JPWO2017188320A1 - 磁気ディスク用基板 - Google Patents
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Abstract
Description
高い平滑性を有するめっきを得るために、例えば、ピット抑制の目的で、めっき前のアルミニウム合金基板に金属皮膜を形成することが提案されている。例えば、特許文献2には、磁気記録媒体用のアルミニウム合金基板であって、基板表面に物理蒸着により形成されたAl合金薄膜(金属皮膜)を有する、磁気記録媒体用Al合金基板が開示されている。このAl合金薄膜の膜厚は、50〜1000nmであることが開示されている。
さらに、特許文献3には、アルミニウム合金製基板の表面に、物理蒸着によりZnおよびNiのうちの少なくとも1種を含む金属薄膜を形成する工程と、金属薄膜を形成したアルミニウム合金製基板にNi−Pを無電解めっきする工程とを行う、磁気記録媒体用アルミニウム合金基板の製造方法が開示されている。この金属皮膜の膜厚は、10〜200nmであることが開示されている。
また、特許文献2に開示された手段は、従来の磁気記録媒体用アルミニウム合金基板よりも、Ni−Pめっき後の表面欠陥を低減することができる磁気記録媒体用アルミニウム合金基板およびこのアルミニウム合金基板を用いた磁気記録媒体を提供することをその課題とする。しかし、ディスク・フラッタの問題は何ら記載されていない。
さらに、特許文献3に開示された手段は、Ni−Pめっき皮膜の欠陥発生を高水準で抑制できる磁気記録媒体用アルミニウム合金基板を提供することをその課題とする。しかし、ディスク・フラッタの問題は何ら記載されていない。
金属組織における最長径4μm以上30μm以下の第二相粒子の周囲長の合計が10mm/mm2以上である。
0.10質量%以上24.00質量%以下のSi、0.05質量%以上10.00質量%以下のFe、0.10質量%以上15.00質量%以下のMn、及び0.10質量%以上20.00質量%以下のNiのうち1種又は2種以上を含有し、且つ、Si+Fe+Mn+Ni≧0.20質量%の関係を有し、残部がアルミニウムと不可避不純物からなっていてもよい。
(1)0.005質量%以上10.000質量%以下のCu、
0.100質量%以上6.000質量%以下のMg、
0.010質量%以上5.000質量%以下のCr、
0.010質量%以上5.000質量%以下のZr、
からなる群から選択された1もしくは2以上の元素、
(2)0.0001質量%以上0.1000質量%以下のBe、
(3)0.001質量%以上0.100質量%以下のNa、
0.001質量%以上0.100質量%以下のSr、
0.001質量%以上0.100質量%以下のP、
からなる群から選択された1もしくは2以上の元素、
(4)個々の含有量が0.1質量%以上5.0質量%以下のPb、Sn、In、Cd、Bi及びGe
からなる群から選択された1もしくは2以上の元素、
(5)0.005質量%以上10.000質量%以下のZn、並びに/又は
(6)含有量の合計が0.005質量%以上0.500質量%以下のTi、B及びVからなる群
から選択された1もしくは2以上の元素、
前記(1)〜(6)からなる群から選択された1もしくは2以上の元素をさらに含有していてもよい。
表面の結晶粒径の平均値が70μm以下であってもよい。
両面に純Al皮膜又はAl−Mg系合金皮膜を有していてもよい。
両面に10nm以上3000nm以下の金属皮膜を有していてもよい。
表面に、無電解Ni−Pめっき処理層とその上の磁性体層を有していてもよい。
アルミニウム合金を用いて鋳塊を鋳造する鋳造工程と、鋳塊を熱間圧延する熱間圧延工程と、熱間圧延板を冷間圧延する冷間圧延工程と、冷間圧延板を円環状に打ち抜くディスクブランク打抜き工程と、打ち抜いたディスクブランクを加圧焼鈍する加圧焼鈍工程と、を含む。
本発明の上記及び他の特徴及び利点は、適宜添付の図面を参照して、下記の記載からより明らかになるであろう。
ここで、上記第二相粒子とは、析出物や晶出物を意味する。具体的には、上記第二相粒子とは、Si粒子、Al−Fe系化合物(Al3Fe、Al6Fe、Al6(Fe、Mn)、Al−Fe−Si、Al−Fe−Mn−Si、Al−Fe−Ni、Al−Cu−Fe等)、Al−Mn系化合物(Al6Mn、Al−Mn−Si等)、Al−Ni系化合物(Al3Ni等)、Al−Cu系化合物(Al2Cu等)、Mg−Si系化合物(Mg2Si等)、Al−Cr系化合物(Al7Cr等)、Al−Zr系化合物(Al3Zr等)、Pb粒子、Sn粒子、In粒子、Cd粒子、Bi粒子、Ge粒子等の粒子等をいう。
アルミニウム合金基板の金属組織中に存在する最長径4μm以上30μm以下の第二相粒子の周囲長の合計が10mm/mm2以上ある場合に、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性の向上、即ち、フラッタリング最大変位を小さくする効果がある。フラッタリング特性の向上は第二相粒子の表面積が増えることによりもたらされると考えられる。これは、気流により発生した振動がディスク中を伝播する過程でアルミニウム合金マトリックスと第二相粒子との界面で吸収されて減衰したためと考えられる。また、フラッタリング最大変位はアルミニウム合金マトリックス中に分散する第二相粒子の表面積に比例すると考えられ、第二相粒子の周囲長の2乗に比例すると考えられる。
また、フラッタリング特性は、ヘリウム中では、30nm以下であることが好ましい。これ以下であればより高密度な記録容量のハードディスクドライブ向けの使用に耐えうると判断した。
ただし、使用するハードディスクドライブによって異なるため、必要なフラッタリング特性に対して、適宜、第二相粒子の分布状態を決定すれば良い。これらは、以下に述べる添加元素の含有量、鋳造時の冷却速度を含めた鋳造方法、並びに、その後の熱処理と加工による熱履歴及び加工履歴、をそれぞれ適正に調整することによって得られる。
以下、本発明の実施形態に係るAl−Si系、Al−Fe系、Al−Mn系、Al−Ni系又はAl−Si−Fe−Mn−Ni系磁気ディスク用アルミニウム合金基板を構成するベア材及びクラッド材の心材のアルミニウム合金成分及びその含有量について説明する。
Siは、主として第二相粒子(Si粒子等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。このような材料に振動を加えると、第二相粒子とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。アルミニウム合金中のSiの含有量が0.10質量%以上であることによって、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のSiの含有量が24.00質量%以下であることによって、粗大なSi粒子が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削又は研削加工時にSi粒子が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なSi粒子が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、圧延工程における加工性低下を一層抑制することができる。そのため、アルミニウム合金中のSiの含有量は、0.10質量%以上24.00質量%以下の範囲が好ましく、0.10質量%以上18.00質量%未満の範囲がより好ましく、0.10質量%以上5.00質量%未満が更に好ましく、0.10質量%以上0.50質量%未満が更に一層好ましい。
Feは、主として第二相粒子(Al−Fe系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。このような材料に振動を加えると、第二相粒子とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。アルミニウム合金中のFeの含有量が0.05質量%以上であることによって、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のFeの含有量が10.00質量%以下であることによって、粗大なAl−Fe系化合物子が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削又は研削加工時にAl−Fe系化合物粒子が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なAl−Fe系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、圧延工程における加工性低下を一層抑制することができる。そのため、アルミニウム合金中のFeの含有量は、0.05質量%以上10.00質量%以下の範囲が好ましく、0.50質量%以上5.00質量%以下の範囲がより好ましい。
Mnは、主として第二相粒子(Al−Mn系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。このような材料に振動を加えると、第二相粒子とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。アルミニウム合金中のMnの含有量が0.10質量%以上であることによって、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のMnの含有量が15.00質量%以下であることによって、粗大なAl−Mn系化合物子が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削又は研削加工時にAl−Mn系化合物粒子が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なAl−Mn系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、圧延工程における加工性低下を一層抑制することができる。そのため、アルミニウム合金中のMnの含有量は、0.10質量%以上15.00質量%以下の範囲が好ましく、0.50質量%以上5.00質量%以下の範囲がより好ましい。
Niは、主として第二相粒子(Al−Ni系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。このような材料に振動を加えると、第二相粒子とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。アルミニウム合金中のNiの含有量が0.10質量%以上であることによって、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のNiの含有量が20.00質量%以下であることによって、粗大なAl−Ni系化合物子が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削又は研削加工時にAl−Ni系化合物粒子が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なAl−Ni系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、圧延工程における加工性低下を一層抑制することができる。そのため、アルミニウム合金中のNiの含有量は、0.10質量%以上20.00質量%以下の範囲が好ましく、0.50質量%以上10.00質量%以下の範囲がより好ましい。
本発明においては、Si、Fe、Mn及びNiのうち1種または2種以上をそれぞれ前述の所定の量で含有すると共に、Si+Fe+Mn+Ni≧0.20質量%の関係式を満足することで、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。先述の関係式を満足することで、マトリックス中に第二相粒子が多数存在し、第二相粒子とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。そのため、アルミニウム合金中のSi+Fe+Mn+Niは、0.20質量%以上の範囲が好ましく、0.40質量%以上20.00質量%以下の範囲がより好ましい。
Cuは、主として第二相粒子(Al−Cu系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。また、ジンケート処理時のAl溶解量を減少させる。またジンケート皮膜を均一に、薄く、緻密に付着させ、次工程のめっきの平滑性を向上させる効果がある。アルミニウム合金中のCuの含有量が0.005質量%以上であることによって、フラッタリング特性向上の効果と平滑生を向上させる効果とを一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のCuの含有量が10.000質量%以下であることによって、粗大なAl−Cu系化合物の多数生成を抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削や研削加工時にAl−Cu系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なAl−Cu系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、Cuの含有量が10.000質量%以下であることによって、圧延が容易となる。そのため、アルミニウム合金中のCuの含有量は、0.005質量%以上10.000質量%以下の範囲が好ましく、0.005質量%以上0.400質量%以下の範囲がより好ましい。
Mgは、主として第二相粒子(Mg−Si系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。アルミニウム合金中のMgの含有量が0.100質量%以上であることによって、フラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のMgの含有量が6.000質量%以下であることによって、粗大なMg−Si系化合物が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削や研削加工時にMg−Si系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なMg−Si系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、Mgの含有量が6.000質量%以下であることによって、圧延が容易となる。そのため、アルミニウム合金中のMgの含有量は、0.100質量%以上6.000質量%以下の範囲が好ましく、0.300質量%以上1.000質量%未満の範囲がより好ましい。
Crは、主として第二相粒子(Al−Cr系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。アルミニウム合金中のCrの含有量が0.010質量%以上であることによって、フラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のCrの含有量が5.000質量%以下であることによって、粗大なAl−Cr系化合物が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削や研削加工時にAl−Cr系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なAl−Cr系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、Crの含有量が5.000質量%以下であることによって、圧延が容易となる。そのため、アルミニウム合金中のCrの含有量は、0.010質量%以上5.000質量%以下の範囲が好ましく、0.100質量%以上2.000質量%以下がより好ましい。
Zrは、主として第二相粒子(Al−Zr系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。アルミニウム合金中のZrの含有量が0.010質量%以上であることによって、フラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のZrの含有量が5.000質量%以下であることによって、粗大なAl−Zr系化合物が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削や研削加工時にAl−Zr系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なAl−Zr系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、Zrの含有量が5.000質量%以下であることによって、圧延が容易となる。そのため、アルミニウム合金中のZrの含有量は、0.010質量%以上5.000質量%以下の範囲が好ましく、0.100質量%以上2.000質量%以下がより好ましい。
Beは、他の添加元素と第二相粒子を形成し、フラッタリング特性を向上させる効果がある。そのため、アルミニウム合金中に、好ましくは0.0001質量%以上0.1000質量%以下のBeを選択的に添加されてもよい。但し、Beが0.0001質量%未満では、上記の効果が得られない。一方、Beが0.1000質量%を超過して含有してもその効果は飽和し、それ以上の顕著な改善効果が得られない。また、Beの含有量は、0.0003質量%以上0.0250質量%以下の範囲がより好ましい。
Na、Sr及びPは、アルミニウム合金基板中の第二相粒子(主にSi粒子)を微細化し、めっき性を改善する効果が得られる。また、アルミニウム合金基板中の第二相粒子のサイズの不均一性を小さくし、アルミニウム合金基板中のフラッタリング特性のバラつきを低減させる効果がある。そのため、アルミニウム合金中に、好ましくは0.001質量%以上0.100質量%以下のNa、好ましくは0.001質量%以上0.100質量%以下のSr、及び好ましくは0.001質量%以上0.100質量%以下のPからなる群から選択された1又は2以上の元素を選択的に添加されてもよい。但し、Na、Sr及びPのそれぞれが0.001質量%未満では、上記の効果が得られない。一方、Na、Sr及びPのそれぞれが0.100質量%を超過して含有してもその効果は飽和し、それ以上の顕著な改善効果が得られない。また、Na、Sr及びPを添加する場合のNa、Sr及びPのそれぞれの含有量は、0.003質量%以上0.025質量%以下の範囲がより好ましい。
Pb、Sn、In、Cd、Bi及びGeは、第二相粒子(Pb、Sn、In、Cd、Bi若しくはGeの粒子、あるいはこれらの化合物)として、アルミマトリックス中に分布する。このような材料に振動を加えると、金属粒子・各化合物相とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。アルミニウム合金中のPb、Sn、In、Cd、Bi又はGeからなる群から選択された1または2以上の元素の個々の含有量が0.10質量%以上であることによって、フラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。Pb、Sn、In、Cd、Bi又はGeからなる群から選択された1または2以上の元素の個々の含有量が5.00質量%以下であることによって、圧延が容易となる。そのため、アルミニウム合金中のPb、Sn、In、Cd、Bi及びGeからなる群から選択された1または2以上の元素の個々の含有量は、0.10質量%以上5.00質量%以下の範囲が好ましく、0.50質量%以上2.00質量%未満がより好ましい。
Znは、ジンケート処理時のAl溶解量を減少させ、またジンケート皮膜を均一に、薄く、緻密に付着させ、次工程のめっきの密着性を向上させる効果がある。また、他の添加元素と第二相粒子を形成し、フラッタリング特性を向上させる効果がある。アルミニウム合金中のZnの含有量が0.005質量%以上であることによって、ジンケート処理時のAl溶解量を減少させる。アルミニウム合金中のZnの含有量が10.000質量%以下であることによって、ベア材の場合、ジンケート皮膜が均一となり、また、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の場合は、基板側面のジンケート皮膜が均一となりめっき密着性が低下することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることをより一層抑制することができる。また、Znの含有量10.000質量%以下であることによって、圧延が容易となる。そのため、アルミニウム合金中のZnの含有量は、0.005質量%以上10.000質量%以下の範囲が好ましく、0.100質量%以上2.000質量%以下の範囲がより好ましい。
Ti、B及びVは、鋳造時の凝固過程において、第2相粒子(TiB2などのホウ化物あるいはAl3TiやTi−V−B粒子等)を形成し、これらが結晶粒核となるため、結晶粒を微細化することが可能となる。これによりめっき性が改善する。また、結晶粒が微細化することで、第二相粒子のサイズの不均一性を小さくし、アルミニウム合金基板中のフラッタリング特性のバラつきを低減させる効果がある。但し、Ti、B及びVの含有量の合計が0.005質量%未満では、上記の効果が得られない。一方、Ti、B及びVの含有量の合計が0.500質量%を超過してもその効果は飽和し、それ以上の顕著な改善効果が得られない。そのため、Ti、B及びVを添加する場合のTi、B及びVの含有量の合計は、0.005質量%以上0.500質量%以下の範囲が好ましく、0.005質量%以上0.100質量%以下の範囲がより好ましい。
また、本発明の実施形態に係るアルミニウム合金の残部は、アルミニウムと不可避的不純物とからなる。ここで、不可避的不純物は、各々が0.1質量%未満で、かつ合計で0.2質量%未満であれば、本発明で得られるアルミニウム合金基板としての特性を損なうことはない。
次に、本発明の実施形態に係る磁気ディスク用アルミニウム合金基板を構成するクラッド材の皮材の合金成分及びその含有量について説明する。
アルミニウム合金基板の表面の結晶粒径の平均値が70μm以下である場合に、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性をより一層向上させる効果がある。これは、気流により発生した振動がディスク中を伝播する過程で、結晶粒界で吸収され減衰するためと考えられる。結晶粒界は、粒径が小さいほど多くなるため、アルミニウム合金基板の表面の結晶粒径の平均値が70μm以下であることが好ましい。また、アルミニウム合金基板の表面の結晶粒径の平均値は50μm以下がより好ましい。なお、表面は、L−LT面(圧延面)を表す。表面の結晶粒径の下限値には特に制限はないが、通常、1μm以上である。
以下、本発明の実施形態に係る磁気ディスク用基板の製造工程の各工程及びプロセス条件を詳細に説明する。
CC鋳造:一対のロール(又はベルトキャスタ、ブロックキャスタ)の間に鋳造ノズルを通して、溶湯を供給し、ロールからの抜熱で薄板を直接鋳造する。
例えば、熱間圧延して板厚15mm程度の皮材とする工程と、心材用鋳塊を面削し板厚270mm程度の心材とし、心材の両面に皮材を合わせて合わせ材とする。
本発明の実施形態では板厚は1.3mmから0.45mm程度の範囲が好ましい。
ディスクブランクの作製(ステップS306)〜磁性体の付着(ステップS312)では、まず、アルミニウム合金板を円環状に打ち抜き、ディスクブランクを作成する(ステップS306)。つぎに、ディスクブランクを大気中にて例えば100℃以上390℃以下で30分以上の加圧焼鈍を行い平坦化したブランクを作成する(ステップS307)。つぎに、ブランクの切削加工、研削加工を行いアルミニウム合金基板とする(ステップS308)。つぎに、アルミニウム合金基板表面に必要に応じて脱脂、エッチングを施しディスクブランクを物理蒸着により金属皮膜で被覆する(ステップS309)。つぎに、物理蒸着により金属皮膜で被覆されたディスクブランク表面に、脱脂、エッチング処理、2回のジンケート処理(Zn置換処理)を施す(ステップS310)。このように、2回のジンケート処理に付した表面に下地処理(Ni−Pめっき)し、アルミニウム合金被覆基板を作成する(ステップS311)。つぎに、下地処理した表面にスパッタリングで磁性体を付着させ磁気ディスクとする(ステップS312)。
まず、ベア材の磁気ディスク用アルミニウム合金基板の実施例について説明する。表1〜表3に示す成分組成の各合金素材を常法に従って溶解し、アルミニウム合金溶湯を溶製した(ステップS101)。表1〜表3中「−」は、測定限界値以下を示す。
鋳造(ステップS102)後の鋳塊のDAS(Dendrite Arm Spacing)を測定し、鋳造時の冷却速度(℃/s)を算出した。DASは光学顕微鏡により鋳塊厚さ方向の断面組織観察を行い、2次枝法により測定した。測定は、鋳塊の厚さ方向の中央部の断面を用いた。
研削加工(ステップS108)後のアルミニウム合金基板断面を光学顕微鏡により400倍で20視野(1視野の面積:0.05mm2)観察し、粒子解析ソフトA像くん(商品名、旭化成エンジニアリング(株)社製)を用いて第二相粒子の個数(個/mm2)と最長径及び周囲長の合計(mm/mm2)の測定を行った。測定は、基板の厚さ方向の中央部の断面を用いた。
めっき処理研磨(ステップS110)工程後のアルミニウム合金基板を用いディスク・フラッタの測定を行った。ディスク・フラッタの測定は、市販のハードディスクドライブに空気の存在下、アルミニウム合金基板を設置し、測定を行った。ドライブはSeagate製ST2000(商品名)を用いて、モーター駆動はテクノアライブ製SLD102(商品名)をモーターに直結することにより駆動させた。回転数は7200rpmとし、ディスクは常に複数枚設置してその上部の磁気ディスクの表面にレーザードップラー計である小野測器製LDV1800(商品名)にて表面の振動を観察した。観察した振動は小野測器製FFT解析装置DS3200(商品名)にてスペクトル分析した。観察はハードディスクドライブの蓋に孔を開けることにより、その穴からディスク表面を観察して行った。また市販のハードディスクに設置されていたスクイーズプレートは外して評価を行っている。
フラッタリング特性の評価は、フラッタリングが現れる300Hzから1500Hzの付近のブロードなピークの最大変位(ディスクフラッタリング(nm))にて行った。このブロードなピークはNRRO(Non−Repeatable Run Out)と呼ばれ、ヘッドの位置決め誤差へ大きな影響があることがわかっている。
フラッタリング特性の評価は、空気中にて、30nm以下の場合をA(優)、30nmより大きく40nm以下をB(良)、40nmより大きく50nm以下をC(可)、50nmより大きい場合はD(劣)とした。
研削加工(ステップS108)後のアルミニウム合金基板表面(L−LT面、圧延表面)について、バーカー氏液(Barker氏液、HBF4(テトラフルオロホウ酸)と水を体積比で1:30の比で混合した水溶液)を用いてバーカーエッチングを施し、偏光顕微鏡にて100倍で1枚撮影した。結晶粒径の測定は、交差した結晶粒の数を数える交線法を用いて、LT方向(圧延方向に垂直な方向)に500μmの直線を5本引きを実施してその平均値を求めた。
一方、比較例1〜13に於いては、金属組織における最長径4μm以上30μm以下の第二相粒子の周囲長の合計が10mm/mm2未満となっており、フラッタリング特性が劣った。
まず、クラッド材の磁気ディスク用アルミニウム合金基板の実施例について説明する。
表10〜表15に示す成分組成の各合金を常法に従って溶解し、心材用のアルミニウム合金溶湯を溶製した(ステップS201)。表10〜表15中「−」は、測定限界値以下を示す。
鋳造(ステップS202−1)後の鋳塊のDAS(Dendrite Arm Spacing)を測定し、鋳造時の冷却速度(℃/s)を算出した。DASは光学顕微鏡により鋳塊厚さ方向の断面組織観察を行い、2次枝法により測定した。測定は、鋳塊の厚さ方向の中央部の断面を用いた。
研削加工(ステップS208)後のアルミニウム合金基板断面(心材部)を光学顕微鏡により400倍で20視野(1視野の面積:0.05mm2)観察し、粒子解析ソフトA像くん(商品名、旭化成エンジニアリング(株)社製)を用いて第二相粒子の個数(個/mm2)と最長径及び周囲長の合計(mm/mm2)の測定を行った。測定は、基板の厚さ方向の中央部の断面を用いた。
めっき処理研磨(ステップS210)工程後のアルミニウム合金基板を用いディスク・フラッタの測定を行った。ディスク・フラッタの測定は、市販のハードディスクドライブに空気の存在下、アルミニウム合金基板を設置し、測定を行った。ドライブはSeagate製ST2000(商品名)を用いて、モーター駆動はテクノアライブ製SLD102(商品名)をモーターに直結することにより駆動させた。回転数は7200rpmとし、ディスクは常に複数枚設置してその上部の磁気ディスクの表面にレーザードップラー計である小野測器製LDV1800(商品名)にて表面の振動を観察した。観察した振動は小野測器製FFT解析装置DS3200(商品名)にてスペクトル分析した。観察はハードディスクドライブの蓋に孔を開けることにより、その穴からディスク表面を観察して行った。また市販のハードディスクに設置されていたスクイーズプレートは外して評価を行っている。
フラッタリング特性の評価は、フラッタリングが現れる300Hzから1500Hzの付近のブロードなピークの最大変位(ディスクフラッタリング(nm))にて行った。このブロードなピークはNRRO(Non−Repeatable Run Out)と呼ばれ、ヘッドの位置決め誤差へ大きな影響があることがわかっている。
フラッタリング特性の評価は、空気中にて、30nm以下の場合をA(優)、30nmを超え40nm以下をB(良)、40nmより大きく50nm以下をC(可)、50nmより大きい場合はD(劣)とした。
研削加工(ステップS208)後のアルミニウム合金基板表面(L−LT面)を更に研削し、心材の表面を露出させ、バーカー氏液を用いてバーカーエッチングを施し、偏光顕微鏡にて100倍で1枚撮影した。結晶粒径の測定は、交差した結晶粒の数を数える交線法を用いて、LT方向(圧延方向に垂直な方向)に500μmの直線を5本引きを実施してその平均値を求めた。
一方、比較例14〜26に於いては、金属組織における最長径4μm以上30μm以下の第二相粒子の周囲長の合計が10mm/mm2未満となっており、フラッタリング特性が劣った。
次に、両面に純Al皮膜又はAl−Mg系合金皮膜を有する磁気ディスク用アルミニウム合金基板の実施例について説明する。
表22〜表24に示す成分組成の各合金素材を常法に従って溶解し、アルミニウム合金溶湯を溶製した(ステップS301)。表22〜表24中「−」は、測定限界値以下を示す。
つぎに、表28〜表30に示すように、合金C1−1〜C1−57、CC1−1〜CC1−13の金属または合金を皮膜として前記ディスクブランクの全周に渡ってスパッタにて形成させた(ステップS309)
その後、AD−68F(商品名、上村工業製)により60℃で脱脂を行った後、AD−107F(商品名、上村工業製)により65℃でエッチングを行い、さらに30%HNO 3水溶液(室温)でデスマットした(ステップS309)。このようにして表面状態を整えた後に、ディスクブランクをAD−301F−3X(商品名、上村工業製)の20℃のジンケート処理液に0.5分間浸漬して表面にジンケート処理を行った(ステップS309)。なお、ジンケート処理は合計2回行い、ジンケート処理間に室温の30%HNO3水溶液に20秒間浸漬して表面を剥離処理した。
2回のジンケート処理した表面に無電解Ni−Pめっき処理液(ニムデンHDX(商品名、上村工業製))を用いてNi−Pを21μm厚さに無電解めっきした。得られためっき面を平均粒径800nmのアルミナスラリーおよび発泡ウレタン製研磨パッドを用いて粗研磨した。粗研磨の加工量を3.8μmとした。続いて、20〜200nmの粒径を有するコロイダルシリカおよび発泡ウレタン製研磨パッドを用いて仕上げポリッシュ加工を行った。なお、仕上げポリッシュ加工の加工量を0.2μmとした。さらに、アルカリ洗浄剤およびPVAスポンジを用いてめっき面の表面を十分に擦り洗い、18MΩ・cm以上の抵抗率を有する脱イオン水を用いて十分にすすいで、研磨砥粒、切粉、およびその他付着異物の除去を行った(ステップS310)。
鋳造(ステップS302)後の鋳塊のDAS(Dendrite Arm Spacing)を測定し、鋳造時の冷却速度(℃/s)を算出した。DASは光学顕微鏡により鋳塊厚さ方向の断面組織観察を行い、2次枝法により測定した。測定は、鋳塊の厚さ方向の中央部の断面を用いた。
研削加工(ステップS308)後のアルミニウム合金基板断面を光学顕微鏡により400倍で20視野(1視野の面積:0.05mm2)観察し、粒子解析ソフトA像くん(商品名、旭化成エンジニアリング(株)社製)を用いて第二相粒子の個数(個/mm2)と最長径及び周囲長の合計(mm/mm2)の測定を行った。測定は、基板の厚さ方向の中央部の断面を用いた。
めっき処理研磨(ステップS310)工程後のアルミニウム合金基板を用いディスク・フラッタの測定を行った。ディスク・フラッタの測定は、市販のハードディスクドライブに空気の存在下、アルミニウム合金基板を設置し、測定を行った。ドライブはSeagate製ST2000(商品名)を用いて、モーター駆動はテクノアライブ製SLD102(商品名)をモーターに直結することにより駆動させた。回転数は7200rpmとし、ディスクは常に複数枚設置してその上部の磁気ディスクの表面にレーザードップラー計である小野測器製LDV1800(商品名)にて表面の振動を観察した。観察した振動は小野測器製FFT解析装置DS3200(商品名)にてスペクトル分析した。観察はハードディスクドライブの蓋に孔を開けることにより、その穴からディスク表面を観察して行った。また市販のハードディスクに設置されていたスクイーズプレートは外して評価を行っている。
フラッタリング特性の評価は、フラッタリングが現れる300Hzから1500Hzの付近のブロードなピークの最大変位(ディスクフラッタリング(nm))にて行った。このブロードなピークはNRRO(Non−Repeatable Run Out)と呼ばれ、ヘッドの位置決め誤差へ大きな影響があることがわかっている。
フラッタリング特性の評価は、空気中にて、30nm以下の場合をA(優)、30nmより大きく40nm以下をB(良)、40nmより大きく50nm以下をC(可)、50nmより大きい場合はD(劣)とした。
研削加工(ステップS308)後のアルミニウム合金基板表面(L−LT面、圧延表面)について、バーカー氏液(Barker氏液、HBF4(テトラフルオロホウ酸)と水を体積比で1:30の比で混合した水溶液)を用いてバーカーエッチングを施し、偏光顕微鏡にて100倍で1枚撮影した。結晶粒径の測定は、交差した結晶粒の数を数える交線法を用いて、LT方向(圧延方向に垂直な方向)に500μmの直線を5本引きを実施してその平均値を求めた。
一方、表34〜36に示すように、実施例1−1〜1−57は良好なフラッタリング特性を得ることが出来た。
単層のベア材又は3層構造のクラッド材からなる磁気ディスク用アルミニウム合金基板であって、該ベア材のアルミニウム合金組成及び前記クラッド材の心材のアルミニウム合金組成が、0.10質量%以上0.50質量%未満のSi、0.05質量%以上10.00質量%以下のFe、0.10質量%以上15.00質量%以下のMn、及び0.10質量%以上20.00質量%以下のNiのうち1種又は2種以上を含有し、20.00質量%≧Si+Fe+Mn+Ni≧0.20質量%の関係を有し、且つ、(1)0.005質量%以上10.000質量%以下のCu、0.100質量%以上1.000質量%未満のMg、0.010質量%以上5.000質量%以下のCr、及び0.010質量%以上5.000質量%以下のZrからなる群から選択された1もしくは2以上の元素をさらに含有し、残部がアルミニウムと不可避不純物からなり、
金属組織における最長径4μm以上30μm以下の第二相粒子の周囲長の合計が10mm/mm2以上である。
(2)0.0001質量%以上0.1000質量%以下のBe、
(3)0.001質量%以上0.100質量%以下のNa、
0.001質量%以上0.100質量%以下のSr、
0.001質量%以上0.100質量%以下のP、
からなる群から選択された1もしくは2以上の元素、
(4)個々の含有量が0.1質量%以上5.0質量%以下のPb、Sn、In、Cd、Bi及びGe
からなる群から選択された1もしくは2以上の元素、
(5)0.005質量%以上10.000質量%以下のZn、並びに/又は
(6)含有量の合計が0.005質量%以上0.500質量%以下のTi、B及びVからなる群
から選択された1もしくは2以上の元素、
前記(2)〜(6)からなる群から選択された1もしくは2以上の元素をさらに含有していてもよい。
前記皮膜の膜厚が10nm以上3000nm以下の皮膜を有していてもよい。
表面に、無電解Ni−Pめっき処理層とその上の磁性体層を形成して磁気ディスクとすることができる。
鋳造時の冷却速度が0.1〜1000℃/sで、前記アルミニウム合金を用いて鋳塊を鋳造する鋳造工程と、前記鋳塊を、400〜470℃で0.5時間以上50時間未満で加熱処理を行った後に、更に470℃を超えて630℃未満で1時間以上30時間未満の2段階で加熱処理を行う均質化熱処理工程と、前記鋳塊を熱間圧延する熱間圧延工程と、熱間圧延板を冷間圧延する冷間圧延工程と、冷間圧延板を円環状に打ち抜くディスクブランク打抜き工程と、打ち抜いたディスクブランクを加圧焼鈍する加圧焼鈍工程と、を含む。
前記冷間圧延の前又は途中に圧延板を焼鈍する焼鈍処理工程を更に含んでもよい。
Siは、主として第二相粒子(Si粒子等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。このような材料に振動を加えると、第二相粒子とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。アルミニウム合金中のSiの含有量が0.10質量%以上であることによって、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のSiの含有量が0.50質量%未満であることによって、粗大なSi粒子が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削又は研削加工時にSi粒子が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なSi粒子が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、圧延工程における加工性低下を一層抑制することができる。そのため、アルミニウム合金中のSiの含有量は、0.10質量%以上0.50質量%未満の範囲である。
Feは、主として第二相粒子(Al−Fe系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。このような材料に振動を加えると、第二相粒子とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。アルミニウム合金中のFeの含有量が0.05質量%以上であることによって、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のFeの含有量が10.00質量%以下であることによって、粗大なAl−Fe系化合物子が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削又は研削加工時にAl−Fe系化合物粒子が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なAl−Fe系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、圧延工程における加工性低下を一層抑制することができる。そのため、アルミニウム合金中のFeの含有量は、0.05質量%以上10.00質量%以下の範囲であり、0.50質量%以上5.00質量%以下の範囲が好ましい。
Mnは、主として第二相粒子(Al−Mn系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。このような材料に振動を加えると、第二相粒子とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。アルミニウム合金中のMnの含有量が0.10質量%以上であることによって、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のMnの含有量が15.00質量%以下であることによって、粗大なAl−Mn系化合物子が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削又は研削加工時にAl−Mn系化合物粒子が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なAl−Mn系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、圧延工程における加工性低下を一層抑制することができる。そのため、アルミニウム合金中のMnの含有量は、0.10質量%以上15.00質量%以下の範囲であり、0.50質量%以上5.00質量%以下の範囲が好ましい。
Niは、主として第二相粒子(Al−Ni系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。このような材料に振動を加えると、第二相粒子とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。アルミニウム合金中のNiの含有量が0.10質量%以上であることによって、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のNiの含有量が20.00質量%以下であることによって、粗大なAl−Ni系化合物子が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削又は研削加工時にAl−Ni系化合物粒子が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なAl−Ni系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、圧延工程における加工性低下を一層抑制することができる。そのため、アルミニウム合金中のNiの含有量は、0.10質量%以上20.00質量%以下の範囲であり、0.50質量%以上10.00質量%以下の範囲が好ましい。
本発明においては、Si、Fe、Mn及びNiのうち1種または2種以上をそれぞれ前述の所定の量で含有すると共に、20.00質量%≧Si+Fe+Mn+Ni≧0.20質量%の関係式を満足することで、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。先述の関係式を満足することで、マトリックス中に第二相粒子が多数存在し、第二相粒子とマトリックスとの界面における粘性流動により振動エネルギーが速やかに吸収され、極めて高いフラッタリング特性が得られる。そのため、アルミニウム合金中のSi+Fe+Mn+Niは、20.00質量%以下、且つ、0.20質量%以上の範囲であり、0.40質量%以上が好ましい。
Mgは、主として第二相粒子(Mg−Si系化合物等)として存在し、アルミニウム合金基板のフラッタリング特性を向上させる効果がある。アルミニウム合金中のMgの含有量が0.100質量%以上であることによって、フラッタリング特性を向上させる効果を一層得ることができる。また、アルミニウム合金中のMgの含有量が1.000質量%未満であることによって、粗大なMg−Si系化合物が多数生成することを抑制する。ベア材の場合、エッチング時、ジンケート処理時、切削や研削加工時にMg−Si系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、めっき剥離が生じることを一層抑制することができる。クラッド材の心材の場合は、エッチング時、ジンケート処理時、切削時に基板側面の粗大なMg−Si系化合物が脱落して大きな窪みが発生することを抑制し、基板側面の心材と皮材の境界部にめっき剥離が生じることを一層抑制することができる。また、Mgの含有量が1.000質量%未満であることによって、圧延が容易となる。そのため、アルミニウム合金中のMgの含有量は、0.100質量%以上1.000質量%未満の範囲であり、0.300質量%以上1.000質量%未満の範囲が好ましい。
一方、比較例1〜13に於いては、金属組織における最長径4μm以上30μm以下の第二相粒子の周囲長の合計が10mm/mm2未満となっており、フラッタリング特性が劣った。
一方、比較例14〜26に於いては、金属組織における最長径4μm以上30μm以下の第二相粒子の周囲長の合計が10mm/mm2未満となっており、フラッタリング特性が劣った。
一方、表34〜36に示すように、実施例1−18〜1−21、1−23〜1−28、1−37〜1−43は良好なフラッタリング特性を得ることが出来た。
Claims (18)
- 金属組織における最長径4μm以上30μm以下の第二相粒子の周囲長の合計が10mm/mm2以上であることを特徴とする磁気ディスク用アルミニウム合金基板。
- 0.10質量%以上24.00質量%以下のSi、0.05質量%以上10.00質量%以下のFe、0.10質量%以上15.00質量%以下のMn、及び0.10質量%以上20.00質量%以下のNiのうち1種又は2種以上を含有し、且つ、Si+Fe+Mn+Ni≧0.20質量%の関係を有し、残部がアルミニウムと不可避不純物からなる請求項1に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板。
- 0.005質量%以上10.000質量%以下のCu、
0.100質量%以上6.000質量%以下のMg、
0.010質量%以上5.000質量%以下のCr、
0.010質量%以上5.000質量%以下のZr
からなる群から選択された1もしくは2以上の元素をさらに含有する、請求項2に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板。 - 0.0001質量%以上0.1000質量%以下のBe
をさらに含有する、請求項2又は3に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板。 - 0.001質量%以上0.100質量%以下のNa、
0.001質量%以上0.100質量%以下のSr、
0.001質量%以上0.100質量%以下のP
からなる群から選択された1もしくは2以上の元素をさらに含有する、請求項2〜4のいずれか1項に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板。 - 個々の含有量が0.1質量%以上5.0質量%以下のPb、Sn、In、Cd、Bi及びGeからなる群から選択された1もしくは2以上の元素をさらに含有する、請求項2〜5のいずれか1項に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板。
- 0.005質量%以上10.000質量%以下のZn
をさらに含有する、請求項2〜6のいずれか1項に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板。 - 含有量の合計が0.005質量%以上0.500質量%以下のTi、B及びVからなる群から選択された1もしくは2以上の元素
をさらに含有する、請求項2〜7のいずれか1項に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板。 - 表面の結晶粒径の平均値が70μm以下であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の磁気ディスク用アルミニウム基板であって、両面に純Al皮膜又はAl−Mg系合金皮膜を有する磁気ディスク用アルミニウム合金基板。
- 請求項10に記載の磁気ディスク用アルミニウム基板であって、両面に10nm以上3000nm以下の金属皮膜を有する磁気ディスク用アルミニウム合金基板。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板の表面に、無電解Ni−Pめっき処理層とその上の磁性体層を有することを特徴とする磁気ディスク。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法であって、アルミニウム合金を用いて鋳塊を鋳造する鋳造工程と、鋳塊を熱間圧延する熱間圧延工程と、熱間圧延板を冷間圧延する冷間圧延工程と、冷間圧延板を円環状に打ち抜くディスクブランク打抜き工程と、打ち抜いたディスクブランクを加圧焼鈍する加圧焼鈍工程と、を含む磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法。
- 前記鋳造工程と熱間圧延工程の間に、鋳塊を均質化熱処理する均質化熱処理工程を更に含む、請求項13に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法。
- 前記冷間圧延の前又は途中に圧延板を焼鈍する焼鈍処理工程を更に含む、請求項13又は14に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法。
- 請求項10に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法であって、アルミニウム合金を用いて心材用鋳塊を鋳造する心材鋳造工程と、純Al又はAl−Mg系合金を用いて皮材用鋳塊を鋳造する皮材鋳造工程と、皮材用鋳塊を均質化処理し、次いで熱間圧延して皮材とする皮材工程と、心材用鋳塊の両面に皮材をそれぞれ合わせて合わせ材とする合わせ材工程と、合わせ材を熱間圧延する熱間圧延工程と、熱間圧延板を冷間圧延する冷間圧延工程と、冷間圧延板を円環状に打ち抜くディスクブランク打抜き工程と、打ち抜いたブランクを加圧焼鈍する加圧焼鈍工程と、を含む磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法。
- 前記合わせ材工程と熱間圧延工程の間に、合わせ材を均質化熱処理する均質化熱処理工程を更に含む、請求項16に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法。
- 冷間圧延の前又は途中に圧延板を焼鈍する焼鈍処理工程を更に含む、請求項16又は17に記載の磁気ディスク用アルミニウム合金基板の製造方法。
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