JPWO2019009309A1 - アモルファス合金リボン及びその製造方法、アモルファス合金リボン片 - Google Patents

Abstract

本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボン（以下、合金リボン）を準備する工程と、合金リボンを引張応力５ＭＰａ〜１００ＭＰａで張架した状態で、平均昇温速度を５０℃／秒以上８００℃／秒未満として４１０℃〜４８０℃の範囲の最高到達温度まで合金リボンを昇温させる工程と、昇温された前記合金リボンを、平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として前記最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温させる工程と、を含み、昇温させる工程での昇温及び降温させる工程での降温は、合金リボンを張架した状態で走行させ、走行する合金リボンを伝熱媒体に接触させることにより行われ、Ｆｅ１００−ａ−ｂＢａＳｉｂＣｃ（ａ，ｂ：組成中の原子比、ｃ：Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比、１３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％、２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％、０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％、７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％）で表される組成を有する合金リボンを製造する。

Description

本開示は、アモルファス合金リボン及びその製造方法、アモルファス合金リボン片に関する。

トランス、リアクトル、チョークコイル、モーター、ノイズ対策部品、レーザ電源、加速器用パルスパワー磁性部品、発電機等に用いられる磁心（コア）の磁性材料として、珪素鋼、フェライト、Ｆｅ基アモルファス合金、Ｆｅ基ナノ結晶合金、等が知られている。
コアとしては、例えばＦｅ基アモルファス合金又はＦｅ基ナノ結晶合金を用いて作製されたトロイダル磁心（巻コア）が知られている（例えば、特許文献１〜２参照）。

また、リボンを脆くすることなく、磁気特性を改良するために連続的に曲線状にインラインアニールするための方法として、アモルファス合金リボンをピンと張り、１０^３℃／秒を上回る速度で加熱し、１０^３℃／秒を上回る速度で冷却する方法が開示されている（例えば、特許文献３参照）。

特許文献１：特開２００６−３１０７８７号公報
特許文献２：国際公開第２０１５／０４６１４０号
特許文献３：特表２０１３−５１１６１７号公報

上記の特許文献３では、高温アニールすることで生じる脆化を抑制するために１０^３℃／秒を上回る速度で昇温及び降温を行う。前記アモルファス合金リボンの急速な昇温又は降温を行うために、少なくとも昇温用と降温用の少なくとも２つのローラー状の熱伝導媒体（それぞれホットローラーとコールドローラー）と密着状態を維持させることで熱伝達性を高め、短時間に終了することが記載されている。前記少なくとも２つのローラー状の熱伝導媒体と合金リボンは、熱処理（昇温又は降温）時に密着するため、ローラー半径に起因する曲率による応力が合金リボンに残留する。合金リボンで巻磁心（コア）を作製する際、合金リボンを変形させる必要があるが、前記合金リボンに残留した応力によって、磁気特性が劣化すると推測される。

上記のようなローラー巻付けによる冷却方式を採用せずに、アモルファス合金リボンの昇温及び降温の速度を抑えても、アモルファス合金リボンの脆化が緩和される技術が確立できれば、ロール冷却方式以外の種々の冷却方式を選択することが可能になる。

また、特許文献３では、合金リボンを平坦な板（フラットな板）として積層したコアの場合、本来の優れた磁気特性を得ることが困難であると推測される。

本開示は、上記の事情に鑑みてなされたものである。
本開示の実施形態は、熱処理後の合金リボンが平坦な状態での磁気特性に優れ、かつ、裁断性を有するアモルファス合金リボン及びその製造方法並びにアモルファス合金リボン片を提供することを課題とする。

本開示には、以下の態様が含まれる。
＜１＞ Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボンを準備する工程と、前記アモルファス合金リボンを引張応力５ＭＰａ〜１００ＭＰａで張架した状態で、平均昇温速度を５０℃／秒以上８００℃／秒未満として４１０℃〜４８０℃の範囲の最高到達温度（昇温伝熱媒体温度）までアモルファス合金リボンを昇温させる工程と、前記アモルファス合金リボンを引張応力５ＭＰａ〜１００ＭＰａで張架した状態で、昇温された前記アモルファス合金リボンを、平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として前記最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温させる工程と、を含み、
前記昇温させる工程での昇温及び前記降温させる工程での降温は、前記アモルファス合金リボンを張架した状態で走行させ、走行する前記アモルファス合金リボンを伝熱媒体に接触させることにより行われ、
下記組成式（Ａ）で表される組成を有するアモルファス合金リボンを製造する、アモルファス合金リボンの製造方法である。

Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ … 組成式（Ａ）
組成式（Ａ）中、ａ及びｂは、組成中の原子比を表し、それぞれ下記範囲を満たす。ｃは、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比を表し、下記範囲を満たす。
１３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％
０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％
７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％

＜２＞ 前記平均昇温速度が、６０℃／秒〜７６０℃／秒であり、前記平均降温速度が、１９０℃／秒〜５００℃／秒である、前記＜１＞に記載のアモルファス合金リボンの製造方法である。
＜３＞ 前記昇温させる工程及び前記降温させる工程における引張応力が、１０ＭＰａ〜７５ＭＰａである、前記＜１＞又は前記＜２＞に記載のアモルファス合金リボンの製造方法である。
＜４＞ 前記ｂが、下記範囲を満たす前記＜１＞〜前記＜３＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンの製造方法ある。
３．０原子％≦ｂ≦４．５原子％
＜５＞ 前記１００−ａ−ｂが、下記範囲を満たす前記＜１＞〜前記＜４＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンの製造方法である。
８０．５原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％
＜６＞ 前記ａが、下記範囲を満たす前記＜１＞〜前記＜５＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンの製造方法である。
１４．０原子％≦ａ≦１６．０原子％

＜７＞ 走行する前記アモルファス合金リボンを昇温させる伝熱媒体の接触面、及び走行する前記アモルファス合金リボンを降温させる伝熱媒体の接触面は、平面内（好ましくは、同一平面内）に配置されている前記＜１＞〜前記＜６＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンの製造方法である。
＜８＞ 下記組成式（Ａ）で表される組成を有し、裁断性を有し、かつ、保磁力Ｈ_ｃが１．０Ａ／ｍ以下であるアモルファス合金リボンである。
Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ … 組成式（Ａ）
組成式（Ａ）中、ａ及びｂは、組成中の原子比を表し、それぞれ下記範囲を満たす。ｃは、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比を表し、下記範囲を満たす。
１３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％
０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％
７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％

＜９＞ ＪＩＳ Ｃ ２５３４（２０１７）に規定される引裂きぜい性のぜい性コードが３以下である前記＜８＞に記載のアモルファス合金リボンである。
＜１０＞ 前記ぜい性コードが２以下である前記＜９＞に記載のアモルファス合金リボンである。
＜１１＞ 幅長が２５ｍｍ以上２２０ｍｍ以下である前記＜８＞〜前記＜１０＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンである。

＜１２＞ 前記ｂが、下記範囲を満たす前記＜８＞〜前記＜１１＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンである。
３．０原子％≦ｂ≦４．５原子％
＜１３＞ 前記１００−ａ−ｂが、下記範囲を満たす前記＜８＞〜前記＜１２＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンである。
８０．５原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％
＜１４＞ 前記ａが、下記範囲を満たす前記＜８＞〜前記＜１３＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンである。
１４．０原子％≦ａ≦１６．０原子％

＜１５＞ 前記＜８＞〜前記＜１４＞のいずれか１つに記載のアモルファス合金リボンの切り出し断片であるアモルファス合金リボン片である。

本開示の実施形態に係る発明によれば、熱処理後の合金リボンが平坦な状態での磁気特性に優れ、かつ、裁断性を有するアモルファス合金リボン及びその製造方法並びにアモルファス合金リボン片が提供される。

図１は、アモルファス合金リボンの製造に用いられるインラインアニール装置の一例を示す概略断面図である。 図２は、図１に示すインラインアニール装置の伝熱媒体を示す概略平面図である。 図３は、図２のIII−III線断面図である。 図４は、伝熱媒体の変形例を示す概略平面図である。

以下、本開示のアモルファス合金リボン（以下、単に「合金リボン」ともいう。）及びその製造方法、アモルファス合金リボン片について、詳細に説明する。

本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
また、本明細書において、「工程」との用語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、「アモルファス合金リボン」とは、長尺の合金リボンを意味する。 本明細書において、「アモルファス合金リボン片」とは、（長尺の）アモルファス合金リボンから切り出された枚葉のアモルファス合金リボンを意味し、好ましくは短冊状もしくは長手方向に対して３０°〜６０°（４５°に対して−１５°〜＋１５°）の角度で切り出されたアモルファス合金リボン片とすることができる。

本明細書において、鉄（Ｆｅ）、ホウ素（Ｂ）、及びケイ素（Ｓｉ）の各元素の含有比（原子％）は、Ｆｅ、Ｂ、及びＳｉの合計を１００原子％とした場合の含有比率を意味する。また、炭素（Ｃ）の含有比率（原子％）は、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対する含有比率である。
なお、Ｆｅの含有比を表す「１００−ａ−ｂ」には、例えば、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｖ、Ｗ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｐ、及びＳからなる群から選択される少なくとも１種の元素を含む不可避不純物が含まれてもよい。

＜アモルファス合金リボン及びアモルファス合金リボン片＞
本開示のアモルファス合金リボンは、下記組成式（Ａ）で表される組成を有し、裁断性を有し、かつ、保磁力Ｈ_ｃを１．０Ａ／ｍ以下の範囲としたものである。
本開示のアモルファス合金リボンは、磁気特性と裁断性、即ち脆化抑制とが両立されている。

また、本開示のアモルファス合金リボン片は、アモルファス合金リボンを所望とする大きさに切り出した断片をいう。
なお、アモルファス合金リボンの組成の説明は、（長尺の）アモルファス合金リボンから切り出されるアモルファス合金リボン片にも当てはまる。

本開示のアモルファス合金リボンは、以下の組成式（Ａ）で表される組成を有する。
また、組成式（Ａ）で表される組成を有するアモルファス合金リボン片は、組成式（Ａ）で表される組成を有するアモルファス合金リボンを熱処理した後、アモルファス合金リボンを切断することによって製造されるものである。
熱処理の好ましい態様は、後述する本開示の製造方法における「昇温工程」及び「降温工程」の態様である。

Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ … 組成式（Ａ）
組成式（Ａ）において、ａ及びｂは、組成中の原子比を表し、それぞれ下記範囲を満たす。ｃは、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比を表し、下記範囲を満たす。
１３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％
０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％
７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％

以下、上記組成式（Ａ）についてより詳細に説明する。
組成式（Ａ）中のＦｅの原子比（原子％）は、「１００−ａ−ｂ」で求められる。Ｆｅは、アモルファス合金リボンの主成分であり、磁気特性を決定する主元素である。
なお、Ｆｅの含有比を表す「１００−ａ−ｂ」には、例えば、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｖ、Ｗ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｐ、及びＳからなる群から選択される少なくとも１種の元素を含む不可避不純物も含まれてもよい。この不可避不純物の含有量としては、１原子％以下の範囲であることが好ましい。

本開示におけるアモルファス合金リボン及びアモルファス合金リボン片は、上記の組成式（Ａ）で表される組成を有する。即ち、
本開示におけるアモルファス合金リボン（Ｆｅ基アモルファス合金の薄片）は、７９．０〔＝（１００−ａ−ｂ）＝（１００−１６．０−５．０）〕原子％以上のＦｅ（不可避不純物を含む）を含有するＦｅ基アモルファス合金リボン（Ｆｅ基アモルファス合金の薄片）である。合金組成中のＦｅの含有比率を比較的高くすることにより、より効果的に脆化抑制できる。
「１００−ａ−ｂ」は、７９．０以上であり、８０．５以上が好ましく、８１．０以上がより好ましい。
「１００−ａ−ｂ」（原子％）の上限は、ａ、ｂに応じて決定され、８３．０以下である。
上記のうち、「１００−ａ−ｂ」は、特に下記範囲を満たすことが好ましい。
８０．５原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％

組成式（Ａ）におけるＢの原子比ａは、１３．０原子％以上１６．０原子％以下である。Ｂは、アモルファス合金リボンにおいて、アモルファス状態を安定的に維持する機能を有する。
本開示では、ａが１３．０原子％以上であることで、Ｂの上記機能が効果的に発現する。また、ａが１６．０原子％以下であることで、Ｆｅの含有量が確保されるので、アモルファス合金リボン及びアモルファス合金リボン片の飽和磁束密度Ｂ_sが向上し、Ｂ_８０を高くすることができる。
中でも、Ｂの原子比ａは、下記範囲を満たすことが好ましい。
１４．０原子％≦ａ≦１６．０原子％

組成式（Ａ）におけるＳｉの原子比ｂは、２．５原子％以上５．０原子％以下である。
Ｓｉは、アモルファス合金リボンの結晶化温度を上昇させ、かつ、表面酸化膜を形成させる機能を有する。
本開示では、ｂが２．５原子％以上であることで、Ｓｉの上記機能が効果的に発現する。したがって、より高温での熱処理が可能となる。また、ｂが５．０原子％以下であることで、Ｆｅの含有量が確保されるので、アモルファス合金リボンの飽和磁束密度Ｂ_ｓが向上する。
Ｓｉの原子比ｂとしては、下記範囲を満たすことが好ましい。
３．０原子％≦ｂ≦４．５原子％

組成式（Ａ）におけるＣの原子比ｃは、０．２０原子％以上０．３５原子％以下である。Ｆｅ−Ｂ−Ｓｉ系アモルファス合金リボンの組成にＣ（炭素）が含まれることで、リボンの占積率が向上する。この理由は、Ｃを加えることで、リボンの表面の平坦性がより向上するためと考えられる。
Ｃの原子比ｃの好ましい範囲は、０．２３原子％以上０．３０原子％以下である。

本開示のアモルファス合金リボンは、磁気特性として良好な磁束密度及び保磁力を有している。
本開示のアモルファス合金リボンは、高い磁束密度（Ｂ_８０及びＢ_８００）を有する。なお、Ｂ_８０は、８０Ａ／ｍの磁場で磁化した際の磁束密度であり、Ｂ_８００は、８００Ａ／ｍの磁場で磁化した際の磁束密度である。
本開示のアモルファス合金リボンの磁束密度Ｂ_８０は、１．４５Ｔ以上が好ましく、１．５０Ｔ以上がより好ましい。磁束密度Ｂ_８０が１．４５Ｔ以上であると、アモルファス合金リボンから作製されるコアが軟磁性を示し、様々な軟磁性応用部品を得ることができる。

また、本開示のアモルファス合金リボンは、保磁力（Ｈ_ｃ）が低く抑えられている。
保磁力は、１．０Ａ／ｍ以下が好ましく、０．８Ａ／ｍ以下がより好ましい。保磁力が１．０Ａ／ｍ以下であると、ヒステリシス損失が低くなり、アモルファス合金リボンから作製されるコアは低鉄損のコアとなる。

磁束密度（Ｂ_８０，Ｂ_８００）と保磁力（Ｈ_ｃ）は、直流磁化測定装置ＳＫ１１０（メトロン技研株式会社製）を用いて求められる値である。
Ｂ_８０は、直流磁化測定装置ＳＫ１１０を用いて磁場強度８０Ａ／ｍにて求められる値であり、Ｂ_８００は、直流磁化測定装置ＳＫ１１０を用いて磁場強度８００Ａ／ｍにて求められる値である。
保磁力（Ｈ_ｃ）は、磁場強度８００Ａ／ｍで測定したヒステリシス曲線より求められる値である。

本開示のアモルファス合金リボンは、最高到達温度が４１０℃以上となる温度域での熱処理後も、脆化が抑えられたものである。アモルファス合金リボンの脆化の程度を表す脆性指標には、後述するように、裁断性、１８０°曲げ試験、及び引き裂き試験が知られている。

本開示のアモルファス合金リボンは、裁断性を備えるものである。裁断性を備えるとは、合金リボンをハサミで裁断することができることを指す。
裁断性は、アモルファス合金リボンの脆化の程度を表す脆性指標となるものである。具体的には、合金リボンを二つの刃で挟んで裁断する裁断具（例えばハサミ）で裁断した際、ほぼ直線的に分割され、直線では無い破断部分が全裁断寸法の５％以下であることにより評価される。

上記の裁断性のほか、第２の脆性指標として１８０°曲げ試験がある。合金リボンを１８０°屈曲し、合金リボンの屈曲部分に破断部の発生の有無を目視観察することで評価される。合金リボンの光沢面（鋳造時の自由凝固面）を外側にして屈曲する場合と、合金リボンの非光沢面（鋳造時の冷却ロールに接触する側の表面）を外側にして屈曲する場合と、で評価結果が異なることがある。
また、第３の脆性指標として引き裂き試験による引裂きぜい性評価がある。具体的には、ＪＩＳ Ｃ ２５３４（２０１７）に規定される「ぜい性コード」で表される。
ＪＩＳ Ｃ ２５３４（２０１７）では、合金リボンの幅が１４２．２ｍｍ未満であるとの記載はないが、「試験片の両鋳造エッジから幅方向に１２．７ｍｍ及び２５．４ｍｍ、並びに幅方向中央部の５か所」の記載より、１２．７ｍｍ＋２５．４ｍｍ＝３８．１ｍｍの位置が中央部であれば、つまり、合金リボン幅が（３８．１ｍｍ×２＝）７６．２ｍｍ幅以上であれば、同等の評価が可能であると考えられる。
他方、本開示のように合金リボンの幅が２０ｍｍ以上であり、かつ、上記のように幅が７６．２ｍｍ未満であるリボン幅の場合、以下の評価方法とする。
即ち、下記（１）〜（２）で評価して各試験片の脆性スポット数を合計し、得られた脆性スポットの合計数から「ぜい性コード」を決定する。「ぜい性コード」の指標は、小さい数値ほど脆化していないことを示す。なお、脆性スポットとは、アモルファス帯を引き裂いた際に、裂け目の経路、方向の変化、破片分離などのアモルファス帯の損傷が生じた領域を指す。
（１）合金リボンの幅が２０ｍｍ以上５０．８ｍｍ未満である場合、５つの試験片でリボン幅方向中央部の１か所の脆性スポット数を合計する。
（２）合金リボンの幅が５０．８ｍｍ以上７６．２ｍｍ未満である場合、２つの試験片で、両鋳造エッジから幅方向に１２．７ｍｍ及び幅方向中央部の３か所の脆性スポット数を合計する。

アモルファス合金リボンは、ＪＩＳ Ｃ ２５３４（２０１７）に規定される引裂きぜい性のぜい性コードが３以下であることが好ましく、より好ましくは、前記ぜい性コードが２又は１である。

アモルファス合金リボンは、厚さが２０μｍ〜３０μｍであることが好ましい。
厚さが２０μｍ以上であると、アモルファス合金リボンの機械的強度が確保され、アモルファス合金リボン片の破断が抑制される。アモルファス合金リボンの厚さは、２２μｍ以上であることがより好ましい。また、厚さが３０μｍ以下であると、鋳造後のアモルファス合金リボンにおいて、安定したアモルファス状態が得られる。

アモルファス合金リボンの各々は、長手方向と直交する幅長が２０ｍｍ以上であることが好ましく、幅長が２０ｍｍ〜２２０ｍｍ以下であることが好ましく、幅長が２５ｍｍ〜２２０ｍｍ以下であることがより好ましい。
アモルファス合金リボンの幅長が２０ｍｍ以上であると、生産性良くコア作製が可能である。また、アモルファス合金リボンの幅長が２２０ｍｍ以下であると、幅方向の厚さや磁気特性のばらつきを抑制でき、安定生産性を確保し易い。

既述の本開示のアモルファス合金リボンは、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボンが用いられ、組成式（Ａ）で表される組成を有するアモルファス合金リボンが作製される方法であれば、特に制限はなく、任意の製造方法を選択すればよい。
中でも、本開示のアモルファス合金リボンは、好ましくは、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボンを準備する工程（以下、「リボン準備工程」ともいう。）と、アモルファス合金リボンを引張応力５ＭＰａ〜１００ＭＰａで張架した状態で、平均昇温速度を５０℃／秒以上８００℃／秒未満として４１０℃〜４８０℃の範囲の最高到達温度までアモルファス合金リボンを昇温させる工程（以下、「昇温工程」ともいう。）と、前記アモルファス合金リボンを引張応力５ＭＰａ〜１００ＭＰａで張架した状態で、昇温されたアモルファス合金リボンを、平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として前記最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温させる工程（以下、「降温工程」ともいう。）と、を有する方法（本開示のアモルファス合金リボンの製造方法）により製造される。
Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ … 組成式（Ａ）
なお、組成式（Ａ）中におけるａ、ｂ、及びｃの詳細及び好ましい態様については、既述の通りである。

アモルファス合金リボンを加熱して一定温度以上になると、アモルファス相を保った状態で構造緩和が進行する。さらに、結晶化温度以上にまで加熱すると結晶化が始まる。
アモルファス合金リボンは構造緩和により、その優れた磁気特性が顕在化する。他方、並行してアモルファス合金リボンの脆化が進行する。従来より、優れた磁気特性と脆性抑制の両立は困難とされていた。
本開示のアモルファス合金リボンでは、所定のアモルファス合金組成の合金リボンを、所定の温度プロファイル（昇温速度、最高到達温度、降温速度）で、所定の引張応力を合金リボン長尺方向にかけて熱処理をすることで、合金リボンの脆化が抑制され、かつ、優れた磁気特性が得られる。また、引張応力が付されることで、合金リボンの長尺方向（鋳造方向）に磁気異方性を付与することができる。

＜リボン準備工程＞
本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボンを準備する工程を有する。
アモルファス合金リボンは、軸回転する冷却ロールに合金溶湯を噴出する液体急冷法等の公知の方法によって製造することができる。但し、アモルファス合金リボンを準備する工程は、必ずしもアモルファス合金リボンを製造する工程である必要はなく、予め製造されたアモルファス合金リボンを単に準備する工程であってもよい。

＜昇温工程＞
本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、アモルファス合金リボンを引張応力５ＭＰａ〜１００ＭＰａで張架した状態で、平均昇温速度を５０℃／秒以上８００℃／秒未満として４１０℃〜４８０℃の範囲の最高到達温度まで昇温させる工程を有する。

本工程では、アモルファス合金リボンを上記の平均昇温速度に調節し、上記最高到達温度まで昇温できる方法であれば、いずれの方法で熱処理してもよい。
熱処理する場合、アモルファス合金リボンを張架した状態で走行させながら伝熱媒体（本工程では昇温伝熱媒体）に接触させることにより、アモルファス合金リボンを昇温してもよい。

なお、「張架した状態で走行」とは、アモルファス合金リボンが、引張応力が加えられた状態で連続走行することをいう。降温工程においても同様である。
アモルファス合金リボンに加えられる引張応力は、５ＭＰａ〜１００ＭＰａの範囲とされ、１０ＭＰａ〜７５ＭＰａが好ましく，２０ＭＰａ〜５０ＭＰａがより好ましい。
引張応力が５ＭＰａ以上であると、製造されるアモルファス合金リボンにおける、磁気異方性を付与することができる。また、引張応力が１００ＭＰａ以下であると、アモルファス合金リボンの破断を抑制することができる。
張架されたアモルファス合金リボンの引張応力は、合金リボンを連続走行させる装置（例えば、後述のインラインアニール装置）での走行制御機構で制御され、走行制御機構で制御される張力を合金リボンの断面積（幅×厚さ）で除した値として求められる。

本開示のアモルファス合金リボンの熱処理方法では、一定の組成を選択した上で、製造したアモルファス合金リボンの平均昇温速度を８００℃／秒未満に抑えて加熱する。これにより、磁気特性と耐脆化とを両立することができる。張架することで、高温で短時間の熱処理により良好な磁気特性を得ることができる。

平均昇温速度としては、上記と同様の理由から、５０℃／秒以上８００℃／秒未満とし、６０℃／秒以上７６０℃／秒以下が好ましい。

平均昇温速度とは、昇温前（例えば、後述のように伝熱媒体に接触させる前）のアモルファス合金リボンの温度と、アモルファス合金リボンの最高到達温度（＝昇温伝熱媒体の温度）と、の温度差を、アモルファス合金リボンが伝熱媒体に接触している時間（秒）で除した値を意味する。
具体的には、例えば図１に示すインラインアニール装置の場合、アモルファス合金リボンの走行方向における、加熱室２０の進入口より１０ｍｍ上流の地点で放射温度計により測定されたリボン温度（加熱前のアモルファス合金リボンの温度、一般に室温（２０℃〜３０℃））と、昇温伝熱媒体の温度（＝最高到達温度、例えば４６０℃）と、の温度差を、昇温伝熱媒体に接触している時間（秒）で除して求められる。なお、前記加熱室入口より１０ｍｍ上流の地点で放射温度計での測定が困難である場合、又は室温が不明の場合は、２５℃と設定できる。

インラインアニール装置とは、例えば、図１〜図４に示すように、巻出しロールから巻取りロールに亘って、長尺のアモルファス合金リボンに対して昇温工程〜降温（冷却）工程を含む連続した熱処理工程を施すインラインアニール工程を行う装置を指す。

昇温伝熱媒体の温度は、４１０℃〜４８０℃に調整されることが好ましい。
本工程では、アモルファス合金リボンを４１０℃〜４８０℃の最高到達温度まで昇温させる。この温度域でアモルファス合金リボンを張架することでリボン長手方向に磁気異方性を与えることができる。
最高到達温度は、昇温伝熱媒体の温度と同一温度である。
「昇温伝熱媒体の温度」及び「最高到達温度」は、合金リボンが接触する昇温伝熱媒体の表面に熱電対を設置して測定される温度である。

また、本開示のアモルファス合金リボンの製造方法では、熱処理時の最高到達温度は４１０℃以上とされる。即ち、本開示のアモルファス合金リボンは、最高到達温度が４１０℃以上となる温度域での熱処理後も、脆化が抑えられている。また、本開示のアモルファス合金リボンの熱処理時の最高到達温度が４８０℃以下とされる。アモルファス合金リボンの熱処理時の最高到達温度が４１０℃未満であるか、又は４８０℃を超える場合は、保磁力（Ｈ_ｃ）が１．０Ａ／ｍを超え、優れた磁気特性が得られ難くなる。即ち、上記のように、熱処理時の最高到達温度を４１０℃〜４８０℃とすることで、脆化が抑制され、かつ、優れた磁気特性（低い保磁力）が得られる。
なお、平均昇温速度を２００℃／秒以上の場合、最高到達温度が４５０℃未満であると、ぜい性コードが小さくなりやすい。平均昇温速度が３００℃／秒以上の場合、または、５００℃／秒以上の場合も、最高到達温度が４５０℃未満であると、ぜい性コードが小さくなりやすい。

リボンを伝熱媒体側から吸引して、リボンと伝熱媒体との接触度合いを高めて昇温される態様が好ましい。この場合、伝熱媒体がリボンとの接触面に吸引孔を有し、吸引孔において減圧吸引することによりリボンを伝熱媒体の吸引孔を有する面に吸引吸着させてもよい。これにより、合金リボンの伝熱媒体への接触性が向上し、昇温しやすく、昇温速度の調整が容易になる。
また、本工程では、昇温後、伝熱媒体上にて、アモルファス合金リボンの温度を一定時間保持してもよい。

＜降温工程＞
次に、本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、上記の昇温工程で昇温されたアモルファス合金リボンを引張応力５ＭＰａ〜１００ＭＰａで張架した状態で、平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として上記の最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温させる工程を有する。

本工程では、アモルファス合金リボンを上記の平均降温速度に調節し、上記降温伝熱媒体温度まで降温できる方法であれば、いずれの方法で行われてもよい。
降温処理は、アモルファス合金リボンを張架した状態で走行させながら伝熱媒体（本工程では降温伝熱媒体）に接触させることにより、アモルファス合金リボンを降温してもよい。

アモルファス合金リボンに加えられる引張応力は、昇温工程と同様に、５ＭＰａ〜１００ＭＰａの範囲とされ、１０ＭＰａ〜７５ＭＰａが好ましく，２０ＭＰａ〜５０ＭＰａがより好ましい。
引張応力が５ＭＰａ以上であると、製造されるアモルファス合金リボンにおける、磁気異方性を付与することができる。また、引張応力が１００ＭＰａ以下であると、アモルファス合金リボンの破断を抑制することができる。
張架されたアモルファス合金リボンの引張応力は、上記の通り、合金リボンを連続走行させる装置（例えば、後述のインラインアニール装置）での走行制御機構で制御され、走行制御機構で制御される張力を合金リボンの断面積（幅×厚さ）で除した値として求められる。

降温伝熱媒体の温度（降温伝熱媒体温度）は、２００℃以下の温度域が好ましい。
ここで、降温伝熱媒体温度とは、本工程で降温させた際の到達温度を指し、２００℃、１５０℃、１００℃、又は室温（例えば２０℃）等の温度であってもよく、適宜設定することができる。
「降温伝熱媒体温度」は、合金リボンが接触する昇温伝熱媒体の表面に熱電対を設置して測定される温度である。

本開示のアモルファス合金リボンの製造方法では、既述のように一定の組成を選択し、昇温工程を経た後、更に、平均降温速度を６００℃／秒未満に抑えてアモルファス合金リボンを降温させる。これにより、優れた磁気特性と脆化抑制とを両立することができる。

平均降温速度としては、上記と同様の理由から、１５０℃／秒以上６００℃／秒未満が好ましく、１９０℃／秒以上６００℃／秒未満がより好ましく、１９０℃／秒以上５００℃／秒以下が更に好ましい。

平均降温速度とは、例えば最高到達温度から降温伝熱媒体の温度まで降温した場合、アモルファス合金リボンの最高到達温度（＝昇温伝熱媒体の温度）と降温伝熱媒体の温度と、の温度差を、アモルファス合金リボンが昇温伝熱媒体を離れた時点から降温伝熱媒体を離れた時点までの時間（秒）で除した値を意味する。
具体的には、例えば図１に示すインラインアニール装置の場合、アモルファス合金リボンの走行方向における昇温伝熱媒体（図１中の加熱プレート２２）の温度（＝最高到達温度）と、降温伝熱媒体（図１中の冷却プレート３２）の温度と、の温度差を、昇温伝熱媒体から離れた時点から降温伝熱媒体から離れた時点までの時間（秒）で除して求められる。
ここでは、冷却室が１つであるが、複数の冷却室を連結して備えている場合（最上流の冷却室を第１の冷却室、第１の冷却室より下流の冷却室を第２の冷却室、等ということがある。）には、アモルファス合金リボンの走行方向最上流の（第１の）冷却室での平均降温速度（最高到達温度と第１の降温伝熱媒体の温度との温度差を、アモルファス合金リボンが昇温伝熱媒体を離れた時点から第１の降温伝熱媒体を離れた時点までの時間（秒）で除した値）とする。

上記の昇温工程及び降温工程で用いられる伝熱媒体としては、プレート、ツインロール、等が挙げられる。
伝熱媒体の材質としては、銅、銅合金（青銅、真鍮、等）、アルミニウム、鉄、鉄合金（ステンレス等）、などが挙げられる。このうち、銅、銅合金、又はアルミニウムが熱電率（熱伝達率）が高く好ましい。
伝熱媒体は、Ｎｉめっき、Ａｇめっき等のめっき処理が施されていてもよい。

冷却方法としては、昇温用の伝熱媒体から合金リボンを離した後に大気に曝して冷却する方法でもよいが、冷却速度の観点から、冷却器を使用して合金リボンを強制冷却することが好ましい。冷却器としては、リボンに冷風を送って冷却する非接触型の冷却器でもよく、上記の伝熱媒体の温度を例えば２００℃以下としてリボンを接触させて降温する接触型の冷却器でもよい。伝熱媒体がリボンとの接触面に吸引孔を有し、吸引孔において減圧吸引することによりリボンを伝熱媒体の吸引孔を有する面に吸引吸着させてもよい。これにより、合金リボンの伝熱媒体の接触性が向上し、降温しやすく、降温速度の調整が容易になる。

降温に際して伝熱媒体を用いる場合、昇温工程で加熱された合金リボンを昇温工程の伝熱媒体から離し、合金リボンを降温することが好ましい。この場合、冷却器としてリボンに冷風を送って降温する非接触型の冷却器でもよい。合金リボンの降温速度の観点からは、伝熱媒体の温度を１００℃以下として合金リボンを接触させて降温する接触型の冷却器を用いた態様が好ましい。伝熱媒体としては、昇温工程で使用可能なものと同様の伝熱媒体を使用することができる。

降温に伝熱媒体を用い、降温伝熱媒体温度まで合金リボンを接触させて降温する態様は、昇温工程からの降温が連続的に行いやすい。合金リボンの伝熱媒体への接触は、昇温工程での最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温する際の平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として行われる。
この場合、本開示のアモルファス合金リボンの製造では、走行するアモルファス合金リボンを昇温させる伝熱媒体（昇温伝熱媒体）の接触面、及び走行するアモルファス合金リボンを降温させる伝熱媒体（降温伝熱媒体）の接触面は、それぞれ平面状態で配置されている場合が好ましく、平面状態の各接触面は同一平面内に配置されることがより好ましい。平面状態の各接触面が同一平面上に配置されることで、昇温工程からの降温がより一層連続的に行いやすくなる。

本開示のアモルファス合金リボンの製造方法は、図１〜図４に示す、加熱室及び冷却室を備えたインラインアニール装置を用いて実施されることが好ましい。

図１に示されるように、インラインアニール装置１００は、合金リボンの巻回体１１から合金リボン１０を巻き出す巻き出しローラー１２（巻き出し装置）と、巻き出しローラー１２から巻き出された合金リボン１０を加熱する加熱プレート（伝熱媒体）２２と、加熱プレート２２によって加熱された合金リボン１０を降温する冷却プレート（伝熱媒体）３２と、冷却プレート３２によって降温された合金リボン１０を巻き取る巻き取りローラー１４（巻き取り装置）と、を備える。図１では、合金リボン１０の走行方向を、矢印Ｒで示している。

巻き出しローラー１２には、合金リボンの巻回体１１がセットされている。
巻き出しローラー１２が矢印Ｕの方向に軸回転することにより、合金リボンの巻回体１１から合金リボン１０が巻き出される。
この一例では、巻き出しローラー１２自体が回転機構（例えばモーター）を備えていてもよいし、巻き出しローラー１２自体は回転機構を備えていなくてもよい。
巻き出しローラー１２自体は回転機構を備えていない場合でも、後述の巻き取りローラー１４による合金リボン１０の巻き取り動作に連動し、巻き出しローラー１２にセットされた合金リボンの巻回体１１から合金リボン１０が巻き出される。

図１中、丸で囲った拡大部分に示すように、加熱プレート２２は、巻き出しローラー１２から巻き出された合金リボン１０が接触しながら走行する第１平面２２Ｓを含む。この加熱プレート２２は、第１平面２２Ｓに接触しながら第１平面２２Ｓ上を走行している合金リボン１０を、第１平面２２Ｓを介して加熱する。これにより、走行中の合金リボン１０が、安定的に急速加熱される。

加熱プレート２２は、不図示の熱源に接続されており、この熱源から供給された熱によって所望とする温度に加熱されている。加熱プレート２２は、熱源に接続されることに代えて、又は、熱源に接続されることに加えて、加熱プレート２２自身の内部に熱源を備えていてもよい。
加熱プレート２２の材質としては、ステンレス、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｌ合金、等が挙げられる。

加熱プレート２２は、加熱室２０に収容されている。
加熱室２０は、加熱プレート２２に対する熱源とは別に、加熱室の温度を制御するための熱源を備えていてもよい。
加熱室２０は、合金リボン１０の走行方向（矢印Ｒ）の上流側及び下流側のそれぞれに、合金リボンが進入又は退出する開口部（不図示）を有している。合金リボン１０は、上流側の開口部である進入口を通って加熱室２０内に進入し、下流側の開口部である退出口を通って加熱室２０内から退出する。

また、図１中、丸で囲った拡大部分に示すように、冷却プレート３２は、合金リボン１０が接触しながら走行する第２平面３２Ｓを含む。この冷却プレート３２は、第２平面３２Ｓに接触しながら第２平面３２Ｓ上を走行している合金リボン１０を、第２平面３２Ｓを介して降温する。

冷却プレート３２は、冷却機構（例えば水冷機構）を有していてもよいし、特段の冷却機構を有していなくてもよい。
冷却プレート３２の材質としては、ステンレス、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｌ合金、等が挙げられる。

冷却プレート３２は、冷却室３０に収容されている。
冷却室３０は、冷却機構（例えば水冷機構）を有していてもよいが、特段の冷却機構を有していなくてもよい。即ち、冷却室３０による冷却の態様は、水冷であってもよいし、空冷であってもよい。
冷却室３０は、合金リボン１０の走行方向（矢印Ｒ）の上流側及び下流側のそれぞれに、合金リボンが進入又は退出する開口部（不図示）を有している。合金リボン１０は、上流側の開口部である進入口を通って冷却室３０内に進入し、下流側の開口部である退出口を通って冷却室３０内から退出する。

巻き取りローラー１４は、矢印Ｗの方向に軸回転する回転機構（例えばモーター）を備えている。巻き取りローラー１４の回転により、合金リボン１０が所望とする速度で巻き取られる。

インラインアニール装置１００は、巻き出しローラー１２と加熱室２０との間に、合金リボン１０の走行経路に沿って、ガイドローラー４１、ダンサーローラー６０（引張応力調整装置の一つ）、ガイドローラー４２、並びに、一対のガイドローラー４３Ａ及び４３Ｂを備えている。引張応力の調整は、巻き出しローラー及び１２巻き取りローラー１４の動作制御によっても行われる。
ダンサーローラー６０は、鉛直方向（図４中の両側矢印の方向）に移動可能に設けられている。このダンサーローラー６０の鉛直方向の位置を調整することにより、合金リボン１０の引張応力を調整できる。ダンサーローラー６２についても同様である。
巻き出しローラー１２から巻き出された合金リボン１０は、これらのガイドローラー及びダンサーローラーを経由して、加熱室２０内に導かれる。

インラインアニール装置１００は、加熱室２０と冷却室３０との間に、一対のガイドローラー４４Ａ及び４４Ｂ、並びに、一対のガイドローラー４５Ａ及び４５Ｂを備えている。
加熱室２０から退出した合金リボン１０は、これらのガイドローラーを経由して冷却室３０内に導かれる。

インラインアニール装置１００は、冷却室３０と巻き取りローラー１４との間に、合金リボン１０の走行経路に沿って、一対のガイドローラー４６Ａ及び４６Ｂ、ガイドローラー４７、ダンサーローラー６２、ガイドローラー４８、ガイドローラー４９、並びに、ガイドローラー５０を備えている。
ダンサーローラー６２は、鉛直方向（図４中の両側矢印の方向）に移動可能に設けられている。このダンサーローラー６２の鉛直方向の位置を調節することにより、合金リボン１０の引張応力を調整できる。
冷却室３０から退出した合金リボン１０は、これらのガイドローラー及びダンサーローラーを経由して、巻き取りローラー１４に導かれる。

インラインアニール装置１００において、加熱室２０の上流側及び下流側に配置されたガイドローラーは、合金リボン１０と加熱プレート２２の第１平面とを全面的に接触させるために、合金リボン１０の位置を調整する機能を有する。
インラインアニール装置１００において、冷却室３０の上流側及び下流側に配置されたガイドローラーは、合金リボン１０と冷却プレート３２の第２平面とを全面的に接触させるために、合金リボン１０の位置を調整する機能を有する。

図２は、図１に示すインラインアニール装置１００の加熱プレート２２を示す概略平面図であり、図３は、図２のIII−III線断面図である。
図２及び図３に示すように、加熱プレート２２の第１平面（即ち、合金リボン１０との接触面）には、複数の開口部２４（吸引構造）が設けられている。各開口部２４は、それぞれ、加熱プレート２２を貫通する貫通孔２５の一端を構成している。

この一例では、複数の開口部２４が、合金リボン１０との接触領域全体に渡り、二次元状に配置されている。
複数の開口部２４の具体的な配置は、図２に示される配置には限定されない。複数の開口部２４は、図２に示されるように、合金リボン１０との接触領域全体に渡り、二次元状に配置されていることが好ましい。
また、開口部２４の形状は、平行部（平行な２辺）を有する長尺形状となっている。開口部２４の長さ方向は、合金リボン１０の進行方向に対して直角な方向となっている。
開口部２４の形状は、図２に示される形状には限定されず、図２に示される形状以外の長尺形状、楕円形状（円形状を含む）、多角形状（例えば長方形）、等のあらゆる形状を適用できる。

インラインアニール装置１００では、不図示の吸引装置（例えば、真空ポンプ）によって貫通孔２５の内部空間を排気することにより（矢印Ｓ参照）、走行中の合金リボン１０を加熱プレート２２の開口部２４が設けられた第１平面２２Ｓに吸引することができる。これにより、走行中の合金リボン１０を、より安定的に加熱プレート２２の第１平面２２Ｓに接触させることができる。
なお、この一例では、貫通孔２５が、加熱プレート２２の、第１平面２２Ｓから第１平面２２Ｓとは反対側の平面までを貫通している。貫通孔は、第１平面２２Ｓから加熱プレート２２の側面までを貫通していてもよい。

図４は、本実施形態における加熱プレートの変形例（加熱プレート１２２）を示す概略平面図である。
図４に示されるように、この変形例では、加熱プレート１２２が、合金リボン１０の走行方向（矢印Ｒ）について、３つの領域（領域１２２Ａ〜１２２Ｃ）に分割されている。
領域１２２Ａ〜１２２Ｃには、図２に示す加熱プレート２２と同様に、それぞれ複数の開口部１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃが、合金リボン１０との接触領域全体に渡り、二次元状に配置されている。開口部１２４Ａ、１２４Ｂ、１２４Ｃの各々は、加熱プレート１２２を貫通する貫通孔の一端を構成し、各領域における複数の貫通孔には、それぞれ複数の貫通孔と連通する排気管１２６Ａ、１２６Ｂ及び１２６Ｃが取り付けられている。そして、排気管１２６Ａ、１２６Ｂ及び１２６Ｃを通じて不図示の吸引装置（例えば、真空ポンプ）によって貫通孔の内部空間を排気することにより（矢印Ｓ参照）、走行中の合金リボン１０を加熱プレート１２２の開口部１２４Ａ、１２４Ｂ及び１２４Ｃが設けられた第１平面に吸引することができる。

〜昇温工程及び降温工程の好ましい態様〜
昇温工程及び降温工程の好ましい一態様として、伝熱媒体を備えたインラインアニール装置を用い、合金リボンを、合金リボンとの接触面が互いに同一平面内に位置する昇温伝熱媒体及び降温伝熱媒体に接触させて張力を加えながら熱処理することにより、アモルファス合金リボンを作製する態様（以下、「態様Ｘ」という。）が挙げられる。

アモルファス合金リボン片は、アモルファス合金リボンを切断して切り出したものである。
アモルファス合金リボン片の切り出し（即ち、アモルファス合金リボンの切断）は、シャーリングなどの公知の切断手段を用いて行うことができる。

上述したアモルファス合金リボンを得る工程において、アモルファス合金リボンを巻き取って巻回体とした場合には、アモルファス合金リボン片を切り出す工程では、アモルファス合金リボンの巻回体からアモルファス合金リボンを巻き出し、巻き出されたアモルファス合金リボンからアモルファス合金リボン片を切り出す。

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。

（実施例１、２、比較例１〜５）
＜アモルファス合金リボンの作製＞
軸回転する冷却ロールに合金溶湯を噴出する液体急冷法により、Ｆｅ_８０．８Ｓｉ_３．９Ｂ_１５．３Ｃ_０．３２（原子％；実施例１及び比較例１、２）、Ｆｅ_８１．３Ｓｉ_４．０Ｂ_１４．７Ｃ_０．２５（原子％；実施例２及び比較例３、４）、又はＦｅ_８１．０Ｓｉ_８．１Ｂ_１１．８Ｃ_０．３０（原子％；比較例５）の組成を有する、幅長３０ｍｍ、厚さ２５μｍのアモルファス合金リボンを製造した。

次に、加熱室に伝熱媒体を備えた図１と同様に構成されたインラインアニール装置を用い、アモルファス合金リボンを張架した状態で、上記のアモルファス合金リボンを加熱室に進入させ、進入したアモルファス合金リボンを上述した態様Ｘにて伝熱媒体に接触させて熱処理した。熱処理は、伝熱媒体の温度を下記の範囲で変えて行った。続いて、冷却室に進入させてアモルファス合金リボンを、昇温時の最高到達温度から２５℃まで降温した。熱処理時の平均昇温速度及び平均降温速度は、表１〜表３に示す通りである。その後、熱処理が施されたアモルファス合金リボンを冷却室から退出させた。その後、アモルファス合金リボンを巻き取って巻回体とした。

製造条件は、以下に示す通りである。
<製造条件>
伝熱媒体：ブロンズ製プレート
最高到達温度（昇温伝熱媒体の温度）：下記表１〜表３参照
アモルファス合金リボンに加える引張応力：２５ＭＰａ
インラインアニール処理速度：０．２ｍ／秒
アモルファス合金リボンと昇温伝熱媒体との接触時間：６．０秒
アモルファス合金リボンと降温伝熱媒体との接触時間：６．０秒
平均昇温速度：下記表１〜表３参照
平均降温速度：下記表１〜表３参照

昇温伝熱媒体及び降温伝熱媒体の温度は、合金リボンが接触する伝熱媒体の表面に設置された熱電対により測定した。
平均昇温速度は、アモルファス合金リボンの走行方向における、加熱室２０の進入口より上流１０ｍｍの地点で放射温度計により測定されたアモルファス合金リボン温度（加熱前のリボン温度＝通常は室温であり、本実施例では２５℃である。）と、最高到達温度（＝昇温伝熱媒体（図１中の加熱プレート２２）の温度；３５０℃〜５３０℃に設定）と、の温度差を、伝熱媒体に接触している時間（秒）で除して求めた。
平均降温速度は、アモルファス合金リボンの走行方向における、昇温伝熱媒体（図１中の加熱プレート２２）の温度（＝最高到達温度）と、２５℃の降温伝熱媒体（図１中の冷却プレート３２）の温度と、の温度差を、アモルファス合金リボンが昇温伝熱媒体から離れた時点から降温伝熱媒体から離れた時点までの時間（秒）で除して求めた。

ここで、インラインアニールにおいて、アモルファス合金リボンの走行速度を一定とする、即ち、昇温伝熱媒体とアモルファス合金リボンとの接触時間を一定とした場合、昇温伝熱媒体の温度（＝最高到達温度）を変えることによって、平均昇温速度を制御することができる。例えば、後記の表４のインラインアニール処理速度０．５ｍ／秒の場合、昇温前の合金リボンの温度を２５℃とし、昇温伝熱媒体に接触している時間を２．４秒とし、昇温伝熱媒体の温度（＝アモルファス合金リボンの最高到達温度）を３８０℃〜５１０℃の間で変化させると、平均昇温速度は１４８℃／秒〜２０２℃／秒の間で制御することができる。

＜アモルファス合金リボン片の作製＞
次に、インラインアニール処理を行った後のアモルファス合金リボンの巻回体からアモルファス合金リボンを巻き出し、巻き出されたアモルファス合金リボンを裁断することにより、長手方向長さが２８０ｍｍであるアモルファス合金リボン片を切り出した。アモルファス合金リボンの裁断は、シャーリングにより行った。

＜測定及び評価＞
各実施例及び各比較例にて作製したアモルファス合金リボンについて、以下の方法により、脆性指標（裁断性、１８０°曲げ試験、及び引裂きぜい性）の評価を行った。結果を表１〜表３に示す。

−第１の脆性指標：裁断性−
伝熱媒体の温度によって平均昇温速度もしくは平均降温速度及び最高到達温度を変えて作製された複数のアモルファス合金リボンを用い、アモルファス合金リボンをステンレス製ハサミ（Ｗｅｓｔｃｏｔｔ社製、製品名：Westcott 8" All Purpose Preferred Stainless Steel Scissors）で裁断した。この際の裁断性の有無を以下の評価基準にしたがって評価した。
<評価基準>
有り：ほぼ直線的に分割され、直線では無い破断部分が全裁断寸法の５％以下である。
無し：直線では無い破断部分が全裁断寸法の５％を超える。

−第２の脆性指標：１８０°曲げ試験−
伝熱媒体の温度によって平均昇温速度又は平均降温速度と最高到達温度とを変えて作製された複数のアモルファス合金リボンを用い、アモルファス合金リボンの光沢面（鋳造時の自由凝固面）を外側にして１８０°屈曲させる１８０°曲げ試験、及びアモルファス合金リボンの非光沢面（鋳造時の冷却ロール接触面）を外側にして１８０°屈曲させる１８０°曲げ試験を行い、合金リボンの屈曲部分に破断部の発生の有無を目視観察し、以下の評価基準にしたがって評価した。
<評価基準>
無し：合金リボンの屈曲部分に破断部の発生がない。
有り：合金リボンの屈曲部分に破断部の発生がある。

−第３の脆性指標：引裂きぜい性−
幅が７６．２ｍｍ以上の合金リボンについては、ＪＩＳ Ｃ ２５３４（２０１７）８．４．４．２に記載の方法で評価した。また、幅が２０ｍｍ以上７６．２ｍｍ未満の合金リボンについては、前述の方法で評価した。

−保磁力（Ｈ_ｃ）−
直流磁化測定装置ＳＫ１１０（メトロン技研株式会社製）を用い、磁場強度８００Ａ／ｍで測定したヒステリシス曲線より求めた。

表１、表２に示すように、Ｆｅ量が８０．５原子％以上である組成で、最高到達温度４８０℃以下では、裁断性を有する結果が得られている。
表１に示すように、合金組成Ｆｅ_８０．８Ｓｉ_３．９Ｂ_１５．３Ｃ_０．３２において、実施例１では、最高到達温度４１０〜４８０℃、平均昇温速度６４〜７６℃／秒、平均降温速度１９３〜２２８℃／秒の条件では、保磁力Ｈ_ｃは１．００Ａ／ｍ以下であり、裁断性を有している。最高到達温度４１０℃、平均昇温速度６４℃／秒、平均降温速度１９３℃／秒の条件では、１８０°曲げ試験で破断部は観察されなかった。また、引裂きぜい性については、ぜい性コードが１であり、良好であった。最高到達温度４２０℃の条件では、保磁力Ｈ_ｃは０．８０と小さく、１８０°曲げ試験では破断部は観察されなかった。また、引裂きぜい性については、ぜい性コードが３であり、良好であった。
他方、比較例１では、最高到達温度が４００℃（４１０℃未満）と低いため、保磁力Ｈ_ｃが１．０Ａ／ｍを超えて１．６０Ａ／ｍと大きい値である。また、比較例２では、最高到達温度が４９０℃で、４８０℃を超えているためＨ_ｃが１．２０Ａ／ｍと大きい。裁断性は有するが、１８０°曲げ試験では破断部が観察され、引裂きぜい性については、ぜい性コードが５であり、脆いリボンであることが分かった。

表２に示すように、合金組成Ｆｅ_８１．３Ｓｉ_４．０Ｂ_１４．７Ｃ_０．２５において、実施例２では、最高到達温度４１０〜４８０℃、平均昇温速度６４〜７６℃／秒、平均降温速度１９３〜２２８℃／秒の条件では、保磁力Ｈ_ｃは０．９０Ａ／ｍ以下であり、裁断性を有している。最高到達温度４１０℃、平均昇温速度６４℃／秒、平均降温速度１９３℃／秒の条件では、保磁力Ｈ_ｃは０．７０Ａ／ｍと小さく、１８０°曲げ試験では破断部は観察されなかった。また、引裂きぜい性については、ぜい性コードも２であり良好であった。
他方、比較例３では、最高到達温度が３８０℃未満と熱処理温度が低いため、保磁力Ｈ_ｃが１．０Ａ／ｍを超えて１．１０Ａ／ｍと大きい値である。比較例４では、熱処理時の最高到達温度が５００℃で、４８０℃を超えているため、Ｈ_ｃが２．００Ａ／ｍと大きい。また、裁断性も無く、脆いリボンであることが分かった。

表３の比較例５は、合金組成が組成式（Ａ）から外れる例であり、全ての熱処理条件においてＨ_ｃが１．１０以上と大きい値を示した。

以上のように、組成式（Ａ）を満たす合金組成（Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ）とし、特定の平均昇温速度及び平均降温速度の下で一定の最高到達温度を維持して、アモルファス合金リボンを特定範囲の引張応力で張架した状態で走行させて熱処理することにより、優れた磁気特性（低い保磁力Ｈ_ｃ）を備え、かつ、裁断性を有する、即ち脆化抑制が図られたアモルファス合金リボンが得られた。

（実施例３〜５、比較例６〜１１）
軸回転する冷却ロールに合金溶湯を噴出する液体急冷法により、Ｆｅ_８１．７Ｓｉ_３．７Ｂ_１４．６Ｃ_０．２８（原子％）の組成を有する、幅１４２．２ｍｍ、厚さ２５μｍのアモルファス合金リボンを作製した。
次に、上述した態様Ｘにより、伝熱媒体を備えたインラインアニール装置を用い、上記アモルファス合金リボンを伝熱媒体に接触させ、最高到達温度及びインラインアニール処理速度を表５〜表７に示すように設定して熱処理を施した。熱処理が施されたアモルファス合金リボンを伝熱媒体から退出させ、冷却室３０に冷却用の伝熱媒体を用いて室温（２５℃）まで降温した。その後、アモルファス合金リボンを巻き取り、アモルファス合金リボンの巻回体とした。製造条件は、以下に示す通りである。
次いで、実施例１と同様にして、アモルファス合金リボン片を作製し、さらに測定及び評価を行った。測定及び評価の結果を下記表５〜表７に示す。

<製造条件>
伝熱媒体：ブロンズ製プレート
（昇温伝熱媒体：昇温プレート、降温伝熱媒体：降温プレート）
伝熱媒体の温度：下記表５〜表７参照
アモルファス合金リボンに加える引張応力：４０ＭＰａ
アモルファス合金リボンと伝熱媒体との接触時間：下記表４参照
平均昇温速度：下記表５〜表７参照
平均降温速度：下記表５〜表７参照
最高到達温度（昇温伝熱媒体の温度）：下記表５〜表７参照

表５〜表７では、同一の合金組成で、処理速度（アモルファス合金リボンの搬送速度）を０．５ｍ／秒、１．０ｍ／秒又は１．５ｍ／秒と変えることにより、平均昇温速度及び平均降温速度が異なる条件の熱処理条件となっている。
表５の実施例３では、最高到達温度４１０〜４８０℃、平均昇温速度１６０〜１９０℃／秒、平均降温速度１２０〜１４２℃／秒の条件で、Ｈ_ｃは０．７０Ａ／ｍ以下であり、裁断性を有する。また、最高到達温度４１０℃、平均昇温速度１６０℃／秒、平均降温速度１２０℃／秒の条件では、Ｈ_ｃは０．７０Ａ／ｍと小さく、１８０°曲げ試験で破断部は観察されなかった。また、引裂きぜい性評価でのぜい性コードは３であり良好であった。実施例３では、最高到達温度を４１０℃以上として引張応力をかけて熱処理を行っていることで磁気異方性が付与されており、結果として低いＨ_ｃが得られている。後処理として、磁気異方性を付与するための磁場中処理は不要である。
他方、比較例６では、最高到達温度が３８０℃（４１０℃未満）と低いため、保磁力Ｈ_ｃが１．０Ａ／ｍを超えて１．１０Ａ／ｍと大きい値である。比較例７では、最高到達温度が５１０℃（４８０℃超）と高いため、裁断性が無い。

表６の実施例４では、最高到達温度４１０〜４８０℃、平均昇温速度３２１〜３７９℃／秒、平均降温速度２４１〜２８４℃／秒の条件で、Ｈ_ｃは０．９０Ａ／ｍ以下であり、裁断性を有する。最高到達温度４１０℃、平均昇温速度３２１℃／秒、平均降温速度２４１℃／秒の条件では、１８０°曲げ試験で破断部は観察されなかった。また、引裂きぜい性評価でのぜい性コードは１であり良好であった。最高到達温度４２０℃、平均昇温速度３２９℃／秒、平均降温速度２４７℃／秒の条件では、Ｈ_ｃは０．８０Ａ／ｍと小さく、１８０°曲げ試験で破断部は観察されなかった。また、引裂きぜい性評価でのぜい性コードは１であり良好であった。最高到達温度４４０℃、平均昇温速度３４６℃／秒、平均降温速度２５９℃／秒の条件では、Ｈ_ｃは０．７５Ａ／ｍと小さく、１８０°曲げ試験で破断部は観察されなかった。また、引裂きぜい性評価でのぜい性コードは２であり良好であった。最高到達温度４５０℃、平均昇温速度３５４℃／秒、平均降温速度２６６℃／秒の条件では、Ｈ_ｃは０．７５Ａ／ｍと小さく、１８０°曲げ試験で破断部は観察されなかった。また、引裂きぜい性評価でのぜい性コードは３であり良好であった。実施例４でも、実施例３と同様に、最高到達温度を４１０℃以上として引張応力をかけて熱処理により磁気異方性が付与されており、低いＨ_ｃが得られている。磁気異方性を付与するための後処理は不要である。
他方、比較例８では、最高到達温度が３９０℃（４１０℃未満）と低いため、保磁力Ｈ_ｃが１．０Ａ／ｍを超えて１．１０Ａ／ｍと大きい値である。比較例９では、最高到達温度が５１０℃（４８０℃超）と高いため、裁断性が無い。

表７の実施例５では、最高到達温度４４０〜４８０℃、平均昇温速度５１９〜５６９℃／秒、平均降温速度３７７〜４１４℃／秒の条件で、Ｈ_ｃは０．８５Ａ／ｍ以下であり、裁断性を有する。最高到達温度４４０℃、平均昇温速度５１９℃／秒、平均降温速度３７７℃／秒の条件では、１８０°曲げ試験で破断部は観察されなかった。また、引裂きぜい性評価でのぜい性コードは１であり良好であった。最高到達温度４５０℃、平均昇温速度５３１℃／秒、平均降温速度３８６℃／秒の条件では、Ｈ_ｃは０．７５Ａ／ｍと小さく、１８０°曲げ試験で破断部は観察されなかった。また、引裂きぜい性評価でのぜい性コードは２であり良好であった。実施例５でも、実施例３と同様に、最高到達温度を４１０℃以上として引張応力をかけて熱処理することにより磁気異方性が付与され、低いＨ_ｃが得られている。磁気異方性を付与するための後処理は不要である。
他方、比較例１０では、最高到達温度が３９０℃（４１０℃未満）と低いため、保磁力Ｈ_ｃが１．０Ａ／ｍを超えて２．００Ａ／ｍと大きい値である。比較例１１では、最高到達温度が５３０℃（４８０℃超）と高いため、裁断性が無い。

２０１７年７月４日に出願された米国仮出願６２／５２８，４５０の開示はその全体が参照により本明細書に取り込まれる。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。

降温伝熱媒体の温度（降温伝熱媒体温度）は、２００℃以下の温度域が好ましい。
ここで、降温伝熱媒体温度とは、本工程で降温させた際の到達温度を指し、２００℃、１５０℃、１００℃、又は室温（例えば２０℃）等の温度であってもよく、適宜設定することができる。
「降温伝熱媒体温度」は、合金リボンが接触する降温伝熱媒体の表面に熱電対を設置して測定される温度である。

Claims (15)

1. Ｆｅ、Ｓｉ、Ｂ、Ｃ、及び不可避的不純物からなる組成を有するアモルファス合金リボンを準備する工程と、
   前記アモルファス合金リボンを引張応力５ＭＰａ〜１００ＭＰａで張架した状態で、平均昇温速度を５０℃／秒以上８００℃／秒未満として４１０℃〜４８０℃の範囲の最高到達温度までアモルファス合金リボンを昇温させる工程と、
   前記アモルファス合金リボンを引張応力５ＭＰａ〜１００ＭＰａで張架した状態で、昇温された前記アモルファス合金リボンを、平均降温速度を１２０℃／秒以上６００℃／秒未満として前記最高到達温度から降温伝熱媒体温度まで降温させる工程と、
   を含み、
   前記昇温させる工程での昇温及び前記降温させる工程での降温は、前記アモルファス合金リボンを張架した状態で走行させ、走行する前記アモルファス合金リボンを伝熱媒体に接触させることにより行われ、
   下記組成式（Ａ）で表される組成を有するアモルファス合金リボンを製造する、アモルファス合金リボンの製造方法。
   Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ … 組成式（Ａ）
   組成式（Ａ）中、ａ及びｂは、組成中の原子比を表し、それぞれ下記範囲を満たす。ｃは、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比を表し、下記範囲を満たす。
   １３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
   ２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％
   ０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％
   ７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％
2. 前記平均昇温速度が、６０℃／秒〜７６０℃／秒であり、前記平均降温速度が、１９０℃／秒〜５００℃／秒である、請求項１に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
3. 前記昇温させる工程及び前記降温させる工程における引張応力が、１０ＭＰａ〜７５ＭＰａである、請求項１又は請求項２に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
4. 前記ｂが、下記範囲を満たす請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
   ３．０原子％≦ｂ≦４．５原子％
5. 前記１００−ａ−ｂが、下記範囲を満たす請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
   ８０．５原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％
6. 前記ａが、下記範囲を満たす請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
   １４．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
7. 走行する前記アモルファス合金リボンを昇温させる伝熱媒体の接触面、及び走行する前記アモルファス合金リボンを降温させる伝熱媒体の接触面は、平面内に配置されている請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボンの製造方法。
8. 下記組成式（Ａ）で表される組成を有し、裁断性を有し、かつ、保磁力Ｈ_ｃが１．０Ａ／ｍ以下であるアモルファス合金リボン。
   Ｆｅ_{１００−ａ−ｂ}Ｂ_ａＳｉ_ｂＣ_ｃ … 組成式（Ａ）
   組成式（Ａ）中、ａ及びｂは、組成中の原子比を表し、それぞれ下記範囲を満たす。ｃは、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの合計量１００．０原子％に対するＣの原子比を表し、下記範囲を満たす。
   １３．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
   ２．５原子％≦ｂ≦５．０原子％
   ０．２０原子％≦ｃ≦０．３５原子％
   ７９．０原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％
9. ＪＩＳ Ｃ ２５３４（２０１７）に規定される引裂きぜい性のぜい性コードが３以下である請求項８に記載のアモルファス合金リボン。
10. 前記ぜい性コードが２以下である請求項９に記載のアモルファス合金リボン。
11. 幅長が２５ｍｍ以上２２０ｍｍ以下である請求項８〜請求項１０のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボン。
12. 前記ｂが、下記範囲を満たす請求項８〜請求項１１のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボン。
    ３．０原子％≦ｂ≦４．５原子％
13. 前記１００−ａ−ｂが、下記範囲を満たす請求項８〜請求項１２のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボン。
    ８０．５原子％≦１００−ａ−ｂ≦８３．０原子％
14. 前記ａが、下記範囲を満たす請求項８〜請求項１３のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボン。
    １４．０原子％≦ａ≦１６．０原子％
15. 請求項８〜請求項１４のいずれか１項に記載のアモルファス合金リボンの切り出し断片であるアモルファス合金リボン片。