することができ、測定精度を向上させるこ
とができる。

【００３３】また、本実施の形態によれば、整流網３４
を、気体の上流側から下流側に向かって適宜の間隔をあ
けて配設された２個の網状部材３４ａにより構成するよ
うにしたので、目の粗いものを使用しても気体の流れを
十分均一に整えることができる。すなわち、気体の流れ
を阻害することなく流れを均一に整えることができる。

【００３４】更に、本実施の形態に係る流量計の流路構
造の効果を具体的な実施例に基づいて説明する。

【００３５】実施例として、図１に示した本実施例に係
る流量計の流路構造のうち整流網３４の部分の構成をそ
れぞれ異ならせたものを４種類用意した。第１の実施例
は、整流網３４として、６０メッシュの金属製網状部材
２個を気体の流れに対して互いに直列に配設した。第２
の実施例は、整流網３４として、３０メッシュの金属製
網状部材２個を気体の流れに対して互いに直列に配設し
た。第３の実施例は、整流網３４として、６０メッシュ
の金属製網状部材１個と平板状のじゃま板１個とを気体
の流れに対して互いに直列に配設した。第４の実施例
は、整流網３４の代わりに、図１０に示した従来の整流
板１３４を１個配設した。

【００３６】それぞれの実施例について、気体の流量を
変化させ、流速センサ３３の出力を測定した。その結果
を、図４および図５に示す。図４は各実施例における流
速センサ３３の出力と気体の流量との関係を表す。図５
は各実施例における流速センサ３３の出力の標準偏差と
気体の流量との関係を表す。

【００３７】図４から明らかなように、網状部材３４ａ
によって構成した整流網３４を配設した第１乃至第３の
実施例では、従来の整流板１３４を配設した第４の実施
例に比べて、流速センサ３３の出力と気体の流量との関
係の直線性が改善されている。

【００３８】図５から明らかなように、網状部材３４ａ
によって構成した整流網３４を配設した第１乃至第３の
実施例では、従来の整流板１３４を配設した第４の実施
例に比べて、特に１００リットル／ｈ以下の微小流量域にお
いて流速センサ３３の出力のばらつきが改善されてい
る。また、６０メッシュの網状部材を２個配設した第１
の実施例では、６０メッシュの網状部材を１個配設した
第３の実施例および３０メッシュの網状部材を２個配設
した第２の実施例に比べて、１００リットル／ｈ以上の領域
においても広く出力のばらつきが改善されている。

【００３９】図６は本発明の第２の実施の形態に係る流
量計の流路構造のうち流路３１の構造を取り出して表す
ものである。図７は図６に示した流量計の流路構造のII
−II線にそった流路３１の断面構造を表すものである。
この流量計の流路構造は、第１の実施の形態から整流網
３４が除去され、かつ圧力変動吸収装置４０の出口部４
１２が流速センサ３３に対してフロート４２０を挟んで
１８０度回転した位置に設けられたことを除き、第１の
実施の形態と同一の構成を有している。よって、第１の
実施の形態と同一の構成要素には、同一の符号を付し、
詳細な説明を省略する。

【００４０】本実施の形態では、圧力変動吸収装置４０
の出口部４１２から排出された気体は、流路３１の内周
面に当たったのち、ケース４１０の外周面にそって出口
部４１２の反対側に移動し、流速センサ３３の近傍を通
過するようになっている。すなわち、圧力変動吸収装置
４０の出口部４１２から流速センサ３３に至るまでの気
体は、ケース４１０の出口部４１２を出た後、ケース４
１０の外周面にそった半円形状の整流路４１５を流れた
後、流速センサ３３に至るようになっている。

【００４１】このような構成を有する本実施の形態は、
第１の実施の形態と同様に、制御装置５３によって流量
計の流路内を流れる気体の流量が判断され、小流量と判
断されたときには、開口部１６が閉鎖され流路３１が開
放される。

【００４２】これにより、入口部１１から導入された気
体は、流路３１内を介して、圧力変動吸収装置４０内を
通り出口部４１２から排出される。出口部４１２から排
出された気体は、整流路４１５を経て出口部４１２の反
対側に移動し、流速センサ３３の近傍を通過する。その
後、流路１５を介して出口部１２から排出される。

【００４３】また、制御装置５３によって流量計の流路
内を流れる気体の流量が大流量と判断されたときには、
第１の実施例と同様に、開口部１６が開放され流路３１
が閉鎖されて、気体は開口部１６を介して流路１５に案
内され、フルイディック素子を通過して出口部１２から
排出される。

【００４４】このように本実施の形態によれば、流路３
１内に圧力変動吸収装置４０を配設し圧力変動吸収装置
４０の外周にそって流路３１を形成すると共に、圧力変
動吸収装置４０の出口部４１２をケース４１０の外周面
に形成し、かつその出口部４１２を流速センサ３３に対
向する位置から１８０度回転させた位置に設けるように
したので、圧力変動吸収装置４０の出力部４１２から流
れ出た気体は流速センサ３３に至るまでの間、整流路４
１５にそって曲線状に流れ、それにより気体の流れが均
一に整えられる。よって、第１の実施の形態と同様に、
流速センサ３３の出力のばらつきおよび出力と流量との
関係の直線性を改善することができ、測定精度を向上さ
せることができる。

【００４５】更に、本実施の形態に係る流量計の流路構
造の効果を具体的な実施例に基づいて説明する。

【００４６】実施例として、図６に示した本実施例に係
る流量計の流路構造のうち圧力変動吸収装置４０の出口
部４１２と開口部４１４の形成位置をそれぞれ異ならせ
たものを４種類用意した。第１の実施例は、出口部４１
２と開口部４１４とを共に流速センサ３３に対してフロ
ート４２０を挟んで反対側に形成するように構成した。
第２の実施例は、出口部４１２を流速センサ３３に対し
てフロート４２０を挟んで反対側に形成し、開口部４１
４を流速センサ３３と同一側に形成するように構成し
た。第３の実施例は、出口部４１２と開口部４１４とを
共に流速センサ３３と同一側に形成するように構成し
た。第４の実施例は、出口部４１２を流速センサ３３と
同一側に形成し、開口部４１４を流速センサ３３に対し
てフロート４２０を挟んで反対側に形成するように構成
した。

【００４７】それぞれの実施例について、気体の流量を
変化させ、流速センサ３３の出力を測定した。その結果
を、図８および図９に示す。図８は各実施例における流
速センサ３３の出力と気体の流量との関係を表す。図９
は各実施例における流速センサ３３の出力の標準偏差と
気体の流量との関係を表す。

【００４８】図８から明らかなように、出口部４１２を
フロート４２０を挟んで流速センサ３３の反対側に形成
した第１および第２の実施例では、出口部４１２を流速
センサ３３と同一側に形成した第３および第４の実施例
に比べて、流速センサ３３の出力と気体の流量との関係
の直線性が改善されている。

【００４９】図９から明らかなように、出口部４１２を
フロート４２０を挟んで流速センサ３３の反対側に形成
した第１および第２の実施例では、流速センサ３３と同
一側に形成した第３および第４の実施例に比べて、流速
センサ３３の出力のばらつきが改善されている。

【００５０】以上実施の形態および実施例を挙げて本発
明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定される
ものではなく、種々変形可能である。例えば、上記第１
の実施の形態では、網状部材３４ａを金属によって形成
したが、合成樹脂などの他の材質によって形成してもよ
い。また、上記第１の実施の形態では、整流網３４を２
個の網状部材３４ａによって形成したが、１個の網状部
材３４ａまたは３以上の網状部材３４ａによって形成し
てもよい。

【００５１】更に、上記第１および第２の実施の形態で
は、大流量測定手段としてフルイディック素子２０を用
い小流量測定手段として流速センサ３３を用いたが、本
発明はこれに限るものではなく、大流量測定手段および
小流量測定手段に他の測定手段を用いた場合にも適用で
きるものである。

【００５２】加えて、上記第１の実施の形態では、流速
センサ３３を圧力変動吸収装置４０の出口部４１２とフ
ロート４２０の反対側に配設することなく整流網３４を
設けるようにし、上記第２の実施の形態では、整流網３
４を設けることなく圧力変動吸収装置４０の出口部４１
２を流速センサ３３に対してフロート４２０を挟んで反
対側（１８０度回転した位置）に設けるようにしたが、
整流網３４を設け、かつ圧力変動吸収装置４０の出口部
４１２を流速センサ３３に対してフロート４２０を挟ん
で反対側の位置に設けるようにしてもよい。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように請求項１または２記
載の流量計の流路構造によれば、網状部材によって形成
された整流網を、圧力変動吸収手段の出口部と小流量測
定手段との間の流体流路中にその断面を覆うように設け
るようにしたので、小流量測定手段近傍における流体の
流れを均一に整えることができる。よって、小流量測定
手段による出力のばらつきおよび出力と流量との関係の
直線性も改善することができ、測定精度を向上させるこ
とができるという効果を奏する。

【００５４】特に、請求項２記載の流量計の流路構造に
よれば、流体の上流側から下流側に向かって間隔をあけ
て配設された複数の網状部材によって構成するようにし
たので、網状部材に目の粗いものを使用しても流体の流
れを十分均一に整えることができ、すなわち、流体の流
れを阻害することなく流れを均一に整えることができる
という効果を奏する。

【００５５】また、請求項３または４記載の流量計の流
路構造によれば、圧力変動吸収手段の出口部から小流量
測定手段に至るまでの間に所定の長さを有する整流路を
設けるようにしたので、小流量測定手段近傍における流
体の流れを均一に整えることができる。よって、小流量
測定手段による出力のばらつきおよび出力と流量との関
係の直線性も改善することができ、測定精度を向上させ
ることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る流量計の流路
構造を表す断面図である。

【図２】図１に示した流量計の流路構造の一部を拡大し
て表すＩ−Ｉ線に沿った断面図である。

【図３】図１に示した流量計の流路構造の作用を説明す
るための断面図である。

【図４】図１に示した流量計の流路構造の効果を説明す
るための特性図であって、第１ないし第４の実施例にお
ける流速センサの出力と気体の流量との関係を表す図で
ある。

【図５】図１に示した流量計の流路構造の効果を説明す
るための特性図であって、第１ないし第４の実施例にお
ける流速センサの出力の標準偏差と気体の流量との関係
を表す図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態に係る流量計の流路
構造の一部を表す断面図である。

【図７】図６に示した流量計の流路構造の一部を表すII
−II線に沿った断面図である。

【図８】図６に示した流量計の流路構造の効果を説明す
るための特性図であって、第１ないし第４の実施例にお
ける流速センサの出力と気体の流量との関係を表す図で
ある。

【図９】図６に示した流量計の流路構造の効果を説明す
るための特性図であって、各実施例における流速センサ
の出力の標準偏差と気体の流量との関係を表す図であ
る。

【図１０】従来の整流板を説明するための斜視図であ
る。

【符号の説明】

２０ フルイディック素子（大流量測定手段） ３３ 流速センサ（小流量測定手段） ３４ 整流網 ３４ａ 網状部材 ４０ 圧力変動吸収装置 ４１２ 出口部 ４１５ 整流路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 000142425 株式会社金門製作所 東京都板橋区志村１丁目２番３号 (71)出願人 000150109 株式会社竹中製作所 大阪府大阪市生野区中川西１丁目１番51号 (71)出願人 000156813 関西ガスメータ株式会社 大阪府大阪市東成区東小橋２丁目10番16号 (71)出願人 000222211 東洋ガスメーター株式会社 富山県新湊市本江2795番地 (72)発明者 温井 一光 神奈川県藤沢市みその台９−10 (72)発明者 加藤 秀男 埼玉県北葛飾郡栗橋町大字河原代959−２ 108街区６−２ (72)発明者 酒井 克人 東京都葛飾区高砂３−２−７−123 (72)発明者 佐藤 左右文 神奈川県川崎市高津区梶ケ谷２−11−２ (72)発明者 佐藤 真一 東京都八王子市北野町543−15 (72)発明者 岡村 繁憲 大阪府大阪市中央区平野町４−１−２ 大 阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 岡田 修一 大阪府大阪市中央区平野町４−１−２ 大 阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 佐藤 孝人 愛知県東海市新宝町507−２ 東邦瓦斯株 式会社総合研究所内 (72)発明者 平井 完治 愛知県名古屋市熱田区千年１−２−70 愛 知時計電機株式会社内 (72)発明者 山田 一博 千葉県千葉市中央区今井３−25−16 (72)発明者 大池 英行 東京都板橋区志村１−２−３ 株式会社金 門製作所中央研究所内 (72)発明者 波元 政信 大阪府大阪市東成区東小橋２−10−16 関 西ガスメータ株式会社内 (72)発明者 今崎 正成 大阪府東大阪市西岩田４−７−31 株式会 社金門製作所関西研究所内 (72)発明者 水越 靖 富山県新湊市本江2795番地 東洋ガスメー ター株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体の流量のうち大流量を測定するため
   の大流量測定手段と小流量を測定するための小流量測定
   手段とを流体流路中に配設すると共に、小流量測定手段
   の上流側流路中に流体の圧力変動のうちノイズによる変
   動を吸収する圧力変動吸収手段を設けてなる流量計の流
   路構造であって、 網状部材によって形成された整流網を、前記圧力変動吸
   収手段の出口部と前記小流量測定手段との間の流体流路
   中にその断面を覆うように設け、小流量測定手段近傍に
   おける流体の流れを均一に整えるようにしたことを特徴
   とする流量計の流路構造。
2. 【請求項２】 前記整流網を、流体の上流側から下流側
   に向かって互いに所定の間隔をあけて配設された複数の
   網状部材によって構成したことを特徴とする請求項１記
   載の流量計の流路構造。
3. 【請求項３】 流体の流量のうち大流量を測定する大流
   量測定手段と小流量を測定する小流量測定手段とを流体
   流路中に配設すると共に、小流量測定手段の上流側流路
   中に、上流側と下流側との差圧に応じて入口部から流入
   した流体の圧力変動のうちノイズによる変動を吸収する
   圧力変動吸収手段を設けてなる流量計の流路構造であっ
   て、 前記圧力変動吸収手段の出口部と前記小流量測定手段と
   の間に所定の長さを有する整流路を形成し、この整流路
   により前記小流量測定手段近傍における流体の流れを均
   一に整えるようにしたことを特徴とする流量計の流路構
   造。
4. 【請求項４】 前記圧力変動吸収手段が、外周面が流体
   流路の内周面との間に整流路を形成するように配設され
   たケースと、このケース内を上流側と下流側との間の差
   圧に応じて上下移動するフロートとからなると共に、前
   記ケースの出口部を前記小流量測定手段に対向する位置
   から１８０度回転させた位置に形成し、前記ケースの出
   口部から排出された流体が前記ケースの外周面にそった
   整流路を経て前記小流量測定手段に至るようにしたこと
   を特徴とする請求項３記載の流量計の流路構造。