JPWO2019107411A1 - トンネル電界効果トランジスタおよび電子デバイス - Google Patents
トンネル電界効果トランジスタおよび電子デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019107411A1 JPWO2019107411A1 JP2019557267A JP2019557267A JPWO2019107411A1 JP WO2019107411 A1 JPWO2019107411 A1 JP WO2019107411A1 JP 2019557267 A JP2019557267 A JP 2019557267A JP 2019557267 A JP2019557267 A JP 2019557267A JP WO2019107411 A1 JPWO2019107411 A1 JP WO2019107411A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- layer
- type
- tfet
- field effect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005669 field effect Effects 0.000 title claims description 48
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 439
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 43
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 12
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 4
- 230000005685 electric field effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 605
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 228
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 129
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 61
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 50
- 239000010408 film Substances 0.000 description 50
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 49
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 28
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 25
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 24
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 22
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 19
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 18
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 14
- 229910007717 ZnSnO Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 13
- INQLNSVYIFCUML-QZTLEVGFSA-N [[(2r,3s,4r,5r)-5-(6-aminopurin-9-yl)-3,4-dihydroxyoxolan-2-yl]methoxy-hydroxyphosphoryl] [(2r,3s,4r,5r)-5-(4-carbamoyl-1,3-thiazol-2-yl)-3,4-dihydroxyoxolan-2-yl]methyl hydrogen phosphate Chemical compound NC(=O)C1=CSC([C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](COP(O)(=O)OP(O)(=O)OC[C@@H]3[C@H]([C@@H](O)[C@@H](O3)N3C4=NC=NC(N)=C4N=C3)O)O2)O)=N1 INQLNSVYIFCUML-QZTLEVGFSA-N 0.000 description 11
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 10
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 9
- 238000000089 atomic force micrograph Methods 0.000 description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 8
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 7
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 7
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 7
- 101000642819 Solanum tuberosum Soluble starch synthase 1, chloroplastic/amyloplastic Proteins 0.000 description 6
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 101000642821 Triticum aestivum Starch synthase 1, chloroplastic/amyloplastic Proteins 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 5
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- OFIYHXOOOISSDN-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegallium Chemical compound [Te]=[Ga] OFIYHXOOOISSDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000026 X-ray photoelectron spectrum Methods 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 tungsten nitride Chemical class 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/72—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
- H01L29/739—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals controlled by field-effect, e.g. bipolar static induction transistors [BSIT]
- H01L29/7391—Gated diode structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78645—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film with multiple gate
- H01L29/78648—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film with multiple gate arranged on opposing sides of the channel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/8238—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS
- H01L21/823814—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS with a particular manufacturing method of the source or drain structures, e.g. specific source or drain implants or silicided source or drain structures or raised source or drain structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
- H01L27/08—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind
- H01L27/085—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only
- H01L27/088—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate
- H01L27/092—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only the components being field-effect transistors with insulated gate complementary MIS field-effect transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0684—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape, relative sizes or dispositions of the semiconductor regions or junctions between the regions
- H01L29/0692—Surface layout
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/08—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/0895—Tunnel injectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/122—Single quantum well structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/16—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic System
- H01L29/161—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic System including two or more of the elements provided for in group H01L29/16, e.g. alloys
- H01L29/165—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic System including two or more of the elements provided for in group H01L29/16, e.g. alloys in different semiconductor regions, e.g. heterojunctions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66356—Gated diodes, e.g. field controlled diodes [FCD], static induction thyristors [SITh], field controlled thyristors [FCTh]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66439—Unipolar field-effect transistors with a one- or zero-dimensional channel, e.g. quantum wire FET, in-plane gate transistor [IPG], single electron transistor [SET], striped channel transistor, Coulomb blockade transistor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/775—Field effect transistors with one dimensional charge carrier gas channel, e.g. quantum wire FET
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
Abstract
Description
前記第2半導体層は、p型半導体であってもよい。
[1.トンネル電界効果トランジスタの構造]
本発明の第1実施形態に係るTFETの構造について、図1、2を用いて説明する。第1実施形態においては、NchのTFETを示している。すなわち、ゲートの電圧がソースに対して高くする方向でON状態(ソース−ドレイン間を導通)とし、低くする方向でOFF状態(ソース−ドレイン間を非導通)とする。
続いて、ヘテロ接合部900について説明する。TFETの動作原理である量子トンネル現象は、後述する図52に示すように、p型IV族半導体層110の価電子帯中の電子がn型酸化物半導体層200の伝導帯中の準位へと遷移する過程である。トンネル確率は、電子が感じるエネルギー障壁の高さとトンネル距離とが指数関数的に影響する。したがって、これらを共に小さくする材料と構造の選択が求められる。加えて理想的なエネルギーバンド構造(エネルギーバンドアライメント)を実現するためには、接合界面近傍における元素の組成および不純物濃度(分布)を精密に制御する必要がある。
TFET10の製造方法について、図3から図9を用いて説明する。
第1実施形態では、NchのTFET10を示していたが、第2実施形態では、PchのTFET10Aを実現する構成について説明する。すなわち、ゲートの電圧がソースに対して低くする方向でON状態(ソース−ドレイン間を導通)とし、高くする方向でOFF状態(ソース−ドレイン間を非導通)とする。
第3実施形態では、第1実施形態におけるゲート絶縁層300およびゲート電極層400をn型酸化物半導体層200側からp型IV族半導体層110側に変更することによってPchのTFET10Bを実現した例について説明する。
第4実施形態では、第3実施形態におけるPchのTFET10Bとは異なる方法で形成されたゲート電極層400Cを有するPchのTFET10Cの例について説明する。
第1実施形態におけるNchのTFET10に対して、第3実施形態におけるPchのTFET10Bまたは第4実施形態におけるPchのTFET10Cを組み合わせることによって、単一構造として実現されたTFET10Dを第5実施形態として説明する。
第6実施形態では、第1実施形態におけるTFET10に対して、p型IV族半導体層110をTFETごとに分離したTFET10Eについて説明する。
第7実施形態では、第4実施形態におけるPchのTFET10Cと、第6実施形態におけるNchのTFT10Eとを組み合わせたインバータを含む電子デバイス1について説明する。この例では、TFET10CとTFET10Eとが異なる層に配置された例について説明する。
第8実施形態では、第3実施形態におけるPchのTFET10Bと、第6実施形態におけるNchのTFT10Eとを組み合わせたインバータを含む電子デバイス1Aについて説明する。この例では、TFET10BとTFET10Eとが互いに一部の構成を同じ層で実現するように配置された例について説明する。なお、第7実施形態と同様に、PchのTFETとして、第4実施形態におけるTFET10Cが適用されてもよい。
第9実施形態におけるTFET10Fについて説明する。
ヘテロ接合部900には、上述したようにp型IV族半導体層110とn型酸化物半導体層200との間に非常に薄い絶縁層が配置されていてもよい。第10実施形態では、そのような絶縁層が存在するTFET10Gについて説明する。
第1実施形態では、接合開口部550の側面が傾斜を有していたが、傾斜を有していなくてもよい。第11実施形態では、ヘテロ接合部900に対して垂直な側面をもつ接合開口部550Hが形成されたTFET10Hについて説明する。
第1実施形態では、図2に示すようにゲート電極層400がヘテロ接合部900の全体を覆うことで、ヘテロ接合部900とトンネル接合部とが同じ領域であった。第12実施形態では、ヘテロ接合部900の一部においてトンネル接合が実現される例について説明する。
第1実施形態ではヘテロ接合部900は矩形であったが、矩形以外の形状であってもよい。第13実施形態では、円形のヘテロ接合部900Kを含むTFET10Kについて説明する。なお、ヘテロ接合部900の外縁は、矩形のように直線のみで形成されてもよいし、曲線で形成されてもよいし、直線と曲線とを含んで形成されてもよい。
第1実施形態では、1つのTFET10において1つのヘテロ接合部900が配置されていたが、複数のヘテロ接合部900が配置されてもよい。第14実施形態では、2つのヘテロ接合部900L1、900L2を含むTFET10Lについて説明する。
第14実施形態では、2つのヘテロ接合部900L1、900L2は、ソース電極層710とドレイン電極層720との間に配置されていた。第15実施形態では、2つのヘテロ接合部900M1、900M2の間に配置されたドレイン電極層720を有するTFET10Mについて説明する。
第16実施形態では、ドレイン電極層720Nを囲んで配置されたヘテロ接合部900Nを有するTFET10Nについて説明する。
第17実施形態では、フィン型のトランジスタの形状を適用したNchのTFET10Pについて説明する。
第18実施形態では、フィン型のトランジスタの形状を適用したPchのTFET10Qについて説明する。
Type−IIエネルギーバンド構造を実現する新たな材料系の組み合わせとして酸化物半導体とIV族半導体を組み合わせた新規の積層型トンネル電界効果トランジスタ(TFET)を提案し、TCADシミュレーションを用いて急峻スイッチング(Steep−slope)トランジスタとしてのポテンシャルを検証した。さらに、n−ZnO/p−Siトンネル接合またはn−ZnO/p−Geトンネル接合、およびトンネル接合からドレイン電極にかけて材料接合の無いZnOチャネル構造を有するTFETの動作実証を初めて行った。不純物濃度の適切な制御やゲートスタック構造制御により、TFETにおいて最高の108を上回るON/OFF電流比と最小SS値〜71mV/dec.を達成した。
ゲートに対して垂直方向のトンネルを持つ積層型トンネル電界効果トランジスタ(TFET)は、究極的に小さく限りなくゼロに近いサブスレショルドスィング(SS値)を達成しうる理想的な構造である。これは、トンネル接合全域に渡り、ソース中とチャネル中の状態密度(density of state, DOS)を効率的かつ均一にゲート電圧にて制御可能なためである。
初めに、type−IIエネルギーバンド構造のEb-effがトンネル特性に与える影響を調査した。酸化物半導体/IV族半導体を用いることで、Eb-effは連続的に調整可能である。この時、SiGeソースの場合のEv-IV位置および軽いホールの有効質量は、SiとGeの値より線形補完することで求めた(図54)。
図56は、TCADシミュレーションに用いた3次元デバイス構造模式図と主要なパラメータである。図56に示す素子構造を用い、酸化物半導体/IV族半導体を用いた積層型TFETのSentaurus TCADシミュレーションを行った。Sentaurusはソフトウエア名である。酸化物半導体の物性については、Ec-OS位置を除き、ZnOの値を用いた。
図67は、n−ZnO/p−(SiもしくはGe) TFETの素子作製プロセスフローを説明する図である。不純物を添加しないZnO膜はパルスレーザー堆積(PLD)法により形成され、ゲート絶縁膜のEOTは5.8nmである。TFET動作を実験的に証明するため、トップゲートの薄膜トランジスタ(TFT)も同一チップ上に作製されている。図67に示す手順に従い、パルスレーザー堆積(PLD)法を用いてノンドープのZnO層を堆積し、n−ZnO/p−(SiまたはGe)TFETを作製した。ここで、ZnO中の格子間Znや酸素空孔などの点欠陥はn型半導体のドナーとして働くことが知られている。実際に堆積した膜のキャリア密度も1018cm-3程度と見積もられた。
酸化物半導体とIV族半導体とを接合させたtype−IIエネルギーバンド構造を有する積層型TFETについて、新たなコンセプトに基づいた素子構造を提案した。
続いて、NchのTFETとPchのTFETとを比較して説明する。
続いて、p型IV族半導体層としてSiを用い、n型酸化物半導体層としてZnOを用いたNchのTFETの特性の温度依存性について示す。
NchのTFETにおいて、n型酸化物半導体層にZnOを用いた場合とまたはZnSnO(ここでは、Zn/Sn=1.5)を用いた場合の比較をした。なお、p型IV族半導体層は、Siである。
上記のシミュレーション結果によれば、国際半導体ロードマップ(ITRS)が示す低消費電力素子の性能指標予測に匹敵するパフォーマンスである。ITRSでは、約0.7Vでの動作が想定されているのに対し、今回の結果は大きく改善されて、かつ、既存の量子トンネルMOSFETに比べても低電圧での実現が見込まれている。このことから、低消費電力半導体デバイス産業に直結する極めて利用価値が高いものと考える。加えて、異種材料にもかかわらず、エピタキシャル成長などの高温かつ高コストなプロセスを使わなくてもよいため、近年急速に発展しているディスプレイ、フレキシブルデバイス、ウェアラブルデバイス等への応用発展にも直結する。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、上述した各実施形態は、互いに組み合わせたり、置換したりして適用することが可能である。また、上述した各実施形態では、以下の通り変形して実施することも可能である。以下の変形例では、第1実施形態に適用した例を述べるが、他の実施形態に対しても適用される。
第8実施形態では、第3実施形態におけるPchのTFET10Bと、第6実施形態におけるNchのTFET10Eとを組み合わせたインバータを含む電子デバイス1Aについて説明する。この例では、TFET10BとTFET10Eとが互いに一部の構成を同じ層で実現するように配置された例について説明する。なお、第7実施形態と同様に、PchのTFETとして、第4実施形態におけるTFET10Cが適用されてもよい。
NchのTFETにおいて、n型酸化物半導体層にZnOを用いた場合とZnSnO(ここでは、Zn/Sn=1.5)を用いた場合の比較をした。なお、p型IV族半導体層は、Siである。
Claims (20)
- 第1導電型の第1半導体層と、
第1領域において前記第1半導体層に対してヘテロ接合を実現する第2導電型の第2半導体層と、
前記第1領域において前記第2半導体層を覆うゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層を覆うゲート電極層と、
前記第1半導体層に電気的に接続された第1電極層と、
前記第2半導体層に電気的に接続された第2電極層と、
前記第1領域に対して前記第2電極層側に隣接した第2領域において前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に挟まれた第1絶縁層と、
を含む、トンネル電界効果トランジスタ。 - 前記第1半導体層および前記第2半導体層は、前記ヘテロ接合によってtype−IIバンド構造を形成するエネルギーバンド構造を有する材料である、請求項1に記載のトンネル電界効果トランジスタ。
- 前記第2半導体層は、伝導帯の下端のエネルギーが前記第1半導体層のバンドギャップ内に存在する材料である、請求項2に記載のトンネル電界効果トランジスタ。
- 前記第2半導体層は、前記第1半導体層のバンドギャップよりも大きい材料である、請求項3に記載のトンネル電界効果トランジスタ。
- 前記第1半導体層は、p型半導体であり、
前記第2半導体層は、n型半導体である、請求項1に記載のトンネル電界効果トランジスタ。 - 前記第1半導体層は、IV族の半導体であり、
前記第2半導体層は、IIーVI族の半導体である、請求項5に記載のトンネル電界効果トランジスタ。 - 前記第1半導体層は、IV族の半導体であり、
前記第2半導体層は、金属酸化物を含む、請求項5に記載のトンネル電界効果トランジスタ。 - 前記第1半導体層は、Siを含む、請求項7に記載のトンネル電界効果トランジスタ。
- 前記第1半導体層は、SiおよびGeを含む、請求項7に記載のトンネル電界効果トランジスタ。
- 前記第1半導体層は、n型半導体であり、
前記第2半導体層は、p型半導体である、請求項1に記載のトンネル電界効果トランジスタ。 - 前記第2半導体層の誘電率は、前記第1半導体層の誘電率よりも低い、請求項1に記載のトンネル電界効果トランジスタ。
- 前記ゲート絶縁層および前記ゲート電極層は、前記第1領域から前記第2領域に拡がって配置されている、請求項1に記載のトンネル電界効果トランジスタ。
- 前記第2領域は、前記第1領域に対して前記第1電極層側にも隣接している、請求項1に記載のトンネル電界効果トランジスタ。
- 前記第2領域は、前記第1領域を囲んでいる、請求項1に記載のトンネル電界効果トランジスタ。
- 前記ヘテロ接合が実現される部分における前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に、前記第1半導体層を成分に含む接合絶縁層が配置されている、請求項1に記載のトンネル電界効果トランジスタ。
- 前記第1半導体層は、p型半導体であり、
前記第2半導体層は、n型半導体であり、
前記接合絶縁層は、前記第1半導体層の酸化物を含む、請求項15に記載のトンネル電界効果トランジスタ。 - 前記第1半導体層は、n型半導体であり、
前記第2半導体層は、p型半導体であり、
前記接合絶縁層は、前記第2半導体層の酸化物を含む、請求項15に記載のトンネル電界効果トランジスタ。 - 第1導電型の第1半導体層と、
第1領域において前記第1半導体層に対してヘテロ接合を実現する第2導電型の第2半導体層と、
前記第1領域において前記第2半導体層を覆うゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層を覆うゲート電極層と、
前記第1半導体層に電気的に接続された第1電極層と、
前記第2半導体層に電気的に接続された第2電極層と、
を含み、
前記ヘテロ接合の面に対して垂直に見た場合に、前記第1半導体層と前記第2半導体層とが重畳する領域は、前記第1領域よりも広い、トンネル電界効果トランジスタ。 - 請求項1から請求項18のいずれかに記載の複数のトンネル電界効果トランジスタと、
前記トンネル電界効果トランジスタに信号を供給するための導電体と、
を含む、電子デバイス。 - 前記複数のトンネル電界効果トランジスタは、Nchのトンネル電界効果トランジスタと、Pchのトンネル電界効果トランジスタとを少なくとも含み、
前記Nchのトンネル電界効果トランジスタと、前記Pchのトンネル電界効果トランジスタとを接続する導電体をさらに含む、請求項19に記載の電子デバイス。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762591798P | 2017-11-29 | 2017-11-29 | |
US62/591,798 | 2017-11-29 | ||
PCT/JP2018/043787 WO2019107411A1 (ja) | 2017-11-29 | 2018-11-28 | トンネル電界効果トランジスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019107411A1 true JPWO2019107411A1 (ja) | 2020-12-17 |
JP7164204B2 JP7164204B2 (ja) | 2022-11-01 |
Family
ID=66664960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019557267A Active JP7164204B2 (ja) | 2017-11-29 | 2018-11-28 | トンネル電界効果トランジスタおよび電子デバイス |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11227953B2 (ja) |
JP (1) | JP7164204B2 (ja) |
CN (1) | CN112292762B (ja) |
WO (1) | WO2019107411A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW202130846A (zh) * | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
CN117480614A (zh) * | 2022-05-27 | 2024-01-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 隧穿场效应晶体管及其制备方法、显示面板、显示装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0195554A (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Seiko Epson Corp | トンネル効果素子 |
JP2013046073A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Samsung Electronics Co Ltd | チューナブルバリアを備えるグラフェンスイッチング素子 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7217950B2 (en) * | 2002-10-11 | 2007-05-15 | Nissan Motor Co., Ltd. | Insulated gate tunnel-injection device having heterojunction and method for manufacturing the same |
US8796733B2 (en) | 2010-08-09 | 2014-08-05 | University Of Notre Dame Du Lac | Low voltage tunnel field-effect transistor (TFET) and method of making same |
JP5910965B2 (ja) | 2012-03-07 | 2016-04-27 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | トンネル電界効果トランジスタの製造方法及びトンネル電界効果トランジスタ |
KR101919425B1 (ko) * | 2012-10-09 | 2018-11-19 | 삼성전자주식회사 | 그래핀 채널을 포함한 터널링 전계효과 트랜지스터 |
JP2014229713A (ja) | 2013-05-21 | 2014-12-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
KR102100415B1 (ko) * | 2013-07-15 | 2020-04-14 | 삼성전자주식회사 | 터널링 소자 및 그 제조방법 |
US9634114B2 (en) | 2013-08-13 | 2017-04-25 | National University Corporation Hakkaido University | Tunnel field-effect transistor, method for manufacturing same, and switch element |
US9768311B2 (en) | 2014-07-24 | 2017-09-19 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) | Semiconductor tunneling device |
US9761732B2 (en) | 2015-02-25 | 2017-09-12 | Snaptrack Inc. | Tunnel thin film transistor with hetero-junction structure |
CN104810405B (zh) * | 2015-04-13 | 2018-07-13 | 北京大学 | 一种隧穿场效应晶体管及制备方法 |
US10504721B2 (en) * | 2015-04-30 | 2019-12-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Staggered-type tunneling field effect transistor |
US10734513B2 (en) | 2015-11-16 | 2020-08-04 | Intel Corporation | Heterojunction TFETs employing an oxide semiconductor |
JP6730598B2 (ja) | 2016-07-19 | 2020-07-29 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
US10236386B2 (en) | 2017-01-17 | 2019-03-19 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Vertical hetero- and homo-junction tunnel field-effect transistors |
-
2018
- 2018-11-28 WO PCT/JP2018/043787 patent/WO2019107411A1/ja active Application Filing
- 2018-11-28 CN CN201880076199.2A patent/CN112292762B/zh active Active
- 2018-11-28 US US16/767,479 patent/US11227953B2/en active Active
- 2018-11-28 JP JP2019557267A patent/JP7164204B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0195554A (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Seiko Epson Corp | トンネル効果素子 |
JP2013046073A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Samsung Electronics Co Ltd | チューナブルバリアを備えるグラフェンスイッチング素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7164204B2 (ja) | 2022-11-01 |
WO2019107411A1 (ja) | 2019-06-06 |
US20210005758A1 (en) | 2021-01-07 |
CN112292762A (zh) | 2021-01-29 |
US11227953B2 (en) | 2022-01-18 |
CN112292762B (zh) | 2023-11-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102100415B1 (ko) | 터널링 소자 및 그 제조방법 | |
KR101919425B1 (ko) | 그래핀 채널을 포함한 터널링 전계효과 트랜지스터 | |
KR101156620B1 (ko) | 그라핀 채널층을 가지는 전계 효과 트랜지스터 | |
US10522664B2 (en) | Electronic device including a tunnel layer | |
KR20130022854A (ko) | 튜너블 배리어를 구비한 그래핀 스위칭 소자 | |
US20130048948A1 (en) | Inverter logic devices including graphene field effect transistor having tunable barrier | |
US10872973B2 (en) | Semiconductor structures with two-dimensional materials | |
US9312368B2 (en) | Graphene device including separated junction contacts and method of manufacturing the same | |
US20210234015A1 (en) | Field effect transistor including gate insulating layer formed of two-dimensional material | |
JP6087057B2 (ja) | 半導体メモリ装置 | |
US11437482B2 (en) | Field effect transistor, method of fabricating field effect transistor, and electronic device | |
US20230170406A1 (en) | Forming semiconductor structures with two-dimensional materials | |
KR102257243B1 (ko) | 튜너블 배리어를 구비한 그래핀 트랜지스터 | |
JP7164204B2 (ja) | トンネル電界効果トランジスタおよび電子デバイス | |
KR20140088658A (ko) | 독립적으로 구동이 가능하고 다른 일함수를 가지는 이중 게이트 구조를 포함하는 전자-정공 이중층 터널 전계 효과 트랜지스터 및 그 제조 방법 | |
CN104425269B (zh) | 鳍式场效应晶体管及其形成方法 | |
CN117529818A (zh) | 半导体器件及其制作方法、电子设备 | |
WO2019114408A1 (en) | Field effect transistor, method of fabricating field effect transistor, and electronic device | |
KR102039630B1 (ko) | 터널링 전계효과 트랜지스터 및 그 제조방법 | |
KR101402697B1 (ko) | 독립적 및 대칭적인 이중 게이트 구조를 이용한 전자-정공 이중층 터널 전계 효과 트랜지스터 및 그 제조 방법 | |
JP5888401B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200528 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20200623 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20200623 |
|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80 Effective date: 20200623 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221004 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221013 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7164204 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |