JPWO2017217113A1 - 表示装置および電子機器 - Google Patents

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Abstract

第1方向および第2方向にマトリクス状に配置された複数の画素と、隣り合う前記画素の間に設けられ、前記画素の発光領域に第1開口を有する第1絶縁膜とを備え、前記第1絶縁膜は、前記第2方向に隣り合う前記画素の間に、前記第1方向に延在する第2開口を有するとともに、前記第2開口内に残留部を有する表示装置。

Description

本開示は、有機エレクトロルミネッセンス(EL;Electro Luminescence)現象により発光する有機電界発光素子などを用いた表示装置および電子機器に関する。
有機電界発光素子を用いた表示装置(有機ELディスプレイ)では、光取り出し効率を向上させるために、リフレクタ構造が用いられている(例えば、特許文献1)。
特開2013−191533号公報
有機ELディスプレイなどの表示装置では、より光取り出し効率を高めることが望ましい。
高い光取り出し効率を有する表示装置および電子機器を提供することが望ましい。
本開示の一実施の形態に係る表示装置は、第1方向および第2方向にマトリクス状に配置された複数の画素と、隣り合う画素の間に設けられ、画素の発光領域に第1開口を有する第1絶縁膜とを備え、第1絶縁膜は、第2方向に隣り合う画素の間に、第1方向に延在する第2開口を有するとともに、第2開口内に残留部を有するものである。
本開示の一実施の形態に係る電子機器は、上記本開示の一実施の形態に係る表示装置を備えたものである。
本開示の一実施の形態に係る表示装置および電子機器では、第1絶縁膜に第2開口が設けられているので、第1開口の形状が制御し易くなる。加えて、第2開口内に残留部が設けられているので、第1絶縁膜の形成領域が増し、第1絶縁膜が下地から剥がれにくくなる。
本開示の一実施の形態に係る表示装置および電子機器によれば、第2開口により、第1開口の形状が制御し易くなるので、発光領域に高い光取り出し効率のリフレクタ構造を形成することが可能となる。また、第1絶縁膜が下地から剥がれにくくなるので、第1開口に加えて、第1開口の形状を制御するための第2開口を有する第1絶縁膜を形成することができる。よって、光取り出し効率を向上させることができる。
本開示の一実施の形態に係る表示装置の全体構成を表すブロック図である。 図1に示した表示装置(画素部)の構成を表す断面図である。 画素回路の要部構成を表す平面模式図である。 画素配列の一例を表す模式図である。 図2に示した第1絶縁膜の平面構成を表す模式図である。 図2に示した第1開口付近の構成を拡大して表す断面図である。 図5Aに示したB11−B12線における断面構成を表す図である。 図5Aに示したC11−C12線における断面構成を表す図である。 第1絶縁膜の第1開口のテーパ角を説明するための模式図である。 凹部のテーパ角を説明するための模式図である。 比較例1に係る第1絶縁膜の構成を説明するための断面模式図である。 比較例2に係る第1絶縁膜の構成を説明するための平面模式図である。 適用例に係る電子機器の構成を表すブロック図である。
本開示の実施の形態について図面を参照して以下の順に詳細に説明する。
1.実施の形態(第1絶縁膜の第2開口内に残留部を設けた例)
2.適用例(電子機器の例)
<実施の形態>
[構成]
図1は、本開示の一実施の形態に係る表示装置(表示装置1)の全体構成を表すブロック図である。この表示装置1は、例えば、有機電界発光素子を用いた有機ELディスプレイ等であり、例えばR(赤),G(緑),B(青)のいずれかの色の光が上面側から出射される、上面発光型(トップエミッション型)の表示装置である。
表示装置1は、マトリクス状に2次元配置された複数の画素(画素pr,pg,pb)を有する画素部2と、この画素部2を駆動するための回路部(走査線駆動部3、信号線駆動部4および電源線駆動部5)とを備える。
画素部2は、例えばアクティブマトリクス方式により、外部から入力される映像信号に基づいて画像を表示するものである。この画素部2には、画素配列の行方向に沿って延在する複数の走査線WSLと、列方向に沿って延在する複数の信号線DTLと、行方向に沿って延在する複数の電源線DSLとが設けられている。これらの走査線WSL、信号線DTLおよび電源線DSLは、各画素pr,pg,pbと電気的に接続されている。画素pr,pg,pbは、例えばそれぞれがサブピクセルに相当し、これらの画素pr,pg,pbの組が1つのピクセル(画素PX)を構成する。
画素prは、例えば赤色光を出射する有機EL素子10Rを含んで構成されている。画素pgは、例えば緑色光を出射する有機EL素子10Gを含んで構成されている。画素pbは、例えば青色光を出射する有機EL素子10Bを含んで構成されている。以下では、画素pr,pg,pbのそれぞれを特に区別する必要のない場合には、「画素P」と称して説明を行う。また、有機EL素子10R,10G,10Bのそれぞれを特に区別する必要のない場合には、「有機EL素子10」と称して説明を行う。
走査線WSLは、画素部2に配置された複数の画素Pを、行毎に選択するための選択パルスを各画素Pに供給するためのものである。この走査線WSLは、走査線駆動部3の出力端(図示せず)と、後述の書き込みトランジスタWsTrのゲート電極とに接続されている。信号線DTLは、映像信号に応じた信号パルス(信号電位Vsigおよび基準電位Vofs)を、各画素Pへ供給するためのものである。この信号線DTLは、信号線駆動部4の出力端(図示せず)と、後述の書き込みトランジスタWsTrのソース電極またはドレイン電極とに接続されている。電源線DSLは、各画素Pに、電力として固定電位(Vcc)を供給するためのものである。この電源線DSLは、電源線駆動部5の出力端(図示せず)と、後述の駆動トランジスタDsTrのソース電極またはドレイン電極とに接続されている。尚、有機EL素子10のカソード(後述の第2電極16)は、共通電位線(カソード線)に接続されている。
走査線駆動部3は、各走査線WSLに所定の選択パルスを線順次で出力することにより、例えばアノードリセット、Vth補正、信号電位Vsigの書き込み、移動度補正および発光動作等の各動作を、各画素Pに所定のタイミングで実行させるものである。信号線駆動部4は、外部から入力されたデジタルの映像信号に対応するアナログの映像信号を生成し、各信号線DTLに出力するものである。電源線駆動部5は、各電源線DSLに対して、定電位を出力するものである。これらの走査線駆動部3、信号線駆動部4および電源線駆動部5は、図示しないタイミング制御部により出力されるタイミング制御信号により、それぞれが連動して動作するように制御される。また、外部から入力されるデジタルの映像信号は、図示しない映像信号受信部により補正された後、信号線駆動部4に入力される。
(画素部2の構成)
図2は、表示装置1(画素部2)の断面構成を表したものである。図2では、有機EL素子10R,10G,10Bのうちの一部(有機電界発光素子10Rと、有機電界発光素子10Gの一部)に対応する領域についてのみ示している。画素部2では、駆動基板11a上に、複数の有機EL素子10が2次元配置されている。これらの有機EL素子10の上には、例えば、保護膜17、封止層18およびCF/BM層19を介して第2基板20が貼り合わせられている。
駆動基板11aは、例えばガラスやプラスチックなどから構成された第1基板11上に、層間絶縁膜122と、各有機EL素子10を駆動するための画素回路(画素回路PXLC、図2には図示せず)とを含む。この駆動基板11aの表面は、平坦化膜123によって平坦化されている。
画素回路PXLCは、有機EL素子10の発光および消光を制御するものであり、例えば有機EL素子10(有機EL素子10R,10G,10Bのいずれか1つ)と、保持容量Csと、書き込みトランジスタWsTrと、駆動トランジスタDsTrとを含んで構成されている。
書き込みトランジスタWsTrは、駆動トランジスタDsTrのゲート電極に対する、映像信号(信号電圧)の印加を制御するものである。具体的には、書き込みトランジスタWsTrは、走査線WSLへの印加電圧に応じて信号線DTLの電圧(信号電圧)をサンプリングすると共に、その信号電圧を駆動トランジスタDsTrのゲート電極に書き込むものである。駆動トランジスタDsTrは、有機EL素子10に直列に接続されており、書き込みトランジスタWsTrによってサンプリングされた信号電圧の大きさに応じて有機EL素子10に流れる電流を制御するものである。これらの駆動トランジスタDsTrおよび書き込みトランジスタWsTrは、例えば、nチャネルMOS型またはpチャネルMOS型の薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)により形成される。これらの駆動トランジスタDsTrおよび書き込みトランジスタWsTrは、また、シングルゲート型であってもよいし、デュアルゲート型であってもよい。保持容量Csは、駆動トランジスタDsTrのゲート電極およびソース電極間に所定の電圧を保持するものである。
書き込みトランジスタWsTrのゲート電極は、走査線WSLに接続されている。書き込みトランジスタWsTrのソース電極およびドレイン電極のうちの一方の電極が信号線DTLに接続され、他方の電極が駆動トランジスタDsTrのゲート電極に接続されている。駆動トランジスタDsTrのソース電極およびドレイン電極のうちの一方の電極が電源線DSLに接続され、他方の電極が有機EL素子10のアノード(後述の第1電極13)に接続されている。保持容量Csは、駆動トランジスタDsTrのゲート電極と有機EL素子10側の電極との間に挿入されている。
図3に、上記のような画素回路PXLCの要部の配線レイアウトの一例を示す。画素回路PXLCは、例えば複数の配線層(第1メタル層M1,第2メタル層M2)と、半導体層S1と、第1メタル層M1,第2メタル層M2同士の層間接続(コンタクトホールc11〜c13)とを利用して形成されている。
一例としては、図3に示したように、書き込みトランジスタWsTrのゲート電極125g1と、駆動トランジスタDsTrのゲート電極125g2と、保持容量Csの下部電極126aと、信号線DTLとが、第1メタル層M1に配置されている。書き込みトランジスタWsTrのソース・ドレイン電極(125sd1,125sd2)と、駆動トランジスタDsTrのソース・ドレイン電極(125sd3,125sd4)と、保持容量Csの上部電極126bと、走査線WSLと、電源線DSLとが、第2メタル層M2に配置されている。これらのうち、書き込みトランジスタWsTrのゲート電極125g1と、走査線WSLとは、コンタクトホールc11を通じて層間接続されている。書き込みトランジスタWsTrのソース・ドレイン電極125sd1は、コンタクトホールc12を通じて信号線DTLに層間接続されている。書き込みトランジスタWsTrのソース・ドレイン電極125sd2は、コンタクトホールc13を通じて保持容量Csの下部電極126aと駆動トランジスタDsTrのゲート電極125g2とに層間接続されている。保持容量Csの上部電極126bは、コンタクト部C1(アノードコンタクト)を通じて、有機EL素子10のアノード(第1電極13、図3には図示せず)に接続されている。
尚、ここでは、画素回路PXLCとして、2Tr1Cの回路構成を例示したが、画素回路PXLCの構成はこれに限定されるものではない。画素回路PXLCは、このような2Tr1Cの回路に対して、更に各種容量やトランジスタ等を付加した回路構成を有していてもよい。
有機EL素子10R,10G,10Bは、上記のような駆動基板11a上に規則的な配列で形成されている。図4に、画素配列(有機EL素子10の配列)の一例を示す。画素pr,pg,pbは、第1方向d1および第2方向d2にマトリクス状に配置されている。第1方向d1と第2方向d2とは、例えば互いに直交している。有機EL素子10の成膜プロセスにおいて例えば印刷等のウェットプロセスを用いる場合には、複数の画素pr,pg,pbが発光色毎に、一方向に沿って配置されることが望ましい。例えば、画素pr(有機EL素子10R)が第1方向d1に沿った1つのライン上に配置され、画素pg(有機EL素子10G)が第1方向d1に沿った1つのライン上に配置され、画素pb(有機EL素子10B)が第1方向d1に沿った1つのライン上に配置されている。画素pr,pg,pbは、互いに第2方向d2に隣り合うように配置されている。各画素pr,pg,pbの面形状は、特に限定されるものではないが、例えば矩形状を有する。第1方向d1は、画素pr,pg,pbの各面形状(矩形状)の長手方向に沿っている。製造プロセスでは、例えばこの第1方向d1に沿ったライン毎に、各発光色のインクが滴下されることで、有機層15R,15G,15Bが形成される。
有機EL素子10Rは、第1電極13と第2電極16との間に、赤色発光層を含む有機層15Rを有するものである。同様に、有機EL素子10Gは、第1電極13と第2電極16との間に、緑色発光層を含む有機層15G有するものである(図2)。有機EL素子10Bは、第1電極13と第2電極16との間に、青色発光層を含む有機層15Bを有するものである(図2)。
第1電極13は、例えばアノードとして機能するものであり、画素P毎に設けられている。この第1電極13の構成材料としては、例えばアルミニウム(Al)、クロム(Cr),金(Au),白金(Pt),ニッケル(Ni),銅(Cu),タングステン(W)あるいは銀(Ag)などの金属元素の単体または合金が挙げられる。また、第1電極13は、これらの金属元素の単体または合金よりなる金属膜と、光透過性を有する導電性材料(透明導電膜)との積層膜を含んでいてもよい。透明導電膜としては、例えば酸化インジウム錫(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)、酸化タングステン(WOx)および酸化亜鉛(ZnO)系材料等が挙げられる。酸化亜鉛系材料としては、例えばアルミニウム(Al)を添加した酸化亜鉛(AZO)、およびガリウム(Ga)を添加した酸化亜鉛(GZO)などが挙げられる。
有機層15R,15G,15Bはそれぞれ、電界をかけることにより電子と正孔との再結合を生じ、R,G,Bのいずれかの色光を発生する有機電界発光層(赤色発光層,緑色発光層,青色発光層)を含むものである。これらの有機層15R,15G,15Bの成膜方法は、例えば印刷法や塗布法等のウェットプロセスが挙げられる。一例としては、インクジェット印刷法、ノズルコート法等が挙げられる。この有機層15R,15G,15Bは、有機電界発光層の他にも、必要に応じて、例えば正孔注入層、正孔輸送層および電子輸送層等を含んでいてもよい。また、有機層15R,15G,15Bと第2電極16との間には、電子注入層が形成されていてもよい。
第2電極16は、例えばカソードとして機能するものであり、画素部2の全面にわたって(全画素に共通の電極として)形成されている。この第2電極16は、例えば透明導電膜から構成されている。透明導電膜の材料としては、上記第1電極13の材料として列挙した酸化物材料と同様のものを用いることができる。第2電極16の厚みは、特に限定されないが、導電性と光透過性とを考慮して設定されるとよい。第2電極16には、この他にも、マグネシウムと銀との合金(MgAg合金)が用いられてもよい。
これらの有機EL素子10R,10G,10Bの有機層15R,15G,15Bは、画素分離膜14によって規定された領域(第1開口H1a)にそれぞれ形成されている。画素分離膜14は、第1電極13上に形成されると共に、第1電極13に対向して第1開口H1aを有している。
画素分離膜14は、上述のように、第1開口H1aにより各画素Pの発光領域を所望の形状に規定すると共に、隣接する画素列の有機層(異なる発光色の有機層)同士を分離する機能を有している。また、この画素分離膜14により、第1電極13と第2電極16との絶縁性が確保される。この画素分離膜14は、第1絶縁膜14Aと、第1絶縁膜14A上の所定の領域に積層された第2絶縁膜14Bとを有する。ここでは、第1絶縁膜14Aに、第1開口H1aに加えて、第1開口H1aの形状を制御するための第2開口H1bが設けられている。
図5Aに、第1絶縁膜14Aの平面構成(基板面に平行な面の構成)を示す。尚、図5Aでは、簡便化のため、第1方向d1に画素pr,pg,pbがそれぞれ3つずつ配置され、第2方向d2に1組の画素pr,pg,pbが配置された構成を示している。図5Bは、図2の断面構成において第1絶縁膜14Aの開口部付近を拡大したものである。尚、図2に示した構成は、図5AのA11−A12線における断面構成に相当する。
このように、第1絶縁膜14Aは、画素P毎に(第1電極13毎に)、例えば2つの第1開口H1aを有している。第1開口H1aは、1つであってもよく、あるいは、3つ以上であってもよい。表示装置1では、第1開口H1aに、リフレクタ(反射構造)を有している。第1開口H1aは例えば矩形状であり、第1方向d1に長辺を有するように配置されている。
第2開口H1bは、第2方向d2に隣り合う画素Pの間(例えば、画素prと画素pgの間、画素pgと画素pbの間、画素pbと画素prの間)に設けられている。第2開口H1bは、第1方向d1に沿って延在するライン状の形状を有しており、例えば、複数の第2開口H1bが略平行に設けられて、ストライプ形状をなしている。第2開口H1bは、例えば第1電極13が形成されていない領域に設けられている。第2開口H1bは、第1電極13上から第1電極13が形成されていない領域に跨って設けられていてもよい。第1開口H1aの形状を精確に制御するため、第2開口H1bと第1開口H1aとを同じピッチで設けることが好ましい。具体的には、2つの第1開口H1a間の距離と、第1開口H1aと第2開口H1bとの間の距離とが同じであることが好ましい。
第1絶縁膜14Aは、例えば、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、フッ素系樹脂、シリコン系樹脂、フッ素系ポリマー、シリコン系ポリマー、ノボラック系樹脂、エポキシ系樹脂、ノルボルネン系樹脂等の感光性樹脂を含んで構成されている。あるいは、これらの樹脂材料に着色剤を分散させたものが用いられてもよい。更に、第1絶縁膜14Aには、このような有機材料に限らず、例えば酸化シリコン(SiO2)、窒化シリコン(SiN)および酸窒化シリコン(SiON)等の無機材料が用いられても構わない。この第1絶縁膜14Aは、親液性(有機層15R,15G,15Bを成膜する際のインクに対する親和性)を有することが望ましい。成膜時において、有機層15R,15G,15Bのインクの濡れ拡がりが良好となり、膜厚のむらを生じにくくすることができるためである。第1絶縁膜14Aの厚みは、例えば0.1μm以上10μm以下である。
この第1絶縁膜14Aの屈折率は、後述する保護膜17および封止層18の屈折率よりも例えば小さくなるように設定されている。第1絶縁膜14Aの厚みは、例えば1μm以上10μm以下である。第1絶縁膜14Aの厚み、屈折率、および第1開口H1aの形状(後述の傾斜面PSの形状および傾斜角θ等)等を適切に設定することで、第1開口H1aをいわゆるリフレクタ(反射構造)とすることができる。
これらの2つの第1開口H1a内には、それらの底部を覆うように、有機層15R(または有機層15G,15B、以下同様)が形成されている。表示駆動時には、図5Bに示したように、有機層15R(発光層)から射出される光は、正面方向L1に進む光に加え、この正面方向L1からずれた方向L2に進む光(斜め方向に進む光)を含む。第1開口H1aの傾斜面PSにおいて、その斜め方向L2に進む光が反射され、正面方向L1に向かって立ち上げられる。開口部H1では、このようなリフレクタを有することで、光取り出し効率を向上させることができる。
例えば、各パラメータは以下のように設定されることが好ましい。傾斜面PSの第1電極13の平面方向に対する傾斜角をθ(度)、第1絶縁膜14Aの構成材料の屈折率をn1、封止層18の構成材料の屈折率をn2とし、n1<n2である場合、傾斜角θは以下の式(1)を満たすことが好ましく、さらに式(2)を満たすことが好ましい。
(数1)

75.2-54(n2-n1)≦θ≦81.0−20(n2-n1)・・・(1)

76.3-46(n2-n1)≦θ≦77.0−20(n2-n1)・・・(2)
また、屈折率n1および屈折率n2は、1.1≦n2≦1.8、n2-n1≧0.20を満たすことが好ましい。これを満たす材料として、例えば、第1絶縁膜14Aにはアクリル系の樹脂材料、封止層18にはエポキシ系の樹脂材料が挙げられる。
第2絶縁膜14Bは、この第1絶縁膜14A上の第2方向d2に隣り合う画素Pの間の領域(異なる画素列に配置された第1開口H1a同士の間の領域)に、第1方向d1に延在して設けられている。第2絶縁膜14Bは、第1絶縁膜14Aの第2開口H1bを覆うように設けられている(図2)。第2絶縁膜14Bには、第1絶縁膜14Aと同一の材料が用いられてもよいし、異なる材料が用いられてもよい。但し、第2絶縁膜14Bの少なくとも上面は、撥液性を有することが望ましい。第2絶縁膜14Bにフッ素などの撥液成分を含有させるようにしてもよく、あるいは、第2絶縁膜14Bの成膜後に撥液処理を施すようにしてもよい。隣接する画素列同士の間(異なる発光色の有機層同士の間)でのインクの濡れ拡がり(混色)を抑制し、隔壁としての機能を高めることができるためである。この第2絶縁膜14Bの厚みは、例えば0.5μm以上10μm以下である。第2絶縁膜14Bの第2方向d2の幅W1は、第1絶縁膜14Aの第2開口H1bの第2方向d2の幅W2よりも大きいことが好ましい。これにより、製造時に第1絶縁膜14Aと第2絶縁膜14Bとの間に位置ずれが生じた場合にも、第2絶縁膜14Bが第2開口H1b内に落ちることを防ぐことができる。したがって、有機層(有機層15R、有機層15Gまたは有機層15B)をウェットプロセスにより形成する場合に、インクのピニング性が安定し、発光領域内の有機層の厚みが均一になる。即ち、輝度を向上させることができる。また、第2絶縁膜14Bの第2方向d2の幅W1が、第1絶縁膜14Aの第2開口H1bの第2方向d2の幅W2よりも大きければ、第2開口H1bが第1電極13上に跨って設けられている場合にも、第1電極13の端部が第2絶縁膜14Bで覆われる。
本実施の形態では、このような画素分離膜14の第1絶縁膜14Aが、第2開口H1b内に残留部14AIを有している。詳細は後述するが、これにより第2開口H1bが形成される場合であっても、第1絶縁膜14Aの形成領域が増し、第1絶縁膜14Aの剥がれを防ぐことができる。
図6Aに、図5AのB11−B12線における断面構成(隣り合う画素Pr同士の間の領域の断面構成)を示す。図5Aに示したように、残留部14AIは第2方向d2に隣り合う第1開口H1aの間の領域から逸れた位置に設けられている。前述のように、第2開口H1bにより第1開口H1aの形状が制御されるので、残留部14AIは第1開口H1aに隣接する位置を避けて形成することが好ましい。図5Aでは、1つの第2開口H1bに対して2つの残留部14AIを設けた場合を示しているが、1つの第2開口H1bに1つの残留部14AIが設けられていればよく、あるいは、3つ以上の残留部14AIを設けるようにしてもよい。残留部14AIの平面形状は例えば矩形状である。
図6Aに示したように、残留部14AIは、第2開口H1b内で第1絶縁膜14Aが一部残されている部分である。例えばこの残留部14AIは、第2方向d2において、第2開口H1bの両側の第1絶縁膜14Aと連続して設けられている。残留部14AIの厚みt2は、例えば0.1μm以上10μm以下である。残留部14AIの厚みt2は、残留部14AI以外の第1絶縁膜14Aの厚みと同じであってもよいが、第1絶縁膜14Aの厚みよりも小さくなっていることが好ましい。残留部14AIの第2方向d2の幅b2は、例えば、第2開口H1bの幅W2と同じである。残留部14AI上には第2絶縁膜14Bが設けられている。第2絶縁膜14Bの第2方向d2の幅W1は、残留部14AIの第2方向d2の幅b2よりも大きいことが好ましい。これにより、製造時に第1絶縁膜14Aと第2絶縁膜14Bとの間に位置ずれが生じた場合にも、第2絶縁膜14Bが残留部14AI内に落ちることを防ぐことができる。したがって、上記と同様に、有機層をウェットプロセスにより形成する場合に輝度を向上させることができる。第2絶縁膜14Bの撥液性を機能させるように、残留部14AIの厚みt2に対して、十分に大きくなるように第2絶縁膜14Bの厚みを調整することが好ましい。
図5Aに示したように、第1絶縁膜14Aには、例えば、この残留部14AIと第2方向d2に隣り合う位置に凹部形成領域H2a(凹部H2)が設けられている。
図6Bは、図5AのC11−C12線における断面構成を示したものである。図5Aに示したように、第1方向d1において隣り合う画素pr同士の間(または画素pg同士の間、画素pb同士の間)の各領域が、凹部H2を有している(凹部形成領域H2aとなっている)。凹部H2は、第1方向d1に隣り合う画素Pの第1開口H1a同士を繋いでいる。換言すれば、複数の画素Pのうちの同一の発光色の画素Pの第1開口H1a同士を繋いでいる。
凹部H2は、同一の発光色の画素P(画素pr、画素pgまたは画素pb)の開口部H1同士を接続し、有機層(有機層15R、有機層15Gまたは有機層15B)のインクの流路として機能するものである。尚、図5Aでは図示を省略しているが、隣り合う画素pr同士の間で、凹部H2を通じて、第1開口H1a同士が繋がっている。2つの第1開口H1a同士は、凹部H2において繋がっていてもよいし、繋がっていなくともよい。この凹部H2の形状、幅b1および深さf1等は特に限定されない。例えば、凹部H2の第1方向d1の長さは、残留部14AIの第1方向d1の長さと同程度である。図6Aおよび図6Bに示したように、第1絶縁膜14Aは、凹部H2の底部において厚み(t1)を有することが望ましく、例えば厚みt1は、0.1μm以上2μm以下である。即ち、第1電極13の端部は、第1絶縁膜14Aにより覆われるように構成されることが望ましい。第1電極13と第2電極16との間で電気的短絡が生じることを抑制できるためである。また、凹部H2の第1絶縁膜14Aの厚みt1は、深さf1よりも十分に小さくなるように形成されることが望ましい。この例では、凹部H2内にも、その底面を覆って有機層15Rが形成されている。これは、有機層15Rが、成膜時に凹部H2を通じて隣りの第1開口H1aまで濡れ拡がって形成されるためである。但し、凹部H2の底面は、必ずしも有機層15Rにより覆われていなくてもよい。凹部H2の底面のうちの選択的な領域のみが有機層15Rにより覆われていてもよい。
この凹部H2の表面(側面)の接触角は、第2絶縁膜14Bの上面の接触角よりも小さいことが望ましい。また、図7Aおよび図7Bに模式的に示したように、第1絶縁膜14Aの第1開口H1aの側面の傾斜角θよりも、凹部H2の側面の傾斜角θ2は小さい(θ>θ2)ことが望ましい。これは、ピニングが軽減されて、インクがより均一に濡れ拡がり易くなるためである。後述のハーフトーン露光により、第1開口H1aと凹部H2とを形成した場合には、傾斜角θ,θ2は上記のような関係となる。
尚、図6Bには、駆動基板11aにおいてTFT12を図示している。このTFT12は、例えば図1および図3に示した駆動トランジスタDsTrに相当するものである。TFT12は、例えば、第1基板11上の選択的な領域に、半導体層124(図3に示した半導体層S1の一部)を有し、この半導体層124上に、ゲート絶縁膜121を介してゲート電極125g2を有している。ゲート電極125g2上には層間絶縁膜122が形成されている。この層間絶縁膜122上には、ソース・ドレイン電極125sd3,125sd4が設けられている。ソース・ドレイン電極125sd3,125sd4は、層間絶縁膜122に設けられたコンタクトホールc21,c22を通じて、半導体層124と電気的に接続されている。ソース・ドレイン電極125sd4は、コンタクト部C1を通じて、第1電極13と電気的に接続されている。
上記のような画素分離膜14は、例えば次のようにして形成することができる。即ち、まず、駆動基板11a上に、複数の第1電極13を形成した後、これらの複数の第1電極13を覆うように、上述した感光性樹脂等からなる第1絶縁膜14Aを、例えば塗布等により所定の厚みで成膜する。この後、例えばフォトマスクを用いて露光し、現像、洗浄および乾燥等の各工程を経ることにより、第1開口H1a、第2開口H1b、残留部14AIおよび凹部H2を形成する。このとき、例えばハーフトーンマスク等を用いて、第1開口H1aおよび第2開口H1bの形成領域と、残留部14AIおよび凹部H2の形成領域との露光量が互いに異なるように、第1絶縁膜14Aを露光する。これにより、1枚のフォトマスクで、開口(第1開口H1aおよび第2開口H1b)と厚みの小さな領域(残留部14AIおよび凹部H2)とを形成することが可能である。あるいは、第1開口H1aおよび第2開口H1bを形成するためのフォトマスクと、残留部14AIおよび凹部H2を形成するためのフォトマスクとをそれぞれ用意して、別々の工程で露光を行っても構わない。
尚、第1絶縁膜14Aとして、例えばシリコン酸化膜等の無機材料を用いる場合には、第1絶縁膜14Aを例えばCVD法等により成膜した後に、例えばフォトリソグラフィ法を用いてエッチングを行うことで、第1開口H1a、第2開口H1b、残留部14AIおよび凹部H2を形成するができる。
この後、第1絶縁膜14A上の所定の領域に、第2絶縁膜14Bをパターン形成する。これにより、上記構成を有する画素分離膜14を形成することができる。この画素分離膜14の形成後、各開口部H1に、有機層15R,15G,15Bが、例えばインクジェット印刷等のウェットプロセスにより成膜される。
保護膜17は、絶縁性材料または導電性材料のいずれにより構成されていてもよい。絶縁性材料としては、無機アモルファス性の絶縁性材料、例えばアモルファスシリコン(α−Si),アモルファス炭化シリコン(α−SiC),アモルファス窒化シリコン(α−Si1-xx),アモルファスカーボン(α−C)等が挙げられる。このような無機アモルファス性の絶縁性材料は、グレインを構成しないため透水性が低く、良好な保護膜となる。この他にも、窒化シリコン,酸化シリコンおよび酸窒化シリコン等が用いられてもよい。
封止層18は、保護膜17の上にほぼ一様に形成されており、例えば接着層として機能するものである。封止層18の材料としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、フッ素系樹脂、シリコン系樹脂、フッ素系ポリマー、シリコン系ポリマー、エポキシ系樹脂およびノルボルネン系樹脂等が挙げられる。
これらの保護膜17および封止層18の材料の屈折率は、リフレクタ構造の光取り出し効率に影響を与えることから、封止性能と光取り出し効率とを考慮して、適切な材料が選択されるとよい。
CF/BM層19は、カラーフィルタ層(赤色フィルタ19R,緑色フィルタ19Gおよび青色フィルタ19B)と、ブラックマトリクス層BMとを含む層である。赤色フィルタ19R、緑色フィルタ19Gおよび青色フィルタ19Bは、それぞれ開口部H1に対向する領域に配置されている。これら赤色フィルタ19R、緑色フィルタ19Gおよび青色フィルタ19Bは、顔料を混入した樹脂によりそれぞれ構成されている。ブラックマトリクス層BMは、例えば黒色の着色剤を混入した樹脂膜、または薄膜の干渉を利用した薄膜フィルタにより構成されている。薄膜フィルタは、例えば、金属,金属窒化物あるいは金属酸化物よりなる薄膜を1層以上積層し、薄膜の干渉を利用して光を減衰させるものである。薄膜フィルタとしては、具体的には、Crと酸化クロム(III)(Cr23)とを交互に積層したものが挙げられる。このようなCF/BM層19は、必要に応じて配置されればよい(配置されていなくともよい)。但し、CF/BM層19を設けることで、有機EL素子10で発生した光を取り出すと共に、その他の迷光や外光を吸収することができ、コントラストを改善することができる。
第2基板20は、封止層18と共に有機EL素子10を封止するものである。この第2基板20は、有機EL素子10で発生した光に対して透明な材料、例えばガラスまたはプラスチック等により構成されている。
[作用、効果]
上記のような表示装置1では、走査線駆動部3から各画素Pの書き込みトランジスタWsTrへ選択パルスが供給されることで、画素Pが選択される。この選択された画素Pに、信号線駆動部4から映像信号に応じた信号電圧が供給され、保持容量Csに保持される。この保持容量Csに保持された信号に応じて駆動トランジスタDsTrがオンオフ制御され、有機EL素子10に駆動電流が注入される。これにより、有機EL素子10(有機電界発光層)では、正孔と電子とが再結合して発光を生じる。この光は、例えば第2電極16、保護膜17、封止層18、CF/BM層19および第2基板20を透過して取り出される。このようにして各画素P(画素pr,pg,pb)から射出された色光の加法混色により、カラーの映像表示がなされる。
ここで、本実施の形態では、第1絶縁膜14Aが第2開口H1bと第2開口H1b内の残留部14AIとを有している。このような表示装置1では、残留部14AIにより第1絶縁膜14Aの膜剥がれを防ぐとともに、第2開口H1bにより光取り出し効率を向上させることができる。以下、これについて比較例を用いて詳細に説明する。
図8に比較例に係る第1絶縁膜104の断面構成を示す。第1絶縁膜104には、第2開口(例えば図2の第2開口H1b)が設けられておらず、第1開口H1aのみを有している。このような第1絶縁膜104に、フォトリソグラフィ技術を用いて第1開口H1aを形成する場合には、現像後の焼成工程によって、第1開口H1aの形状が変形する虞がある(図8(A)から図8(B)に変化する)。これは、焼成工程において軟化したフォトレジストが、表面張力の影響を受けて変形し、これがそのまま硬化するためである。表面張力による変形は、面積が広いほど大きい。即ち、基板111上に複数の第1開口H1aを形成する場合には、最も外側の第1開口H1aの形状が影響を受けやすい。第1開口H1aの形状が乱れると、第1開口H1aのリフレクタとしての性能が低下し、光取り出し効率が下がる。また、第1開口H1aごとに輝度のばらつきも生じる。
これに対して、表示装置1では、第1絶縁膜14Aに画素Pの発光領域となる第1開口H1aに加えて、隣り合う画素Pの間に第2開口H1bを設けているので、表面張力の影響が第2開口H1bによって緩和される。したがって、第1開口H1aの形状を精確に制御して光取り出し効率を向上させることができる。また、第1開口H1aごとの輝度のばらつきも抑えることができる。
一方、図9に示した第1絶縁膜(第1絶縁膜104A)のように、第2開口H1b内に残留部(例えば図5Aの残留部14AI)が形成されていない場合には、第1絶縁膜104Aの形成領域が非常に小さくなるので、下地(例えば第1基板11)側との密着面積が減り、第1絶縁膜104Aが現像時に剥がれてしまいやすくなる。第2開口H1bに代えて、第1絶縁膜104Aの厚みを小さくした領域を形成することも考え得るが、この場合、上記の第1開口H1aの形状制御を十分に行うことができなくなる。
そこで、本実施の形態では、第2開口H1b内に残留部14AIを設けるようにしたので、第1絶縁膜14Aの形成領域が増え、下地との密着性を高めることができる。したがって、第1開口H1aに加えて、第2開口H1bを有する第1絶縁膜14Aであっても、下地から剥がれにくくなり、光取り出し効率を向上させることができる。
以上のように、本実施の形態の表示装置1では、第2開口H1bにより、第1開口H1aの形状を精確に制御し易くなるので、発光領域に高い光取り出し効率のリフレクタ構造を形成することが可能となる。また、第1絶縁膜14Aが下地から剥がれにくくなるので、第1開口H1aおよび第2開口H1bを有する第1絶縁膜14Aを形成することができる。よって、光取り出し効率を向上させることができる。
また、表示装置1では、第1絶縁膜14Aに複数の画素Pのうちの同一の発光色の画素の開口部H1同士を繋ぐ凹部H2が設けられている。具体的には、隣り合う画素prの開口部H1同士の間の領域と、隣り合う画素pgの開口部H1同士の間の領域と、隣り合う画素pbの開口部H1同士の間の領域とに、凹部H2が形成されている。これにより、例えばウェットプロセスにより有機層15R,15G,15Bを形成する際に、一部の画素行X1(画素pr1,pg1,pb1)に、インクが十分に滴下されない部分や未滴下部が生じた場合にも、画素pr1にはその隣の画素prから、画素pg1にはその隣の画素pgから、画素pb1にはその隣の画素pbから、それぞれ凹部H2を通じてインクが濡れ拡がる。これにより、画素pr,pg,pbの各画素列では、有機層15R,15G,15Bがそれぞれ均等な膜厚で形成される。よって、成膜プロセスに起因する有機層15R,15G,15Bの膜厚のむらを低減することができる。
この凹部H2による効果は、第1開口H1aがリフレクタ(反射構造)を有する場合に、特に有効である。第1開口H1aがリフレクタを有する場合には、第1絶縁膜14Aの材料、厚み、第1開口H1aの形状等が諸条件を満たすように設計されるが、この場合、リフレクタを形成しない場合に比べ、第1絶縁膜14Aは大きな厚みで設計される。このため、同一発光色の画素間でのインクの濡れ拡がりが悪く、上記のように印刷過程において生じた、インクが十分に滴下されない部分や未滴下部がそのまま残存し、輝度むらを生じることがある。表示装置1のように、凹部H2を用いて開口部H1同士を繋ぐことで、第1絶縁膜14Aの膜厚が比較的大きく設計される場合にも、インクの濡れ拡がりを妨げることなく成膜を行うことができる。即ち、有機EL素子10の光取り出し効率を高めつつ、ウェットプロセスに起因する輝度むらを低減することができ、より高画質なディスプレイを実現可能となる。
<適用例>
上記実施の形態において説明した表示装置1は、様々なタイプの電子機器に用いることができる。図10に、表示装置1が適用される電子機器(電子機器1A)の機能ブロック構成を示す。電子機器1Aとしては、例えばテレビジョン装置、パーソナルコンピュータ(PC)、スマートフォン、タブレット型PC、携帯電話機、デジタルスチルカメラおよびデジタルビデオカメラ等が挙げられる。
電子機器1Aは、例えば上述の表示装置1と、インターフェース部30とを有している。インターフェース部30は、外部から各種の信号および電源等が入力される入力部である。このインターフェース部30は、また、例えばタッチパネル、キーボードまたは操作ボタン等のユーザインターフェースを含んでいてもよい。
以上、実施の形態および適用例を挙げて説明したが、本開示は上記実施の形態等に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、上記実施の形態等では、画素分離膜14が、第1絶縁膜14Aと第2絶縁膜14Bとの積層構造により構成され、これらの第1絶縁膜14Aと第2絶縁膜14Bとがそれぞれ別の工程で成膜される場合を例示したが、画素分離膜14の構成はこれに限定されるものではない。例えば、画素列間(発光色の異なる画素間)の領域が十分に分離可能あれば、第2絶縁膜14Bは必ずしも設けられなくともよい。
また、第1絶縁膜14Aと第2絶縁膜14Bとは、一体的に(単層膜として)形成されていてもよい。換言すると、第1絶縁膜14Aが、第2絶縁膜14Bに対応する部分を有していてもよい(第1絶縁膜14Aが第2絶縁膜14Bを兼ねた構造を有していてもよい)。
更に、上記実施の形態等では、第1絶縁膜14Aに形成される第1開口H1aの形状を矩形状としたが、第1開口H1aの形状は、矩形状に限定されるものではない。矩形状の他にも、円形状、楕円形状および多角形状など、様々な形状をとり得る。複数の第1開口H1aが設けられる場合に、各第1開口H1aの形状は同一であってもよいし、異なっていてもよい。第1開口H1a、第2開口H1b、凹部H2および残留部14AIの形状、位置、個数等のレイアウトは、特に限定されるものではなく、上述の効果を発揮し得る範囲で適宜変更可能である。
加えて、上記実施の形態等において説明した各層の材料および厚み、または成膜方法および成膜条件等は限定されるものではなく、他の材料および厚みとしてもよく、または他の成膜方法および成膜条件としてもよい。
また、上記実施の形態等では、有機EL素子10の構成を具体的に挙げて説明したが、全ての層を備える必要はなく、また、他の層を更に備えていてもよい。
更に、上記実施の形態等では、アクティブマトリクス型の表示装置の場合について説明したが、本開示はパッシブマトリクス型の表示装置への適用も可能である。更にまた、アクティブマトリクス駆動のための画素回路PXLCの構成は、上記実施の形態で説明したものに限られず、必要に応じて容量素子やトランジスタを追加してもよい。その場合、画素回路PXLCの変更に応じて、上述した走査線駆動部3、信号線駆動部4および電源線駆動部5の他に、必要な駆動回路を追加してもよい。
尚、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。
また、本開示は以下のような構成をとることも可能である。
(1)
第1方向および第2方向にマトリクス状に配置された複数の画素と、
隣り合う前記画素の間に設けられ、前記画素の発光領域に第1開口を有する第1絶縁膜とを備え、
前記第1絶縁膜は、前記第2方向に隣り合う前記画素の間に、前記第1方向に延在する第2開口を有するとともに、前記第2開口内に残留部を有する
表示装置。
(2)
前記第2開口は、ストライプ状に設けられている
前記(1)記載の表示装置。
(3)
前記残留部の厚みは、前記残留部以外の前記第1絶縁膜の厚み以下である
前記(1)または(2)記載の表示装置。
(4)
前記第2方向に隣り合う前記第1開口の間の領域から逸れた位置に前記残留部が設けられている
前記(1)乃至(3)のうちいずれか1つ記載の表示装置。
(5)
更に、前記第1絶縁膜上に設けられ、前記第1方向に延在する第2絶縁膜を有する
前記(1)乃至(3)のうちいずれか1つ記載の表示装置。
(6)
前記第2絶縁膜は撥液性を有する
前記(5)記載の表示装置。
(7)
前記第2絶縁膜の前記第2方向の幅は、前記残留部の前記第2方向の幅よりも大きい
前記(5)または(6)記載の表示装置。
(8)
前記第2絶縁膜の前記第2方向の幅は、前記第2開口の前記第2方向の幅よりも大きい
前記(5)乃至(7)のうちいずれか1つ記載の表示装置。
(9)
前記画素は、それぞれが複数色のうちのいずれかの色の光を発する有機電界発光素子を含み、
前記画素は発光色毎に前記第1方向に沿って配置されている
前記(1)乃至(8)のうちいずれか1つ記載の表示装置。
(10)
前記第1絶縁膜には、前記第1方向に隣り合う前記画素の前記第1開口を繋ぐ凹部が設けられている
前記(1)乃至(9)のうちいずれか1つ記載の表示装置。
(11)
前記第1開口にリフレクタを有する
前記(1)乃至(10)のうちいずれか1つ記載の表示装置。
(12)
前記残留部では、前記第1絶縁膜が前記第2開口の両側から前記第2方向に連続して設けられている
前記(1)乃至(11)のうちいずれか1つ記載の表示装置。
(13)
第1方向および第2方向にマトリクス状に配置された複数の画素と、
隣り合う前記画素の間に設けられ、前記画素の発光領域に第1開口を有する第1絶縁膜とを備え、
前記第1絶縁膜は、前記第2方向に隣り合う前記画素の間に、前記第1方向に延在する第2開口を有するとともに、前記第2開口内に残留部を有する
表示装置を備えた電子機器。
本出願は、日本国特許庁において2016年6月15日に出願された日本特許出願番号第2016−118837号を基礎として優先権を主張するものであり、この出願の全ての内容を参照によって本出願に援用する。
当業者であれば、設計上の要件や他の要因に応じて、種々の修正、コンビネーション、サブコンビネーション、および変更を想到し得るが、それらは添付の請求の範囲やその均等物の範囲に含まれるものであることが理解される。

Claims (13)

  1. 第1方向および第2方向にマトリクス状に配置された複数の画素と、
    隣り合う前記画素の間に設けられ、前記画素の発光領域に第1開口を有する第1絶縁膜とを備え、
    前記第1絶縁膜は、前記第2方向に隣り合う前記画素の間に、前記第1方向に延在する第2開口を有するとともに、前記第2開口内に残留部を有する
    表示装置。
  2. 前記第2開口は、ストライプ状に設けられている
    請求項1記載の表示装置。
  3. 前記残留部の厚みは、前記残留部以外の前記第1絶縁膜の厚み以下である
    請求項1記載の表示装置。
  4. 前記第2方向に隣り合う前記第1開口の間の領域から逸れた位置に前記残留部が設けられている
    請求項1記載の表示装置。
  5. 更に、前記第1絶縁膜上に設けられ、前記第1方向に延在する第2絶縁膜を有する
    請求項1記載の表示装置。
  6. 前記第2絶縁膜は撥液性を有する
    請求項5記載の表示装置。
  7. 前記第2絶縁膜の前記第2方向の幅は、前記残留部の前記第2方向の幅よりも大きい
    請求項5記載の表示装置。
  8. 前記第2絶縁膜の前記第2方向の幅は、前記第2開口の前記第2方向の幅よりも大きい
    請求項5記載の表示装置。
  9. 前記画素は、それぞれが複数色のうちのいずれかの色の光を発する有機電界発光素子を含み、
    前記画素は発光色毎に前記第1方向に沿って配置されている
    請求項1記載の表示装置。
  10. 前記第1絶縁膜には、前記第1方向に隣り合う前記画素の前記第1開口を繋ぐ凹部が設けられている
    請求項1記載の表示装置。
  11. 前記第1開口にリフレクタを有する
    請求項1記載の表示装置。
  12. 前記残留部では、前記第1絶縁膜が前記第2開口の両側から前記第2方向に連続して設けられている
    請求項1記載の表示装置。
  13. 第1方向および第2方向にマトリクス状に配置された複数の画素と、
    隣り合う前記画素の間に設けられ、前記画素の発光領域に第1開口を有する第1絶縁膜とを備え、
    前記第1絶縁膜は、前記第2方向に隣り合う前記画素の間に、前記第1方向に延在する第2開口を有するとともに、前記第2開口内に残留部を有する
    表示装置を備えた電子機器。
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