JP2009056766A - 液滴吐出装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】簡単な構造でノズルの乾燥を防ぎ、液滴の着弾位置ズレによる画像故障を抑えることのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】循環路18を構成するプレート17(図3参照)ならびに循環路18と循環用共通流路20とをつなぐ流路プレートに、ノズル16を中心として循環路18の長さを半径に描いた円19の半径方向に、循環路18の延びる角度をランダムにパターンニングする。これによりノズル16を中心として、循環路18の方向18Dと対称の方向(直線21)にインク滴は吐出され、図5(C)に示す印字ライン中心22A上に着弾する。
【選択図】図5

Description

本発明は液滴吐出装置に関し、特に吐出ノズル近傍の液を循環させる循環路を備えた液滴吐出装置に関する。
従来、インクジェット記録ヘッドは高画質・高密度印字を実現するインクドロップの小滴化のため、ノズルをより小径化する方向に向かっている。また紙上での画質向上を目指すため高粘度のインクを吐出する要求が高くなってきている。
上記のようなインクの高粘度化やノズルの小径化が進むと、ノズル近傍でのインク乾燥速度も速くなり、印字するためには頻繁なメンテナンスが必要となってくる。
そこでノズル(ノズル近傍のインク)の乾燥を防ぐため、ノズルの極近傍にインクの循環路を設置し、非印字時もしくは印字時にインクをノズルの配列と直交する方向に流動するように循環させる構成が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
あるいはノズル近傍のインク循環経路に連通する共通液室の内圧を上下させ、吐出口の近傍に形成されるインクのメニスカス面を吐出口の略先端部から共通液室の略手前までの間で往復動させる構成が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
どちらの構成でもノズル部(ノズル近傍のインク)の乾燥を防ぐため、循環路を出来る限りノズルに近い位置に設置したほうが効果が高く、その一例としてノズルプレートの裏側に循環路が設置されている例がある。
しかし、ノズルに近い位置に循環路が設けられていると、インク滴吐出時に循環路へインクが流れる速度成分が発生し、その結果として循環路の存在がインク滴の吐出方向に影響を与えることが問題となっている。
上記の問題は循環路がノズル軸に対して吐出方向から見て1方向にしか存在していないため、インク滴吐出時にインク圧力が逃げる方向となり、インクの速度分布の対称性が崩れて循環路方向に偏ることでインク滴の吐出方向に影響し、印字方向不良を招いている。
特開2001−205814号公報 特開2002−234175号公報
本発明は上記の点を考慮し、簡単な構造でノズルの乾燥を防ぐことのできる液滴吐出装置を提供することを課題とする。
請求項1に記載の液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズルと、前記ノズルから液滴を吐出させるために、内部の液を加圧変動させる圧力室と、前記圧力室に液を供給する第1の共通流路と、一端を前記圧力室に連通し、他端の中心と重なる位置に前記ノズルが設けられた略円筒形の連通路と、前記連通路の他端に設けられ液滴吐出方向と交差する方向に延長され前記連通路から液を排出する循環路と、前記循環路と連通し前記連通路より液を回収する第2の共通流路と、を備え、前記循環路は吐出方向より見て前記ノズルから複数の方向に延設され、前記第2の共通流路に接続されることを特徴とする。
上記構成の発明では、循環路がノズル軸に対して複数方向に存在しているため、循環路の存在する特定の方向だけが吐出時に液圧力の逃げる方向とならず、速度分布の対称性が崩れて特定の方向に偏ることなく、印字ライン上での吐出方向不良による白筋等の画質欠陥や濃度ムラを防ぐことができる。
請求項2に記載の液滴吐出装置は、隣接する着弾点に対して液滴を吐出する任意の2つの前記ノズルから延設される前記循環路同士は、吐出方向より見て互いに異なる方向に設けられたことを特徴とする。
上記構成の発明では、隣接するドットを吐出するノズル同士の循環路は吐出方向から見て方向が違うので、隣接するドット同士が同じ方向に吐出方向ズレを起こさず、印字ライン上で白筋などの吐出方向不良発生を防ぐことができる。
請求項3に記載の液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズルと、前記ノズルから液滴を吐出させるために、内部の液を加圧変動させる圧力室と、前記圧力室に液を供給する第1の共通流路と、一端を前記圧力室に連通し、他端の中心と重なる位置に前記ノズルが設けられた略円筒形の連通路と、前記連通路の他端に設けられ液滴吐出方向と交差する方向に延長され前記連通路から液を排出する循環路と、前記循環路と連通し前記連通路より液を回収する第2の共通流路と、を備え、隣接する着弾点に対して液滴を吐出する任意の2つの前記ノズルから延設され前記第2の共通流路に接続する前記循環路同士は、流路パラメータが互いに異なることを特徴とする。
上記構成の発明では、隣接するドットを吐出するノズル同士の循環路の流路パラメータ(流路の長さ、開口面積、高さ、幅など)が違うので、隣接するドット同士が同じ方向に吐出方向ズレを起こさず、印字ライン上で白筋の発生を防ぐことができる。
請求項4に記載の液滴吐出装置は、前記流路パラメータは前記循環路の長さ、開口面積、高さ、幅のうち一つまたは複数であることを特徴とする。
上記構成の発明では、流路パラメータが循環路の長さ、開口面積、高さ、幅であるため、従来の製造方法と同じプレートの積層で製造可能であり、特に追加設備や工程を必要とせず、コスト/作業時間を抑えることができる。
請求項5に記載の液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズルと、前記ノズルから液滴を吐出させるために、内部の液を加圧変動させる圧力室と、前記圧力室に液を供給する第1の共通流路と、一端を前記圧力室に連通し、他端の中心と重なる位置に前記ノズルが設けられた略円筒形の連通路と、前記連通路の他端に設けられ前記第1の共通流路と連通し、液滴吐出方向と交差し、かつ前記ノズルと交わらない方向に延長された循環路と、前記循環路と連通し前記連通路より液を回収する第2の共通流路と、を備えたことを特徴とする。
上記構成の発明では、循環路がノズル軸と交わらない方向に存在しているため、連通路から循環路へ向かうインクの流れはノズル軸に対称な円周に沿った渦状となり、半径方向へのインク流を抑え吐出時のインク流が偏ることを低減することができ、印字ライン上で吐出方向不良による白筋等の画質欠陥や濃度ムラを防ぐことができる。
請求項6に記載の液滴吐出装置は、前記循環路が前記ノズルに対して対称となる位置に複数設けられたことを特徴とする。
上記構成の発明では、連通路から循環路へ向かうインクの流れはノズル軸に対称な円周に沿った渦状となり、半径方向へのインク流を抑え吐出時のインク流が偏ることを低減し、さらに一つしか循環路を持たないイジェクタと比較してノズル裏面にインクの増粘や固化を促進する死水域や遅水域がなくなる効果を持たせることができる。
請求項7に記載の液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズルと、前記ノズルから液滴を吐出させるために、内部の液を加圧変動させる圧力室と、内部の液を加圧し前記ノズルに液を圧送する圧力室と、前記圧力室に液を供給する第1の共通流路と、一端を前記圧力室に連通し、他端の中心と重なる位置に前記ノズルが設けられた略円筒形の連通路と、前記連通路の他端と前記第1の共通流路とを連通し、液滴吐出方向と交差し、かつ前記ノズルと交わらない方向に延長された第1の循環路と、前記連通路の他端に設けられ液滴吐出方向と交差し、かつ前記ノズルと交わらない方向に延長され前記連通路から液を排出する第2の循環路と、前記第2の循環路と連通し液を回収する第2の共通流路と、を備えたことを特徴とする。
上記構成の発明では、複数の循環路がノズル軸と交わらない方向に存在しているため、連通路から循環路へ向かうインクの流れはノズル軸に対称な円周に沿った渦状となり、半径方向へのインク流を抑え吐出時のインク流が偏ることを低減することができ、印字ライン上での白筋など吐出方向不良を防ぐことができる。加えて第1の循環路は第1の共通流路から連通路に液を循環供給し、第2の循環路は連通路から液を排出する構成としたことで、連通路のノズル近傍の液循環を促進することができる。
本発明は上記構成としたので、簡単な構造でノズルの乾燥を防ぎ、液滴の着弾位置ズレによる画像欠陥を抑えることのできる液滴吐出装置とすることができた。
<画像形成装置概要>
図1〜図3には本発明の第1形態に係る液滴吐出装置が示されている。
図1は本発明の第1形態に係る液滴吐出装置の構造を示す斜視図、図2は上面図、図3は断面図である。
図1、3に示すように液滴吐出装置10は供給用共通流路12から供給されるインクを圧力室15に導入し、圧電素子13にて圧力室15を加圧することでインクを連通路14内を圧送しノズル16からインク滴として吐出させる。
連通路14のノズル16近傍には、吐出方向(図中上下方向)と直交する方向(図中水平方向)に循環路18が設けられ、循環用共通流路20と連通し、吐出されないインクを循環用共通流路20に戻す。循環用共通流路20内のインクは共通流路内を循環しながら再度液滴として吐出され、もしくは回収される。
図2に示すように個々の循環路18は吐出方向から見てノズル16近傍と循環用共通流路20との間をそれぞれ異なった角度/形状で連通している。すなわち、連通路14から循環路18を経由して循環用共通流路20へ至る経路の、液の流れる方向が隣接するノズル16間では異なっている。任意のノズル16間で上記の関係が成り立つので、ノズル16に対する循環路18の方向はランダマイズされている。これは物理的に隣接するノズル16同士のみならず、隣接する着弾点(ドット)を形成するインク滴を吐出するノズル16同士に於いても同様の関係となる。
すなわち図4に示すように、ノズル16を複数設けられた吐出ヘッド11が用紙Pの搬送幅方向に並んで配置されているとき、用紙P上の印字ライン22を形成するドット30A〜30Cを考える。ドット30Aを印字するノズル16Aとドット30Bを印字するノズル16Bとは隣接しているので、上記のように循環路18は互いに異なる方向に配置されている。
また、ノズル16Bと、ドット30Cを印字するノズル16Cとは別個の吐出ヘッド11に設けられており、物理的に隣接していないが、ドット30Bと30Cとは印字ライン22上で隣接しているので、これも上記のように循環路18は互いに異なる方向に配置される。
<循環路の角度と吐出方向>
従来、図14、15に示すようにノズル116の極近傍にインクの循環路118を設置し、非印字時もしくは印字時に循環させる方法においては、ノズル116の乾燥を防ぐために設けられた循環路118を出来る限りノズル116に近い位置に設置したほうが効果が高く、その一例としてノズルプレート117の裏側に設置されている例がある。
しかし、図15(A)に示すようにノズル116に近い位置に循環路118があると、吐出時に図15(B)に示すように循環路118へ流れる速度成分119が発生し、吐出方向に影響を与えている。すなわちノズル116のメニスカス周辺の液流は開放された循環路118方向へ向かうため、ノズル116における液圧力が吐出方向に対して対称性を失い、吐出方向が循環路118と反対方向にずれてしまう。
循環路118の方向がノズル116に対して常に一定の方向であればインク滴の着弾点も全て同じ方向にずれるので印字不良は原理的に発生しないが、近年の吐出ヘッドはノズル116をマトリックス配置し、かつ画質向上のため高密度化がなされているため、製造上や構成上、循環路118の方向・長さ等のパラメータを同一に揃えることはできない。
たとえば、図16に示すような構成では、ノズル列単位や、ある程度のノズル領域を単位として、対称配置が不可欠となるため、対称線120を境にノズル116に対する循環路118の方向も対称となり、ずれた吐出方向も対称位置で差が大きくなり、筋ムラが発生する。
<第1実施形態>
図5には本発明の第1形態に係る液滴吐出装置の循環路における方向設定の例が示されている。
図5(A)、(C)に示すように、本発明の第1実施形態では循環路18の方向をランダマイズする方法は、循環路18を構成するプレート17(図3参照)ならびに循環路18と循環用共通流路20とをつなぐ流路プレートに、ノズル16を中心として循環路18の長さを半径に描いた円19の半径方向に、循環路18の延びる角度をランダムにパターンニングすることにより可能である。
これによりノズル16を中心として、循環路18の方向18Dと対称の方向(直線15)にインク滴は吐出され、図5(C)に示す印字ライン中心22A上に着弾する。
しかし、前述の隣接するドット30を描画するノズル16同士の、循環路18の角度差が大きいと、特に印字方向(用紙P搬送幅方向)に対して、ふたつの循環路18の方向が対称に開いたとき、吐出角度差すなわち、ドット30の印字ズレは最大になる。
図5(B)に示すように角度差が90度など、上記のズレが大きすぎると、印字ライン22上でインク滴が着弾しない線が用紙P送り方向に形成され、印字ライン22同士の間に空白区間が形成されることで白スジ24の発生となる。
よって、隣接するドット30を描画するノズル16同士の、循環路18の角度差は、大きく変化せずに緩やかに変化する、もしくは、後述するように変化率は小さいままランダムに配置されることが望ましい。
循環路18の方向18Dの変化率としては、循環路18の位置、循環量、循環路18と連通路14との流路パラメータ比、駆動波形、液滴吐出装置10から用紙Pまでの距離、印字解像度によっても異なってくるが、循環路18による着弾位置ズレが用紙P上で15um以上起こる場合は、隣接するドット30間の循環路18の方向18Dの角度は60°以内、好ましくは30°以内がよい。図17に示すように、循環路18の設置により15μmの着弾位置ズレが発生するイジェクタにおいて、隣接するドット30間の循環路18の方向18Dの角度が30度以下であれば官能評価の結果、白スジ24の発生は目視で確認できないレベルとなる。
また、縞模様に対する人間の視覚特性から0.27cycle/mm以下、もしくは2.7cycle/mm以上の濃度周期変動は縞模様として認識されにくい。すなわち一般にばらつきが目立ちやすい画像濃度0.2〜0.3程度における濃度の振れ幅が十分に小さい(10%程度)場合は、空間周波数が約0.27(line/mm)よりも低い、または約2.7(line/mm)よりも高い場合には、濃度変動を人間の目では認識しにくくなることが知られているため(特開平6−19222参照)、画像上最近接となるイジェクタ同士のノズル16に対する循環路18の角度はなだらかに変化し、画像並びで循環路18の角度変化の周波数が、0.27cycle/mm以下、もしくは2.7cycle/mm以上になるように配置する。
図6には本発明の第1実施形態に係る液滴吐出装置の循環路における方向設定の例が示されている。
図6(A)に示すように、本発明の第1実施形態ではインク滴の吐出方向ズレをランダマイズする方法として、循環路18の方向を、角度の変化率は小さいままで角度そのものを所定の範囲内でランダムに配置する。
すなわち循環路18の方向18Dを、図6(A)のようにランダムに配置するが、方向18Dそのものは狭い角度範囲(例えば±45度以内)に収める。これにより印字ライン22を形成するドット30の着弾点ズレは所定の変動幅内でランダムに変動するので、白スジ24の発生を抑えることができる。
また、この方法では低周波の濃度周期発生が考えられるが、これに対しては駆動波形などの調整によってインク滴の滴速を変化させ、着弾位置をランダマイズすることで対応してもよい。
<第2実施形態>
図7には本発明の第2実施形態に係る液滴吐出装置の循環路における方向設定の例が示されている。
図7に示すように、本発明の第2実施形態ではインク滴の吐出方向ズレをランダマイズする方法は、循環路18の方向変化ではなく、循環路18の流路パラメータをランダムに変動させることで実現している。
すなわち循環路18の流路パラメータである流路長さ、流路の開口面積(高さ、幅)などをランダムにパターニングすることにより、各循環路18の方向18Dはそのままで直線21の長さ、すなわちノズル16から吐出されるインク滴の着弾位置ズレ長さをランダムに変動させることができる。これにより印字ライン22を形成するドット30の着弾点ズレは方向のみ同じで、ズレ量が所定の変動幅内でランダムに変動するので、白スジ24の発生を抑えることができる。
また上記第2実施形態は第1実施形態と併用してもよい。すなわち循環路18の方向Dを所定の範囲内でランダムに角度変化させ、さらに循環路18の流路パラメータをもランダムに変化させるようにしても効果が得られる。
<第3実施形態>
図8、9,10には本発明の第3実施形態に係る液滴吐出装置の循環路における方向設定の例が示されている。
図8、9、10に示すように、本発明の第3実施形態では循環路18の延長方向がノズル16面に入らないような位置に循環路18を設けている。
液循環によるノズル16近傍のインクの流れが、ノズル16軸を中心とした円(連通路14の内形)の接線方向になるように、すなわち吐出時の循環路18へのインクの流れが、直接循環路18の方向への成分ベクトルをもたないように設計することで、循環路18による連通路14内のインクの流れは、ノズル16軸を中心とした渦状となり、ノズル16軸半径方向への流速の非対称性変化を低減することで、インク滴吐出時の吐出方向不良を防止することができる。
図10のように循環路18がノズル16に対して、ひとつ設けられた構成でも効果があるが、より好ましくは、循環路18がノズル16軸に対して対称となる位置に2つ以上設置することで、形状的にも対称性を保つことができるので、連通路14内に発生するインク流にも対称性を持たせることができる。この循環路18の構成を実現するためには、従来は隣接列用の循環用共通流路20として使用している支流側、例えば図9の中央の連通路14に対しては図中左右両側の循環用共通流路20と連通し、両方に循環路18が連結される構成とすることで上記の構成を実現することができる。
この構成とすることで、図10に示すように循環路18がひとつしか設けられていない構成と比較してノズル16裏面近傍に死水域や遅水域が発生しにくい(連通路14内部の全体に循環流を起こすことができる)。
また連通路14内周の接線方向に配置することで、連通路14から循環路18へ向かうインクの流れはノズル16中心軸に対称な連通路14内周に沿った渦状となり、従来の半径方向へのインク流発生による吐出時の流れ偏りを低減することができる。
本実施形態に係る吐出装置の作製方法例としては、プレートの積層(従来の方法)で製造可能である。すなわち循環路18にかかわる積層プレートを最低1枚追加することで、例えば図9に示すように連通路14に繋がる循環路用プレート17Aを一枚追加すれば図8(B)の構造をもつ吐出装置とできる。また図9のように共通流路を区切りプレート17Bで上下に分け、圧電素子13側を供給用共通流路12、ノズル16側を循環用共通流路20としてもよい。
<第4実施形態>
図11〜13には本発明の第4実施形態に係る液滴吐出装置の循環路における方向設定の例が示されている。
図11に示すように、本発明の第4実施形態では循環路18の延長方向がノズル16面に入らないような位置に循環路18を設け、かつ複数設けられた循環路18の一方は連通路14のノズル16近傍にインクを供給する循環路18A、他方は連通路14から循環用共通流路20へインクを排出する循環路18Bとしている。
上記構造とすることで、液循環によるノズル16近傍のインクの流れが、ノズル16軸を中心とした円(連通路14の内形)の接線方向になるように、すなわち吐出時の循環路18Bへのインクの流れが、直接循環路18Bの方向への成分ベクトルをもたないように設計することができ、循環路18Aによる連通路14内のインクの流れは、ノズル16軸を中心とした渦状となり、ノズル16軸半径方向への流速の非対称性変化を低減することで、インク滴吐出時の吐出方向不良を防止することができる。
循環路18を吐出方向に異なる位置、すなわち連通路14の長さ方向の異なる位置(高さ)に複数設置することで、図11(B)に示すように循環路18(A)から18(B)へそのままインク流(図中矢印)が発生せず、ノズル16近傍の連通路14内を一周したのち循環路18(B)へと向かうインク流とすることができる。
また連通路14内周の接線方向に配置することで、連通路14から循環路18へ向かうインクの流れはノズル16中心軸に対称な連通路14内周に沿った渦状となり、従来の半径方向へのインク流発生による吐出時の流れ偏りを低減することができる。
本実施形態に係る吐出装置の作製方法例としては、プレートの積層(従来の方法)で製造可能である。すなわち循環路18にかかわる積層プレートを流入側1枚、回収側1枚追加することで、例えば図12に示すように連通路14に繋がる供給路用プレート17A、循環路用プレート17Bを追加すれば図11の構造をもつ吐出装置とできる。また供給用共通流路12、循環用共通流路20は、それぞれ横に並ぶように配置してもよい。さらに循環路18Aの流入側は、インクを供給する側の共通流路と同一の供給用共通流路12を使用するようにしてもよい。
あるいは図13に示すように循環路18Aと18Bとを吐出方向から見て略同一方向に設けてもよい。この場合も循環路18Aと18Bとは連通路14の長さ方向の異なる位置(高さ)に複数設置することで、ノズル16裏面近傍に死水域や遅水域が発生しにくく、かつインク滴吐出時の吐出方向不良を防止する構成とすることができる。
<作用効果>
本発明は上記構成としたので、以下のような優れた効果を有する。
すなわち、ノズル16の乾燥防止のためノズル16近傍に循環路18を備えた液滴吐出装置10において、インク滴吐出時に循環路18へ液圧が逃げ、ノズル16から吐出されるインク滴の吐出方向に影響する問題に対して、吐出方向から見た循環路18の方向をノズルごとにランダムとする、あるいは循環路18の流路パラメータをランダムとすることで吐出方向への影響をランダム化し、着弾地点のズレを目立たなくすることができる。
または1個のノズル16に対して複数の循環路18を設け、その延長線上にノズル16を含まない配置とする、より好ましくは連通路14の円周接線方向に配置することで、連通路14から循環路18へ向かうインクの流れは円周に沿った渦状の流れとなるため、連通路14の半径方向へのインク流を防止することで吐出方向への影響を抑え、着弾地点のズレを抑えることができる。
<その他>
以上、本発明の実施例について記述したが、本発明は上記の実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態様で実施し得ることは言うまでもない。
すなわち本実施形態では高粘度のインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドを液滴吐出装置の例に挙げたが、これに限定せず液滴を吐出する装置であれば例えばプリント基板のパターニング装置など、他の装置に応用することもできる。
本発明の第1実施形態に係る液滴吐出装置を示す斜視図である。 本発明の第1実施形態に係る液滴吐出装置を示す斜視図である。 本発明の第1実施形態に係る液滴吐出装置を示す断面図である。 本発明の第1実施形態に係る液滴吐出ヘッドを示す概念図である。 本発明の第1実施形態に係る液滴吐出装置の効果を示す概念図である。 本発明の第1実施形態に係る液滴吐出装置の効果を示す概念図である。 本発明の第2実施形態に係る液滴吐出装置の効果を示す概念図である。 本発明の第3実施形態に係る液滴吐出装置を示す斜視図および平面図である。 本発明の第3実施形態に係る液滴吐出装置を示す断面図である。 本発明の第3実施形態に係る液滴吐出装置の変形例を示す平面図である。 本発明の第4実施形態に係る液滴吐出装置を示す斜視図および平面図である。 本発明の第4実施形態に係る液滴吐出装置を示す断面図である。 本発明の第4実施形態に係る液滴吐出装置の変形例を示す平面図である。 従来の液滴吐出装置を示す斜視図、平面図および断面図である。 従来の液滴吐出装置を示す断面図である。 従来の液滴吐出装置を示す平面図である。 液滴吐出装置の隣接する循環路同士のなす角度と白スジ発生との関係を示す表である。
符号の説明
10 液滴吐出装置
11 吐出ヘッド
12 供給用共通流路
13 圧電素子
14 連通路
15 圧力室
16 ノズル
17 プレート
18 循環路
20 循環用共通流路
22 印字ライン
24 白スジ
30 ドット
P 用紙

Claims (7)

  1. 液滴を吐出するノズルと、
    前記ノズルから液滴を吐出させるために、内部の液を加圧変動させる圧力室と、
    前記圧力室に液を供給する第1の共通流路と、
    一端を前記圧力室に連通し、他端の中心と重なる位置に前記ノズルが設けられた略円筒形の連通路と、
    前記連通路の他端に設けられ液滴吐出方向と交差する方向に延長され前記連通路から液を排出する循環路と、
    前記循環路と連通し前記連通路より液を回収する第2の共通流路と、
    を備え、
    前記循環路は吐出方向より見て前記ノズルから複数の方向に延設され、前記第2の共通流路に接続されることを特徴とする液滴吐出装置。
  2. 隣接する着弾点に対して液滴を吐出する任意の2つの前記ノズルから延設される前記循環路同士は、吐出方向より見て互いに異なる方向に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
  3. 液滴を吐出するノズルと、
    前記ノズルから液滴を吐出させるために、内部の液を加圧変動させる圧力室と、
    前記圧力室に液を供給する第1の共通流路と、
    一端を前記圧力室に連通し、他端の中心と重なる位置に前記ノズルが設けられた略円筒形の連通路と、
    前記連通路の他端に設けられ液滴吐出方向と交差する方向に延長され前記連通路から液を排出する循環路と、
    前記循環路と連通し前記連通路より液を回収する第2の共通流路と、
    を備え、
    隣接する着弾点に対して液滴を吐出する任意の2つの前記ノズルから延設され前記第2の共通流路に接続する前記循環路同士は、流路パラメータが互いに異なることを特徴とする液滴吐出装置。
  4. 前記流路パラメータは前記循環路の長さ、開口面積、高さ、幅のうち一つまたは複数であることを特徴とする請求項3に記載の液滴吐出装置。
  5. 液滴を吐出するノズルと、
    前記ノズルから液滴を吐出させるために、内部の液を加圧変動させる圧力室と、
    前記圧力室に液を供給する第1の共通流路と、
    一端を前記圧力室に連通し、他端の中心と重なる位置に前記ノズルが設けられた略円筒形の連通路と、
    前記連通路の他端に設けられ前記第1の共通流路と連通し、液滴吐出方向と交差し、かつ前記ノズルと交わらない方向に延長された循環路と、
    前記循環路と連通し前記連通路より液を回収する第2の共通流路と、
    を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
  6. 前記循環路が前記ノズルに対して対称となる位置に複数設けられたことを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出装置。
  7. 液滴を吐出するノズルと、
    前記ノズルから液滴を吐出させるために、内部の液を加圧変動させる圧力室と、
    内部の液を加圧し前記ノズルに液を圧送する圧力室と、
    前記圧力室に液を供給する第1の共通流路と、
    一端を前記圧力室に連通し、他端の中心と重なる位置に前記ノズルが設けられた略円筒形の連通路と、
    前記連通路の他端と前記第1の共通流路とを連通し、液滴吐出方向と交差し、かつ前記ノズルと交わらない方向に延長された第1の循環路と、
    前記連通路の他端に設けられ液滴吐出方向と交差し、かつ前記ノズルと交わらない方向に延長され前記連通路から液を排出する第2の循環路と、
    前記第2の循環路と連通し液を回収する第2の共通流路と、
    を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
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