JPWO2018179819A1 - 仮固定基板および電子部品のモールド方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図3
Description
仮固定基板が透光性セラミックスからなり、固定面にスクラッチが分散しており、透光性セラミックスを構成する結晶粒子の研磨面および粒界が底面に露出しており、前記底面におけるスクラッチの密度が前記固定面におけるスクラッチの密度よりも低いことを特徴とする。
次いで第二の主面を化学機械的研磨加工することによって、固定面と底面とを有する仮固定基板を得る工程、
次いで仮固定基板の固定面に電子部品を接着し、樹脂モールドによって仮固定する工程、および
底面側から光を照射することによって仮固定基板から電子部品および樹脂モールドを分離する工程
を有することを特徴とする、電子部品のモールド方法に係るものである。
図1(a)に示すように、基材2Aは、第一の主面1と第二の主面3とを有する。基材2Aは透光性セラミックスからなる。
こうした接着剤としては、両面テープやホットメルト系の接着剤などを例示できる。また、接着剤層を仮固定基板上に設ける方法としては、ロール塗布、スプレー塗布、スクリーン印刷、スピンコートなど種々の方法を採用できる。
固定面におけるスクラッチ密度は、10本〜50本が好ましく、20本〜40本が更に好ましい。
図1〜図3に示すようにして、仮固定基板を製造し、また仮固定基板から電子部品および樹脂モールドを分離した。
具体的には、まず、以下の成分を混合したスラリーを調製した。
(原料粉末)
・比表面積3.5〜4.5m2/g、平均一次粒子径0.35〜0.45μmのα−アルミナ粉末 100重量部
・MgO(マグネシア) 0.025重量部
・ZrO2(ジルコニア) 0.040重量部
・Y2O3(イットリア) 0.0015重量部
(分散媒)
・グルタル酸ジメチル 27重量部
・エチレングリコール 0.3重量部
(ゲル化剤)
・MDI樹脂 4重量部
(分散剤)
・高分子界面活性剤 3重量部
(触媒)
・N,N-ジメチルアミノヘキサノール 0.1重量部
70μm×50μmの長方形視野に観察されたスクラッチの本数は30本であった。また、底面においては、透光性アルミナを構成する結晶粒子の研磨面および粒界が底面に露出しており、スクラッチが分散する分散領域と、スクラッチが分散していない非分散領域とが見られた。観察視野内に観察されたスクラッチの本数は3本であった。
実施例1と同様にして仮固定基板を製造し、また仮固定基板から電子部品および樹脂モールドを分離した。ただし、底面において化学機械的研磨の時間を短くすることで、観察視野内に観察されたスクラッチの本数を5本とした。この結果、電子部品と樹脂モールドとの剥離の歩留りは99.3%であった。
実施例1と同様にして仮固定基板を製造し、また仮固定基板から電子部品および樹脂モールドを分離した。ただし、底面において化学機械的研磨の時間を長くすることで、観察視野内に観察されたスクラッチの本数を0本とした。この結果、電子部品と樹脂モールドとの剥離の歩留りは99.5%であった。
実施例1と同様にして仮固定基板を製造し、また仮固定基板から電子部品および樹脂モールドを分離した。ただし、実施例1とは異なり、第二の主面の化学機械的研磨を行わなかった。この結果、固定面および底面の状態は同様となり、また観察視野内のスクラッチ数はいずれも30本となった。電子部品および樹脂モールドと仮固定基板との剥離の歩留りは93.2%であった。これは、紫外線が十分に仮固定基板と接着層との界面に到達せず、光の利用効率が低下したためと考えられる。
実施例1と同様にして仮固定基板を製造し、また仮固定基板から電子部品および樹脂モールドを分離した。ただし、実施例1とは異なり、第一の主面および第二の主面の両方を化学機械的研磨に供した。この結果、固定面および底面の状態は同様となり、また観察視野内のスクラッチ数はいずれも3本となった。電子部品と樹脂モールドとの剥離の歩留りは94.2%であった。これは、仮固定基板と接着層との密着性が高く、剥離がスムーズに進まなかったためと考えられる。
Claims (5)
- 複数の電子部品を接着し、樹脂モールドで仮固定するための固定面と、前記固定面の反対側にある底面とを備える仮固定基板であって、
前記仮固定基板が透光性セラミックスからなり、前記固定面にスクラッチが分散しており、前記透光性セラミックスを構成する結晶粒子の研磨面および粒界が前記底面に露出しており、前記底面におけるスクラッチの密度が前記固定面におけるスクラッチの密度よりも低いことを特徴とする、仮固定基板。 - 前記固定面がラップ加工面であり、前記底面がラップ加工および化学機械的研磨加工面であることを特徴とする、請求項1記載の仮固定基板。
- 前記透光性セラミックスが透光性アルミナからなることを特徴とする、請求項1または2記載の仮固定基板。
- 透光性セラミックスからなる基材の第一の主面および第二の主面をラップ加工する工程、
次いで前記第二の主面を化学機械的研磨加工することによって、固定面と底面とを有する仮固定基板を得る工程、
次いで前記仮固定基板の前記固定面に電子部品を接着し、樹脂モールドによって仮固定する工程、および
前記底面側から光を照射することによって前記仮固定基板から前記電子部品および前記樹脂モールドを分離する工程
を有することを特徴とする、電子部品のモールド方法。 - 前記透光性セラミックスが透光性アルミナからなることを特徴とする、請求項4記載の方法。
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