JPWO2019160066A1 - 半導体レーザモジュール - Google Patents
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Abstract
Description
〔半導体レーザモジュール〕
図1は、実施形態1に係る半導体レーザモジュールの構成を模式的に示す平面図である。図2は、図1のA−A線断面図である。
次に、実施形態2について説明する。上述した実施形態1では、略U字状にレーザ光を折り返して半導体レーザ素子5から光ファイバ11の入射端まで導光していたが、実施形態2では、略V字状にレーザ光を導光する。以下においては、上述した実施形態1と同一の構成には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
図3は、実施形態2に係る半導体レーザモジュールの構成を模式的に示す平面図である。図3に示す半導体レーザモジュール1Aは、上述した実施形態1からビームスプリッタ7を省略し、かつ、ミラー8をビームスプリッタ8Aに変更した。具体的には、半導体レーザモジュール1Aは、パッケージ2と、温度調節器3と、レーザ支持部材4と、半導体レーザ素子5Aと、コリメートレンズ6Aと、ビームスプリッタ8Aと、光アイソレータ9と、集光レンズ10と、光ファイバ11と、ファイバ保持部12と、PD13と、結合レンズ14と、波長検出用素子15と、PD16と、PD17と、支持部材18と、を備える。なお、パッケージ2は、上述した実施形態1の蓋部19(図示せず)を備えているが、半導体レーザモジュール1Aの内部構造の説明のため、蓋部19を取り外した状態で図示されている。
次に、実施形態1,2の変形例1について説明する。実施形態1,2の変形例1は、上述した実施形態1,2に係る蓋部19と構成が異なる。以下においては、実施形態1,2の変形例1に係る蓋部についてのみ説明する。
次に、実施形態1,2の変形例2について説明する。実施形態1,2の変形例2は、上述した実施形態1,2に係る蓋部19と構成が異なる。以下においては、実施形態1,2の変形例2に係る蓋部についてのみ説明する。
次に、実施形態1,2の変形例3について説明する。実施形態1,2の変形例3は、上述した実施形態1,2に係る蓋部19と構成が異なる。以下においては、実施形態1,2の変形例3に係る蓋部についてのみ説明する。
次に、実施形態1,2の変形例4について説明する。実施形態1,2の変形例4は、上述した実施形態1,2に係る蓋部19と構成が異なる。以下においては、実施形態1,2の変形例4に係る蓋部についてのみ説明する。
次に、実施形態1,2の変形例5について説明する。図8は、実施形態1,2の変形例5に係る半導体レーザモジュールの構成を模式的に示す平面図である。図8に示す半導体レーザモジュール1Fは、上述した実施形態1のビームスプリッタ7およびミラー8に変えて、ビームスプリッタ8Fとミラー7Fと、を備える。さらに、半導体レーザモジュール1Fは、PD13の位置が異なる。具体的には、ミラー7Fは、コリメートレンズ6によってコリメートされたレーザ光L1をビームスプリッタ8Fへ反射する。ビームスプリッタ8Fは、ミラー7Fが反射したレーザ光L1の一部をPD13に透過し、残りのレーザ光L1を光アイソレータ9へ反射する。
次に、実施形態1,2の変形例6について説明する。図9は、実施形態1,2の変形例6に係る半導体レーザモジュールの構成を模式的に示す平面図である。図9に示す半導体レーザモジュール1Gは、上述した実施形態1,2の変形例5の構成からビームスプリッタ8Fに変えて、ミラー8を備える。さらに、半導体レーザモジュール1Gは、光アイソレータ9と、集光レンズ10との光路上に配置されたビームスプリッタ20をさらに備える。さらに、半導体レーザモジュール1Gは、結合レンズ14、波長検出用素子15、PD16およびPD17の位置が異なる。具体的には、ビームスプリッタ20は、光アイソレータ9を透過したレーザ光L1の一部を結合レンズ14へ反射し、残りのレーザ光L1を集光レンズ10へ透過する。
次に、実施形態1,2の変形例7について説明する。図10は、実施形態1,2の変形例7に係る半導体レーザモジュールの構成を模式的に示す平面図である。図10に示す半導体レーザモジュール1Hは、光アイソレータ9の位置が異なる。具体的には、図10に示すように、光アイソレータ9は、コリメートレンズ6とビームスプリッタ7との光路上に配置される。
次に、実施形態1,2の変形例8について説明する。図11は、実施形態1,2の変形例8に係る半導体レーザモジュールの構成を模式的に示す平面図である。図11に示す半導体レーザモジュール1Iは、光アイソレータ9の位置が異なる。具体的には、図11に示すように、光アイソレータ9は、ビームスプリッタ7とミラー8との光路上に配置される。
次に、実施形態1,2の変形例9について説明する。図12は、実施形態1,2の変形例10に係る半導体レーザモジュールの構成を模式的に示す平面図である。図12に示す半導体レーザモジュール1Jは、光アイソレータ9の位置が異なる。具体的には、図12に示すように、光アイソレータ9は、集光レンズ10と光ファイバ11との光路上に配置される。
次に、実施形態1,2の変形例10について説明する。実施形態1,2の変形例10は、上述した実施形態1,2に係る蓋部19と構成が異なる。以下においては、実施形態1,2の変形例10に係る蓋部についてのみ説明する。
上述した各実施形態において、光ファイバは11、パッケージ2の短手方向の中心から、パッケージ2の短手方向の一方の側壁側にシフトして配置されている。こうすることで、モジュールの短手方向においてもサイズを増大することなしに、長手方向のサイズを小さくすることが可能である。
2 パッケージ
3 温度調節器
4 レーザ支持部材
5,5A 半導体レーザ素子
6,6A コリメートレンズ
7,8A,8F,20 ビームスプリッタ
7F,8 ミラー
9 光アイソレータ
10 集光レンズ
11 光ファイバ
12 ファイバ保持部
13,16,17 フォトダイオード
14 結合レンズ
15 波長検出用素子
18 支持部材
19,19B,19C,19D,19E,19E,19K 蓋部
21 側壁
191 本体部
192,192B,192C,192D,192E,192F,192K 肉厚部
193 突起部
194 領域部
Claims (15)
- パッケージ内に複数の光学部品が収容された半導体レーザモジュールであって、
前記パッケージ内の一端側に向けてレーザ光を出射する半導体レーザ素子と、
前記半導体レーザ素子が前記レーザ光を出射する出射方向と逆方向の前記パッケージ内における他端側に前記レーザ光が入射する入射端が設けられた光ファイバと、
前記レーザ光を前記半導体レーザ素子が出射する出射方向と逆方向の前記パッケージの前記他端側に向けて折り返して前記光ファイバの前記入射端へ出力する折り返し部と、
を備えることを特徴とする半導体レーザモジュール。 - 前記折り返し部は、1つ以上の反射部材を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記折り返し部は、
前記半導体レーザ素子が出射する前記レーザ光をコリメートして前記反射部材へ出射するコリメートレンズと、
前記反射部材が反射した前記レーザ光を集光して前記光ファイバの前記入射端へ集光する集光レンズと、
をさらに有することを特徴とする請求項2に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記折り返し部は、前記反射部材と前記集光レンズとの間に配置された光アイソレータをさらに有することを特徴とする請求項3に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記光アイソレータによる前記レーザ光の光軸シフト方向と前記集光レンズによる前記レーザ光の屈折方向とが互いに逆であることを特徴とする請求項4に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記半導体レーザ素子が前記レーザ光を出射する出射端と逆方向の他端側に設けられ、前記レーザ光の波長を検出するための波長検出用素子をさらに備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体レーザモジュール。
- 前記光ファイバは、前記パッケージ内に挿入されて設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の半導体レーザモジュール。
- 前記レーザ光を受光し、該受光した前記レーザ光のパワーを検出するパワーモニタをさらに備え、
前記折り返し部は、前記レーザ光の一部を透過するとともに、残りの前記レーザ光を反射する反射部材を有し、
前記パワーモニタは、前記反射部材を透過した前記レーザ光が通過する位置に受光面を向けて配置されることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記レーザ光を受光し、該受光した前記レーザ光のパワーを検出するパワーモニタをさらに備え、
前記折り返し部は、
前記レーザ光を反射する第1の反射部材と、
前記第1の反射部材が反射した前記レーザ光を前記光ファイバの前記入射端へ反射する第2の反射部材と、
前記第2の反射部材が反射した前記レーザ光の一部を透過するとともに、残りの前記レーザ光を反射する光分岐部と、
を有し、
前記パワーモニタは、前記光分岐部が反射した前記レーザ光が通過する位置に受光面を向けて配置されることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記折り返し部は、
前記半導体レーザ素子が出射する前記レーザ光をコリメートして前記反射部材へ出射するコリメートレンズと、
前記反射部材と前記コリメートレンズとの間に配置された光アイソレータと、
をさらに有することを特徴とする請求項2に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記折り返し部は、
前記レーザ光を反射する第1の反射部材と、
前記第1の反射部材が反射した前記レーザ光を前記光ファイバの前記入射端へ反射する第2の反射部材と、
前記第1の反射部材と前記第2の反射部材との間に配置された光アイソレータと、
をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記折り返し部は、
前記半導体レーザ素子が出射する前記レーザ光をコリメートして前記反射部材へ出射するコリメートレンズと、
前記反射部材が反射した前記レーザ光を集光して前記光ファイバの前記入射端へ集光する集光レンズと、
前記集光レンズと前記光ファイバの前記入射端との間に配置された光アイソレータと、
をさらに有することを特徴とする請求項2に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記パッケージに対して装着される蓋部をさらに備え、
前記蓋部は、
前記パッケージの側壁における上端部に接触する本体部と、
前記本体部の下面に設けられ、前記パッケージに対する当該蓋部の位置を決定する肉厚部と、
を有し、
前記肉厚部は、当該蓋部が前記パッケージに装着された際に、前記パッケージ内に収容された前記光アイソレータの直上における前記本体部の下面領域以外に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記肉厚部は、前記パッケージの側壁のうち2箇所以上の内側と接触するように形成されることを特徴とする請求項13に記載の半導体レーザモジュール。
- 前記光ファイバは、前記パッケージの短手方向の中心から、前記パッケージの短手方向の一方の側壁側にシフトして配置されていることを特徴とする請求項1〜14のいずれか一つに記載の半導体レーザモジュール。
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