JPWO2017221825A1 - ガラス基板歪測定方法及びガラス基板歪測定装置 - Google Patents

Abstract

ガラス基板を容易に載置可能であり、ガラス基板の歪の程度を簡便かつ迅速に測定することが可能なガラス基板歪測定方法及びガラス基板歪測定装置を提供する。
架台２０上でガラス基板Ｇの任意の位置の歪を測定する歪測定方法であって、前記架台２０上の載置エリアＰにおいてガラス基板Ｇを傾斜状態の載置台３０に載置し、前記傾斜状態の載置台３０を回動させて水平状態にし、当該水平状態の前記載置台３０を前記架台２０上の測定エリアＭまでスライド移動し、前記測定エリアＭにて前記載置台３０が有する開口部３１ｂを介して前記ガラス基板Ｇにレーザー光を照射して歪を測定する。

Description

本発明は、ガラス基板歪測定方法及びガラス基板歪測定装置の技術に関する。

一般的に、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置などのフラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板においては、微細な素子などが形成されることから、微小な欠陥であってもこれを防止する必要がある。
そのため、これらのガラス基板では、従来より、欠陥が光を反射することを利用し、端面から光を導入することによって欠陥の有無の検査を行っていた。
一方、フラットパネルディスプレイ自体の外形サイズが大きくなると、画像の色むらが問題になる。
この画像の色むらは、ガラス基板の歪によるものであるため、ガラス基板の歪を測定する必要がある。

ガラス基板の歪を定量的に測定する方法としては、例えばガラス基板の複数箇所のレタデーション（Ｒｅｔａｒｄａｔｉｏｎ：複屈折による位相差）を測定し、このレタデーションの測定結果の傾向から判断する方法が知られている（例えば、「特許文献１」を参照）。

特表２０１０−５１０５１９号公報

前記「特許文献１」によって示される測定方法においては、シート状のガラス基板の外形サイズが大きくなるとガラス基板が撓み易くなることから、破損し易くなるため、測定対象であるガラス基板を歪測定装置に載置することが容易ではない。
また、前記「特許文献１」によって示される歪測定装置では、ガラス基板の外形サイズが大きくなるにつれて当該ガラス基板に要する一枚当たりの測定時間が長くなり、ガラス基板の生産工程へ測定結果をフィードバックするための検査装置として用いるには不向きである。即ち、ガラス基板の歪が許容範囲を超えている場合、測定時間が長くかかると、その間ガラス基板の生産工程では不良品を製造し続けることになり、損失が大きくなる。
そのため、ガラス基板を容易に載置でき、ガラス基板の歪の程度を簡便かつ迅速に測定できる装置が望まれていた。

本発明は、以上に示した現状の問題点を鑑みてなされたものであり、ガラス基板を容易に載置でき、ガラス基板の歪の程度を簡便かつ迅速に測定することが可能なガラス基板歪測定方法及びガラス基板歪測定装置を提供することを課題とする。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

即ち、本発明に係るガラス基板歪測定方法は、架台上でガラス基板の任意の位置の歪を測定する歪測定方法であって、前記架台上の載置エリアにおいてガラス基板を傾斜状態の載置台に載置し、前記傾斜状態の載置台を回動させて水平状態にし、当該水平状態の前記載置台を前記架台上の測定エリアまでスライド移動し、前記測定エリアにて前記載置台が有する開口部を介して前記ガラス基板にレーザー光を照射して歪を測定することを特徴とする。

このように、本発明のガラス基板歪測定方法では、ガラス基板を傾斜状態の載置台に載置した後、載置台を回動させて水平状態にし、水平状態のガラス基板に対してレーザー光を照射して歪を測定する。こうすることで、ガラス基板を容易に載置台に載置できるので、ガラス基板の歪の程度を簡便かつ迅速に測定することが可能になる。ひいては、ガラス基板の歪の程度を簡便でかつ迅速に測定することが可能となるため、例えばガラス基板を製造する際には、測定結果のフィードバックを製造工程に早くできるようになり、ガラス基板の品質および歩留まりの向上を図ることができる。

また、本発明に係るガラス基板歪測定方法において、前記レーザー光は、移動しながら前記ガラス基板に照射されることが好ましい。

このようなガラス基板歪測定方法によれば、前記レーザー光を移動させながら、ガラス基板の任意の位置の歪を測定することができる。

また、本発明に係るガラス基板歪測定方法において、前記ガラス基板を前記載置台に載置する際に、前記ガラス基板の一端を受け部で支持し、前記受け部は、歪測定時に前記ガラス基板から離間する方向に移動することが好ましい。

このようなガラス基板歪測定方法によれば、前記受け部が歪測定時に前記ガラス基板から離間するため、前記ガラス基板の端面に余計な力が加わらず、正確に歪測定をすることができる。

また、本発明に係るガラス基板歪測定方法において、前記受け部は、前記載置台に対向する面に凹凸部を有し、前記載置台は、前記受け部に対向する面に前記凹凸部が係合する溝部を有し、前記受け部は、前記凹凸部の凸部を前記溝部に係合した状態で前記ガラス基板の外形サイズに応じて移動可能であることが好ましい。

このようなガラス基板歪測定方法によれば、前記受け部と前記載置台との間に隙間が生じた場合でも、前記凹凸部の凸部が前記溝部に係合しているためガラス基板が当該隙間に入り込むことを防ぐことができる。
また、ガラス基板の外形サイズが変更された場合でも受け部を移動して対応することができる。ひいては、受け部を適宜移動してガラス基板における歪測定の測定位置を調整することができる。

また、本発明に係るガラス基板歪測定方法において、前記開口部に前記溝部が連設され、前記開口部の最大寸法よりも前記溝部の幅寸法が小さいことが好ましい。

このようなガラス基板歪測定方法によれば、開口部においても前記凹凸部の凸部が移動可能となり、前記ガラス基板の外形サイズ変更に際して広く対応することができる。

また、本発明に係るガラス基板歪測定装置は、ガラス基板の任意の位置の歪を測定する歪測定装置であって、前記ガラス基板を載置する載置エリアと前記ガラス基板の歪測定を行う測定エリアを有する架台と、前記架台に保持されるとともに前記ガラス基板が載置される載置台と、前記測定エリアに設置され、水平状態の前記ガラス基板にレーザー光を照射して歪を測定する歪測定部と、を備え、前記架台は、前記載置台を前記載置エリアと前記測定エリアとの間において水平方向にスライド移動可能なスライド移動機構を有し、前記スライド機構は、一端に前記載置台を回動自在に支持する回動軸を有し、前記載置台は、前記載置エリアにおいて前記回動軸により傾斜状態または水平状態に回動可能に構成され、前記載置台は、前記レーザー光を通過させる開口部を有することを特徴とする。

このような構成からなるガラス基板歪測定装置は、ガラス基板を傾斜状態の載置台に載置した後、載置台を回動させて水平状態にし、水平状態のガラス基板に対してレーザー光を照射して歪を測定する。こうすることで、ガラス基板を容易に載置台に載置可能であり、ガラス基板の歪の程度を簡便でかつ迅速に測定することが可能になる。ひいては、ガラス基板の歪の程度を簡便かつ迅速に測定することが可能となるため、例えばガラス基板を製造する際には、測定結果のフィードバックを製造工程に早くできるようになり、ガラス基板の品質および歩留まりの向上を図ることができる。

また、本発明に係るガラス基板歪測定装置において、前記載置台は、前記ガラス基板を傾斜状態の載置台に載置する際に、前記ガラス基板の一端を支持する受け部を有し、前記受け部は、前記載置台の載置面に対して平行方向に移動可能であることが好ましい。

このようなガラス基板歪測定装置によれば、前記受け部を歪測定時に前記ガラス基板から離間する方向に移動させることで、前記ガラス基板の端面に余計な力が加わらず、正確に歪測定をすることができる。

また、本発明に係るガラス基板歪測定装置において、前記受け部は、前記載置台に対向する面に凹凸部を有し、前記載置台は、前記受け部に対向する面に前記凹凸部が係合する溝部を有し、前記受け部は、前記凹凸部の凸部を前記溝部に係合した状態で前記載置台の載置面に対して平行方向に移動可能であることが好ましい。

このようなガラス基板歪測定装置によれば、前記受け部と前記載置台との間に隙間が生じた場合でも、前記凹凸部の凸部が前記溝部に係合しているため前記ガラス基板が当該隙間に入り込むのを防ぐことができる。
また、ガラス基板の外形サイズが変更された場合でも受け部を移動して対応することができる。ひいては、受け部を適宜移動してガラス基板における歪測定の測定位置を調整することができる。

また、本発明に係るガラス基板歪測定装置において、前記開口部に前記溝部が連設され、前記開口部の最大寸法よりも前記溝部の幅寸法が小さいことが好ましい。

このようなガラス基板歪測定装置によれば、前記溝部において前記凹凸部の凸部が移動可能となり、前記ガラス基板の外形サイズ変更に際して広く対応することができる。

本発明は、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明に係るガラス基板歪測定方法及びガラス基板歪測定装置によれば、ガラス基板を容易に載置でき、ガラス基板の歪の程度を簡便かつ迅速に測定することができる。ひいては、ガラス基板の歪の程度を簡便でかつ迅速に測定することが可能となるため、例えばガラス基板を製造する際には、測定結果のフィードバックを製造工程に早くできるようになり、ガラス基板の品質および歩留まりの向上を図ることができる。

本発明の一実施形態に係るガラス基板歪測定装置（載置台傾斜時）の全体構成を示した側面図。 同じくガラス基板歪測定装置（載置台水平時）の全体構成を示した側面図。 同じくガラス基板歪測定装置（ガラス基板を載置した載置台水平時）の全体構成を示した平面図。 同じくガラス基板歪測定装置（載置台水平時）の全体構成を示した正面図。 第一ショックアブソーバーを示した図であって、（ａ）は載置台と接触していない状態の第一ショックアブソーバーを示した斜視図、（ｂ）は、傾斜した載置台と接触した状態の第一ショックアブソーバーを示した斜視図。 載置部が有する受け部を示した斜視図。 載置部の受け部近傍を示した拡大斜視図。 載置台及び受け部の一部を拡大して示した拡大平面図。

次に、発明の実施形態について、図１乃至図８を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図１、図２、及び図４中に示される上下方向をガラス基板歪測定装置１の上下方向と規定して記述する。
また、以下の説明に関しては便宜上、図１、図２、及び図３中に示される前後方向をガラス基板歪測定装置１の前後方向と規定して記述する。
また、以下の説明に関しては便宜上、図３中に示される前後方向に対して直交する方向を、ガラス基板歪測定装置１の幅方向と規定して記述する。

［ガラス基板歪測定装置１］
先ず、本発明を具現化するガラス基板歪測定装置１（以下、単に「歪測定装置１」と記載する）の全体構成について説明する。

歪測定装置１は、ガラス基板Ｇの製造工程において、ガラス基板Ｇの歪の程度を検査する装置であって、ガラス基板Ｇの任意の位置、または任意の領域における歪を測定するための装置である。

ここで、歪測定装置１によって測定されるガラス基板Ｇは、例えばディスプレイ等の電子デバイス用途として製造される、所定の厚みを有したシート状のガラス部材である。
また、ガラス基板Ｇは、例えば正方形や長方形状に形成されており、その一辺の寸法は２０００ｍｍ〜３４００ｍｍである。
なお、ガラス基板Ｇの形状や寸法・厚み等は、特に限定するものではなく、ガラス基板Ｇの用途に応じて適宜変更可能である。

歪測定装置１は、図１に示すように、主に架台２０、載置台３０、歪測定部４０、及び装置全体の運転を制御する制御手段５０（図３を参照）などにより構成される。

架台２０は、載置台３０を傾斜状態もしくは水平状態で保持するための台であって、床面上に設置される。
なお、本実施形態における「水平状態」とは、完全な水平状態（傾斜角度＝０°）に限るものではなく、略水平な状態であることも含み、例えば、見た目で水平を呈する状態も含む。具体的には、「水平状態」とは、載置台３０が僅かに傾斜している場合において、水平方向に対する傾斜角度が−１０°以上０°未満又は０°を超え１０°以下の範囲である状態も含む。
架台２０には、例えば図３に示すように、その前側部においてガラス基板Ｇを載置台３０に載置するためのエリアとなる載置エリアＰ、およびその後側部においてガラス基板Ｇの歪測定を行うためのエリアとなる測定エリアＭとが設けられ、これらの載置エリアＰと測定エリアＭとの間において、載置台３０を水平方向（歪測定装置１の前後方向）にスライド移動可能とするスライド機構２１（図１を参照）が備えられている。

スライド機構２１・２１は、載置台３０の幅方向の両端部にそれぞれ配置される。
ここで、図１に示すように、各スライド機構２１の一端部（前端部）には、載置台３０の中途部を回動可能に軸支する回動軸２２が設けられる。
スライド機構２１には、水平状態（水平姿勢）の載置台３０を前後方向に移動させる水平駆動手段（図示せず）、および回動軸２２を中心にして載置台３０を回動させる回動駆動手段（図示せず）などが備えられる。

回動駆動手段は、エアシリンダなどからなるアクチュエータにより構成され、架台２０の一端に配置される。
そして、回動駆動手段を駆動することにより、載置台３０は回動軸２２を中心にして回動し、傾斜状態（倒立状態）、または水平状態（水平姿勢）となることができる。

架台２０の前端部には、第一ショックアブソーバー２３が配設されている。
第一ショックアブソーバー２３は、図５（ａ）（ｂ）に示すように、載置台３０が水平状態から回動して傾斜した際に、載置台３０の背面に第一ショックアブソーバー２３の先端部２３ａが接触して回動時の衝撃を吸収するものである。

一方、架台２０の上部に、第二ショックアブソーバー（図示せず）が配設されている。
第二ショックアブソーバーは、載置台３０が傾斜状態から回動して水平状態になる際に、載置台３０の背面に第二ショックアブソーバーの先端部が接触して回動時の衝撃を吸収するものである。

なお、これらの第一ショックアブソーバー２３および第二上記ショックアブソーバーの代わりに、ゴム等の弾性部材からなる衝撃吸収部材を用いることも可能である。

載置台３０は、図１に示すように、架台２０の載置エリアＰの一端に保持されるとともにガラス基板Ｇが載置されるものである。
載置台３０は、ガラス基板Ｇを一端面側（水平状態では上面側）に載置し、スライド機構２１の水平駆動手段により水平方向の任意の位置に移動可能な台である。
また、載置台３０は、前後方向中途部が架台２０のスライド機構２１が有する回動軸２２に回動可能に支持される。載置台３０は、載置エリアＰにおいて回動軸２２により傾斜状態または水平状態に回動可能に構成されている。

載置台３０は、架台２０の一端部（前端部）において、スライド機構２１の回動駆動手段により任意の傾斜角度（例えば図６に示すように、本実施形態においては、７０〜８０度）で傾斜させることが可能な台である。
ここで、図３に示すように、載置台３０は、ステージ部３１、受け部３２、及び幅方向位置決め部３３などにより構成される。

ステージ部３１は、金属製（本実施形態においては、アルミ製）の平板な板状部材により構成され、歪測定の際にガラス基板Ｇの平坦度を所望の精度に維持するための定盤として機能するものである。
ステージ部３１は、平板状の載置面となる平板部３１ａを有し、当該平板部３１ａには、複数の円形状の開口部３１ｂ・３１ｂ・・・が穿孔されている。

前記複数の開口部３１ｂ・３１ｂ・・・は、歪測定部４０による歪測定の際に下方から照射されるレーザー光が通過するための開口部分であって、縦横に等間隔に配列された正方配列となっている。

前記複数の開口部３１ｂ・３１ｂ・・・のうち、最前列（水平状態の載置台３０における最前列）に位置する開口部３１ｂ・３１ｂ・・・の前側及び後側には、前後方向に沿って最前列の各開口部３１ｂの前端部及び後端部に連通する所定長の溝部３４が穿設されている（図７を参照）。

溝部３４は、図７に示すように、後述する凹凸部３２ｃの凸部３２ｄに対向する面として形成され、断面形状が矩形状であり、凹凸部３２ｃの凸部３２ｄが係合される部分である。
溝部３４は、開口部３１ｂに連設される。
具体的には、溝部３４は、最前列の開口部３１ｂの前端部から前方に所定長延出される前溝部３４ａと、最前列の開口部３１ｂの後端部から後方に延出されて該開口部３１ｂの後ろの列の開口部３１ｂの前端部に連通する後溝部３４ｂとにより構成される。

ここで、溝部３４の幅寸法は、開口部３１ｂの直径寸法よりも小さくなるように設定されている。
また、溝部３４の深さ寸法は、凹凸部３２ｃの凸部３２ｄの突出寸法と同等、またはやや大きくなるように設定されている。
そして、溝部３４は、凹凸部３２ｃの凸部３２ｄと係合可能に構成される。

受け部３２は、図３に示すように、ステージ部３１の一端部（前端部）近傍において、幅方向に亘って配置され、載置台３０を傾斜してガラス基板Ｇを載置する際に、ガラス基板Ｇの一端を位置決めするとともに支持するためのものである。

受け部３２は、ステージ部３１の幅方向に亘って配置される平板状の基部３２ａ、および該基部３２ａの一端側（後端側）に取り付けられる板状部材３２ｂなどにより構成される。
また、受け部３２は、ステージ部３１の前端部の幅方向両側に配置される駆動手段３５・３５を備え、当該駆動手段３５・３５によって載置台３０の載置面である平板部３１ａに対して平行方向に移動可能に支持されている。

板状部材３２ｂは、ガラス基板Ｇを載置する際に、ガラス基板Ｇの前端部が当接する部材であり、合成樹脂（例えば、ＭＣナイロン（登録商標））で形成される。
これにより、載置台３０にガラス基板Ｇを載置する際、ガラス基板Ｇが板状部材３２ｂに接触しても、ガラス基板Ｇの欠けや破損を防止することができる。

ここで図７に示すように、板状部材３２ｂには、ステージ部３１に対向しつつ、長手方向に亘って矩形状且つ凹凸状に連続して形成される凹凸部３２ｃが形成される。
また、板状部材３２ｂは、凹凸部３２ｃの複数の凸部３２ｄ・３２ｄ・・・がステージ部３１に形成された複数の溝部３４・３４・・・と係合した状態において、ボルト等を介して基部３２ａに着脱可能に固設される。

そして、受け部３２（より具体的には、基部３２ａ）が駆動手段３５によって駆動されると、板状部材３２ｂの凹凸部３２ｃの複数の凸部３２ｄ・３２ｄ・・・は、複数の溝部３４・３４・・・との係合状態を維持しつつ摺動可能であり、ステージ部３１の上面の前部において、受け部３２の板状部材３２ｂを前後方向（図７に示す両矢印方向）の任意の位置に移動して配置することができる。
これにより、図８に示すように、ガラス基板Ｇの外形サイズに応じて受け部３２の板状部材３２ｂが移動可能である。

なお、載置台３０を傾斜状態にして、ガラス基板Ｇを載置する場合、ガラス基板Ｇは受け部３２の板状部材３２ｂによって支持される。
一方、載置台３０が水平状態となり測定エリアでの歪測定時の場合には、歪測定に影響しないように駆動手段３５を駆動して受け部３２をガラス基板Ｇから離間する方向（本実施形態では、前方）に所定距離移動させることができる。

幅方向位置決め部３３は、載置台３０にガラス基板Ｇを載置する際に、ガラス基板Ｇの幅方向一端側を位置決めする部材である。
幅方向位置決め部３３は、幅方向に可動し、ガラス基板Ｇの外形サイズに合わせて変更することができる。

歪測定部４０は、図３に示すように、架台２０の測定エリアＭに配置され、水平状態のガラス基板Ｇに対して下方からレーザー光を照射してガラス基板Ｇの歪を測定するものである。
歪測定部４０は、図４に示すように、レーザー光照射部４１、支持体４２、該支持体４２の幅方向に移動可能に支持されるレーザー光受光部４３、および該レーザー光照射部４１とレーザー光受光部４３とを駆動する駆動手段（図示せず）などにより構成される。

図３において、歪測定部４０は、図示せぬ駆動手段によって、歪測定装置１の前後方向（Ｙ方向）に対する直交方向（Ｘ方向）に、レーザー光照射部４１を移動可能としている。
これにより、歪測定部４０は、移動しながらガラス基板Ｇにレーザー光を照射して測定することができる。
具体的は、歪測定部４０は、制御手段５０によって歪測定部４０の駆動手段を制御することにより、開口部３１ｂ毎に順に移動・停止し、各開口部３１ｂ毎に歪測定を行うことができる。

なお、歪測定部４０は、市販の歪測定機を用いることができる。
具体的には、歪測定部４０は、ガラス基板Ｇの歪の程度を評価するために、レタデーションの大きさ及びレタデーションの方位角を測定することができる。

ところで、本実施形態の歪測定部４０では、測定ヘッドとして１個のレーザー光照射部４１（図２を参照）を有する構成としているが、複数のレーザー光照射部４１・４１・・・を所定間隔で設ける構成としても構わない。
複数のレーザー光照射部４１・４１・・・を設ける構成とした場合、１個のレーザー光照射部４１のものと比較して測定時間を短縮することができる。

制御手段５０は、架台２０のスライド機構２１が有する駆動手段（水平駆動手段、回動駆動手段）、及び歪測定部４０が有する駆動手段や歪測定に関する測定動作を制御するものである。
制御手段５０は、例えば、ＣＰＵ等の処理装置やメモリ等の記憶装置、ディスプレイ等の表示装置を備えたパーソナルコンピュータ（ＰＣ）である。
制御手段５０は、ガラス基板Ｇの歪測定結果をディスプレイ等の表示装置に出力可能に構成されている。
また、制御手段５０は、ガラス基板Ｇの歪測定結果のデータを記憶装置に保存可能に構成されている。

［歪測定方法］
次に、上述した歪測定装置１によるガラス基板Ｇの歪測定方法について説明する。

本実施形態における歪測定装置１によるガラス基板Ｇの歪測定方法は、架台２０上でガラス基板Ｇの任意の位置の歪を測定する方法である。

先ず、図１に示すように、載置台３０にガラス基板Ｇを載置する際には、載置台３０が架台２０上の載置エリアＰの一端側（前端側）に配置され、且つ傾斜した状態（本実施形態においては、床面に対する載置台３０の傾斜角度は７０〜８０度）にする。
このように載置台３０を傾斜した状態で、該載置台３０にガラス基板Ｇが載置される。
具体的には、被測定物となるガラス基板Ｇは、作業者が吸引保持具（例えば、バキュームリフト）を用いて吸引保持され、倒立した状態の載置台３０に載置される。

載置台３０の傾斜角度は、適宜設定すればよいが、７０〜８０°程度が好ましい。
この角度範囲とすることで、作業者は、ガラス基板Ｇを容易に載置台３０に載置することができる。

次に、図２に示すように、制御手段５０は、スライド機構２１の回動駆動手段を駆動して、回動軸２２を中心にして載置台３０を回動し、傾斜状態（傾斜姿勢）から水平状態（水平姿勢）にする。
この際に載置台３０の背面は、上部ショックアブソーバーによって回動時の衝撃が吸収される。
続いて、制御手段５０は、スライド機構２１の水平駆動手段を駆動して水平状態（水平姿勢）の載置台３０が架台２０の載置エリアＰから測定エリアＭの所定位置までスライド移動する。

そして、制御手段５０は、測定エリアＭに移動した載置台３０上のガラス基板Ｇに対して歪測定を実行する。
具体的には、歪測定装置１の制御手段５０は、最初の測定箇所として設定された開口部３１ｂ（例えば、ステージ部３１の隅部に位置する開口部３１ｂ）より、歪測定部４０によって歪測定を開始する。

制御手段５０は、歪測定部４０が有する駆動手段によりレーザー光照射部４１をＸ方向に予め設定された間隔で移動し、または、スライド機構２１の水平駆動手段により載置台３０をＹ方向に予め設定された間隔で移動して、各開口部３１ｂを介してガラス基板Ｇにレーザー光を下方から照射して歪測定を行う。
こうして、制御手段５０は、歪測定部４０及びスライド機構２１を制御して歪測定部４０のレーザー光照射部４１及びレーザー光受光部４３を各開口部３１ｂに合わせて移動・停止して位置制御をするとともに各開口部３１ｂ毎に歪の測定を行う。

次に、制御手段５０は、歪測定部４０による歪測定が終了すると、ガラス基板Ｇの歪測定結果として各開口部３１ｂに対応する各測定点におけるレタデーションの大きさ及びレタデーションの方位角をディスプレイ等の表示装置に出力する。
また、制御手段５０は、ガラス基板Ｇの歪測定結果のデータを記憶装置に保存する。
制御手段５０は、予め設定された歪を評価する指標である規格値（レタデーションの大きさ及びレタデーションの方位角）と測定結果とを比較し、ガラス基板Ｇにおける歪に関する良否判定を行う。

このように、本実施形態における歪測定装置１を用いたガラス基板Ｇの歪測定方法においては、ガラス基板Ｇを傾斜状態の載置台３０に載置した後、載置台３０を回動させて水平状態にし、水平状態のガラス基板Ｇに対してレーザー光を照射して歪を測定する。
こうすることで、ガラス基板Ｇを容易に載置台３０に載置可能であり、ガラス基板Ｇの歪の程度を簡便かつ迅速に測定することが可能になる。
ひいては、ガラス基板Ｇの歪の程度を簡便でかつ迅速に測定することが可能となるため、例えばガラス基板Ｇを製造する際には、測定結果のフィードバックを製造工程に早くできるようになり、ガラス基板Ｇの品質および歩留まりの向上を図ることができる。

また、本実施形態における歪測定装置１を用いたガラス基板Ｇの歪測定方法においては、前記レーザー光は、移動しながら前記ガラス基板に照射される。
これにより、ガラス基板Ｇの任意の位置の歪を測定することができる。

また、本実施形態における歪測定装置１を用いたガラス基板Ｇの歪測定方法においては、前記ガラス基板Ｇを載置台３０に載置する際に、ガラス基板Ｇの一端（前端）を受け部３２の板状部材３２ｂで支持し、板状部材３２ｂは、ガラス基板Ｇの外形サイズに応じて移動可能である。
これにより、ガラス基板Ｇの外形サイズが変更された場合でも受け部３２の板状部材３２ｂを移動して対応することができる。
ひいては、受け部３２の板状部材３２ｂを適宜移動してガラス基板Ｇにおける歪測定の測定位置を調整することができる。

また、本実施形態における歪測定装置１を用いたガラス基板Ｇの歪測定方法においては、受け部３２の板状部材３２ｂは載置台３０に対向する面に凹凸部３２ｃを有し、載置台３０のステージ部３１は受け部３２に対向する面に凹凸部３２ｃの凸部３２ｄが係合する溝部３４を有している。
また、受け部３２の板状部材３２ｂは、凹凸部３２ｃの凸部３２ｄを溝部３４に係合した状態でガラス基板Ｇの外形サイズに応じて移動可能である。
これにより、受け部３２の板状部材３２ｂと載置台３０との間に隙間が生じた場合でも、凹凸部３２ｃの凸部３２ｄが溝部３４に係合しているためガラス基板Ｇが当該隙間に入り込むことを防ぐことができる。

また、本実施形態における歪測定装置１を用いたガラス基板Ｇの歪測定方法においては、開口部３１ｂに溝部３４が連設され、開口部３１ｂの最大寸法よりも溝部３４の幅寸法が小さくなるように形成されている。
これにより、開口部３１ｂにおいても凹凸部３２ｃの凸部３２ｄが移動可能となり、ガラス基板Ｇの外形サイズ変更に際して広く対応することができる。

また、本発明に係る本実施形態における歪測定装置１を用いたガラス基板Ｇの歪測定方法においては、受け部３２の板状部材３２ｂが歪測定部４０による歪測定時にガラス基板Ｇの端面から離間する方向に移動する。
このように、受け部３２の板状部材３２ｂが歪測定部４０による歪測定時にガラス基板Ｇから離間するため、ガラス基板Ｇの端面に余計な力が加わらず、正確に歪測定をすることができる。

本発明のガラス基板歪測定方法及びガラス基板歪測定装置は、ガラス基板の任意の位置の歪を測定するために利用することができる。

１ ガラス基板歪測定装置
２０ 架台
２１ スライド機構
２２ 回動軸
３０ 載置台
３１ ステージ部
３１ａ 平板部（載置面）
３１ｂ 開口部
３２ 受け部
３２ｂ 板状部材
３２ｃ 凹凸部
３２ｄ 凸部
３４ 溝部
４０ 歪測定部
５０ 制御手段
Ｇ ガラス基板
Ｍ 測定エリア
Ｐ 載置エリア

Claims (9)

1. 架台上でガラス基板の任意の位置の歪を測定する歪測定方法であって、
   前記架台上の載置エリアにおいてガラス基板を傾斜状態の載置台に載置し、
   前記傾斜状態の載置台を回動させて水平状態にし、
   当該水平状態の前記載置台を前記架台上の測定エリアまでスライド移動し、
   前記測定エリアにて前記載置台が有する開口部を介して前記ガラス基板にレーザー光を照射して歪を測定する、
   ことを特徴とするガラス基板歪測定方法。
2. 前記レーザー光は、移動しながら前記ガラス基板に照射される、
   ことを特徴とする、請求項１に記載のガラス基板歪測定方法。
3. 前記ガラス基板を前記載置台に載置する際に、前記ガラス基板の一端を受け部で支持し、
   前記受け部は、歪測定時に前記ガラス基板から離間する方向に移動する、
   ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載ガラス基板歪測定方法。
4. 前記受け部は、前記載置台に対向する面に凹凸部を有し、
   前記載置台は、前記受け部に対向する面に前記凹凸部が係合する溝部を有し、
   前記受け部は、前記凹凸部の凸部を前記溝部に係合した状態で前記ガラス基板の外形サイズに応じて移動可能である、
   ことを特徴とする、請求項３に記載のガラス基板歪測定方法。
5. 前記開口部に前記溝部が連設され、前記開口部の最大寸法よりも前記溝部の幅寸法が小さい、
   ことを特徴とする、請求項４に記載ガラス基板歪測定方法。
6. ガラス基板の任意の位置の歪を測定する歪測定装置であって、
   前記ガラス基板を載置する載置エリアと前記ガラス基板の歪測定を行う測定エリアを有する架台と、
   前記架台に保持されるとともに前記ガラス基板が載置される載置台と、
   前記測定エリアに設置され、水平状態の前記ガラス基板にレーザー光を照射して歪を測定する歪測定部と、を備え、
   前記架台は、前記載置台を前記載置エリアと前記測定エリアとの間において水平方向にスライド移動可能なスライド移動機構を有し、
   前記スライド機構は、一端に前記載置台を回動自在に支持する回動軸を有し、
   前記載置台は、前記載置エリアにおいて前記回動軸により傾斜状態または水平状態に回動可能に構成され、
   前記載置台は、前記レーザー光を通過させる開口部を有する、
   ことを特徴とするガラス基板歪測定装置。
7. 前記載置台は、前記ガラス基板を傾斜状態の載置台に載置する際に、前記ガラス基板の一端を支持する受け部を有し、
   前記受け部は、前記載置台の載置面に対して平行方向に移動可能である、
   ことを特徴とする、請求項６に記載のガラス基板歪測定装置。
8. 前記受け部は、前記載置台に対向する面に凹凸部を有し、
   前記載置台は、前記受け部に対向する面に前記凹凸部が係合する溝部を有し、
   前記受け部は、前記凹凸部の凸部を前記溝部に係合した状態で前記載置台の載置面に対して平行方向に移動可能である、
   ことを特徴とする、請求項７に記載のガラス基板歪測定装置。
9. 前記開口部に前記溝部が連設され、前記開口部の最大寸法よりも前記溝部の幅寸法が小さい、
   ことを特徴とする、請求項８に記載ガラス基板歪測定装置。

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