JPWO2018142876A1 - グラファイト複合フィルム及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

熱対策及び電磁ノイズ対策を同時に実現できるとともに、電磁波シールド性が劣化しにくいグラファイト複合フィルムを提供する。グラファイト複合フィルム（１）は、グラファイト層（５０）と、第一の導電性接着層（４０）と、第一の金属を含む金属層（２０）とがこの順に配置されてなる。そして、第一の防錆処理層（３０）が、第一の導電性接着層（４０）と金属層（２０）との間に介在し、第二の防錆処理層（８０）が、金属層（２０）の第一の防錆処理層（３０）が配置されている側の面とは反対側の面に配置されている。

Description

本開示は、グラファイト複合フィルム及びその製造方法に関する。

近年、通信機器、パーソナルコンピューターなどの電子機器の高性能化、小型化、薄型化の要求に伴い、電子機器の筐体内部の限られたスペースに、数多くの電子部品が隙間なく配置されている。これら電子部品が熱源や電磁ノイズ源となり、電子機器の誤作動を引き起こすおそれがある。そのため、熱対策及び電磁ノイズ対策が重要な課題となっている。

このような熱対策及び電磁ノイズ対策として、特許文献１には、グラファイトフィルムと、表面抵抗が所定範囲内である導電性粘着層と、銅からなる金属薄膜と、保護フィルム層とがこの順に積層されたグラファイト複合フィルムが開示されている。

特開２００９−２８０４３３号公報

しかしながら、特許文献１に記載のようなグラファイト複合フィルムを、電子機器の筐体内部に配置された電子部品に貼り合わせて使用すると、高周波帯（例えば、５００ＭＨｚ帯）の電磁波に対する電磁波シールド性が経時的に劣化するおそれがあった。

そこで、本開示は、熱対策及び電磁ノイズ対策を同時に実現できるとともに、電磁波シールド性が経時的に劣化しにくいグラファイト複合フィルム及びその製造方法を提供することを目的とする。

第一の態様に係るグラファイト複合フィルムは、グラファイト層と、第一の導電性接着層と、第一の金属を含む金属層とがこの順に配置されてなる。そして、第一の防錆処理層が、第一の導電性接着層と金属層との間に介在し、第二の防錆処理層が、金属層の第一の防錆処理層が配置されている側の面とは反対側の面に配置されている。

第二の態様に係るグラファイト複合フィルムの製造方法は、第一面及び第二面を有する保護フィルムの第一面に第一の金属を蒸着して金属層を形成し、金属層の表面に第一の防錆処理を施して第一の防錆処理層を形成し、第一の防錆処理層の表面に第一の導電性接着シートを配置してラミネートし、保護フィルムを剥離して、金属層の第一の防錆処理層が配置されている側の面とは反対側の表面に第二の防錆処理を施して第二の防錆処理層を形成することにより導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を含む。この製造方法は、さらに、第一面及び第二面を有するグラファイトフィルムの第一面に第二の導電性接着シートを配置してラミネートすることにより導電性接着シート付きグラファイトフィルムを準備する工程を含む。この製造方法は、さらに、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム及び導電性接着シート付きグラファイトフィルムを、第一の導電性接着シートの表面とグラファイトフィルムの第二面とが重なるように配置してラミネートする工程とを含む。

第三の態様に係るグラファイト複合フィルムの製造方法は、第一面及び第二面を有する保護フィルムの第一面に第二の金属と第一の金属とをこの順に蒸着して、第二の金属を含む第二の防錆処理層と第一の金属を含む金属層とを形成し、金属層の表面に防錆処理を施して第一の防錆処理層を形成し、第一の防錆処理層の表面に第一の導電性接着シートを配置してラミネートし、保護フィルムを剥離することにより導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を含む。この製造方法は、さらに、第一面及び第二面を有するグラファイトフィルムの第一面に第二の導電性接着シートを配置してラミネートすることにより導電性接着シート付きグラファイトフィルムを準備する工程を含む。この製造方法は、さらに、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム及び導電性接着シート付きグラファイトフィルムを、第一の導電性接着シートの表面とグラファイトフィルムの第二面とが重なるように配置してラミネートする工程とを含む。

第四の態様に係るグラファイト複合フィルムは、グラファイト層と、第一の導電性接着層と、第一の金属を含む金属層と、保護フィルムとがこの順に配置されてなり、防錆処理層が、第一の導電性接着層と金属層との間に介在している。

第五の態様に係るグラファイト複合フィルムの製造方法は、第一面及び第二面を有する保護フィルムの第一面に第一の金属を蒸着して金属層を形成し、金属層の表面に防錆処理を施して防錆処理層を形成し、防錆処理層の表面に第一の導電性接着シートを配置してラミネートすることにより導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を含む。この製造方法は、さらに、第一面及び第二面を有するグラファイトフィルムの第一面に第二の導電性接着シートを配置してラミネートすることにより導電性接着シート付きグラファイトフィルムを準備する工程を含む。この製造方法は、さらに、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム及び導電性接着シート付きグラファイトフィルムを、第一の導電性接着シートの表面とグラファイトフィルムの第二面とが重なるように配置してラミネートする工程とを含む。

本開示は、熱対策及び電磁ノイズ対策を同時に実現できるとともに、電磁波シールド性が劣化しにくい。

本開示の実施形態に係るグラファイト複合フィルムの本体部の概略断面図である。 本開示の実施形態に係るグラファイト複合フィルムの端部の概略断面図である。 本開示の第一実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第一実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第一実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第一実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第一実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第一実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第一実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程の一例を説明する概略断面図である。 本開示の第一及び第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付きグラファイトフィルムを準備する工程を説明する概略断面図である。 本開示の第一及び第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付きグラファイトフィルムを準備する工程を説明する概略断面図である。 本開示の第一及び第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルム及び導電性接着シート付きグラファイトフィルムをラミネートする工程を説明する概略断面図である。 本開示の第一及び第二実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルム及び導電性接着シート付きグラファイトフィルムをラミネートする工程を説明する概略断面図である。 比較例のグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には比較例の導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を説明する概略断面図である。 比較例のグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には比較例の導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を説明する概略断面図である。 比較例のグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には比較例の導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を説明する概略断面図である。 比較例のグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には比較例の導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を説明する概略断面図である。 比較例のグラファイト複合フィルムの製造方法の一部、具体的には比較例の導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を説明する概略断面図である。 本開示の第三実施形態に係るグラファイト複合フィルムの本体部の概略断面図である。 本開示の第三実施形態に係るグラファイト複合フィルムの端部の概略断面図である。 本開示の第三実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を説明するための概略断面図である。 本開示の第三実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を説明するための概略断面図である。 本開示の第三実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を説明するための概略断面図である。 本開示の第三実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を説明するための概略断面図である。 本開示の第三実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程を説明するための概略断面図である。 本開示の第三実施形態にグラファイト複合フィルムの製造方法、具体的には導電性接着シート付きグラファイトフィルムを準備する工程を説明するための概略断面図である。 本開示の第三実施形態にグラファイト複合フィルムの製造方法、具体的には導電性接着シート付きグラファイトフィルムを準備する工程を説明するための概略断面図である。 本開示の第三実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルム及び導電性接着シート付きグラファイトフィルムをラミネートする工程を説明するための概略断面図である。 本開示の第三実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法、具体的には導電性接着シート付き金属蒸着フィルム及び導電性接着シート付きグラファイトフィルムをラミネートする工程を説明するための概略断面図である。

以下、本開示に係る発明の実施形態を説明する。

（第一実施形態）
［グラファイト複合フィルム１］
図１Ａは、第一実施形態に係るグラファイト複合フィルム１の本体部の概略断面図である。図１Ｂは、グラファイト複合フィルム１の端部の概略断面図である。

本実施形態に係るグラファイト複合フィルム１は、図１Ａに示すように、第二の導電性接着層６０と、グラファイト層５０と、第一の導電性接着層４０と、金属層２０と、第一の防錆処理層３０と、第二の防錆処理層８０と、第一の剥離シート７０とを有する。金属層２０は、第一の金属を含む。第二の導電性接着層６０と、グラファイト層５０と、第一の導電性接着層４０と、金属層２０とは、この順に積層されている。第一の防錆処理層３０は、第一の導電性接着層４０と金属層２０との間に介在する。第二の防錆処理層８０は、金属層２０の第一の防錆処理層３０が配置されている側の面とは反対側の面に配置されている。さらに、第一の剥離シート７０が第二の導電性接着層６０の表面６０Ａに取り付けられている。

グラファイト複合フィルム１はこのような構成であるので、被着体に貼り付けるだけで、電磁機器の熱対策及び電磁ノイズ対策を同時に実現できる。すなわち、熱伝導性に優れるグラファイト層５０を有するので、被着体の熱をグラファイト複合フィルム１の面方向に放散させて、被着体の温度を低下させることができる。面方向とは、グラファイト層５０の厚さ方向に対して垂直な方向をいう。また、金属層２０を有するので、金属層２０に当たる電磁波を反射させることができる。これは、金属層２０に電磁波が当たると、金属層２０内に電磁誘導により渦電流が生じ、この渦電流が電磁波を反射するためと推測される。特に、被着体が導電性を有する場合、金属層２０は被着体と電気的に接続されて接地されるので、金属層２０内に生じた渦電流は被着体へ解放（グランド）され、より優れた電磁波シールド性を発現する。

さらに、第一の防錆処理層３０が、第一の導電性接着層４０と金属層２０との間に介在しているので、金属層２０の第一の防錆処理層３０が配置される側の第一面２０Ａが変色（以下、腐食という）しにくく、電磁波シールド性が劣化しにくい。さらに、第二の防錆処理層８０が、金属層２０の第一面２０Ａとは反対側の面（第二面２０Ｂ）に配置されているので、金属層２０の第二面２０Ｂが変色（腐食）しにくく、電磁波シールド性が劣化しにくい。これは、第一の防錆処理層３０及び第二の防錆処理層８０が金属層２０の腐食の進行を抑制することで、金属層２０のシート抵抗が経時的に上昇しにくくなり、発生した渦電流のエネルギーが熱エネルギーに変換されにくくなるためと推測される。

グラファイト複合フィルム１の端面１Ｅにおいて、図１Ｂに示すように、グラファイト層５０の端面５０Ｅは露出していない。すなわち、グラファイト層５０の端面５０Ｅは第一の導電性接着層４０及び第二の導電性接着層６０で覆われている。これにより、グラファイト層５０内の層間剥離に起因するグラファイト複合フィルム１の断裂を防ぐと同時に、グラファイト層５０の粉落ちを防ぐことができる。

グラファイト複合フィルム１の厚さは好ましくは１５μｍ以上８００μｍ以下である。グラファイト複合フィルム１の厚さは、グラファイト複合フィルム１の断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察して得られた画像に基づいて測定することができる。以下のグラファイト複合フィルム１を構成する各層の厚さも同様に測定することができる。

グラファイト複合フィルム１は、例えば、使用直前に第一の剥離シート７０をグラファイト複合フィルム１から剥離して、被着体に貼り付けて使用することができる。被着体としては、例えば、電子機器の筐体内部に配置された電子部品などが挙げられる。電子部品としては、例えば、液晶ユニットの背面シャーシ、液晶画像表示装置のバックライトなどに使用される発光ダイオード（ＬＥＤ）光源を備えたＬＥＤ基板、パワーアンプ、大規模集積回路（ＬＳＩ）などが挙げられる。第一の剥離シート７０としては、紙、樹脂フィルム、紙と樹脂フィルムとを積層したラミネート紙、または紙にクレーやポリビニルアルコールなどで目止め処理を施したものの片面又は両面に、シリコーン系樹脂等の剥離処理を施したものなどを用いることができる。紙としては、クラフト紙、グラシン紙、上質紙などがあげられる。樹脂フィルムとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＯＰＰ(Oriented Polypropylene）、ＣＰＰ(Cast Polypropylene)）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などがあげられる。

本実施形態に係るグラファイト複合フィルム１は、第二の導電性接着層６０、グラファイト層５０、第一の導電性接着層４０、第一の防錆処理層３０、金属層２０、及び第二の防錆処理層８０がこの順に積層されている。しかし、本開示はこれに限定されず、グラファイト層５０、第一の導電性接着層４０、第一の防錆処理層３０、金属層２０、及び第二の防錆処理層８０がこの順に配置された構成であればよい。そしてこれらの層の間には、本発明の効果を阻害しない層が積層されていてもよい。

また、本実施形態に係るグラファイト複合フィルム１は、グラファイト層５０の端面５０Ｅが第一の導電性接着層４０及び第二の導電性接着層６０で覆われているが、本開示はこれに限定されず、グラファイト層５０の端面５０Ｅが露出していてもよい。

また、本実施形態に係るグラファイト複合フィルム１では、図１Ｂに示すように、金属層２０の端面が露出しているが、本開示はこれに限定されず、金属層２０の端面は第二の防錆処理層８０で覆われていてもよい。金属層２０の端面が第二の防錆処理層８０で覆われることで、金属層２０の端面は腐食しにくくなり、グラファイト複合フィルム１の電磁波シールド性がより劣化しにくくなる。

（金属層２０）
グラファイト複合フィルム１は、金属層２０を備える。これにより、グラファイト複合フィルム１は電磁波シールド性を有する。

金属層２０は、第一の金属を含む。第一の金属としては、グラファイト複合フィルム１の原料に応じて適宜選択すればよく、例えば、銀、銅、金、アルミニウム、マグネシウム、タングステン、コバルト、亜鉛、ニッケル、黄銅、カリウム、リチウム、鉄、白金、スズ、クロム、鉛、チタンなどを用いることができる。なかでも、第一の金属は、グラファイト複合フィルム１の電磁波シールド性を向上させるなどの点から、グラファイト複合フィルム１の原料の中で体積固有抵抗が低い原料であることが好ましく、コストの観点から、銅であることがより好ましい。

金属層２０の厚さは、好ましくは０．１０μｍ以上５．００μｍ以下、より好ましくは０．５０μｍ以上２．００μｍ以下である。

本実施形態では、グラファイト複合フィルム１の厚さ方向Ｔから見た金属層２０の表面形状はベタ状であるが、本発明はこれに限定されない。その例として、メッシュ状、ワイヤー状などをさらに挙げることができる。なお、ベタ状とは、グラファイト複合フィルム１の厚さ方向Ｔから見て、一面に隙間なく設けられた状態である。

（第一の防錆処理層３０及び第二の防錆処理層８０）
グラファイト複合フィルム１は、第一の防錆処理層３０と第二の防錆処理層８０とを備える。第一の防錆処理層３０は、第一の導電性接着層４０と金属層２０との間に介在している。第二の防錆処理層８０は、金属層２０の第二面２０Ｂに配置されている。すなわち、金属層２０の両面に第一の防錆処理層３０及び第二の防錆処理層８０がそれぞれ配置されている。

グラファイト複合フィルム１が第一の防錆処理層３０を備えることで、金属層２０の第一面２０Ａが腐食しにくくなる。これは、第一の防錆処理層３０により、主として、第一の導電性接着層４０中に含まれる水分及び酸素の成分などが金属層２０の表面に到達しにくくなり、金属層２０の原料と、第一の導電性接着層４０中の成分との電気化学反応が進行しにくいためと推測される。

グラファイト複合フィルム１が第二の防錆処理層８０を備えることで、金属層２０の第二面２０Ｂが腐食しにくくなる。これは、第二の防錆処理層８０により、主として、外からの水分及び酸素の成分などが金属層２０の表面に到達しにくくなり、金属層２０の原料と、外からの成分との電気化学反応が進行しにくいためと推測される。さらに、第二の防錆処理層８０は、金属層２０の第二面２０Ｂに傷が付くことなどを防止することができる。

第一の防錆処理層３０及び第二の防錆処理層８０としては、例えば、有機皮膜、金属皮膜などを用いることができる。

第一の防錆処理層３０と第二の防錆処理層８０とは、同じ種類の皮膜であってよく、異なる種類の皮膜であってもよい。すなわち、第一の防錆処理層３０と第二の防錆処理層８０との両方が有機皮膜であってよく、第一の防錆処理層３０と第二の防錆処理層８０との両方が金属皮膜であってもよい。また、第一の防錆処理層３０と第二の防錆処理層８０とのうちの一方が有機皮膜であり他方が金属皮膜であってよい。

有機皮膜としては、金属層２０の原料に応じて適宜調整すればよく、例えば、ベンゾトリアゾール皮膜、トリアジンアミン皮膜、メルカプトベンゾイミダゾール皮膜、チオジプロピオン酸エステル皮膜、ベンゾイミダゾール皮膜などが挙げられる。なかでも、第一の金属が銅である場合、すなわち金属層２０が銅からなる場合、有機皮膜はベンゾトリアゾール皮膜であることが好ましい。有機皮膜がベンゾトリアゾール皮膜であれば、銅からなる金属層２０は腐食しにくくなる。

ベンゾトリアゾール皮膜は、主に銅イオンと、ベンゾトリアゾールアニオン又はベンゾトリアゾール誘導体アニオンとの重合錯体皮膜であると推測される。ベンゾトリアゾール皮膜の原料としては、例えば、ベンゾトリアゾール、ベンゾトリアゾール誘導体などを用いることができる。ベンゾトリアゾールの誘導体としては、例えば、ベンゾトリアゾール、２−（５−メチルー２−ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、１、２，３−ベンゾトリアゾール、２−［２−ヒドロキシ−３，５−ビス（α、α−ジメチルベンジル）フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾールなどを用いることができる。トリアジンアミン皮膜の原料としては、例えば、２，４−ジアミノ−６−［２’−メチルイミダゾリル−（１’）］−エチル−ｓ−トリアジンなどを用いることができる。メルカプトベンゾイミダゾール皮膜の原料としては、例えば、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−５−メチルベンゾイミダゾール、２−メルカプト−５−メトキシベンゾイミダゾールなどを用いることができる。チオジプロピオン酸エステル皮膜の原料としては、例えば、ジステアリル−３、３’−チオジプロピオネート、ジラウリル−３，３’−チオジプロピオネートなどを用いることができる。ベンゾイミダゾール皮膜の原料としては、例えば、２−メチルベンゾイミダゾール、５−メチルベンゾイミダゾール、１−ヒドロキシ−５−メトキシ−２−メチルベンゾイミダゾール−３−オキシド、２−アミノベンゾイミダゾールなどを用いることができる。

金属皮膜の原料としては、例えば、亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウムなどの純金属を用いることができる。また、これら純金属を含んでなる合金などの防錆用金属を用いることができる。

第一の防錆処理層３０が金属皮膜である場合、金属皮膜は亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウム及びこれらの合金よりなる群から選択された少なくとも一つの第一の防錆用金属を含むことが好ましい。金属皮膜が第一の防錆用金属を含む場合、銅からなる金属層２０は腐食しにくくなる。

第一の防錆処理層３０が金属皮膜である場合、金属皮膜は、ニッケルを含むことがより好ましい。ニッケルは、防錆性が高いため、銅からなる金属層２０はさらに腐食しにくくなる。また、ニッケルは銅との密着性が高いため、ニッケルを含む第一の防錆処理層３０の、銅からなる金属層２０との密着性を向上することができる。このため、図１Ｂに示すように、金属層２０の端面が露出している場合でも、第一の防錆処理層３０と金属層２０との界面２０Ａから水分及び酸素の成分などが金属層２０の表面に到達しにくくなる。

第二の防錆処理層８０が金属皮膜である場合、金属皮膜は亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウム及びこれらの合金よりなる群から選択された少なくとも一つの第二の防錆用金属を含むことが好ましい。金属皮膜が第一の防錆用金属を含む場合、銅からなる金属層２０は腐食しにくくなる。

第二の防錆処理層８０が金属皮膜である場合、金属皮膜は、ニッケルを含むことがより好ましい。ニッケルは、防錆性が高いため、銅からなる金属層２０はさらに腐食しにくくなる。また、ニッケルは銅との密着性が高いため、ニッケルを含む第二の防錆処理層８０の、銅からなる金属層２０との密着性を向上することができる。このため、図１Ｂに示すように、金属層２０の端面が露出している場合でも、第二の防錆処理層８０と金属層２０との界面から水分及び酸素の成分などが金属層２０の表面に到達しにくくなる。

第二の防錆処理層８０が金属皮膜である場合、第二の防錆処理層８０の金属層２０が配置されている側の面２０Ｂとは反対側の面１Ｂに、ショート不良を防止するための絶縁層が配置されてもよい。この場合、絶縁層の一部に穴を開け、そこからグラファイト層５０のグランドを取ることができる。金属層２０上に直接絶縁層を配置し、絶縁層に穴を開けてグランドを取る場合には、金属層２０が外からの水分及び酸素の成分などと電気化学反応を起こして腐食してしまう。このため、グラファイト複合フィルム１が、金属皮膜である第二の防錆処理層８０を有することで、金属層２０の腐食を防ぐとともに、グラファイト層５０のグランドを取ることが可能になる。

第一の防錆処理層３０の厚さＴ３０は、金属層２０の厚さＴ２０以下であることが好ましい。これにより、グラファイト複合フィルム１のフレキシブル性を確保できると同時に、グラファイト複合フィルム１を軽量化することができる。具体的に、第一の防錆処理層３０の厚さＴ３０は、好ましくは０．００２μｍ以上０．１００μｍ以下、より好ましくは０．００２μｍ以上０．０４０μｍ以下である。グラファイト複合フィルム１の厚さ方向Ｔから見た第一の防錆処理層３０の表面形状はベタ状である。すなわち、グラファイト複合フィルム１の厚さ方向Ｔから見て、第一の防錆処理層３０が金属層２０の第一面２０Ａの全領域に隙間なく設けられており、金属層２０の第一面２０Ａは露出していない。

第二の防錆処理層８０の厚さＴ８０は、金属層２０の厚さＴ２０以下であることが好ましい。これにより、グラファイト複合フィルム１のフレキシブル性を確保できると同時に、グラファイト複合フィルム１を軽量化することができる。具体的に、第二の防錆処理層８０の厚さＴ８０は、好ましくは０．００２μｍ以上０．１００μｍ以下、より好ましくは０．００２μｍ以上０．０４０μｍである。グラファイト複合フィルム１の厚さ方向Ｔから見た第二の防錆処理層８０の表面形状はベタ状である。すなわち、グラファイト複合フィルム１の厚さ方向Ｔから見て、第二の防錆処理層８０が金属層２０の第二面２０Ｂの全領域に隙間なく設けられており、金属層２０の第二面２０Ｂは露出していない。

（第一の導電性接着層４０）
グラファイト複合フィルム１は、第一の導電性接着層４０を備える。これにより、第一の防錆処理層３０と、グラファイト層５０とを、接着固定できると同時に電気的に接続できる。

第一の導電性接着層４０は、図１Ａに示すように、第一の粘着層４１、第一の金属基材４２及び第二の粘着層４３がこの順で積層された構成である。第一の導電性接着層４０は、第一の金属基材４２を含むので、第一の導電性接着層４０は導電性に優れる。第一の導電性接着層４０の厚さは、好ましくは２μｍ以上３００μｍ以下である。グラファイト複合フィルム１の厚さ方向Ｔから見た第一の導電性接着層４０の表面形状はベタ状である。

第一の粘着層４１は、導電性及び粘着性を有する導電性粘着剤からなる。導電性粘着剤としては、例えば、重合体及び導電性フィラーを含有し、必要に応じて、架橋剤、添加剤、溶剤をさらに含有してもよい。重合体としては、アクリル系重合体、ゴム系重合体、シリコーン系重合体、ウレタン系重合体などを用いることができる。なかでも、グラファイト複合フィルム１を発熱材に貼付した場合であっても熱の影響による剥がれを起こしにくい点で、アクリル系重合体及びゴム系重合体を用いることが好ましい。アクリル系重合体としては、（メタ）アクリル単量体などのビニル単量体を重合して得られるものを用いることができる。導電性フィラーとしては、例えば、金属系フィラー、カーボン系フィラー、金属複合系フィラー、金属酸化物系フィラー、チタン酸カリウム系フィラーなどを用いることができる。金属系フィラーの原料としては、銀、ニッケル、銅、スズ、アルミニウム、ステンレスなどが挙げられる。カーボン系フィラーの原料としては、ケッチェンブラック、アセチレンブラック、黒鉛などを用いることができる。金属複合系フィラーの原料としては、アルミニウムコートガラス、ニッケルコートガラス、銀コートガラス、ニッケルコート炭素などを用いることができる。金属酸化物系フィラーの原料としては、アンチモンドープ酸化スズ、スズドープ酸化インジウム、アルミニウムドープ酸化亜鉛などを用いることができる。導電性フィラーの形状は、特に限定されず、例えば、粉末、フレーク、繊維などが挙げられる。架橋剤としては、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、キレート系架橋剤、アジリジン系架橋剤などを用いることができる。添加剤としては、第一の粘着層４１の粘着力をより一層向上させることを目的として、粘着付与樹脂を使用することができる。粘着付与樹脂としては、例えばロジン系樹脂；テルペン系樹脂；脂肪族（Ｃ５系）又は芳香族（Ｃ９系）などの石油樹脂；スチレン系樹脂フェノール系樹脂；キシレン系樹脂；メタクリル系樹脂などを用いることができる。第一の粘着層４１の厚さは、好ましくは０．２μｍ以上５０μｍ以下、より好ましくは２μｍ以上２０μｍ以下である。

第一の金属基材４２の原料としては、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、錫、これらの合金などを用いることができる。なかでも、第一の金属基材４２の原料は、柔軟性、熱導電性などの点で、アルミニウム又は銅であることが好ましく、金属の不動態化により腐食が進行しにくいなどの点でアルミニウムであることがさらに好ましい。アルミニウムからなる金属基材としては、硬質アルミニウムからなる硬質アルミニウム基材、軟質アルミニウムからなる軟質アルミニウム基材を用いることができる。硬質アルミニウム基材は、アルミニウムを圧延して得たアルミ箔からなる。軟質アルミニウム基材は、アルミニウムを圧延し、焼鈍処理をして得られたアルミニウム箔からなる。銅からなる金属基材としては、例えば電解銅からなる基材、圧延銅からなる基材を用いることができる。第一の金属基材４２の厚さは、好ましくは２００μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下である。

第二の粘着層４３は、導電性及び粘着性を有し、例えば、重合体及び導電性フィラーを含有する。第二の粘着層４３は、第一の粘着層４１と同様の構成である。

本実施形態では、第一の導電性接着層４０は、図１Ａに示すように、第一の粘着層４１、第一の金属基材４２及び第二の粘着層４３がこの順で積層されてなるが、本開示はこれに限定されない。その例として、第一の導電性接着層４０は導電性樹脂からなる単層であってもよい。また、本実施形態では、第二の粘着層４３は第一の粘着層４１と同じ構成であるが、本開示ではこれに限定されず、導電性及び粘着性を有すれば、第一の粘着層４１と異なる構成であってもよい。

（グラファイト層５０）
グラファイト複合フィルム１は、グラファイト層５０を備える。これにより、被着体の熱を効率良く伝導し放散することができると同時に、グラファイト複合フィルム１の電磁シールド性を向上させることができる。

グラファイト層５０は、面方向において優れた電気伝導性及び熱伝導性を有する。グラファイト層５０の原料としては、例えば、炭素の層状結晶体グラファイト（黒鉛）；黒鉛を母体とし、その層間に化学種が侵入して形成された黒鉛層間化合物（Graphite Intercalation Compound）などを用いることができる。化学種としては、例えば、カリウム、リチウム、臭素、硝酸、塩化鉄（III）、六塩化タングステン、五フッ化ヒ素などが挙げられる。また、グラファイト層５０は、例えば、グラファイトフィルムを１枚又は複数枚を積層したものであってもよい。グラファイトフィルムとしては、例えば、高分子フィルムを高温で焼成して生成された熱分解性グラファイトシートや、膨張グラファイト法により生成された膨張グラファイトシートなどを用いることができる。なかでも、熱伝導率が高く、軽量で柔軟性があり、加工が容易であるなどの点で、グラファイトフィルムとして、高分子フィルムを高温で焼成して生成された熱分解性グラファイトシートを用いることが好ましい。高分子フィルムとしては、例えば、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミドなどの耐熱性の芳香族高分子などを用いることができる。高分子フィルムを焼成する温度は、好ましくは２６００℃以上３０００℃以下である。膨張グラファイト法は、天然グラファイト鉛を硫酸などの強酸で処理することで層間化合物を形成させ、これを加熱及び膨張させた際に生じる膨張グラファイトを圧延してシート状にする方法である。グラファイトフィルムの厚さは、好ましくは１０μｍ以上１００μｍ以下である。

熱分解性グラファイトシートの熱伝導率は、ａ−ｂ面方向が好ましくは７００Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上１９５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下、ｃ軸方向が好ましくは８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下である。熱分解性グラファイトシートの密度は、好ましくは０．８５ｇ／ｃｍ^３以上２．１３ｇ／ｃｍ^３以下である。このような熱分解性グラファイトシートとしては、例えば、パナソニック株式会社製の「ＰＧＳ（登録商標）グラファイトシート」を用いることができる。

グラファイト層５０の厚さは、好ましくは５μｍ以上５００μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以上２００μｍ以下である。グラファイト複合フィルム１の厚さ方向Ｔから見たグラファイト層５０の表面形状はベタ状である。

（第二の導電性接着層６０）
グラファイト複合フィルム１は、第二の導電性接着層６０を備える。これにより、グラファイト複合フィルム１を被着体に密着させることができ、グラファイト複合フィルム１の優れた放熱性を発現させやすくなると同時に、グラファイト層５０と被着体とを電気的に接続することができる。このように、金属層２０と被着体とは電気的に接続されるので、被着体が導電性を有する場合、グラファイト複合フィルム１の電磁波シールド性はより優れる。

第二の導電性接着層６０は、図１Ａに示すように、第三の粘着層６１、第二の金属基材６２及び第四の粘着層６３がこの順で積層された構成である。第二の導電性接着層６０の構成は、第一の導電性接着層４０と同様の構成である。

本実施形態では、第二の導電性接着層６０は、図１Ａに示すように、第三の粘着層６１、第二の金属基材６２及び第四の粘着層６３がこの順で積層された構成であるが、本開示はこれに限定されない。その例として、第二の導電性接着層６０は導電性樹脂からなる単層であってもよい。また、本実施形態では、第二の導電性接着層６０の構成は、第一の導電性接着層４０と同様の構成であるが、本開示はこれに限定されず、導電性及び粘着性を有すれば、第一の導電性接着層４０と異なる構成であってもよい。

［第一実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法］
図２Ａ〜図２Ｇは、本開示の第一実施形態に係るグラファイト複合フィルム１の製造方法の一部を説明するための概略断面図である。具体的に、図２Ａ〜図２Ｇは、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する工程（Ａ）を説明するための概略断面図である。

図４Ａ〜図４Ｄは、本開示の第一実施形態に係るグラファイト複合フィルム１の製造方法の一部を説明するための概略断面図である。具体的に、図４Ａ及び図４Ｂは、導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を準備する工程（Ｂ）を説明するための概略断面図である。図４Ｃ及び図４Ｄは、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００をラミネートする工程（Ｃ）を説明するための概略断面図である。図２Ａ〜図２Ｇ及び図４Ａ〜図４Ｄにおいて、図１Ａに示す実施形態の構成部材と同一の構成部材には同一符号を付して説明を省略する。具体的に、グラファイトフィルム５０はグラファイト層５０に対応し、第一の導電性接着シート４０は第一の導電性接着層４０に対応し、第二の導電性接着シート６０は第二の導電性接着層６０に対応する。

第一実施形態に係るグラファイト複合フィルム１の製造方法は、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する工程（１Ａ）と、導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を準備する工程（１Ｂ）と、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００をラミネートする工程（１Ｃ）とを含み、工程（１Ａ）、工程（１Ｂ）及び工程（１Ｃ）をこの順で行う。これにより、熱対策及び電磁ノイズ対策を同時に実現できるとともに、電磁波シールド性が劣化しにくいグラファイト複合フィルム１が得られる。

工程（１Ａ）：第一面１０Ａ及び第二面１０Ｂを有する保護フィルム１０の第一面１０Ａに第一の金属を蒸着して金属層２０を形成し、金属層２０の第一面２０Ａに第一の防錆処理を施して第一の防錆処理層３０を形成して第一の積層体１１１を準備する（以下、工程（１ａ１））。この第一の積層体１１１の第一の防錆処理層３０の表面３０Ａに、第一の導電性接着シート４０を配置しラミネートして第二の積層体１１２を準備する（以下、工程（１ａ２））。この第二の積層体１１２の保護フィルム１０を剥離して、金属層２０の第二面２０Ｂに第二の防錆処理を施して第二の防錆処理層８０を形成して（以下、工程（１ａ３））、金属蒸着フィルム１１０と第一の導電性接着シート４０とを有する導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する。

工程（１Ｂ）：第一面５０Ａ及び第二面５０Ｂを有するグラファイトフィルム５０の第一面５０Ａに、第二の導電性接着シート６０を配置してラミネートする。

工程（１Ｃ）：導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａとグラファイトフィルム５０の第二面５０Ｂとが重なるように配置してラミネートする。

本実施形態では、工程（１Ａ）、工程（１Ｂ）及び工程（１Ｃ）をこの順で行うが、本開示はこれに限定されない。その例として、工程（１Ｂ）、工程（１Ａ）及び工程（１Ｃ）をこの順に行ってもよい。

〔工程（１Ａ）〕
工程（１Ａ）では、金属層２０及び第一の防錆処理層３０を形成して第一の積層体１１１を準備する工程（１ａ１）と、第一の積層体１１１と第一の導電性接着シート４０とをラミネートして第二の積層体１１２を準備する工程（１ａ２）と、保護フィルム１０を剥離して第二の防錆処理層８０を形成する工程（１ａ３）とをこの順で行う。これにより、第一の防錆処理層３０、金属層２０、及び第二の防錆処理層８０の積層体である金属蒸着フィルム１１０と第一の導電性接着シート４０とを有する導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する。

（工程（１ａ１））
工程（１ａ１）では、図２Ａに示す保護フィルム１０の第一面１０Ａに第一の金属を蒸着して、図２Ｂに示すような金属層２０を形成し、金属層２０の第一面２０Ａに第一の防錆処理を施して図２Ｃに示すような第一の防錆処理層３０を形成する。この工程（１ａ１）を経て、図２Ｃに示す保護フィルム１０と金属層２０と第一の防錆処理層３０とを有する第一の積層体１１１が得られる。

保護フィルム１０の原料としては、例えば、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、オレフィン系樹脂、スチレン樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリカーボネート、アクリロニトリル・スチレン共重合樹脂（ＡＳ樹脂）、ポリアクリロニトリル、ブタジエン樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合樹脂（ＡＢＳ樹脂）、アクリル樹脂、ポリアセタール、ポリフェニレンエーテル、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、ポリイミド、ポリスルフィド、ポリウレタン、酢酸ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、脂肪族ポリアミド、合成ゴム、芳香族ポリアミド、ポリビニルアルコールなどを用いることができる。必要に応じて、保護フィルム１０は、難燃剤、帯電防止剤、酸化防止剤、金属不活性化剤、可塑剤、滑剤などをさらに含有してもよい。保護フィルム１０の厚さは、好ましくは０．５μｍ以上２００μｍ以下である。

保護フィルム１０は、離型フィルムであることが好ましい。離型フィルムとしては、例えば、フィルムに離型剤を塗布したものを用いることができる。離型フィルムに用いるフィルムの原料としては、例えば、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、オレフィン系樹脂、スチレン樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリカーボネート、アクリロニトリル・スチレン共重合樹脂（ＡＳ樹脂）、ポリアクリロニトリル、ブタジエン樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合樹脂（ＡＢＳ樹脂）、アクリル樹脂、ポリアセタール、ポリフェニレンエーテル、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、ポリイミド、ポリスルフィド、ポリウレタン、酢酸ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、脂肪族ポリアミド、合成ゴム、芳香族ポリアミド、ポリビニルアルコールなどを用いることができる。離型剤としては、例えば、シリコーン等を用いることができる。保護フィルム１０が離型フィルムであることで、保護フィルム１０の剥離が容易になる。

第一の金属を蒸着する方法は、真空蒸着法が好ましい。真空蒸着法の処理条件は、第一の金属の種類、金属層２０の厚さなどに応じて、適宜調整すればよい。

金属層２０の第一面２０Ａに第一の防錆処理を施す方法としては、第一の防錆処理層３０の原料に応じて、次のように適宜調整すればよい。

第一の防錆処理層３０が有機皮膜である場合、金属層２０の第一面２０Ａに第一の防錆処理を施す方法としては、例えば、上述した有機皮膜の原料を溶媒に添加して防錆処理液を得、この防錆処理液を金属層２０の第一面２０Ａに塗装し、乾燥させる方法などが挙げられる。有機皮膜の原料の添加量は、第一の防錆処理層３０の厚さなどに応じて適宜調整すればよい。溶媒としては、有機皮膜の原料に応じて、適宜調整すればよく、例えば、水、イソプロプレンアルコールなどが挙げられる。防錆処理液は、必要に応じて、その他の成分を含有してもよい。その他の成分としては、例えばカルボン酸無水物などが挙げられる。カルボン酸無水物としては、無水酢酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水プロピオン酸、無水フタル酸を用いることができる。防錆処理液の塗装方法としては、特に限定されず、例えば、ローラー塗装、ロールコーター塗装、スピンコーター塗装、カーテンロールコーター塗装、スリットコーター塗装、スプレー塗装、浸漬塗装などが挙げられる。防錆処理液を乾燥させる際、必要に応じて加熱してもよい。

第一の防錆処理層３０が金属皮膜である場合、金属層２０の第一面２０Ａに第一の防錆処理を施す方法としては、金属皮膜の原料、第一の防錆処理層３０の厚さなどに応じて適宜調整すればよく、例えば、電気めっき法、無電解めっき法、物理蒸着法、化学蒸着法などが挙げられる。物理的蒸着法としては、例えば、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などが挙げられる。防錆処理を施す際の処理条件などは、金属皮膜の原料、第一の防錆処理層３０の厚さなどに応じて適宜調整すればよい。

工程（１ａ１）では、例えば、長尺状の保護フィルム１０を第一の金属を蒸着する製造工程へ連続的に繰り出し、第一の金属を蒸着する製造工程及び第一の防錆処理を施す製造工程をこの順に経由させ、第一の積層体１１１を連続的に製造してもよい。

（工程（１ａ２））
工程（１ａ２）では、図２Ｄに示すように、第一の積層体１１１の表面３０Ａに第一の導電性接着シート４０を配置してラミネートする。この際、図２Ｄに示すように、取扱い性に優れるなどの点で、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａに、第二の剥離シート１２０が取り付けられている。この工程（１ａ２）を経て、図２Ｅに示す、第一の積層体１１１と第一の導電性接着シート４０とを有する第二の積層体１１２が得られる。

図２Ｄに示す第二の剥離シート１２０が取り付けられた第一の導電性接着シート４０の製造方法としては、例えば、以下の工程を含む方法などが挙げられる。
・第三の剥離シートの表面上に、導電性粘着剤を塗布して第一の粘着層４１を形成する工程。
・第二の剥離シート１２０の表面１２０Ａ上に、導電性粘着剤を塗布し、乾燥して第二の粘着層４３を形成する工程。
・第一面４２Ａ及び第二面４２Ｂを有する第一の金属基材４２の第一面４２Ａに第一の粘着層４１を、第二面４２Ｂに第二の粘着層４３をそれぞれ貼り合わせて積層フィルムとし、養生させた後、この積層フィルムから第三の剥離シートを剥離する工程。

導電性粘着剤の塗布方法としては、ロールコーター、ダイコーターなどを用いる方法などが挙げられる。導電性粘着剤が溶剤を含有する場合には、５０℃〜１２０℃程度の環境下で乾燥して溶媒を除去することが好ましい。養生の処理条件は、処理温度が好ましくは１５℃以上５０℃以下、処理時間が好ましくは４８時間以上１６８時間以内である。第二の剥離シート１２０及び第三の剥離シートの構成は、第一の剥離シート７０と同様の構成である。

第一の積層体１１１と、第一の導電性接着シート４０とをラミネートする方法としては、例えば、第一の積層体１１１の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとが対向するように、第一の積層体１１１及び第一の導電性接着シート４０を配置する。その後、第一の積層体１１１の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとを接触加圧して密着させる方法などが挙げられる。

工程（１ａ２）では、例えば、長尺状の第一の積層体１１１及び長尺状の第一の導電性接着シート４０を一対のロール間に繰り出し、一対のロール間に挟み込んで第一の積層体１１１及び第一の導電性接着シート４０を面接触させることでラミネートしてもよい。

本実施形態では、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａに第二の剥離シート１２０が取り付けられているが、本開示はこれに限定されず、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａに第二の剥離シート１２０が取り付けられていなくてもよい。

（工程（１ａ３））
工程（１ａ３）では、図２Ｆに示すように第二の積層体１１２から保護フィルム１０を剥離し、金属層２０の第二面２０Ｂに第二の防錆処理を施して図２Ｇに示すような第二の防錆処理層８０を形成する。この工程（１ａ３）を経て、図２Ｇに示す金属蒸着フィルム１１０と第一の導電性接着シート４０とを有する導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００が得られる。

第二の防錆処理を施す方法は、本実施形態の工程（１ａ１）における第一の防錆処理を施す方法と同様の方法を用いることができる。

本実施形態では、工程（１Ａ）は、工程（１ａ１）、工程（１ａ２）、及び工程（１ａ３）を含むが、本開示はこの工程順に限定されず、例えば、工程（１ａ１）の後に、保護フィルム１０を剥離して第二の防錆処理層８０を形成することにより金属蒸着フィルム１１０を作製してから金属蒸着フィルム１１０と第一の導電性接着シート４０とをラミネートする方法でもよい。また、工程（１ａ１）の後に保護フィルム１０を剥離し、金属層２０と第一の防錆処理層３０との積層体と第一の導電性接着シート４０とをラミネートしてから第二の防錆処理層８０を形成する方法などによって導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を作製してもよい。

〔工程（１Ｂ）〕
工程（１Ｂ）では、図４Ａに示すように、第一面５０Ａ及び第二面５０Ｂを有するグラファイトフィルム５０の第一面５０Ａに第二の導電性接着シート６０を配置してラミネートする。この際、図４Ａに示すように、取扱い性に優れるなどの点で、第二の導電性接着シート６０の表面６３Ａに、第一の剥離シート７０が取り付けられている。この工程（１Ｂ）を経て、図４Ｂに示す、導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００が得られる。

図４Ａに示す第一の剥離シート７０が取り付けられた第二の導電性接着シート６０の製造方法としては、例えば、上述した図２Ｄに示す第二の剥離シート１２０が取り付けられた第一の導電性接着シート４０の製造方法と同様の方法が挙げられる。

グラファイトフィルム５０と第二の導電性接着シート６０とをラミネートする方法としては、例えば、図４Ａに示すように、第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａが上向きとなるように第二の導電性接着シート６０を配置する。そして、所定の寸法にカットされたグラファイトフィルム５０を第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａ上に置く方法などが挙げられる。カットされたグラファイトフィルム５０の寸法は、図４Ｄに示すように、グラファイトフィルム５０の全体が導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００で覆われる寸法であればよい。グラファイトフィルム５０の全体を導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００で覆うことで、グラファイト層５０内の層間剥離に起因するグラファイト複合フィルム１の断裂を防ぐとともに、グラファイト層５０の粉落ちを防ぐことができる。

工程（１Ｂ）では、例えば、第二の導電性接着シート６０を連続的にラミネート製造工程へ繰り出し、カットされたグラファイトフィルム５０を第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａに所定間隔を空けて連続的に置くことで、連続的に導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を製造してもよい。

本実施形態では、本開示はこれに限定されず、カットされたグラファイトフィルム５０を第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａ上に置いてラミネートするが、本開示はこれに限定されず、長尺状のグラファイトフィルム５０及び長尺状の第二の導電性接着シート６０をそれぞれ連続的に一対のロール間へ繰り出し、一対のロール間に挟み込んでグラファイトフィルム５０及び第二の導電性接着シート６０を面接触させることでラミネートしてもよい。

〔工程（１Ｃ）〕
工程（１Ｃ）では、図４Ｃに示すように、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａとグラファイトフィルム５０の第二面５０Ｂとが重なるように配置してラミネートする。この際、図４Ｃに示すように、第二の剥離シート１２０は剥離されており、第一の剥離シート７０はグラファイト複合フィルム１の取扱い性に優れるなどの点で、取り付けられたままである。この工程（１Ｃ）を経て、図４Ｄに示す、グラファイト複合フィルム１が得られる。

導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００と、導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００とをラミネートする方法としては、例えば、図４Ｃに示すように、グラファイトフィルム５０が配置された側の面２００Ａが上向きとなるように導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を配置する。その後、グラファイトフィルム５０全体を覆うように導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００の表面２００Ａ上に置く方法などが挙げられる。

工程（１Ｃ）では、例えば、長尺状の導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び長尺状の導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を一対のロール間に繰り出す。その後、一対のロール間に挟み込んで導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を面接触させることでラミネートし、必要なサイズにカットすることで、グラファイト複合フィルム１を連続的に製造してもよい。

本実施形態では、工程（１Ａ）、工程（１Ｂ）及び工程（１Ｃ）を含むが、本開示はこの積層順に限定されず、以下のような方法が挙げられる。例えば、第一の積層体１１１、第一の導電性接着シート４０、グラファイトフィルム５０、及び第二の導電性接着シート６０を同時にラミネートした後に、保護フィルム１０を剥離して第二の防錆処理層８０を形成することで、グラファイト複合フィルム１を製造する方法が挙げられる。また、第一の導電性接着シート４０、グラファイトフィルム５０、及び第二の導電性接着シート６０をラミネートすることで積層フィルムを得、得られた積層フィルムと金属蒸着フィルム１１０とをラミネートすることで、グラファイト複合フィルム１を製造する方法が挙げられる。また、金属蒸着フィルム１１０、第一の導電性接着シート４０及びグラファイトフィルム５０をラミネートすることで積層フィルムを得、得られた積層フィルムと、第二の導電性接着シート６０とをラミネートすることで、グラファイト複合フィルム１を製造する方法などが挙げられる。

（第二実施形態）
［グラファイト複合フィルムの製造方法］
図３Ａ〜図３Ｇは、本開示明の第二実施形態に係るグラファイト複合フィルム１の製造方法の一部を説明するための概略断面図である。具体的に、図３Ａ〜図３Ｇは、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する工程（１Ａ）を説明するための概略断面図である。

図４Ａ〜図４Ｄは、本発明の第二実施形態に係るグラファイト複合フィルム１の製造方法の一部を説明するための概略断面図である。具体的に、図４Ａ及び図４Ｂは、導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を準備する工程（１Ｂ）を説明するための概略断面図である。図４Ｃ及び図４Ｄは、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００をラミネートする工程（１Ｃ）を説明するための概略断面図である。図３Ａ〜図３Ｇ及び図４Ａ〜図４Ｄにおいて、図１Ａに示す実施形態の構成部材と同一の構成部材には同一符号を付して説明を省略する。具体的に、グラファイトフィルム５０はグラファイト層５０に対応し、第一の導電性接着シート４０は第一の導電性接着層４０に対応し、第二の導電性接着シート６０は第二の導電性接着層６０に対応する。

第二実施形態に係るグラファイト複合フィルム１の製造方法は、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する工程（１Ａ）と、導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を準備する工程（１Ｂ）と、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００をラミネートする工程（１Ｃ）とを含み、工程（１Ａ）、工程（１Ｂ）及び工程（１Ｃ）をこの順で行う。これにより、熱対策及び電磁ノイズ対策を同時に実現できるとともに、電磁波シールド性が劣化しにくいグラファイト複合フィルム１が得られる。

工程（１Ａ）：第一面１０Ａ及び第二面１０Ｂを有する保護フィルム１０の第一面１０Ａに第二の金属と第一の金属とをこの順に蒸着して、第二の金属を含む第二の防錆処理層８０と第一の金属を含む金属層２０とを形成する（以下、工程（１ａ１））。金属層２０の第一面２０Ａに防錆処理を施して第一の防錆処理層３０を形成して保護フィルム１０と金属蒸着フィルム１１０との積層体１１３を準備する（以下、工程（１ａ２））。この積層体１１３の第一の防錆処理層３０の表面３０Ａに、第一の導電性接着シート４０を配置してラミネートしてから、保護フィルム１０を剥離し（以下、工程（１ａ３））、金属蒸着フィルム１１０と第一の導電性接着シート４０とを有する導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する。

工程（１Ｂ）：第一面５０Ａ及び第二面５０Ｂを有するグラファイトフィルム５０の第一面５０Ａに、第二の導電性接着シート６０を配置してラミネートする。

工程（１Ｃ）：導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａとグラファイトフィルム５０の第二面５０Ｂとが重なるように配置してラミネートする。

本実施形態では、工程（１Ａ）、工程（１Ｂ）及び工程（１Ｃ）をこの順で行うが、本開示はこれに限定されない。その例として、工程（１Ｂ）、工程（１Ａ）及び工程（１Ｃ）をこの順に行ってもよい。

なお、本実施形態における工程（１Ｂ）及び工程（１Ｃ）は、第一実施形態における工程（１Ｂ）及び工程（１Ｃ）と同様の工程であるため、説明を省略する。

〔工程（１Ａ）〕
工程（１Ａ）では、第二の防錆処理層８０及び金属層２０を形成する工程（１ａ１）と、第一の防錆処理層３０を形成して積層体１１３を準備する工程と（１ａ２）、積層体１１３と第一の導電性接着シート４０とをラミネートしてから保護フィルム１０を剥離する工程（１ａ３）とをこの順で行う。これにより、第一の防錆処理層３０、金属層２０、及び第二の防錆処理層８０の積層体である金属蒸着フィルム１１０と第一の導電性接着シート４０とを有する導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する。

（工程（１ａ１））
工程（１ａ１）では、図３Ａに示す保護フィルム１０の第一面１０Ａに第二の金属を蒸着して、図３Ｂに示すような第二の防錆処理層８０を形成する。そして、第二の防錆処理層８０の表面８０Ａに第一の金属を蒸着して、図３Ｃに示すような金属層２０を形成する。

本実施形態で使用される保護フィルム１０は、第一実施形態で使用される保護フィルム１０と同じであってよい。

第一の金属を蒸着する方法は、真空蒸着法が好ましい。真空蒸着法の処理条件は、第一の金属の種類、金属層２０の厚さなどに応じて、適宜調整すればよい。

第二の金属を蒸着する方法は、第二の金属の種類、第二の防錆処理層８０の厚さなどに応じて適宜調整すればよく、例えば、電気めっき法、無電解めっき法、物理蒸着法、化学蒸着法などが挙げられる。物理的蒸着法としては、例えば、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などが挙げられる。第二の金属を蒸着する方法は、真空蒸着法が好ましい。真空蒸着法の処理条件は、第二の金属の種類、第二の防錆処理層８０の厚さなどに応じて、適宜調整すればよい。

工程（１ａ１）では、例えば、長尺状の保護フィルム１０を第二の金属を蒸着する製造工程へ連続的に繰り出し、第二の金属を蒸着する製造工程及び第一の金属を蒸着する製造工程をこの順に経由させ、第二の防錆処理層８０及び金属層２０を連続的に製造してもよい。

（工程（１ａ２））
工程（１ａ２）では、金属層２０の第一面２０Ａに防錆処理を施して図３Ｄに示すような第一の防錆処理層３０を形成する。この工程（１ａ２）を経て、図３Ｄに示す保護フィルム１０と金属蒸着フィルム１１０とを有する積層体１１３が得られる。

本実施形態の工程（１ａ２）における金属層２０の第一面２０Ａに防錆処理を施す方法は、第一実施形態の工程（１ａ１）における第一の防錆処理を施す方法と同じ方法を用いることができる。

工程（１ａ２）は、例えば、連続的な製造工程（１ａ１）をさらに第一の防錆処理層を形成する工程に経由させることで、工程（１ａ１）と連続させることができる。

（工程（１ａ３））
工程（１ａ３）では、積層体１１３の第一の防錆処理層３０の表面３０Ａに第一の導電性接着シート４０を配置してラミネートする。この際、図３Ｅに示すように、取扱い性に優れるなどの点で、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａに、第二の剥離シート１２０が取り付けられている。その後、保護フィルム１０を剥離し、図３Ｇに示す金属蒸着フィルム１１０と第一の導電性接着シート４０とを有する導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００が得られる。

図３Ｅに示す第二の剥離シート１２０が取り付けられた第一の導電性接着シート４０の製造方法としては、図２Ｄに示す第一の導電性接着シート４０の製造方法を同じであってよい。

積層体１１３と、第一の導電性接着シート４０とをラミネートする方法としては、例えば、積層体１１３の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとが対向するように、積層体１１３及び第一の導電性接着シート４０を配置する。その後、積層体１１３の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとを接触加圧して密着させる方法などが挙げられる。

工程（１ａ３）では、例えば、積層体１１３及び長尺状の第一の導電性接着シート４０を一対のロール間に繰り出し、一対のロール間に挟み込んで積層体１１３及び第一の導電性接着シート４０を面接触させることでラミネートしてもよい。

本実施形態では、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａに第二の剥離シート１２０が取り付けられているが、本発明はこれに限定されず、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａに第二の剥離シート１２０が取り付けられていなくてもよい。

本実施形態では、工程（１Ａ）は、工程（１ａ１）、工程（１ａ２）、及び工程（１ａ３）を含むが、本発明はこの工程順に限定されず、例えば、工程（１ａ１）及び工程（１ａ２）の後に、積層体１１３から保護フィルム１０を剥離することにより金属蒸着フィルム１１０を作製してから金属蒸着フィルム１１０と第一の導電性接着シート４０とをラミネートする方法でもよい。また、工程（１ａ１）の後に保護フィルム１０を剥離してから工程（１ａ２）によって第一の防錆処理層３０を形成し、その後、金属蒸着フィルム１１０と第一の導電性接着シート４０とをラミネートする方法などによって導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を作製してもよい。

本実施形態では、工程（１Ａ）、工程（１Ｂ）及び工程（１Ｃ）を含むが、本開示はこの積層順に限定されず、以下の方法が挙げられる。例えば、積層体１１３、第一の導電性接着シート４０、グラファイトフィルム５０、及び第二の導電性接着シート６０を同時にラミネートした後に、保護フィルム１０を剥離することで、グラファイト複合フィルム１を製造する方法が挙げられる。また、第一の導電性接着シート４０、グラファイトフィルム５０、及び第二の導電性接着シート６０をラミネートすることで積層フィルムを得、得られた積層フィルムと、金属蒸着フィルム１１０とをラミネートすることで、グラファイト複合フィルム１を製造する方法法が挙げられる。また、金属蒸着フィルム１１０、第一の導電性接着シート４０及びグラファイトフィルム５０をラミネートすることで積層フィルムを得、得られた積層フィルムと、第二の導電性接着シート６０とをラミネートすることで、グラファイト複合フィルム１を製造する方法などが挙げられる。

以下、本発明を実施例によって具体的に説明する。

［実施例１］
〔工程（１Ａ）〕
（工程（１ａ１））
保護フィルム１０として、ポリエステルフィルム（東レ株式会社製の「ＣＸ４０」、主な原料：ＰＥＴ、厚さ：６μｍ）を準備した。第一の金属として銅（日立マテリアル社製の無酸素銅）を用いて真空蒸着法により、保護フィルム１０の第一面１０Ａに蒸着して図２Ｂに示すような金属層２０（厚さ：１μｍ）を形成した。次いで、防錆剤（東栄化成株式会社製のシーアイガード「ＧＷ−１７２Ｐ」）を金属層２０の第一面２０Ａにローラー塗装して、乾燥し、図２Ｃに示すような第一の防錆処理層３０（厚さ：４ｎｍ）を形成した。これにより、図２Ｃに示す第一の積層体１１１を得た。

（工程（１ａ２））
第二の剥離シート１２０が取り付けられた第一の導電性接着シート４０として、導電性両面接着シート（ＤＩＣ株式会社製のＤＡＩＴＡＣ（登録商標）「＃８５０６ＡＤＷ−１０−Ｈ２」、金属基材：アルミニウムからなる基材、厚さ：１０μｍ）の一方の面４１Ａから剥離シートを剥離したシートを準備した。

図２Ｄに示すように、第一の積層体１１１の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとが対向するように、第一の積層体１１１及び第一の導電性接着シート４０を配置し、第一の積層体１１１の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとを接触加圧して密着させた。これにより、図２Ｅに示す第二の積層体１１２を得た。

（工程（１ａ３））
第二の積層体１１２から保護フィルム１０であるポリエステルフィルムを剥離ローラーに押しあてて剥離した。次いで、防錆剤（東栄化成株式会社製のシーアイガード「ＧＷ−１７２Ｐ」）を金属層２０の第二面２０Ｂにローラー塗装して、乾燥し、図２Ｇに示すような第二の防錆処理層８０（厚さ：４ｎｍ）を形成した。これにより、図２Ｇに示す導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を得た。

〔工程（１Ｂ）〕
第一の剥離シート７０が取り付けられた第二の導電性接着シート６０として、第一の導電性接着シート４０と同じ製品である導電性両面接着シートの一方の面６１Ａから剥離シートを剥離したシートを準備した。グラファイトフィルム５０として、１０ｃｍ×１２ｃｍのサイズカットしたグラファイトフィルム（パナソニック株式会社製の「ＰＧＳ（登録商標）グラファイトシート」、厚さ：２５μｍ）を準備した。

図４Ａに示すように、第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａが上向きとなるように第二の導電性接着シート６０を配置し、グラファイトフィルム５０を第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａ上に置いた。これにより、図４Ｂに示す導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を得た。

〔工程（１Ｃ）〕
図４Ｃに示すように、グラファイトフィルム５０が配置された側の面２００Ａが上向きとなるように導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を配置し、グラファイトフィルム５０全体を覆うように導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００の表面２００Ａ上に置き、１０ｃｍ×１２ｃｍのサイズにカットした。これにより、図４Ｄに示すグラファイト複合フィルム１を得た。

［実施例２］
（工程（１ａ１））
保護フィルム１０として、ポリエステルフィルム（東レ株式会社製の「ＣＸ４０」、主な原料：ＰＥＴ、厚さ：６μｍ）を準備した。第二の金属としてニッケル（住友金属鉱山製の電解ニッケル）を用いて真空蒸着法により、保護フィルム１０の第一面１０Ａに蒸着して図３Ｂに示すような第二の防錆処理層８０（厚さ：４０ｎｍ）を形成した。次いで、第一の金属として銅（日立マテリアル社製の無酸素銅）を用いて真空蒸着法により、第二の防錆処理層８０の表面８０Ａに蒸着して図３Ｃに示すような金属層２０（厚さ：１μｍ）を形成した。

（工程（１ａ２））
防錆剤（東栄化成株式会社製のシーアイガード「ＧＷ−１７２Ｐ」）を金属層２０の第一面２０Ａにローラー塗装して、乾燥し、図３Ｄに示すような第一の防錆処理層３０（厚さ：４ｎｍ）を形成した。これにより、図３Ｄに示す積層体１１３を得た。

（工程（１ａ３））
第二の剥離シート１２０が取り付けられた第一の導電性接着シート４０として、導電性両面接着シート（ＤＩＣ株式会社製のＤＡＩＴＡＣ（登録商標）「＃８５０６ＡＤＷ−１０−Ｈ２」、金属基材：アルミニウムからなる基材、厚さ：１０μｍ）の一方の面４１Ａから剥離シートを剥離したシートを準備した。

図３Ｅに示すように、積層体１１３の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとが対向するように、積層体１１３及び第一の導電性接着シート４０を配置し、積層体１１３の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとを接触加圧して密着させた。次いで、保護フィルム１０であるポリエステルフィルムを剥離ローラーに押しあてて剥離した。これにより、図３Ｇに示す導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を得た。

〔工程（１Ｂ）〕
第一の剥離シート７０が取り付けられた第二の導電性接着シート６０として、第一の導電性接着シート４０と同じ製品である導電性両面接着シートの一方の面６１Ａから剥離シートを剥離したシートを準備した。グラファイトフィルム５０として、１０ｃｍ×１２ｃｍのサイズカットしたグラファイトフィルム（パナソニック株式会社製の「ＰＧＳ（登録商標）グラファイトシート」、厚さ：２５μｍ）を準備した。

図４Ａに示すように、第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａが上向きとなるように第二の導電性接着シート６０を配置し、グラファイトフィルム５０を第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａ上に置いた。これにより、図４Ｂに示す導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を得た。

〔工程（１Ｃ）〕
図４Ｃに示すように、グラファイトフィルム５０が配置された側の面２００Ａが上向きとなるように導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を配置し、グラファイトフィルム５０全体を覆うように導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００の表面２００Ａ上に置き、１０ｃｍ×１２ｃｍのサイズにカットした。これにより、図４Ｄに示すグラファイト複合フィルム１を得た。

［比較例１］
〔工程（１Ａ）〕
（工程（１ａ１））
図５Ａに示す保護フィルム１０として、ポリエステルフィルム（東レ株式会社製の「ＣＸ４０」、主な原料：ＰＥＴ、厚さ：６μｍ）を準備した。第一の金属として銅（日立マテリアル社製の無酸素銅）を用いて真空蒸着法により、保護フィルム１０の第一面１０Ａに蒸着して図５Ｂに示すような金属層２０（厚さ：１μｍ）を形成した。次いで、防錆剤（東栄化成株式会社製のシーアイガード「ＧＷ−１７２Ｐ」）を金属層２０の第一面２０Ａにローラー塗装して、乾燥し、図５Ｃに示すような防錆処理層３０（厚さ：４ｎｍ）を形成した。これにより、図５Ｃに示す金属蒸着フィルム１１０を得た。

（工程（１ａ２））
第二の剥離シート１２０が取り付けられた第一の導電性接着シート４０として、導電性両面接着シート（ＤＩＣ株式会社製のＤＡＩＴＡＣ（登録商標）「＃８５０６ＡＤＷ−１０−Ｈ２」、金属基材：アルミニウムからなる基材、厚さ：１０μｍ）の一方の面４１Ａから剥離シートを剥離したシートを準備した。

図５Ｄに示すように、金属蒸着フィルム１１０の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとが対向するように、金属蒸着フィルム１１０及び第一の導電性接着シート４０を配置し、金属蒸着フィルム１１０の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとを接触加圧して密着させた。これにより、図５Ｅに示す導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を得た。

〔工程（１Ｂ）〕
第一の剥離シート７０が取り付けられた第二の導電性接着シート６０として、第一の導電性接着シート４０と同じ製品である導電性両面接着シートの一方の面６１Ａから剥離シートを剥離したシートを準備した。グラファイトフィルム５０として、１０ｃｍ×１２ｃｍのサイズカットしたグラファイトフィルム（パナソニック株式会社製の「ＰＧＳ（登録商標）グラファイトシート」、厚さ：２５μｍ）を準備した。

図４Ａに示すように、第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａが上向きとなるように第二の導電性接着シート６０を配置し、グラファイトフィルム５０を第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａ上に置いた。これにより、図４Ｂに示す導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を得た。

〔工程（１Ｃ）〕
図４Ｃに示すように、グラファイトフィルム５０が配置された側の面２００Ａが上向きとなるように導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を配置し、グラファイトフィルム５０全体を覆うように導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００の表面２００Ａ上に置き、１０ｃｍ×１２ｃｍのサイズにカットした。これにより、図４Ｄに示すグラファイト複合フィルム１を得た。

［比較例２］
工程（１ａ１）において、第一の防錆処理層３０を形成しなかった他は、比較例１と同様にしてグラファイト複合フィルム１を得た。

［電磁波シールド性試験］
得られたグラファイト複合フィルム１から第一の剥離シート７０を剥離し、グラファイト複合フィルム１の表面１Ａと被着体の表面とを接触加圧して密着し、サンプル１を得た。このサンプル１に、４０℃、９５％ＲＨ、２５０時間の暴露条件で暴露処理を実施し、実施例１〜２及び比較例１〜２の各々のグラファイト複合フィルム１についてサンプル２を得た。

暴露処理を１０５℃とした他は、サンプル２と同様にして、サンプル３を得た。

［電磁波シールド性の測定］
被着体から剥離した各サンプル１、２、３の、５００ＭＨｚの周波数帯域での電界シールド性能と磁界シールド性能とを、それぞれ一般社団法人ＫＥＣ関西電子工業振興センターのＫＥＣ法に準拠して測定した。

サンプル１、２及び３の電界シールド性能及び磁界シールド性能の測定結果を表１に示す。

（第三実施形態）
［グラファイト複合フィルム１］
図６Ａは、本実施形態に係るグラファイト複合フィルム１の本体部の概略断面図である。図６Ｂは、グラファイト複合フィルム１の端部の概略断面図である。

本実施形態に係るグラファイト複合フィルム１は、図６Ａに示すように、第二の導電性接着層６０と、グラファイト層５０と、第一の導電性接着層４０と、金属層２０と、保護フィルム１０と、防錆処理層３１とを有する。金属層２０は、第一の金属を含む。第二の導電性接着層６０と、グラファイト層５０と、第一の導電性接着層４０と、金属層２０と、保護フィルム１０とがこの順に積層されている。防錆処理層３１は、第一の導電性接着層４０と金属層２０との間に介在している。さらに、第一の剥離シート７０が第二の導電性接着層６０の表面６０Ａに取り付けられている。

グラファイト複合フィルム１はこのような構成であるので、被着体に貼り付けるだけで、電磁機器の熱対策及び電磁ノイズ対策を同時に実現できる。すなわち、熱伝導性に優れるグラファイト層５０を有するので、被着体の熱をグラファイト複合フィルム１の面方向に放散させて、被着体の温度を低下させることができる。面方向とは、グラファイト層５０の厚み方向に対して垂直な方向をいう。また、金属層２０を有するので、金属層２０に当たる電磁波を反射させることができる。これは、金属層２０に電磁波が当たると、金属層２０内に電磁誘導により渦電流が生じ、これが電磁波を反射するためと推測される。特に、被着体が導電性を有する場合、金属層２０は被着体と電気的に接続されて接地されるので、金属層２０内に生じた渦電流は被着体へ解放（グランド）され、より優れた電磁波シールド性を発現する。

さらに、防錆処理層３１が、第一の導電性接着層４０と金属層２０との間に介在しているので、金属層２０の防錆処理層３１が配置される側の第一面２０Ａが変色（以下、腐食）しにくく、電磁波シールド性が劣化しにくい。これは、防錆処理層３１が金属層２０の腐食の進行を抑制することで、金属層２０のシート抵抗が経時的に上昇しにくくなり、発生した渦電流のエネルギーが熱エネルギーに変換されにくくなるためと推測される。

グラファイト複合フィルム１の端面１Ｅにおいて、図６Ｂに示すように、グラファイト層５０の端面５０Ｅは露出していない。すなわち、グラファイト層５０の端面５０Ｅは第一の導電性接着層４０及び第二の導電性接着層６０で覆われている。これにより、グラファイト層５０内の層間剥離に起因するグラファイト複合フィルム１の断裂を防ぐと同時に、グラファイト層５０の粉落ちを防ぐことができる。

グラファイト複合フィルム１の厚みは好ましくは１５μｍ以上８００μｍ以下である。グラファイト複合フィルム１の厚さは、グラファイト複合フィルム１の断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察して得られた画像に基づいて測定することができる。以下のグラファイト複合フィルム１を構成する各層の厚さも同様に測定することができる。

グラファイト複合フィルム１は、例えば、使用直前に第一の剥離シート７０をグラファイト複合フィルム１から剥離して、被着体に貼り付けて使用することができる。被着体としては、例えば、電子機器の筐体内部に配置された電子部品などが挙げられる。電子部品としては、例えば、液晶ユニットの背面シャーシ、液晶画像表示装置のバックライトなどに使用される発光ダイオード（ＬＥＤ）光源を備えたＬＥＤ基板、パワーアンプ、大規模集積回路（ＬＳＩ）などが挙げられる。第一の剥離シート７０としては、紙、樹脂フィルム、紙と樹脂フィルムとを積層したラミネート紙、紙にクレーやポリビニルアルコールなどで目止め処理を施したものの片面又は両面に、シリコーン系樹脂等の剥離処理を施したものなどを用いることができる。ここで、紙としては、クラフト紙、グラシン紙、上質紙などが挙げられる。また、樹脂フィルムとしては、の紙；ポリエチレン、ポリプロピレン（ＯＰＰ、ＣＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などが挙げられる。

本実施形態に係るグラファイト複合フィルム１は、第二の導電性接着層６０、グラファイト層５０、第一の導電性接着層４０、防錆処理層３１、金属層２０、及び保護フィルム１０がこの順に積層された構成を有する。しかし、本開示はこれに限定されず、グラファイト層５０、第一の導電性接着層４０、防錆処理層３１、金属層２０、及び保護フィルム１０がこの順に配置された構成であればよく、これらの層の間には、本発明の効果を阻害しない層が積層されていてもよい。本実施形態は、グラファイト層５０の端面５０Ｅは第一の導電性接着層４０及び第二の導電性接着層６０で覆われているが、本開示はこれに限定されず、グラファイト層５０の端面５０Ｅは露出していてもよい。また、本実施形態では、図６Ｂに示すように、金属層２０の端面は露出しているが、本開示はこれに限定されず、金属層２０の端面は保護フィルム１０で覆われていてもよい。金属層２０の端面が保護フィルム１０で覆われることで、金属層２０の端面は腐食しにくくなり、グラファイト複合フィルム１の電磁波シールド性がより劣化しにくくなる。

（保護フィルム１０）
グラファイト複合フィルム１は、保護フィルム１０を備える。これにより、金属層２０の保護フィルム１０が配置される側の第二面２０Ｂの酸化の進行を抑止することができるとともに、金属層２０の第二面２０Ｂに傷が付くことなどを防止することができる。さらに、グラファイト複合フィルム１の表面１Ｂに電気的絶縁性を付与することができる。

保護フィルム１０の原料としては、例えば、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、オレフィン系樹脂、スチレン樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリカーボネート、アクリロニトリル・スチレン共重合樹脂（ＡＳ樹脂）、ポリアクリロニトリル、ブタジエン樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合樹脂（ＡＢＳ樹脂）、アクリル樹脂、ポリアセタール、ポリフェニレンエーテル、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、ポリイミド、ポリスルフィド、ポリウレタン、酢酸ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、脂肪族ポリアミド、合成ゴム、芳香族ポリアミド、ポリビニルアルコールなどを用いることができる。必要に応じて、保護フィルム１０は、難燃剤、帯電防止剤、酸化防止剤、金属不活性化剤、可塑剤、滑剤などをさらに含有してもよい。保護フィルム１０の厚さは、好ましくは０．５μｍ以上２００μｍ以下である。

グラファイト複合フィルム１の厚み方向Ｔから見た保護フィルム１０の表面形状はベタ状である。すなわち、保護フィルム１０の厚み方向Ｔから見て、保護フィルム１０がグラファイト複合フィルム１の表面の全領域に隙間なく設けられた状態であり、金属層２０は露出していない。

（金属層２０）
グラファイト複合フィルム１は、金属層２０を備える。これにより、グラファイト複合フィルム１は電磁波シールド性を有する。

金属層２０は、第一の金属を含む。第一の金属としては、グラファイト複合フィルム１の原料に応じて適宜選択すればよく、例えば、銀、銅、金、アルミニウム、マグネシウム、タングステン、コバルト、亜鉛、ニッケル、黄銅、カリウム、リチウム、鉄、白金、スズ、クロム、鉛、チタンなどを用いることができる。なかでも、第一の金属は、グラファイト複合フィルム１の電磁波シールド性を向上させるなどの点から、グラファイト複合フィルム１の原料の中で体積固有抵抗が低い原料であることが好ましく、銅であることがより好ましい。

金属層２０の厚さは、好ましくは０．１０μｍ以上５．００μｍ以下、より好ましくは０．５０μｍ以上２.００μｍ以下である。

本実施形態では、金属層２０の厚み方向Ｔから見た表面形状はベタ状であるが、本開示はこれに限定されない。その例として、メッシュ状、ワイヤー状などをさらに挙げることができる。

（防錆処理層３１）
グラファイト複合フィルム１は、防錆処理層３１を備える。防錆処理層３１は、第一の導電性接着層４０と金属層２０との間に介在している。これにより、金属層２０の第一面２０Ａが腐食しにくくなる。これは、防錆処理層３１により、主として、第一の導電性接着層４０中に含まれる水分及び酸素の成分などが金属層２０の表面に到達しにくくなり、金属層２０の原料と、第一の導電性接着層４０中の成分との電気化学反応が進行しにくいためと推測される。

防錆処理層３１としては、例えば、有機皮膜、金属皮膜などを用いることができる。

有機皮膜としては、金属層２０の原料に応じて適宜調整すればよく、例えば、ベンゾトリアゾール皮膜、トリアジンアミン皮膜、メルカプトベンゾイミダゾール皮膜、チオジプロピオン酸エステル皮膜、ベンゾイミダゾール皮膜などが挙げられる。なかでも、第一の金属が銅である場合、有機皮膜はベンゾトリアゾール皮膜であることが好ましい。有機皮膜がベンゾトリアゾール皮膜であれば、銅からなる金属層２０は腐食しにくくなる。

ベンゾトリアゾール皮膜は、主に銅イオンと、ベンゾトリアゾールアニオン又はベンゾトリアゾール誘導体アニオンとの重合錯体皮膜であると推測される。ベンゾトリアゾール皮膜の原料としては、例えば、ベンゾトリアゾール、ベンゾトリアゾール誘導体などを用いることができる。ベンゾトリアゾールの誘導体としては、例えば、ベンゾトリアゾール、２−（５−メチルー２−ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、１、２，３−ベンゾトリアゾール、２−［２−ヒドロキシ−３，５−ビス（α、α−ジメチルベンジル）フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾールなどを用いることができる。トリアジンアミン皮膜の原料としては、例えば、２，４−ジアミノ−６−［２’−メチルイミダゾリル−（１’）］−エチル−ｓ−トリアジンなどを用いることができる。メルカプトベンゾイミダゾール皮膜の原料としては、例えば、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−５−メチルベンゾイミダゾール、２−メルカプト−５−メトキシベンゾイミダゾールなどを用いることができる。チオジプロピオン酸エステル皮膜の原料としては、例えば、ジステアリル−３、３’−チオジプロピオネート、ジラウリル−３，３’−チオジプロピオネートなどを用いることができる。ベンゾイミダゾール皮膜の原料としては、例えば、２−メチルベンゾイミダゾール、５−メチルベンゾイミダゾール、１−ヒドロキシ−５−メトキシ−２−メチルベンゾイミダゾール−３−オキシド、２−アミノベンゾイミダゾールなどを用いることができる。

金属皮膜の原料としては、例えば、亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウムなどの純金属；これら純金属を含んでなる合金などを用いることができる。なかでも、第一の金属が銅である場合、金属皮膜は亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウム及びこれらの合金よりなる群から選択された少なくとも一つの第二の金属を含むことが好ましい。金属皮膜が第二の金属からなれば、銅からなる金属層２０は腐食しにくくなる。

防錆処理層３１の厚さＴ３０は、金属層２０の厚さＴ２０以下であることが好ましい。これにより、グラファイト複合フィルム１のフレキシブル性を確保できると同時に、グラファイト複合フィルム１を軽量化することができる。具体的に、防錆処理層３１の厚さＴ３０は、好ましくは０．００２μｍ以上０．１００μｍ以下、より好ましくは０．００２μｍ以上０．０４０μｍ以下である。グラファイト複合フィルム１の厚み方向Ｔから見た防錆処理層３１の表面形状はベタ状である。

（第一の導電性接着層４０）
グラファイト複合フィルム１は、第一の導電性接着層４０を備える。これにより、防錆処理層３１と、グラファイト層５０とを、接着固定できると同時に電気的に接続できる。

第一の導電性接着層４０は、図６Ａに示すように、第一の粘着層４１、第一の金属基材４２及び第二の粘着層４３がこの順で積層された構成を有する。第一の導電性接着層４０は、第一の金属基材４２を含むので、第一の導電性接着層４０は導電性に優れる。第一の導電性接着層４０の厚みは、好ましくは２μｍ以上３００μｍ以下である。グラファイト複合フィルム１の厚み方向Ｔから見た第一の導電性接着層４０の表面形状はベタ状である。

第一の粘着層４１は、導電性及び粘着性を有する導電性粘着剤からなる。導電性粘着剤としては、例えば、重合体及び導電性フィラーを含有し、必要に応じて、架橋剤、添加剤、溶剤をさらに含有してもよい。重合体としては、アクリル系重合体、ゴム系重合体、シリコーン系重合体、ウレタン系重合体などを用いることができる。なかでも、グラファイト複合フィルム１を発熱材に貼付した場合であっても熱の影響による剥がれを起こしにくい点で、アクリル系重合体及びゴム系重合体を用いることが好ましい。アクリル系重合体としては、（メタ）アクリル単量体などのビニル単量体を重合して得られるものを用いることができる。導電性フィラーとしては、例えば、金属系フィラー、カーボン系フィラー、金属複合系フィラー、金属酸化物系フィラー、チタン酸カリウム系フィラーなどを用いることができる。金属系フィラーの原料としては、銀、ニッケル、銅、スズ、アルミニウム、ステンレスなどが挙げられる。カーボン系フィラーの原料としては、ケッチェンブラック、アセチレンブラック、黒鉛などを用いることができる。金属複合系フィラーの原料としては、アルミニウムコートガラス、ニッケルコートガラス、銀コートガラス、ニッケルコート炭素などを用いることができる。金属酸化物系フィラーの原料としては、アンチモンドープ酸化スズ、スズドープ酸化インジウム、アルミニウムドープ酸化亜鉛などを用いることができる。導電性フィラーの形状は、特に限定されず、例えば、粉末、フレーク、繊維などが挙げられる。架橋剤としては、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、キレート系架橋剤、アジリジン系架橋剤などを用いることができる。添加剤としては、第一の粘着層４１の粘着力をより一層向上させることを目的として、粘着付与樹脂を使用することができる。粘着付与樹脂としては、例えばロジン系樹脂、テルペン系樹脂、脂肪族（Ｃ５系）又は芳香族（Ｃ９系）などの石油樹脂、スチレン系樹脂フェノール系樹脂、キシレン系樹脂、メタクリル系樹脂などを用いることができる。第一の粘着層４１の厚みは、好ましくは０．２μｍ以上５０μｍ以下、より好ましくは２μｍ以上２０μｍ以下である。

第一の金属基材４２の原料としては、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、錫、これらの合金などを用いることができる。なかでも、第一の金属基材４２の原料は、柔軟性、熱導電性などの点で、アルミニウム又は銅であることが好ましく、金属の不動態化により腐食が進行しにくいなどの点でアルミニウムがさらに好ましい。アルミニウムからなる金属基材としては、硬質アルミニウムからなる硬質アルミニウム基材、軟質アルミニウムからなる軟質アルミニウム基材を用いることができる。硬質アルミニウム基材は、アルミニウムを圧延して得たアルミ箔からなる。軟質アルミニウム基材は、アルミニウムを圧延し、焼鈍処理をして得られたアルミニウム箔からなる。銅からなる金属基材としては、例えば電解銅からなる基材、圧延銅からなる基材を用いることができる。第一の金属基材４２の厚みは、好ましくは２００μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下である。

第二の粘着層４３は、導電性及び粘着性を有し、例えば、重合体及び導電性フィラーを含有する。第二の粘着層４３は、第一の粘着層４１と同様の構成である。

本実施形態では、第一の導電性接着層４０は、図６Ａに示すように、第一の粘着層４１、第一の金属基材４２及び第二の粘着層４３がこの順で積層された構成を有するが、本開示はこれに限定されない。その例として、第一の導電性接着層４０は導電性樹脂からなる単層であってもよい。また、本実施形態では、第二の粘着層４３は第一の粘着層４１と同じ構成であるが、本開示ではこれに限定されず、導電性及び粘着性を有すれば、第一の粘着層４１と異なる構成であってもよい。

（グラファイト層５０）
グラファイト複合フィルム１は、グラファイト層５０を備える。これにより、被着体の熱を効率良く伝導し放散することができると同時に、グラファイト複合フィルム１の電磁シールド性を向上させることができる。

グラファイト層５０は、面方向において優れた電気伝導性及び熱伝導性を有する。グラファイト層５０の原料としては、例えば、炭素の層状結晶体グラファイト（黒鉛）；黒鉛を母体とし、その層間に化学種が侵入して形成された黒鉛層間化合物（Graphite Intercalation Compound）などを用いることができる。化学種としては、例えば、カリウム、リチウム、臭素、硝酸、塩化鉄（III）、六塩化タングステン、五フッ化ヒ素などが挙げられる。また、グラファイト層５０は、例えば、グラファイトフィルムを１枚又は複数枚を積層したものであってもよい。グラファイトフィルムとしては、例えば、高分子フィルムを高温で焼成して生成された熱分解性グラファイトシートや、膨張グラファイト法により生成された膨張グラファイトシートなどを用いることができる。なかでも、熱伝導率が高く、軽量で柔軟性があり、加工が容易であるなどの点で、グラファイトフィルムとして、高分子フィルムを高温で焼成して生成された熱分解性グラファイトシートを用いることが好ましい。高分子フィルムとしては、例えば、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミドなどの耐熱性の芳香族高分子などを用いることができる。高分子フィルムを焼成する温度は、好ましくは２６００℃以上３０００℃以下である。膨張グラファイト法は、天然グラファイト鉛を硫酸などの強酸で処理することで層間化合物を形成させ、これを加熱及び膨張させた際に生じる膨張グラファイトを圧延してシート状にする方法である。グラファイトフィルムの厚みは、好ましくは１０μｍ以上１００μｍ以下である。

熱分解性グラファイトシートの熱伝導率は、ａ−ｂ面方向が好ましくは７００Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上１９５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下、ｃ軸方向が好ましくは８Ｗ／ｍ・Ｋ以上１５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下である。熱分解性グラファイトシートの密度は、好ましくは０．８５ｇ／ｃｍ^３以上２．１３ｇ／ｃｍ^３以下である。このような熱分解性グラファイトシートとしては、例えば、パナソニック株式会社製の「ＰＧＳ（登録商標）グラファイトシート」を用いることができる。

グラファイト層５０の厚みは、好ましくは５μｍ以上５００μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以上２００μｍ以下である。グラファイト複合フィルム１の厚み方向Ｔから見たグラファイト層５０の表面形状はベタ状である。

（第二の導電性接着層６０）
グラファイト複合フィルム１は、第二の導電性接着層６０を備える。これにより、グラファイト複合フィルム１を被着体に密着させることができ、グラファイト複合フィルム１の優れた放熱性を発現させやすくなると同時に、グラファイト層５０と被着体とを電気的に接続することができる。このように、金属層２０と被着体とは電気的に接続されるので、被着体が導電性を有する場合、グラファイト複合フィルム１の電磁波シールド性はより優れる。

第二の導電性接着層６０は、図６Ａに示すように、第三の粘着層６１、第二の金属基材６２及び第四の粘着層６３がこの順で積層されてなる。第二の導電性接着層６０の構成は、第一の導電性接着層４０と同様の構成である。

本実施形態では、第二の導電性接着層６０は、図６Ａに示すように、第三の粘着層６１、第二の金属基材６２及び第四の粘着層６３がこの順で積層されてなるが、本開示はこれに限定されない。その例として、第二の導電性接着層６０は導電性樹脂からなる単層であってもよい。また、本実施形態では、第二の導電性接着層６０の構成は、第一の導電性接着層４０と同様の構成であるが、本開示はこれに限定されず、導電性及び粘着性を有すれば、第一の導電性接着層４０と異なる構成であってもよい。

［本実施形態に係るグラファイト複合フィルムの製造方法］
図７Ａ〜図７Ｉは、本実施形態に係るグラファイト複合フィルム１の製造方法を説明するための概略断面図である。具体的に、図７Ａ〜図７Ｅは、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する工程（２Ａ）を説明するための概略断面図である。図７Ｆ及び図７Ｇは、導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を準備する工程（２Ｂ）を説明するための概略断面図である。図７Ｈ及び図７Ｉは、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００をラミネートする工程（２Ｃ）を説明するための概略断面図である。図７Ａ〜図７Ｉにおいて、図６Ａに示す実施形態の構成部材と同一の構成部材には同一符号を付して説明を省略する。具体的に、グラファイトフィルム５０はグラファイト層５０に対応し、第一の導電性接着シート４０は第一の導電性接着層４０に対応し、第二の導電性接着シート６０は第二の導電性接着層６０に対応する。

本実施形態に係るグラファイト複合フィルム１の製造方法は、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する工程（２Ａ）と、導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を準備する工程（２Ｂ）と、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００をラミネートする工程（２Ｃ）とを含み、工程（２Ａ）、工程（２Ｂ）及び工程（２Ｃ）をこの順で行う。これにより、熱対策及び電磁ノイズ対策を同時に実現できるとともに、電磁波シールド性が劣化しにくいグラファイト複合フィルム１が得られる。

工程（２Ａ）：第一面１０Ａ及び第二面１０Ｂを有する保護フィルム１０の第一面１０Ａに第一の金属を蒸着して金属層２０を形成し、金属層２０の第一面２０Ａに防錆処理を施して防錆処理層３１を形成して金属蒸着フィルム１１０を準備する（以下、工程（２ａ１））。その後、この金属蒸着フィルム１１０の防錆処理層３１の表面３０Ａに、第一の導電性接着シート４０を配置してラミネートする（以下、工程（２ａ２））。

工程（２Ｂ）：第一面５０Ａ及び第二面５０Ｂを有するグラファイトフィルム５０の第一面５０Ａに、第二の導電性接着シート６０を配置してラミネートする。

工程（２Ｃ）：導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａとグラファイトフィルム５０の第二面５０Ｂとが重なるように配置してラミネートする。

本実施形態は、工程（２Ａ）、工程（２Ｂ）及び工程（２Ｃ）をこの順で行うが、本開示はこれに限定されない。その例として、工程（２Ｂ）、工程（２Ａ）及び工程（２Ｃ）をこの順に行ってもよい。

〔工程（２Ａ）〕
工程（２Ａ）では、金属蒸着フィルム１１０を準備する工程（２ａ１）と、金属蒸着フィルム１１０と第一の導電性接着シート４０とをラミネートする工程（２ａ２）とをこの順で行う。これにより、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を準備する。

（工程（２ａ１））
工程（２ａ１）では、図７Ａに示す保護フィルム１０の第一面１０Ａに第一の金属を蒸着して、図７Ｂに示すような金属層２０を形成し、金属層２０の第一面２０Ａに防錆処理を施して図７Ｃに示すような防錆処理層３１を形成する。この工程（２ａ１）を経て、図７Ｃに示す金属蒸着フィルム１１０が得られる。

第一の金属を蒸着する方法は、真空蒸着法が好ましい。真空蒸着法の処理条件は、第一の金属の種類、金属層２０の厚みなどに応じて、適宜調整すればよい。

金属層２０の第一面２０Ａに防錆処理を施す方法としては、防錆処理層３１の原料に応じて、次のように適宜調整すればよい。

防錆処理層３１が有機皮膜である場合、金属層２０の第一面２０Ａに防錆処理を施す方法としては、例えば、上述した有機皮膜の原料を溶媒に添加して防錆処理液を得、この防錆処理液を金属層２０の第一面２０Ａに塗装し、乾燥させる方法などが挙げられる。有機皮膜の原料の添加量は、防錆処理層３１の厚みなどに応じて適宜調整すればよい。溶媒としては、有機皮膜の原料に応じて、適宜調整すればよく、例えば、水、イソプロプレンアルコールなどが挙げられる。防錆処理液は、必要に応じて、その他の成分を含有してもよい。その他の成分としては、例えばカルボン酸無水物などが挙げられる。カルボン酸無水物としては、無水酢酸、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水プロピオン酸、無水フタル酸を用いることができる。防錆処理液の塗装方法としては、特に限定されず、例えば、ローラー塗装、ロールコーター塗装、スピンコーター塗装、カーテンロールコーター塗装、スリットコーター塗装、スプレー塗装、浸漬塗装などが挙げられる。防錆処理液を乾燥させる際、必要に応じて加熱してもよい。

防錆処理層３１が金属皮膜である場合、金属層２０の第一面２０Ａに防錆処理を施す方法としては、金属皮膜の原料、防錆処理層３１の厚みなどに応じて適宜調整すればよく、例えば、電気めっき法、無電解めっき法、物理蒸着法、化学蒸着法などが挙げられる。物理蒸着法としては、例えば、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などが挙げられる。防錆処理を施す際の処理条件などは、金属皮膜の原料、防錆処理層３１の厚みなどに応じて適宜調整すればよい。

工程（２ａ１）では、例えば、長尺状の保護フィルム１０を第一の金属を蒸着する製造工程へ連続的に繰り出し、第一の金属を蒸着する製造工程及び防錆処理を施す製造工程をこの順に経由させ、金属蒸着フィルム１１０を連続的に製造してもよい。

（工程（２ａ２））
工程（２ａ２）では、図７Ｄに示すように、金属蒸着フィルム１１０の防錆処理層３１の表面３０Ａに第一の導電性接着シート４０を配置してラミネートする。この際、図７Ｄに示すように、取扱い性に優れるなどの点で、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａに、第二の剥離シート１２０が取り付けられている。この工程（２ａ２）を経て、図７Ｅに示す、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００が得られる。

図７Ｄに示す第二の剥離シート１２０が取り付けられた第一の導電性接着シート４０の製造方法としては、例えば、以下の工程を含む方法などが挙げられる。
・第三の剥離シートの表面上に、導電性粘着剤を塗布して第一の粘着層４１を形成する工程。
・第二の剥離シート１２０の表面１２０Ａ上に、導電性粘着剤を塗布し、乾燥して第二の粘着層４３を形成する工程。
・第一面４２Ａ及び第二面４２Ｂを有する第一の金属基材４２の第一面４２Ａに第一の粘着層４１を、第二面４２Ｂに第二の粘着層４３をそれぞれ貼り合わせて積層フィルムとし、養生させた後、この積層フィルムから第三の剥離シートを剥離する工程。

導電性粘着剤の塗布方法としては、ロールコーター、ダイコーターなどを用いる方法などが挙げられる。

導電性粘着剤が溶剤を含有する場合には、５０℃〜１２０℃程度の環境下で乾燥して溶媒を除去することが好ましい。養生の処理条件は、処理温度が好ましくは１５℃以上５０℃以下、処理時間が好ましくは４８時間以上１６８時間以内である。第二の剥離シート１２０及び第三の剥離シートの構成は、第一の剥離シート７０と同様の構成である。

金属蒸着フィルム１１０と、第一の導電性接着シート４０とをラミネートする方法としては、例えば、金属蒸着フィルム１１０の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとが対向するように、金属蒸着フィルム１１０及び第一の導電性接着シート４０を配置する。そして、金属蒸着フィルム１１０の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとを接触加圧して密着させる方法などが挙げられる。

工程（２ａ２）では、例えば、長尺状の金属蒸着フィルム１１０及び長尺状の第一の導電性接着シート４０を一対のロール間に繰り出し、一対のロール間に挟み込んで金属蒸着フィルム１１０及び第一の導電性接着シート４０を面接触させることでラミネートし、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を連続的に製造してもよい。

本実施形態では、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａに第二の剥離シート１２０が取り付けられているが、本開示はこれに限定されず、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａに第二の剥離シート１２０が取り付けられていなくてもよい。

〔工程（２Ｂ）〕
工程（２Ｂ）では、図７Ｆに示すように、第一面５０Ａ及び第二面５０Ｂを有するグラファイトフィルム５０の第一面５０Ａに第二の導電性接着シート６０を配置してラミネートする。この際、図７Ｆに示すように、取扱い性に優れるなどの点で、第二の導電性接着シート６０の表面６３Ａに、第一の剥離シート７０が取り付けられている。この工程（２Ｂ）を経て、図７Ｇに示す、導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００が得られる。

図７Ｆに示す第一の剥離シート７０が取り付けられた第二の導電性接着シート６０の製造方法としては、例えば、上述した図７Ｄに示す第二の剥離シート１２０が取り付けられた第一の導電性接着シート４０の製造方法と同様の方法が挙げられる。

グラファイトフィルム５０と第二の導電性接着シート６０とをラミネートする方法としては、例えば、図７Ｆに示すように、第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａが上向きとなるように第二の導電性接着シート６０を配置し、所定の寸法にカットされたグラファイトフィルム５０を第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａ上に置く方法などが挙げられる。カットされたグラファイトフィルム５０の寸法は、図７Ｉに示すように、グラファイトフィルム５０の全体が導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００で覆われる寸法であればよい。グラファイトフィルム５０の全体を導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００で覆うことで、グラファイト層５０内の層間剥離に起因するグラファイト複合フィルム１の断裂を防ぐとともに、グラファイト層５０の粉落ちを防ぐことができる。

工程（２Ｂ）では、例えば、第二の導電性接着シート６０を連続的にラミネート製造工程へ繰り出し、カットされたグラファイトフィルム５０を第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａに所定間隔を空けて連続的に置くことで、連続的に導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を製造してもよい。

本実施形態では、カットされたグラファイトフィルム５０を第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａ上に置いてラミネートするが、本開示はこれに限定されず、長尺状のグラファイトフィルム５０及び長尺状の第二の導電性接着シート６０をそれぞれ連続的に一対のロール間へ繰り出し、一対のロール間に挟み込んでグラファイトフィルム５０及び第二の導電性接着シート６０を面接触させることでラミネートしてもよい。

〔工程（２Ｃ）〕
工程（２Ｃ）では、図７Ｈに示すように、導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を、第一の導電性接着シート４０の表面４３Ａとグラファイトフィルム５０の第二面５０Ｂとが重なるように配置してラミネートする。この際、図７Ｈに示すように、第二の剥離シート１２０は剥離されており、第一の剥離シート７０はグラファイト複合フィルム１の取扱い性に優れるなどの点で、取り付けられたままである。この工程（２Ｃ）を経て、図７Ｉに示す、グラファイト複合フィルム１が得られる。

導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００と、導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００とをラミネートする方法としては、例えば、図７Ｈに示すように、グラファイトフィルム５０が配置された側の面２００Ａが上向きとなるように導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を配置する。その後、グラファイトフィルム５０全体を覆うように導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００の表面２００Ａ上に置く方法などが挙げられる。

工程（２Ｃ）では、例えば、長尺状の導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び長尺状の導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を一対のロール間に繰り出す。その後、一対のロール間に挟み込んで導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００及び導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を面接触させることでラミネートし、必要なサイズにカットすることで、グラファイト複合フィルム１を連続的に製造してもよい。

本実施形態では、工程（２Ａ）、工程（２Ｂ）及び工程（２Ｃ）を含むが、本開示はこの積層順に限定されず、例えば、以下の方法が挙げられる。金属蒸着フィルム１１０、第一の導電性接着シート４０、グラファイトフィルム５０、及び第二の導電性接着シート６０を同時にラミネートすることで、グラファイト複合フィルム１を製造する方法が挙げられる。第一の導電性接着シート４０、グラファイトフィルム５０、及び第二の導電性接着シート６０をラミネートすることで積層フィルムを得、得られた積層フィルムと、金属蒸着フィルム１１０とをラミネートすることで、グラファイト複合フィルム１を製造する方法が挙げられる。また、金属蒸着フィルム１１０、第一の導電性接着シート４０及びグラファイトフィルム５０をラミネートすることで積層フィルムを得、得られた積層フィルムと、第二の導電性接着シート６０とをラミネートすることで、グラファイト複合フィルム１を製造する方法などが挙げられる。

以下、本開示を実施例によって具体的に説明する。

［実施例３］
〔工程（２Ａ）〕
（工程（２ａ１））
保護フィルム１０として、ポリエステルフィルム（東レ株式会社製の「ＣＸ４０」、主な原料：ＰＥＴ、厚み：６μｍ）を準備した。第一の金属として銅（日立マテリアル社製の無酸素銅）を用いて真空蒸着法により、保護フィルム１０の第一面１０Ａに蒸着して図７Ｂに示すような金属層２０（厚み：１μｍ）を形成した。次いで、防錆剤（東栄化成株式会社製のシーアイガード「ＧＷ−１７２Ｐ」）を金属層２０の第一面２０Ａにローラー塗装して、乾燥し、図７Ｃに示すような防錆処理層３１（厚み：４ｎｍ）を形成した。これにより、図７Ｃに示す金属蒸着フィルム１１０を得た。

（工程（２ａ２））
第二の剥離シート１２０が取り付けられた第一の導電性接着シート４０として、導電性両面接着シート（ＤＩＣ株式会社製のＤＡＩＴＡＣ（登録商標）「＃８５０６ＡＤＷ−１０−Ｈ２」、金属基材：アルミニウムからなる基材、厚み：１０μｍ）の一方の面４１Ａから剥離シートを剥離したシートを準備した。

図７Ｄに示すように、金属蒸着フィルム１１０の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとが対向するように、金属蒸着フィルム１１０及び第一の導電性接着シート４０を配置し、金属蒸着フィルム１１０の表面３０Ａと、第一の導電性接着シート４０の表面４１Ａとを接触加圧して密着させた。これにより、図７Ｅに示す導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を得た。

〔工程（２Ｂ）〕
第一の剥離シート７０が取り付けられた第二の導電性接着シート６０として、第一の導電性接着シート４０と同じ製品である導電性両面接着シートの一方の面６１Ａから剥離シートを剥離したシートを準備した。グラファイトフィルム５０として、１０ｃｍ×１２ｃｍのサイズカットしたグラファイトフィルム（パナソニック株式会社製の「ＰＧＳ（登録商標）グラファイトシート」、厚み：２５μｍ）を準備した。

図７Ｆに示すように、第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａが上向きとなるように第二の導電性接着シート６０を配置し、グラファイトフィルム５０を第二の導電性接着シート６０の表面６１Ａ上に置いた。これにより、図７Ｇに示す導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を得た。

〔工程（２Ｃ）〕
図７Ｈに示すように、グラファイトフィルム５０が配置された側の面２００Ａが上向きとなるように導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００を配置し、グラファイトフィルム５０全体を覆うように導電性接着シート付き金属蒸着フィルム１００を導電性接着シート付きグラファイトフィルム２００の表面２００Ａ上に置き、１０ｃｍ×１２ｃｍのサイズにカットした。これにより、図７Ｉに示すグラファイト複合フィルム１を得た。

［比較例３］
工程（２ａ１）において、防錆処理層３１を形成しなかった他は、実施例３と同様にしてグラファイト複合フィルム１を得た。

［電磁波シールド性試験］
得られたグラファイト複合フィルム１から第一の剥離シート７０を剥離し、グラファイト複合フィルム１の表面１Ａと被着体の表面とを接触加圧して密着し、サンプル１を得た。このサンプル１に、４０℃、９５％ＲＨ、２５０時間の暴露条件で暴露処理を実施し、実施例３及び比較例の各々のグラファイト複合フィルムについてサンプル２を得た。

暴露処理を１０５℃とした他は、サンプル２と同様にして、サンプル３を得た。

〔電磁波シールド性の測定〕
被着体から剥離した各サンプル１，２，３の、５００ＭＨｚの周波数帯域での電界シールド性能と磁界シールド性能とを、それぞれ一般社団法人ＫＥＣ関西電子工業振興センターのＫＥＣ法に準拠して測定した。

サンプル１，２及び３の電界シールド性能及び磁界シールド性能の測定結果を表２に示す。

本開示にかかる発明によれば、熱対策及び電磁ノイズ対策を同時に実現できるとともに、電磁波シールド性が劣化しにくいグラファイト複合フィルムを得ることができ、産業上有用である。

１ グラファイト複合フィルム
１０ 保護フィルム
２０ 金属層
３０ 第一の防錆処理層
３１ 防錆処理層
４０ 第一の導電性接着層（第一の導電性接着シート）
４１ 第一の粘着層
４２ 第一の金属基材
４３ 第二の粘着層
５０ グラファイト層（グラファイトフィルム）
６０ 第二の導電性接着層（第二の導電性接着シート）
６１ 第三の粘着層
６２ 第二の金属基材
６３ 第四の粘着層
７０ 第一の剥離シート
８０ 第二の防錆処理層
１００ 導電性接着シート付き金属蒸着フィルム
１１０ 金属蒸着フィルム
１２０ 第二の剥離シート
２００ 導電性接着シート付きグラファイトフィルム

Claims (27)

1. グラファイト層と、第一の導電性接着層と、第一の金属を含む金属層とがこの順に配置されてなり、
   第一の防錆処理層が、前記第一の導電性接着層と前記金属層との間に介在し、
   第二の防錆処理層が、前記金属層の前記第一の防錆処理層が配置されている側の面とは反対側の面に配置される
   グラファイト複合フィルム。
2. 前記第一の金属は銅である
   請求項１に記載のグラファイト複合フィルム。
3. 前記第一の防錆処理層は有機皮膜である
   請求項１又は２に記載のグラファイト複合フィルム。
4. 前記有機被膜はベンゾトリアゾール皮膜である
   請求項３に記載のグラファイト複合フィルム。
5. 前記第一の防錆処理層は亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウム及びこれらの合金よりなる群から選択された少なくとも一つの第一の防錆用金属を含む金属皮膜である
   請求項１又は２に記載のグラファイト複合フィルム。
6. 前記第二の防錆処理層は有機皮膜である
   請求項１〜５のいずれか一項に記載のグラファイト複合フィルム。
7. 前記有機皮膜はベンゾトリアゾール皮膜である
   請求項６に記載のグラファイト複合フィルム。
8. 前記第二の防錆処理層は亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウム及びこれらの合金よりなる群から選択された少なくとも一つの第二の防錆用金属を含む金属皮膜である
   請求項１〜５のいずれか一項に記載のグラファイト複合フィルム。
9. 前記第一の防錆処理層の厚さは前記金属層の厚さ以下であり、
   前記第二の防錆処理層の厚さは前記金属層の厚さ以下である
   請求項１〜８のいずれか一項に記載のグラファイト複合フィルム。
10. 前記金属層の厚さは０．１０μｍ以上５．００μｍ以下であり、
    前記第一の防錆処理層の厚さは０．００２μｍ以上０．１００μｍ以下であり、
    前記第二の防錆処理層の厚さは０．００２μｍ以上０．１００μｍ以下である
    請求項９に記載のグラファイト複合フィルム。
11. 第一面及び第二面を有する保護フィルムの前記第一面に第一の金属を蒸着して金属層を形成し、前記金属層の表面に第一の防錆処理を施して第一の防錆処理層を形成し、前記第一の防錆処理層の表面に第一の導電性接着シートを配置してラミネートし、前記保護フィルムを剥離して、前記金属層の前記第一の防錆処理層が配置されている側の面とは反対側の表面に第二の防錆処理を施して第二の防錆処理層を形成することにより導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程と、
    第一面及び第二面を有するグラファイトフィルムの前記第一面に第二の導電性接着シートを配置してラミネートすることにより導電性接着シート付きグラファイトフィルムを準備する工程と、
    前記導電性接着シート付き金属蒸着フィルム及び前記導電性接着シート付きグラファイトフィルムを、前記第一の導電性接着シートの表面と前記グラファイトフィルムの前記第二面とが重なるように配置してラミネートする工程とを含む
    グラファイト複合フィルムの製造方法。
12. 前記第一の金属は銅である
    請求項１１に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
13. 前記第一の防錆処理層は、亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウム及びこれらの合金よりなる群から選択された少なくとも一つの第一の防錆用金属を含む金属皮膜又は有機皮膜である
    請求項１１又は１２に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
14. 前記第二の防錆処理層は、亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウム及びこれらの合金よりなる群から選択された少なくとも一つの第二の防錆用金属を含む金属皮膜又は有機皮膜である
    請求項１１〜１３のいずれか一項に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
15. 前記有機皮膜はベンゾトリアゾール皮膜である
    請求項１３又は１４に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
16. 第一面及び第二面を有する保護フィルムの前記第一面に第二の金属と第一の金属とをこの順に蒸着して、前記第二の金属を含む第二の防錆処理層と前記第一の金属を含む金属層とを形成し、前記金属層の表面に防錆処理を施して第一の防錆処理層を形成し、前記第一の防錆処理層の表面に第一の導電性接着シートを配置してラミネートし、前記保護フィルムを剥離することにより導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程と、
    第一面及び第二面を有するグラファイトフィルムの前記第一面に第二の導電性接着シートを配置してラミネートすることにより導電性接着シート付きグラファイトフィルムを準備する工程と、
    前記導電性接着シート付き金属蒸着フィルム及び前記導電性接着シート付きグラファイトフィルムを、前記第一の導電性接着シートの表面と前記グラファイトフィルムの前記第二面とが重なるように配置してラミネートする工程とを含む
    グラファイト複合フィルムの製造方法。
17. 前記第一の金属は銅であり、
    前記第二の金属は亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウム及びこれらの合金よりなる群から選択された少なくとも一つの防錆用金属である、
    請求項１４に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
18. グラファイト層と、第一の導電性接着層と、第一の金属を含む金属層と、保護フィルムとがこの順に配置されてなり、
    防錆処理層が、前記第一の導電性接着層と前記金属層との間に介在している
    グラファイト複合フィルム。
19. 前記第一の金属は銅であり、
    前記防錆処理層は有機皮膜である
    請求項１８に記載のグラファイト複合フィルム。
20. 前記有機皮膜はベンゾトリアゾール皮膜である
    請求項１９に記載のグラファイト複合フィルム。
21. 前記第一の金属は銅であり、
    前記防錆処理層は亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウム及びこれらの合金よりなる群から選択された少なくとも一つの第二の金属を含む
    請求項１８に記載のグラファイト複合フィルム。
22. 前記防錆処理層の厚さは前記金属層の厚さ以下である
    請求項１８に記載のグラファイト複合フィルム。
23. 前記金属層の厚さは０．１０μｍ以上５．００μｍ以下であり、
    前記防錆処理層の厚さは０．００２μｍ以上０．１００μｍ以下である
    請求項２２に記載のグラファイト複合フィルム。
24. 前記グラファイト層の前記第一の導電性接着層が配置されている側の面とは反対側の面に、さらに第二の導電性接着層を有する
    請求項１８に記載のグラファイト複合フィルム。
25. 第一面及び第二面を有する保護フィルムの第一面に第一の金属を蒸着して金属層を形成し、前記金属層の表面に防錆処理を施して防錆処理層を形成し、前記防錆処理層の表面に第一の導電性接着シートを配置してラミネートすることにより導電性接着シート付き金属蒸着フィルムを準備する工程と、
    第一面及び第二面を有するグラファイトフィルムの第一面に第二の導電性接着シートを配置してラミネートすることにより導電性接着シート付きグラファイトフィルムを準備する工程と、
    前記導電性接着シート付き金属蒸着フィルム及び前記導電性接着シート付きグラファイトフィルムを、前記第一の導電性接着シートの表面と前記グラファイトフィルムの第二面とが重なるように配置してラミネートする工程とを含む
    グラファイト複合フィルムの製造方法。
26. 前記第一の金属は銅であり、
    前記防錆処理は前記金属層の表面にベンゾトリアゾール皮膜を形成する処理である
    請求項２５に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。
27. 前記第一の金属は銅であり、
    前記防錆処理は前記金属層の表面に第二の金属を蒸着する処理であり、
    前記第二の金属は亜鉛、ニッケル、クロム、チタン、アルミニウム、金、銀、パラジウムおよびこれらの合金よりなる群から選択された少なくとも一つである請求項２５に記載のグラファイト複合フィルムの製造方法。

Images