WO2018056291A1

WO2018056291A1 - 液体吐出ヘッド、および記録装置

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Publication number: WO2018056291A1
Application number: PCT/JP2017/033834
Authority: WO
Inventors: 大輔穂積
Original assignee: 京セラ株式会社
Priority date: 2016-09-20
Filing date: 2017-09-20
Publication date: 2018-03-29
Also published as: US10737489B2; CN109641461B; CN109641461A; US20200001606A1; JP6641023B2; JPWO2018056291A1

Abstract

液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室と、複数の加圧室にそれぞれ接続されている複数の第１個別流路、複数の第２個別流路および複数の第３個別流路と、複数の第１個別流路および複数の第２個別流路に共通して接続されている第１共通流路と、複数の第３個別流路に共通して接続されている第２共通流路とを備えている。同一の加圧室に接続されている第１個別流路および第２個別流路において、第１個別流路は、第２個別流路よりも、第１共通流路の閉口端部側で第１共通流路に接続されている。第１個別流路は、第２個別流路に対して、吐出孔が外部へ開口する側とは反対側に位置している。

Description

液体吐出ヘッド、および記録装置

　本開示は、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。

　従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、液体が流れる共通流路と、共通流路に接続されている複数の吐出ユニットとを備えている。各吐出ユニットは、例えば、吐出孔、吐出孔に接続された加圧室、および加圧室と共通流路とを接続する個別流路を備えており、加圧室が加圧されることによって吐出孔から液体を吐出する。特許文献１では、各吐出ユニットにおいて、加圧室と共通流路とを２本の個別流路によって接続している。この２本の個別流路の一方は、加圧室へ液体を供給するためのものであり、他方は、加圧室から液体を回収するためのものである。

特開２００８－２００９０２号公報

　本開示の一態様に係る液体吐出ヘッドは、流路部材と、加圧部とを備えている。流路部材は、複数の吐出孔、複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第１流路、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第２流路、複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第３流路、開口している第１端部から、閉じられている、または前記第１端部よりも開口面積が小さい第２端部へ、複数の前記吐出孔の開口方向に直交する方向において延びており、前記第１端部と前記第２端部との間において複数の前記第１流路および複数の前記第２流路に共通して接続されている第４流路、および複数の前記第３流路に共通して接続されている第５流路、を備えている。加圧部は、複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する。同一の前記加圧室に接続されている前記第１流路および前記第２流路において、前記第１流路の前記第４流路に対する接続位置は、前記第２流路の前記第４流路に対する接続位置に対して、前記第２端部側に位置しており、前記第１流路の前記第４流路に対する接続位置は、前記第２流路の前記第４流路に対する接続位置に対して、前記吐出孔が外部へ開口する側とは反対側に位置している。

　本開示の一態様に係る記録装置は、上記の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えている。

（ａ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す側面図、（ｂ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す平面図である。第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。（ａ）は図２の液体吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）は図２の液体吐出ヘッドの断面図である。（ａ）はヘッド本体の分解斜視図、（ｂ）は第２流路部材の下面から見た斜視図である。（ａ）は第２流路部材の一部を透過して見たヘッド本体の平面図、（ｂ）は第２流路部材を透過して見たヘッド本体の平面図である。図５の一部を拡大して示す平面図である。（ａ）は吐出ユニットの斜視図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図、（ｃ）は吐出ユニット上の電極を示す平面図である。（ａ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩａ－ＶＩＩＩａ線断面図、（ｂ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩｂ－ＶＩＩＩｂ線断面図である。液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図である。第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図である。第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図である。

　以下、本開示の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。同一の部材を示す複数の図面同士においても、形状等を誇張するために、寸法比率等は互いに一致していないことがある。

　第２実施形態以降において、既に説明した実施形態の構成と同一又は類似する構成については、既に説明した実施形態の構成に付した符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。既に説明した実施形態の構成に対応する（類似する）構成について、既に説明した実施形態の構成とは異なる符号を付した場合においても、特に断りがない事項については、既に説明した実施形態の構成と同様である。

　＜第１の実施形態＞
（プリンタの全体構成）
　図１を用いて、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含むカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１と称する）について説明する。

　プリンタ１は、記録媒体Ｐを搬送ローラ７４ａから搬送ローラ７４ｂへと搬送することにより、記録媒体Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部７６は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、記録媒体Ｐに液滴を着弾させて、記録媒体Ｐに印刷を行なう。

　本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

　プリンタ１には、記録媒体Ｐとほぼ平行になるように平板状のヘッド搭載フレーム７０が固定されている。ヘッド搭載フレーム７０には２０個の孔（不図示）が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔に搭載されている。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

　液体吐出ヘッド２は、図１（ｂ）に示すように細長い長尺形状をなしている。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、記録媒体Ｐの搬送方向に交差する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。隣り合う液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、記録媒体Ｐの幅方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、記録媒体Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

　４つのヘッド群７２は、記録媒体Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクからインクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクを印刷している。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。

　なお、プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度、すなわち搬送速度を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、記録媒体Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

　さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、記録媒体Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

　プリンタ１は、記録媒体Ｐに印刷を行なう。記録媒体Ｐは、搬送ローラ７４ａに巻き取られた状態になっており、２つの搬送ローラ７４ｃの間を通った後、ヘッド搭載フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通る。その後２つの搬送ローラ７４ｄの間を通り、最終的に搬送ローラ７４ｂに回収される。

　記録媒体Ｐとしては、印刷用紙以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、記録媒体Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙、裁断された布、木材、あるいはタイルなどであってもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や、化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

　また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部７６が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

（液体吐出ヘッドの全体構成）
　次に、図２～９を用いて第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。なお、図５，６では図面を分かりやすくするために、他の部材の下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。また、図５（ａ）では、第２流路部材６の一部を透過して示しており、図５（ｂ）では、第２流路部材６の全部を透過して示している。また、図９においては、従来の液体の流れを破線で示し、吐出ユニット１５の液体の流れを実線で示し、第２個別流路１４から供給された液体の流れを長破線で示している。

　なお、図面には、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、第３方向Ｄ３、第４方向Ｄ４、第５方向Ｄ５、および第６方向Ｄ６を図示している。第１方向Ｄ１は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の一方側であり、第４方向Ｄ４は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の他方側である。第２方向Ｄ２は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の一方側であり、第５方向Ｄ５は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の他方側である。第３方向Ｄ３は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の一方側であり、第６方向Ｄ６は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の他方側である。

　液体吐出ヘッド２においては、第１流路として第１個別流路１２、第２流路として第２個別流路１４、第３流路として第３個別流路１６、第４流路として第１共通流路２０、第５流路として第２共通流路２４を用いて説明する。

　図２，３に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａと、筐体５０と、放熱板５２と、配線基板５４と、押圧部材５６と、弾性部材５８と、信号伝達部６０と、ドライバＩＣ６２とを備えている。なお、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを備えていればよく、筐体５０、放熱板５２、配線基板５４、押圧部材５６、弾性部材５８、信号伝達部６０、およびドライバＩＣ６２は必ずしも備えていなくてもよい。

　液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａから信号伝達部６０が引き出されており、信号伝達部６０は、配線基板５４に電気的に接続されている。信号伝達部６０には、液体吐出ヘッド２の駆動を制御するドライバＩＣ６２が設けられている。ドライバＩＣ６２は、弾性部材５８を介して押圧部材５６により放熱板５２に押圧されている。なお、配線基板５４を支持する支持部材の図示は省略している。

　放熱板５２は、金属あるいは合金により形成することができ、ドライバＩＣ６２の熱を外部に放熱するために設けられている。放熱板５２は、螺子あるいは接着剤により筐体５０に接合されている。

　筐体５０は、ヘッド本体２ａの上面に載置されており、筐体５０と放熱板５２とにより、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を覆っている。筐体５０は、第１開口５０ａと、第２開口５０ｂと、第３開口５０ｃと、断熱部５０ｄとを備えている。第１開口５０ａは、第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に対向するようにそれぞれ設けられている。放熱板５２が第１開口５０ａに配置されることにより、第１開口５０ａは封止されている。第２開口５０ｂは、下方に向けて開口しており、第２開口５０ｂを介して配線基板５４および押圧部材５６が筐体５０の内部に配置される。第３開口５０ｃは、上方に向けて開口しており、配線基板５４に設けられたコネクタ（不図示）が収容される。

　断熱部５０ｄは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように設けられており、放熱板５２とヘッド本体２ａとの間に配置されている。それにより、放熱板５２に放熱された熱が、ヘッド本体２ａに伝わる可能性を低減することができる。筐体５０は、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。

　図４（ａ）に示すように、ヘッド本体２ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて長い平板形状をなしており、第１流路部材４と、第２流路部材６と、圧電アクチュエータ基板４０とを有している。ヘッド本体２ａは、第１流路部材４の上面に、圧電アクチュエータ基板４０および第２流路部材６が設けられている。圧電アクチュエータ基板４０は、図４（ａ）に示す破線の領域に載置される。圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４に設けられた複数の加圧室１０（図８参照）を加圧するために設けられており、複数の変位素子４８（図８参照）を有している。

（流路部材の全体構成）
　第１流路部材４は、内部に複数の流路が形成されており、第２流路部材６から供給された液体を、下面に設けられた吐出孔８（図８参照）まで導いている。第１流路部材４は、上面が加圧室面４－１となっており、加圧室面４－１に開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄが形成されている。開口２０ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２０ａは、加圧室面４－１の第３方向Ｄ３における端部に配置されている。開口２４ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２４ａは、加圧室面４－１の第６方向Ｄ６における端部に配置されている。開口２８ｃは、開口２０ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。開口２８ｄは、開口２４ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。

　第２流路部材６は、内部に複数の流路が形成されており、液体タンクから供給された液体を第１流路部材４まで導いている。第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４－１の外周部上に設けられており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域の外側にて、接着剤（不図示）を介して、第１流路部材４と接合されている。

（第２流路部材（統合流路））
　第２流路部材６は、図４，５に示すように、貫通孔６ａと、開口６ｂ，６ｃ，６ｄ，２２ａ，２６ａとが形成されている。貫通孔６ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域よりも外側に配置されている。貫通孔６ａには、信号伝達部６０が挿通している。

　開口６ｂは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第２方向Ｄ２における端部に配置されている。開口６ｂは、液体タンクから第２流路部材６に液体を供給している。開口６ｃは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第５方向Ｄ５における端部に配置されている。開口６ｃは、第２流路部材６から液体タンクに液体を回収している。開口６ｄは、第２流路部材６の下面に設けられており、開口６ｄにより形成された空間に圧電アクチュエータ基板４０が配置されている。

　開口２２ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２２ａは、第２流路部材６の第３方向Ｄ３における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第３方向Ｄ３側に設けられている。

　開口２２ａは、開口６ｂと連通しており、開口２２ａが第１流路部材４により封止されることにより、第１統合流路２２を形成している。第１統合流路２２は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２０ａおよび開口２８ｃに液体を供給する。

　開口２６ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２６ａは、第２流路部材６の第６方向Ｄ６における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第６方向Ｄ６側に設けられている。

　開口２６ａは、開口６ｃと連通しており、開口２６ａが第１流路部材４により封止されることにより、第２統合流路２６を形成している。第２統合流路２６は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２４ａおよび開口２８ｄから液体を回収する。

　以上の構成により、液体タンクから開口６ｂに供給された液体は、第１統合流路２２に供給され、開口２２ａを介して第１共通流路２０に流れ込み、第１流路部材４に液体が供給される。そして、第２共通流路２４により回収された液体は、開口２６ａを介して第２統合流路２６に流れ込み、開口６ｃを介して外部へ液体が回収される。なお、第２流路部材６は、必ずしも設けなくてもよい。

　なお、液体の供給および回収は、適宜な手段によって実現されてよい。例えば、図３（ａ）において点線で示すように、プリンタ１は、第１統合流路２２、第１流路部材４の流路および第２統合流路２６を含む循環流路７８と、第１統合流路２２から第１流路部材４の流路を経由して第２統合流路２６へ向かう流れを形成する流れ形成部７９とを有していてよい。

　流れ形成部７９の構成は、適宜なものとされてよい。例えば、流れ形成部７９は、ポンプを含み、開口６ｃからの吸引および／または開口６ｂへの吐出を行う。また、例えば、流れ形成部７９は、開口６ｃから回収された液体を貯留する回収空間と、開口６ｂへ供給される液体を貯留する供給空間と、回収空間から供給空間へ液体を送出するポンプと、を有し、供給空間の液面を回収空間の液面よりも高くすることにより、第１統合流路２２と第２統合流路２６との間に圧力差を生じさせるものであってもよい。

　循環流路７８のうち第１流路部材４および第２流路部材６の外側に位置する部分、ならびに流れ形成部７９は、液体吐出ヘッド２の一部であってもよいし、液体吐出ヘッド２の外部に設けられていてもよい。

（第１流路部材（共通流路および吐出ユニット））
　図５～８に示すように、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ～４ｍが積層されて形成されており、積層方向に断面を見たときに、上側に設けられた加圧室面４－１と、下側に設けられた吐出孔面４－２とを有している。加圧室面４－１上には、圧電アクチュエータ基板４０が裁置されており、吐出孔面４－２に開口した吐出孔８から、液体が吐出される。複数のプレート４ａ～４ｍは、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。なお、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ～４ｍを積層せずに、樹脂により一体形成してもよい。

　第１流路部材４は、複数の第１共通流路２０と、複数の第２共通流路２４と、複数の端部流路２８と、複数の吐出ユニット１５と、複数のダミー吐出ユニット１７とが形成されている。

　第１共通流路２０は、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に延びるように設けられており、開口２０ａと連通するように形成されている。第１共通流路２０は、行き止まりの流路となっている。すなわち、第１共通流路２０は、開口している（別の観点では開口２０ａを有している）端部２０ｃから、閉じられている端部２０ｄまで延びている。また、第１共通流路２０は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されている。なお、端部２０ｄが閉じられているということは、端部２０ｄの開口面積は０であるということであるから、端部２０ｄは、端部２０ｃよりも開口面積が小さいと捉えられてもよい。

　第２共通流路２４は、第４方向Ｄ４から第１方向Ｄ１に延びるように設けられており、開口２４ａと連通するように形成されている。第２共通流路２４は、行き止まりの流路となっている。すなわち、第２共通流路２４は、開口している（別の観点では開口２４ａを有している）端部２４ｃから、閉じられている端部２４ｄまで延びている。また、第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されており、隣り合う第１共通流路２０同士の間に配置されている。そのため、第１共通流路２０および第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて、交互に配置されている。なお、端部２４ｄは、端部２０ｄと同様に、端部２４ｃよりも開口面積が小さいと捉えられてもよい。

　第１共通流路２０および／または第２共通流路２４は、例えば、直線状に延びている。第１共通流路２０および／または第２共通流路２４の幅（Ｄ１方向に直交する方向の長さ）は、流路方向（Ｄ１方向）の位置によらずに一定であってもよいし、流路方向の位置によって異なっていてもよい。後者の場合、例えば、第１共通流路２０および／または第２共通流路２４は、吐出ユニット１５の部分流路１０ｂ（後述）の位置で周期的に幅が狭くなっていてもよい。また、第１共通流路２０および／または第２共通流路２４は、下流側と上流側とで幅が異なっていてもよい。第１共通流路２０および／または第２共通流路２４の厚さ（図６の紙面貫通方向）も、流路方向の位置によらずに一定であってもよいし、流路方向の位置によって異なっていてもよい。

　第１流路部材４の第２共通流路２４にダンパ３０が形成されており、ダンパ３０を介して、第２共通流路２４と面した空間３２が配置されている。ダンパ３０は、第１ダンパ３０ａと、第２ダンパ３０ｂとを有している。空間３２は、第１空間３２ａと、第２空間３２ｂとを有している。第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａを介して液体が流れる第２共通流路２４の上方に設けられている。第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂを介して液体が流れる第２共通流路２４の下方に設けられている。

　第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４の上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａの上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１空間３２ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。

　第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４の下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂの下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２空間３２ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。第１流路部材４は、第２共通流路２４にダンパ３０が設けられていることにより、第２共通流路２４の圧力変動を緩和することができ、流体クロストークが生じ難くなる。

　第１ダンパ３０ａおよび第１空間３２ａは、プレート４ｄ，４ｅにハーフエッチングにより溝を形成し、溝同士が対向するように接合することにより形成することができる。この際、プレート４ｅのハーフエッチングにより残った残部が、第１ダンパ３０ａとなる。第２ダンパ３０ｂおよび第２空間３２ｂも同様に、プレート４ｋ，４ｌにハーフエッチングにより溝を形成することで作製することができる。

　端部流路２８は、第１流路部材４の第２方向Ｄ２の端部、および第５方向Ｄ５の端部に形成されている。端部流路２８は、幅広部２８ａと、狭窄部２８ｂと、開口２８ｃ，２８ｄとを有している。開口２８ｃから供給された液体は、幅広部２８ａ、狭窄部２８ｂ、幅広部２８ａおよび開口２８ｄをこの順に流れることにより、端部流路２８を流れることとなる。それにより、端部流路２８に液体が存在するとともに、端部流路２８を液体が流れることとなり、端部流路２８の周囲に位置する第１流路部材４の温度が液体により均一化される。それゆえ、第１流路部材４は、第２方向Ｄ２の端部および第５方向Ｄ５の端部から放熱される可能性が低減することとなる。

（吐出ユニット）
　図６，７を用いて、吐出ユニット１５について説明する。吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第２流路）１４と、第３個別流路（第３流路）１６とを有している。なお、図６において第２個別流路１４の図示は省略している。液体吐出ヘッド２では、第１個別流路１２および第２個別流路１４から加圧室１０へ液体を供給し、第３個別流路１６が加圧室１０から液体を回収している。なお、詳細は後述するが、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。

　吐出ユニット１５は、隣り合う第１共通流路２０と第２共通流路２４との間に設けられており、第１流路部材４の平面方向にマトリクス状に形成されている。吐出ユニット１５は、吐出ユニット列１５ａと、吐出ユニット行１５ｂとを有している。吐出ユニット列１５ａでは、吐出ユニット１５が第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。吐出ユニット行１５ｂでは、吐出ユニット１５が第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

　各吐出ユニット列１５ａにおいて、吐出ユニット１５の向きは、例えば、複数の吐出ユニット１５間で同一である。例えば、各吐出ユニット列１５ａにおいて、第１個別流路１２、第２個別流路１４および第３個別流路１６が加圧室１０から延び出る方向は、複数の吐出ユニット１５間で同一である。また、隣り合う吐出ユニット列１５ａ間（別の観点では全ての吐出ユニット列１５ａ間）において、吐出ユニット１５の第１方向Ｄ１（共通流路の流路方向）に関する向きは、例えば、互いに同一である。例えば、いずれの吐出ユニット列１５ａにおいても、第１個別流路１２および第３個別流路１６は加圧室１０に対して第４方向Ｄ４側に位置し、第２個別流路１４は加圧室１０に対して第１方向Ｄ１側に位置している。また、隣り合う吐出ユニット列１５ａ間において、吐出ユニット１５の第１方向Ｄ１に直交する方向（共通流路の幅方向）に関する向きは、例えば、互いに逆である。

　加圧室１０は、加圧室列１０ｃと、加圧室行１０ｄとを有している。また、吐出孔８は、吐出孔列８ａと、吐出孔行８ｂとを有している。吐出孔列８ａおよび加圧室列１０ｃも同様に、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。また、吐出孔行８ｂおよび加圧室行１０ｄも同様に、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

　第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４と、第２方向Ｄ２および第５方向Ｄ５とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向Ｄ１に沿って配置されている吐出孔列８ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれの分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。そして、吐出孔列８ａが第２方向Ｄ２に並んで配置されるので、異なる吐出孔列８ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向Ｄ２に一定間隔で並んで配置されている。これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。

　図６において、吐出孔８を第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に記録媒体Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。

　ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２側に位置する第１共通流路２０と、最も第２方向Ｄ２側に位置する第２共通流路２４との間に設けられている。また、ダミー吐出ユニット１７は、最も第５方向Ｄ５側に位置する第１共通流路２０と、最も第５方向Ｄ５側に位置する第２共通流路２４との間にも設けられている。ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２または第５方向Ｄ５側に位置する吐出ユニット列１５ａの吐出を安定させるために設けられている。

　加圧室１０は、図７，８に示すように、加圧室本体１０ａと部分流路１０ｂとを有している。加圧室本体１０ａは、平面視して、円形状をなしており、加圧室本体１０ａから下方に向けて部分流路１０ｂが延びている。加圧室本体１０ａは、加圧室本体１０ａ上に設けられた変位素子４８から圧力を受けることにより、部分流路１０ｂ中の液体を加圧する。

　加圧室本体１０ａは、略円板形状であり、平面形状は円形状をなしている。平面形状が円形状であることにより、変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくすることができる。部分流路１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい略円柱形状であり、平面形状は円形状である。また、部分流路１０ｂは、加圧室面４－１から見たときに、加圧室本体１０ａ内に収納されている。

　なお、部分流路１０ｂは、吐出孔８側に向かって断面積の小さくなる円錐状あるいは円錐台状であってもよい。それにより、第１共通流路２０および第２共通流路２４の幅を大きくでき、上述の圧力損失の差を小さくできる。

　加圧室１０は、第１共通流路２０の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第１共通流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して接続されている。

　また、加圧室１０は、第２共通流路２４の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第２共通流路２４とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第３個別流路１６を介して接続されている。

　図７を用いて、第１個別流路１２、第２個別流路１４および第３個別流路１６について説明する。

　第１個別流路１２は、第１共通流路２０と加圧室本体１０ａとを接続している。第１個別流路１２は、第１共通流路２０に対して端部２０ｃと端部２０ｄとの間において接続されている。第１個別流路１２は、第１共通流路２０の上面から上方へ向けて延びた後、第５方向Ｄ５に向けて延び、第１方向Ｄ１に向けて延びた後、再び上方へ向けて延びて加圧室本体１０ａの下面に接続されている。

　第２個別流路１４は、第１共通流路２０と部分流路１０ｂとを接続している。第２個別流路１４は、第１共通流路２０に対して端部２０ｃと端部２０ｄとの間において接続されている。第２個別流路１４は、第１共通流路２０の下面から第５方向Ｄ５へ向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

　第３個別流路１６は、第２共通流路２４と部分流路１０ｂとを接続している。第３個別流路１６は、第２共通流路２４に対して端部２４ｃと端部２４ｄとの間において接続されている。第３個別流路１６は、第２共通流路２４の側面から第２方向Ｄ２に向けて延び、第１方向Ｄ１に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

　そして、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。第２個別流路１４の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くするには、例えば、第２個別流路１４が形成されるプレート４ｌの厚みを、第１個別流路１２が形成されるプレート４ｃの厚みよりも厚くすればよい。また、平面視して、第２個別流路１４の幅を、第１個別流路１２の幅よりも広くしてもよい。また、平面視して、第２個別流路１４の長さを、第１個別流路１２の長さよりも短くしてもよい。

　以上のような構成により、第１流路部材４では、開口２０ａを介して第１共通流路２０に供給された液体は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して加圧室１０に流れ込み、一部の液体は吐出孔８から吐出される。そして、残りの液体は、加圧室１０から、第３個別流路１６を介して第２共通流路２４に流れ込み、開口２４ａを介して、第１流路部材４から第２流路部材６に排出される。

（圧電アクチュエータ）
　図７（ｃ）および図８を用いて圧電アクチュエータ基板４０について説明する。第１流路部材４の上面には、変位素子４８を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子４８が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群と略同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、第１流路部材４の加圧室面４－１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。

　圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。

　これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層４０ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層、金属板または樹脂板を用いてもよい。振動板は、第１流路部材４の一部を構成する部材に兼用されているかのような構成とされてもよい。例えば、振動板は、図示の例とは異なり、加圧室面４－１全体に亘る広さを有するとともに、開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄと対向する開口を有していてもよい。

　圧電アクチュエータ基板４０には、共通電極４２と、個別電極４４と、接続電極４６とが形成されている。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向の略全面にわたって形成されている。そして、個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている。

　圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子４８となっている。そのため、圧電アクチュエータ基板４０は、複数の変位素子４８を有している。

　共通電極４２は、Ａｇ－Ｐｄ系などの金属材料により形成することができ、共通電極４２の厚さは２μｍ程度とすることができる。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して圧電セラミック層４０ａ上の共通電極用表面電極（不図示）と繋がっており、共通電極用表面電極を介して接地され、グランド電位に保持されている。

　個別電極４４は、Ａｕ系などの金属材料により形成されており、個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂとを有している。図７（ｃ）に示すように、個別電極本体４４ａは、平面視して、略円形状に形成されており、加圧室本体１０ａよりも小さく形成されている。引出電極４４ｂは、個別電極本体４４ａから引き出されており、引き出された引出電極４４ｂ上に接続電極４６が形成されている。

　接続電極４６は、例えばガラスフリットを含む銀－パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。接続電極４６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。

　液体吐出ヘッド２は、制御部７６の制御により、ドライバＩＣ６２などを介して、個別電極４４に供給される駆動信号に従って、変位素子４８を変位させる。駆動方法としては、いわゆる引き打ち駆動を用いることができる。

（吐出ユニットの詳細および作用）
　図９を用いて液体吐出ヘッド２の吐出ユニット１５を詳細に説明する。

　吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第２流路）１４と、第３個別流路（第３流路）１６とを備えている。第１個別流路１２および第２個別流路１４は、第１共通流路２０（第４流路（図８参照））に接続されており、第３個別流路１６は、第２共通流路２４（第５流路（図８参照））に接続されている。

　第１個別流路１２は、加圧室１０のうち加圧室本体１０ａの第４方向Ｄ４側に接続されている。第２個別流路１４は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。第３個別流路１６は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。

　第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａを通って部分流路１０ｂを下方に向けて流れ、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

　第２個別流路１４から供給された液体は、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、部分流路１０ｂ内を上方へ向けて流れ、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

　図９に示すように、第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａ、および部分流路１０ｂを流れて吐出孔８から吐出される。従来の吐出ユニットにおける液体の流れは破線で示すように、加圧室本体１０ａの中央部から吐出孔８に向けて一様に略直線状に流れている。

　このような流れが生じると、加圧室１０のうち、第２個別流路１４が接続された部位と反対側に位置する領域８０付近には液体が流れにくい構成となり、例えば、領域８０付近に液体の滞留する領域が生じるおそれがある。

　これに対して、吐出ユニット１５では、第１個別流路１２および第２個別流路１４が加圧室１０に接続されており、これらの流路から加圧室１０に液体が供給される。

　そのため、第１個別流路１２から吐出孔８へ供給される液体の流れに対して、第２個別流路１４から加圧室１０へ供給された液体の流れを衝突させることができる。それにより、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れが、一様に略直線状に流れにくくなり、加圧室１０内に液体が滞留する領域を生じにくくすることができる。

　すなわち、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れにより生じた液体の滞留点の位置が、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れとの衝突により移動することになり、加圧室１０内に液体の滞留する領域を生じにくくすることができる。

　また、加圧室１０が、加圧室本体１０ａおよび部分流路１０ｂを有しており、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａに接続され、第２個別流路１４が部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第１個別流路１２が、加圧室１０全体を流れるように液体を供給するとともに、第２個別流路１４から供給された液体の流れにより、部分流路１０ｂに液体の滞留する領域が生じにくくなる。

　また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第２個別流路１４から第３個別流路１６に向けて流れる液体の流れが、部分流路１０ｂの内部を横断する構成となる。その結果、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れを横切るように、第２個別流路１４から第３個別流路１６へ向けて流れる液体を流すことができる。それゆえ、さらに部分流路１０ｂ内に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

（個別流路等の詳細および作用）
　また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されており、第２個別流路１４よりも加圧室本体１０ａ側に接続されている。そのため、吐出孔８から部分流路１０ｂの内部に気泡が侵入した場合においても、気泡の浮力を利用して第３個別流路１６に気泡を排出することができる。それにより、部分流路１０ｂ内に気泡が滞留することにより、液体への圧力伝幡に影響を与える可能性を低減することができる。

　また、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第４方向Ｄ４側に接続されており、第２個別流路１４が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。

　そのため、平面視したときに、吐出ユニット１５には、第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４の両側から液体が供給されることとなる。そのため、供給された液体は、第１方向Ｄ１の速度成分、および第４方向Ｄ４の速度成分を有することとなる。それゆえ、加圧室１０に供給された液体が、部分流路１０ｂの内部の液体を撹拌することとなる。その結果、さらに部分流路１０ｂ内に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

　また、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されており、吐出孔８が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に配置されている。それにより、部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側にも液体を流すことができ、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

　なお、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続され、吐出孔８が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に配置されるように構成してもよい。その場合においても同様の効果を奏することができる。

　また、図８に示すように、第３個別流路１６が、第２共通流路２４の加圧室本体１０ａ側に接続されている。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡を第２共通流路２４の上面に沿って流すことができる。それにより、第２共通流路２４から開口２４ａ（図６参照）を介して気泡を外部に排出しやすい。

　また、第３個別流路１６の上面と、第２共通流路２４の上面とが面一であることが好ましい。それにより、部分流路１０ｂから排出された気泡は、第３個別流路１６の上面、および第２共通流路２４の上面に沿って流れることとなり、さらに外部に排出しやすい。

　また、第２個別流路１４は、第３個別流路１６よりも部分流路１０ｂの吐出孔８側に接続されている。それにより、吐出孔８の近傍にて第２個別流路１４から液体が供給されることとなる。それゆえ、吐出孔８の近傍の液体の流速を早めることができ、液体に含まれる顔料等が沈降することが抑制され、吐出孔８につまりが生じにくくなる。

　また、図７（ｂ）に示すように、平面視したときに、第１個別流路１２が、加圧室本体１０ａの第４方向Ｄ４側に接続されており、部分流路１０ｂの面積重心が、加圧室本体１０ａの面積重心よりも第１方向Ｄ１側に位置している。すなわち、部分流路１０ｂが、加圧室本体１０ａの第１個別流路１２から遠い側に接続されている。

　それにより、加圧室本体１０ａの第４方向Ｄ４側に供給された液体は、加圧室本体１０ａの全域に広がった後、部分流路１０ｂに供給されることとなる。その結果、加圧室本体１０ａの内部に、液体の滞留する領域が生じにくい。

　なお、ある平面図形の面積重心とは、平面形状がその平面図形と同じ板状の物体を、単位面積当たりの質量が均一な物質で作った際に、その物体の重心が、平面図形の中に位置する点である。この面積重心は、その平面図形の面積を２等分する第１直線と、その平面図形の面積を２等分する、第１直線とは異なる角度の第２直線とを描いたときに、第１直線と第２直線と交点でもある。

　また、平面視したときに、第２個別流路１４と第３個別流路１６との間に吐出孔８が配置されている。それにより、吐出孔８から液体が吐出された際に、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置を移動させることができる。

　すなわち、吐出孔８からの液体の吐出量は、印画される画像により異なることとなり、液体の吐出量の増減に伴って、部分流路１０ｂの内部の液体の挙動が変化することとなる。そのため、液体の吐出量の増減により、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れと、第２個別流路１４から供給された液体の流れとが衝突する位置が移動することとなり、部分流路１０ｂの内部に液体が滞留する領域が生じにくい。

　また、吐出孔８の面積重心が、部分流路１０ｂの面積重心よりも第１方向Ｄ１側に位置している。それにより、部分流路１０ｂに供給された液体は、部分流路１０ｂの全域に広がった後、吐出孔８に供給されることとなり、部分流路１０ｂの内部に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

　ここで、吐出ユニット１５は、第１個別流路１２（第１流路）および第２個別流路１４（第２流路）を介して第１共通流路２０（第４流路）と接続されている。そのため、加圧室本体１０ａに加えられた圧力の一部は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して第１共通流路２０に伝幡することとなる。

　第１共通流路２０には、第１個別流路１２および第２個別流路１４から圧力波が伝幡して、第１共通流路２０の内部に圧力差が生じると、第１共通流路２０の液体の挙動が不安定になるおそれがある。そのため、第１共通流路２０に伝幡する圧力波の大きさは均一であることが好ましい。

　液体吐出ヘッド２は、断面視して、第２個別流路１４が第１個別流路１２よりも下方に配置されている。そのため、加圧室本体１０ａからの距離が、第２個別流路１４のほうが第１個別流路１２よりも長くなり、第２個別流路１４まで伝幡する際に、圧力減衰が生じることとなる。

　そして、第２個別流路１４の流路抵抗が第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっていることから、第２個別流路１４を流れる際の圧力減衰を、第１個別流路１２を流れる際の圧力減衰よりも小さくすることができる。その結果、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝幡した圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

　つまり、加圧室本体１０ａから第１個別流路１２または第２個別流路１４までの圧力減衰と、第１個別流路１２または第２個別流路１４を流れる際の圧力減衰との合計を、第１個別流路１２と第２個別流路１４とで均一に近づけることができ、第１共通流路２０に伝幡する圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

　また、断面視して、第３個別流路１６が、第２個別流路１４よりも高く配置されており、かつ第１個別流路１２よりも低く配置されている。言い換えると、第３個別流路１６は、第１個別流路１２と第２個別流路１４との間に配置されている。そのため、加圧室本体１０ａに加圧された圧力は、第２個別流路１４に伝幡する際に、一部が第３個別流路１６に伝幡する。

　これに対して、第２個別流路１４の流路抵抗が、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。そのため、第２個別流路１４に到達する圧力波が減少していても、第２個別流路１４での圧力減衰が小さくなるため、第１個別流路１２および第２個別流路１４から伝幡した圧力波の大きさを均一に近づけることができる。

　第１個別流路１２の流路抵抗は、第２個別流路１４の流路抵抗の１．０３～２．５倍とすることができる。

　なお、第２個別流路１４の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも大きくしてもよい。その場合、第１共通流路２０から第２個別流路１４を介した圧力伝幡を生じにくくすることができる。その結果、吐出孔８に不要な圧力が伝幡する可能性を低減することができる。

　第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗の１．０３～２．５倍とすることができる。

（個別流路の共通流路に対する接続位置等）
　吐出ユニット１５において、第１個別流路１２の第１共通流路２０に対する接続位置は、第２個別流路１４の第１共通流路２０に対する接続位置に対して、端部２０ｄ側（別の観点では下流側）に位置している。なお、本実施形態では、端部２０ｃは第１端部の一例であり、端部２０ｄは第２端部の一例である。また、第１個別流路１２の第１共通流路２０に対する接続位置は、第２個別流路１４の第１共通流路２０に対する接続位置に対して、上方（吐出孔８が外部へ開口する側とは反対側）に位置している。

　従って、例えば、第２個別流路１４の圧力を第１個別流路１２の圧力に比較して高くすることができる。具体的には、以下のとおりである。

　第１個別流路１２および第２個別流路１４へ液体を供給する第１共通流路２０においては、下流側ほど圧力損失によって圧力が低くなる。ここで、第１個別流路１２の第１共通流路２０に対する接続位置は、第２個別流路１４の第１共通流路２０に対する接続位置よりも下流側（端部２０ｄ側）である。従って、第１共通流路２０における圧力損失の観点においては、第２個別流路１４の圧力は、第１個別流路１２の圧力に比較して高くなる。

　一方、液体に作用する重力による圧力は、下方（深い位置）ほど高くなる。液体吐出ヘッド２は、一般に、吐出孔８が下方に向かって開口するように配置される。ここで、第１個別流路１２の第１共通流路２０に対する接続位置は、第２個別流路１４の第１共通流路２０に対する接続位置よりも吐出孔８が外部へ開口する側とは反対側に位置している。従って、重力の観点においては、第１共通流路２０から第２個別流路１４に加わる圧力は、第１共通流路２０から第１個別流路１２に加わる圧力に比較して高くなる。

　以上のとおり、第２個別流路１４は、第１個別流路１２に比較して、圧力損失および重力のいずれの観点においても圧力が高くなる。また、別の観点では、例えば、第１個別流路１２の第１共通流路２０に対する接続位置に比較して下方に位置している第２個別流路１４の第１共通流路２０に対する接続位置が、第１個別流路１２の第１共通流路２０に対する接続位置よりも下流側において第１共通流路２０に対して接続されている場合に比較して、第１個別流路１２と第２個別流路１４との間の圧力差が大きい。

　従って、例えば、第２個別流路１４における流量を多く（流速を速く）することができる。第２個別流路１４は、第１共通流路２０および加圧室１０に対して相対的に下方に接続されているから、第２個別流路１４における流れが強くなることによって、第１共通流路２０および／または加圧室１０の下方部分における液体の流れを強くすることができる。その結果、例えば、液体に含まれる粒子状成分（例えばインクに含まれる顔料）が沈降して堆積するおそれを低減できる。また、例えば、加圧室１０においては、下方に吐出孔８が設けられているから、吐出孔８近傍における液体の流れを強くすることによって、吐出孔８近傍において液体が滞留して乾燥するおそれを低減することができ、ひいては、吐出孔８に詰りが生じるおそれを低減できる。

　さらに、第１個別流路１２の重心は、第２個別流路１４の重心に対して、上方（吐出孔８が外部へ開口する側とは反対側）に位置している。このような構成であれば、第１個別流路１２から加圧室１０に加わる圧力は、第２個別流路１４から加圧室１０に加わる圧力に比較して高くなり、上述の効果をさらに高くできる。
　またさらに、第１個別流路１２の全体は、第２個別流路１４の全体に対して、上方（吐出孔８が外部へ開口する側とは反対側）に位置している。このような構成であれば、第１個別流路１２から加圧室１０に加わる圧力は、第２個別流路１４から加圧室１０に加わる圧力に比較して高くなり、上述の効果をさらに高くできる。

　本実施形態とは逆に、第１個別流路１２の第１共通流路２０に対する接続位置に比較して下方に位置している第２個別流路１４の第１共通流路２０に対する接続位置が、第１個別流路１２の第１共通流路２０に対する接続位置よりも下流側において第１共通流路２０に対して接続されている場合においては、圧力損失による圧力差が重力による圧力差によって低減される。一方、圧力損失による圧力差は、圧力が小さいほど（下流側ほど）小さくなる。従って、上流側では圧力損失による圧力差が優位となり、下流側では重力による圧力差が優位となるおそれがある。すなわち、第１個別流路１２および第２個別流路１４における圧力の大小関係が上流側と下流側とで逆転するおそれがある。そのような逆転が生じると、吐出特性に関して複数の吐出ユニット１５間の差が大きくなる。しかし、本実施形態では、そのような不都合が生じる蓋然性が低い。

　このような第２個別流路１４の圧力が相対的に大きくされる構成において、第１個別流路１２および第２個別流路１４は、第１共通流路２０の液体を加圧室１０に供給する流路である。

　従って、例えば、第１共通流路２０の下方部分から第２個別流路１４へ流れる液体の流量を多く（流速を速く）して、第１共通流路２０において液体内の粒子状の成分が沈降して堆積するおそれを低減できる。また、例えば、第２個別流路１４から加圧室１０の下方部分（別の観点では吐出孔８近傍）へ流れる液体の流量を多く（流速を速く）して、吐出孔８近傍において液体が滞留するおそれを低減できる。さらに、加圧室１０の下方から加圧室１０へ供給される液体の流量が多くされることによって、加圧室１０の気泡が下方へ移動する蓋然性を低減でき、ひいては、気泡が吐出孔８からの液滴の吐出に悪影響を及ぼすおそれを低減できる。

　また、第２個別流路１４の圧力が相対的に大きくされる構成において、第１共通流路２０の厚み方向（吐出孔８の開口方向、上下方向）に見て、第１個別流路１２および第２個別流路１４は、第１共通流路２０から、第１共通流路２０の幅方向（第１方向Ｄ１に直交する方向）に関して互いに同一側へ延びている。

　従って、例えば、第１個別流路１２および第２個別流路１４のいずれも、第１共通流路２０から加圧室１０に向かって折り返す（１８０°曲がる）ような形状は不要であり、簡素な流路形状となりやすい。その結果、例えば、第１個別流路１２および第２個別流路１４それぞれにおける流れの圧力および／または速度の変化が低減される。これにより、第２個別流路１４の圧力が相対的に高いことによる効果がより奏される。

　また、第２個別流路１４の圧力が相対的に大きくされる構成において、第１共通流路２０の厚み方向に見て、第１個別流路１２および第２個別流路１４は、加圧室１０から、第１共通流路２０の流路方向に関して互いに逆側（第１方向Ｄ１側および第４方向Ｄ４側、互いに離れる方向）へ延びている。

　従って、例えば、第２個別流路１４から加圧室１０への流れが強いことによって、加圧室１０においては、第２個別流路１４側（第１方向Ｄ１側）から加圧室１０を横切るように加圧室１０の下方部分を流れ、その後、第２個別流路１４とは反対側（第４方向Ｄ４側）の側面を上方へ流れるような流れが生じやすい。この際、第４方向Ｄ４側の側面を上方へ流れる流れに対して、加圧室１０の上方部分において第１個別流路１２からの流れが第４方向Ｄ４側から第１方向Ｄ１側へ衝突することから、加圧室１０内において循環する流れが生じやすい。その結果、例えば、液体が滞留するおそれが低減される。

　また、第２個別流路１４の圧力が相対的に大きくされる構成において、第３個別流路１６の加圧室１０に対する接続位置は、第１共通流路２０の厚み方向において、第１個別流路１２の加圧室１０に対する接続位置と、第２個別流路１４の加圧室１０に対する接続位置との間に位置している。

　従って、例えば、３本の個別流路において、第１個別流路１２と第２個別流路１４とは互いに最も離れた２本の個別流路ということになるから、重力による圧力差によって圧力損失による圧力差を助長する効果が高くなる。その結果、例えば、第２個別流路１４の圧力が相対的に高いことによる効果が増大する。

＜第２の実施形態＞
　図１０を用いて第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド２０２について説明する。

　吐出ユニット２１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第１流路）１２と、第２個別流路（第３流路）２１４と、第３個別流路（第２流路）２１６とを備えている。第１個別流路１２および第３個別流路２１６は、第１共通流路２０（第４流路）に接続されており、第２個別流路２１４は、第２共通流路２４（第５流路）に接続されている。そのため、吐出ユニット２１５は、第１個別流路１２および第３個別流路２１６から液体が供給され、第２個別流路２１４から液体が回収されている。

　液体吐出ヘッド２０２は、平面視したときに、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａの第４方向Ｄ４側に接続されており、第３個別流路２１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。

　そのため、平面視したときに、吐出ユニット２１５には、第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４の両側から液体が供給されることとなる。そのため、供給された液体は、第１方向Ｄ１の速度成分、および第４方向Ｄ４の速度成分を有することとなる。それゆえ、加圧室１０に供給された液体が、部分流路１０ｂの内部の液体を撹拌することとなる。その結果、さらに部分流路１０ｂ内に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

　また、第２個別流路２１４が部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されており、第３個別流路２１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。そのため、第３個別流路２１６から供給された液体は、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に、部分流路１０ｂの内部を横断するように流れることとなる。その結果、部分流路１０ｂの内部に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

　また、部分流路１０ｂの下端にて吐出孔８が接続されており、第２個別流路２１４は、部分流路１０ｂの下端よりも高い位置に接続されている。そのため、第２個別流路２１４と部分流路１０ｂとが離間することとなる。その結果、第２共通流路２４の内部に生じた圧力波が、第２個別流路２１４を通じて部分流路１０ｂの内部に伝幡しても、第２個別流路２１４と吐出孔８との間に距離があるため、圧力波が吐出孔８まで伝幡しにくくなる。それゆえ、第２共通流路２４の内部に生じた圧力波が、第２個別流路２１４を通じて吐出孔８に伝幡しにくい構成とすることができる。

　なお、部分流路１０ｂの下端とは、部分流路１０ｂのうち吐出孔８と接続されている部位であり、部分流路１０ｂのうち、吐出孔８が形成されたプレート４ｍに隣り合うプレート４ｌに形成された部位である。

　第１個別流路１２の第１共通流路２０に対する接続位置は、第３個別流路２１６の第１共通流路２０に対する接続位置に対して、端部２０ｄ側（第４方向Ｄ４側、下流側）に位置している。なお、本実施形態では、端部２０ｃは第１端部の一例であり、端部２０ｄは第２端部の一例である。また、第１個別流路１２の第１共通流路２０に対する接続位置は、第３個別流路２１６の第１共通流路２０に対する接続位置に対して、上方（吐出孔８が外部へ開口する側とは反対側）に位置している。

　従って、例えば、第１実施形態と同様に、第１個別流路１２および第３個別流路２１６において、圧力損失による圧力差と重力による圧力差とが重畳され、第３個別流路２１６の圧力は第１個別流路１２の圧力よりも高くなる。別の観点では、下方に位置する第３個別流路２１６が上方に位置する第１個別流路１２よりも下流側にて第１共通流路２０に接続されている場合に比較して、第３個別流路２１６の圧力は高くなる。その結果、例えば、第１共通流路２０および／または加圧室１０において液体の粒子状成分が沈降して堆積するおそれを低減できる。

＜第３の実施形態＞
　図１１を用いて第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド３０２について説明する。

　吐出ユニット３１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路（第３流路）１２と、第２個別流路（第２流路）２１４と、第３個別流路（第１流路）３１６とを備えている。第１個別流路１２は、第１共通流路２０（第５流路）に接続されており、第２個別流路２１４および第３個別流路３１６は、第２共通流路２４（第４流路）に接続されている。そのため、吐出ユニット３１５は、第１個別流路１２から液体が供給され、第２個別流路２１４および第３個別流路３１６から液体が回収されている。

　液体吐出ヘッド３０２は、平面視したときに、第２個別流路２１４が加圧室本体１０ａの第４方向Ｄ４側に接続されており、第３個別流路３１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。

　そのため、平面視したときに、吐出ユニット３１５では、第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４の両側へ液体が回収されることとなる。そのため、加圧室１０内の液体は、第１方向Ｄ１の速度成分、および第４方向Ｄ４の速度成分を有することとなる。それゆえ、例えば、加圧室１０に供給された液体が、部分流路１０ｂの内部の液体を撹拌することとなる。その結果、さらに部分流路１０ｂ内に、液体の滞留する領域が生じにくくなる。

　第３個別流路３１６の第２共通流路２４に対する接続位置は、第２個別流路２１４の第２共通流路２４に対する接続位置に対して、端部２４ｄ側（第１方向Ｄ１側）に位置している。なお、本実施形態では、端部２４ｃは第１端部の一例であり、端部２４ｄは第２端部の一例である。かつ第３個別流路３１６の第２共通流路２４に対する接続位置は、第２個別流路２１４の第２共通流路２４に対する接続位置に対して、上方（吐出孔８が外部へ開口する側とは反対側）に位置している。

　従って、第２個別流路２１４の方が第３個別流路３１６よりも下流側（開口２４ａ側）に接続されることになり、この観点では、加圧室１０の液体は、第３個別流路３１６よりも第２個別流路２１４へ流れやすい。また、第２個別流路２１４は、第３個別流路３１６よりも下方に位置していることから、この観点でも、加圧室１０の液体は、第３個別流路３１６よりも第２個別流路２１４へ流れやすい。すなわち、第１実施形態と同様に、第３個別流路３１６は、第２個別流路２１４に比較して流量が多い（流速が速い）。その結果、例えば、加圧室１０および／または第２共通流路２４の下方部分における流れを強くして、液体の粒子状成分が沈降して堆積するおそれを低減することができる。

　なお、以上の実施形態において、変位素子４８は加圧部の一例である。搬送ローラ７４ａ～７４ｄは搬送部の一例である。

　本開示の態様は、上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

　加圧室に接続され、液体の供給または回収に供される流路の構成は、実施形態に例示したものに限定されない。例えば、図９において、第３個別流路１６が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側の側面に接続されたり、図１０において、第２個別流路２１４が部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側の側面に接続されたり、図１１において、吐出孔８、加圧室１０および第１個別流路１２の第１方向Ｄ１に関する相対的な位置関係が図示とは逆であってもよい。また、実施形態では、第１個別流路１２は供給用としてのみ例示されたが、回収用に用いられてもよい。

　実施形態では、平面視において、部分流路１０ｂに接続される個別流路（例えば第２個別流路１４および第３個別流路１６）の幅（第１方向Ｄ１に直交する方向）は、部分流路１０ｂの直径よりも小さくされた。ただし、これらの個別流路の幅は、部分流路１０ｂとの接続部分において広くされることなどにより、部分流路１０ｂの直径と同等以上とされてもよい。

　平面視において、第４流路から引き出される第１流路および第２流路（例えば第１共通流路２０から引き出される第１個別流路１２および第２個別流路１４）は、第４流路から、第４流路の幅方向において互いに同一側に延びていなくてもよい。例えば、加圧室本体１０ａの中央部分が第４流路に重なり、部分流路１０ｂが第４流路の一方の側方に位置し、第１流路が第４流路から第４流路の他方の側方へ延びて加圧室本体１０ａの前記他方の側方に位置する部分に接続され、第２流路が第４流路から前記一方の側方へ延びて部分流路１０ｂに接続されてもよい。

　平面視において、第１流路および第２流路は、加圧室から、第４流路の流路方向に関して互いに逆側へ延びていなくてもよい。別の観点では、第１流路の全体が第２流路の全体に対して、第４流路の、閉じられている第２端部側に位置していなくてもよい。例えば、第１流路および第２流路が加圧室から第４流路の流路方向に関して同一側に延び、かつ第１流路の第４流路に対する接続位置が第２流路の第４流路に対する接続位置よりも第２端部側に位置していてもよい。

　実施形態では、第４流路の第２端部の一例である、第１共通流路２０の端部２０ｄまたは第２共通流路２４の端部２４ｄは完全に閉じられていた。ただし、第２端部は、第１端部（端部２０ｃまたは端部２４ｃ）の開口面積よりも小さい開口面積で開口していてもよい。

　例えば、端部２０ｄから概ね第１共通流路２０の幅方向に延びて第２共通流路２４に接続される接続路、および／または端部２４ｄから概ね第２共通流路２４の幅方向に延びて第１共通流路２０に接続される接続路が設けられてもよい。このような接続路を設けることによって、例えば、端部２０ｄおよび／または端部２４ｄにおける液体の滞留を低減できる。この接続路の断面積（流路方向に直交する横断面の面積）は、例えば、共通流路の断面積よりも小さい。ひいては、第２端部における開口面積は第１端部における開口面積よりも小さい。

　なお、端部の開口面積は、基本的に第４流路の内面（上面、下面、内壁および／または端面）における開口の面積である。例えば、端部２４ｃおよび端部２４ｃにおいては、開口２０ａまたは開口２４ａの面積である。また、上記の接続路に関しては、接続路が第４流路の内面において開口する面積であり、一つの端部に接続路が複数接続されているときは、開口面積の合計である。ただし、例えば、液体の流れ方を考慮して、接続路の第４流路に対する接続位置において接続路の断面積を大きくしているような場合においては、接続路の最小断面積を開口面積としてよい。

　実施形態では、図６に示したように、隣り合う吐出ユニット列同士において第２方向Ｄ２に関する向きが互いに逆であることを除いて、全ての吐出ユニットにおいて、第１～第５流路の相対的な位置関係は同一とされた。例えば、同一の加圧室に接続されている第１流路および第２流路（例えば第１個別流路１２および第２個別流路１４）において、第１流路の第４流路に対する接続位置が第２流路の第４流路に対する接続位置に対して第２端部側（端部２０ｄ側）に位置し、第１流路が第２流路に対して吐出孔が外部へ開口する側とは反対側に位置するという構成は、全ての吐出ユニットについて成立した。ただし、必ずしも全ての吐出ユニットについて、実施形態で例示した構成が成立する必要はない。例えば、隣り合う吐出ユニット列同士において第１方向Ｄ１に関する向きが互いに逆であってもよい。この場合であっても、例えば、全ての吐出ユニットについて圧力損失による圧力差が重力による圧力差によって低減される場合に比較して、少なくとも一部の吐出ユニットにおいて圧力損失による圧力差と重力による圧力差とが重畳されることによって、いずれかの共通流路および／またはいずれかの加圧室において液体の粒子状成分が沈降して堆積してしまう蓋然性が低減される。

　１・・・カラーインクジェットプリンタ
　２・・・液体吐出ヘッド
　　２ａ・・・ヘッド本体
　４・・・第１流路部材
　　４a～４ｍ・・・プレート
　　４－１・・・加圧室面
　　４－２・・・吐出孔面
　６・・・第２流路部材
　８・・・吐出孔
　１０・・・加圧室
　　１０ａ・・・加圧室本体
　　１０ｂ・・・部分流路
　１２・・・第１個別流路（第１流路または第３流路）
　１４・・・第２個別流路（第２流路）
　１５・・・吐出ユニット
　１６・・・第３個別流路（第３流路）
　２０・・・第１共通流路（第４流路または第５流路）
　２２・・・第１統合流路
　２４・・・第２共通流路（第５流路または第４流路）
　２６・・・第２統合流路
　２８・・・端部流路
　３０・・・ダンパ
　３２・・・ダンパ室
　４０・・・圧電アクチュエータ基板
　４２・・・共通電極
　４４・・・個別電極
　４６・・・接続電極
　４８・・・変位素子（加圧部）
　５０・・・筐体
　５２・・・放熱板
　５４・・・配線基板
　５６・・・押圧部材
　５８・・・弾性部材
　６０・・・信号伝達部
　６２・・・ドライバＩＣ
　７０・・・ヘッド搭載フレーム
　７２・・・ヘッド群
　７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ・・・搬送ローラ
　７６・・・制御部
　Ｐ・・・記録媒体
　Ｄ１・・・第１方向
　Ｄ２・・・第２方向
　Ｄ３・・・第３方向
　Ｄ４・・・第４方向
　Ｄ５・・・第５方向
　Ｄ６・・・第６方向

Claims

　複数の吐出孔、
　複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室、
　複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第１流路、
　複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第２流路、
　複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第３流路、
　開口している第１端部から、閉じられている、または前記第１端部よりも開口面積が小さい第２端部へ、複数の前記吐出孔の開口方向に直交する方向において延びており、前記第１端部と前記第２端部との間において複数の前記第１流路および複数の前記第２流路に共通して接続されている第４流路、および
　複数の前記第３流路に共通して接続されている第５流路、を備えている流路部材と、
　複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備えており、
　同一の前記加圧室に接続されている前記第１流路および前記第２流路において、
　　前記第１流路の前記第４流路に対する接続位置は、前記第２流路の前記第４流路に対する接続位置に対して、前記第２端部側に位置しており、
　　前記第１流路の前記第４流路に対する接続位置は、前記第２流路の前記第４流路に対する接続位置に対して、前記吐出孔が外部へ開口する側とは反対側に位置している
　液体吐出ヘッド。
　前記第１流路および前記第２流路は、前記第４流路の液体を前記加圧室に供給する流路であり、
　前記第３流路は、前記加圧室の液体を前記第５流路へ回収する流路である
　請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
　前記第１流路および前記第２流路は、前記加圧室の液体を前記第４流路へ回収する流路であり、
　前記第３流路は、前記第５流路の液体を前記加圧室へ供給する流路である
　請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
　前記開口方向に見て、同一の前記加圧室に接続されている前記第１流路および前記第２流路は、前記第４流路から、前記第４流路の幅方向に関して互いに同一側へ延びている
　請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
　前記開口方向に見て、同一の前記加圧室に接続されている前記第１流路および前記第２流路は、前記加圧室から、前記第４流路の流路方向に関して互いに逆側へ延びている
　請求項１～４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
　前記第３流路の前記加圧室に対する接続位置は、前記開口方向において、前記第１流路の前記加圧室に対する接続位置と、前記第２流路の前記加圧室に対する接続位置との間に位置している
　請求項１～５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
　複数の吐出孔、
　複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室、
　複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第１流路、
　複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第２流路、
　複数の前記加圧室にそれぞれ接続されている複数の第３流路、
　開口している第１端部から、閉じられている、または前記第１端部よりも開口面積が小さい第２端部へ、複数の前記吐出孔の開口方向に直交する方向において延びており、前記第１端部と前記第２端部との間において複数の前記第１流路および複数の前記第２流路に共通して接続されている第４流路、および
　複数の前記第３流路に共通して接続されている第５流路、を備えている流路部材と、
　複数の前記加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備えており、
　同一の前記加圧室に接続されている前記第１流路および前記第２流路において、
　　前記第１流路の前記第４流路に対する接続位置は、前記第２流路の前記第４流路に対する接続位置に対して、前記第４流路の液体の流れ方向における下流側に位置しており、
　　前記第１流路の前記第４流路に対する接続位置は、前記第２流路の前記第４流路に対する接続位置に対して、前記吐出孔が外部へ開口する側とは反対側に位置している
　液体吐出ヘッド。
　請求項１～７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
　記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、
　前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
　を備えている記録装置。