JPWO2019123130A1 - 表示装置 - Google Patents

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Abstract

本発明は、表示品位が高い表示装置を提供することを目的とする。本発明の表示装置は、画素と、ソースドライバ回路と、を有する。画素は、第1及び第2のトランジスタ(21,22)と、容量素子(25)と、表示素子(26)と、を有する。ソースドライバ回路は、第1及び第2の配線(31,32)と電気的に接続されている。第1の配線(31)は、第1のトランジスタ(21)を介して、容量素子(25)の一方の電極、及び表示素子(26)の一方の電極と電気的に接続されている。第2の配線(32)は、第2のトランジスタ(22)を介して、容量素子(25)の他方の電極、及び表示素子(26)の他方の電極と電気的に接続されている。

Description

本発明の一態様は、表示装置及びその動作方法に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、表示システム、電子機器、照明装置、入力装置(例えば、タッチセンサ等)、入出力装置(例えば、タッチパネル等)、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法を一例として挙げることができる。
なお、本明細書等において、半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。表示装置(液晶表示装置、発光表示装置等)、投影装置、照明装置、電気光学装置、蓄電装置、記憶装置、半導体回路、撮像装置、及び電子機器等は、半導体装置といえる場合がある。もしくは、これらは半導体装置を有するといえる場合がある。
表示デバイスとして液晶デバイスを用いた表示装置の開発が進められている。一般に、液晶デバイスは、直流電圧を供給し続けると劣化しやすくなる傾向がある。このため、表示デバイスとして液晶デバイスを用いた表示装置では、例えば1フレーム期間毎に液晶デバイスに印加する電圧の極性を反転させる駆動方式(「フレーム反転駆動法」ともいう。)が用いられる。
表示装置をフレーム反転方式で駆動する場合、表示装置に画像を表示している期間中、表示デバイスの共通電極に供給する電位を一定に保つ駆動方式(「コモンDC駆動法」ともいう。)と、共通電極に供給する電位の極性を、例えば1フレーム期間毎に反転させる駆動方式(「コモン反転駆動法」ともいう。)が知られている。例えば、特許文献1では、コモン反転駆動法により動作する液晶表示装置が開示されている。
特開平11−119193号公報
コモンDC駆動法により表示装置を駆動する場合、表示デバイスの共通電極に、接地電位等の定電位を供給する。このため、表示デバイスの画素電極に供給される電位と、共通電極に供給される電位との差を大きくするには、画素電極に高い電位を供給する必要がある。一方、コモン反転駆動法により表示装置を駆動する場合、画素電極に供給される電位が低くても、表示デバイスの画素電極に供給される電位と、共通電極に供給される電位との差を大きくすることができる。
しかし、コモン反転駆動法により表示装置を駆動する場合、全ての表示デバイスの共通電極に供給される電位の極性を、同時に反転させることになる。これにより、共通電極に供給される電位の極性を反転させてから、画像データに対応する電位が画素電極に供給されるまでの期間が画素ごとに異なることになり、表示ムラが発生して表示品位が低下する。
本発明の一態様は、表示デバイスの一方の電極に供給される電位、及び表示デバイスの他方の電極に供給される電位を、画素ごとに制御することができる表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、表示デバイスの一方の電極に供給される電位、及び表示デバイスの他方の電極に供給される電位を、ソースドライバ回路により供給することができる表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、表示ムラが軽減された表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、表示デバイスに高電圧を供給することができる表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、表示品位が高い表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、低消費電力の表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、低価格な表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、信頼性の高い表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、小型の表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、新規な表示装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、上記表示装置の動作方法を提供することを課題の一つとする。
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
本発明の一態様は、画素と、ソースドライバ回路と、を有する表示装置であって、画素は、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、容量素子と、表示デバイスと、を有し、第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、容量素子の一方の電極と電気的に接続され、容量素子の一方の電極は、表示デバイスの一方の電極と電気的に接続され、第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、容量素子の他方の電極と電気的に接続され、容量素子の他方の電極は、表示デバイスの他方の電極と電気的に接続され、第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第1の配線を介してソースドライバ回路と電気的に接続され、第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の配線を介してソースドライバ回路と電気的に接続されている表示装置である。
又は、上記態様において、ソースドライバ回路は、第2の配線に、第1の電位又は第2の電位を供給する機能を有し、ソースドライバ回路は、第1の抵抗素子と、第2の抵抗素子と、を有し、第1の抵抗素子の一方の端子には、第1の電位が供給され、第2の抵抗素子の一方の端子には、第2の電位が供給されてもよい。
又は、上記態様において、ソースドライバ回路は、第1のスイッチと、第2のスイッチと、を有し、第1の抵抗素子の一方の端子は、第1のスイッチの一方の端子と電気的に接続され、第1のスイッチの他方の端子は、第2の配線と電気的に接続され、第2の抵抗素子の一方の端子は、第2のスイッチの一方の端子と電気的に接続され、第2のスイッチの他方の端子は、第2の配線と電気的に接続されていてもよい。
又は、上記態様において、第1の電位は、正電位であり、第2の電位は、負電位であってもよい。
又は、上記態様において、第1の電位の絶対値と、第2の電位の絶対値と、は同一又は略同一であってもよい。
又は、上記態様において、第1のトランジスタのゲート、及び第2のトランジスタのゲートは、第3の配線と電気的に接続されていてもよい。
又は、上記態様において、表示装置は、ゲートドライバ回路を有し、第3の配線は、ゲートドライバ回路と電気的に接続されていてもよい。
又は、上記態様において、表示デバイスは、液晶デバイスであってもよい。
又は、上記態様において、表示デバイスは、横電界方式が適用された液晶デバイスであってもよい。
又は、上記態様において、表示デバイスは、ブルー相を示す液晶を有してもよい。
又は、上記態様において、第1のトランジスタ、及び第2のトランジスタは、チャネル形成領域に金属酸化物を有し、金属酸化物は、Inと、Znと、M(MはAl、Ti、Ga、Sn、Y、Zr、La、Ce、Nd、又はHf)と、を有してもよい。
又は、上記態様において、画素は、第3のトランジスタを有し、第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、表示デバイスの他方の電極と電気的に接続され、第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、共通配線と電気的に接続されていてもよい。
又は、上記態様において、第3のトランジスタは、チャネル形成領域に金属酸化物を有し、金属酸化物は、Inと、Znと、M(MはAl、Ti、Ga、Sn、Y、Zr、La、Ce、Nd、又はHf)と、を有してもよい。
本発明の一態様により、表示デバイスの一方の電極に供給される電位、及び表示デバイスの他方の電極に供給される電位を、画素ごとに制御することができる表示装置を提供できる。本発明の一態様により、表示デバイスの一方の電極に供給される電位、及び表示デバイスの他方の電極に供給される電位を、ソースドライバ回路により供給することができる表示装置を提供できる。本発明の一態様により、表示ムラが軽減された表示装置を提供できる。本発明の一態様により、表示デバイスに高電圧を供給することができる表示装置を提供できる。本発明の一態様により、表示品位が高い表示装置を提供できる。本発明の一態様により、低消費電力の表示装置を提供できる。本発明の一態様により、低価格な表示装置を提供できる。本発明の一態様により、信頼性の高い表示装置を提供できる。本発明の一態様により、小型の表示装置を提供できる。本発明の一態様により、新規な表示装置を提供できる。本発明の一態様により、上記表示装置の動作方法を提供できる。
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。明細書、図面、請求項の記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
画素の一例を示す図。 画素の動作の一例を示す図。 画素の一例を示す図。 画素の動作の一例を示す図。 画素の一例を示す図。 表示装置の一例を示す図。 ソースドライバ回路の一例を示す図、及びパストランジスタロジック回路の特性の一例を示す図。 ソースドライバ回路の一例を示す図、及びパストランジスタロジック回路の特性の一例を示す図。 表示装置の一例を示す図。 トランジスタの一例を示す図。 トランジスタの一例を示す図。 トランジスタの一例を示す図。 トランジスタの一例を示す図。 電子機器の一例を示す図。 実施例1で用いた回路を示す図。 実施例1で用いた画素を示す図。 実施例1での計算条件を示す図。 実施例1での計算結果を示す図。
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の主旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
また、図面において示す各構成の、位置、大きさ、範囲等は、理解の簡単のため、実際の位置、大きさ、範囲等を表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面に開示された位置、大きさ、範囲等に限定されない。
なお、「膜」という用語と、「層」という用語とは、場合によっては、又は、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更することが可能である。又は、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」という用語に変更することが可能である。
本明細書等において、金属酸化物(metal oxide)とは、広い意味での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体(透明酸化物導電体を含む)、酸化物半導体(Oxide Semiconductor又は単にOSともいう)等に分類される。例えば、トランジスタの半導体層に金属酸化物を用いた場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、OS FETと記載する場合においては、金属酸化物又は酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。
また、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物(metal oxide)と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物(metal oxynitride)と呼称してもよい。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について図面を用いて説明する。
本発明の一態様は、画素と、ソースドライバ回路と、ゲートドライバ回路と、を有する表示装置に関する。画素は、第1及び第2のトランジスタと、容量素子と、表示デバイスと、を有する。ソースドライバ回路は、第1及び第2の配線と電気的に接続されている。第1の配線は、第1のトランジスタを介して、容量素子の一方の電極、及び表示デバイスの一方の電極と電気的に接続されている。第2の配線は、第2のトランジスタを介して、容量素子の他方の電極、及び表示デバイスの他方の電極と電気的に接続されている。ゲートドライバ回路は、第3の配線と電気的に接続されており、第3の配線は、第1及び第2のトランジスタのゲートと電気的に接続されている。本発明の一態様の表示装置に設けられた画素を上記構成とすることにより、表示デバイスの一方の電極に供給する電位、及び表示デバイスの他方の電極に供給する電位の両方を、画素ごとに制御することができる。
ここで、表示デバイスとして、液晶デバイスを用いることができる。また、第1及び第2の配線は、信号線とすることができ、第3の配線は、走査線とすることができる。
ソースドライバ回路は、第1の配線に画像信号を供給することにより、画像信号に対応する電位を表示デバイスの一方の電極に供給する機能を有する。また、ソースドライバ回路は、第2の配線に第1又は第2の電位を供給することにより、第1又は第2の電位を表示デバイスの他方の電極に供給する機能を有する。ここで、第2の電位は、第1の電位の極性を反転させた電位とすることができる。
本明細書等において、極性を反転させた電位とは、表示デバイスに印加する電圧の極性を反転させる電位を示す。例えば、表示デバイスの他方の電極に供給する電位を、第1の電位又は第2の電位とし、第1の電位を表示デバイスの一方の電極に供給される電位以上の電位とし、第2の電位を表示デバイスの一方の電極に供給される電位以下の電位とする場合、第1の電位と第2の電位は極性を反転させた電位ということができる。
又は、基準電位との大小関係を逆にした電位を、極性を反転させた電位という場合がある。例えば、基準電位を接地電位とすると、正負を逆にした電位を、極性を反転させた電位という場合がある。
例えば、第1の電位は正電位とすることができ、第2の電位は負電位とすることができる。この場合、第1の電位の絶対値と、第2の電位の絶対値は同一又は略同一とすることができる。ここで、第1の電位の絶対値と、第2の電位の絶対値と、の差が例えば0.1V以下である場合は、第1の電位の絶対値と、第2の電位の絶対値は略同一であるということができる。
本明細書等において、表示デバイスに印加される電圧とは、当該表示デバイスの一方の電極に供給される電位と、当該表示デバイスの他方の電極に供給される電位と、の電位差を示す。また、表示デバイスに印加される電圧の極性が反転するとは、例えば表示デバイスに印加される電圧が正から負に切り替わること、又は負から正に切り替わることを示す。
本発明の一態様では、表示装置がフレーム反転駆動を行う際、表示デバイスの一方の電極に供給される電位だけでなく、表示デバイスの他方の電極に供給される電位も切り替える。これにより、画像信号に対応する電位が低くても、表示デバイスの一方の電極に供給される電位のみを反転させることによりフレーム反転駆動を行う場合より、表示デバイスに印加される電圧を高くすることができる。したがって、表示デバイスに高い電圧を印加する場合であっても、本発明の一態様の表示装置の消費電力を小さくすることができる。また、ソースドライバ回路を高耐圧なものにしなくてよいため、本発明の一態様の表示装置を低価格なものとすることができる。
本明細書等において、電圧が高いとは、電位差の絶対値が大きいということを示す場合がある。また、電圧が低いとは、電位差の絶対値が小さいということを示す場合がある。つまり、電圧の高低を論ずる際に、電圧の極性を考慮しない場合がある。
前述のように、本発明の一態様の表示装置では、表示デバイスの一方の電極に供給する電位、及び表示デバイスの他方の電極に供給する電位の両方を、画素ごとに制御することができる。これにより、表示デバイスの他方の電極に供給される電位を切り替えてから、当該表示デバイスの一方の電極に画像信号に対応する電位を供給するまでの期間を、画素間で等しくすることができる。例えば、本発明の一態様の表示装置が有する全ての画素について、表示デバイスの一方の電極に画像信号に対応する電位が供給されるタイミングと、表示デバイスの他方の電極に供給される電位が切り替わるタイミングと、を一致させることができる。これにより、表示デバイスの他方の電極を共通電極とする場合より、表示装置に表示される画像の表示ムラを軽減することができ、表示品位を高めることができる。
<1−1.画素の構成例1>
図1は、本発明の一態様の表示装置に用いることができる画素11aを説明する図である。画素11aは、トランジスタ21と、トランジスタ22と、容量素子25と、表示デバイス26を有する。表示デバイス26として、例えば液晶デバイスを用いることができる。
トランジスタ21のソース又はドレインの一方は、容量素子25の一方の電極と電気的に接続されている。容量素子25の一方の電極は、表示デバイス26の一方の電極と電気的に接続されている。トランジスタ22のソース又はドレインの一方は、容量素子25の他方の電極と電気的に接続されている。容量素子25の他方の電極は、表示デバイス26の他方の電極と電気的に接続されている。
ここで、トランジスタ21のソース又はドレインの一方、容量素子25の一方の電極、及び表示デバイス26の一方の電極が接続されている配線をノードN1とする。また、トランジスタ22のソース又はドレインの一方、容量素子25の他方の電極、及び表示デバイス26の他方の電極が接続されている配線をノードN2とする。
トランジスタ21のソース又はドレインの他方は、配線31と電気的に接続されている。トランジスタ22のソース又はドレインの他方は、配線32と電気的に接続されている。トランジスタ21のゲート、及びトランジスタ22のゲートは、配線33と電気的に接続されている。
配線31は、画像信号を画素11aに供給する信号線としての機能を有する。配線32は、第1の電位及び第2の電位を画素11aに供給する信号線としての機能を有する。配線33は、トランジスタ21及びトランジスタ22を制御する走査線としての機能を有する。
ここで、第2の電位は、第1の電位の極性を反転させた電位とすることができる。例えば、第1の電位は正電位とすることができ、第2の電位は負電位とすることができる。また、第1の電位の絶対値と、第2の電位の絶対値は、同一又は略同一とすることができる。
トランジスタ21は、画素11aへの画像信号の供給を制御する機能を有する。トランジスタ22は、画素11aへの第1の電位及び第2の電位の供給を制御する機能を有する。
画像信号に対応する電位は、ノードN1に保持される。第1の電位又は第2の電位は、ノードN2に保持される。したがって、トランジスタ21及びトランジスタ22に極めてオフ電流の低いトランジスタを用いることで、ノードN1及びノードN2の電位を長時間保持することができる。当該トランジスタには、例えば、金属酸化物をチャネル形成領域に用いたトランジスタ(以下、OSトランジスタ)を用いることができる。
OSトランジスタに用いる半導体材料としては、エネルギーギャップが2eV以上、好ましくは2.5eV以上、より好ましくは3eV以上である金属酸化物を用いることができる。代表的には、インジウムを含む酸化物半導体等であり、例えば、後述するCAAC−OS又はCAC−OS等を用いることができる。CAAC−OSは、結晶性の高い酸化物半導体である。また、当該結晶性の高い酸化物半導体を用いたトランジスタは、信頼性を向上させることができるため、本発明の一態様の表示装置に用いると好適である。また、CAC−OSは、高移動度特性を示すため、高速駆動を行うトランジスタ等に適する。
OSトランジスタはエネルギーギャップが大きいため、極めて低いオフ電流特性を示す。また、OSトランジスタは、インパクトイオン化、アバランシェ降伏、及び短チャネル効果等が生じない等、Siをチャネル形成領域に有するトランジスタ(以下、Siトランジスタ)とは異なる特徴を有し、信頼性の高い回路を形成することができる。
なお、トランジスタ21及びトランジスタ22にSiトランジスタを用いてもよい。又は、トランジスタ21及びトランジスタ22の一方にOSトランジスタを用い、他方にSiトランジスタを用いてもよい。なお、上記Siトランジスタとしては、アモルファスシリコンを有するトランジスタ、結晶性のシリコン(代表的には、低温ポリシリコン)を有するトランジスタ、単結晶シリコンを有するトランジスタ等が挙げられる。
画素11aを図1に示す構成とすることで、表示デバイス26の他方の電極に供給する電位を、画素11aごとに制御することができる。
次に、図2に示すタイミングチャートを用いて、画素11aの動作方法の一例について説明する。ここで、電位V1は、第1の電位とすることができ、電位V2は、第2の電位とすることができる。また、時刻T01乃至時刻T03、時刻T04乃至時刻T06を、それぞれ1フレーム期間とすることができる。
時刻T01に配線33の電位を高電位とすると、トランジスタ21及びトランジスタ22が導通する。その後、時刻T02に配線31の電位を画像信号に対応する電位である電位VIS1、配線32の電位を電位V2とすると、ノードN1に電位VIS1が書き込まれ、ノードN2に電位V2が書き込まれる。これにより、電位VIS1に応じて表示デバイス26による表示が行われる。
時刻T03に配線33の電位を低電位とすると、トランジスタ21及びトランジスタ22が非導通となり、ノードN1に電位VIS1が保持され、ノードN2に電位V2が保持される。
本明細書等において、低電位は、例えば電位V2以下の電位とすることができる。また、高電位は、例えば電位V1以上の電位とすることができる。
時刻T04に配線33の電位を高電位とすると、トランジスタ21及びトランジスタ22が導通する。その後、時刻T05に配線31の電位を電位VIS1’とし、配線32の電位を電位V1とすると、ノードN1の電位が電位VIS1’となり、ノードN2の電位が電位V1となる。したがって、表示デバイス26に印加される電圧の極性が反転することによりフレーム反転駆動が行われる。これにより、表示デバイス26が液晶デバイスである場合、フレーム反転駆動を行わない場合より表示デバイス26の劣化を抑制することができるため、本発明の一態様の表示装置の信頼性を高めることができる。また、ノードN1の電位、及びノードN2の電位の両方を切り替えてフレーム反転駆動を行うことにより、画像信号に対応する電位が低くても、ノードN1の電位のみを切り替えてフレーム反転駆動を行う場合より、表示デバイス26に印加される電圧を高くすることができる。これにより、表示デバイス26に高い電圧を印加する場合であっても、本発明の一態様の表示装置の消費電力を小さくすることができる。
時刻T06に配線33の電位を低電位とすると、トランジスタ21及びトランジスタ22が非導通となる。以上が画素11aの動作方法の一例である。
以上示したように、本発明の一態様では、配線32に供給する電位を、一定の周期で切り替える。当該周期は、例えば図2に示すように、配線31に画像信号が供給される周期と等しくすることができる。例えば、配線31に画像信号が供給されるタイミングと、配線32に供給される電位が切り替わるタイミングと、を一致させることができる。
前述のように、本発明の一態様の表示装置では、表示デバイス26の一方の電極に供給する電位、及び表示デバイス26の他方の電極に供給する電位の両方を、画素11aごとに制御することができる。つまり、ノードN1に書き込む電位、及びノードN2に書き込む電位の両方を、画素11aごとに制御することができる。これにより、ノードN2に第1の電位又は第2の電位を書き込んでから、ノードN1に画像信号に対応する電位を書き込むまでの期間を、画素11a間で等しくすることができる。例えば、全ての画素11aについて、図2に示すように、ノードN2に電位が書き込まれるタイミングを、ノードN1に電位が書き込まれるタイミングと一致させることができる。これにより、表示装置に表示される画像の表示ムラを軽減することができ、表示品位を高めることができる。
なお、第1の電位及び第2の電位は、それぞれ固定してもよいが、変動させてもよい。例えば、第1の電位を0V乃至5Vの間で変動させ、第2の電位を−5V乃至0Vの間で変動させてもよい。これにより、画素11aに供給された画像信号に対して、例えば補正処理を行うことができる。
<1−2.画素の構成例2>
図3は、本発明の一態様の表示装置に用いることができる画素11bを説明する図である。画素11bは、画素11aの変形例であり、トランジスタ23が設けられている点が画素11aと異なる。
トランジスタ23のソース又はドレインの一方は、ノードN2と電気的に接続されている。トランジスタ23のソース又はドレインの他方は、配線35と電気的に接続されている。トランジスタ23のゲートは、配線34と電気的に接続されている。
配線35は、共通配線としての機能を有する。つまり、本発明の一態様の表示装置が有する、例えば全ての画素11bに設けられたトランジスタ23のソース又はドレインの他方が、1本の配線35と電気的に接続された構成とすることができる。配線35には、定電位が供給され、例えば接地電位を供給することができる。また、配線34は、トランジスタ23を制御する走査線としての機能を有する。
画素11aと同様に、第1の電位又は第2の電位は、ノードN2に保持される。したがって、トランジスタ23に、トランジスタ22と同様に極めてオフ電流の低いトランジスタ、例えばOSトランジスタを用いると、ノードN2の電位を長時間保持することができる。なお、トランジスタ23にSiトランジスタを用いてもよい。
次に、図4に示すタイミングチャートを用いて、画素11bの動作方法の一例について説明する。ここで、配線35に供給される電位を電位VCOMとする。また、時刻T11乃至時刻T15、時刻T16乃至時刻T20を、それぞれ1フレーム期間とすることができる。
時刻T11に配線34の電位を低電位、時刻T12に配線33の電位を高電位とする。また、時刻T13に配線31の電位を、画像信号に対応する電位である電位VIS2、配線32の電位を電位V2とする。以上により、トランジスタ21及びトランジスタ22が導通し、ノードN1に電位VIS2が書き込まれ、ノードN2に電位V2が書き込まれる。これにより、電位VIS2に応じて表示デバイス26による表示が行われる。
時刻T14に配線33の電位を低電位とすると、トランジスタ21及びトランジスタ22が非導通となり、ノードN1に電位VIS2が保持され、ノードN2に電位V2が保持される。
時刻T15に配線34の電位を高電位とすると、トランジスタ23が導通し、ノードN2の電位が電位VCOMとなる。つまり、ノードN2の電位が、“VCOM−V2”上昇する。これにより、ノードN1の容量結合係数が1である場合、ノードN1の電位も“V OM−V2”上昇し、電位“VIS2+VCOM−V2”となる。つまり、表示デバイス26に印加される電圧は変化しない。ここで、電位VIS2が正電位である場合、電位“VIS2+VCOM−V2”は電位V1より大きい電位となる場合がある。なお、以降の説明においても、ノードN1の容量結合係数を1とする。
時刻T16に配線34の電位を低電位とし、時刻T17に配線33の電位を高電位とする。また、時刻T18に配線31の電位を電位VIS2’とし、配線32の電位を電位V1とする。これにより、トランジスタ21及びトランジスタ22が導通し、ノードN1の電位が電位VIS2’となり、ノードN2の電位は電位V1となる。以上により、表示デバイス26に印加される電圧の極性が反転し、フレーム反転駆動が行われる。
時刻T19に配線33の電位を低電位とすると、トランジスタ21及びトランジスタ22が非導通となり、ノードN1に電位VIS2’が保持され、ノードN2に電位V1が保持される。
時刻T20に配線34の電位を高電位とすると、トランジスタ23が導通し、ノードN2の電位が電位VCOMとなる。つまり、ノードN2の電位が、“VCOM−V1”上昇、すなわち“V1−VCOM”低下する。これにより、ノードN1の電位も“VCOM−V1”上昇、すなわち“V1−VCOM”低下し、電位“VIS2’+VCOM−V1”となる。つまり、表示デバイス26に印加される電圧は変化しない。ここで、電位VIS2’が負電位である場合、電位“VIS2’+VCOM−V1”は電位V2より小さい電位となる場合がある。以上が画素11bの動作方法の一例である。
図4に示すように、ノードN1に画像信号に対応する電位を書き込んだ後に、ノードN2の電位を電位VCOMとすることにより、表示デバイス26に印加される電圧を変えることなく、ノードN2の電位を電位VCOMとすることができる。これにより、表示デバイス26に印加される電圧の、配線31乃至配線34等から発生する電気的なノイズ等による変動を抑制することができるようになる。したがって、本発明の一態様の表示装置に表示される画像の表示品位を高めることができる。
<1−3.画素の構成例3>
図5(A)は、本発明の一態様の表示装置に用いることができる画素11cを説明する図であり、図5(B)は、本発明の一態様の表示装置に用いることができる画素11dを説明する図である。画素11cは、画素11aに設けられたトランジスタ21、及びトランジスタ22にバックゲートを設けた構成である。画素11dは、画素11bに設けられたトランジスタ21乃至トランジスタ23にバックゲートを設けた構成である。バックゲートは、当該バックゲートが設けられたトランジスタのフロントゲートと電気的に接続することができ、オン電流を高める効果を有する。また、バックゲートにフロントゲートと異なる電位を供給できる構成としてもよい。当該構成とすることで、トランジスタのしきい値電圧を制御することができる。なお、図5(A)、(B)においては、画素が有する全てのトランジスタにバックゲートを設けた構成を図示しているが、バックゲートが設けられないトランジスタを有していてもよい。
<1−4.表示装置の構成例1>
図6は、本発明の一態様の表示装置である表示装置10の構成例を示す図である。表示装置10は、画素11がm行n列(m、nは2以上の整数)のマトリクス状に設けられた画素アレイ14と、ゲートドライバ回路12と、ソースドライバ回路13を有する。ゲートドライバ回路12には、配線33が電気的に接続されている。ソースドライバ回路13には、配線31及び配線32が電気的に接続されている。画素11としては、画素11a、画素11b、画素11c、又は画素11d等を適用することができる。
本明細書等において、i行j列目(iは1以上m以下の整数、jは1以上n以下の整数)の画素11を、画素11[i,j]と表記する。また、i行目の画素11と電気的に接続されている配線33を配線33[i]と表記し、j列目の画素11と電気的に接続されている配線31及び配線32を、それぞれ配線31[j]及び配線32[j]と表記する。
ゲートドライバ回路12は、画素11を選択するための信号である選択信号を生成し、配線33を介して画素11に供給する機能を有する。配線33の電位は、ゲートドライバ回路12が生成した選択信号に対応する電位となる。
ソースドライバ回路13は、画素11を用いて表示される画像に対応する信号である画像信号を生成し、配線31を介して画素11に供給する機能を有する。配線31の電位は、ソースドライバ回路13が生成した画像信号に対応する電位となる。また、ソースドライバ回路13は、第1の電位及び第2の電位を生成し、配線32を介して画素11に供給する機能を有する。
前述のように、本発明の一態様の表示装置は、画像信号に対応する電位が低くても、表示デバイス26に印加される電圧を高くすることができる。このため、ソースドライバ回路13を高耐圧なものにしなくてもよい。したがって、本発明の一態様の表示装置を低価格なものとすることができる。
<1−5.ソースドライバ回路の構成例1>
図7(A)は、ソースドライバ回路13の具体的な構成例を示す図である。なお、図7(A)には、ソースドライバ回路13の他、画素11[i,j]及び画素11[i,j+1]も示している。
ソースドライバ回路13は、シフトレジスタ41a及びシフトレジスタ41bと、ラッチ回路42a及びラッチ回路42bと、レベルシフト回路43a及びレベルシフト回路43bと、N型パストランジスタロジック回路(以下、N−PTL)44a及びP型パストランジスタロジック回路(以下、P−PTL)44bと、選択回路45と、アンプ回路46a及びアンプ回路46bと、抵抗ストリング47a及び抵抗ストリング47bと、スイッチ48a及びスイッチ48bと、スイッチ49a及びスイッチ49bと、を有する。また、抵抗ストリング47aは、抵抗素子57a[1]乃至[s](sは2以上の整数)を有し、抵抗ストリング47bは、抵抗素子57b[1]乃至[s]を有する。なお、N−PTL44aと抵抗ストリング47aによりデジタルアナログ変換回路(以下、DA変換回路)を構成し、P−PTL44bと抵抗ストリング47bによりDA変換回路を構成する。また、スイッチ48a及びスイッチ48b、並びにスイッチ49a及びスイッチ49bとして、例えばCMOSトランジスタ、nチャネル型トランジスタ、又はpチャネル型トランジスタを用いることができる。
シフトレジスタ41aの出力端子はラッチ回路42aのクロック入力端子と電気的に接続され、シフトレジスタ41bの出力端子はラッチ回路42bのクロック入力端子と電気的に接続されている。ラッチ回路42aの入力端子、及びラッチ回路42bの入力端子はデータバス配線51と電気的に接続されている。ラッチ回路42aの出力端子はレベルシフト回路43aの入力端子と電気的に接続され、ラッチ回路42bの出力端子はレベルシフト回路43bの入力端子と電気的に接続されている。レベルシフト回路43aの出力端子はN−PTL44aの信号入力端子と電気的に接続され、レベルシフト回路43bの出力端子はP−PTL44bの信号入力端子と電気的に接続されている。N−PTL44aの出力端子、及びP−PTL44bの出力端子は選択回路45の入力端子と電気的に接続されている。選択回路45の出力端子は、アンプ回路46aの入力端子、及びアンプ回路46bの入力端子と電気的に接続されている。アンプ回路46aの出力端子は配線31[j]と電気的に接続され、アンプ回路46bの出力端子は配線31[j+1]と電気的に接続されている。
抵抗素子57a[1]乃至[s]は、互いに直列に接続されており、抵抗素子57b[1]乃至[s]は、互いに直列に接続されている。N−PTL44aは、s+1個の入力端子を有しており、図7(A)に示すようにそれぞれ抵抗素子57aの一方の端子、及び/又は抵抗素子57aの他方の端子と電気的に接続されている。また、P−PTL44bは、s+1個の入力端子を有しており、図7(A)に示すようにそれぞれ抵抗素子57bの一方の端子、及び/又は抵抗素子57bの他方の端子と電気的に接続されている。
抵抗ストリング47a及び抵抗ストリング47bには、電源線を介して電位V1、電位V2、及び電位Vrn[1]乃至[s−1]が供給される。具体的には、抵抗素子57a[1]の一方の端子、及び抵抗素子57b[1]の一方の端子には、電源線71を介して電位V1が供給される。また、抵抗素子57a[2]の一方の端子、及び抵抗素子57b[2]の一方の端子には、電位Vrn[1]が供給される。また、抵抗素子57a[s−1]の一方の端子、及び抵抗素子57b[s−1]の一方の端子には、電位Vrn[s−2]が供給される。また、抵抗素子57a[s]の一方の端子、及び抵抗素子57b[s]の一方の端子には、電位Vrn[s−1]が供給される。また、抵抗素子57a[s]の他方の端子、及び抵抗素子57b[s]の他方の端子には、電源線72を介して電位V2が供給される。ここで、電位V1、電位V2、及び電位Vrn[1]乃至[s−1]の中で、電位V1の電位が最も高く、電位Vrn[1]乃至[s−1]の順に電位が低くなり、電位V2の電位が最も低いとすることができる。
電源線71は、抵抗素子57a[1]の一方の端子の他、スイッチ48aの一方の端子、及びスイッチ49bの一方の端子と電気的に接続されている。電源線72は、抵抗素子57a[s]の他方の端子の他、スイッチ48bの一方の端子、及びスイッチ49aの一方の端子と電気的に接続されている。スイッチ48aの他方の端子、及びスイッチ49aの他方の端子は、配線32[j]と電気的に接続されている。スイッチ48bの他方の端子、及びスイッチ49bの他方の端子は、配線32[j+1]と電気的に接続されている。なお、抵抗素子57b[1]の一方の端子が、電源線71の他、スイッチ48aの一方の端子、及びスイッチ49bの一方の端子と電気的に接続されていてもよく、抵抗素子57b[s]の他方の端子が、電源線72の他、スイッチ48bの一方の端子、及びスイッチ49aの一方の端子と電気的に接続されていてもよい。
ラッチ回路42aの入力端子、及びラッチ回路42bの入力端子には、データバス配線51から、画素11に供給される画像信号に対応するデジタル信号が入力される。
そして、ラッチ回路42aは、シフトレジスタ41aから供給される信号によって、当該デジタル信号の保持、又は保持した当該デジタル信号を出力、のどちらか一方の動作を行う機能を有する。また、ラッチ回路42bは、シフトレジスタ41bから供給される信号によって、当該デジタル信号の保持、又は保持した当該デジタル信号を出力、のどちらか一方の動作を行う機能を有する。
レベルシフト回路43a及びレベルシフト回路43bは、入力信号をより大きい振幅電圧、又はより小さい振幅電圧の出力信号に変換する機能を有する。具体的には、レベルシフト回路43aは、ラッチ回路42aから供給されるデジタル信号の振幅電圧を、DA変換回路が適切に動作する振幅電圧に変換する機能を有する。また、レベルシフト回路43bは、ラッチ回路42bから供給されるデジタル信号の振幅電圧を、DA変換回路が適切に動作する振幅電圧に変換する機能を有する。
N−PTL44a及びP−PTL44bは、入力されたデジタル信号のデジタル値を基にして、アナログ信号として電位V1、電位Vrn[1]乃至[s]、又は電位V2のいずれかを出力する機能を有する。図7(B)は、出力電位と入力デジタル値との関係を、N−PTL44a及びP−PTL44bのそれぞれについて示した図である。図7(B)に示すように、N−PTL44aは、入力されたデジタル信号のデジタル値が大きいほど、出力される電位が小さくなる。例えば、8ビットのデジタル信号が入力されるとすると、当該デジタル信号のデジタル値が10進数表記で0の場合、N−PTL44aは電位V1を出力することができ、デジタル値が10進数表記で255の場合、N−PTL44aは電位V2を出力することができる。
また、図7(B)に示すように、P−PTL44bは、入力されたデジタル信号のデジタル値が大きいほど、出力される電位が大きくなる。例えば、8ビットのデジタル信号が入力される場合、当該デジタル信号のデジタル値が10進数表記で0の場合、P−PTL44bは電位V2を出力することができ、デジタル値が10進数表記で255の場合、P−PTL44bは電位V1を出力することができる。
N−PTL44aから出力される電位は、図2に示す電位VIS1’、又は図4に示す電位VIS2’とすることができ、P−PTL44bから出力される電位は、図2に示す電位VIS1、又は図4に示す電位VIS2とすることができる。つまり、ノードN2の電位が電位V1である画素11が有するノードN1には、N−PTL44aから出力される電位に対応する電位が供給される。一方、ノードN2の電位が電位V2である画素11が有するノードN1には、P−PTL44bから出力される電位に対応する電位が供給される。
ここで、N−PTL44a及びP−PTL44bに入力されるデジタル信号のビット数をb(bは1以上の整数)とすると、sは“2−1”で表すことができる。つまり、例えば当該デジタル信号が8ビットの信号である場合は、抵抗ストリング47aは抵抗素子57aを255個有する構成とすることができ、抵抗ストリング47bは抵抗素子57bを255個有する構成とすることができる。
また、電位Vrn[1]乃至[s−1]の電位を調整することで、DA変換回路は、入力されたデジタル信号に対して画像処理を行うことができる。例えば、γ補正を行うことができる。画像処理を行うことにより、表示装置10に表示される画像の表示品位を高めることができる。
選択回路45は、N−PTL44aから出力される電位、及びP−PTL44bから出力される電位の一方を、アンプ回路46aの入力端子に供給し、他方をアンプ回路46bの入力端子に供給する機能を有する。
アンプ回路46a及びアンプ回路46bは、入力端子に入力されたアナログ信号を増幅して、出力端子に出力する機能を有する。アンプ回路46a及びアンプ回路46bを設けることにより、画像信号を安定的に画素11に供給することができる。アンプ回路46a及びアンプ回路46bとしては、オペアンプ等を有するボルテージフォロワ回路等を適用することができる。なお、アンプ回路として差動入力回路を有する回路を用いる場合、当該差動入力回路のオフセット電圧は、限りなく0Vとすることが好ましい。
スイッチ48a及びスイッチ48bには、制御信号ENが供給され、制御信号ENによりスイッチ48a及びスイッチ48bのオンオフが制御される。スイッチ49a及びスイッチ49bには、制御信号ENBが供給され、制御信号ENBによりスイッチ49a及びスイッチ49bのオンオフが制御される。制御信号ENBは、制御ENの相補信号であり、スイッチ48a及びスイッチ48bがオンである場合は、スイッチ49a及びスイッチ49bをオフとすることができ、スイッチ48a及びスイッチ48bがオフである場合は、スイッチ49a及びスイッチ49bをオンとすることができる。
制御信号EN及び制御信号ENBは、例えば1ビットの信号とすることができる。この場合、制御信号ENの値が“1”である場合に制御信号ENBの値が“0”となり、制御信号ENの値が“0”である場合に制御信号ENBの値が“1”となる。ここで、制御信号の値が“1”とは、例えば当該制御信号の電位が高電位である場合を示し、制御信号の値が“0”とは、例えば当該制御信号の電位が低電位である場合を示す。なお、値が“0”である場合に制御信号が高電位であり、値が“1”である場合に制御信号が低電位であってもよい。
以下では、制御信号の値が“1”である場合に、当該制御信号が供給されるスイッチがオンとなり、制御信号の値が“0”である場合に、当該制御信号が供給されるスイッチがオフとなるとして説明を行う。なお、制御信号の値が“0”である場合に、当該制御信号が供給されるスイッチがオンとなり、制御信号の値が“1”である場合に、当該制御信号が供給されるスイッチがオフとなるとしてもよい。
制御信号ENの値を“1”、制御信号ENBの値を“0”とすると、スイッチ48a及びスイッチ48bがオンとなり、スイッチ49a及びスイッチ49bがオフとなる。これにより、配線32[j]の電位が電位V1となり、配線32[j+1]の電位が電位V2となる。また、制御信号ENの値を“0”、制御信号ENBの値を“1”とすると、スイッチ49a及びスイッチ49bがオンとなり、スイッチ48a及びスイッチ48bがオフとなる。これにより、配線32[j]の電位が電位V2となり、配線32[j+1]の電位が電位V1となる。
以上により、制御信号EN及び制御信号ENBの値を切り替えることにより、配線32に供給される電位を切り替えることができる。前述のように、電位V2は電位V1の極性を反転させた電位とすることができるので、制御信号EN及び制御信号ENBの値を切り替えることにより、配線32に供給される電位の極性を反転させることができる。
ここで、図7(B)に示すように、入力デジタル値が等しいとすると、P−PTL44bの出力電位は、N−PTL44aの出力電位の極性を反転させた電位とすることができる。以上より、制御信号EN及び制御信号ENBの値を切り替え、選択回路45を用いてアンプ回路46a及びアンプ回路46bの入力端子に供給する電位を切り替えることにより、フレーム反転駆動を行うことができる。
図7(A)に示すように、DA変換回路を構成する抵抗ストリング47aに電位V1を供給する電源と、配線32に電位V1を供給する電源と、を共有することができる。また、DA変換回路を構成する抵抗ストリング47aに電位V2を供給する電源と、配線32に電位V2を供給する電源と、を共有することができる。これにより、表示装置10に設けられる電源を増やすことなく、配線32に電位を供給することができる。したがって、表示装置10の大型化を抑制することができる。
なお、ソースドライバ回路13は、シフトレジスタ41a及びシフトレジスタ41bと、ラッチ回路42a及びラッチ回路42bと、レベルシフト回路43a及びレベルシフト回路43bと、N−PTL44a及びP−PTL44bと、選択回路45と、アンプ回路46a及びアンプ回路46bと、抵抗ストリング47a及び抵抗ストリング47bと、スイッチ48a及びスイッチ48bと、スイッチ49a及びスイッチ49bと、をそれぞれn/2個ずつ有する構成とすることができる。また、例えば1つの制御信号ENを、全てのスイッチ48a及びスイッチ48bに対して供給する構成とすることができ、1つの制御信号ENBを、全てのスイッチ49a及びスイッチ49bに対して供給する構成とすることができる。
<1−6.ソースドライバ回路の構成例2>
図8(A)は、図7(A)とは異なる構成のソースドライバ回路13を示す図である。なお、図8(A)には、ソースドライバ回路13の他、画素11[i,j]並びに信号生成回路61及び変換回路62も示している。
ソースドライバ回路13は、シフトレジスタ41と、ラッチ回路42と、レベルシフト回路43と、パストランジスタロジック回路(以下、PTL)44と、アンプ回路46と、抵抗ストリング47と、スイッチ48と、スイッチ49と、を有する。また、抵抗ストリング47は、抵抗素子57[1]乃至[t](tは2以上の整数)を有する。なお、PTL44と、抵抗ストリング47と、によりDA変換回路を構成する。また、スイッチ48及びスイッチ49として、例えばCMOSトランジスタ、nチャネル型トランジスタ、又はpチャネル型トランジスタを用いることができる。
信号生成回路61の出力端子は、変換回路62の入力端子と電気的に接続されている。変換回路62の出力端子は、データバス配線51を介して、ラッチ回路42の入力端子と電気的に接続されている。シフトレジスタ41の出力端子は、ラッチ回路42のクロック入力端子と電気的に接続されている。ラッチ回路42の出力端子は、レベルシフト回路43の入力端子と電気的に接続されている。レベルシフト回路43の出力端子は、PTL44の信号入力端子と電気的に接続されている。PTL44の出力端子は、アンプ回路46の入力端子と電気的に接続されている。アンプ回路46の出力端子は、配線31[j]と電気的に接続されている。
抵抗素子57[1]乃至[t]は、それぞれ直列に接続されている。PTL44は、t+1個の入力端子を有しており、図8(A)に示すようにそれぞれ抵抗素子57の一方の端子、及び/又は抵抗素子57の他方の端子と電気的に接続されている。
抵抗ストリング47は、電源線71及び電源線72と電気的に接続されている。抵抗ストリング47には、電源線71を介して電位V1が供給され、電源線72を介して電位V2が供給される。なお、電位Vrnは供給されない構成とすることができる。
また、電源線71は、スイッチ48の一方の端子にも電気的に接続され、電源線72は、スイッチ49の一方の端子にも電気的に接続されている。
信号生成回路61は、画素11に供給される画像信号に対応するデジタル信号を生成する機能を有する。信号生成回路61は、例えば8ビットのデジタル信号を生成する機能を有する。
変換回路62は、信号生成回路61が生成したデジタル信号を、DA変換回路による処理が適切に行われるように変換する機能を有する。例えば、変換回路62は、信号生成回路61が生成したデジタル信号を、当該デジタル信号のビット数を1ビット又は2ビット増加させたデジタル信号に変換することができる。例えば、信号生成回路61が生成したデジタル信号のビット数が8ビットである場合は、変換回路62は当該デジタル信号を9ビット又は10ビットのデジタル信号に変換することができる。なお、変換回路62は、信号生成回路61が生成したデジタル信号のビット数を、3ビット以上増加させたデジタル信号に変換する機能を有してもよい。また、変換回路62は、信号生成回路61が生成したデジタル信号に対して、γ補正等の画像処理を行う機能を有しても良い。
ラッチ回路42には、変換回路62から出力されたデジタル信号が、データバス配線51を介して入力される。そして、ラッチ回路42は、シフトレジスタ41から供給される信号によって、当該デジタル信号の保持、又は保持した当該デジタル信号を出力、のどちらか一方の動作を行う機能を有する。
レベルシフト回路43は、入力信号をより大きい振幅電圧、又はより小さい振幅電圧の出力信号に変換する機能を有する。具体的には、レベルシフト回路43は、ラッチ回路42から供給されるデジタル信号の振幅電圧を、DA変換回路が適切に動作する振幅電圧に変換する機能を有する。
PTL44は、入力されたデジタル信号のデジタル値を基にして、アナログ信号として電位V2以上電位V1以下の電位を出力する機能を有する。図8(B)は、PTL44における、出力電位と入力デジタル値との関係を示した図である。図8(B)に示すように、PTL44は、入力されたデジタル信号のデジタル値が大きいほど、出力される電位が大きくなる。例えば、9ビットのデジタル信号がPTL44に入力されるとすると、当該デジタル信号のデジタル値が10進数表記で0の場合、PTL44は電位V2を出力することができ、デジタル値が10進数表記で511の場合、PTL44は電位V1を出力することができる。なお、PTL44は、入力されたデジタル信号のデジタル値が大きいほど、出力される電位が小さくなるようにしてもよい。例えば、9ビットのデジタル信号がPTL44に入力されるとすると、当該デジタル信号のデジタル値が10進数表記で0の場合、PTL44は電位V1を出力し、デジタル値が10進数表記で511の場合、PTL44は電位V2を出力してもよい。
ここで、PTL44に入力されるデジタル信号のビット数をbとすると、tは“2−1”で表すことができる。つまり、例えば当該デジタル信号が9ビットの信号である場合は、抵抗ストリング47は抵抗素子57を511個有する構成とすることができる。また、PTL44から出力される電位と、PTL44に入力されるデジタル信号のデジタル値の関係を線形とするために、抵抗素子57[1]乃至[t]のそれぞれの抵抗値は、全て等しいことが好ましい。
変換回路62によりビット数が変換されたデジタル信号をPTL44に入力することにより、変換回路62はPTL44から出力される電位の極性を反転させる機能を有することができる。
例えば、ソースドライバ回路13が、第1のモード又は第2のモードにより動作するものとする。また、第1のモードでは抵抗素子57[1]乃至抵抗素子57[(t+1)/2]の一方の端子の電位がPTL44から出力され、第2のモードでは抵抗素子57[(t+1)/2+1]乃至抵抗素子57[t]の一方の端子の電位、又は抵抗素子57[t]の他方の端子の電位がPTL44から出力されるものとする。この場合、第1のモードから第2のモードに切り替えることにより、PTL44から出力される電位の極性を反転させることができる。
ここで、変換回路62は、PTL44に出力するデジタル信号の最上位ビットが、ソースドライバ回路13の動作モードを表すように、信号生成回路61が生成したデジタル信号を変換することができる。例えば、ソースドライバ回路13が第1のモードで動作する場合は、信号生成回路61が生成したデジタル信号の最上位ビットに値が“1”のビットを付加して、変換回路62がデータバス配線51に出力すればよい。また、ソースドライバ回路13が第2のモードで動作する場合は、信号生成回路61が生成したデジタル信号の最上位ビットに値が“0”のビットを付加して、変換回路62がデータバス配線51に出力すればよい。
アンプ回路46は、入力端子に入力されたアナログ信号を増幅して、出力端子に出力する機能を有する。アンプ回路46を設けることにより、画像信号を安定的に画素11に供給することができる。アンプ回路46は、アンプ回路46a又はアンプ回路46bと同様の構成とすることができる。
スイッチ48には制御信号ENが供給され、制御信号ENによりスイッチ48のオンオフが制御される。スイッチ49には制御信号ENBが供給され、制御信号ENBによりスイッチ49のオンオフが制御される。
制御信号ENの値を“1”、制御信号ENBの値を“0”とすると、スイッチ48がオンとなり、スイッチ49がオフとなる。これにより、配線32[j]の電位が電位V1となる。一方、制御信号ENの値を“0”、制御信号ENBの値を“1”とすると、スイッチ49がオンとなり、スイッチ48がオフとなる。これにより、配線32[j]の電位が電位V2となる。以上により、制御信号EN及び制御信号ENBの値を切り替えることにより、配線32に供給される電位を切り替えることができる。電位V2は、電位V1の極性を反転させた電位であるので、制御信号EN及び制御信号ENBの値を切り替えることにより、配線32に供給される電位の極性を反転させることができる。
図8(A)に示す構成のソースドライバ回路13において、ソースドライバ回路13の動作モードを切り替え、また制御信号EN及び制御信号ENBの値を切り替えることにより、フレーム反転駆動を行うことができる。
なお、ソースドライバ回路13は、シフトレジスタ41と、ラッチ回路42と、レベルシフト回路43と、PTL44と、アンプ回路46と、抵抗ストリング47と、スイッチ48と、スイッチ49と、をそれぞれn個ずつ有する構成とすることができる。また、例えば1つの制御信号ENを、全てのスイッチ48に対して供給する構成とすることができ、1つの制御信号ENBを、全てのスイッチ49に対して供給する構成とすることができる。
表示装置10が有するソースドライバ回路13を図8(A)に示す構成とした場合、ソースドライバ回路13に設けるPTLを1種類とすることができる。これにより、表示装置10の作製工程を簡易なものとすることができる。
<1−7.表示装置の構成例2>
図9は、表示装置10の構成例を示す断面図であり、表示装置10が、横電界方式が適用された透過型液晶表示装置である場合を示している。
図9では、画素アレイ14及び回路15の構成例を示している。回路15は、ゲートドライバ回路12、又はソースドライバ回路13等とすることができる。
表示装置10は、基板111と基板113を貼り合わせる構成となっている。画素アレイ14において、基板111上には、トランジスタ21、容量素子25、及び表示デバイス26等が設けられている。回路15において、基板111上には、トランジスタ24等が設けられている。また、基板113上には、着色層131、及び遮光層132等が設けられている。
トランジスタ21は、ゲート電極として機能する導電層221と、ゲート絶縁層として機能する絶縁層211と、半導体層231と、ソース電極及びドレイン電極として機能する導電層222a及び導電層222bと、を有する。また、容量素子25は、電極として機能する導電層224及び導電層222aと、誘電層として機能する絶縁層211と、を有する。トランジスタ21、トランジスタ24、及び容量素子25は、絶縁層212及び絶縁層217に覆われている。また、トランジスタ21、トランジスタ24、及び容量素子25と、表示デバイス26と、の間に層間絶縁層として機能する絶縁層215が設けられている。
半導体層231は、金属酸化物を有することができる。この場合、トランジスタ21はOSトランジスタとなる。なお、トランジスタ24等、基板111上に設けられた他のトランジスタについても、トランジスタ21と同様の構成とすることができる。
表示デバイス26は、横電界方式、具体的にはFFS(Fringe Field Switching)方式が適用された液晶デバイスである。表示デバイス26は、電極181、電極182、及び液晶層183を有する。電極181と電極182との間に生じる電界により、液晶層183の配向を制御することができる。液晶層183は、絶縁層220上及び電極182上に位置する。電極181は、絶縁層215、絶縁層217、及び絶縁層212に設けられた開口を介して、導電層222aと電気的に接続されている。電極182は、絶縁層215、絶縁層217、絶縁層212、及び絶縁層211に設けられた開口を介して、導電層224と電気的に接続されている。なお、電極182は、櫛歯状の上面形状(平面形状ともいう)、又はスリットが設けられた上面形状を有していてもよい。電極182には、1つ又は複数の開口を設けることができる。
電極181と電極182の間には、絶縁層220が設けられている。電極181は、絶縁層220を介して電極182と重なる部分を有する。また、電極181と着色層131とが重なる領域において、電極181上に電極182が配置されていない部分を有する。
バックライトユニット552からの光は、基板111、電極181、電極182、液晶層183、着色層131、及び基板113を介して、表示装置の外部に射出される。バックライトユニット552の光が透過するこれらの層の材料には、可視光を透過する材料を用いる。
着色層131及び遮光層132と、液晶層183と、の間には、オーバーコート121を設けることが好ましい。オーバーコート121は、着色層131及び遮光層132等に含まれる不純物が液晶層183に拡散することを抑制できる。
基板111と基板113は、接着層141によって貼り合わされている。基板111、基板113、及び接着層141に囲まれた領域に、液晶層183が封止されている。
表示装置の画素アレイ14、及び回路15等を挟むように、偏光板125a及び偏光板125bが配置されている。偏光板125aよりも外側に配置されたバックライトユニット552からの光は偏光板125aを介して表示装置10に入射する。このとき、電極181と電極182の間に与える電圧によって液晶層183の配向を制御し、光の光学変調を制御することができる。すなわち、偏光板125bを介して表示装置10から射出される光の強度を制御することができる。また、表示デバイス26に入射される光は着色層131によって特定の波長領域以外の光が吸収されるため、表示装置10から射出される光は例えば赤色、青色、又は緑色を呈する光となる。
導電層565は、導電層255及び接続体242を介して、FPC162と電気的に接続されている。
表示デバイス26として横電界方式が適用された液晶デバイスを用いることにより、液晶層183の片方の面に、表示デバイス26の一方の電極である電極181と、表示デバイス26の他方の電極である電極182と、の両方を形成することができる。これにより、電極181と電極182の両方を、容量素子25が有する電極と電気的に接続することができる。
液晶デバイスに用いる液晶としては、ブルー相を示す液晶を用いることができる。この場合、表示デバイス26に高電圧を印加することが好ましい。表示装置10は、表示デバイス26に高電圧を印加することができるので、表示デバイス26にブルー相を示す液晶を用いても表示装置10を正常に動作させることができる。
ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するために数重量%以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を液晶に用いる。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が短く、光学的等方性である。また、ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、配向処理が不要であり、視野角依存性が小さい。また配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理も不要となるため、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減することができる。
なお、液晶デバイスに用いる液晶として、ブルー相を示す液晶以外の液晶を用いてもよい。例えば、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶(PDLC:Polymer Dispersed Liquid Crystal)、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いてもよい。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。また、液晶材料としては、ポジ型の液晶、又はネガ型の液晶のいずれを用いてもよい。なお、液晶デバイスに用いる液晶としてブルー相以外の液晶を用いる場合、液晶の配向を制御するため、配向膜を設けることが好ましい。
本実施の形態は、他の実施の形態等に記載した構成と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、上記実施の形態に示した各トランジスタに置き換えて用いることのできるトランジスタの一例について、図面を用いて説明する。
本発明の一態様の表示装置は、ボトムゲート型のトランジスタや、トップゲート型トランジスタ等の様々な形態のトランジスタを用いて作製することができる。よって、既存の製造ラインに合わせて、使用する半導体層の材料やトランジスタ構造を容易に置き換えることができる。
〔ボトムゲート型トランジスタ〕
図10(A1)は、ボトムゲート型のトランジスタの一種であるチャネル保護型のトランジスタ810のチャネル長方向の断面図である。図10(A1)において、トランジスタ810は基板771上に形成されている。また、トランジスタ810は、基板771上に絶縁層772を介して電極746を有する。また、電極746上に絶縁層726を介して半導体層742を有する。電極746はゲート電極として機能できる。絶縁層726はゲート絶縁層として機能できる。
また、半導体層742のチャネル形成領域上に絶縁層741を有する。また、半導体層742の一部と接して、絶縁層726上に電極744a及び電極744bを有する。電極744aは、ソース電極又はドレイン電極の一方として機能できる。電極744bは、ソース電極又はドレイン電極の他方として機能できる。電極744aの一部、及び電極744bの一部は、絶縁層741上に形成される。
絶縁層741は、チャネル保護層として機能できる。チャネル形成領域上に絶縁層741を設けることで、電極744a及び電極744bの形成時に生じる半導体層742の露出を防ぐことができる。よって、電極744a及び電極744bの形成時に、半導体層742のチャネル形成領域がエッチングされることを防ぐことができる。本発明の一態様によれば、電気特性の良好なトランジスタを実現することができる。
また、トランジスタ810は、電極744a、電極744b及び絶縁層741上に絶縁層728を有し、絶縁層728の上に絶縁層729を有する。
半導体層742に酸化物半導体を用いる場合、電極744a及び電極744bの、少なくとも半導体層742と接する部分に、半導体層742の一部から酸素を奪い、酸素欠損を生じさせることが可能な材料を用いることが好ましい。半導体層742中の酸素欠損が生じた領域はキャリア濃度が増加し、当該領域はn型化し、n型領域(n層)となる。したがって、当該領域はソース領域又はドレイン領域として機能することができる。半導体層742に酸化物半導体を用いる場合、半導体層742から酸素を奪い、酸素欠損を生じさせることが可能な材料の一例として、タングステン、チタン等を挙げることができる。
半導体層742にソース領域及びドレイン領域が形成されることにより、電極744a及び電極744bと半導体層742の接触抵抗を低減することができる。よって、電界効果移動度や、しきい値電圧等の、トランジスタの電気特性を良好なものとすることができる。
半導体層742にシリコン等の半導体を用いる場合は、半導体層742と電極744aの間、及び半導体層742と電極744bの間に、n型半導体又はp型半導体として機能する層を設けることが好ましい。n型半導体又はp型半導体として機能する層は、トランジスタのソース領域又はドレイン領域として機能することができる。
絶縁層729は、外部からのトランジスタへの不純物の拡散を防ぐ、又は低減する機能を有する材料を用いて形成することが好ましい。なお、必要に応じて絶縁層729を省略することもできる。
図10(A2)に示すトランジスタ811は、絶縁層729上にバックゲート電極として機能できる電極723を有する点が、トランジスタ810と異なる。電極723は、電極746と同様の材料及び方法で形成することができる。
一般に、バックゲート電極は導電層で形成され、ゲート電極とバックゲート電極で半導体層のチャネル形成領域を挟むように配置される。よって、バックゲート電極は、ゲート電極と同様に機能させることができる。バックゲート電極の電位は、ゲート電極と同電位としてもよいし、接地電位(GND電位)や、任意の電位としてもよい。また、バックゲート電極の電位をゲート電極と連動させず独立して変化させることで、トランジスタのしきい値電圧を変化させることができる。
また、電極746及び電極723は、どちらもゲート電極として機能することができる。よって、絶縁層726、絶縁層728、及び絶縁層729は、それぞれがゲート絶縁層として機能することができる。なお、電極723は、絶縁層728と絶縁層729の間に設けてもよい。
なお、電極746又は電極723の一方を、「ゲート電極」という場合、他方を「バックゲート電極」という。例えば、トランジスタ811において、電極723を「ゲート電極」という場合、電極746を「バックゲート電極」という。また、電極723を「ゲート電極」として用いる場合は、トランジスタ811をトップゲート型のトランジスタの一種と考えることができる。また、電極746及び電極723のどちらか一方を、「第1のゲート電極」といい、他方を「第2のゲート電極」という場合がある。
半導体層742を挟んで電極746及び電極723を設けることで、更には、電極746及び電極723を同電位とすることで、半導体層742においてキャリアの流れる領域が膜厚方向においてより大きくなるため、キャリアの移動量が増加する。この結果、トランジスタ811のオン電流が大きくなると共に、電界効果移動度が高くなる。
したがって、トランジスタ811は、占有面積に対して大きいオン電流を有するトランジスタである。すなわち、求められるオン電流に対して、トランジスタ811の占有面積を小さくすることができる。本発明の一態様によれば、トランジスタの占有面積を小さくすることができる。よって、本発明の一態様によれば、集積度の高い半導体装置を実現することができる。
また、ゲート電極とバックゲート電極は導電層で形成されるため、トランジスタの外部で生じる電界が、チャネルが形成される半導体層に作用しないようにする機能(特に静電気等に対する電界遮蔽機能)を有する。なお、バックゲート電極を半導体層よりも大きく形成し、バックゲート電極で半導体層を覆うことで、電界遮蔽機能を高めることができる。
また、バックゲート電極を、遮光性を有する導電層で形成することで、バックゲート電極側から半導体層に光が入射することを防ぐことができる。よって、半導体層の光劣化を防ぎ、トランジスタのしきい値電圧がシフトする等の電気特性の劣化を防ぐことができる。
本発明の一態様によれば、信頼性の良好なトランジスタを実現することができる。また、信頼性の良好な半導体装置を実現することができる。
図10(B1)は、図10(A1)とは異なる構成のチャネル保護型のトランジスタ820のチャネル長方向の断面図である。トランジスタ820は、トランジスタ810とほぼ同様の構造を有しているが、絶縁層741が半導体層742の端部を覆っている点が異なる。また、半導体層742と重なる領域を有する絶縁層741の一部を選択的に除去して形成した開口部において、半導体層742と電極744aが電気的に接続している。また、半導体層742と重なる領域を有する絶縁層741の一部を選択的に除去して形成した他の開口部において、半導体層742と電極744bが電気的に接続している。絶縁層741の、チャネル形成領域と重なる領域は、チャネル保護層として機能できる。
図10(B2)に示すトランジスタ821は、絶縁層729上にバックゲート電極として機能できる電極723を有する点が、トランジスタ820と異なる。
絶縁層741を設けることで、電極744a及び電極744bの形成時に生じる半導体層742の露出を防ぐことができる。よって、電極744a及び電極744bの形成時に半導体層742の薄膜化を防ぐことができる。
また、トランジスタ820及びトランジスタ821は、トランジスタ810及びトランジスタ811よりも、電極744aと電極746の間の距離と、電極744bと電極746の間の距離と、が長くなる。よって、電極744aと電極746の間に生じる寄生容量を小さくすることができる。また、電極744bと電極746の間に生じる寄生容量を小さくすることができる。本発明の一態様によれば、電気特性の良好なトランジスタを実現できる。
図10(C1)は、ボトムゲート型のトランジスタの1つであるチャネルエッチング型のトランジスタ825のチャネル長方向の断面図である。トランジスタ825は、絶縁層741を設けずに電極744a及び電極744bを形成する。このため、電極744a及び電極744bの形成時に露出する半導体層742の一部がエッチングされる場合がある。一方、絶縁層741を設けないため、トランジスタの生産性を高めることができる。
図10(C2)に示すトランジスタ826は、絶縁層729上にバックゲート電極として機能できる電極723を有する点が、トランジスタ825と異なる。
図11(A1)乃至(C2)にトランジスタ810、トランジスタ811、トランジスタ820、トランジスタ821、トランジスタ825、及びトランジスタ826のチャネル幅方向の断面図をそれぞれ示す。
図11(B2)、(C2)に示す構造では、ゲート電極とバックゲート電極とが接続され、ゲート電極とバックゲート電極との電位が同電位となる。また、半導体層742は、ゲート電極とバックゲート電極とに挟まれている。
ゲート電極及びバックゲート電極のそれぞれのチャネル幅方向の長さは、半導体層742のチャネル幅方向の長さよりも長く、半導体層742のチャネル幅方向全体は、絶縁層726、絶縁層741、絶縁層728、及び絶縁層729を間に挟んでゲート電極及びバックゲート電極に覆われた構成である。
当該構成とすることで、トランジスタに含まれる半導体層742を、ゲート電極及びバックゲート電極の電界によって電気的に取り囲むことができる。
トランジスタ811、トランジスタ821、及びトランジスタ826のように、ゲート電極及びバックゲート電極の電界によって、チャネル形成領域が形成される半導体層742を電気的に取り囲むトランジスタのデバイス構造をSurrounded channel(S−channel)構造ということができる。
S−channel構造とすることで、ゲート電極及びバックゲート電極の一方又は双方によってチャネルを誘起させるための電界を効果的に半導体層742に印加することができるため、トランジスタの電流駆動能力が向上し、高いオン電流特性を得ることが可能となる。また、オン電流を高くすることが可能であるため、トランジスタを微細化することが可能となる。また、S−channel構造とすることで、トランジスタの機械的強度を高めることができる。
〔トップゲート型トランジスタ〕
図12(A1)に例示するトランジスタ842は、トップゲート型のトランジスタの1つである。トランジスタ842は、絶縁層729を形成した後に電極744a及び電極744bを形成する。電極744a及び電極744bは、絶縁層728及び絶縁層729に形成した開口部において半導体層742と電気的に接続する。
また、電極746と重ならない絶縁層726の一部を除去し、電極746と、残りの絶縁層726とをマスクとして用いて不純物を半導体層742に導入することで、半導体層742中に自己整合(セルフアライメント)的に不純物領域を形成することができる。トランジスタ842は、絶縁層726が電極746の端部を越えて延伸する領域を有する。半導体層742の絶縁層726を介して不純物が導入された領域の不純物濃度は、絶縁層726を介さずに不純物が導入された領域よりも小さくなる。よって、半導体層742は、電極746と重ならない領域にLDD(Lightly Doped Drain)領域が形成される。
図12(A2)に示すトランジスタ843は、電極723を有する点がトランジスタ842と異なる。トランジスタ843は、基板771の上に形成された電極723を有する。電極723は、絶縁層772を介して半導体層742と重なる領域を有する。電極723は、バックゲート電極として機能することができる。
また、図12(B1)に示すトランジスタ844、及び図12(B2)に示すトランジスタ845のように、電極746と重ならない領域の絶縁層726を全て除去してもよい。また、図12(C1)に示すトランジスタ846、及び図12(C2)に示すトランジスタ847のように、絶縁層726を残してもよい。
トランジスタ842乃至トランジスタ847も、電極746を形成した後に、電極746をマスクとして用いて不純物を半導体層742に導入することで、半導体層742中に自己整合的に不純物領域を形成することができる。本発明の一態様によれば、電気特性の良好なトランジスタを実現することができる。また、本発明の一態様によれば、集積度の高い半導体装置を実現することができる。
図13(A1)乃至(C2)にトランジスタ842乃至トランジスタ847のチャネル幅方向の断面図をそれぞれ示す。
トランジスタ843、トランジスタ845、及びトランジスタ847は、それぞれ先に説明したS−channel構造である。ただし、これに限定されず、トランジスタ843、トランジスタ845、及びトランジスタ847をS−channel構造としなくてもよい。
本実施の形態は、他の実施の形態等に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態3)
本実施の形態では、OSトランジスタの詳細な構成例について説明する。
OSトランジスタが有する半導体層は、例えばインジウム、亜鉛及びM(アルミニウム、チタン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、セリウム、スズ、ネオジム又はハフニウム等の金属)を含むIn−M−Zn系酸化物で表記される膜とすることができる。
半導体層を構成する酸化物半導体がIn−M−Zn系酸化物の場合、In−M−Zn酸化物を成膜するために用いるスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比は、In≧M、Zn≧Mを満たすことが好ましい。このようなスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1、In:M:Zn=1:1:1.2、In:M:Zn=3:1:2、In:M:Zn=4:2:3、In:M:Zn=4:2:4.1、In:M:Zn=5:1:6、In:M:Zn=5:1:7、In:M:Zn=5:1:8等が好ましい。なお、成膜される半導体層の原子数比はそれぞれ、上記のスパッタリングターゲットに含まれる金属元素の原子数比のプラスマイナス40%の変動を含む。
半導体層としては、キャリア密度の低い酸化物半導体を用いる。例えば、半導体層は、キャリア密度が1×1017/cm以下、好ましくは1×1015/cm以下、さらに好ましくは1×1013/cm以下、より好ましくは1×1011/cm以下、さらに好ましくは1×1010/cm未満であり、1×10−9/cm以上のキャリア密度の酸化物半導体を用いることができる。そのような酸化物半導体を、高純度真性又は実質的に高純度真性な酸化物半導体という。当該酸化物半導体は欠陥準位密度が低く、安定な特性を有する酸化物半導体であるといえる。
なお、これらに限られず、必要とするトランジスタの半導体特性及び電気特性(電界効果移動度、しきい値電圧等)に応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要とするトランジスタの半導体特性を得るために、半導体層のキャリア密度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素の原子数比、原子間距離、密度等を適切なものとすることが好ましい。
半導体層を構成する酸化物半導体において、第14族元素の一つであるシリコンや炭素が含まれると、酸素欠損が増加し、n型化してしまう。このため、半導体層におけるシリコンや炭素の濃度(二次イオン質量分析法により得られる濃度)を、2×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1017atoms/cm以下とする。
また、アルカリ金属及びアルカリ土類金属は、酸化物半導体と結合するとキャリアを生成する場合があり、トランジスタのオフ電流が増大してしまうことがある。このため、半導体層におけるアルカリ金属又はアルカリ土類金属の濃度(二次イオン質量分析法により得られる濃度)を、1×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1016atoms/cm以下にする。
また、半導体層を構成する酸化物半導体に窒素が含まれていると、キャリアである電子が生じてキャリア密度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含まれている酸化物半導体を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため半導体層における窒素濃度(二次イオン質量分析法により得られる濃度)は、5×1018atoms/cm以下にすることが好ましい。
また、半導体層は、例えば非単結晶構造でもよい。非単結晶構造は、例えば、c軸に配向した結晶を有するCAAC−OS(C−Axis Aligned Crystalline Oxide Semiconductor)、多結晶構造、微結晶構造、又は非晶質構造を含む。非単結晶構造において、非晶質構造は最も欠陥準位密度が高く、CAAC−OSは最も欠陥準位密度が低い。
非晶質構造の酸化物半導体膜は、例えば、原子配列が無秩序であり、結晶成分を有さない。又は、非晶質構造の酸化物膜は、例えば、完全な非晶質構造であり、結晶部を有さない。
なお、半導体層が、非晶質構造の領域、微結晶構造の領域、多結晶構造の領域、CAAC−OSの領域、単結晶構造の領域のうち、二種以上を有する混合膜であってもよい。混合膜は、例えば上述した領域のうち、いずれか二種以上の領域を含む単層構造、又は積層構造を有する場合がある。
以下では、非単結晶の半導体層の一態様であるCAC(Cloud−Aligned Composite)−OSの構成について説明する。
CAC−OSとは、例えば、酸化物半導体を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、又はその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、酸化物半導体において、一つあるいはそれ以上の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、又はその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、又はパッチ状ともいう。
なお、酸化物半導体は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウム及び亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、又はマグネシウム等から選ばれた一種、又は複数種が含まれていてもよい。
例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OS(CAC−OSの中でもIn−Ga−Zn酸化物を、特にCAC−IGZOと呼称してもよい。)とは、インジウム酸化物(以下、InOX1(X1は0よりも大きい実数)とする。)、又はインジウム亜鉛酸化物(以下、InX2ZnY2Z2(X2、Y2、及びZ2は0よりも大きい実数)とする。)と、ガリウム酸化物(以下、GaOX3(X3は0よりも大きい実数)とする。)、又はガリウム亜鉛酸化物(以下、GaX4ZnY4Z4(X4、Y4、及びZ4は0よりも大きい実数)とする。)等と、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイク状のInOX1、又はInX2ZnY2Z2が、膜中に均一に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。
つまり、CAC−OSは、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合酸化物半導体である。なお、本明細書において、例えば、第1の領域の元素Mに対するInの原子数比が、第2の領域の元素Mに対するInの原子数比よりも大きいことを、第1の領域は、第2の領域と比較して、Inの濃度が高いとする。
なお、IGZOは通称であり、In、Ga、Zn、及びOによる1つの化合物をいう場合がある。代表例として、InGaO(ZnO)m1(m1は自然数)、又はIn(1+ x0)Ga(1−x0)(ZnO)m0(−1≦x0≦1、m0は任意数)で表される結晶性の化合物が挙げられる。
上記結晶性の化合物は、単結晶構造、多結晶構造、又はCAAC構造を有する。なお、CAAC構造とは、複数のIGZOのナノ結晶がc軸配向を有し、かつa−b面においては配向せずに連結した結晶構造である。
一方、CAC−OSは、酸化物半導体の材料構成に関する。CAC−OSとは、In、Ga、Zn、及びOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。したがって、CAC−OSにおいて、結晶構造は副次的な要素である。
なお、CAC−OSは、組成の異なる二種類以上の膜の積層構造は含まないものとする。例えば、Inを主成分とする膜と、Gaを主成分とする膜との2層からなる構造は、含まない。
なお、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
なお、ガリウムの代わりに、アルミニウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、又はマグネシウム等から選ばれた一種、又は複数種が含まれている場合、CAC−OSは、一部に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。
CAC−OSは、例えば基板を意図的に加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC−OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたいずれか一つ又は複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
CAC−OSは、X線回折(XRD:X−ray diffraction)測定法のひとつであるOut−of−plane法によるθ/2θスキャンを用いて測定したときに、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、X線回折測定から、測定領域のa−b面方向、及びc軸方向の配向は見られないことが分かる。
また、CAC−OSは、プローブ径が1nmの電子線(ナノビーム電子線ともいう。)を照射することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域と、該リング領域に複数の輝点が観測される。したがって、電子線回折パターンから、CAC−OSの結晶構造が、平面方向、及び断面方向において、配向性を有さないnc(nano−crystal)構造を有することがわかる。
また、例えば、In−Ga−Zn酸化物におけるCAC−OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X−ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
CAC−OSは、金属元素が均一に分布したIGZO化合物とは異なる構造であり、IGZO化合物と異なる性質を有する。つまり、CAC−OSは、GaOX3等が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域と、に互いに相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
ここで、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域は、GaOX3等が主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、InX2ZnY2 Z2、又はInOX1が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、酸化物半導体としての導電性が発現する。したがって、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域が、酸化物半導体中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
一方、GaOX3等が主成分である領域は、InX2ZnY2Z2、又はInOX1が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、GaOX3等が主成分である領域が、酸化物半導体中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なスイッチング動作を実現できる。
したがって、CAC−OSを半導体デバイスに用いた場合、GaOX3等に起因する絶縁性と、InX2ZnY2Z2、又はInOX1に起因する導電性とが、相補的に作用することにより、高いオン電流(Ion)、及び高い電界効果移動度(μ)を実現することができる。
また、CAC−OSを用いた半導体デバイスは、信頼性が高い。したがって、CAC−OSは、様々な半導体装置の構成材料として適している。
本実施の形態は、他の実施の形態等に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について図14を用いて説明する。
本実施の形態の電子機器は、本発明の一態様の表示装置を有する。これにより、電子機器の表示部に表示される画像の表示品位を高めることができる。
本実施の形態の電子機器の表示部には、例えばフルハイビジョン、2K、4K、8K、16K、又はそれ以上の解像度を有する画像を表示させることができる。また、表示部の画面サイズは、対角20インチ以上、対角30インチ以上、対角50インチ以上、対角60インチ以上、又は対角70インチ以上とすることができる。
電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用等のモニタ、デジタルサイネージ(Digital
Signage:電子看板)、パチンコ機等の大型ゲーム機等の比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、等が挙げられる。
本発明の一態様の電子機器は、アンテナを有していてもよい。アンテナで信号を受信することで、表示部で画像や情報等の表示を行うことができる。また、電子機器がアンテナ及び二次電池を有する場合、アンテナを非接触電力伝送に用いてもよい。
本発明の一態様の電子機器は、センサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線を測定する機能を含むもの)を有していてもよい。
本発明の一態様の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像等)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付、又は時刻等を表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラム又はデータを読み出す機能等を有することができる。
図14(A)にテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置7100は、筐体7101に表示部7000が組み込まれている。ここでは、スタンド7103により筐体7101を支持した構成を示している。
表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図14(A)に示すテレビジョン装置7100の操作は、筐体7101が備える操作スイッチや、別体のリモコン操作機7111により行うことができる。又は、表示部7000にタッチセンサを備えていてもよく、指等で表示部7000に触れることで操作してもよい。リモコン操作機7111は、当該リモコン操作機7111から出力する情報を表示する表示部を有していてもよい。リモコン操作機7111が備える操作キー又はタッチパネルにより、チャンネル及び音量の操作を行うことができ、表示部7000に表示される画像を操作することができる。
なお、テレビジョン装置7100は、受信機及びモデム等を備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介して有線又は無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から受信者)又は双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士等)の情報通信を行うことも可能である。
図14(B)に、ノート型パーソナルコンピュータの一例を示す。ノート型パーソナルコンピュータ7200は、筐体7211、キーボード7212、ポインティングデバイス7213、外部接続ポート7214等を有する。筐体7211に、表示部7000が組み込まれている。
表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図14(C)、(D)に、デジタルサイネージの一例を示す。
図14(C)に示すデジタルサイネージ7300は、筐体7301、表示部7000、及びスピーカ7303等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、又は操作スイッチを含む)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
図14(D)は円柱状の柱7401に取り付けられたデジタルサイネージ7400である。デジタルサイネージ7400は、柱7401の曲面に沿って設けられた表示部7000を有する。
図14(C)、(D)において、表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
表示部7000が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部7000が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
表示部7000にタッチパネルを適用することで、表示部7000に静止画又は動画を表示するだけでなく、使用者が直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報もしくは交通情報等の情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
また、図14(C)、(D)に示すように、デジタルサイネージ7300又はデジタルサイネージ7400は、ユーザーが所持するスマートフォン等の情報端末機7311又は情報端末機7411と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部7000に表示される広告の情報を、情報端末機7311又は情報端末機7411の画面に表示させることができる。また、情報端末機7311又は情報端末機7411を操作することで、表示部7000の表示を切り替えることができる。
また、デジタルサイネージ7300又はデジタルサイネージ7400に、情報端末機7311又は情報端末機7411の画面を操作手段(コントローラ)としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数のユーザーが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。
本発明の一態様の表示装置は、家屋もしくはビルの内壁もしくは外壁、又は、車両の内装もしくは外装の曲面に沿って組み込むことができる。
本実施の形態は、他の実施の形態等に記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。
本実施例では、本発明の一態様の表示装置について、シミュレーションを行った結果を説明する。
図15は、本実施例においてシミュレーションを行った回路である回路60の構成を示す図である。回路60は、画素11と、トランジスタ58と、トランジスタ59と、を有する構成とした。
画素11は、配線31及び配線32と接続した。配線32は、トランジスタ58のソース又はドレインの一方、及びトランジスタ59のソース又はドレインの一方と接続した。
トランジスタ58のソース又はドレインの他方には、電位V1として+5Vを印加した。トランジスタ59のソース又はドレインの他方には、電位V2として−5Vを印加した。トランジスタ58のゲートには、信号ENを供給した。トランジスタ59のゲートには、信号ENBを供給した。ここで、トランジスタ58は、図7(A)に示すスイッチ48a又はスイッチ48bに相当し、トランジスタ59は、図7(A)に示すスイッチ49a又はスイッチ49bに相当する。
本実施例では、画素11の構成として、図16(A)に示す画素11[1]、図16(B)に示す画素11[2]、及び図16(C)に示す画素11[3]を想定した。
画素11[1]は、トランジスタ21と、容量素子25と、容量素子26aと、を有する構成とした。トランジスタ21のソース又はドレインの一方は、容量素子25の一方の電極と接続した。容量素子25の一方の電極は、容量素子26aの一方の電極と接続した。トランジスタ21のソース又はドレインの他方は、配線31と接続した。容量素子25の他方の電極の電位、及び容量素子26aの他方の電極の電位は、接地電位とした。
画素11[2]は、実施の形態1に示した画素11aに相当する。画素11[3]は、実施の形態1に示した画素11bに相当する。ここで、画素11[1]乃至[3]において、表示デバイス26は液晶デバイスであるとし、液晶デバイスである表示デバイス26を容量素子26aにより模した。また、画素11[3]において、配線35の電位は接地電位とした。
トランジスタ21、トランジスタ22、及びトランジスタ23、並びにトランジスタ58及びトランジスタ59は、OSトランジスタとした。また、トランジスタ21、トランジスタ22、及びトランジスタ23のチャネル長は4μm、チャネル幅は4μmとし、トランジスタ58及びトランジスタ59のチャネル長は4μm、チャネル幅は800μmとした。さらに、容量素子25の保持容量は200fF、容量素子26aの保持容量は100fFとした。
本実施例では、配線31の電位を、8ビットのデジタル信号に対応する電位とした。図17(A)は、画素11が画素11[1]である場合における、配線31の電位と、デジタル信号のデジタル値との関係を示す図である。図17(B)は、画素11が画素11[2]、又は画素11[3]である場合における、配線31の電位と、デジタル信号のデジタル値との関係を示す図である。なお、本実施例では、デジタル値は全て10進数表記で表すものとする。
本実施例では、デジタル信号のデジタル値を“0”、“31”、“63”、“95”、“127”、“159”、“191”、”223“、”255“として、条件1及び条件2のそれぞれの場合について、容量素子26aの一方の電極と、容量素子26aの他方の電極と、の電位差ΔVlcを算出した。ここで、図17(A)、(B)に示すように、条件2において配線31に供給される電位は、条件1において配線31に供給される電位の極性を反転させた電位とした。具体的には、図17(A)に示すように、画素11が画素11[1]である場合は、デジタル信号のデジタル値が”0“である場合の配線31の電位を0Vとし、デジタル信号のデジタル値が”255“である場合の配線31の電位を、条件1では電位V1、条件2では電位V2とした。一方、図17(B)に示すように、画素11が画素11[2]又は画素11[3]である場合は、条件1では、デジタル信号のデジタル値が”0“である場合の配線31の電位を電位V2とし、デジタル信号のデジタル値が”255“である場合の配線31の電位を電位V1とした。また、条件2では、デジタル信号のデジタル値が”0“である場合の配線31の電位を電位V1とし、デジタル信号のデジタル値が”255“である場合の配線31の電位を電位V2とした。
また、条件1では、トランジスタ59をオン、トランジスタ58をオフとすることにより、配線32の電位を電位V2とした。一方、条件2では、トランジスタ58をオン、トランジスタ59をオフとすることにより、配線32の電位を電位V1とした。さらに、前述のように、条件2において配線31に供給される電位は、条件1において配線31に供給される電位の極性を反転させた電位とした。以上より、条件1から条件2への切り替えは、フレーム反転駆動に相当する。
本実施例での回路60の動作方法について説明する。画素11が画素11[1]である場合は、まず、配線31の電位を、図17(A)に示すデジタル値に対応する電位とした。次に、トランジスタ21をオンとして、配線31の電位をノードN1に書き込んだ後、トランジスタ21をオフとした。そして、トランジスタ21をオフにしてから1フレーム期間(0.6ms)経過後の電位差ΔVlcを算出した。以上の動作を、条件1及び条件2のそれぞれについて行った。
画素11が画素11[2]である場合は、まず、配線31の電位を、図17(B)に示すデジタル値に対応する電位とした。また、条件1の場合はトランジスタ59をオン、トランジスタ58をオフとすることにより配線32の電位を電位V2とし、条件2の場合はトランジスタ58をオン、トランジスタ59をオフとすることにより配線32の電位を電位V1とした。次に、トランジスタ21をオンとして配線31の電位をノードN1に書き込み、トランジスタ22をオンとして配線32の電位をノードN2に書き込んだ後、トランジスタ21及びトランジスタ22をオフとした。そして、トランジスタ21及びトランジスタ22をオフにしてから1フレーム期間経過後の電位差ΔVlcを算出した。
画素11が画素11[3]である場合は、まず、配線31の電位を、図17(B)に示すデジタル値に対応する電位とした。また、条件1の場合はトランジスタ59をオン、トランジスタ58をオフとすることにより配線32の電位を電位V2とし、条件2の場合はトランジスタ58をオン、トランジスタ59をオフとすることにより配線32の電位を電位V1とした。次に、トランジスタ21をオンとして配線31の電位をノードN1に書き込み、トランジスタ22をオンとして配線32の電位をノードN2に書き込んだ後、トランジスタ21及びトランジスタ22をオフとした。その後、トランジスタ23をオンとすることにより、ノードN2の電位を接地電位とした。そして、トランジスタ21及びトランジスタ22をオフにしてから1フレーム期間経過後の電位差ΔVlcを算出した。
図18は、画素11が画素11[1]、画素11[2]、画素11[3]の各場合における、条件1及び条件2での電位差ΔVlcと、デジタル信号のデジタル値との関係を示す図である。図18に示すように、画素11が画素11[2]又は画素11[3]である場合には、画素11が画素11[1]である場合より、デジタル信号のデジタル値が同じであっても液晶デバイスを模した容量素子26aに印加される電圧が大きくなることが確認された。また、画素11が画素11[1]乃至[3]のいずれの構成であっても、容量素子26aに印加される電圧を1フレーム期間保持できることが確認された。
10:表示装置、11:画素、11a:画素、11b:画素、11c:画素、11d:画素、12:ゲートドライバ回路、13:ソースドライバ回路、14:画素アレイ、15:回路、21:トランジスタ、22:トランジスタ、23:トランジスタ、24:トランジスタ、25:容量素子、26:表示デバイス、26a:容量素子、31:配線、32:配線、33:配線、34:配線、35:配線、41:シフトレジスタ、41a:シフトレジスタ、41b:シフトレジスタ、42:ラッチ回路、42a:ラッチ回路、42b:ラッチ回路、43:レベルシフト回路、43a:レベルシフト回路、43b:レベルシフト回路、44:PTL、44a:N−PTL、44b:P−PTL、45:選択回路、46:アンプ回路、46a:アンプ回路、46b:アンプ回路、47:抵抗ストリング、47a:抵抗ストリング、47b:抵抗ストリング、48:スイッチ、48a:スイッチ、48b:スイッチ、49:スイッチ、49a:スイッチ、49b:スイッチ、51:データバス配線、57:抵抗素子、57a:抵抗素子、57b:抵抗素子、58:トランジスタ、59:トランジスタ、60:回路、61:信号生成回路、62:変換回路、71:電源線、72:電源線、111:基板、113:基板、121:オーバーコート、125a:偏光板、125b:偏光板、131:着色層、132:遮光層、141:接着層、162:FPC、181:電極、182:電極、183:液晶層、211:絶縁層、212:絶縁層、215:絶縁層、217:絶縁層、220:絶縁層、221:導電層、222a:導電層、222b:導電層、224:導電層、231:半導体層、242:接続体、255:導電層、552:バックライトユニット、565:導電層、723:電極、726:絶縁層、728:絶縁層、729:絶縁層、741:絶縁層、742:半導体層、744a:電極、744b:電極、746:電極、771:基板、772:絶縁層、810:トランジスタ、811:トランジスタ、820:トランジスタ、821:トランジスタ、825:トランジスタ、826:トランジスタ、842:トランジスタ、843:トランジスタ、844:トランジスタ、845:トランジスタ、846:トランジスタ、847:トランジスタ、7000:表示部、7100:テレビジョン装置、7101:筐体、7103:スタンド、7111:リモコン操作機、7200:ノート型パーソナルコンピュータ、7211:筐体、7212:キーボード、7213:ポインティングデバイス、7214:外部接続ポート、7300:デジタルサイネージ、7301:筐体、7303:スピーカ、7311:情報端末機、7400:デジタルサイネージ、7401:柱、7411:情報端末機

Claims (13)

  1. 画素と、ソースドライバ回路と、を有する表示装置であって、
    前記画素は、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、容量素子と、表示デバイスと、を有し、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記容量素子の一方の電極と電気的に接続され、
    前記容量素子の一方の電極は、前記表示デバイスの一方の電極と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記容量素子の他方の電極と電気的に接続され、
    前記容量素子の他方の電極は、前記表示デバイスの他方の電極と電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第1の配線を介して前記ソースドライバ回路と電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第2の配線を介して前記ソースドライバ回路と電気的に接続されている表示装置。
  2. 請求項1において、
    前記ソースドライバ回路は、前記第2の配線に、第1の電位又は第2の電位を供給する機能を有し、
    前記ソースドライバ回路は、第1の抵抗素子と、第2の抵抗素子と、を有し、
    前記第1の抵抗素子の一方の端子には、前記第1の電位が供給され、
    前記第2の抵抗素子の一方の端子には、前記第2の電位が供給される表示装置。
  3. 請求項2において、
    前記ソースドライバ回路は、第1のスイッチと、第2のスイッチと、を有し、
    前記第1の抵抗素子の一方の端子は、前記第1のスイッチの一方の端子と電気的に接続され、
    前記第1のスイッチの他方の端子は、前記第2の配線と電気的に接続され、
    前記第2の抵抗素子の一方の端子は、前記第2のスイッチの一方の端子と電気的に接続され、
    前記第2のスイッチの他方の端子は、前記第2の配線と電気的に接続されている表示装置。
  4. 請求項2又は3において、
    前記第1の電位は、正電位であり、
    前記第2の電位は、負電位である表示装置。
  5. 請求項4において、
    前記第1の電位の絶対値と、前記第2の電位の絶対値と、は同一又は略同一である表示装置。
  6. 請求項1乃至5のいずれか一項において、
    前記第1のトランジスタのゲート、及び前記第2のトランジスタのゲートは、第3の配線と電気的に接続されている表示装置。
  7. 請求項1乃至6のいずれか一項において、
    前記表示装置は、ゲートドライバ回路を有し、
    前記第3の配線は、前記ゲートドライバ回路と電気的に接続されている表示装置。
  8. 請求項1乃至7のいずれか一項において、
    前記表示デバイスは、液晶デバイスである表示装置。
  9. 請求項8において、
    前記表示デバイスは、横電界方式が適用された液晶デバイスである表示装置。
  10. 請求項9において、
    前記表示デバイスは、ブルー相を示す液晶を有する表示装置。
  11. 請求項1乃至10のいずれか一項において、
    前記第1のトランジスタ、及び前記第2のトランジスタは、チャネル形成領域に金属酸化物を有し、
    前記金属酸化物は、Inと、Znと、M(MはAl、Ti、Ga、Sn、Y、Zr、La、Ce、Nd、又はHf)と、を有する表示装置。
  12. 請求項1乃至11のいずれか一項において、
    前記画素は、第3のトランジスタを有し、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記表示デバイスの他方の電極と電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、共通配線と電気的に接続されている表示装置。
  13. 請求項12において、
    前記第3のトランジスタは、チャネル形成領域に金属酸化物を有し、
    前記金属酸化物は、Inと、Znと、M(MはAl、Ti、Ga、Sn、Y、Zr、La、Ce、Nd、又はHf)と、を有する表示装置。
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