JPWO2018116688A1 - 希土類オキシフッ化物焼結体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Ln2O3とLnF3との混合比率を、LnaObFc(Lnは希土類元素を表す。a、b及びcはそれぞれ独立に正数を表し、且つa=b=cでない。)が生成する量論比の比率よりも、Ln2O3が多くなるようにこれらの粉を混合して混合粉を得、
前記混合粉を成形して成形体を得、
前記成形体を焼成する、希土類オキシフッ化物焼結体の製造方法を提供するものである。
Ln2O3(Lnは希土類元素を表す。)とLnF3とCaF2とを混合して混合粉を得、
前記混合粉を成形して成形体を得、
前記成形体を焼成する工程を有し、
前記混合粉におけるCaF2の量を、Ln2O3とLnF3とCaF2との全体質量100質量%に対し、1質量%以上5.8質量%以下とし、
前記混合粉におけるLn2O3とLnF3との質量配分を、前記全体質量からCaF2の質量を引いた質量に対し、LnOFの量論比となるように設定する、希土類オキシフッ化物焼結体の製造方法を提供するものである。
例えば、希土類元素がLaの場合、La10O7F16の量論比であるLa2O3:LaF3=42:58の量論比よりも、La2O3を若干多く添加する。この観点から、原料であるLa2O3及びLaF3を、La2O3:LaF3の質量比で表して、好ましくは43:57〜60:40の割合で混合する。
また、希土類元素がNdの場合、NdO0.67F1.66の量論比であるNd2O3:NdF3=40:60の量論比よりも、Nd2O3を若干多く添加する。この観点から、原料であるNd2O3及びNdF3を、Nd2O3:NdF3の質量比で表して、好ましくは41:59〜60:40の割合で混合する。
また、希土類元素がEuの場合、Eu6O5F8の量論比であるEu2O3:EuF3=51:49の量論比よりも、Eu2O3を若干多く添加する。この観点から、原料であるEu2O3及びEuF3を、Eu2O3:EuF3の質量比で表して、好ましくは52:48〜60:40の割合で混合する。
これらのいずれの成形法を用いても、所望の成形体を得ることができる。なおこの成形工程に油圧プレスを用いる場合には、圧力は2MPa以上100MPa以下とすることが好ましい。
この焼成工程では黒鉛型を用いたホットプレス法を用いることもできる。この場合、焼成温度は上記とするとともに、圧力は2MPa以上100MPa以下とすることが好ましい。
Y2O3粉末及びYF3粉末をそれぞれ49%及び51%の割合で混合し、混合粉末を得た。この混合粉末を金型に入れて油圧プレスした。この油圧プレスは65MPaの圧力で0.5分間一軸加圧することにより行い、成形体を得た。得られた成形体を真空中にて、1400℃で4時間焼成し、焼結体を得た。
Y2O3粉末及びYF3粉末をそれぞれ51%及び49%の割合で混合し、混合粉末を得た。この混合粉末と水と分散剤とバインダを混合し、混合スラリーを得た。この混合スラリー中における混合粉末の濃度は、混合粉末を100%に対し、水20%であり、分散剤の濃度は1%、バインダの濃度は1%とした。分散剤として、ポリカルボン酸系の分散剤を用いた。バインダとして、アクリルエマルジョン系のバインダを用いた。このスラリーを石膏型に入れ、鋳込み成形を行った。得られた成形体を真空中にて、1400℃で4時間焼成し焼結体を得た。
Y2O3粉末及びYF3粉末をそれぞれ52%及び48%の割合で混合し、混合粉末を得た。この混合粉末を黒鉛型に入れてホットプレスした。ホットプレスは20MPaの圧力を加えつつ同時に1300℃、1時間焼成することにより行った。これにより焼結体を得た。
Y2O3粉末及びYF3粉末をそれぞれ53%及び47%の割合で混合し、混合粉末を得た。これ以外は実施例1と同様にして焼結体を得た。
Y2O3粉末、YF3粉末及びCaF2粉末をそれぞれ58%、37%及び5%の割合で混合し、混合粉末を得た。これ以外は実施例1と同様にして焼結体を得た。
Y2O3粉末、YF3粉末及びCaF2粉末をそれぞれ59%、38%及び3%の割合で混合し、混合粉末を得た。これ以外は実施例1と同様にして焼結体を得た。
La2O3粉末及びLaF3粉末をそれぞれ47%及び53%の割合で混合し、混合粉末を得た。これ以外は実施例1と同様にして焼結体を得た。
Nd2O3粉末及びNdF3粉末をそれぞれ45%及び55%の割合で混合し、混合粉末を得た。これ以外は実施例1と同様にして焼結体を得た。
Eu2O3粉末及びEuF3粉末をそれぞれ56%及び44%の割合で混合し、混合粉末を得た。これ以外は実施例1と同様にして焼結体を得た。
Y2O3粉末及びYF3粉末をそれぞれ47%及び53%の割合で混合し、混合粉末を得た。この割合はY5O4F7が生成する化学量論比に相当する。これ以外は実施例1と同様にして焼結体を得た。
実施例、比較例で得られた焼結体について、以下に述べる方法で、X線回折測定(以下、XRD測定ともいう。)によって主相及び副相の同定を行うとともに、ピーク強度比を測定した。また、3点曲げ強度、相対密度及び表面粗さを測定した。更に、温度変化に伴う寸法変化の変曲点の温度を測定した。更に、主相及び副相の結晶粒の平均粒径を測定した。それらの結果を表1に示す。また、実施例2について撮影された焼結体の走査型電子顕微鏡像を図2に示す。更に実施例2についてTMA測定による寸法変化のグラフを図3に示す。
焼結体の一部を、乳鉢と乳棒を用いて粉砕して粉末を得、この粉末について、XRD測定を行った。測定機器としては、装置名:MiniFlex600、メーカー:リガクを用いた。
測定条件は、ターゲットCu、線源CuKα1線、管電圧40kV、管電流15mA、走査速度20°/min、走査範囲2θ=3°以上90°以下とした。
実施例1ないし4及び比較例1に関しては、主相であるY5O4F7の(151)面と、副相である非安定化YOF(菱面体晶)の(006)面(ともに2θ=28.2°付近)が重っているピークの強度を100としたときの、副相である非安定化YOF(菱面体晶)の(018)面又は(110)面(2θ=47.4°、47.9°付近)のピーク強度比を求めた。
実施例5及び6に関しては、主相であるCa安定化YOF(立方晶)の(111)面と、副相である非安定化YOF(菱面体晶)の(012)面(ともに2θ=28.8°付近)が重なるピーク強度を100としたときの、副相である非安定化YOF(菱面体晶)の(009)面又は(107)面(2θ=43.1°、43.4°付近)のピーク強度比を求めた。
焼結体を切断し、片面を鏡面研磨することにより、厚さ1.5〜3.0mm、幅約4mm、長さ約35mmの短冊形の試験片を作製した。これをSiC製治具に置き、万能材料試験機(1185型、INSTRON製)で3点曲げ試験を行った。支点間距離30mm、クロスヘッドスピード0.5mm/minとし、試験片本数は5本とした。JIS R1601に基づき、以下の式を用いて曲げ強度σf[MPa]を算出した。σf=(3×Pf×L)/(2×w×t2)[MPa]
式中、Pfは試験片が破断したときの荷重[N]、Lはスパン距離[mm]、wは試験片の幅[mm]、tは試験片の厚さ[mm]である。
焼結体を蒸留水に入れ、ダイアフラム型真空ポンプによる減圧下で1時間保持した後、水中重量W2[g]を測定した。また、余分な水分を湿布で取り除き、飽水重量W3[g]を測定した。その後、乾燥器に入れて焼結体を十分に乾燥させた後、乾燥重量W1[g]を測定した。以下の式により、かさ密度ρb[g/cm3]を算出した。
ρb=W1/(W3-W2)×ρ1(g/cm3)[g/cm3]
式中、ρ1 [g/cm3]は蒸留水の密度である。得られたかさ密度ρbと、理論密度ρc[g/cm3]を用いて、相対密度(RD)[%]を以下の式により算出する。
RD=ρb/ρc×100[%]
焼結体の表面を2000番の砥石で鏡面加工を行った。その加工面について、JIS B 0601:2013に基づいて、表面粗さRaの測定を行った。
JIS R 1618:2002に準拠した。測定装置として株式会社島津製作所のDTG−60Hを用いた。大気中で25℃から1000℃まで昇降温速度5℃/分で昇降温し、その間のテストピースの長さ方向における寸法を測定し、試験前の寸法との寸法差を求めた。荷重は5.0mNとした。温度変化に伴う寸法が、温度に対して不連続に変化し、変曲点を示すときの温度を測定した。
鏡面研磨した焼結体を、Ar雰囲気中で、1200℃で1時間保持し、サーマルエッチングを行った。サーマルエッチング後の焼結体を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察し、主相及び副相の結晶粒径が測定できる倍率で複数枚の写真撮影をした。撮影された視野に存在する主相及び副相の結晶粒径を円で近似して測定し、200個の平均値をとって、平均粒径とした。このとき、主相の結晶粒界に存在する粒子を副相とした。
前述の表面粗さを測定したサンプルを、フッ素系腐食性ガス及び塩素系腐食性ガスの中にてプラズマを5時間曝露した後、プラズマに曝露する前後の重量変化及び表面粗さの変化から、焼結体の消耗量を評価した。焼結体の消耗量が少なかった、すなわちプラズマ耐食性に優れているものから順に、「E:良」、「G:可」又は「P:不可」として表1に示した。
Claims (16)
- LnaObFc(Lnは希土類元素を表す。a、b及びcはそれぞれ独立に正数を表し、且つa=b=cでない。)、又はCaで安定化されているLnOFを主相とし、Caで安定化されていないLnOFを副相とする、希土類オキシフッ化物焼結体。
- LnaObFc(Lnは希土類元素を表す。a、b及びcはそれぞれ独立に正数を表し、且つa=b=cでない。)のX線回折ピークの最強ピーク強度に対する、安定化されていないLnOFの(018)面又は(110)面のX線回折ピークの強度の比が0.5%以上30%以下である請求項1に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- Caで安定化されているLnOF(Lnは希土類元素を表す。)のX線回折ピークの最強ピーク強度に対する、安定化されていないLnOFの(009)面又は(107)面のX線回折ピークの強度の比が0.5%以上10%以下である請求項1に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- LnaObFc(Lnは希土類元素を表す。a、b及びcはそれぞれ独立に正数を表し、且つa=b=cでない。)、又はCaで安定化されているLnOFを主相とする結晶粒の粒界に、安定化されていないLnOFの副相が存在している、請求項2又は3に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- 3点曲げ強度が50MPa以上300MPa以下である請求項1ないし4のいずれか一項に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- 表面粗さRa(JIS B0601)の値が1μm以下である請求項1ないし5のいずれか一項に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- 温度変化に伴う寸法変化の変曲点が、200℃以上800℃以下の温度範囲に観察される請求項1ないし6のいずれか一項に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- 主相の平均粒径が1μm以上200μm以下であり、副相の平均粒径が0.1μm以上5μm以下であり、主相の平均粒径が副相よりも大きい請求項1ないし7のいずれか一項に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- LnaObFcがY5O4F7である請求項1ないし8のいずれか一項に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- LnaObFcがLa10O7F16である請求項1ないし8のいずれか一項に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- LnaObFcがNdO0.67F1.66である請求項1ないし8のいずれか一項に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- LnaObFcがEu6O5F8である請求項1ないし8のいずれか一項に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- Caで安定化されているLnOFが、25℃において立方晶の結晶相を有している請求項1ないし12のいずれか一項に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。
- Caで安定化されているLnOFがYOFであり、
粉末X線回折測定において、2θ=28.8°付近に観察される立方晶YOFの(111)面からの反射ピークが最強ピークであり、最強ピーク強度を100としたとき、2θ=28.4°付近に観察される菱面体晶YOFの(006)面からの反射ピーク強度が15以下である請求項13に記載の希土類オキシフッ化物焼結体。 - 請求項1に記載の希土類オキシフッ化物焼結体の製造方法であって、
Ln2O3とLnF3との混合比率を、LnaObFc(Lnは希土類元素を表す。a、b及びcはそれぞれ独立に正数を表し、且つa=b=cでない。)が生成する量論比の比率よりも、Ln2O3が多くなるようにこれらの粉を混合して混合粉を得、
前記混合粉を成形して成形体を得、
前記成形体を焼成する、希土類オキシフッ化物焼結体の製造方法。 - 請求項1に記載の希土類オキシフッ化物焼結体の製造方法であって、
Ln2O3(Lnは希土類元素を表す。)とLnF3とCaF2とを混合して混合粉を得、
前記混合粉を成形して成形体を得、
前記成形体を焼成する工程を有し、
前記混合粉におけるCaF2の量を、Ln2O3とLnF3とCaF2との全体質量100質量%に対し、1質量%以上5.8質量%以下とし、
前記混合粉におけるLn2O3とLnF3との質量配分を、前記全体質量からCaF2の質量を引いた質量に対し、LnOFの量論比となるように設定する、希土類オキシフッ化物焼結体の製造方法。
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---|---|---|---|---|
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1045461A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-17 | Kyocera Corp | 耐食性部材 |
JP2000001362A (ja) * | 1998-06-10 | 2000-01-07 | Nippon Seratekku:Kk | 耐食性セラミックス材料 |
JP2000313655A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-14 | Kyocera Corp | 高密度酸化マグネシウム質焼結体及びその製造方法、並びにプラズマ処理装置用部材 |
JP2005022971A (ja) * | 2004-10-18 | 2005-01-27 | Kyocera Corp | プラズマプロセス装置用部材 |
JP2016098143A (ja) * | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 日本イットリウム株式会社 | 焼結体 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6077105A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-05-01 | Asahi Glass Co Ltd | 酸素センサ− |
JPH0529016A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-05 | Meidensha Corp | 燃料電池用の固体電解質 |
CN1098825C (zh) * | 1998-07-24 | 2003-01-15 | 清华大学 | 陶瓷基板的流延法制备工艺 |
JP4160224B2 (ja) | 1998-12-21 | 2008-10-01 | 信越化学工業株式会社 | オキシハロゲン化物系部材 |
US6780787B2 (en) * | 2002-03-21 | 2004-08-24 | Lam Research Corporation | Low contamination components for semiconductor processing apparatus and methods for making components |
JP4450424B2 (ja) * | 2003-06-30 | 2010-04-14 | 三井金属鉱業株式会社 | セリウム系研摩材およびその原料 |
JP5071856B2 (ja) * | 2007-03-12 | 2012-11-14 | 日本碍子株式会社 | 酸化イットリウム材料及び半導体製造装置用部材 |
JP5396672B2 (ja) | 2012-06-27 | 2014-01-22 | 日本イットリウム株式会社 | 溶射材料及びその製造方法 |
CN107109611B (zh) * | 2015-02-10 | 2019-07-26 | 日本钇股份有限公司 | 成膜用粉末以及成膜用材料 |
WO2016140159A1 (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-09 | 日本イットリウム株式会社 | 焼結用材料及び焼結用材料を製造するための粉末 |
JP6722004B2 (ja) * | 2015-05-08 | 2020-07-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 溶射用材料、溶射皮膜および溶射皮膜付部材 |
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CN107848831A (zh) * | 2015-09-07 | 2018-03-27 | 三井金属矿业株式会社 | 氟氧化钇、稳定化氟氧化钇制造用原料粉末以及稳定化氟氧化钇的制造方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1045461A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-02-17 | Kyocera Corp | 耐食性部材 |
JP2000001362A (ja) * | 1998-06-10 | 2000-01-07 | Nippon Seratekku:Kk | 耐食性セラミックス材料 |
JP2000313655A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-14 | Kyocera Corp | 高密度酸化マグネシウム質焼結体及びその製造方法、並びにプラズマ処理装置用部材 |
JP2005022971A (ja) * | 2004-10-18 | 2005-01-27 | Kyocera Corp | プラズマプロセス装置用部材 |
JP2016098143A (ja) * | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 日本イットリウム株式会社 | 焼結体 |
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