JPWO2018056292A1 - 液体吐出ヘッド、および記録装置 - Google Patents

Abstract

液体吐出ヘッドの第１流路部材は、複数の吐出孔と、複数の吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室と、複数の加圧室にそれぞれ接続されている複数の第１個別流路、複数の第２個別流路および複数の第３個別流路と、複数の第１個別流路および複数の第２個別流路に共通して接続されている第１共通流路と、複数の第３個別流路に共通して接続されている第２共通流路とを備えている。第１流路部材は、第１共通流路内を、第１共通流路の流路方向に交差する方向の一方側の第１区画と他方側の第２区画とに仕切っている仕切部をさらに備えている。複数の第１個別流路は第１区画に接続されている。複数の第２個別流路は第２区画に接続されている。

Description

本開示は、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。

従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、流路部材と複数の加圧部とを備えている。特許文献１の流路部材は、例えば、複数の吐出孔、複数の吐出孔にそれぞれ接続された複数の加圧室、複数の加圧室にそれぞれ接続された複数の第１個別流路、複数の加圧室にそれぞれ接続された複数の第２個別流路、複数の第１個別流路および複数の第２個別流路に共通して接続された共通流路を備えている。複数の加圧部は、複数の加圧室をそれぞれ加圧する。

特開２００８−２００９０２号公報

本開示の一態様に係る液体吐出ヘッドは、流路部材と、複数の加圧部とを備えている。流路部材は、複数の吐出孔、複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第１流路、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第２流路、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第３流路、複数の前記第１流路および複数の前記第２流路に共通して接続されている第４流路、および複数の前記第３流路に共通して接続されている第５流路、を備えている。複数の前記加圧部は、複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する。前記流路部材は、前記第４流路内を、前記第４流路の流路方向に交差する方向の一方側の第１区画と他方側の第２区画とに仕切っている仕切部をさらに備えている。複数の前記第１流路は前記第１区画に接続されている。複数の前記第２流路は前記第２区画に接続されている。

本開示の一態様に係る記録装置は、上記の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えている。

（ａ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す側面図、（ｂ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す平面図である。 第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 （ａ）は図２の液体吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）は図２の液体吐出ヘッドの断面図である。 （ａ）はヘッド本体の分解斜視図、（ｂ）は第２流路部材の下面から見た斜視図である。 （ａ）は第２流路部材の一部を透過して見たヘッド本体の平面図、（ｂ）は第２流路部材を透過して見たヘッド本体の平面図である。 図５の一部を拡大して示す平面図である。 （ａ）は吐出ユニットの斜視図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図、（ｃ）は吐出ユニット上の電極を示す平面図である。 （ａ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩａ−ＶＩＩＩａ線断面図、（ｂ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩｂ−ＶＩＩＩｂ線断面図である。 液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図である。 （ａ）は仕切部の設置範囲を示す平面図、（ｂ）は図１０（ａ）のＸｂ−Ｘｂ線における断面図である。 （ａ）は変形例に係る仕切部を示す斜視図、（ｂ）は他の変形例に係る仕切部を示す断面図、（ｃ）はさらに他の変形例に係る仕切部を示す断面図である。

以下、本開示の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。同一の部材を示す複数の図面同士においても、形状等を誇張するために、寸法比率等は互いに一致していないことがある。

＜第１の実施形態＞
（プリンタの全体構成）
図１を用いて、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含むカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１と称する）について説明する。

プリンタ１は、記録媒体Ｐを搬送ローラ７４ａから搬送ローラ７４ｂへと搬送することにより、記録媒体Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部７６は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、記録媒体Ｐに液滴を着弾させて、記録媒体Ｐに印刷を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、記録媒体Ｐとほぼ平行になるように平板状のヘッド搭載フレーム７０が固定されている。ヘッド搭載フレーム７０には２０個の孔（不図示）が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔に搭載されている。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ｂ）に示すように細長い長尺形状をなしている。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、記録媒体Ｐの搬送方向に交差する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。隣り合う液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、記録媒体Ｐの幅方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、記録媒体Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録媒体Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクからインクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクを印刷している。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。

なお、プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度、すなわち搬送速度を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、記録媒体Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、記録媒体Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、記録媒体Ｐに印刷を行なう。記録媒体Ｐは、搬送ローラ７４ａに巻き取られた状態になっており、２つの搬送ローラ７４ｃの間を通った後、ヘッド搭載フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通る。その後２つの搬送ローラ７４ｄの間を通り、最終的に搬送ローラ７４ｂに回収される。

記録媒体Ｐとしては、印刷用紙以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、記録媒体Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙、裁断された布、木材、あるいはタイルなどであってもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や、化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部７６が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

（液体吐出ヘッドの全体構成）
次に、図２〜９を用いて第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。なお、図５，６では図面を分かりやすくするために、他の部材の下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。また、図５（ａ）では、第２流路部材６の一部を透過して示しており、図５（ｂ）では、第２流路部材６の全部を透過して示している。また、図９においては、従来の液体の流れを破線で示し、吐出ユニット１５の液体の流れを実線で示し、第２個別流路１４から供給された液体の流れを長破線で示している。

なお、図面には、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、第３方向Ｄ３、第４方向Ｄ４、第５方向Ｄ５、および第６方向Ｄ６を図示している。第１方向Ｄ１は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の一方側であり、第４方向Ｄ４は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の他方側である。第２方向Ｄ２は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の一方側であり、第５方向Ｄ５は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の他方側である。第３方向Ｄ３は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の一方側であり、第６方向Ｄ６は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の他方側である。

液体吐出ヘッド２においては、第１流路として第１個別流路１２、第２流路として第２個別流路１４、第３流路として第３個別流路１６、第４流路として第１共通流路２０、第５流路として第２共通流路２４を用いて説明する。

図２，３に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａと、筐体５０と、放熱板５２と、配線基板５４と、押圧部材５６と、弾性部材５８と、信号伝達部６０と、ドライバＩＣ６２とを備えている。なお、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを備えていればよく、筐体５０、放熱板５２、配線基板５４、押圧部材５６、弾性部材５８、信号伝達部６０、およびドライバＩＣ６２は必ずしも備えていなくてもよい。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａから信号伝達部６０が引き出されており、信号伝達部６０は、配線基板５４に電気的に接続されている。信号伝達部６０には、液体吐出ヘッド２の駆動を制御するドライバＩＣ６２が設けられている。ドライバＩＣ６２は、弾性部材５８を介して押圧部材５６により放熱板５２に押圧されている。なお、配線基板５４を支持する支持部材の図示は省略している。

放熱板５２は、金属あるいは合金により形成することができ、ドライバＩＣ６２の熱を外部に放熱するために設けられている。放熱板５２は、螺子あるいは接着剤により筐体５０に接合されている。

筐体５０は、ヘッド本体２ａの上面に載置されており、筐体５０と放熱板５２とにより、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を覆っている。筐体５０は、第１開口５０ａと、第２開口５０ｂと、第３開口５０ｃと、断熱部５０ｄとを備えている。第１開口５０ａは、第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に対向するようにそれぞれ設けられている。放熱板５２が第１開口５０ａに配置されることにより、第１開口５０ａは封止されている。第２開口５０ｂは、下方に向けて開口しており、第２開口５０ｂを介して配線基板５４および押圧部材５６が筐体５０の内部に配置される。第３開口５０ｃは、上方に向けて開口しており、配線基板５４に設けられたコネクタ（不図示）が収容される。

断熱部５０ｄは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように設けられており、放熱板５２とヘッド本体２ａとの間に配置されている。それにより、放熱板５２に放熱された熱が、ヘッド本体２ａに伝わる可能性を低減することができる。筐体５０は、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。

図４（ａ）に示すように、ヘッド本体２ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて長い平板形状をなしており、第１流路部材４と、第２流路部材６と、圧電アクチュエータ基板４０とを有している。ヘッド本体２ａは、第１流路部材４の上面に、圧電アクチュエータ基板４０および第２流路部材６が設けられている。圧電アクチュエータ基板４０は、図４（ａ）に示す破線の領域に載置される。圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４に設けられた複数の加圧室１０（図８参照）を加圧するために設けられており、複数の変位素子４８（図８参照）を有している。

（流路部材の全体構成）
第１流路部材４は、内部に複数の流路が形成されており、第２流路部材６から供給された液体を、下面に設けられた吐出孔８（図８参照）まで導いている。第１流路部材４は、上面が加圧室面４−１となっており、加圧室面４−１に開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄが形成されている。開口２０ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２０ａは、加圧室面４−１の第３方向Ｄ３における端部に配置されている。開口２４ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２４ａは、加圧室面４−１の第６方向Ｄ６における端部に配置されている。開口２８ｃは、開口２０ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。開口２８ｄは、開口２４ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。

第２流路部材６は、内部に複数の流路が形成されており、液体タンクから供給された液体を第１流路部材４まで導いている。第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４−１の外周部上に設けられており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域の外側にて、接着剤（不図示）を介して、第１流路部材４と接合されている。

（第２流路部材（統合流路））
第２流路部材６は、図４，５に示すように、貫通孔６ａと、開口６ｂ，６ｃ，６ｄ，２２ａ，２６ａとが形成されている。貫通孔６ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域よりも外側に配置されている。貫通孔６ａには、信号伝達部６０が挿通している。

開口６ｂは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第２方向Ｄ２における端部に配置されている。開口６ｂは、液体タンクから第２流路部材６に液体を供給している。開口６ｃは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第５方向Ｄ５における端部に配置されている。開口６ｃは、第２流路部材６から液体タンクに液体を回収している。開口６ｄは、第２流路部材６の下面に設けられており、開口６ｄにより形成された空間に圧電アクチュエータ基板４０が配置されている。

開口２２ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２２ａは、第２流路部材６の第３方向Ｄ３における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第３方向Ｄ３側に設けられている。

開口２２ａは、開口６ｂと連通しており、開口２２ａが第１流路部材４により封止されることにより、第１統合流路２２を形成している。第１統合流路２２は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２０ａおよび開口２８ｃに液体を供給する。

開口２６ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２６ａは、第２流路部材６の第６方向Ｄ６における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第６方向Ｄ６側に設けられている。

開口２６ａは、開口６ｃと連通しており、開口２６ａが第１流路部材４により封止されることにより、第２統合流路２６を形成している。第２統合流路２６は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２４ａおよび開口２８ｄから液体を回収する。

以上の構成により、液体タンクから開口６ｂに供給された液体は、第１統合流路２２に供給され、開口２２ａを介して第１共通流路２０に流れ込み、第１流路部材４に液体が供給される。そして、第２共通流路２４により回収された液体は、開口２６ａを介して第２統合流路２６に流れ込み、開口６ｃを介して外部へ液体が回収される。なお、第２流路部材６は、必ずしも設けなくてもよい。

なお、液体の供給および回収は、適宜な手段によって実現されてよい。例えば、図３（ａ）において点線で示すように、プリンタ１は、第１統合流路２２、第１流路部材４の流路および第２統合流路２６を含む循環流路７８と、第１統合流路２２から第１流路部材４の流路を経由して第２統合流路２６へ向かう流れを形成する流れ形成部７９とを有していてよい。

流れ形成部７９の構成は、適宜なものとされてよい。例えば、流れ形成部７９は、ポンプを含み、開口６ｃからの吸引および／または開口６ｂへの吐出を行う。また、例えば、流れ形成部７９は、開口６ｃから回収された液体を貯留する回収空間と、開口６ｂへ供給される液体を貯留する供給空間と、回収空間から供給空間へ液体を送出するポンプと、を有し、供給空間の液面を回収空間の液面よりも高くすることにより、第１統合流路２２と第２統合流路２６との間に圧力差を生じさせるものであってもよい。

循環流路７８のうち第１流路部材４および第２流路部材６の外側に位置する部分、ならびに流れ形成部７９は、液体吐出ヘッド２の一部であってもよいし、液体吐出ヘッド２の外部に設けられていてもよい。

（第１流路部材（共通流路および吐出ユニット））
図５〜８に示すように、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍが積層されて形成されており、積層方向に断面を見たときに、上側に設けられた加圧室面４−１と、下側に設けられた吐出孔面４−２とを有している。加圧室面４−１上には、圧電アクチュエータ基板４０が裁置されており、吐出孔面４−２に開口した吐出孔８から、液体が吐出される。複数のプレート４ａ〜４ｍは、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。なお、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍを積層せずに、樹脂により一体形成してもよい。

第１流路部材４は、複数の第１共通流路２０と、複数の第２共通流路２４と、複数の端部流路２８と、複数の吐出ユニット１５と、複数のダミー吐出ユニット１７とが形成されている。

第１共通流路２０は、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に延びるように設けられており、開口２０ａと連通するように形成されている。また、第１共通流路２０は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されている。なお、第１統合流路２２および複数の第１共通流路２０は、マニホールドとして捉えることができ、１本の第１共通流路２０は、マニホールドの１本の分岐流路として捉えることができる。第１共通流路２０は、図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、その流路方向の一部において上下に仕切られている。これについては後述する。

第２共通流路２４は、第４方向Ｄ４から第１方向Ｄ１に延びるように設けられており、開口２４ａと連通するように形成されている。また、第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されており、隣り合う第１共通流路２０同士の間に配置されている。そのため、第１共通流路２０および第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて、交互に配置されている。なお、第２統合流路２６および複数の第２共通流路２４は、マニホールドとして捉えることができ、１本の第２共通流路２４は、マニホールドの１本の分岐流路として捉えることができる。

第１流路部材４の第２共通流路２４にダンパ３０が形成されており、ダンパ３０を介して、第２共通流路２４と面した空間３２が配置されている。ダンパ３０は、第１ダンパ３０ａと、第２ダンパ３０ｂとを有している。空間３２は、第１空間３２ａと、第２空間３２ｂとを有している。第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａを介して液体が流れる第２共通流路２４の上方に設けられている。第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂを介して液体が流れる第２共通流路２４の下方に設けられている。

第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４の上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａの上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１空間３２ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。

第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４の下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂの下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２空間３２ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。第１流路部材４は、第２共通流路２４にダンパ３０が設けられていることにより、第２共通流路２４の圧力変動を緩和することができ、流体クロストークが生じ難くなる。

第１ダンパ３０ａおよび第１空間３２ａは、プレート４ｄ，４ｅにハーフエッチングにより溝を形成し、溝同士が対向するように接合することにより形成することができる。この際、プレート４ｅのハーフエッチングにより残った残部が、第１ダンパ３０ａとなる。第２ダンパ３０ｂおよび第２空間３２ｂも同様に、プレート４ｋ，４ｌにハーフエッチングにより溝を形成することで作製することができる。

端部流路２８は、第１流路部材４の第２方向Ｄ２の端部、および第５方向Ｄ５の端部に形成されている。端部流路２８は、幅広部２８ａと、狭窄部２８ｂと、開口２８ｃ，２８ｄとを有している。開口２８ｃから供給された液体は、幅広部２８ａ、狭窄部２８ｂ、幅広部２８ａおよび開口２８ｄをこの順に流れることにより、端部流路２８を流れることとなる。それにより、端部流路２８に液体が存在するとともに、端部流路２８を液体が流れることとなり、端部流路２８の周囲に位置する第１流路部材４の温度が液体により均一化される。それゆえ、第１流路部材４は、第２方向Ｄ２の端部および第５方向Ｄ５の端部から放熱される可能性が低減することとなる。

（吐出ユニット）
図６，７を用いて、吐出ユニット１５について説明する。吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第２流路）１４と、第３個別流路（第３流路）１６とを有している。なお、液体吐出ヘッド２では、第１個別流路１２および第２個別流路１４から加圧室１０へ液体を供給し、第３個別流路１６が加圧室１０から液体を回収している。なお、詳細は後述するが、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。

吐出ユニット１５は、隣り合う第１共通流路２０と第２共通流路２４との間に設けられており、第１流路部材４の平面方向にマトリクス状に形成されている。吐出ユニット１５は、吐出ユニット列１５ａと、吐出ユニット行１５ｂとを有している。吐出ユニット列１５ａでは、吐出ユニット１５が第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。吐出ユニット行１５ｂでは、吐出ユニット１５が第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

加圧室１０は、加圧室列１０ｃと、加圧室行１０ｄとを有している。また、吐出孔８は、吐出孔列８ａと、吐出孔行８ｂとを有している。吐出孔列８ａおよび加圧室列１０ｃも同様に、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。また、吐出孔行８ｂおよび加圧室行１０ｄも同様に、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４と、第２方向Ｄ２および第５方向Ｄ５とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向Ｄ１に沿って配置されている吐出孔列８ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれの分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。そして、吐出孔列８ａが第２方向Ｄ２に並んで配置されるので、異なる吐出孔列８ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向Ｄ２に一定間隔で並んで配置されている。これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。

図６において、吐出孔８を第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に記録媒体Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。

ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２側に位置する第１共通流路２０と、最も第２方向Ｄ２側に位置する第２共通流路２４との間に設けられている。また、ダミー吐出ユニット１７は、最も第５方向Ｄ５側に位置する第１共通流路２０と、最も第５方向Ｄ５側に位置する第２共通流路２４との間にも設けられている。ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２または第５方向Ｄ５側に位置する吐出ユニット列１５ａの吐出を安定させるために設けられている。

加圧室１０は、図７，８に示すように、加圧室本体１０ａと部分流路１０ｂとを有している。加圧室本体１０ａは、平面視して、円形状をなしており、加圧室本体１０ａから下方に向けて部分流路１０ｂが延びている。加圧室本体１０ａは、加圧室本体１０ａ上に設けられた変位素子４８から圧力を受けることにより、部分流路１０ｂ中の液体を加圧する。

加圧室本体１０ａは、略円板形状であり、平面形状は円形状をなしている。平面形状が円形状であることにより、変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくすることができる。部分流路１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい略円柱形状であり、平面形状は円形状である。また、部分流路１０ｂは、加圧室面４−１から見たときに、加圧室本体１０ａ内に収納されている。

なお、部分流路１０ｂは、吐出孔８側に向かって断面積の小さくなる円錐状あるいは円錐台状であってもよい。それにより、第１共通流路２０および第２共通流路２４の幅を大きくでき、上述の圧力損失の差を小さくできる。

加圧室１０は、第１共通流路２０の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第１共通流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して接続されている。

また、加圧室１０は、第２共通流路２４の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第２共通流路２４とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第３個別流路１６を介して接続されている。

図７を用いて、第１個別流路１２、第２個別流路１４および第３個別流路１６について説明する。

第１個別流路１２は、第１共通流路２０と加圧室本体１０ａとを接続している。第１個別流路１２は、第１共通流路２０の上面から上方へ向けて延びた後、第５方向Ｄ５に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、再び上方へ向けて延びて加圧室本体１０ａの下面に接続されている。

第２個別流路１４は、第１共通流路２０と部分流路１０ｂとを接続している。第２個別流路１４は、第１共通流路２０の下面から第５方向Ｄ５へ向けて延び、第１方向Ｄ１に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

第３個別流路１６は、第２共通流路２４と部分流路１０ｂとを接続している。第３個別流路１６は、第２共通流路２４の側面から第２方向Ｄ２に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

そして、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。第２個別流路１４の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くするには、例えば、第２個別流路１４が形成されるプレート４ｌの厚みを、第１個別流路１２が形成されるプレート４ｃの厚みよりも厚くすればよい。また、平面視して、第２個別流路１４の幅を、第１個別流路１２の幅よりも広くしてもよい。また、平面視して、第２個別流路１４の長さを、第１個別流路１２の長さよりも短くしてもよい。

以上のような構成により、第１流路部材４では、開口２０ａを介して第１共通流路２０に供給された液体は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して加圧室１０に流れ込み、一部の液体は吐出孔８から吐出される。そして、残りの液体は、加圧室１０から、第３個別流路１６を介して第２共通流路２４に流れ込み、開口２４ａを介して、第１流路部材４から第２流路部材６に排出される。

（圧電アクチュエータ）
図７（ｃ），８を用いて圧電アクチュエータ基板４０について説明する。第１流路部材４の上面には、変位素子４８を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子４８が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群と略同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、第１流路部材４の加圧室面４−１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。

圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。

これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層４０ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層、金属板または樹脂板を用いてもよい。振動板は、第１流路部材４の一部を構成する部材に兼用されているかのような構成とされてもよい。例えば、振動板は、図示の例とは異なり、加圧室面４−１全体に亘る広さを有するとともに、開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄと対向する開口を有していてもよい。

圧電アクチュエータ基板４０には、共通電極４２と、個別電極４４と、接続電極４６とが形成されている。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向の略全面にわたって形成されている。そして、個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている。

圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子４８となっている。そのため、圧電アクチュエータ基板４０は、複数の変位素子４８を有している。

共通電極４２は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料により形成することができ、共通電極４２の厚さは２μｍ程度とすることができる。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して圧電セラミック層４０ａ上の共通電極用表面電極（不図示）と繋がっており、共通電極用表面電極を介して接地され、グランド電位に保持されている。

個別電極４４は、Ａｕ系などの金属材料により形成されており、個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂとを有している。図７（ｃ）に示すように、個別電極本体４４ａは、平面視して、略円形状に形成されており、加圧室本体１０ａよりも小さく形成されている。引出電極４４ｂは、個別電極本体４４ａから引き出されており、引き出された引出電極４４ｂ上に接続電極４６が形成されている。

接続電極４６は、例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。接続電極４６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。

液体吐出ヘッド２は、制御部７６の制御により、ドライバＩＣ６２などを介して、個別電極４４に供給される駆動信号に従って、変位素子４８を変位させる。駆動方法としては、いわゆる引き打ち駆動を用いることができる。

（吐出ユニットの詳細および作用）
図９を用いて液体吐出ヘッド２の吐出ユニット１５を詳細に説明する。

吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第２流路）１４と、第３個別流路（第３流路）１６とを備えている。第１個別流路１２および第２個別流路１４は、第１共通流路２０（第４流路（図８参照））に接続されており、第３個別流路１６は、第２共通流路２４（第５流路（図８参照））に接続されている。

第１個別流路１２は、加圧室１０のうち加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されている。第２個別流路１４は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。第３個別流路１６は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。

第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａを通って部分流路１０ｂを下方に向けて流れ、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

第２個別流路１４から供給された液体は、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、部分流路１０ｂ内を上方へ向けて流れ、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

図９に示すように、第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａ、および部分流路１０ｂを流れて吐出孔８から吐出される。従来の吐出ユニットにおける液体の流れは破線で示すように、加圧室本体１０ａの中央部から吐出孔８に向けて一様に略直線状に流れている。

このような流れが生じると、加圧室１０のうち、第２個別流路１４が接続された部位と反対側に位置する領域８０付近には液体が流れにくい構成となり、例えば、領域８０付近に液体の滞留する領域が生じるおそれがある。

これに対して、吐出ユニット１５では、第１個別流路１２および第２個別流路１４が加圧室１０に接続されており、これらの流路から加圧室１０に液体が供給される。

そのため、第１個別流路１２から吐出孔８へ供給される液体の流れに対して、第２個別流路１４から加圧室１０へ供給された液体の流れを衝突させることができる。それにより、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れが、一様に略直線状に流れにくくなり、加圧室１０内に液体が滞留する領域を生じにくくすることができる。

すなわち、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れにより生じた液体の滞留点の位置が、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れとの衝突により移動することになり、加圧室１０内に液体の滞留する領域を生じにくくすることができる。

また、加圧室１０が、加圧室本体１０ａおよび部分流路１０ｂを有しており、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａに接続され、第２個別流路１４が部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第１個別流路１２が、加圧室１０全体を流れるように液体を供給するとともに、第２個別流路１４から供給された液体の流れにより、部分流路１０ｂに液体の滞留する領域が生じにくくなる。

また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第２個別流路１４から第３個別流路１６に向けて流れる液体の流れが、部分流路１０ｂの内部を横断する構成となる。その結果、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れを横切るように、第２個別流路１４から第３個別流路１６へ向けて流れる液体を流すことができる。それゆえ、さらに部分流路１０ｂ内に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

（個別流路等の詳細および作用）
また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されており、第２個別流路１４よりも加圧室本体１０ａ側に接続されている。そのため、吐出孔８から部分流路１０ｂの内部に気泡が侵入した場合においても、気泡の浮力を利用して第３個別流路１６に気泡を排出することができる。それにより、部分流路１０ｂ内に気泡が滞留することにより、液体への圧力伝幡に影響を与える可能性を低減することができる。

また、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、第２個別流路１４が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。

そのため、平面視したときに、吐出ユニット１５には、第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４の両側から液体が供給されることとなる。そのため、供給された液体は、第１方向Ｄ１の速度成分、および第４方向Ｄ４の速度成分を有することとなる。それゆえ、加圧室１０に供給された液体が、部分流路１０ｂの内部の液体を撹拌することとなる。その結果、さらに部分流路１０ｂ内に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

また、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されており、吐出孔８が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に配置されている。それにより、部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側にも液体を流すことができ、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

なお、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続され、吐出孔８が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に配置されるように構成してもよい。その場合においても同様の効果を奏することができる。

また、図８に示すように、第３個別流路１６が、第２共通流路２４の加圧室本体１０ａ側に接続されている。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡を第２共通流路２４の上面に沿って流すことができる。それにより、第２共通流路２４から開口２４ａ（図６参照）を介して気泡を外部に排出しやすい。

また、第３個別流路１６の上面と、第２共通流路２４の上面とが面一であることが好ましい。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡は、第３個別流路１６の上面、および第２共通流路２４の上面に沿って流れることとなり、さらに外部に排出しやすい。

また、第２個別流路１４は、第３個別流路１６よりも部分流路１０ｂの吐出孔８側に接続されている。それにより、吐出孔８の近傍にて第２個別流路１４から液体が供給されることとなる。それゆえ、吐出孔８の近傍の液体の流速を早めることができ、液体に含まれる顔料等が沈降することが抑制され、吐出孔８につまりが生じにくくなる。

また、図７（ｂ）に示すように、平面視したときに、第１個別流路１２が、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されており、部分流路１０ｂの面積重心が、加圧室本体１０ａの面積重心よりも第４方向Ｄ４側に位置している。すなわち、部分流路１０ｂが、加圧室本体１０ａの第１個別流路１２から遠い側に接続されている。

なお、ある平面図形の面積重心とは、平面形状がその平面図形と同じ板状の物体を、単位面積当たりの質量が均一な物質で作った際に、その物体の重心が、平面図形の中に位置する点である。この面積重心は、その平面図形の面積を２等分する第１直線と、その平面図形の面積を２等分する、第１直線とは異なる角度の第２直線とを描いたときに、第１直線と第２直線と交点でもある。

それにより、加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に供給された液体は、加圧室本体１０ａの全域に広がった後、部分流路１０ｂに供給されることとなる。その結果、加圧室本体１０ａの内部に、液体の滞留する領域が生じにくい。

また、平面視したときに、第２個別流路１４と第３個別流路１６との間に吐出孔８が配置されている。それにより、吐出孔８から液体が吐出された際に、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置を移動させることができる。

すなわち、吐出孔８からの液体の吐出量は、印画される画像により異なることとなり、液体の吐出量の増減に伴って、部分流路１０ｂの内部の液体の挙動が変化することとなる。そのため、液体の吐出量の増減により、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置が移動することとなり、部分流路１０ｂの内部に液体が滞留する領域が生じにくい。

また、吐出孔８の面積重心が、部分流路１０ｂの面積重心よりも第４方向Ｄ４側に位置している。それにより、部分流路１０ｂに供給された液体は、部分流路１０ｂの全域に広がった後、吐出孔８に供給されることとなり、部分流路１０ｂの内部に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

ここで、吐出ユニット１５は、第１個別流路１２（第１流路）および第２個別流路１４（第２流路）を介して第１共通流路２０（第４流路）と接続されている。そのため、加圧室本体１０ａに加えられた圧力の一部は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して第１共通流路２０に伝幡することとなる。

第１共通流路２０には、第１個別流路１２および第２個別流路１４から圧力波が伝幡して、第１共通流路２０の内部に圧力差が生じると、第１共通流路２０の液体の挙動が不安定になるおそれがある。そのため、第１共通流路２０に伝幡する圧力波の大きさは均一であることが好ましい。

液体吐出ヘッド２は、断面視して、第２個別流路１４が第１個別流路１２よりも下方に配置されている。そのため、加圧室本体１０ａからの距離が、第２個別流路１４のほうが第１個別流路１２よりも長くなり、第２個別流路１４まで伝幡する際に、圧力減衰が生じることとなる。

そして、第２個別流路１４の流路抵抗が第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっていることから、第２個別流路１４を流れる際の圧力減衰を、第１個別流路１２を流れる際の圧力減衰よりも小さくすることができる。その結果、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝幡した圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

つまり、加圧室本体１０ａから第１個別流路１２または第２個別流路１４までの圧力減衰と、第１個別流路１２または第２個別流路１４を流れる際の圧力減衰との合計を、第１個別流路１２と第２個別流路１４とで均一に近づけることができ、第１共通流路２０に伝幡する圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

また、断面視して、第３個別流路１６が、第２個別流路１４よりも高く配置されており、かつ第１個別流路１２よりも低く配置されている。言い換えると、第３個別流路１６は、第１個別流路１２と第２個別流路１４との間に配置されている。そのため、加圧室本体１０ａに加圧された圧力は、第２個別流路１４に伝幡する際に、一部が第３個別流路１６に伝幡する。

これに対して、第２個別流路１４の流路抵抗が、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。そのため、第２個別流路１４に到達する圧力波が減少していても、第２個別流路１４での圧力減衰が小さくなるため、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝幡した圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

第１個別流路１２の流路抵抗は、第２個別流路１４の流路抵抗の１．０３〜２．５倍とすることができる。

なお、第２個別流路１４の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも大きくしてもよい。その場合、第１共通流路２０から第２個別流路１４を介した圧力伝幡を生じにくくすることができる。その結果、吐出孔８に不要な圧力が伝幡する可能性を低減することができる。

第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗の１．０３〜２．５倍とすることができる。

（仕切部）
図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、第１共通流路２０（第４流路）の内部は、仕切部２５によって第１区画２０ｅと第２区画２０ｆとに仕切られている。第１区画２０ｅおよび第２区画２０ｆは、第１共通流路２０に交差する方向（本実施形態では上下方向）の一方側と他方側とに位置しており、第１共通流路２０の流路方向に並列に延びている。複数の第１個別流路１２（第１流路）は第１区画２０ｅに接続されている。複数の第２個別流路１４（第２流路）は第２区画２０ｆに接続されている。

従って、例えば、加圧室１０内における流れを好適化するために３本の個別流路を設けたことによって生じる特有の課題を解決することができる。具体的には、例えば、以下のとおりである。

３本の個別流路を設けた結果、第１個別流路１２および第２個別流路１４は、共通して第１共通流路２０に接続されている。従って、加圧室１０において生じた圧力波は、第１個別流路１２を経由して第１共通流路２０に伝搬するとともに、第２個別流路１４を経由して第１共通流路２０に伝搬する。第１個別流路１２および第２個別流路１４は、互いにその形状が異なるから、第１個別流路１２を経由した圧力波と、第２個別流路１４を経由した圧力波とはその性質が互いに異なるものとなる。その結果、この２つの圧力波が第１共通流路２０において混合されると、予期していなかったモードの振動（圧力波）が現れるおそれがある。そして、この圧力波が第１個別流路１２および／または第２個別流路１４を介して加圧室１０へ伝搬して、液体の吐出特性に影響を及ぼすおそれがある。すなわち、第１共通流路２０を介して、隣接する吐出ユニット１５に、いわゆる流体クロストークが生じるおそれがある。

しかし、第１共通流路２０内が、第１個別流路１２が接続される第１区画２０ｅと、第２個別流路１４が接続される第２区画２０ｆとに仕切られることによって、例えば、上記のような圧力波の混合が生じにくくなる。その結果、例えば、液体の吐出特性の精度が向上する。また、例えば、仕切部２５の弾性変形によって圧力波のエネルギーが吸収されることによって、各々の圧力波が小さくなることも期待される。

第１共通流路２０は、複数の吐出孔８の開口方向に直交する方向に延びている。第１区画２０ｅおよび第２区画２０ｆは、例えば、仕切部２５によって吐出孔８の開口方向（上下方向）の一方側と他方側とに仕切られている。具体的には、例えば、第１区画２０ｅは、上方（吐出孔８に対する加圧室１０側）に位置し、第２区画２０ｆは、下方（加圧室１０に対する吐出孔８側）に位置している。

従って、例えば、加圧室１０内の流れを好適にするために加圧室１０に対して上下方向の互いに異なる位置に接続された第１個別流路１２および第２個別流路１４を比較的単純な形状で第１区画２０ｅおよび第２区画２０ｆへ延ばすことができる。また、以下のように、第１共通流路２０を構成するプレートによって仕切部２５を形成することが容易化される。

第１流路部材４は、吐出孔８の開口方向において積層されている複数のプレート４ａ〜４ｍを備えている。仕切部２５は、例えば、そのうちの１つ（図示の例ではプレート４ｉ）によって構成されている。

従って、例えば、後述する変形例（図１１（ｃ））との比較から理解されるように、プレート４ｉに対してのみ、仕切部２５を形成するための平面形状の設計変更を行えばよい。また、仕切部２５において複数のプレートを接着する必要がない。従って、仕切部２５の形成が容易である。

仕切部２５を構成しているプレート４ｉにおいて、仕切部２５における厚さは、例えば、他の少なくとも一部の領域における厚さよりも薄い。他の領域は、例えば、プレート４ｉの両面が他のプレート（４ｈおよび４ｊ）に接着される領域である。また、他の領域の厚さは、例えば、プレート４ｉの最大厚である。

従って、例えば、仕切部２５が他の領域よりも薄くされている分だけ、第１区画２０ｅおよび／または第２区画２０ｆの容積を大きくすることができる。その結果、例えば、圧力波を第１共通流路２０において分散させて減衰させることが容易化される。なお、このような仕切部２５において薄くなる形状は、例えば、プレート４ｉが接着される前に、仕切部２５となる領域に対してハーフエッチングを行うことによって簡単に実現することができる。

仕切部２５における厚さは、例えば、他の領域（接着される領域）における厚さよりも薄い。従って、他の領域においては、所定の厚みを有することにより、接着する際に生じる外力に対して高い剛性を有することができ、他の領域を形成するプレート４ｉの強度を保持することができる。また、仕切り部２５が薄くされていることにより、仕切り部２５の剛性を低くすることができ、仕切り部２５を変形しやすくすることができる。

なお、図７（ｂ）のVIIIａ−VIIIａ線およびVIIIｂ−VIIIｂ線から理解されるように、図８（ａ）および図８（ｂ）では、仕切部２５は、第２方向Ｄ２側部分のみが示されているが、第５方向Ｄ５側部分も同図と同様である。すなわち、仕切部２５は、第１共通流路２０の第２方向Ｄ２側の壁面から第５方向Ｄ５側の壁面まで架け渡されており、その全体がプレート４ｉのうちのハーフエッチングされた領域によって構成されている。

仕切部２５を構成するプレート４ｉの材料は、金属であってもよいし、樹脂であってもよい。なお、樹脂の場合においては、例えば、金属に比較して、その圧縮によって圧力波のエネルギーを吸収しやすい。また、仕切部２５の具体的な厚さおよび上下方向の位置は、適宜に設定されてよい。

図１０（ａ）および図１０（ｂ）を参照して、仕切部２５の、第１共通流路２０の流路方向における範囲について説明する。図１０（ａ）は、１本の第１共通流路２０および１本の第２共通流路２４、ならびにその間に位置している複数の吐出ユニット１５を示す模式的な平面図である。ここでは、理解を容易にするために、複数の吐出ユニット１５は少数で示され、また、各吐出ユニット１５の形状は模式的に示されている。図１０（ａ）および図１０（ｂ）に亘って紙面上下方向に延びる２つの点線は、第１方向Ｄ１における、両図間の同一位置を示している。

仕切部２５は、第１共通流路２０の流路方向において、複数の第１個別流路１２および複数の第２個別流路１４が接続されている範囲ＣＲ１に位置している。ここでいう複数の第１個別流路１２および複数の第２個別流路１４は、例えば、第１共通流路２０に接続されている全ての吐出ユニット１５（例えば図６に示すように第１共通流路２０の両側の２列の吐出ユニット列１５ａの全ての吐出ユニット１５）の第１個別流路１２および第２個別流路１４である。

一方、仕切部２５は、範囲ＣＲ１よりも第１共通流路２０の端部側には位置していない。すなわち、第１共通流路２０は、その両端または一端（図示の例では両端）においては仕切られていない。従って、第１区画２０ｅおよび第２区画２０ｆは、第１共通流路２０の端部において互いに連通されている。また、仕切部２５は、開口２０ａから範囲ＣＲ１側に離れている。

以上のとおり、第１区画２０ｅと第２区画２０ｆとは連通されている。

従って、例えば、第１区画２０ｅと第２区画２０ｆとの間で液体の過不足を緩和できる。これにより、例えば、第１区画２０ｅと第２区画２０ｆとの間で意図しない圧力差が生じるおそれ、またはいずれかの区画の圧力が意図していない圧力となるおそれが低減される。ひいては、第１個別流路１２および第２個別流路１４が加圧室１０内の流れに及ぼす影響が意図しないものとなるおそれが低減される。

また、仕切部２５は、例えば、第１共通流路２０の流路方向に関して、複数の第１個別流路１２および複数の第２個別流路１４が第１共通流路２０に対して接続されている範囲ＣＲ１（第１範囲）に位置している。

従って、例えば、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝搬する圧力波の混合をより確実に抑制することができる。

また、仕切部２５は、例えば、第１共通流路２０の開口２０ａから第１共通流路２０の流路方向において離れている。言い換えると、流路方向に直交する方向に見て、仕切部２５と開口２０ａとの間には隙間が存在している。

従って、例えば、仕切部２５が開口２０ａから第１共通流路２０内への流れの抵抗となるおそれが低減される。また、第１区画２０ｅおよび第２区画２０ｆの双方の圧力波を第１共通流路２０の開口２０ａから逃がすことができる。なお、開口２０ａ付近において圧力波が混合されても、範囲ＣＲ１において圧力波が混合される場合に比較して、意図しないモードの圧力波が吐出特性に影響を及ぼすおそれは低い。隙間の大きさは適宜に設定されてよい。

第１流路部材４は、図１０（ａ）に示す接続路２７を有していてもよい。接続路２７は、第１共通流路２０の範囲ＣＲ１よりも端部側と、第２共通流路２４の範囲ＣＲ２よりも端部側とを接続している。範囲ＣＲ１については、上述したとおりである。範囲ＣＲ２は、複数の第３個別流路１６が第２共通流路２４に対して接続されている範囲である。ここでいう複数の第３個別流路１６は、例えば、第２共通流路２４に接続されている全ての吐出ユニット１５（例えば図６に示すように第２共通流路２４の両側の２列の吐出ユニット列１５ａの全ての吐出ユニット１５）の第３個別流路１６である。

このような接続路２７が設けられることによって、第１共通流路２０の範囲ＣＲ１よりも下流側（第４方向Ｄ４側）の端部、および第２共通流路２４の範囲ＣＲ２よりも上流側（第１方向Ｄ１側）の端部において、液体が滞留するおそれが低減される。なお、接続路２７の断面積は、例えば、共通流路の断面積よりも小さく、また、個別流路の断面積よりも小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。接続路２７の形状および共通流路に対する接続位置（上面、側面または下面）も任意である。

仕切部２５は、例えば、接続路２７よりも範囲ＣＲ１側に位置している。すなわち、第１共通流路２０は、接続路２７の位置においては仕切られていない。

従って、例えば、接続路２７が設けられていることによる流れによって、第１区画２０ｅ側および第２区画２０ｆ側の双方において滞留のおそれが低減される。なお、開口２０ａ付近と同様に、接続路２７付近において圧力波が混合されても、範囲ＣＲ１において圧力波が混合される場合に比較して、意図しないモードの圧力波が吐出特性に影響を及ぼすおそれは低い。

（変形例）
図１１（ａ）は、変形例に係る仕切部２２５の一部を示す模式的な斜視図である。

仕切部２２５には、第１区画２０ｅと第２区画２０ｆとを連通する複数の孔２２５ｈが形成されている。なお、本変形例は、例えば、孔２２５ｈが設けられていることを除いては、実施形態と同様である。

第１区画２０ｅと第２区画２０ｆとが連通されることによって、例えば、既に述べたように、第１区画２０ｅと第２区画２０ｆとの間で液体の過不足が緩和され、意図しない圧力差等が生じるおそれが低減される。

複数の孔２２５ｈは、例えば、その全部または一部が範囲ＣＲ１に位置している。これにより、例えば、第１共通流路２０の全体または任意の位置において、上述した第１区画２０ｅと第２区画２０ｆとの間で液体の過不足を緩和する効果が奏される。

複数の孔２２５ｈの位置、大きさおよび形状は適宜に設定されてよい。例えば、複数の孔２２５ｈは、一の吐出ユニット列１５ａにおける吐出ユニット１５のピッチと同等のピッチで第１共通流路２０に沿って範囲ＣＲ１の全体に亘って１列または複数列で設けられている。このようにすることにより、範囲ＣＲ１に一様に複数の孔２２５ｈを分布させ、上述の効果を偏りなく得ることができる。また、例えば、孔２２５ｈの形状は、円形、楕円または多角形（例えば矩形）であってもよいし、流路方向または幅方向に延びるスリット状であってもよい。

なお、孔２２５ｈは、例えば、エッチングによって仕切部２２５を構成するプレート４ｉの平面形状を形成するときに形成される。

図１１（ｂ）は、他の変形例に係る仕切部３２５を示す、第１共通流路３２０の流路方向に直交する断面図である。なお、本変形例は、例えば、仕切部の断面形状を除いては、実施形態と同様である。

第１共通流路３２０は、実施形態の第１共通流路２０と同様のものである。仕切部３２５は、実施形態と同様に、第１共通流路３２０を第１区画３２０ｅと第２区画３２０ｆとに仕切っている。ただし、仕切部３２５は、その内部に空間３２５ｓを有している。また、別の観点では、仕切部３２５は、１枚のプレートによって構成されるのではなく、２枚以上（図示の例では２枚）のプレートによって構成されている。

具体的には、第１共通流路３２０の内壁は、プレート３０４ａ〜プレート３０４ｆが積層されることによって構成されている。仕切部３２５は、例えば、そのうちの互いに接着される２枚のプレート３０４ｃおよび３０４ｄによって構成されている。プレート３０４ｃおよび３０４ｄは、第１共通流路３２０内に位置する領域において互いに対向する側がハーフエッチングによって掘り込まれ、これにより、空間３２５ｓが構成されている。空間３２５ｓには、例えば、気体（例えば空気）が封入されている。

このように本変形例では、仕切部３２５の内部に空間３２５ｓが形成されている。従って、例えば、空間３２５ｓ内の気体の圧縮によって、圧力波のエネルギーを吸収することができる。その結果、例えば、第１個別流路１２を経由した圧力波と第２個別流路１４を経由した圧力波が混合されて吐出特性に影響を及ぼすおそれがより確実に低減される。

なお、他のプレートを間に介在させている２枚のプレート間に空間が構成されてもよい。この場合、ハーフエッチングは、なされてもよいし、なされなくてもよい。また、互いに接着されている、または他のプレートを間に介在させている２枚のプレートにおいて、一方のプレートのみハーフエッチングがなされてもよいし、空間とは反対側がハーフエッチングがなされてもよい。また、３枚以上のプレートによって仕切部が構成されて仕切部内に複数の空間が積層されてもよい。空間内には、気体に代えて、第１区画２０ｅおよび第２区画２０ｆを流れる液体よりも圧縮されやすい液体が封入されてもよいし、プレートの材料よりも圧縮されやすい部材が配置されてもよい。

図１１（ｃ）は、さらに他の変形例に係る仕切部４２５を示す、第１共通流路４２０の流路方向に直交する断面図である。本変形例は、例えば、仕切部の断面形状を除いては、実施形態と基本的に同様である。

第１共通流路４２０は、実施形態の第１共通流路２０と同様のものである。仕切部４２５は、第１共通流路４２０をその上下方向（プレートの積層方向、吐出孔８の開口方向）に仕切るのではなく、第１共通流路４２０の幅方向（流路方向および吐出孔８の開口方向に直交する方向）に仕切っている。そして、第１個別流路１２は第１区画４２０ｅに接続され、第２個別流路１４は第２区画４２０ｆに接続されている。

より具体的には、例えば、第１流路部材４０４はプレート４０４ａ〜プレート４０４ｍが積層されて構成されている。第１共通流路２０の内壁は、プレート４０４ｄ〜プレート４０４ｊによって構成されている。このプレート４０４ｄ〜プレート４０４ｊでは、仕切部４２５となる領域を残して、第１共通流路４２０となるスリットがエッチングによって形成される。そして、残された領域が積層されて接着されることによって仕切部４２５が構成される。

なお、仕切部４２５が実施形態と同様に第１共通流路４２０の両端から離れている場合においては、仕切部４２５となる領域は、各プレートにおいて第１共通流路２０となるスリット内に浮島状に形成される。従って、プレート４０４ｄ〜プレート４０４ｊでは、例えば、これらの間で互いに重ならない位置に、仕切部４２５となる領域とスリットの外部とを連結する連結部も形成される。

第１個別流路１２および第２個別流路１４は、それぞれ第１区画４２０ｅおよび第２区画４２０ｆに接続可能に、第１共通流路４２０の幅方向における長さが設定される以外は、実施形態と同様である。

このように本変形例では、第１区画４２０ｅおよび第２区画４２０ｆは、仕切部４２５によって、第１共通流路４２０の幅方向の一方側と他方側とに仕切られている。従って、例えば、第１区画４２０ｅおよび第２区画４２０ｆは、第１共通流路４２０の深さ方向における位置が同等であり、ひいては、重力の影響が同等である。その結果、例えば、仕切部４２５よりも上流側の液体が第１区画４２０ｅおよび第２区画４２０ｆに偏りなく流れ込み易い。

また、仕切部４２５は、プレートの平面形状における一部が積層されて構成されているから、例えば、プレートの平面形状を適宜な形状とすることによって、簡便に仕切部４２５の平面形状を適宜なものとすることができる。例えば、平面視において、第１個別流路１２および第２個別流路１４の第１共通流路４２０に対する接続位置の配列に応じて、仕切部４２５を蛇行させたり、仕切部４２５の幅を周期的に変化させたりすることができる。その結果、例えば、圧力波の混合がより効果的に抑制されることが期待される。

なお、以上の実施形態および変形例において、変位素子４８は加圧部の一例である。搬送ローラ７４ａ〜７４ｄは搬送部の一例である。開口２０ａは第４流路の流入口の一例である。範囲ＣＲ１は第１範囲の一例である。範囲ＣＲ２は第２範囲の一例である。

本開示の態様は、上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

加圧室に接続され、液体の供給または回収に供される流路の構成は、実施形態に例示したものに限定されない。例えば、図９において、第２個別流路１４および／または第３個別流路１６の部分流路１０ｂから延びる方向が図示とは逆にされてもよい。また、例えば、第１個別流路１２および第３個別流路１６から加圧室１０に液体が供給され、第２個別流路１４から液体が回収されてもよい。第１個別流路１２が液体の回収に利用されてもよい。

また、実施形態では、第４流路に共通に接続される第１流路および第２流路（実施形態では第１個別流路１２および第２個別流路１４）は、いずれも液体を加圧室に供給する流路とされた。ただし、第１流路および第２流路は、加圧室から液体を回収する流路であってもよい。例えば、第１共通流路２０から第１個別流路１２を経由して加圧室１０に液体が供給され、加圧室１０から第２個別流路１４および第３個別流路１６を経由して第２共通流路２４に液体が回収されてもよい。

この場合、第１個別流路１２から加圧室１０へ供給された液体は、第２個別流路１４への流れと、第３個別流路１６への流れを生じる。これにより、例えば、加圧室１０内の滞留が抑制される。なお、この場合、第２個別流路１４は第１流路の一例であり、第３個別流路１６は第２流路の一例であり、第１個別流路１２は第３流路の一例であり、第２共通流路２４は第４流路の一例であり、第１共通流路２０は第５流路の一例であり、開口２４ａは第４流路の流出口の一例である。

実施形態では、平面視において、部分流路１０ｂに接続される個別流路（例えば第２個別流路１４および第３個別流路１６）の幅（第１方向Ｄ１に直交する方向）は、部分流路１０ｂの直径よりも小さくされた。ただし、これらの個別流路の幅は、部分流路１０ｂとの接続部分において広くされることなどにより、部分流路１０ｂの直径と同等以上とされてもよい。

仕切部は、実施形態および図１１（ｃ）の変形例に示したように中実であってもよいし、図１１（ｂ）の変形例に示したように吐出対象の液体が流れない中空であってもよい。なお、図１１（ｃ）の変形例において、内部を中空にすることも可能である。

また、図１１（ａ）の変形例から理解されるように、仕切部は、第４流路（実施形態では第１共通流路２０）をその流路方向に交差する方向（実施形態では幅方向、図１１（ｃ）の変形例では厚さ方向）の全体に亘って仕切っている必要はなく、一部において第１区画と第２区画とが連通されていてもよい。従って、例えば、仕切部は、複数の孔が２次元的に規則的または不規則的に分布されて網目状に形成されていてもよいし、長手方向（第４流路の流路方向）の一部または全体に亘って延びるスリットを有していてもよい。

１本の第４流路（実施形態では１本の第１共通流路２０）に接続される全ての吐出ユニット（実施形態では第１共通流路２０の両側の２列の吐出ユニット列１５ａの全ての吐出ユニット１５）について、第１流路（実施形態では第１個別流路１２）が第１区画に接続され、第２流路（実施形態では第２個別流路１４）が第２区画に接続されている必要はない。仕切部は、例えば、同一の加圧室から第１流路および第２流路を経由して第４流路に伝搬する圧力波の混合を低減することに寄与している。従って、少なくとも一部の吐出ユニットについて、第１流路が第１区画に接続され、第２流路が第２区画に接続されていれば、仕切部が全く設けられていない場合に比較して、圧力波の混合が抑制され、吐出特性の精度が向上する。例えば、１本の第４流路の両側に位置する２列の吐出ユニット列において、一方の吐出ユニット列に関しては、第１流路が第１区画に接続され、第２流路が第２区画に接続されつつ、他方の吐出ユニット列に関しては、第２流路が第１区画に接続され、第１流路が第２区画に接続されてもよい。

１・・・カラーインクジェットプリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・第１流路部材
４a〜４ｍ・・・プレート
４−１・・・加圧室面
４−２・・・吐出孔面
６・・・第２流路部材
８・・・吐出孔
１０・・・加圧室
１０ａ・・・加圧室本体
１０ｂ・・・部分流路
１２・・・第１個別流路（第１流路）
１４・・・第２個別流路（第２流路）
１５・・・吐出ユニット
１６・・・第３個別流路（第３流路）
２０・・・第１共通流路（第４流路）
２０ａ・・・開口（流入口）
２２・・・第１統合流路
２４・・・第２共通流路（第５流路）
２４ａ・・・開口（流出口）
２５・・・仕切部
２６・・・第２統合流路
２８・・・端部流路
３０・・・ダンパ
３２・・・ダンパ室
４０・・・圧電アクチュエータ基板
４２・・・共通電極
４４・・・個別電極
４６・・・接続電極
４８・・・変位素子
５０・・・筐体
５２・・・放熱板
５４・・・配線基板
５６・・・押圧部材
５８・・・弾性部材
６０・・・信号伝達部
６２・・・ドライバＩＣ
７０・・・ヘッド搭載フレーム
７２・・・ヘッド群
７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ・・・搬送ローラ
７６・・・制御部
Ｐ・・・記録媒体
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ２・・・第２方向
Ｄ３・・・第３方向
Ｄ４・・・第４方向
Ｄ５・・・第５方向
Ｄ６・・・第６方向

Claims (12)

1. 複数の吐出孔、
   複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室、
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第１流路、
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第２流路、
   複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第３流路、
   複数の前記第１流路および複数の前記第２流路に共通して接続されている第４流路、および
   複数の前記第３流路に共通して接続されている第５流路、を備えている流路部材と、
   複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備えており、
   前記流路部材は、前記第４流路内を、前記第４流路の流路方向に交差する方向の一方側の第１区画と他方側の第２区画とに仕切っている仕切部をさらに備えており、
   複数の前記第１流路は前記第１区画に接続されており、
   複数の前記第２流路は前記第２区画に接続されている
   液体吐出ヘッド。
2. 前記第４流路は、複数の前記吐出孔の開口方向に直交する方向に延びており、
   前記第１区画および前記第２区画は、前記仕切部によって前記吐出孔の開口方向の一方側と他方側とに仕切られている
   請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記流路部材は、前記吐出孔の開口方向において積層されている複数のプレートを備えており、
   前記仕切部は、複数の前記プレートのうちの１つによって構成されている
   請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記仕切部を構成しているプレートにおいて、前記仕切部における厚さは、他の少なくとも一部の領域における厚さよりも薄い
   請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 複数の前記プレートは、前記一部の領域以外の他の領域において接着剤により接着されており、
   前記仕切部における厚さは、前記他の領域における厚さよりも薄い
   請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１区画と前記第２区画とは連通されている
   請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記仕切部は、前記第４流路の流路方向に関して、複数の前記第１流路および複数の前記第２流路が前記第４流路に対して接続されている範囲に位置している
   請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記仕切部は、前記第４流路の流入口または流出口から前記第４流路の流路方向において離れている
   請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記流路部材は、前記第４流路のうち複数の前記第１流路および複数の前記第２流路が前記第４流路に対して接続されている第１範囲よりも前記第４流路の端部側と、前記第５流路のうち複数の第３流路が前記第５流路に対して接続されている第２範囲よりも前記第５流路の端部側とを接続している接続路を更に備えており、
   前記仕切部は、前記接続路よりも前記第１範囲側に位置している
   請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記仕切部には、前記第１区画と前記第２区画とを連通する孔が開口している
    請求項１〜９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記仕切部には、前記第１区画と前記第２区画とを連通する孔が開口しており、
    前記孔は、その全部または一部が前記第１範囲に位置している
    請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
12. 請求項１〜１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
    記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、
    前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
    を備えている記録装置。

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