JPWO2019133302A5

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Publication number: JPWO2019133302A5
Application number: JP2020536177A
Authority: JP
Publication date: 2022-03-16
Anticipated expiration: 2038-12-14

Description

本開示の要約は、読者が技術的開示の本質を素早く確かめることができるように記載されている。要約は、特許請求の範囲を説明または限定するために用いられないという理解で提出されている。また、前述の発明を実施するための形態では、本開示を合理化するために、様々な特徴が１つの実施形態においてグループ化されてよいことがわかるだろう。この開示方法は、特許請求の範囲を限定していると解釈されるべきでない。よって、以下の特許請求の範囲は、これにより発明を実施するための形態に組み込まれ、各形態は、別々の実施形態として独立している。例えば本開示は、以下の形態で実現できる。
［形態１］
無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
間隔をおいた配置で互いに電気結合された複数の略平面螺旋フィルタであって、各々は、内側同士の電気的接続または外側同士の電気的接続のいずれかとして隣接する略平面螺旋フィルタに結合され、連続的な構成で配置される複数の略平面螺旋フィルタを備える、無線周波数フィルタ装置。
［形態２］
形態１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、実質的に互いに平行に積み重ねられる、無線周波数フィルタ装置。
［形態３］
形態２に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、空芯をさらに備える、無線周波数フィルタ装置。
［形態４］
形態２に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、強磁性コア材料をさらに備える、無線周波数フィルタ装置。
［形態５］
形態１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、約５００ワットから約５０キロワットを処理可能な撚線構造を備える、無線周波数フィルタ装置。
［形態６］
形態１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、約５００オームから約１０キロオームのインピーダンス値を提供する、無線周波数フィルタ装置。
［形態７］
形態１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、約１００ｋＨｚから約３ＭＨｚの範囲の低周波ＲＦ電力を低減させる、無線周波数フィルタ装置。
［形態８］
形態１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタ間の距離は、実質的に等しい、無線周波数フィルタ装置。
［形態９］
形態１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタ間の距離は、異なる、無線周波数フィルタ装置。
［形態１０］
形態９に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタ間の前記距離は、前記複数の略平面螺旋フィルタの各々からの対流冷却を向上させるために異なる、無線周波数フィルタ装置。
［形態１１］
形態９に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する前記略平面螺旋フィルタ間の前記距離は、前記ＲＦフィルタ装置の合計インピーダンス値を変更するために異なる、無線周波数フィルタ装置。
［形態１２］
形態１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの少なくとも１つの略平面螺旋フィルタのピッチは、前記螺旋フィルタの全ての部分において径方向に均一である、無線周波数フィルタ装置。
［形態１３］
形態１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの少なくとも１つの略平面螺旋フィルタのピッチは、前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタのピッチとは異なる、無線周波数フィルタ装置。
［形態１４］
形態１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの少なくとも１つの前記略平面螺旋フィルタのピッチは、前記螺旋フィルタの一区画から別の区画まで径方向に異なる、無線周波数フィルタ装置。
［形態１５］
システムであって、
プラズマ処理システムの静電チャックに結合された低周波無線周波数（ＲＦ）フィルタであって、約１００ｋＨｚから約３ＭＨｚの周波数範囲のＲＦ周波数を実質的にブロックし、間隔をおいた配置で互いに電気結合された複数の略平面螺旋フィルタを有する低周波ＲＦフィルタと、
約３ＭＨｚを超えるＲＦ周波数を実質的にブロックするためのソレノイド配置の高周波ＲＦフィルタと、
を備える、システム。
［形態１６］
形態１５に記載のシステムであって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、内側同士の電気的接続または外側同士の電気的接続のいずれかとして前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタに結合される、システム。
［形態１７］
形態１５に記載のシステムであって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、第１部分および第２部分を含み、前記第１部分から前記第２部分に略平行な曲線を有する実質的に一定のピッチを有する、システム。
［形態１８］
形態１５に記載のシステムであって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、第１部分および第２部分を含み、前記第１部分から前記第２部分に異なるピッチを有する、システム。
［形態１９］
形態１５に記載のシステムであって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各略平面螺旋フィルタのピッチは、アルキメデスの螺旋に近似する、システム。
［形態２０］
形態１５に記載のシステムであって、
前記低周波ＲＦフィルタおよび前記高周波ＲＦフィルタは、プラズマ型処理システムのＲＦフィルタ筐体内に設置されるような物理的サイズにされる、システム。
［形態２１］
無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
間隔をおいた配置で互いに平行に電気結合された複数の略平面螺旋フィルタであって、各々は、約５００ワットから約５０キロワットを処理可能な撚線構造を有する複数の略平面螺旋フィルタを備える、ＲＦフィルタ装置。
［形態２２］
形態２１に記載の無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、前記複数の略平面螺旋フィルタの連続する略平面螺旋フィルタの配置に基づいて、内側同士の電気的接続または外側同士の電気的接続のいずれかとして前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタに結合される、ＲＦフィルタ装置。
［形態２３］
形態２１に記載の無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタ間の磁路の強め合い干渉を増加させるように配置される、ＲＦフィルタ装置。
［形態２４］
形態２１に記載の無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、空芯設計に基づく、ＲＦフィルタ装置。
［形態２５］
無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
間隔をおいた配置で互いに電気結合された複数の略平面螺旋フィルタであって、各々は、内側同士の電気的接続または外側同士の電気的接続のいずれかとして前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタに結合され、隣接する略平面螺旋フィルタ同士は、互いに逆方向に巻き付けられ、連続的な構成で配置される複数の略平面螺旋フィルタを備える、ＲＦフィルタ装置。
［形態２６］
装置であって、
約１００ｋＨｚから約３ＭＨｚの周波数範囲のＲＦ周波数を、約５００ワットから約５０キロワットの電力レベルで実質的にブロックするための低周波無線周波数（ＲＦ）フィルタであって、空芯装置として配置された複数の略平面螺旋フィルタを有する低周波ＲＦフィルタを備える、装置。

Claims

無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
間隔をおいた配置で互いに電気結合された複数の略平面螺旋フィルタであって、各々は、内側同士の電気的接続または外側同士の電気的接続のいずれかとして隣接する略平面螺旋フィルタに結合され、交互の前記内側同士および前記外側同士の接続は、強め合うように干渉する磁路を形成する、略平面螺旋フィルタを備え、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、連続的な構成で配置され、前記略平面螺旋フィルタの各々は、コイルである前記略平面螺旋フィルタの特定の端から見て同一方向に巻き付けられている、無線周波数フィルタ装置。
請求項１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、実質的に互いに平行に積み重ねられる、無線周波数フィルタ装置。
請求項２に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、空芯をさらに備える、無線周波数フィルタ装置。
請求項２に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、強磁性コア材料をさらに備える、無線周波数フィルタ装置。
請求項１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、約５００ワットから約５０キロワットを処理可能な撚線構造を備える、無線周波数フィルタ装置。
請求項１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、約５００オームから約１０キロオームのインピーダンス値を提供する、無線周波数フィルタ装置。
請求項１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、約１００ｋＨｚから約３ＭＨｚの範囲の低周波ＲＦ電力を低減させる、無線周波数フィルタ装置。
請求項１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタ間の距離は、実質的に等しい、無線周波数フィルタ装置。
請求項１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタ間の距離は、異なる、無線周波数フィルタ装置。
請求項９に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタ間の前記距離は、前記複数の略平面螺旋フィルタの各々からの対流冷却を向上させるために異なる、無線周波数フィルタ装置。
請求項９に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する前記略平面螺旋フィルタ間の前記距離は、前記ＲＦフィルタ装置の合計インピーダンス値を変更するために異なる、無線周波数フィルタ装置。
請求項１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの少なくとも１つの略平面螺旋フィルタのピッチは、前記螺旋フィルタの全ての部分において径方向に均一である、無線周波数フィルタ装置。
請求項１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの少なくとも１つの略平面螺旋フィルタのピッチは、前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタのピッチとは異なる、無線周波数フィルタ装置。
請求項１に記載の無線周波数フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの少なくとも１つの前記略平面螺旋フィルタのピッチは、前記螺旋フィルタの一区画から別の区画まで径方向に異なる、無線周波数フィルタ装置。
システムであって、
プラズマ処理システムの静電チャックに結合された低周波無線周波数（ＲＦ）フィルタであって、約１００ｋＨｚから約３ＭＨｚの周波数範囲のＲＦ周波数を実質的にブロックし、間隔をおいた配置で互いに電気結合された複数の略平面螺旋フィルタを有する低周波ＲＦフィルタと、
約３ＭＨｚを超えるＲＦ周波数を実質的にブロックするためのソレノイド配置の高周波ＲＦフィルタと、を備え、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、内側同士の電気的接続または外側同士の電気的接続のいずれかとして隣接する略平面螺旋フィルタに結合され、交互の前記内側同士および前記外側同士の接続は、強め合うように干渉する磁路を形成し、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、連続的な構成で配置され、前記略平面螺旋フィルタの各々は、コイルである前記略平面螺旋フィルタの特定の端から見て同一方向に巻き付けられている、システム。
請求項１５に記載のシステムであって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、第１部分および第２部分を含み、前記第１部分から前記第２部分に略平行な曲線を有する実質的に一定のピッチを有する、システム。
請求項１５に記載のシステムであって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、第１部分および第２部分を含み、前記第１部分から前記第２部分に異なるピッチを有する、システム。
請求項１５に記載のシステムであって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各略平面螺旋フィルタのピッチは、アルキメデスの螺旋に近似する、システム。
請求項１５に記載のシステムであって、
前記低周波ＲＦフィルタおよび前記高周波ＲＦフィルタは、プラズマ型処理システムのＲＦフィルタ筐体内に設置されるような物理的サイズにされる、システム。
無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
間隔をおいた配置で互いに平行に電気結合された複数の略平面螺旋フィルタであって、各々は、約５００ワットから約５０キロワットを処理可能な撚線構造を有する複数の略平面螺旋フィルタを備え、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、内側同士の電気的接続または外側同士の電気的接続のいずれかとして隣接する略平面螺旋フィルタに結合され、交互の前記内側同士および前記外側同士の接続は、強め合うように干渉する磁路を形成し、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、連続的な構成で配置され、前記略平面螺旋フィルタの各々は、コイルである前記略平面螺旋フィルタの特定の端から見て同一方向に巻き付けられている、ＲＦフィルタ装置。
請求項２０に記載の無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタ間の磁路の強め合い干渉を増加させるように配置される、ＲＦフィルタ装置。
請求項２０に記載の無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、空芯設計に基づく、ＲＦフィルタ装置。
無線周波数（ＲＦ）フィルタ装置であって、
間隔をおいた配置で互いに電気結合された複数の略平面螺旋フィルタであって、各々は、内側同士の電気的接続または外側同士の電気的接続のいずれかとして前記複数の略平面螺旋フィルタの隣接する略平面螺旋フィルタに結合され、隣接する略平面螺旋フィルタ同士は、互いに逆方向に巻き付けられ、連続的な構成で配置される複数の略平面螺旋フィルタを備える、ＲＦフィルタ装置。
装置であって、
約１００ｋＨｚから約３ＭＨｚの周波数範囲のＲＦ周波数を、約５００ワットから約５０キロワットの電力レベルで実質的にブロックするための低周波無線周波数（ＲＦ）フィルタであって、空芯装置として配置された複数の略平面螺旋フィルタを有する低周波ＲＦフィルタを備え、
前記複数の略平面螺旋フィルタの各々は、内側同士の電気的接続または外側同士の電気的接続のいずれかとして隣接する略平面螺旋フィルタに結合され、交互の前記内側同士および前記外側同士の接続は、強め合うように干渉する磁路を形成し、
前記複数の略平面螺旋フィルタは、連続的な構成で配置され、前記略平面螺旋フィルタの各々は、コイルである前記略平面螺旋フィルタの特定の端から見て同一方向に巻き付けられている、装置。