JPWO2018020947A1 - ロール研磨用回転砥石、ロール研磨装置及び方法 - Google Patents
ロール研磨用回転砥石、ロール研磨装置及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2018020947A1 JPWO2018020947A1 JP2018529459A JP2018529459A JPWO2018020947A1 JP WO2018020947 A1 JPWO2018020947 A1 JP WO2018020947A1 JP 2018529459 A JP2018529459 A JP 2018529459A JP 2018529459 A JP2018529459 A JP 2018529459A JP WO2018020947 A1 JPWO2018020947 A1 JP WO2018020947A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- polishing
- grindstone
- grinding
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B5/00—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor
- B24B5/02—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work
- B24B5/04—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work for grinding cylindrical surfaces externally
- B24B5/045—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work for grinding cylindrical surfaces externally with the grinding wheel axis perpendicular to the workpiece axis
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/0076—Other grinding machines or devices grinding machines comprising two or more grinding tools
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B5/00—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor
- B24B5/02—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work
- B24B5/04—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work for grinding cylindrical surfaces externally
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
- B24D7/02—Wheels in one piece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
- B24D7/10—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor with cooling provisions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D7/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
- B24D7/18—Wheels of special form
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
研磨時に生じる研磨屑が、ロール研磨用回転砥石の研磨面中心部の凹部に堆積するのを防ぎ、加工面の表面粗さを不均一にすることなく安定してロール研磨が行えるようにしたロール研磨用回転砥石、ロール研磨装置及び方法を提供する。裏端面に回転軸が取付けられ、表端面に研磨面が形成された回転砥石本体と、前記回転砥石本体の表端面の中心に設けられた凹部と、を有し、ロールの表面に前記研磨面を当接せしめて前記ロールの表面にバーティカル研磨を行うためのロール研磨用回転砥石であり、前記凹部が、前記凹部の内周面が前記回転砥石本体の前記裏端面から前記表端面に向かって拡径せしめられているテーパ状凹部とされてなる、ロール研磨用回転砥石とした。
Description
本発明は、ロール研磨に用いられるロール研磨用回転砥石及びそれを用いたロール研磨装置及び方法に関する。
従来、グラビア製版用ロール、圧延ロールや搬送ロールといったロールを研磨するのに用いられる砥石として回転砥石がある。ロール研磨用の回転砥石は、前記ロールを回転させるとともに前記回転を回転せしめ前記ロールの表面に略円環状の回転砥石の表端面の研磨面を当接せしめて前記ロール表面を研磨するものである。
このようなロール研磨用の回転砥石は、回転砥石本体の外周ではなく、表端面に研磨の働きをする砥石が貼り付けられており、上記のように回転している回転砥石の表端面の研磨面を当接せしめて前記ロール表面を研磨するものであり、バーティカル研磨とも呼ばれる。
グラビア印刷は、グラビア製版ロール（グラビアシリンダー）に対し、製版情報に応じた微小な凹部（グラビアセル）を形成して版面を製作し当該グラビアセルにインキを充填して被印刷物に転写するものである。一般的なグラビア製版ロールにおいては、アルミニウムや鉄などの金属製又は炭素繊維強化樹脂（ＣＦＲＰ）等の強化樹脂製の中空ロールの表面に版面形成用の銅メッキ層（版材）を設け、該銅メッキ層にエッチングによって製版情報に応じ多数の微小な凹部（グラビアセル）を形成し、次いでグラビア製版ロールの耐刷力を増すためのクロムメッキ等の表面硬化被覆層を表面に形成し、製版（版面の製作）が完了する。
上記のように銅メッキ層の形成されたグラビア製版用ロールは、回転砥石でロール研磨が行われる。
また、グラビア製版ロールを製造するにあたって、グラビア製版用ロールを鏡面研磨したりする仕上げ研磨にも回転砥石によるロール研磨が行われたりする。このようなロール研磨用回転砥石の例としては特許文献１及び特許文献２がある。また、ロール研磨用回転砥石を備えたロール研磨装置の例としては特許文献３がある。
さらに、ロール研磨は、圧延ロールや搬送ロールといった金属製などのロールの研磨にも用いられる。
従来のロール研磨用の回転砥石を図６に示す。図６に示す従来の回転砥石１００は、裏端面１０８に回転軸が取付けられ、表端面１０６に研磨面１１２が形成された回転砥石本体１０４と、前記回転砥石本体１０４の中心に設けられた貫通孔１０２と、を有し、ロールの表面に前記研磨面１１２を当接せしめて前記ロールの表面にバーティカル研磨を行うためのロール研磨用回転砥石である。そして、前記貫通孔１０２は、前記貫通孔１０２の内周面１１０が前記回転砥石本体１０４の前記裏端面１０８から前記表端面１０６に向かって同一の径とされている。即ち、ストレートの内径とされている。
ロール研磨の際には、ロール研磨用回転砥石の研磨面やロールの表面が研磨によって削り取られることにより研磨屑が生じる。しかしながら、従来のロール研磨用回転砥石では、ロールの研磨時に中心の貫通孔部分である凹部に、研磨時に生じる研磨屑が堆積し、堆積した研磨屑がロール表面に接触し、加工面の表面粗さが不均一になるため、頻繁に前記貫通孔部分の確認及び清掃が必要になるという問題があった。
本発明は、研磨時に生じる研磨屑が、ロール研磨用回転砥石の研磨面中心部の凹部に堆積するのを防ぎ、加工面の表面粗さを不均一にすることなく安定してロール研磨が行えるようにしたロール研磨用回転砥石、ロール研磨装置及び方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明のロール研磨用回転砥石は、裏端面に回転軸が取付けられ、表端面に研磨面が形成された回転砥石本体と、前記回転砥石本体の表端面の中心に設けられた凹部と、を有し、ロールの表面に前記研磨面を当接せしめて前記ロールの表面にバーティカル研磨を行うためのロール研磨用回転砥石であり、前記凹部が、前記凹部の内周面が前記回転砥石本体の前記裏端面から前記表端面に向かって拡径せしめられているテーパ状凹部とされてなる、ロール研磨用回転砥石である。
前記ロールとしては、金属製ロールなどのグラビア製版用ロール、圧延ロールや搬送ロールといったロールであればいずれも適用可能であるが、グラビア製版用ロールが好適である。
本発明のロール研磨装置は、ロール研磨用回転砥石を備えてなるロール研磨装置である。
本発明のロール研磨方法は、前記ロール研磨用回転砥石を用いたロール研磨方法である。
本発明によれば、研磨時に生じる研磨屑が、ロール研磨用回転砥石の研磨面中心部の凹部に堆積するのを防ぎ、加工面の表面粗さを不均一にすることなく安定してロール研磨が行えるようにしたロール研磨用回転砥石、ロール研磨装置及び方法を提供することができるという著大な効果を有する。
以下に本発明の実施の形態を説明するが、これら実施の形態は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。なお、同一部材は同一符号で表される。
図１〜図３において、符号１０ａ，１０ｂは、本発明に係るロール研磨用回転砥石の一つの実施の形態を示す。
ロール研磨用回転砥石１０ａ，１０ｂは、裏端面１２ａ，１２ｂに回転軸１４ａ，１４ｂが取付けられ、表端面１６ａ，１６ｂに研磨面１８ａ，１８ｂが形成された回転砥石本体２０ａ，２０ｂと、前記回転砥石本体２０ａ，２０ｂの表端面１６ａ，１６ｂの中心に設けられた凹部２２ａ，２２ｂと、を有し、ロール２４の表面２６に前記研磨面１８ａ，１８ｂを当接せしめて前記ロール２４の表面２６にバーティカル研磨を行うためのロール研磨用回転砥石であり、前記凹部２２ａ，２２ｂが、前記凹部２２ａ，２２ｂの内周面２８が前記回転砥石本体２０ａ，２０ｂの前記裏端面１２ａ，１２ｂから前記表端面１６ａ，１６ｂに向かって拡径せしめられているテーパ状凹部３０とされてなる。即ち、テーパ状の内径とされている。
このようにテーパ状凹部３０とされているため、凹部２２ａ，２２ｂに堆積し易いはずの研磨時に生じる研磨屑が、ロール研磨用回転砥石１０ａ，１０ｂの回転による遠心力によって自動的に外に排出されることとなる。このため、凹部２２ａ，２２ｂには研磨屑が堆積し難く、凹部２２ａ，２２ｂにおける研磨屑の堆積を防ぐことができ、加工面であるロール表面の表面粗さを不均一にすることなく安定してロール研磨が行えるのである。研磨屑は、ロール研磨用回転砥石１０ａ，１０ｂの研磨面が研磨によって削り取られて生じたり、研磨によってロール表面が削り取られることによって生じるものである。
テーパ状凹部３０のテーパ角度としては、例えば１°〜４５°が好適である。
ロール２４としては、グラビア製版用ロールの例を示し、アルミや鉄などの金属製中空ロールの表面に銅メッキを施した状態のロールの例を示した。ロール２４には、軸方向に貫通孔３２が形成されており、チャックコーン３４ａ，３４ｂによって回転可能に支持されている。
図１の例では、ロール２４に対して片側に２つのロール研磨用回転砥石１０ａ，１０ｂを設けた例を示した。換言すれば、図１の例では、片側ツーヘッド研磨を行う場合の例を示したものである。しかしながら、ロール２４に対して両側に２つずつロール研磨用回転砥石を設け、特許文献３に示されるようなフォーヘッド研磨を行うようにしてもよい。また、図１に示した２つのロール研磨用回転砥石１０ａ，１０ｂは、同期させて回転したり、同期させながら同一方向に移動することができる。
ロール研磨用回転砥石１０ａ，１０ｂを、公知のグラビア製版用ロール用のロール研磨機などのロール研磨装置に取り付けることで、本発明のロール研磨用回転砥石を備えたロール研磨装置となる。ロール研磨装置の例としては、例えば特許文献３に記載された砥石研磨装置や特許文献４に記載された砥石研磨装置がある。また、ロール研磨用回転砥石１０ａ，１０ｂを用いてロール研磨を行うことで本発明のロール研磨方法となる。
図１〜３の例では、凹部２２ａ，２２ｂとして、貫通孔を形成した例を示したが、貫通孔以外にも、例えば、図４のように貫通していない孔とすることができる。
図４において、ロール研磨用回転砥石３６は、裏端面４０に回転軸が取付けられ、表端面３８に研磨面４８が形成された回転砥石本体５０と、前記回転砥石本体５０の表端面３８の中心に設けられた凹部４２と、を有し、前記凹部４２が、前記凹部４２の内周面４４が前記回転砥石本体５０の前記裏端面４０から前記表端面３８に向かって拡径せしめられているテーパ状凹部４６とされてなる。テーパ状凹部４６は、窪みとなっているだけで貫通はしていない孔である。テーパ状凹部４６以外の構成は、上記したロール研磨用回転砥石１０ａと同様である。
図４に示したロール研磨用回転砥石３６でも、テーパ状凹部４６とされているため、凹部４２に堆積し易いはずの研磨時に生じる研磨屑が、ロール研磨用回転砥石３６の回転による遠心力によって自動的に外に排出されることとなる。このため、凹部４２には研磨屑が堆積し難く、凹部４２における研磨屑の堆積を防ぐことができ、加工面であるロール表面の表面粗さを不均一にすることなく安定してロール研磨が行えるのである。
以下に実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもない。
（実施例１）
円周６００ｍｍ、面長１１００ｍｍのアルミ製中空ロールを、銅メッキ処理装置に装着し、中空ロールを銅メッキ槽のメッキ液に全没させて２０Ａ／ｄｍ２、６．０Ｖで４０μｍの銅メッキ層を形成した。メッキ表面はブツやピットの発生がなく、基材となる均一な銅メッキ層を得た。この銅メッキ層の表面を、図１〜図３に示した本発明のロール研磨用回転砥石を取付けた２ヘッド型研磨機（株式会社シンク・ラボラトリー製研磨機）を用いて、ロール表面を研磨して当該銅メッキ層の表面を均一な研磨面とした。
円周６００ｍｍ、面長１１００ｍｍのアルミ製中空ロールを、銅メッキ処理装置に装着し、中空ロールを銅メッキ槽のメッキ液に全没させて２０Ａ／ｄｍ２、６．０Ｖで４０μｍの銅メッキ層を形成した。メッキ表面はブツやピットの発生がなく、基材となる均一な銅メッキ層を得た。この銅メッキ層の表面を、図１〜図３に示した本発明のロール研磨用回転砥石を取付けた２ヘッド型研磨機（株式会社シンク・ラボラトリー製研磨機）を用いて、ロール表面を研磨して当該銅メッキ層の表面を均一な研磨面とした。
ロール回転数は１２０ｒｐｍ、回転砥石の回転数は８００ｒｐｍで行い、回転砥石の送り速度は、各８００ｍｍ／ｍｉｎでロール研磨を行った。研磨後、使用したロール研磨用回転砥石を撮影した写真を図５に示す。図５に示すように、ロール研磨用回転砥石の研磨面中心部の凹部における研磨時に生じる研磨屑の堆積はほとんど見られなかった。
（比較例１）
実施例１と同様にして、円周６００ｍｍ、面長１１００ｍｍのアルミ製中空ロールを、銅メッキ処理装置に装着し、中空ロールを銅メッキ槽のメッキ液に全没させて２０Ａ／ｄｍ２、６．０Ｖで４０μｍの銅メッキ層を形成した。メッキ表面はブツやピットの発生がなく、基材となる均一な銅メッキ層を得た。この銅メッキ層の表面を、図６に示した従来のロール研磨用回転砥石を取付けた２ヘッド型研磨機（株式会社シンク・ラボラトリー製研磨機）を用いて、ロール表面を研磨して当該銅メッキ層の表面を均一な研磨面とした。
実施例１と同様にして、円周６００ｍｍ、面長１１００ｍｍのアルミ製中空ロールを、銅メッキ処理装置に装着し、中空ロールを銅メッキ槽のメッキ液に全没させて２０Ａ／ｄｍ２、６．０Ｖで４０μｍの銅メッキ層を形成した。メッキ表面はブツやピットの発生がなく、基材となる均一な銅メッキ層を得た。この銅メッキ層の表面を、図６に示した従来のロール研磨用回転砥石を取付けた２ヘッド型研磨機（株式会社シンク・ラボラトリー製研磨機）を用いて、ロール表面を研磨して当該銅メッキ層の表面を均一な研磨面とした。
ロール回転数は１２０ｒｐｍ、回転砥石の回転数は８００ｒｐｍで行い、回転砥石の送り速度は、各８００ｍｍ／ｍｉｎでロール研磨を行った。研磨後、使用したロール研磨用回転砥石を撮影した写真を図７に示す。図７に示すように、ロール研磨用回転砥石の研磨面中心部の貫通孔（凹部）には研磨時に生じる研磨屑が多く堆積してしまっていた。
１０ａ，１０ｂ，３６：本発明のロール研磨用回転砥石、１２ａ，１２ｂ，４０：裏端面、１４ａ，１４ｂ：回転軸、１６ａ，１６ｂ，３８：表端面、１８ａ，１８ｂ，４８：研磨面、２０ａ，２０ｂ，５０：回転砥石本体、２２ａ，２２ｂ，４２：凹部、２４：ロール、２６：ロールの表面、２８，４４：内周面、３０，４６：テーパ状凹部、３２：貫通孔、３４ａ，３４ｂ：チャックコーン、１００：従来の回転砥石、１０２：貫通孔、１０４：回転砥石本体、１０６：表端面、１０８：裏端面、１１０：内周面、１１２：研磨面。
Claims (4)
- 裏端面に回転軸が取付けられ、表端面に研磨面が形成された回転砥石本体と、
前記回転砥石本体の表端面の中心に設けられた凹部と、を有し、
ロールの表面に前記研磨面を当接せしめて前記ロールの表面にバーティカル研磨を行うためのロール研磨用回転砥石であり、
前記凹部が、前記凹部の内周面が前記回転砥石本体の前記裏端面から前記表端面に向かって拡径せしめられているテーパ状凹部とされてなる、ロール研磨用回転砥石。 - 前記ロールが、グラビア製版用ロールである、請求項１記載のロール研磨用回転砥石。
- 請求項１又は２記載のロール研磨用回転砥石を備えるロール研磨装置。
- 請求項１又は２記載のロール研磨用回転砥石を用いたロール研磨方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016145686 | 2016-07-25 | ||
| JP2016145686 | 2016-07-25 | ||
| PCT/JP2017/023858 WO2018020947A1 (ja) | 2016-07-25 | 2017-06-29 | ロール研磨用回転砥石、ロール研磨装置及び方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2018020947A1 true JPWO2018020947A1 (ja) | 2019-05-23 |
| JP6761037B2 JP6761037B2 (ja) | 2020-09-23 |
Family
ID=61017249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018529459A Active JP6761037B2 (ja) | 2016-07-25 | 2017-06-29 | ロール研磨装置及び方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20190270171A1 (ja) |
| EP (1) | EP3488969A4 (ja) |
| JP (1) | JP6761037B2 (ja) |
| CN (1) | CN109475999A (ja) |
| TW (1) | TWI719227B (ja) |
| WO (1) | WO2018020947A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110039428A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-07-23 | 李志聪 | 一种用于密封机械加工的安全系数高的高效型打磨设备 |
| TWI817774B (zh) * | 2022-10-17 | 2023-10-01 | 中國鋼鐵股份有限公司 | 磨床雙頂心校正前置作業方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE439364A (ja) * | 1938-12-16 | |||
| US2840960A (en) * | 1956-10-22 | 1958-07-01 | Sheldon M Booth | Liquid feed for a grinding wheel |
| JPS5828706U (ja) * | 1981-08-18 | 1983-02-24 | 石川島播磨重工業株式会社 | 圧延ロ−ルの研削装置 |
| JPH11198052A (ja) * | 1998-01-14 | 1999-07-27 | Nikon Corp | 砥 石 |
| JP3006591B2 (ja) | 1998-07-02 | 2000-02-07 | 信濃電気製錬株式会社 | ロール研磨用多孔質砥石及びロール表面の研磨方法 |
| JP2000127005A (ja) | 1998-10-26 | 2000-05-09 | Think Laboratory Co Ltd | フォーヘッド砥石研磨装置 |
| JP4416485B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2010-02-17 | 信濃電気製錬株式会社 | ポリウレタン砥石の製造方法 |
| JP3105512U (ja) | 2004-05-18 | 2004-11-18 | 信越化学工業株式会社 | グラビア印刷ロール用回転砥石 |
| JP2011025382A (ja) * | 2009-07-28 | 2011-02-10 | Sanko Seito Kk | 回転砥石 |
| ES2651587T3 (es) | 2010-04-06 | 2018-01-29 | Think Laboratory Co., Ltd. | Sistema de procesamiento para preparar una placa de huecograbado de forma completamente automática |
| JP5828706B2 (ja) | 2011-08-03 | 2015-12-09 | 日東電工株式会社 | ダイシング・ダイボンドフィルム |
-
2017
- 2017-06-29 CN CN201780044886.1A patent/CN109475999A/zh active Pending
- 2017-06-29 JP JP2018529459A patent/JP6761037B2/ja active Active
- 2017-06-29 WO PCT/JP2017/023858 patent/WO2018020947A1/ja unknown
- 2017-06-29 EP EP17833956.0A patent/EP3488969A4/en not_active Withdrawn
- 2017-06-29 US US16/320,252 patent/US20190270171A1/en not_active Abandoned
- 2017-07-07 TW TW106122901A patent/TWI719227B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2018020947A1 (ja) | 2018-02-01 |
| JP6761037B2 (ja) | 2020-09-23 |
| EP3488969A1 (en) | 2019-05-29 |
| CN109475999A (zh) | 2019-03-15 |
| TWI719227B (zh) | 2021-02-21 |
| TW201806694A (zh) | 2018-03-01 |
| US20190270171A1 (en) | 2019-09-05 |
| EP3488969A4 (en) | 2020-04-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI418439B (zh) | A double-sided grinding apparatus, a double-sided polishing apparatus using the same, and a double-sided polishing method | |
| JP5334040B2 (ja) | 球状体の研磨装置、球状体の研磨方法および球状部材の製造方法 | |
| JPWO2018020947A1 (ja) | ロール研磨用回転砥石、ロール研磨装置及び方法 | |
| US11241769B2 (en) | Methods and apparatus for profile and surface preparation of retaining rings utilized in chemical mechanical polishing processes | |
| CN107662083A (zh) | 靶材溅射面的加工方法 | |
| JP3006591B2 (ja) | ロール研磨用多孔質砥石及びロール表面の研磨方法 | |
| CN107150264A (zh) | 喷涂陶瓷后的球面精密加工方法 | |
| KR20120060812A (ko) | 유지 패드 | |
| JP2006303136A (ja) | 両面研磨装置用キャリア及びこれを用いた両面研磨装置並びに両面研磨方法 | |
| CN107598499A (zh) | 一种凹印版辊外圆的加工方法 | |
| JP2000326235A (ja) | Ｅｌｉｄ用砥石とこれを用いたｅｌｉｄ平面研削装置 | |
| CN210938276U (zh) | 超精加工时用于支撑轴承内圈的定心轴 | |
| JP6376544B1 (ja) | 竹輪状グラビア印刷版の芯だし機及び芯だし方法及びグラビア印刷版 | |
| JP6202458B1 (ja) | グラビア印刷版並びにグラビア印刷版の製造方法およびグラビア印刷方法 | |
| TW201600229A (zh) | 刻劃輪及其製造方法 | |
| CN105598866A (zh) | 一种电镀超硬材料砂轮的制造方法 | |
| CN107931966A (zh) | 一种氮化钛网纹辊及其制备方法 | |
| JP5942783B2 (ja) | スクライビングホイール及びその製造方法 | |
| JP3795009B2 (ja) | グラビア製版ロール研磨用砥石及び該砥石を用いた研磨方法 | |
| KR100461342B1 (ko) | 현상롤러의 제조방법 및 버니싱장치 | |
| CN219805799U (zh) | 用于对硅片进行倒角的t型的磨轮组件及研磨装置 | |
| JP2002046057A (ja) | ウェーハ研磨加工用研磨布のドレッシング方法 | |
| CN108422322A (zh) | 耐磨金刚石滚轮及其制造工艺 | |
| JP6234534B2 (ja) | スクライビングホイール | |
| JP2004136378A (ja) | 弾性ローラーの外周面に於ける精密研磨作業方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190122 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190830 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200331 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200618 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20200626 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200901 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200903 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6761037 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |