JPWO2019153091A5 - - Google Patents
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Description
図５Ａに、面Ｓの斜視外観を、そのレーザ処理対象面Ｓが配置されるレーザ処理窓５２を写像する焦点経路Ｐと共に示す。このレーザ処理窓５２は、レーザ処理サブシステム１４の動作フィールドに対応付けることができる。焦点経路Ｐを、そのレーザ処理窓５２にて焦点２０により走査されうるよう連続的なものとすることができる。他方、これに代わる諸実施形態では、レーザ処理窓５２を写像する焦点経路Ｐが、互いに空間的に隔たる複数本の焦点経路Ｐｉを含むものとされる。これらの実施形態では、レーザ処理窓５２を写像する焦点経路（群）に沿った焦点の動きに由来する面Ｓの照明を、一連の画像を通じ図５Ｂに示す如くに撮像することができる。上述の方法に依拠し、レーザ処理窓５２内における面Ｓの座標をそれら一連の画像から特定することができ、それを助力として、レーザ処理対象面Ｓに対応するものとなるまで焦点経路Ｐｉを更新することができる。
Applications Claiming Priority (3)
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