JPWO2017183489A1 - 導電性基板、導電性基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
前記透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属配線と、を有し、
前記金属配線は、銅配線層と、ニッケルと銅とを含有する黒化配線層とが積層された構造を有し、
前記金属配線間から露出する前記透明基材は、可視光透過率が90%以上であり、かつb*が1.0以下である導電性基板を提供する。
Description
透明基材と、
前記透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属配線と、を有し、
前記金属配線は、銅配線層と、ニッケルと銅とを含有する黒化配線層とが積層された構造を有し、
前記金属配線間から露出する前記透明基材は、可視光透過率が90%以上であり、かつb*が1.0以下である導電性基板を提供する。
そして、金属配線は、銅配線層と、ニッケルと銅とを含有する黒化配線層とが積層された構造を有し、金属配線間から露出する透明基材は、可視光透過率が90%以上であり、かつb*が1.0以下とすることができる。
(積層体基板)
最初に本実施形態の積層体基板に含まれる各部材について以下に説明する。
(導電性基板)
以下に本実施形態の導電性基板について説明する。
(導電性基板の製造方法)
次に本実施形態の導電性基板の製造方法の一構成例について説明する。
透明基材と、透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属積層体とを有し、金属積層体が、銅層と、ニッケルと銅とを含有する黒化層とが積層された構造を有する積層体基板の、金属積層体をエッチングし、金属配線を形成するエッチング工程を有することができる。
そして、エッチング工程は、以下のステップをその順に有することができる。
積層体基板を水洗する水洗ステップ。
塩酸、及び水からなり、pHが2.5以下である第2エッチング液を用いてエッチングする第2エッチングステップ。
(エッチング工程)
本実施形態の導電性基板の製造方法のエッチング工程について、図6A〜図6Dを用いながら以下に説明する。
(積層体基板製造工程)
積層体基板製造工程は以下のステップを有することができる。なお、積層体基板製造工程は、既述の本実施形態の積層体基板の製造方法に相当する。
透明基材の少なくとも一方の面上に黒化層を形成する黒化層形成ステップ。
(貼り合せ工程)
また、既に説明したように、例えば図1A、図2Aに示した透明基材11の一方の面側に銅層、黒化層を有する積層体基板を2枚用意し、金属積層体を所望の金属配線となるようにパターニングした後、貼り合せてメッシュ状の配線を備えた導電性基板とすることもできる。
(評価方法)
実施例、比較例において作製した試料について以下の方法により評価を行った。
(1)金属配線間の開口部に露出した透明基材の可視光透過率
以下の各実施例、比較例では、図2Bの構造を有する積層体基板の金属積層体24A、24Bをパターニングして、図5Aに示す断面構造を有する導電性基板を作製した。このため、図5Aに示した導電性基板のうち、金属配線44Aの開口部51であって、透明基材11の下面が金属配線44Bにより覆われていない部分において、可視光透過率の測定を実施した。すなわち、透明基材11の上下の面が金属配線44A、44Bにより覆われていない部分において、可視光透過率の測定を実施した。
(2)金属配線間の開口部に露出した透明基材のb*値
分光測色計を用いJIS Z 8722に準拠して金属配線間の開口部に露出した透明基材のb*値を測定した。
(試料の作製条件)
実施例、比較例として、以下に説明する条件で導電性基板を作製し、上述の評価方法により評価を行った。
[実験例1]
以下に示す実験例1−1〜実験例1−6の導電性基板を作製し、評価を行った。
(実験例1−1)
以下の手順により、図5Aに示した断面構造を有する導電性基板を作製した。
(1)積層体基板製造工程
(1−1)第1黒化層形成ステップ
まず、厚さ100μmのポリエチレンテレフタレート樹脂(PET)製の透明基材の一方の面、及び一方の面の反対側に位置する他方の面の、両方の面上に第1黒化層を形成した。
(1−2)銅層形成ステップ(銅薄膜層形成ステップ)
続いて、第1黒化層を成膜した透明基材の各第1黒化層上に銅層として銅薄膜層を成膜した。
(1−3)第2黒化層形成ステップ
続いて、各銅層上に第2黒化層を成膜した。
(2)エッチング工程
(2−1)レジスト形成ステップ
そして、図2Bに示した積層体基板20Bにおいて、金属積層体24A、24Bの透明基材11と対向する一方の面とは反対側に位置する他方の面A、及び面B上に形成する金属配線のパターンに対応した形状を有するレジストを形成した。
(2−2)第1エッチングステップ
次いで、作製したレジストを用いて第1エッチングステップを実施した。
(2−3)水洗ステップ
第1エッチングステップ終了後、付着した第1エッチング液を除去するため、十分な量のイオン交換水を入れた水洗槽にパターニングした積層体基板を10秒間、流水により洗浄した。水洗後、付着した水分を水切り、乾燥し、第2エッチングステップに供した。
(2−4)第2エッチングステップ
水洗ステップ終了後、塩酸と、イオン交換水とからなり、pHが2.5である第2エッチング液を用いて金属配線間の残渣のエッチングを行った。
(2−5)レジスト除去ステップ
第2エッチングステップ終了後、4質量%の水酸化ナトリウム水溶液を用いてレジストを剥離、除去した。そして、レジストを除去した後、再び水洗ステップの場合と同様にして得られた導電性基板をイオン交換水により洗浄し、水切り、乾燥を行った。
(実験例1−2、実験例1−3)
第2エッチングステップにおいて用いた第2エッチング液のpHが、各実験例について表1に示した値となるように、塩酸の添加量を調整した点以外は、実験例1−1と同様にして導電性基板を作製し、評価を行った。結果を表1に示す。
(実験例1−4)
第2エッチングステップを実施せず、水洗ステップまでのみを実施した点以外は、実験例1−1と同様にして導電性基板を作製し、評価を行った。結果を表1に示す。
(実験例1−5、実験例1−6)
第2エッチングステップにおいて用いた第2エッチング液のpHが、各実験例について表1に示した値となるように、塩酸の添加量を調整した点以外は、実験例1−1と同様にして導電性基板を作製し、評価を行った。結果を表1に示す。
(実験例2−1〜実験例2−5)
第2エッチングステップにおいて用いた第2エッチング液として、硫酸と、イオン交換水とからなるエッチング液を用い、該エッチング液のpHが、各実験例について表2に示した値となるように、硫酸の添加量を調整した点以外は、実験例1−1と同様にして導電性基板を作製し、評価を行った。結果を表2に示す。
表1に示した結果によると、第2エッチングステップを実施していない実験例1−4では金属配線間の開口部における透明基材の可視光透過率は、第2エッチングステップを実施した他の実験例よりも低くなっていることが確認できた。
30、40 導電性基板
11、11A、11B 透明基材
12、12A、12B 銅層
13、13A、13B、131、132、131A、132A、131B、132B 黒化層
14、14A、14B、24、24A、24B 金属積層体
32、42A、42B、62 銅配線層
33、431A、432A、431B、432B、631、632 黒化配線層
34、44A、44B 金属配線
Claims (2)
- 透明基材と、
前記透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属配線と、を有し、
前記金属配線は、銅配線層と、ニッケルと銅とを含有する黒化配線層とが積層された構造を有し、
前記金属配線間から露出する前記透明基材は、可視光透過率が90%以上であり、かつb*が1.0以下である導電性基板。 - 透明基材と、前記透明基材の少なくとも一方の面上に形成された金属積層体とを有し、前記金属積層体が、銅層と、ニッケルと銅とを含有する黒化層とが積層された構造を有する積層体基板の、前記金属積層体をエッチングし、金属配線を形成するエッチング工程を有し、
前記エッチング工程が、
塩化鉄、過酸化水素水、硫酸、塩酸から選択される1種類以上を含む第1エッチング液を用いてエッチングする第1エッチングステップと、
前記積層体基板を水洗する水洗ステップと、
塩酸、及び水からなり、pHが2.5以下である第2エッチング液を用いてエッチングする第2エッチングステップと、をその順に有する導電性基板の製造方法。
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