JP3530645B2 - 流量計の流路構造 - Google Patents
流量計の流路構造Info
- Publication number
- JP3530645B2 JP3530645B2 JP21659195A JP21659195A JP3530645B2 JP 3530645 B2 JP3530645 B2 JP 3530645B2 JP 21659195 A JP21659195 A JP 21659195A JP 21659195 A JP21659195 A JP 21659195A JP 3530645 B2 JP3530645 B2 JP 3530645B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- flow
- small
- channel
- large flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体の流量のうち
大流量領域を大流量計測手段によって測定すると共に、
小流量領域を小流量計測手段によって測定する流量計の
流路構造に関する。
大流量領域を大流量計測手段によって測定すると共に、
小流量領域を小流量計測手段によって測定する流量計の
流路構造に関する。
【0002】
【従来の技術】ガスメータ等に利用される流量計とし
て、大流量領域をいわゆるフルイディック発振を利用し
た大流量測定部によって測定し、小流量領域をフルイデ
ィック発振以外の方法を利用した小流量測定部によって
測定してなるフルイディック流量計が考えられている。
て、大流量領域をいわゆるフルイディック発振を利用し
た大流量測定部によって測定し、小流量領域をフルイデ
ィック発振以外の方法を利用した小流量測定部によって
測定してなるフルイディック流量計が考えられている。
【0003】ところで、このフルイディック流量計で
は、大流量測定部を大流量用流路内に配設すると共に、
大流量測定部の上流側において大流量用流路と合流する
小流量用流路内に小流量測定部を配設して、小流量用流
路を通過した流体は大流量測定部も通過するようにし、
大流量領域と小流量領域との間の領域においては、小流
量測定部と大流量測定部との双方において流量を測定す
ることができるようになっていた。
は、大流量測定部を大流量用流路内に配設すると共に、
大流量測定部の上流側において大流量用流路と合流する
小流量用流路内に小流量測定部を配設して、小流量用流
路を通過した流体は大流量測定部も通過するようにし、
大流量領域と小流量領域との間の領域においては、小流
量測定部と大流量測定部との双方において流量を測定す
ることができるようになっていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
フルイディック流量計では、小流量用流路と大流量用流
路とがそのまま合流するようになっていたので、流体が
小流量用流路を通過した場合と小流量用流路を通過しな
かった場合とでは、大流量測定部における流体の流れが
異なり、同じ流量であってもフルイディック発振の周波
数が異なってしまっていた。その結果、大流量領域と小
流量領域との間の流量領域において正確な流量を測定で
きないという問題があった。
フルイディック流量計では、小流量用流路と大流量用流
路とがそのまま合流するようになっていたので、流体が
小流量用流路を通過した場合と小流量用流路を通過しな
かった場合とでは、大流量測定部における流体の流れが
異なり、同じ流量であってもフルイディック発振の周波
数が異なってしまっていた。その結果、大流量領域と小
流量領域との間の流量領域において正確な流量を測定で
きないという問題があった。
【0005】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、小流量用流路から大流量用流路に排
出される流体の流れを調整することにより測定精度を向
上させることができる流量計の流路構造を提供すること
にある。
ので、その目的は、小流量用流路から大流量用流路に排
出される流体の流れを調整することにより測定精度を向
上させることができる流量計の流路構造を提供すること
にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の流量計の
流路構造は、第1の遮断弁を介して流体を受け入れる入
口部に対して上流側が連通された大流量用流路と、第2
の遮断弁を介して入口部に対して上流側が連通されかつ
下流側が大流量用流路と連通された小流量用流路とを形
成し、小流量用流路と大流量用流路との合流位置よりも
下流側の大流量用流路中に大流量測定手段を配設すると
共に、小流量用流路中に小流量測定手段を配設し、第1
の遮断弁および第2の遮断弁を調節することにより、大
流量領域を測定する際には大流量用流路の上流側を開放
しかつ小流量用流路の上流側を閉鎖して大流量測定手段
によって流体の流量を測定し、小流量領域を測定する際
には大流量用流路の上流側を閉鎖しかつ小流量用流路の
上流側を開放して小流量測定手段によって流体の流量を
測定してなる流量計の流路構造であって、小流量用流路
と大流量用流路との合流部分において、合流部分のうち
大流量用流路の下流側半分を覆うと共に大流量用流路側
に湾曲形成された板状部材からなり、大流量用流路の上
流側半分に開口部を形成し、小流量用流路から大流量用
流路に排出される流体が大流量用流路の上流側に向かっ
て排出されるようにした整流手段を設けるようにしたも
のである。
流路構造は、第1の遮断弁を介して流体を受け入れる入
口部に対して上流側が連通された大流量用流路と、第2
の遮断弁を介して入口部に対して上流側が連通されかつ
下流側が大流量用流路と連通された小流量用流路とを形
成し、小流量用流路と大流量用流路との合流位置よりも
下流側の大流量用流路中に大流量測定手段を配設すると
共に、小流量用流路中に小流量測定手段を配設し、第1
の遮断弁および第2の遮断弁を調節することにより、大
流量領域を測定する際には大流量用流路の上流側を開放
しかつ小流量用流路の上流側を閉鎖して大流量測定手段
によって流体の流量を測定し、小流量領域を測定する際
には大流量用流路の上流側を閉鎖しかつ小流量用流路の
上流側を開放して小流量測定手段によって流体の流量を
測定してなる流量計の流路構造であって、小流量用流路
と大流量用流路との合流部分において、合流部分のうち
大流量用流路の下流側半分を覆うと共に大流量用流路側
に湾曲形成された板状部材からなり、大流量用流路の上
流側半分に開口部を形成し、小流量用流路から大流量用
流路に排出される流体が大流量用流路の上流側に向かっ
て排出されるようにした整流手段を設けるようにしたも
のである。
【0007】この流量計の流路構造では、大流量領域に
おける流量を測定する際には、第1の遮断弁で大流量用
流路の上流側を開放しかつ第2の遮断弁で小流量用流路
の上流側を閉鎖する。これにより、流体は、小流量用流
路を介することなく大流量用流路を流れ、大流量測定手
段により流量が測定される。一方、小流量領域および小
流量領域と大流量領域との間の領域における流量を測定
する際には、第1の遮断弁で大流量用流路の上流側を閉
鎖しかつ第2の遮断弁で小流量用流路の上流側を開放す
る。これにより、流体は、小流量用流路を流れ小流量測
定手段により流量が測定されたのち、大流量用流路を流
れ大流量測定手段により流量が測定される。ここで、流
体が小流量用流路から大流量用流路に排出される際に
は、流体が開口部を通過することにより、大流量用流路
の上流側に向かって排出されるように流体の流れが調整
される。従って、流体は、一旦大流量用流路の上流側に
向かったのち、下流側に向かって流れるので、小流量用
流路を通過した場合と通過しない場合とで、大流量測定
手段による測定位置における流体の流れを同一の状態に
近づけることができる。
おける流量を測定する際には、第1の遮断弁で大流量用
流路の上流側を開放しかつ第2の遮断弁で小流量用流路
の上流側を閉鎖する。これにより、流体は、小流量用流
路を介することなく大流量用流路を流れ、大流量測定手
段により流量が測定される。一方、小流量領域および小
流量領域と大流量領域との間の領域における流量を測定
する際には、第1の遮断弁で大流量用流路の上流側を閉
鎖しかつ第2の遮断弁で小流量用流路の上流側を開放す
る。これにより、流体は、小流量用流路を流れ小流量測
定手段により流量が測定されたのち、大流量用流路を流
れ大流量測定手段により流量が測定される。ここで、流
体が小流量用流路から大流量用流路に排出される際に
は、流体が開口部を通過することにより、大流量用流路
の上流側に向かって排出されるように流体の流れが調整
される。従って、流体は、一旦大流量用流路の上流側に
向かったのち、下流側に向かって流れるので、小流量用
流路を通過した場合と通過しない場合とで、大流量測定
手段による測定位置における流体の流れを同一の状態に
近づけることができる。
【0008】請求項2記載の流量計の流路構造は、第1
の遮断弁を介して流体を受け入れる入口部に対して上流
側が連通された大流量用流路と、第2の遮断弁を介して
入口部に対して上流側が連通されかつ下流側が大流量用
流路と連通された小流量用流路とを形成し、小流量用流
路と大流量用流路との合流位置よりも下流側の大流量用
流路中に大流量測定手段を配設すると共に、小流量用流
路中に小流量測定手段を配設し、第1の遮断弁および第
2の遮断弁を調節することにより、大流量領域を測定す
る際には大流量用流路の上流側を開放しかつ小流量用流
路の上流側を閉鎖して大流量測定手段によって流体の流
量を測定し、小流量領域を測定する際には大流量用流路
の上流側を閉鎖しかつ小流量用流路の上流側を開放して
小流量測定手段によって流体の流量を測定してなる流量
計の流路構造であって、小流量用流路と大流量用流路と
の合流部分を覆うと共に大流量用流路側に湾曲形成さ
れ、かつ大流量用流路の上流側半分に少なくとも1つの
孔からなる開口部を有する板状部材からなり、小流量用
流路から大流量用流路に排出される流体が大流量用流路
の上流側に向かって排出されるようにした整流手段を設
けるようにしたものである。
の遮断弁を介して流体を受け入れる入口部に対して上流
側が連通された大流量用流路と、第2の遮断弁を介して
入口部に対して上流側が連通されかつ下流側が大流量用
流路と連通された小流量用流路とを形成し、小流量用流
路と大流量用流路との合流位置よりも下流側の大流量用
流路中に大流量測定手段を配設すると共に、小流量用流
路中に小流量測定手段を配設し、第1の遮断弁および第
2の遮断弁を調節することにより、大流量領域を測定す
る際には大流量用流路の上流側を開放しかつ小流量用流
路の上流側を閉鎖して大流量測定手段によって流体の流
量を測定し、小流量領域を測定する際には大流量用流路
の上流側を閉鎖しかつ小流量用流路の上流側を開放して
小流量測定手段によって流体の流量を測定してなる流量
計の流路構造であって、小流量用流路と大流量用流路と
の合流部分を覆うと共に大流量用流路側に湾曲形成さ
れ、かつ大流量用流路の上流側半分に少なくとも1つの
孔からなる開口部を有する板状部材からなり、小流量用
流路から大流量用流路に排出される流体が大流量用流路
の上流側に向かって排出されるようにした整流手段を設
けるようにしたものである。
【0009】この流量計の流路構造では、大流量領域に
おける流量を測定する際には、第1の遮断弁で大流量用
流路の上流側を開放しかつ第2の遮断弁で小流量用流路
の上流側を閉鎖する。これにより、流体は、小流量用流
路を介することなく大流量用流路を流れ、大流量測定手
段により流量が測定される。一方、小流量領域および小
流量領域と大流量領域との間の領域における流量を測定
する際には、第1の遮断弁で大流量用流路の上流側を閉
鎖しかつ第2の遮断弁で小流量用流路の上流側を開放す
る。これにより、流体は、小流量用流路を流れ小流量測
定手段により流量が測定されたのち、大流量用流路を流
れ大流量測定手段により流量が測定される。ここで、流
体が小流量用流路から大流量用流路に排出される際に
は、流体が開口部を通過することにより、大流量用流路
の上流側に向かって排出されるように流体の流れが調整
される。従って、流体は、一旦大流量用流路の上流側に
向かったのち、下流側に向かって流れるので、小流量用
流路を通過した場合と通過しない場合とで、大流量測定
手段による測定位置における流体の流れを同一の状態に
近づけることができる。
おける流量を測定する際には、第1の遮断弁で大流量用
流路の上流側を開放しかつ第2の遮断弁で小流量用流路
の上流側を閉鎖する。これにより、流体は、小流量用流
路を介することなく大流量用流路を流れ、大流量測定手
段により流量が測定される。一方、小流量領域および小
流量領域と大流量領域との間の領域における流量を測定
する際には、第1の遮断弁で大流量用流路の上流側を閉
鎖しかつ第2の遮断弁で小流量用流路の上流側を開放す
る。これにより、流体は、小流量用流路を流れ小流量測
定手段により流量が測定されたのち、大流量用流路を流
れ大流量測定手段により流量が測定される。ここで、流
体が小流量用流路から大流量用流路に排出される際に
は、流体が開口部を通過することにより、大流量用流路
の上流側に向かって排出されるように流体の流れが調整
される。従って、流体は、一旦大流量用流路の上流側に
向かったのち、下流側に向かって流れるので、小流量用
流路を通過した場合と通過しない場合とで、大流量測定
手段による測定位置における流体の流れを同一の状態に
近づけることができる。
【0010】請求項3記載の流量計の流路構造は、第1
の遮断弁を介して流体を受け入れる入口部に対して上流
側が連通された大流量用流路と、第2の遮断弁を介して
入口部に対して上流側が連通されかつ下流側が大流量用
流路と連通された小流量用流路とを形成し、小流量用流
路と大流量用流路との合流位置よりも下流側の大流量用
流路中に大流量測定手段を配設すると共に、小流量用流
路中に小流量測定手段を配設し、第1の遮断弁および第
2の遮断弁を調節することにより、大流量領域を測定す
る際には大流量用流路の上流側を開放しかつ小流量用流
路の上流側を閉鎖して大流量測定手段によって流体の流
量を測定し、小流量領域を測定する際には大流量用流路
の上流側を閉鎖しかつ小流量用流路の上流側を開放して
小流量測定手段によって流体の流量を測定してなる流量
計の流路構造であって、小流量用流路と大流量用流路と
の合流部分を覆うと共に大流量用流路側に湾曲形成さ
れ、かつ流体が通過する複数の孔からなる開口部を有す
る板状部材からなる整流手段を設けるようにしたもので
ある。
の遮断弁を介して流体を受け入れる入口部に対して上流
側が連通された大流量用流路と、第2の遮断弁を介して
入口部に対して上流側が連通されかつ下流側が大流量用
流路と連通された小流量用流路とを形成し、小流量用流
路と大流量用流路との合流位置よりも下流側の大流量用
流路中に大流量測定手段を配設すると共に、小流量用流
路中に小流量測定手段を配設し、第1の遮断弁および第
2の遮断弁を調節することにより、大流量領域を測定す
る際には大流量用流路の上流側を開放しかつ小流量用流
路の上流側を閉鎖して大流量測定手段によって流体の流
量を測定し、小流量領域を測定する際には大流量用流路
の上流側を閉鎖しかつ小流量用流路の上流側を開放して
小流量測定手段によって流体の流量を測定してなる流量
計の流路構造であって、小流量用流路と大流量用流路と
の合流部分を覆うと共に大流量用流路側に湾曲形成さ
れ、かつ流体が通過する複数の孔からなる開口部を有す
る板状部材からなる整流手段を設けるようにしたもので
ある。
【0011】この流量計の流路構造では、大流量領域に
おける流量を測定する際には、第1の遮断弁で大流量用
流路の上流側を開放しかつ第2の遮断弁で小流量用流路
の上流側を閉鎖する。これにより、流体は、小流量用流
路を介することなく大流量用流路を流れ、大流量測定手
段により流量が測定される。一方、小流量領域および小
流量領域と大流量領域との間の領域における流量を測定
する際には、第1の遮断弁で大流量用流路の上流側を閉
鎖しかつ第2の遮断弁で小流量用流路の上流側を開放す
る。これにより、流体は、小流量用流路を流れ小流量測
定手段により流量が測定されたのち、大流量用流路を流
れ大流量測定手段により流量が測定される。ここで、流
体が小流量用流路から大流量用流路に排出される際に
は、流体が複数の孔によって構成された開口部を通過す
ることにより、流体の流れが均一となるように調整され
る。従って、大流量測定手段における流体の流れを小流
量用流路を通過した場合と通過しない場合とで同一の状
態に近づけることができる。
おける流量を測定する際には、第1の遮断弁で大流量用
流路の上流側を開放しかつ第2の遮断弁で小流量用流路
の上流側を閉鎖する。これにより、流体は、小流量用流
路を介することなく大流量用流路を流れ、大流量測定手
段により流量が測定される。一方、小流量領域および小
流量領域と大流量領域との間の領域における流量を測定
する際には、第1の遮断弁で大流量用流路の上流側を閉
鎖しかつ第2の遮断弁で小流量用流路の上流側を開放す
る。これにより、流体は、小流量用流路を流れ小流量測
定手段により流量が測定されたのち、大流量用流路を流
れ大流量測定手段により流量が測定される。ここで、流
体が小流量用流路から大流量用流路に排出される際に
は、流体が複数の孔によって構成された開口部を通過す
ることにより、流体の流れが均一となるように調整され
る。従って、大流量測定手段における流体の流れを小流
量用流路を通過した場合と通過しない場合とで同一の状
態に近づけることができる。
【0012】
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【0014】図1は本発明の一実施の形態に係る流量計
の流路構造を表すものである。図2は、図1に示した実
施の形態における整流部材40をX側から見た平面図で
ある。
の流路構造を表すものである。図2は、図1に示した実
施の形態における整流部材40をX側から見た平面図で
ある。
【0015】この流量計は、例えばガスメータとして使
用されるもので、気体(ガス)を受け入れる入口部11
と気体を排出する出口部12とを有する本体10を備え
ている。本体10内には隔壁13が設けられ、入口部1
1から隔壁13にかけて流路14が設けられ、隔壁13
から出口部12にかけて大流量用流路15が設けられて
いる。隔壁13には開口部16が設けられている。開口
部16の上流側には、開口部16を開閉する遮断弁(第
1の遮断弁)17が設けられている。遮断弁17にはロ
ッド18の一端が接続されている。このロッド18の他
端側は、本体10に固定されたアクチュエータ19に接
続されている。このアクチュエータ19はロッド18を
介して遮断弁17を駆動して開口部16を開閉するよう
になっている。
用されるもので、気体(ガス)を受け入れる入口部11
と気体を排出する出口部12とを有する本体10を備え
ている。本体10内には隔壁13が設けられ、入口部1
1から隔壁13にかけて流路14が設けられ、隔壁13
から出口部12にかけて大流量用流路15が設けられて
いる。隔壁13には開口部16が設けられている。開口
部16の上流側には、開口部16を開閉する遮断弁(第
1の遮断弁)17が設けられている。遮断弁17にはロ
ッド18の一端が接続されている。このロッド18の他
端側は、本体10に固定されたアクチュエータ19に接
続されている。このアクチュエータ19はロッド18を
介して遮断弁17を駆動して開口部16を開閉するよう
になっている。
【0016】大流量用流路15内には、この大流量用流
路15を通過する気体の流量を検出する大流量測定手段
としてのフルイディック素子20が設けられている。フ
ルイディック素子20は、ノズル部201と、このノズ
ル部201の下流側に設けられ、拡大された流路を形成
する一対の側壁202,203を有している。この側壁
202,203の間は、所定の間隔を開けて、上流側に
第1ターゲット204、下流側に第2ターゲット205
がそれぞれ配設されている。側壁202,203の外側
には、ノズル部201を通過した気体を各側壁202,
203の外周部に沿ってノズル部201の噴出口側へ帰
還させる一対のフィードバック流路206,207を形
成するリターンガイド208が配設されている。フィー
ドバック流路206,207の各出口部分と出口部12
との間には、リターンガイド208の背面と本体10と
によって、一対の排出路209,210が形成されてい
る。
路15を通過する気体の流量を検出する大流量測定手段
としてのフルイディック素子20が設けられている。フ
ルイディック素子20は、ノズル部201と、このノズ
ル部201の下流側に設けられ、拡大された流路を形成
する一対の側壁202,203を有している。この側壁
202,203の間は、所定の間隔を開けて、上流側に
第1ターゲット204、下流側に第2ターゲット205
がそれぞれ配設されている。側壁202,203の外側
には、ノズル部201を通過した気体を各側壁202,
203の外周部に沿ってノズル部201の噴出口側へ帰
還させる一対のフィードバック流路206,207を形
成するリターンガイド208が配設されている。フィー
ドバック流路206,207の各出口部分と出口部12
との間には、リターンガイド208の背面と本体10と
によって、一対の排出路209,210が形成されてい
る。
【0017】フルイディック素子20は、また、ノズル
部201の噴出口の近傍に設けられた導圧孔211,2
12を有している。導圧孔211,212に対応する本
体10の外側には、図示しない導圧路を介して導圧孔2
11,212に連通し、導圧孔211と導圧孔212に
おける差圧を検出してフルイディック発振を検出する圧
電膜センサが設けられている。
部201の噴出口の近傍に設けられた導圧孔211,2
12を有している。導圧孔211,212に対応する本
体10の外側には、図示しない導圧路を介して導圧孔2
11,212に連通し、導圧孔211と導圧孔212に
おける差圧を検出してフルイディック発振を検出する圧
電膜センサが設けられている。
【0018】本体10内には、また、大流量用流路15
と並列的に、流路14を大流量用流路15のうちフルイ
ディック素子20よりも上流側と連通するよう、小流量
用流路31が設けられている。小流量用流路31の上流
側には、小流量用流路31の入口部を開閉する遮断弁
(第2の遮断弁)32が設けられている。遮断弁32に
はロッド33の一端が接続されている。このロッド33
の他端側は、本体10に固定されたアクチュエータ34
に接続されている。このアクチュエータ34はロッド3
3を介して遮断弁32を駆動し小流量用流路31の入口
部を開閉するようになっている。
と並列的に、流路14を大流量用流路15のうちフルイ
ディック素子20よりも上流側と連通するよう、小流量
用流路31が設けられている。小流量用流路31の上流
側には、小流量用流路31の入口部を開閉する遮断弁
(第2の遮断弁)32が設けられている。遮断弁32に
はロッド33の一端が接続されている。このロッド33
の他端側は、本体10に固定されたアクチュエータ34
に接続されている。このアクチュエータ34はロッド3
3を介して遮断弁32を駆動し小流量用流路31の入口
部を開閉するようになっている。
【0019】小流量用流路31内には、この小流量用流
路31を通過する気体の流量を検出する小流量測定手段
としての流速センサ35が設けられている。流速センサ
35は、図示しないが、発熱部と、この発熱部の上流側
および下流側に配設された2つの温度センサとを有して
おり、2つの温度センサによって検出される温度の差を
一定に保つために発熱部へ供給した電力量から流速を求
めたり、一定電流または一定電力で発熱部を加熱し、2
つの温度センサによって検出される温度の差から流速を
求めることができるようになっている。
路31を通過する気体の流量を検出する小流量測定手段
としての流速センサ35が設けられている。流速センサ
35は、図示しないが、発熱部と、この発熱部の上流側
および下流側に配設された2つの温度センサとを有して
おり、2つの温度センサによって検出される温度の差を
一定に保つために発熱部へ供給した電力量から流速を求
めたり、一定電流または一定電力で発熱部を加熱し、2
つの温度センサによって検出される温度の差から流速を
求めることができるようになっている。
【0020】小流量用流路31内には、また、流速セン
サ35の上流側に、流体の圧力変動のうちノイズによる
圧力変動を吸収するための圧力変動吸収装置36が配設
されている。圧力変動吸収装置36は、両端部が閉鎖さ
れた円筒形状のケース36a内に円筒形状のフロート
(図示せず)を収容したものであり、上流側と下流側と
の差圧に応じてフロートが上下移動し、ケース36aの
側面に形成された出口部36bの開口率が変化するよう
になっている。
サ35の上流側に、流体の圧力変動のうちノイズによる
圧力変動を吸収するための圧力変動吸収装置36が配設
されている。圧力変動吸収装置36は、両端部が閉鎖さ
れた円筒形状のケース36a内に円筒形状のフロート
(図示せず)を収容したものであり、上流側と下流側と
の差圧に応じてフロートが上下移動し、ケース36aの
側面に形成された出口部36bの開口率が変化するよう
になっている。
【0021】小流量用流路31と大流量用流路15との
合流部分には、合流部分のうち大流量用流路15の下流
側半分を覆うように整流部材40が配設されている。整
流部材40は、小流量用流路31から大流量用流路15
側に向かって突出するように湾曲形成されている。すな
わち、この整流部材40により、小流量用流路31と大
流量用流路15との合流部分に大流量用流路15の上流
側に向かって開口する開口部41が形成され、小流量用
流路31から大流量用流路15に排出される気体が大流
量用流路15の上流側に向かって排出されるようになっ
ている。
合流部分には、合流部分のうち大流量用流路15の下流
側半分を覆うように整流部材40が配設されている。整
流部材40は、小流量用流路31から大流量用流路15
側に向かって突出するように湾曲形成されている。すな
わち、この整流部材40により、小流量用流路31と大
流量用流路15との合流部分に大流量用流路15の上流
側に向かって開口する開口部41が形成され、小流量用
流路31から大流量用流路15に排出される気体が大流
量用流路15の上流側に向かって排出されるようになっ
ている。
【0022】本体10には、更に、大流量用流路15の
内外を小流量用流路31とフルイディック素子20との
間で連通する導圧孔51が形成されている。導圧孔51
に対応する本体10の外側には、導圧孔51を介して大
流量用流路15内の気体の圧力を検出するための圧力セ
ンサ52が配設されている。
内外を小流量用流路31とフルイディック素子20との
間で連通する導圧孔51が形成されている。導圧孔51
に対応する本体10の外側には、導圧孔51を介して大
流量用流路15内の気体の圧力を検出するための圧力セ
ンサ52が配設されている。
【0023】圧力センサ52は、アクチュエータ19,
34とそれぞれ接続された制御装置53に接続されてい
る。制御装置53は、圧力センサ52の出力に基づき、
アクチュエータ19,34をそれぞれ制御して遮断弁1
7,32を駆動させるようになっている。なお、制御装
置53は、適宜のコンピュータによって構成されてい
る。
34とそれぞれ接続された制御装置53に接続されてい
る。制御装置53は、圧力センサ52の出力に基づき、
アクチュエータ19,34をそれぞれ制御して遮断弁1
7,32を駆動させるようになっている。なお、制御装
置53は、適宜のコンピュータによって構成されてい
る。
【0024】次に、本実施の形態に係る流量計の流路構
造の作用を説明する。
造の作用を説明する。
【0025】流量計の流路内を流れる気体が小流量領域
の場合、制御装置53は、圧力センサ52からの出力に
基づいて気体の流量を“小流量”と判断し、アクチュエ
ータ19,34をそれぞれ制御して遮断弁17,32を
それぞれ駆動させ、遮断弁17により開口部16を閉鎖
すると共に、遮断弁32により小流量用流路31の上流
側を開放する。
の場合、制御装置53は、圧力センサ52からの出力に
基づいて気体の流量を“小流量”と判断し、アクチュエ
ータ19,34をそれぞれ制御して遮断弁17,32を
それぞれ駆動させ、遮断弁17により開口部16を閉鎖
すると共に、遮断弁32により小流量用流路31の上流
側を開放する。
【0026】これにより、入口部11から導入された気
体は、小流量用流路31内を通り圧力変動吸収装置36
を介して流速センサ35の近傍を通過し、流速センサ3
5は、小流量用流路31内を流れる気体の流速を検出す
る。流速センサ35の出力は、流量の算出に利用され
る。流速センサ35の近傍を通過した気体は、開口部4
1を介して大流量用流路15の上流側に向かって大流量
用流路15内に排出される。大流量用流路15内に排出
された気体は、フルイディック素子20を通って、出口
部12から排出される。フルイディック素子20では、
気体の流量が小流量なので、フルイディック発振を生じ
ない。
体は、小流量用流路31内を通り圧力変動吸収装置36
を介して流速センサ35の近傍を通過し、流速センサ3
5は、小流量用流路31内を流れる気体の流速を検出す
る。流速センサ35の出力は、流量の算出に利用され
る。流速センサ35の近傍を通過した気体は、開口部4
1を介して大流量用流路15の上流側に向かって大流量
用流路15内に排出される。大流量用流路15内に排出
された気体は、フルイディック素子20を通って、出口
部12から排出される。フルイディック素子20では、
気体の流量が小流量なので、フルイディック発振を生じ
ない。
【0027】一方、流量計の流路内を流れる気体が大流
量領域の場合、制御装置53は、気体の流量を“大流
量”と判断し、遮断弁17によって開口部16を開放す
ると共に、遮断弁32によって小流量用流路31を閉鎖
する。これによって、入口部11から導入された気体
は、開口部16を介して大流量用流路15内に案内さ
れ、フルイディック素子20に達する。
量領域の場合、制御装置53は、気体の流量を“大流
量”と判断し、遮断弁17によって開口部16を開放す
ると共に、遮断弁32によって小流量用流路31を閉鎖
する。これによって、入口部11から導入された気体
は、開口部16を介して大流量用流路15内に案内さ
れ、フルイディック素子20に達する。
【0028】フルイディック素子20では、ノズル部2
01を通過した気体が一対のフィードバック流路20
6,207を交互に流れ、フルイディック発振を生ず
る。これにより導圧孔211と導圧孔212との間で圧
力差が生じ、圧電膜センサは、その差圧変化に基づきフ
ルイディック発振を検出する。圧電膜センサによって検
出されたフルイディック発振信号は、流量の算出に利用
される。
01を通過した気体が一対のフィードバック流路20
6,207を交互に流れ、フルイディック発振を生ず
る。これにより導圧孔211と導圧孔212との間で圧
力差が生じ、圧電膜センサは、その差圧変化に基づきフ
ルイディック発振を検出する。圧電膜センサによって検
出されたフルイディック発振信号は、流量の算出に利用
される。
【0029】また、流量計の流路内を流れる気体が小流
量領域と大流量領域との間の場合、制御装置53は、気
体の流量を“小流量と大流量の間”と判断し、“小流
量”と判断したときと同様に、遮断弁17により開口部
16を閉鎖すると共に、遮断弁32により小流量用流路
31を開放する。これにより、気体は、小流量の場合と
同様に、小流量用流路31内を通り開口部41を介して
大流量用流路15の上流側に向かって大流量用流路15
内に排出される。流速センサ35は、気体の流速を検出
し、その出力は流量の算出に利用される。
量領域と大流量領域との間の場合、制御装置53は、気
体の流量を“小流量と大流量の間”と判断し、“小流
量”と判断したときと同様に、遮断弁17により開口部
16を閉鎖すると共に、遮断弁32により小流量用流路
31を開放する。これにより、気体は、小流量の場合と
同様に、小流量用流路31内を通り開口部41を介して
大流量用流路15の上流側に向かって大流量用流路15
内に排出される。流速センサ35は、気体の流速を検出
し、その出力は流量の算出に利用される。
【0030】大流量用流路15内に排出された気体は、
フルイディック素子20を通って、出口部12から排出
される。フルイディック素子20では、気体の流量が小
流量よりも大きいので、フルイディック発振を生ずる。
このフルイディック発振は、圧電膜センサによって検出
され、そのフルイディック発振信号は、流量の算出に利
用される。すなわち、小流量領域と大流量領域との間の
領域では、流速センサ35の出力と共にフルイディック
素子20の出力も流量の算出に利用される。
フルイディック素子20を通って、出口部12から排出
される。フルイディック素子20では、気体の流量が小
流量よりも大きいので、フルイディック発振を生ずる。
このフルイディック発振は、圧電膜センサによって検出
され、そのフルイディック発振信号は、流量の算出に利
用される。すなわち、小流量領域と大流量領域との間の
領域では、流速センサ35の出力と共にフルイディック
素子20の出力も流量の算出に利用される。
【0031】ここにおいて、本実施の形態では、小流量
用流路31内から大流量用流路15内に排出される気体
が、図1において矢印で示したように整流部材40によ
り一旦大流量用流路15の上流側に向かったのち下流側
に向かって流れるので、小流量用流路31を通過せず大
流量用流路15を直接流れる場合と大流量用流路15内
の気体の流れがほぼ同一の状態となる。よって、小流量
用流路31を通過した場合と通過しない場合とで、フル
イディック素子20のノズル部201近傍における気体
の流れがほぼ同一となり、フルイディック発振の周波数
も同一となる。
用流路31内から大流量用流路15内に排出される気体
が、図1において矢印で示したように整流部材40によ
り一旦大流量用流路15の上流側に向かったのち下流側
に向かって流れるので、小流量用流路31を通過せず大
流量用流路15を直接流れる場合と大流量用流路15内
の気体の流れがほぼ同一の状態となる。よって、小流量
用流路31を通過した場合と通過しない場合とで、フル
イディック素子20のノズル部201近傍における気体
の流れがほぼ同一となり、フルイディック発振の周波数
も同一となる。
【0032】このように本実施の形態によれば、整流部
材40によって、小流量用流路31と大流量用流路15
との合流部分に大流量用流路15の上流側に向かって開
口する開口部41を形成したので、小流量用流路31か
ら排出された気体が大流量用流路15の上流側に向かっ
て流れるようにすることができ、小流量用流路31を通
過した場合と通過しない場合とでフルイディック素子2
0のノズル部201近傍の気体の流れを同一の状態に近
づけることができる。従って、小流量用流路31を通過
した場合と通過しない場合とでフルイディック発振の周
波数を同一とすることができ、大流量領域と小流量領域
との間の領域における流量の測定精度を向上させること
ができる。
材40によって、小流量用流路31と大流量用流路15
との合流部分に大流量用流路15の上流側に向かって開
口する開口部41を形成したので、小流量用流路31か
ら排出された気体が大流量用流路15の上流側に向かっ
て流れるようにすることができ、小流量用流路31を通
過した場合と通過しない場合とでフルイディック素子2
0のノズル部201近傍の気体の流れを同一の状態に近
づけることができる。従って、小流量用流路31を通過
した場合と通過しない場合とでフルイディック発振の周
波数を同一とすることができ、大流量領域と小流量領域
との間の領域における流量の測定精度を向上させること
ができる。
【0033】以上実施の形態を挙げて本発明を説明した
が、本発明は上記実施の形態に限定されるものではな
く、種々変形可能である。例えば、上記実施の形態で
は、小流量用流路31と大流量用流路15との合流部分
のうち大流量用流路15の下流側半分を覆うように整流
部材40を配設したが、図3に示したように、小流量用
流路31と大流量用流路15との合流部分全体を覆うよ
うに大流量用流路15側に向かって突出するよう湾曲さ
せた整流部材60を配設すると共に、整流部材60の大
流量用流路15の上流側半分に対して複数の孔62を形
成することにより開口部61を構成するようにしてもよ
い。これにより小流量用流路31から大流量用流路15
に排出される気体の流れを均一とすることができ、小流
量用流路31を通過した場合と通過しない場合とでフル
イディック素子20における気体の流れをより同一の状
態に近づけることができる。従って、大流量領域と小流
量領域との間の領域における流量の測定精度を、更に、
向上させることができる。
が、本発明は上記実施の形態に限定されるものではな
く、種々変形可能である。例えば、上記実施の形態で
は、小流量用流路31と大流量用流路15との合流部分
のうち大流量用流路15の下流側半分を覆うように整流
部材40を配設したが、図3に示したように、小流量用
流路31と大流量用流路15との合流部分全体を覆うよ
うに大流量用流路15側に向かって突出するよう湾曲さ
せた整流部材60を配設すると共に、整流部材60の大
流量用流路15の上流側半分に対して複数の孔62を形
成することにより開口部61を構成するようにしてもよ
い。これにより小流量用流路31から大流量用流路15
に排出される気体の流れを均一とすることができ、小流
量用流路31を通過した場合と通過しない場合とでフル
イディック素子20における気体の流れをより同一の状
態に近づけることができる。従って、大流量領域と小流
量領域との間の領域における流量の測定精度を、更に、
向上させることができる。
【0034】また、図4に示したように、小流量用流路
31と大流量用流路15との合流部分全体を覆い、かつ
大流量用流路15側に向かって突出するよう湾曲させた
整流部材70を配設すると共に、整流部材70の全体に
わたって複数の孔72を形成することにより開口部71
を構成するようにしてもよい。これによっても、大流量
用流路15内における気体の流れを均一化することがで
き、それにより小流量用流路31を通過した場合と通過
しない場合とでフルイディック素子20における気体の
流れを同一の状態に近づけることができる。従って、上
記実施の形態と同様に、小流量用流路31を通過した場
合と通過しない場合とでフルイディック発振の周波数を
同一とすることができ、大流量領域と小流量領域との間
の領域における流量の測定精度を向上させることができ
る。
31と大流量用流路15との合流部分全体を覆い、かつ
大流量用流路15側に向かって突出するよう湾曲させた
整流部材70を配設すると共に、整流部材70の全体に
わたって複数の孔72を形成することにより開口部71
を構成するようにしてもよい。これによっても、大流量
用流路15内における気体の流れを均一化することがで
き、それにより小流量用流路31を通過した場合と通過
しない場合とでフルイディック素子20における気体の
流れを同一の状態に近づけることができる。従って、上
記実施の形態と同様に、小流量用流路31を通過した場
合と通過しない場合とでフルイディック発振の周波数を
同一とすることができ、大流量領域と小流量領域との間
の領域における流量の測定精度を向上させることができ
る。
【0035】更に、上記実施の形態では、大流量測定手
段としてフルイディック素子20を用い小流量測定手段
として流速センサ35を用いたが、本発明はこれに限る
ものではなく、大流量測定手段および小流量測定手段に
他の測定手段を用いた場合にも適用できるものである。
加えて、上記実施の形態では、流量計をガスメータとし
て使用する場合についてのみ説明したが、気体以外の他
の流体についても適用できるものである。
段としてフルイディック素子20を用い小流量測定手段
として流速センサ35を用いたが、本発明はこれに限る
ものではなく、大流量測定手段および小流量測定手段に
他の測定手段を用いた場合にも適用できるものである。
加えて、上記実施の形態では、流量計をガスメータとし
て使用する場合についてのみ説明したが、気体以外の他
の流体についても適用できるものである。
【0036】以上説明したように請求項1乃至3記載の
いずれか1に記載の流量計の流路構造によれば、整流手
段によって大流量用流路と小流量用流路との合流部分に
流体の流れを調整するための開口部を形成するようにし
たので、小流量用流路から大流量用流路に排出される流
体の流れを調整することにより、小流量用流路を通過し
た場合と通過しない場合とで大流量測定手段における流
体の流れを同一の状態に近づけることができる。従っ
て、大流量領域と小流量領域との間の領域における流体
流量の測定精度を向上させることができるという効果を
奏する。
いずれか1に記載の流量計の流路構造によれば、整流手
段によって大流量用流路と小流量用流路との合流部分に
流体の流れを調整するための開口部を形成するようにし
たので、小流量用流路から大流量用流路に排出される流
体の流れを調整することにより、小流量用流路を通過し
た場合と通過しない場合とで大流量測定手段における流
体の流れを同一の状態に近づけることができる。従っ
て、大流量領域と小流量領域との間の領域における流体
流量の測定精度を向上させることができるという効果を
奏する。
【0037】特に、請求項1および2記載の流量計の流
路構造によれば、整流手段による開口部が、大流量用流
路の上流側に向かって開口するように構成したので、流
体が小流量用流路から大流量用流路に排出される際に大
流量用流路の上流側に向かって排出されるようにするこ
とができる。従って、小流量用流路を通過した場合と通
過しない場合とで大流量測定手段における流体の流れを
同一の状態に近づけることができ、大流量領域と小流量
領域との間の領域における流体流量の測定精度を向上さ
せることができるという効果を奏する。
路構造によれば、整流手段による開口部が、大流量用流
路の上流側に向かって開口するように構成したので、流
体が小流量用流路から大流量用流路に排出される際に大
流量用流路の上流側に向かって排出されるようにするこ
とができる。従って、小流量用流路を通過した場合と通
過しない場合とで大流量測定手段における流体の流れを
同一の状態に近づけることができ、大流量領域と小流量
領域との間の領域における流体流量の測定精度を向上さ
せることができるという効果を奏する。
【0038】また、請求項3記載の流量計の流路構造に
よれば、整流手段による開口部を、流体が通過する複数
の孔によって構成するようにしたので、大流量用流路に
おける流体の流れを均一化することができる。従って、
小流量用流路を通過した場合と通過しない場合とで大流
量測定手段における流体の流れを同一の状態に近づける
ことができ、大流量領域と小流量領域との間の領域にお
ける流体流量の測定精度を向上させることができるとい
う効果を奏する。
よれば、整流手段による開口部を、流体が通過する複数
の孔によって構成するようにしたので、大流量用流路に
おける流体の流れを均一化することができる。従って、
小流量用流路を通過した場合と通過しない場合とで大流
量測定手段における流体の流れを同一の状態に近づける
ことができ、大流量領域と小流量領域との間の領域にお
ける流体流量の測定精度を向上させることができるとい
う効果を奏する。
【図1】本発明の一実施の形態に係る流量計の流路構造
を表す断面図である。
を表す断面図である。
【図2】図1に示した実施の形態の整流部材をX方向か
ら見た図である。
ら見た図である。
【図3】図1に示した実施の形態の他の整流部材を説明
するための図である。
するための図である。
【図4】図1に示した実施の形態の他の整流部材を説明
するための図である。
するための図である。
15 大流量用流路
17 遮断弁(第1の遮断弁)
20 フルイディック素子(大流量測定手段)
31 小流量用流路
32 遮断弁(第2の遮断弁)
35 流速センサ(小流量測定手段)
40,60,70 整流部材
41,61,71 開口部
62,72 孔
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(73)特許権者 000116633
愛知時計電機株式会社
愛知県名古屋市熱田区千年1丁目2番70
号
(73)特許権者 000142425
株式会社金門製作所
東京都板橋区大原町13番1号
(73)特許権者 000150109
株式会社竹中製作所
大阪府大阪市生野区中川西1丁目1番51
号
(73)特許権者 000156813
関西ガスメータ株式会社
京都府京都市下京区中堂寺鍵田町10
(73)特許権者 000222211
東洋ガスメーター株式会社
富山県新湊市本江2795番地
(72)発明者 温井 一光
神奈川県藤沢市みその台9−10
(72)発明者 加藤 秀男
埼玉県北葛飾郡栗橋町大字河原代959−
2 108街区6−2
(72)発明者 酒井 克人
東京都葛飾区高砂3−2−7−123
(72)発明者 佐藤 左右文
神奈川県川崎市高津区梶ケ谷2−11−2
(72)発明者 佐藤 真一
東京都八王子市北野町543−15
(72)発明者 岡村 繁憲
大阪府大阪市中央区平野町4−1−2
大阪瓦斯株式会社内
(72)発明者 岡田 修一
大阪府大阪市中央区平野町4−1−2
大阪瓦斯株式会社内
(72)発明者 佐藤 孝人
愛知県東海市新宝町507−2 東邦瓦斯
株式会社総合研究所内
(72)発明者 新美 征洋
愛知県名古屋市熱田区千年1−2−70
愛知時計電機株式会社内
(72)発明者 山田 一博
千葉県千葉市中央区今井3−25−16
(72)発明者 大池 英行
東京都板橋区志村1−2−3 株式会社
金門製作所中央研究所内
(72)発明者 波元 政信
大阪府大阪市東成区東小橋2−10−16
関西ガスメータ株式会社内
(72)発明者 今崎 正成
大阪府東大阪市西岩田4−7−31 株式
会社金門製作所 関西研究所内
(72)発明者 水越 靖
富山県新湊市本江2795番地 東洋ガスメ
ーター株式会社内
(56)参考文献 特開 昭61−223517(JP,A)
実開 平2−93716(JP,U)
実開 平7−32521(JP,U)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
G01F 1/00 - 9/02
Claims (3)
- 【請求項1】第1の遮断弁を介して流体を受け入れる入
口部に対して上流側が連通された大流量用流路と、第2
の遮断弁を介して入口部に対して上流側が連通されかつ
下流側が大流量用流路と連通された小流量用流路とを形
成し、小流量用流路と大流量用流路との合流位置よりも
下流側の大流量用流路中に大流量測定手段を配設すると
共に、小流量用流路中に小流量測定手段を配設し、第1
の遮断弁および第2の遮断弁を調節することにより、大
流量領域を測定する際には大流量用流路の上流側を開放
しかつ小流量用流路の上流側を閉鎖して大流量測定手段
によって流体の流量を測定し、小流量領域を測定する際
には大流量用流路の上流側を閉鎖しかつ小流量用流路の
上流側を開放して小流量測定手段によって流体の流量を
測定してなる流量計の流路構造であって、小流量用流路と大流量用流路との合流部分において、合
流部分のうち大流量用流路の下流側半分を覆うと共に大
流量用流路側に湾曲形成された板状部材からなり、大流
量用流路の上流側半分に開口部を形成し、小流量用流路
から大流量用流路に排出される流体が大流量用流路の上
流側に向かって排出されるようにした 整流手段を設けた
ことを特徴とする流量計の流路構造。 - 【請求項2】第1の遮断弁を介して流体を受け入れる入
口部に対して上流側が連通された大流量用流路と、第2
の遮断弁を介して入口部に対して上流側が連通されかつ
下流側が大流量用流路と連通された小流量用流路とを形
成し、小流量用流路と大流量用流路との合流位置よりも
下流側の大流量用流路中に大流量測定手段を配設すると
共に、小流量用流路中に小流量測定手段を配設し、第1
の遮断弁および第2の遮断弁を調節することにより、大
流量領域を測定する際には大流量用流路の上流側を開放
しかつ小流量用流路の上流側を閉鎖して大流量測定手段
によって流体の流量を測定し、小流量領域を測定する際
には大流量用流路の上流側を閉鎖しかつ小流量用流路の
上流側を開放して小流量測定手段によって流体の流量を
測定してなる流量計の流路構造であって、小流量用流路と大流量用流路との合流部分を覆うと共に
大流量用流路側に湾曲形成され、かつ大流量用流路の上
流側半分に少なくとも1つの孔からなる開口部を有する
板状部材からなり、小流量用流路から大流量用流路に排
出される流体が大流量用流路の上流側に向かって排出さ
れるようにした 整流手段を設けたことを特徴とする流量
計の流路構造。 - 【請求項3】第1の遮断弁を介して流体を受け入れる入
口部に対して上流側が連通された大流量用流路と、第2
の遮断弁を介して入口部に対して上流側が連通されかつ
下流側が大流量用流路と連通された小流量用流路とを形
成し、小流量用流路と大流量用流路との合流位置よりも
下流側の大流量用流路中に大流量測定手段を配設すると
共に、小流量用流路中に小流量測定手段を配設し、第1
の遮断弁および第2の遮断弁を調節することにより、大
流量領域を測定する際には大流量用流路の上流側を開放
しかつ小流量用流路の上流側を閉鎖して大流量測定手段
によって流体の流量を測定し、小流量領域を測定する際
には大流量用流路の上流側を閉鎖しかつ小流量用流路の
上流側を開放して小流量測定手段によって流体の流量を
測定してなる流量計の流路構造であって、小流量用流路と大流量用流路との合流部分を覆うと共に
大流量用流路側に湾曲形成され、かつ流体が通過する複
数の孔からなる開口部を有する板状部材からなる 整流手
段を設けたことを特徴とする流量計の流路構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21659195A JP3530645B2 (ja) | 1995-08-02 | 1995-08-02 | 流量計の流路構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21659195A JP3530645B2 (ja) | 1995-08-02 | 1995-08-02 | 流量計の流路構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0943014A JPH0943014A (ja) | 1997-02-14 |
JP3530645B2 true JP3530645B2 (ja) | 2004-05-24 |
Family
ID=16690824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21659195A Expired - Fee Related JP3530645B2 (ja) | 1995-08-02 | 1995-08-02 | 流量計の流路構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3530645B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT521899B1 (de) * | 2018-12-12 | 2020-11-15 | Avl List Gmbh | Messsystem und Verfahren zur Messung eines Massendurchflusses, einer Dichte, einer Temperatur oder einer Strömungsgeschwindigkeit |
WO2024176464A1 (ja) * | 2023-02-24 | 2024-08-29 | ギガフォトン株式会社 | レーザ用チャンバ装置、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
-
1995
- 1995-08-02 JP JP21659195A patent/JP3530645B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0943014A (ja) | 1997-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH06194199A (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP2806602B2 (ja) | フルイディック流量計 | |
JP3511959B2 (ja) | 流入・流出対称型流量計 | |
JP3530645B2 (ja) | 流量計の流路構造 | |
JP2781063B2 (ja) | フルイディック流量計 | |
JP2003185477A (ja) | 流量計 | |
JP3530646B2 (ja) | 流量計の流路構造 | |
JP3017567B2 (ja) | フルイディック流量計 | |
JP3280806B2 (ja) | フルイディック式流量計 | |
JPH07294467A (ja) | 成分が既知の混合ガスの組成連続測定方法、組成連続測定用測定管及び組成連続測定装置 | |
JP3005272B2 (ja) | フルイディック流量計 | |
JP3181139B2 (ja) | フルイディック流量計 | |
JPH0618244Y2 (ja) | 流体振動型流量計 | |
JP3494770B2 (ja) | フルイディック流量計における圧力変動吸収装置 | |
JP3408341B2 (ja) | 流量計測器 | |
JP2002277300A (ja) | 流量計測装置 | |
JP3017787B2 (ja) | フルイディック流量計 | |
JPH08240468A (ja) | 流量計 | |
JPH08240469A (ja) | 流量計 | |
JP2548998Y2 (ja) | ガスメータ | |
JPH0547380Y2 (ja) | ||
JP3267447B2 (ja) | フルイディック流量計 | |
JP3295532B2 (ja) | フルイディック流量計 | |
JP3290299B2 (ja) | フルイディック流量計 | |
JPH05142002A (ja) | フルイデイツクガスメータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20031218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040301 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |