JP6082907B2 - 表示装置及び表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
(A)第1電極、発光層を備えた有機層から構成された発光部、及び、第2電極が積層されて成る発光素子が、複数、形成された第1基板、並びに、
(B)第2電極の上方に配された第2基板、
を具備し、
第1基板は、複数の発光素子を備える側に、
側面の断面形状が直線又は曲線である切頭回転体の形状を有し、頂面で各発光素子に接しており、各発光素子からの光を伝播して外部に出射する第1部材、及び、
第1部材と第1部材との間を充填する第2部材、
から成る光反射層をさらに備え、
第1部材の屈折率をn1、第2部材の屈折率をn2としたとき、
1.1≦n1≦1.8
好ましくは、
1.2≦n1≦1.6
を満足し、且つ、
n1−n2≧0.2
好ましくは、
n1−n2≧0.3
を満足し、
第1部材と対向する第2部材の表面において、第1部材を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される。即ち、第1部材と対向する第2部材の表面は光反射部(リフレクタ)に相当する。
(A)第1電極、発光層を備えた有機層から構成された発光部、及び、第2電極が積層されて成る発光素子が、複数、形成された第1基板、並びに、
(B)第2電極の上方に配された第2基板、
を具備し、
第1基板は、
各発光素子からの光を伝播して外部に出射する第1部材、及び、
第1部材と第1部材との間を充填する第2部材、
から成る光反射層を備え、
第1部材と対向する第2部材の表面において、第1部材を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される表示装置の製造方法であって、
第1基板上に層間絶縁層を形成し、層間絶縁層上に第1電極を形成した後、
第1電極及び層間絶縁層上に第2部材構成層を形成し、次いで、第1電極上の第2部材構成層を選択的に除去することで、開口部の斜面が傾斜した第2部材を得た後、
開口部の底部に露出した第1電極上から開口部の斜面に亙り、発光部及び第2電極を形成し、次いで、
第2電極上に第1部材を形成する、
各工程を備えている。
(A)第1電極、発光層を備えた有機層から構成された発光部、及び、第2電極が積層されて成る発光素子が、複数、形成された第1基板、並びに、
(B)第2電極の上方に配された第2基板、
を具備し、
第1基板は、
各発光素子からの光を伝播して外部に出射する第1部材、及び、
第1部材と第1部材との間を充填する第2部材、
から成る光反射層を備え、
第1部材と対向する第2部材の表面において、第1部材を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される表示装置の製造方法であって、
第1部材と相補的な形状を有するスタンパを準備し、
支持基板上に樹脂材料を塗布した後、
スタンパを用いて樹脂材料を賦形した後、スタンパを取り除き、凸部を有する樹脂材料層を得た後、
樹脂材料層の凸部の頂部を平坦化し、次いで、樹脂材料層の凸部と凸部との間を接着剤層で埋め込み、その後、
支持基板から樹脂材料層を剥がし、接着剤層を第1基板に接着し、以て、接着剤層から成る第2部材、及び、樹脂材料層から成る第1部材から構成された光反射層を得る、
各工程を備えている。
1.本開示の表示装置、並びに、本開示の第1の態様及び第2の態様に係る表示装置の製造方法、全般に関する説明
2.実施例1(本開示の表示装置、並びに、本開示の第1の態様及び第2の態様に係る表示装置の製造方法)
3.実施例2(実施例1の変形)
4.実施例3(実施例1の別の変形)
5.実施例4(実施例1の更に別の変形)
6.実施例5(実施例1の更に別の変形)、その他
本開示の表示装置、並びに、本開示の第1の態様及び第2の態様に係る表示装置の製造方法によって得られる表示装置を、以下、総称して、『本開示の表示装置等』と呼ぶ場合がある。
光反射層の上に保護膜及び封止材料層が更に備えられており、
保護膜の屈折率をn3、封止材料層の屈折率をn4としたとき、
|n3−n4|≦0.3
好ましくは、
|n3−n4|≦0.2
を満足する構成とすることが好ましく、これによって、保護膜と封止材料層との界面で光が反射又は散乱されることを効果的に防止することができる。尚、第1部材と保護膜を同時に形成し、第1部材と保護膜とが一体となった構造としてもよい。また、このような好ましい構成を含む上面発光型の表示装置において、発光素子の中心部からの光の光量を1としたとき、発光素子から第1部材及び第2基板を介して外部に出射される光の光量は、1.5乃至2.0である構成とすることができる。
0.5≦R1/R2≦0.8
0.5≦H/R1 ≦2.0
を満足する形態とすることができる。尚、切頭円錐形の斜面の断面形状(切頭円錐形の軸線を含む仮想平面で切頭円錐形を切断したときの断面形状。以下においても同様)は直線状であってもよいし、複数の線分の組合せであってもよいし、曲線から構成されていてもよい。発光部の直径をR0としたとき、
0.5≦R0/R1≦1.0
を満足することが好ましい。
0.5≦R1/R2≦0.8
0.5≦H/R1 ≦2.0
を満足する形態とすることができる。1つの画素(あるいは副画素)を構成する発光素子の数として、3乃至1000を例示することができる。尚、切頭円錐形の斜面の断面形状は直線状であってもよいし、複数の線分の組合せであってもよいし、曲線から構成されていてもよい。発光部の直径をR0としたとき、
0.5≦R0/R1≦1.0
を満足することが好ましい。
0.7{−Φ2/(2π)+m2}≦2×OL2/λ≦1.2{−Φ2/(2π)+m2} (1−2)
L1<L2 (1−3)
m1<m2 (1−4)
ここで、
λ :発光層で発生した光のスペクトルの最大ピーク波長(あるいは又、発光層で発生し た光の内の所望の波長)
Φ1:第1界面で生じる反射光の位相シフト量(単位:ラジアン)
但し、−2π<Φ1≦0
Φ2:第2界面で生じる反射光の位相シフト量(単位:ラジアン)
但し、−2π<Φ2≦0
である。
OL1=L1×n0
OL2=L2×n0
の関係がある。ここで、平均屈折率n0とは、有機層を構成する各層の屈折率と厚さの積を合計し、有機層の厚さで除したものである。
0.7{−Φ2/(2π)+m2}≦2×OL2/λ≦1.2{−Φ2/(2π)+m2} (2−2)
L1>L2 (2−3)
m1>m2 (2−4)
ここで、
λ :発光層で発生した光のスペクトルの最大ピーク波長(あるいは又、発光層で発生し た光の内の所望の波長)
Φ1:第1界面で生じる反射光の位相シフト量(単位:ラジアン)
但し、−2π<Φ1≦0
Φ2:第2界面で生じる反射光の位相シフト量(単位:ラジアン)
但し、−2π<Φ2≦0
である。
(A)第1電極21、例えば有機発光材料から成る発光層を備えた有機層23から構成された発光部24、及び、第2電極22が積層されて成る発光素子10が、複数、形成された第1基板11、並びに、
(B)第2電極22の上方に配された第2基板34、
を具備している。
(a)第1電極21、
(b)開口部25を有し、開口部25の底部に第1電極21が露出した第2部材52、
(c)開口部25の底部に露出した第1電極21の部分の上に少なくとも設けられ、例えば有機発光材料から成る発光層を備えた有機層23、及び、
(d)有機層23上に形成された第2電極22、
を具備している。
各発光素子10からの光を伝播して外部に出射する第1部材51、及び、
第1部材51と第1部材51との間を充填する第2部材52、
から成る光反射層50を備えている。
0.5≦R1/R2≦0.8
0.5≦H/R1 ≦2.0
を満足している。尚、切頭円錐形の斜面は直線状である。即ち、第1部材51の軸線を含む仮想平面で第1部材51を切断したときの第1部材51の断面形状は台形である。
第2電極22の光透過率:57%
1.1≦n1≦1.8
を満足し、且つ、
n1−n2≧0.20
を満足している。また、第1部材51と対向する第2部材52の表面において(即ち、第1部材51と第2部材52との界面において)、第1部材51を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される。より具体的には、第1部材51と第2部材52との間に有機層23及び第2電極22が形成されているので、第2部材52と有機層23との界面において、第1部材51を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される。ここで、第1部材51と対向する第2部材52の表面は光反射部(リフレクタ)53に相当する。このような構造を、便宜上、『アノードリフレクタ構造』と呼ぶ。
|n3−n4|≦0.3
を満足している。保護膜31は、有機層23への水分の到達防止を目的として、プラズマCVD法に基づき形成されている。尚、第1部材51と保護膜31を同時に形成し、第1部材51と保護膜31とが一体となった構造としてもよい。また、図1においては、第1部材51の頂面と、第2部材52上の第2電極22の頂面とを同一レベルで示しているが、第1部材51は第2部材52上の第2電極22を覆っていてもよい。即ち、第1部材51は全面を覆っていてもよい。
先ず、第1基板11上に、副画素毎にTFTを、周知の方法で作製する。TFTは、第1基板11上に形成されたゲート電極12、第1基板11及びゲート電極12上に形成されたゲート絶縁膜13、ゲート絶縁膜13上に形成された半導体層に設けられたソース/ドレイン領域14、並びに、ソース/ドレイン領域14の間であって、ゲート電極12の上方に位置する半導体層の部分が相当するチャネル形成領域15から構成されている。尚、図示した例にあっては、TFTをボトムゲート型としたが、トップゲート型であってもよい。TFTのゲート電極12は、走査回路(図示せず)に接続されている。次に、第1基板11上に、TFTを覆うように、SiO2から成る下層層間絶縁層16AをCVD法にて成膜した後、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術に基づき、下層層間絶縁層16Aに開口16’を形成する(図9の(A)参照)。
次いで、下層層間絶縁層16A上に、真空蒸着法とエッチング法との組合せに基づき、アルミニウムから成る配線17を形成する。尚、配線17は、開口16’内に設けられたコンタクトプラグ17Aを介して、TFTのソース/ドレイン領域14に電気的に接続されている。配線17は、信号供給回路(図示せず)に接続されている。そして、全面にSiO2から成る上層層間絶縁層16BをCVD法にて成膜する。次いで、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術に基づき、上層層間絶縁層16B上に開口18’を形成する(図9の(B)参照)。
その後、上層層間絶縁層16B上に、真空蒸着法とエッチング法との組合せに基づき、Al−Nd合金から成る第1電極21を形成する(図9の(C)参照)。尚、第1電極21は、開口18’内に設けられたコンタクトプラグ18を介して、配線17に電気的に接続されている。
次いで、第2部材52を形成する。具体的には、全面に、SiO2から成る第2部材構成層52AをCVD法にて形成し、第2部材構成層52A上にレジスト材料層52Bを形成する。次いで、レジスト材料層52Bを露光、現像することで、レジスト材料層52Bに開口部52Cを形成する(図10の(A)参照)。その後、RIE法に基づき、レジスト材料層52B及び第2部材構成層52Aをエッチングすることで、テーパー形状を第2部材構成層52Aに付与し(図10の(B)参照)、最終的に、開口部25の側壁が傾斜した第2部材52を得ることができる(図11参照)。尚、エッチング条件の制御によってテーパー形状を第2部材構成層52Aに付与することができる。但し、第2部材52の形成方法は、このような形成方法に限定されず、例えば、全面に、SiO2あるいはポリイミド樹脂から成る第2部材構成層を成膜した後、フォトリソグラフィ技術及びウエットエッチング技術に基づき図11に示す第2部材52を形成してもよい。
次に、開口部25の底部に露出した第1電極21の部分の上を含む第2部材52上に(即ち、全面に)、有機層23を形成する。尚、有機層23は、例えば、有機材料から成る正孔輸送層、電子輸送層を兼ねた発光層が順次積層されている。有機層23は、抵抗加熱に基づき、有機材料を真空蒸着することで得ることができる。
その後、表示領域の全面に第2電極22を形成する。第2電極22は、N×M個の有機EL素子を構成する有機層23の全面を覆っている。第2電極22は、第2部材52及び有機層23によって第1電極21とは絶縁されている。第2電極22は、有機層23に対して影響を及ぼすことのない程度に成膜粒子のエネルギーが小さい成膜方法である真空蒸着法に基づき形成されている。また、有機層23を大気に暴露することなく、有機層23の形成と同一の真空蒸着装置内において連続して第2電極22の形成を行うことで、大気中の水分や酸素による有機層23の劣化を防止することができる。具体的には、Mg−Ag(体積比10:1)の共蒸着膜を厚さ10nm成膜することで、第2電極22を得ることができる。
次いで、全面に(具体的には第2電極22上に)、窒化シリコン(Si1-xNx)から成る第1部材51を形成し、平坦化処理を施すことで、第1部材51及び第2部材52から成る光反射層50を得ることができる。こうして、アノードリフレクタ構造を得ることができる。
その後、光反射層50上に、窒化シリコン(Si1-yNy)から成る絶縁性の保護膜31を真空蒸着法に基づき形成する。尚、第1部材51と保護膜31を同時に形成し、第1部材51と保護膜31とが一体となった構造としてもよい。このような構造にあっては、開口部25の影響によって保護膜31の頂面に凹部が形成される場合があるが、上述したとおり|n3−n4|の値を規定することで、この凹部において発光素子10から出射された光が散乱されることを効果的に防止することができる。
次いで、カラーフィルター33が形成された第2基板34と、保護膜31が形成された第1基板11とを、封止材料層32を用いて接着する。最後に、外部回路との接続を行うことで、有機EL表示装置を完成させることができる。
先ず、第1部材51と相補的な形状を有するスタンパを準備する。具体的には、第1部材51と相補的な形状を有するスタンパ(雌型)60を、電鋳、エッチング、その他の切削加工等の公知技術を利用して形成する。
一方、支持基板上に樹脂材料を塗布する。具体的には、例えば、光透過性を有するガラス基板61上に、紫外線硬化型の樹脂材料62を塗布(形成)する(図12の(A)参照)。
そして、スタンパ60を用いて樹脂材料62を賦形した後、スタンパ60を取り除き、凸部64を有する樹脂材料層63を得る。具体的には、この樹脂材料62にスタンパ60を押し付けた状態で、支持基板(ガラス基板61の)側からエネルギー線(具体的には、紫外線)を照射することで樹脂材料62を硬化させ、樹脂材料層63を得た後(図12の(B)参照)、スタンパ60を取り除く。こうして、凸部64を有する樹脂材料層63を得ることができる(図12の(C)参照)。樹脂材料層63の凸部64が、第1部材51に相当する。
その後、樹脂材料層63の凸部64の頂部を平坦化し、次いで、樹脂材料層63の凸部64と凸部64との間を接着剤層65で埋め込む(図12の(D)参照)。
次いで、支持基板(ガラス基板61)から樹脂材料層63を剥がし、発光素子等が形成された第1基板11に樹脂材料層63を載置し、即ち、接着剤層65が発光素子10からの光の出射を妨げないように接着剤層65を第2電極22の上に配置し、接着剤層65によって接着する。尚、第1基板11は、[工程−100]〜[工程−120]に引き続き、第1電極21及び上層層間絶縁層16B上において、有機層23の形成及び第2電極22の形成を[工程−140]〜[工程−150]と同様にして実行することで得ることができる。こうして、接着剤層65から成る第2部材52、及び、樹脂材料層63から成る第1部材51から構成された光反射層50を得ることができる。即ち、アノードリフレクタ構造を得ることができる。
その後、光反射層50上に絶縁性の保護膜31をプラズマCVD法に基づき形成する。そして、カラーフィルター33が形成された第2基板34と、保護膜31が形成された第1基板11とを、封止材料層32を用いて接着する。最後に、外部回路との接続を行うことで、有機EL表示装置を完成させることができる。尚、紫外線硬化型の樹脂材料62の代わりに、熱硬化型の樹脂材料や、熱可塑性樹脂を用いることもできる。
(A)第1電極21、発光層を備えた有機層23から構成された発光部24、及び、第2電極22が積層されて成る発光素子10が、複数、形成された第1基板11、並びに、
(B)第2電極22の上方に配された第2基板34、
を具備し、
第1基板11は、
発光素子10上に形成され、発光素子10からの光を伝播して外部に出射する第1部材51、及び、
第1部材51と第1部材51との間を充填する第2部材52、
から成る光反射層50を備えた表示装置であり、
第1部材51と対向する第2部材52の表面において(即ち、第1部材51と第2部材52との界面において)、第1部材51を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される。
0.5≦R1/R2≦0.8
0.5≦H/R1 ≦2.0
を満足している。切頭円錐形の斜面は直線状である。また、副画素の配列は、図2の(B)に示すように、ストライプ配列である。尚、図2の(B)では、図面の簡素化のため、1つの副画素が3つの発光素子10の集合体から構成されているように図示している。
正面輝度 光取出し効率 視野角A 視野角B
実施例3 2.2倍 1.9倍 87% 79%
比較例3 1.6倍 1.4倍 31% 20%
比較例3’ 1.0倍 1.0倍
arcsin(1.0/1.81)= 33°
となる。従って、図5の(B)の0°乃至33°の範囲の光を空気中に出射することができる。これは、第1部材中に出射される光のうちの31%に当たる。比較例3では、第2基板のリフレクタと第1基板の発光素子とが接着層を介して接着されているので、接着層を介してリフレクタに光が入射する。接着剤(アクリル系の場合、1.5程度)中に入射できる光の臨界角は、
arcsin(1.5/1.81)= 56°
となる。従って、最大では、図5の(B)の0°乃至56°の範囲の光を利用することができる。これは、第1部材中に出射される光のうちの75%に当たる。一方、第2電極22と第1部材51とが、直接、接している実施例3にあっては、最大で図5の(B)の0°乃至90°の範囲の光を利用することができる。これは、第1部材中に出射する光の100%である。従って、実施例3にあっては、リフレクタを設けない場合に比べて、最大、100/33=3倍の光を利用することができる。また、比較例3の構成と比べても、最大限利用できる光同士で比べて、100/75=1.3倍の光を利用することができる。尚、発光素子10から第1部材51への光取出し効率を計算し、第1部材51内部における発光強度を掛け合わせて第1部材51中での光強度を得た後、全波長に亙って積分することで、特定の視野角でのエネルギーを求めることができる。図5の(B)から、高い視野角の値にあっても発光素子10から出射された光は高いエネルギーを有することが判る。云い換えれば、実施例3の表示装置にあっては、高い視野角であっても明るい画像を観察することができると云える。
ケース 層状の第1部材51Aの屈折率n1 保護膜31の屈折率n3 光量比
(11) 1.9 1.7 1.32
(12) 1.8 1.6 1.33
(13) 1.7 1.5 1.37
(14) 1.6 1.4 1.27
(15) 1.8 2.0 1.45
(16) 1.7 1.9 1.47
(17) 1.6 1.8 1.51
(18) 1.5 1.7 1.56
(19) 1.4 1.6 1.60
(20) 1.3 1.5 1.64
ケース 保護膜31の屈折率n3 封止材料層32の屈折率n4 光量比
(21) 1.8 1.80 1.72
(22) 1.8 1.70 1.63
(23) 1.8 1.60 1.56
(24) 1.8 1.55 1.51
(25) 1.8 1.50 1.46
(26) 1.8 1.45 1.42
(27) 1.8 1.40 1.37
ケース R2(μm) R2/R1 光量比
(31) 8.62 1.57 1.32
(32) 8.96 1.63 1.44
(33) 9.34 1.70 1.55
(34) 9.74 1.77 1.63
(35) 10.02 1.82 1.67
(36) 10.10 1.84 1.70
(37) 10.78 1.96 1.71
ケース R2(μm) R2/R1 光量比
(41) 5.31 1.52 1.20
(42) 5.54 1.58 1.24
(43) 5.76 1.64 1.28
(44) 5.95 1.70 1.32
(45) 6.16 1.76 1.36
(46) 6.39 1.83 1.41
(47) 6.63 1.89 1.44
(48) 6.90 1.97 1.47
R1 =2.3μm
R2 =3.8μm
R1/R2=0.61
H =1.5μm
R0 =2.0μm
であり、
0.5≦R1/R2≦0.8
0.5≦H/R1 ≦2.0
を満足している。尚、切頭円錐形の斜面は直線状である。即ち、第1部材51の軸線を含む仮想平面で第1部材51を切断したときの第1部材51の断面形状は台形である。
R1 =2.3μm
R2 =3.8μm
H =1.5μm
切頭円錐形の第1部材の斜面の角度:63度
とし、保護膜31の厚さを3.0μm、封止材料層32の厚さを10μm、カラーフィルター33の厚さを2.0μmとし、発光部24の直径(具体的には、第1電極21の直径)を2.0μmとしたときの実施例5Aの有機EL表示装置と、光反射層50の代わりにSiO2層を設けたことを除き、実施例5Aの有機EL表示装置と同じ構成、構造を有する比較例5Aの有機EL表示装置における輝度の放射角分布をシミュレーションした。その結果、放射角が±10度の範囲内にあっては、比較例5Aに比べて、実施例5Aの有機EL表示装置の輝度効率は2.2倍高かった。また、駆動電流密度は0.4倍となった。また、カラーフィルターが0.3μm水平方向にずれたと想定したときには、実施例5Aの有機EL表示装置の輝度効率は2.3倍高く、駆動電流密度は0.5倍となり、混色割合は1.3%となった。
n5−n3≧0.3
を満足することが好ましい。
[1]《表示装置》
(A)第1電極、発光層を備えた有機層から構成された発光部、及び、第2電極が積層されて成る発光素子が、複数、形成された第1基板、並びに、
(B)第2電極の上方に配された第2基板、
を具備し、
第1基板は、
各発光素子からの光を伝播して外部に出射する第1部材、及び、
第1部材と第1部材との間を充填する第2部材、
から成る光反射層を備え、
第1部材の屈折率をn1、第2部材の屈折率をn2としたとき、
1.1≦n1≦1.8
n1−n2≧0.20
を満足し、
第1部材と対向する第2部材の表面において(あるいは又、第1部材と第2部材との界面において)、第1部材を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される表示装置。
[2]発光素子と第1部材とは接している[1]に記載の表示装置。
[3]各発光素子からの光は第2基板を介して外部に出射される[1]又は[2]に記載の表示装置。
[4]光反射層の上に保護膜及び封止材料層が更に備えられており、
保護膜の屈折率をn3、封止材料層の屈折率をn4としたとき、
|n3−n4|≦0.3
を満足する[3]に記載の表示装置。
[5]発光素子の中心部からの光の光量を1としたとき、発光素子から第1部材及び第2基板を介して外部に出射される光の光量は、1.5乃至2.0である[3]又は[4]に記載の表示装置。
[6]第2基板は、カラーフィルターを備えている[3]乃至[5]のいずれか1項に記載の表示装置。
[7]1つの発光素子によって1つの画素が構成されている[1]乃至[6]のいずれか1項に記載の表示装置。
[8]第1部材は切頭円錐形の形状を有し、光入射面の直径をR1、光出射面の直径をR2、高さをHとしたとき、
0.5≦R1/R2≦0.8
0.5≦H/R1 ≦2.0
を満足する[7]に記載の表示装置。
[9]複数の発光素子が集合して1つの画素が構成されている[1]乃至[6]のいずれか1項に記載の表示装置。
[10]第1部材は切頭円錐形の形状を有し、光入射面の直径をR1、光出射面の直径をR2、高さをHとしたとき、
0.5≦R1/R2≦0.8
0.5≦H/R1 ≦2.0
を満足する[9]に記載の表示装置。
[11]第1部材は、Si1-xNx、ITO、IZO、TiO2、Nb2O5、臭素含有ポリマー、硫黄含有ポリマー、チタン含有ポリマー、又は、ジルコニウム含有ポリマーから成り、第2部材は、SiO2、MgF、LiF、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、フッ素系ポリマー、又は、シリコーン系ポリマーから成る[1]乃至[10]のいずれか1項に記載の表示装置。
[12]《表示装置の製造方法:第1の態様》
(A)第1電極、発光層を備えた有機層から構成された発光部、及び、第2電極が積層されて成る発光素子が、複数、形成された第1基板、並びに、
(B)第2電極の上方に配された第2基板、
を具備し、
第1基板は、
各発光素子からの光を伝播して外部に出射する第1部材、及び、
第1部材と第1部材との間を充填する第2部材、
から成る光反射層を備え、
第1部材と対向する第2部材の表面において(あるいは又、第1部材と第2部材との界面において)、第1部材を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される表示装置の製造方法であって、
第1基板上に層間絶縁層を形成し、層間絶縁層上に第1電極を形成した後、
第1電極及び層間絶縁層上に第2部材構成層を形成し、次いで、第1電極上の第2部材構成層を選択的に除去することで、開口部の斜面が傾斜した第2部材を得た後、
開口部の底部に露出した第1電極上から開口部の斜面に亙り、発光部及び第2電極を形成し、次いで、
第2電極上に第1部材を形成する、
各工程を備えている表示装置の製造方法。
[13]《表示装置の製造方法:第2の態様》
(A)第1電極、発光層を備えた有機層から構成された発光部、及び、第2電極が積層されて成る発光素子が、複数、形成された第1基板、並びに、
(B)第2電極の上方に配された第2基板、
を具備し、
第1基板は、
各発光素子からの光を伝播して外部に出射する第1部材、及び、
第1部材と第1部材との間を充填する第2部材、
から成る光反射層を備え、
第1部材と対向する第2部材の表面において(あるいは又、第1部材と第2部材との界面において)、第1部材を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される表示装置の製造方法であって、
第1部材と相補的な形状を有するスタンパを準備し、
支持基板上に樹脂材料を塗布した後、
スタンパを用いて樹脂材料を賦形した後、スタンパを取り除き、凸部を有する樹脂材料層を得た後、
樹脂材料層の凸部の頂部を平坦化し、次いで、樹脂材料層の凸部と凸部との間を接着剤層で埋め込み、その後、
支持基板から樹脂材料層を剥がし、接着剤層を第1基板に接着し、以て、接着剤層から成る第2部材、及び、樹脂材料層から成る第1部材から構成された光反射層を得る、
各工程を備えている表示装置の製造方法。
Claims (13)
- (A)第1電極、発光層を備えた有機層から構成された発光部、及び、第2電極が積層されて成る発光素子が、複数、形成された第1基板、並びに、
(B)第2電極の上方に配された第2基板、
を具備し、
第1基板は、複数の発光素子を備える側に、
側面の断面形状が直線又は曲線である切頭回転体の形状を有し、頂面で各発光素子に接しており、各発光素子からの光を伝播して外部に出射する第1部材、及び、
第1部材と第1部材との間を充填する第2部材、
から成る光反射層をさらに備え、
第1部材の屈折率をn1、第2部材の屈折率をn2としたとき、
1.1≦n1≦1.8
n1−n2≧0.20
を満足し、
第1部材と対向する第2部材の表面において、第1部材を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される表示装置。 - 前記切頭回転体の形状は、側面の断面形状が直線又は曲線である切頭円錐形である請求項1に記載の表示装置。
- 各発光素子からの光は第2基板を介して外部に出射される請求項1に記載の表示装置。
- 光反射層の上に保護膜及び封止材料層が更に備えられており、
保護膜の屈折率をn3、封止材料層の屈折率をn4としたとき、
|n3−n4|≦0.3
を満足する請求項2に記載の表示装置。 - 発光素子の中心部からの光の光量を1としたとき、発光素子から第1部材及び第2基板を介して外部に出射される光の光量は、1.5乃至2.0である請求項2に記載の表示装置。
- 第2基板は、カラーフィルターを備えている請求項2に記載の表示装置。
- 1つの発光素子によって1つの画素が構成されている請求項1に記載の表示装置。
- 第1部材は切頭円錐形の形状を有し、光入射面の直径をR1、光出射面の直径をR2、高さをHとしたとき、
0.5≦R1/R2≦0.8
0.5≦H/R1≦2.0
を満足する請求項6に記載の表示装置。 - 複数の発光素子が集合して1つの画素が構成されている請求項1に記載の表示装置。
- 第1部材は切頭円錐形の形状を有し、光入射面の直径をR1、光出射面の直径をR2、高さをHとしたとき、
0.5≦R1/R2≦0.8
0.5≦H/R1≦2.0
を満足する請求項8に記載の表示装置。 - 第1部材は、Si1-xNx、ITO、IZO、TiO2、Nb2O5、臭素含有ポリマー、硫黄含有ポリマー、チタン含有ポリマー、又は、ジルコニウム含有ポリマーから成り、第2部材は、SiO2、MgF、LiF、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、フッ素系ポリマー、又は、シリコーン系ポリマーから成る請求項1に記載の表示装置。
- (A)第1電極、発光層を備えた有機層から構成された発光部、及び、第2電極が積層されて成る発光素子が、複数、形成された第1基板、並びに、
(B)第2電極の上方に配された第2基板、
を具備し、
第1基板は、
各発光素子からの光を伝播して外部に出射する第1部材、及び、
第1部材と第1部材との間を充填する第2部材、
から成る光反射層を備え、
第1部材と対向する第2部材の表面において、第1部材を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される表示装置の製造方法であって、
第1基板上に層間絶縁層を形成し、層間絶縁層上に第1電極を形成した後、
第1電極及び層間絶縁層上に第2部材構成層を形成し、次いで、第1電極上の第2部材構成層を選択的に除去することで、開口部の斜面が傾斜した第2部材を得た後、
開口部の底部に露出した第1電極上から開口部の斜面に亙り、発光部及び第2電極を形成し、次いで、
第2電極上に第1部材を形成する、
各工程を備えている表示装置の製造方法。 - (A)第1電極、発光層を備えた有機層から構成された発光部、及び、第2電極が積層されて成る発光素子が、複数、形成された第1基板、並びに、
(B)第2電極の上方に配された第2基板、
を具備し、
第1基板は、
各発光素子からの光を伝播して外部に出射する第1部材、及び、
第1部材と第1部材との間を充填する第2部材、
から成る光反射層を備え、
第1部材と対向する第2部材の表面において、第1部材を伝播した光が、少なくとも一部分、反射される表示装置の製造方法であって、
第1部材と相補的な形状を有するスタンパを準備し、
支持基板上に樹脂材料を塗布した後、
スタンパを用いて樹脂材料を賦形した後、スタンパを取り除き、凸部を有する樹脂材料層を得た後、
樹脂材料層の凸部の頂部を平坦化し、次いで、樹脂材料層の凸部と凸部との間を接着剤層で埋め込み、その後、
支持基板から樹脂材料層を剥がし、接着剤層を第1基板に接着し、以て、接着剤層から成る第2部材、及び、樹脂材料層から成る第1部材から構成された光反射層を得る、
各工程を備えている表示装置の製造方法。
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