JPWO2019208214A1 - 測定方法および測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
最初に、図1を参照しながら、実施形態に係る測定装置1の概略構成について説明する。図1は、実施形態に係る測定装置1の概略構成を示す斜視図である。以下では、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
つづいて、実施形態に係る重合ウェハTの構成について、図2を参照しながら説明する。図2は、実施形態に係る重合ウェハTおよび測定マークMの構成を示す模式図である。
つづいて、測定装置1における重合ウェハTの搬送処理の詳細について、図3A〜図3Fを参照しながら説明する。図3A〜図3Fは、実施形態に係る重合ウェハ搬送処理を説明するための図(1)〜(6)である。また、図3Aは、基板保持部10に保持される重合ウェハTにおいて、位置ずれ量の測定が完了した際の様子を示している。
つづいて、測定装置1における重合ウェハTの搭載角度調整処理の詳細について、図4Aおよび図4Bを参照しながら説明する。図4Aおよび図4Bは、実施形態に係る重合ウェハTの搭載角度調整処理を説明するための図(1)、(2)である。
つづいて、測定装置1において重合ウェハT内に設けられる複数の測定マークMの位置を設定する処理の詳細について、図5を参照しながら説明する。図5は、実施形態に係る測定マーク位置設定処理を説明するための図である。
つづいて、測定装置1において測定マークMに焦点を合わせる処理の詳細について、図6A〜図6Dを参照しながら説明する。図6A〜図6Dは、実施形態に係る焦点合わせ処理を説明するための図(1)〜(4)である。
つづいて、撮像された測定マークMに基づいて、上ウェハW1と下ウェハW2との位置ずれ量を評価する処理の詳細について、図7A〜図7Cを参照しながら説明する。図7A〜図7Cは、実施形態に係る位置ずれ評価処理を説明するための図(1)〜(3)である。
つづいて、実施形態の変形例にかかる焦点合わせ処理の詳細について、図8Aおよび図8Bを参照しながら説明する。図8Aおよび図8Bは、実施形態の変形例に係る焦点合わせ処理を説明するための図(1)、(2)である。
つづいて、図9および図10を参照しながら、実施形態および変形例に係る測定処理の詳細について説明する。図9は、実施形態に係る測定装置1が実行する処理の処理手順を示すフローチャートである。
10 基板保持部
11 本体部
11a 開口部
12 保持アーム
20 撮像部
30〜32 変位計
40 光源
50 制御装置
51 制御部
52 記憶部
60 リフター
70 供給アーム
T 重合ウェハ(重合基板の一例)
W1 上ウェハ
W2 下ウェハ
M、M1 測定マーク
M2 別の測定マーク
A1 変位
A2 別の変位
D 厚み
Claims (7)
- 2枚の基板が接合された重合基板の内部に設けられる位置ずれ測定用の測定マークが配置された箇所における撮像部側の前記重合基板の表面の変位を測定する工程と、
前記測定マークを撮像可能な位置に前記撮像部を配置する工程と、
前記変位に基づいてあらかじめ設定された焦点位置を基準に、焦点位置を前後させながら焦点が合うように前記撮像部で前記測定マークを撮像する工程と、
を含む測定方法。 - 前記変位を測定する工程は、1つの変位計で前記測定マークが配置された箇所における前記表面の変位を測定し、
前記測定マークを撮像可能な位置に前記撮像部を配置する工程は、前記重合基板または前記撮像部を移動させて行う請求項1に記載の測定方法。 - 前記変位を測定する工程は、2つの変位計で前記測定マークが配置された箇所の周辺の前記表面の変位をそれぞれ測定し、測定された2つの変位に基づいて前記測定マークが配置された箇所における前記表面の変位を評価する請求項1に記載の測定方法。
- 前記2つの変位計は、前記撮像部が中心となるように配置される請求項3に記載の測定方法。
- 前記変位と前記測定マークに対して焦点が合った焦点位置とに基づいて、前記重合基板のうち前記撮像部側の前記基板の厚みを評価する工程と、
前記重合基板の内部に設けられる位置ずれ測定用の別の測定マークが配置された箇所における前記表面の別の変位を測定する工程と、
前記別の測定マークを撮像可能な位置に前記撮像部を配置する工程と、
前記別の変位から前記撮像部側の前記基板の厚み分深い位置を基準に、焦点位置を前後させながら焦点が合うように前記撮像部で前記別の測定マークを撮像する工程と、
をさらに含む請求項1〜4のいずれか一つに記載の測定方法。 - 前記別の測定マークを撮像する工程は、前記測定マークを撮像する工程より焦点位置を前後させる幅が小さい請求項5に記載の測定方法。
- 2枚の基板が接合された重合基板より大きい開口部が形成される本体部と、前記本体部から前記開口部内を内周側に延伸し、前記重合基板の周縁部を保持する複数の保持アームとを有する基板保持部と、
前記基板保持部に保持される前記重合基板の内部に設けられる位置ずれ測定用の測定マークを撮像する撮像部と、
前記基板保持部に保持される前記重合基板に対して前記撮像部と同じ側に設けられ、前記測定マークが配置された箇所における前記重合基板の表面の変位を測定する変位計と、
前記基板保持部に保持される前記重合基板に対して前記撮像部とは反対側に設けられ、前記重合基板に赤外光を照射する光源と、
を備える測定装置。
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