JPWO2017179719A1 - 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

金属板の表面での長手方向の長さが表面距離Ｌであり、金属板の幅方向ＤＷの各位置での表面距離Ｌのなかの最小値が最小表面距離Ｌｍであり、最小表面距離Ｌｍに対する金属板の幅方向の各位置での表面距離Ｌと最小表面距離Ｌｍとの差分の比率が伸び差率であり、金属板の幅方向ＤＷでの中央部の伸び差率が、３×１０−５以下であり、金属板の幅方向ＤＷでの両方の端部の伸び差率が、１５×１０−５以下であり、金属板の幅方向ＤＷでの両方の端部のなかの少なくとも一方での伸び差率は、金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さい。

Description

本発明は、蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法に関する。

蒸着マスクは、第１面と第２面とを備える。第１面は、基板などの対象物と対向し、第２面は、第１面とは反対側に位置する。第１面から第２面までを貫通する孔は、第１面に位置する第１開口と、第２面に位置する第２開口とを備える。第２開口から孔に入る蒸着物質は、第１開口の位置や第１開口の形状に追従したパターンを対象物に形成する（例えば、特許文献１を参照）。

特開２０１５−０５５００７号公報

蒸着マスクが備える孔は、第１開口から第２開口に向けて拡大する断面積を有し、第２開口から孔に入る蒸着物質の量を高めて、第１開口まで到達する蒸着物質の量を確保する。一方、第２開口から孔に入る蒸着物質のなかには、第１開口まで到達せずに、孔の壁面に付着する蒸着物質も含まれる。孔の壁面に付着した蒸着物質は、他の蒸着物質が第１開口まで到達することを妨げてしまい、パターンが有する寸法の精度を低下させる。

近年では、孔の壁面に付着する蒸着物質の量を低下させ、それによって、パターンが有する寸法の精度を高めるために、蒸着マスクが有する厚みを薄くして、孔が有する壁面の面積そのものを縮小させることが検討されている。ここでは、蒸着マスクが有する厚みを薄くするために、蒸着マスクを製造するための金属板の厚みを薄くする技術が用いられる。他方、金属板に孔を形成するエッチングの工程では、金属板の有する厚みが薄いほど、エッチングされる金属の量が少ないため、エッチング液に金属板を接触させる時間の許容範囲が狭く、第１開口や第２開口が有する寸法の必要な精度が得られがたい。特に、金属板を製造するための技術では、ローラーによって母材を引き延ばす圧延や、電極に析出した金属板を電極から引き剥がす電解が用いられるので、金属板の形状として、金属板の位置に応じて伸び差率が異なる波形状が形成される。そして、波形状を有した金属板では、エッチング液に接触する時間が金属板の位置に応じて異なる現象が生じやすい。以上のように、孔の寸法に必要な精度が得られがたい薄い蒸着マスクでは、孔の壁面に付着する蒸着物質の量を低下させ、それによって、蒸着の繰り返しでのパターンの寸法の精度を高められるが、蒸着ごとのパターンの寸法に必要な精度を得られがたい課題が新たに招来している。

本発明の目的は、蒸着によって形成されるパターンの精度を向上可能とした蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法を提供することである。

上記課題を解決するための蒸着マスク用基材は、複数の孔がエッチングによって形成されることによって蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材である。前記金属板の幅方向での各位置における前記金属板の長手方向に沿った形状は相互に異なっており、各形状は前記金属板の長手方向に繰り返す凹凸を有する波形状であり、前記金属板の表面での長手方向の長さが表面距離であり、前記金属板の幅方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する前記金属板の幅方向の各位置での前記表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が伸び差率であり、前記金属板の幅方向での中央部の伸び差率が、３×１０^−５以下であり、前記金属板の幅方向での両方の端部の伸び差率が、１５×１０^−５以下であり、前記金属板の幅方向での両方の端部のなかの少なくとも一方での伸び差率は、前記金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さい。

上記蒸着マスク用基材は、前記金属板の幅方向での両方の端部のなかの一方での伸び差率のみが、前記金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さく、前記両方の端部での伸び差率の最大値の差は、３×１０^−５以上１１×１０^−５以下でもよい。

上記蒸着マスク用基材は、前記金属板の幅方向での両方の端部での伸び差率が、前記金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さく、前記両方の端部での伸び差率、および、前記中央部での伸び差率が、１×１０^−５以下でもよい。

上記課題を解決するための蒸着マスク用基材の製造方法は、複数の孔がエッチングによって形成されることによって蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材の製造方法である。そして、母材を圧延して前記金属板を得ることを含む。前記金属板の幅方向での各位置における前記金属板の長手方向に沿った形状は相互に異なっており、各形状は前記金属板の長手方向に繰り返す凹凸を有する波形状であり、前記金属板の表面での長手方向の長さが表面距離であり、前記金属板の幅方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する前記金属板の幅方向の各位置での前記表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が伸び差率であり、前記金属板を得ることでは、前記金属板の幅方向での中央部の伸び差率が３×１０^−５以下であり、前記金属板の幅方向での両方の端部の伸び差率が１５×１０^−５以下であり、前記金属板の幅方向での両方の端部のなかの少なくとも一方での伸び差率が、前記金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さくなるように、前記母材を圧延する。

上記課題を解決するための蒸着マスクの製造方法は、帯状を有した金属板にレジスト層を形成することと、前記レジスト層をマスクとしたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む。前記金属板の幅方向での各位置における前記金属板の長手方向に沿った形状は相互に異なっており、各形状は前記金属板の長手方向に繰り返す凹凸を有する波形状であり、前記金属板の表面での長手方向の長さが表面距離であり、前記金属板の幅方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、前記最小表面距離に対する前記金属板の幅方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が伸び差率であり、前記金属板を得ることでは、前記金属板の幅方向での中央部の伸び差率が３×１０^−５以下であり、前記金属板の幅方向での両方の端部の伸び差率が１５×１０^−５以下であり、前記金属板の幅方向での両方の端部のなかの少なくとも一方での伸び差率が、前記金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さい。

上記蒸着マスクの製造方法では、複数の前記マスク部に対して、前記各マスク部が別々に備える１つの側面であって前記孔の開口が形成された前記側面と、単一のフレーム部とを、前記各マスク部が有する前記複数の孔を前記単一のフレーム部が囲うように、相互に接合することをさらに含んでもよい。

上記各構成によれば、蒸着によって形成されるパターンの精度を向上できる。

蒸着マスク用基材の斜視構造を示す斜視図。 蒸着マスク用基材の平面構造を測定用基材と共に示す平面図。 表面距離を説明するためのグラフを測定用基材の断面構造と共に示す図。 伸び差率を説明するためのグラフ。 マスク装置の平面構造を示す平面図。 マスク部の断面構造の一例を部分的に示す断面図。 マスク部の断面構造の他の例を部分的に示す断面図。 マスク部の縁とフレーム部との接合構造の一例を部分的に示す断面図。 マスク部の縁とフレーム部との接合構造の他の例を部分的に示す断面図。 （ａ）蒸着マスクの平面構造の一例を示す平面図、（ｂ）蒸着マスクの断面構造の一例を示す断面図。 （ａ）蒸着マスクの平面構造の他の例を示す平面図、（ｂ）蒸着マスクの断面構造の他の例を示す断面図。 蒸着マスク用基材を製造するための圧延工程を示す工程図。 蒸着マスク用基材を製造するための加熱工程を示す工程図。 マスク部を製造するためのエッチング工程を示す工程図。 マスク部を製造するためのエッチング工程を示す工程図。 マスク部を製造するためのエッチング工程を示す工程図。 マスク部を製造するためのエッチング工程を示す工程図。 マスク部を製造するためのエッチング工程を示す工程図。 マスク部を製造するためのエッチング工程を示す工程図。 （ａ）〜（ｈ）蒸着マスクの製造方法の一例を説明する工程図。 （ａ）〜（ｅ）蒸着マスクの製造方法の一例を説明する工程図。 （ａ）〜（ｆ）蒸着マスクの製造方法の一例を説明する工程図。 各実施例での測定用基材の平面構造を寸法と共に示す平面図。 実施例１の伸び差率を示すグラフ。 実施例２の伸び差率を示すグラフ。 実施例３の伸び差率を示すグラフ。 比較例１の伸び差率を示すグラフ。 比較例２の伸び差率を示すグラフ。 比較例３の伸び差率を示すグラフ。

図１から図２９を参照して、蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法の一実施形態を説明する。

［蒸着マスク用基材の構成］
図１が示すように、蒸着マスク用基材１は、帯状を有した金属板である。蒸着マスク用基材１は、短手方向である幅方向ＤＷの各位置で、長手方向ＤＬに繰り返される凹凸を有した波形状を有する。蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの各位置は、相互に異なる波形状を有する。なお、図１では、蒸着マスク用基材１が有する形状を説明するために、実際よりも波形状を誇張して示す。蒸着マスク用基材１の有する厚みは、１５μｍ以上５０μｍ以下である。蒸着マスク用基材１の有する厚みの均一性は、例えば、厚みの平均値に対する厚みの最大値と厚みの最小値との差分の比率が、５%以下である。

蒸着マスク用基材１を構成する材料は、ニッケル、もしくは、鉄ニッケル合金であり、例えば、３０質量％以上のニッケルを含む鉄ニッケル合金、なかでも、３６質量％ニッケルと６４質量％鉄との合金を主成分とする、すなわちインバーであることが好ましい。３６質量％ニッケルと６４質量％鉄との合金を主成分とする場合、残余分はクロム、マンガン、炭素、コバルトなどの添加物を含む。蒸着マスク用基材１を構成する材料が、インバーである場合、蒸着マスク用基材１の熱膨張係数は、例えば、１．２×１０^−６／℃程度である。このような熱膨張係数を有する蒸着マスク用基材１であれば、蒸着マスク用基材１から製造されるマスクでの熱膨張による大きさの変化と、ガラス基板での熱膨張による大きさの変化とが同じ程度であるため、蒸着対象の一例として、ガラス基板を用いることが好適である。

［伸び差率］
図２が示すように、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの各位置において、蒸着マスク用基材１の表面での長手方向ＤＬの長さは、表面距離Ｌである。表面距離Ｌの計測では、まず、蒸着マスク用基材１が幅方向ＤＷの全体（全幅）において切断されるスリット工程が実施されて、蒸着マスク用基材１の長手方向ＤＬにおける一部分として、測定用基材２Ｍが切り出される。測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷでの寸法Ｗは、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの寸法と等しい。次いで、測定用基材２Ｍの表面２Ｓについて、長手方向ＤＬの各位置での高さが計測される。長手方向ＤＬの各位置での高さが計測される範囲である計測範囲ＺＬは、測定用基材２Ｍの長手方向ＤＬでの両方の端部である非計測範囲ＺＥを除く範囲である。各非計測範囲ＺＥが有する長手方向ＤＬでの長さは、蒸着マスク用基材１を切断するスリット工程によって、蒸着マスク用基材１とは異なる波形状を有する可能性を有した範囲であり、高さの測定から除外される範囲である。各非計測範囲ＺＥが有する長手方向ＤＬでの長さは、例えば、１００ｍｍである。

図３は、測定用基材２Ｍの長手方向ＤＬの各位置での高さの一例を示すグラフであり、測定用基材２Ｍの長手方向ＤＬを含む断面での断面構造と共に高さを示す図である。

図３が示すように、高さが測定される長手方向ＤＬの各位置は、蒸着マスク用基材１が有する波形状の凹凸を引き写すことの可能な間隔で並ぶ。高さが測定される長手方向ＤＬの各位置は、例えば、長手方向ＤＬに１ｍｍの間隔で並ぶ。長手方向ＤＬでの各位置の高さを結ぶ折れ線ＬＣの長さは、表面距離Ｌとして算出される。蒸着マスク用基材１の伸び差率は、式１によって定められる。すなわち、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの各位置の表面距離Ｌのなかの最小値を最小表面距離Ｌｍとすると、最小表面距離Ｌｍに対する各表面距離Ｌと最小表面距離Ｌｍとの差分の比率が、伸び差率である。
伸び差率＝（Ｌ−Ｌｍ）／Ｌｍ ・・・（式１）

図４は、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの各位置の伸び差率を示す。図４の上段に示す実線は、幅方向ＤＷでの中央部の伸び差率が他の部分よりも大きい一例であり、図４の下段に示す実線は、幅方向ＤＷでの一端部の伸び差率が他の部分よりも大きい一例である。

図４が示すように、蒸着マスク用基材１の伸び差率は、幅方向ＤＷの中央部ＲＣで極大値を有し、中央部ＲＣと端部ＲＥとの境界の付近で極小値を有する。そして、蒸着マスク用基材１の伸び差率は、中央部ＲＣから幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥに向けて増大する。幅方向ＤＷの中央部ＲＣは、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの中心ＰＣを、中央部ＲＣの幅方向ＤＷでの中心とする。幅方向ＤＷの中央部ＲＣが有する幅方向ＤＷでの長さは、蒸着マスク用基材１が有する幅方向ＤＷでの長さの４０％である。幅方向ＤＷの各端部ＲＥが有する幅方向ＤＷでの長さは、蒸着マスク用基材１が有する幅方向ＤＷでの長さの３０％である。こうした蒸着マスク用基材１の伸び差率は、以下の３つの条件を満たす。

［条件１］両方の端部ＲＥのなかの少なくとも一方での伸び差率は、幅方向ＤＷの中央部ＲＣでの伸び差率よりも小さい。
［条件２］中央部ＲＣが有する伸び差率は、３×１０^−５以下である。
［条件３］両方の端部ＲＥが有する伸び差率は、１５×１０^−５以下である。なお、両方の端部ＲＥが有する伸び差率は、好ましくは、１０×１０^−５以下である。

図４の上段の実線が示すように、条件１を満たす例として、各端部ＲＥでの伸び差率が中央部ＲＣでの伸び差率よりも小さい蒸着マスク用基材１では、中央部ＲＣの表面での凹凸の繰り返される数や、中央部ＲＣの表面での段差が、各端部ＲＥよりも大きい。こうした蒸着マスク用基材１は、蒸着マスク用基材１の表面に供給される液体を、中央部ＲＣから各端部ＲＥへ、さらに、各端部ＲＥから蒸着マスク用基材１の外側へ流しやすい。

図４の下段の実線が示すように、条件１を満たす他の例として、一方の端部ＲＥでの伸び差率のみが中央部ＲＣでの伸び差率よりも小さい蒸着マスク用基材１では、一方の端部ＲＥの表面での凹凸の繰り返される数や、一方の端部ＲＥの表面での段差が、中央部ＲＣや他方の端部ＲＥよりも大きい。こうした蒸着マスク用基材１は、蒸着マスク用基材１の表面に供給される液体を、一方の端部ＲＥから他方の端部ＲＥへ、さらに、他方の端部ＲＥから蒸着マスク用基材１の外側へ流しやすい。

蒸着マスク用基材１の表面に供給される液体は、例えば、蒸着マスク用基材１の表面に位置するレジスト層を現像するための現像液、現像液を表面から除去するための洗浄液である。また、蒸着マスク用基材１の表面に供給される液体は、例えば、蒸着マスク用基材１をエッチングするためのエッチング液、エッチング液を表面から除去するための洗浄液である。また、蒸着マスク用基材１の表面に供給される液体は、例えば、蒸着マスク用基材１の表面にエッチング後に残存するレジスト層を剥離するための剥離液、剥離液を表面から除去するための洗浄液である。そして、蒸着マスク用基材１の表面に供給された液体の流れに淀みを生じがたい上記各構成であれば、液体による処理を用いた加工の均一性を、蒸着マスク用基材１の表面内で高めることが可能となる。

なお、条件１を満たさない例として、各端部ＲＥでの伸び差率が中央部ＲＣでの伸び差率よりも大きい蒸着マスク用基材１では、蒸着マスク用基材１の表面に供給された液体が、各端部ＲＥから蒸着マスク用基材１の外側へ流れやすい一方で、各端部ＲＥから中央部ＲＣへも流れやすい。結果として、中央部ＲＣに液だまりを生じやすく、液体による処理を用いた加工の均一性を、蒸着マスク用基材１の表面内で低下させる要因となる。このように、条件１を満たす構成、および、それによって得られる効果は、中央部ＲＣでの伸び差率と各端部ＲＥでの伸び差率との差によって発生する、液体を用いた表面の加工での課題を認識することによって、はじめて導き出されることである。

［マスク装置の構成］
図５は、蒸着マスク用基材１を用いて製造される蒸着マスクを備えるマスク装置の概略的な平面構造を示す平面図である。図６は、蒸着マスクが備えるマスク部の断面構造の一例を示す断面図であり、図７は、蒸着マスクが備えるマスク部の断面構造の他の例を示す断面図である。なお、マスク装置が備える蒸着マスクの数量や、蒸着マスク３０が備えるマスク部の数量は、一例である。

図５が示すように、マスク装置１０は、メインフレーム２０と、３つの蒸着マスク３０とを備える。メインフレーム２０は、複数の蒸着マスク３０を支持する矩形枠状を有し、蒸着を行うための蒸着装置に取り付けられる。メインフレーム２０は、各蒸着マスク３０が位置する範囲のほぼ全体にわたり、メインフレーム２０を貫通するメインフレーム孔２１を有する。

各蒸着マスク３０は、帯板状を有した複数のフレーム部３１と、各フレーム部３１に３つずつのマスク部３２とを備える。フレーム部３１は、マスク部３２を支持する短冊板状を有して、メインフレーム２０に取り付けられる。フレーム部３１は、マスク部３２が位置する範囲のほぼ全体にわたり、フレーム部３１を貫通するフレーム孔３３を有する。フレーム部３１は、マスク部３２よりも高い剛性を有し、かつ、フレーム孔３３を囲う枠状を有する。各マスク部３２は、フレーム孔３３を区画するフレーム部３１のフレーム内縁部に１つずつ、溶着や接着によって固定される。

図６が示すように、マスク部３２の一例は、マスク板３２３から構成される。マスク板３２３は、蒸着マスク用基材１から形成された１枚の板部材であってもよいし、蒸着マスク用基材１から形成された１枚の板部材と樹脂板との積層体であってもよい。

マスク板３２３は、第１面３２１と、第１面３２１とは反対側の面である第２面３２２とを備える。第１面３２１は、マスク装置１０が蒸着装置に取り付けられた状態で、ガラス基板などの蒸着対象と対向する。第２面３２２は、蒸着装置の蒸着源と対向する。マスク部３２は、マスク板３２３を貫通する複数の孔３２Ｈを有する。孔３２Ｈの壁面は、マスク板３２３の厚み方向に対して、断面視において傾きを有する。孔３２Ｈの壁面の形状は、断面視において、図６が示すような直線状であってもよいし、孔３２Ｈの外側に向けて張り出す半円弧状であってもよいし、複数の屈曲点を有する複雑な曲線状であってもよい。

マスク板３２３の厚みは、１μｍ以上５０μｍ以下であり、好ましくは、２μｍ以上２０μｍ以下である。マスク板３２３の厚みが５０μｍ以下であれば、マスク板３２３に形成される孔３２Ｈの深さを５０μｍ以下とすることが可能である。このように、薄いマスク板３２３であれば、孔３２Ｈが有する壁面の面積そのものを小さくして、孔３２Ｈの壁面に付着する蒸着物質の量を低下させる。

第２面３２２は、孔３２Ｈの開口である第２開口Ｈ２を含み、第１面３２１は、孔３２Ｈの開口である第１開口Ｈ１を含む。第２開口Ｈ２は、平面視において、第１開口Ｈ１よりも大きい。各孔３２Ｈは、蒸着源から昇華した蒸着物質が通る通路であって、蒸着源から昇華した蒸着物質は、第２開口Ｈ２から第１開口Ｈ１に向けて進む。第２開口Ｈ２が第１開口Ｈ１よりも大きい孔３２Ｈであれば、第２開口Ｈ２から孔３２Ｈに入る蒸着物質の量を増やすことが可能となる。なお、第１面３２１に沿う断面での孔３２Ｈの面積は、第１開口Ｈ１から第２開口Ｈ２に向けて、第１開口Ｈ１から第２開口Ｈ２まで単調に増大してもよい。

図７が示すように、マスク部３２の他の例は、マスク板３２３を貫通する複数の孔３２Ｈを有する。第２開口Ｈ２は、平面視において、第１開口Ｈ１よりも大きい。孔３２Ｈは、第２開口Ｈ２を有する大孔３２ＬＨと、第１開口Ｈ１を有する小孔３２ＳＨとから構成される。大孔３２ＬＨの断面積は、第２開口Ｈ２から第１面３２１に向けて、単調に減少する。小孔３２ＳＨの断面積は、第１開口Ｈ１から第２面３２２に向けて、単調に減少する。孔３２Ｈの壁面は、断面視において、大孔３２ＬＨと小孔３２ＳＨとが接続する部位、すなわち、マスク板３２３の厚み方向の中間で、孔３２Ｈの内側に向けて突き出た形状を有する。孔３２Ｈの壁面にて突き出た部位と、第１面３２１との間の距離は、ステップハイトＳＨである。図６で説明した断面構造の例では、ステップハイトＳＨがゼロである。第１開口Ｈ１に到達する蒸着物質の量を確保しやすい観点では、ステップハイトＳＨがゼロである構成が好ましい。なお、ステップハイトＳＨがゼロであるマスク部３２を得る構成では、蒸着マスク用基材１の片面からのウェットエッチングで孔３２Ｈが形成される程度に、マスク板３２３の厚みは薄く、例えば５０μｍ以下である。

［マスク部の接合構造］
図８は、マスク部３２とフレーム部３１との接合構造が有する断面構造の一例を示す。図９は、マスク部３２とフレーム部３１との接合構造が有する断面構造の他の例を示す。

図８が示す例のように、マスク板３２３の外縁部３２Ｅは、孔３２Ｈを備えない領域である。マスク板３２３が有する第２面３２２のなかでマスク板３２３の外縁部３２Ｅに含まれる部分は、マスク部が備える側面の一例であり、フレーム部３１に接合される。フレーム部３１は、フレーム孔３３を区画する内縁部３１Ｅを備える。内縁部３１Ｅは、マスク板３２３と対向する接合面３１１と、接合面３１１とは反対側の面である非接合面３１２とを備える。内縁部３１Ｅの厚みＴ３１、すなわち、接合面３１１と非接合面３１２との距離は、マスク板３２３が有する厚みＴ３２よりも十分に厚く、それによって、マスク板３２３よりも高い剛性をフレーム部３１は有する。特に、フレーム部３１は、内縁部３１Ｅが自重によって垂れ下がることや、内縁部３１Ｅがマスク部３２に向けて変位することに対して、高い剛性を有する。内縁部３１Ｅの接合面３１１は、第２面３２２と接合された接合部３２ＢＮを備える。

接合部３２ＢＮは、内縁部３１Ｅのほぼ全周にわたり、連続的、あるいは、間欠的に位置する。接合部３２ＢＮは、接合面３１１と第２面３２２との溶着によって形成される溶着痕であってもよいし、接合面３１１と第２面３２２とを接合する接合層であってもよい。フレーム部３１は、内縁部３１Ｅの接合面３１１と、マスク板３２３の第２面３２２とを接合すると共に、マスク板３２３がそれの外側に向けて引っ張られるような応力Ｆを、マスク板３２３に加える。なお、フレーム部３１もまた、それの外側に向けて引っ張られるような応力を、マスク板３２３での応力Ｆと同じ程度に、メインフレーム２０によって加えられる。そのため、メインフレーム２０から取り外された蒸着マスク３０では、メインフレーム２０とフレーム部３１との接合による応力が解除され、マスク板３２３に加わる応力Ｆも緩和される。接合面３１１での接合部３２ＢＮの位置は、マスク板３２３に応力Ｆを等方的に作用させる位置であることが好ましく、マスク板３２３の形状、および、フレーム孔３３の状に基づき、適宜選択される。

接合面３１１は、接合部３２ＢＮが位置する平面であり、第２面３２２の外縁部３２Ｅからマスク板３２３の外側に向けて広がる。言い換えれば、内縁部３１Ｅは、第２面３２２がそれの外側へ擬似的に拡張された面構造を備え、第２面３２２の外縁部３２Ｅから、マスク板３２３の外側に向けて広がる。そのため、接合面３１１が広がる範囲では、マスク板３２３の厚みに相当する空間Ｖが、マスク板３２３の周囲に形成されやすい。結果として、マスク板３２３の周囲では、蒸着対象Ｓとフレーム部３１とが物理的に干渉することを抑えることが可能となる。

図９が示す例においても、第２面３２２の外縁部３２Ｅは、孔３２Ｈが形成されていない領域を備える。第２面３２２の外縁部３２Ｅは、接合部３２ＢＮによる接合を通じて、フレーム部３１が備える接合面３１１に接合される。そして、フレーム部３１は、マスク板３２３がそれの外側に向けて引っ張られるような応力Ｆを、マスク板３２３に加えると共に、接合面３１１が広がる範囲において、マスク板３２３の厚みに相当する空間Ｖを形成する。

［マスク部の数量］
図１０は、蒸着マスク３０が備える孔３２Ｈの数量と、マスク部３２が備える孔３２Ｈの数量との関係の一例を示す。また、図１１は、蒸着マスク３０が備える孔３２Ｈの数量と、マスク部３２が備える孔３２Ｈの数量との関係の他の例を示す。

図１０（ａ）の例が示すように、フレーム部３１は、３つのフレーム孔３３を有する。図１０（ｂ）の例が示すように、蒸着マスク３０は、各フレーム孔３３に１つずつマスク部３２を備える。フレーム孔３３Ａを区画する内縁部３１Ｅは、１つのマスク部３２Ａと接合し、フレーム孔３３Ｂを区画する内縁部３１Ｅは、他の１つのマスク部３２Ｂと接合し、フレーム孔３３Ｃを区画する内縁部３１Ｅは、他の１つのマスク部３２Ｃと接合する。

ここで、蒸着マスク３０は、複数の蒸着対象に対して、繰り返して用いられる。そのため、蒸着マスク３０が備える各孔３２Ｈは、孔３２Ｈの位置や、孔３２Ｈの構造などに高い精度を求められる。図１０が示す構成のように、１つのフレーム部３１に必要とされる孔３２Ｈの数量を、３つのマスク部３２で分割して担う構成であれば、１つのマスク部３２の一部に変形を生じた場合であっても、１つのフレーム部３１に必要とされる孔３２Ｈの数量を、単一のマスク部で担う構成と比べて、変形したマスク部３２と交換される新たなマスク部３２の大きさを、小さくすることが可能である。そして、蒸着マスク３０の製造や蒸着マスク３０の補修、これらに要する各種材料の消費量を抑えることが可能ともなる。なお、孔３２Ｈの位置や、孔３２Ｈの構造に関する検査は、応力Ｆが加えられた状態、すなわち、フレーム部３１にマスク部３２が接合された状態で行われることが好ましい。こうした観点において、上述した接合部３２ＢＮは、変形したマスク部３２を新たなマスク部３２に交換することを可能とする構成が好ましい。そして、マスク部３２を構成するマスク板３２３の厚みが薄いほど、また、孔３２Ｈが小さいほど、マスク部３２の歩留まりは下がる。そのため、各フレーム孔３３に１つずつのマスク部３２を備える構成は、マスク部３２に高精細が求められる蒸着マスク３０に対して、特に好適でもある。

図１１（ａ）の例が示すように、フレーム部３１は、３つのフレーム孔３３を有する。図１１（ｂ）の例が示すように、蒸着マスク３０は、各フレーム孔３３に共通する１つのマスク部３２を備える。フレーム孔３３Ａを区画する内縁部３１Ｅ、フレーム孔３３Ｂを区画する内縁部３１Ｅ、フレーム孔３３Ｃを区画する内縁部３１Ｅは、これらに共通する１つのマスク部３２と接合する。

なお、１つのフレーム部３１に必要とされる孔３２Ｈの数量を、１つのマスク部３２で担う構成であれば、フレーム部３１に接合されるマスク部３２の数量を１つとすることが可能であるため、フレーム部３１とマスク部３２との接合に要する負荷を軽減することが可能である。そして、マスク部３２を構成するマスク板３２３の厚みが厚いほど、また、孔３２Ｈのサイズが大きいほど、マスク部３２の歩留まりが上がりやすい。そのため、各フレーム孔３３に共通するマスク部３２を備える構成は、マスク部３２に低解像度が求められる蒸着マスク３０に対して好適でもある。

［蒸着マスク用基材の製造方法］
図１２、および、図１３は、蒸着マスク用基材の製造方法に圧延を用いて製造する例を示す。
図１２が示すように、蒸着マスク用基材の製造方法では、まず、インバーなどから形成された母材１ａであって、長手方向ＤＬに延びる母材１ａを準備する。次いで、母材１ａの長手方向ＤＬと、母材１ａを搬送する搬送方向とが平行になるように、一対の圧延ローラー５１，５２を備える圧延装置５０に向けて母材１ａを搬送する。母材１ａが一対の圧延ローラー５１，５２の間に到達すると、一対の圧延ローラー５１，５２によって母材１ａが圧延される。これによって、母材１ａが長手方向ＤＬに伸ばされることで、圧延材１ｂを得ることができる。圧延材１ｂはコアＣに巻き取られるが、圧延材１ｂは、コアＣに巻き取られることなく、帯形状に伸ばされた状態で取り扱われてもよい。圧延材１ｂの厚みは、例えば、１０μｍ以上５０μｍ以下である。この際、上述した条件１，２，３が満たされるように、圧延ローラー５１，５２の間での押圧力と、圧延ローラー５１，５２の回転速度とが設定される。

図１３が示すように、圧延材１ｂの内部に蓄積された残留応力を取り除くために、アニール装置５３を用いて圧延材１ｂをアニールする。これによって、蒸着マスク用基材１が得られる。圧延材１ｂのアニールは、圧延材１ｂを長手方向ＤＬに引っ張りながら行うため、アニール前の圧延材１ｂに比べて残留応力が低減された蒸着マスク用基材１を得ることができる。なお、圧延工程およびアニール工程の各々を、以下のように変更して実施してもよい。すなわち、例えば、圧延工程では、複数の対の圧延ローラーを備える圧延装置を用いてもよい。また、圧延工程およびアニール工程を複数回繰り返すことによって、蒸着マスク用基材１を製造してもよい。また、アニール工程では、圧延材１ｂを長手方向ＤＬに引っ張りながら行うのではなく、コアＣに巻き取られた状態の圧延材１ｂに対して行ってもよい。

なお、コアＣに巻き取られた状態の圧延材１ｂに対してアニール工程を行ったときには、蒸着マスク用基材１がコアＣに巻き取られたことによって、アニール後の蒸着マスク用基材１には、蒸着マスク用基材１がコアＣに巻かれたときの径に応じた反りの癖がついてしまう場合がある。そのため、蒸着マスク用基材１がコアＣに巻かれたときの径の大きさや母材１ａを形成する材料によっては、圧延材１ｂを長手方向ＤＬに引っ張りながら圧延材１ｂをアニールすることが好ましい。

蒸着マスク用基材１の製造方法に電解を用いる場合には、電解に用いられる電極表面に蒸着マスク用基材１が形成され、その後、電極表面から蒸着マスク用基材１が離型される。蒸着マスク用基材１を構成する材料がインバーである場合、電解に用いられる電解浴は、鉄イオン供給剤、ニッケルイオン供給剤、および、ｐＨ緩衝剤を含む。電解に用いられる電解浴は、応力緩和剤、Ｆｅ^３＋イオンマスク剤、リンゴ酸やクエン酸などの錯化剤などを含んでもよく、電解に適したｐＨに調整された弱酸性の溶液である。鉄イオン供給剤は、例えば、硫酸第一鉄・７水和物、塩化第一鉄、スルファミン酸鉄などである。ニッケルイオン供給剤は、例えば、硫酸ニッケル（II）、塩化ニッケル（II）、スルファミン酸ニッケル、臭化ニッケルである。ｐＨ緩衝剤は、例えば、ホウ酸、マロン酸である。マロン酸は、Ｆｅ^３＋イオンマスク剤としても機能する。応力緩和剤は、例えばサッカリンナトリウムである。電解に用いられる電解浴は、例えば、上述した添加剤を含む水溶液であり、５％硫酸、あるいは、炭酸ニッケルなどのｐＨ調整剤によって、例えば、ｐＨが２以上３以下となるように調整される。

電解に用いられる電解条件は、蒸着マスク用基材１が有する厚み、蒸着マスク用基材１における組成比などが、電解浴の温度、電流密度、および、電解時間によって調整された条件である。上述した電解浴を用いた電解条件における陽極は、例えば、純鉄とニッケルである。電解条件における陰極は、例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレス板である。電解浴の温度は、例えば、４０℃以上６０℃以下である。電流密度は、例えば、１Ａ／ｄｍ^２以上４Ａ／ｄｍ^２以下である。この際、上述した条件１，２，３が満たされるよう、電極表面での電流密度が設定される。

なお、電解によって得られた蒸着マスク用基材１や、圧延によって得られた蒸着マスク用基材１は、化学的な研磨によって薄く加工されてもよいし、電気的な研磨によって薄く加工されてもよい。化学的な研磨に用いられる研磨液は、例えば、過酸化水素を主成分とした鉄系合金用の化学研磨液である。電気的な研磨に用いられる電解液は、過塩素酸系の電解研磨液や硫酸系の電解研磨液である。この際、上述した条件１，２，３が満たされるため、研磨液による研磨の結果や、洗浄液による研磨液の洗浄の結果について、蒸着マスク用基材１の表面でのばらつきが抑えられる。

［マスク部の製造方法］
図７に示したマスク部３２を製造するための工程について図１４から図１９を参照して説明する。なお、図６で説明したマスク部３２を製造するための工程は、図７で説明したマスク部３２を製造するための工程にて、小孔３２ＳＨを貫通孔として、大孔３２ＬＨを形成するための工程を割愛した工程と同様であるため、その重複する説明を割愛する。

図１４が示すように、マスク部を製造するときには、まず、第１面１Ｓａと第２面１Ｓｂとを含む蒸着マスク用基材１と、第１面１Ｓａに貼り付けられる第１ドライフィルムレジスト２と、第２面１Ｓｂに貼り付けられる第２ドライフィルムレジスト３とを準備する。２つのドライフィルムレジスト２，３の各々は、蒸着マスク用基材１とは別に形成されたフィルムである。次いで、第１面１Ｓａに第１ドライフィルムレジスト２を貼り付け、かつ、第２面１Ｓｂに第２ドライフィルムレジスト３を貼り付ける。

図１５が示すように、ドライフィルムレジスト２，３のうち、孔を形成する部位以外の部分を露光し、露光後のドライフィルムレジストを現像する。これによって、第１ドライフィルムレジスト２に第１貫通孔２ａを形成し、かつ、第２ドライフィルムレジスト３に第２貫通孔３ａを形成する。第１ドライフィルムレジスト２を露光するときには、第１ドライフィルムレジスト２において蒸着マスク用基材１に接する面とは反対側の面に、第１貫通孔２ａを形成する部分以外の部分に光を到達させるように構成された原版を載せる。第２ドライフィルムレジスト３を露光するときには、第２ドライフィルムレジスト３において蒸着マスク用基材１に接する面とは反対側の面に、第２貫通孔３ａを形成する部分以外の部分に光を到達させるように構成された原版を載せる。また、露光後のドライフィルムレジストを現像するときには、現像液として、例えば炭酸ナトリウム水溶液を用いる。この際、上述した条件１，２，３が満たされるため、現像液による現像の結果や、その洗浄液による洗浄の結果について、蒸着マスク用基材１の表面でのばらつきを抑えられる。結果として、第１貫通孔２ａの形状や大きさ、また、第２貫通孔３ａの形状や大きさに関して、蒸着マスク用基材１の表面内での均一性を高めることが可能となる。

図１６が示すように、例えば、第１ドライフィルムレジスト２をマスクとして、塩化第二鉄液を用いて蒸着マスク用基材１の第１面１Ｓａをエッチングする。このとき、第２ドライフィルムレジスト３には、蒸着マスク用基材１の第２面１Ｓｂが第１面１Ｓａと同時にエッチングされないように、第２保護層６１を形成する。第２保護層６１の形成材料は、塩化第二鉄液によってエッチングされにくい材料であればよい。これによって、蒸着マスク用基材１の第１面１Ｓａに、第１ドライフィルムレジスト２の第１貫通孔２ａを介して、第２面１Ｓｂに向けて窪む小孔３２ＳＨを形成する。小孔３２ＳＨは、第１面１Ｓａに開口する第１開口Ｈ１を有する。この際、上記条件１，２，３が満たされるため、エッチング液によるエッチングの結果や、その洗浄液による洗浄の結果について、蒸着マスク用基材１の表面でのばらつきを抑えられる。結果として、小孔３２ＳＨの形状や大きさに関して、蒸着マスク用基材１の表面内での均一性を高めることが可能となる。

蒸着マスク用基材１をエッチングするエッチング液は、酸性のエッチング液であって、蒸着マスク用基材１がインバーから構成される場合には、インバーをエッチングすることが可能なエッチング液であればよい。酸性のエッチング液は、例えば、過塩素酸第二鉄液、および、過塩素酸第二鉄液と塩化第二鉄液との混合液に対して、過塩素酸、塩酸、硫酸、蟻酸、および、酢酸のいずれかを混合した溶液である。蒸着マスク用基材１をエッチングする方法は、蒸着マスク用基材１を酸性のエッチング液に浸漬するディップ式であってもよいし、蒸着マスク用基材１に酸性のエッチング液を吹き付けるスプレー式であってもよい。

図１７が示すように、蒸着マスク用基材１の第１面１Ｓａに形成した第１ドライフィルムレジスト２と、第２ドライフィルムレジスト３に接する第２保護層６１とを取り除く。また、蒸着マスク用基材１の第１面１Ｓａに、第１面１Ｓａのエッチングを防ぐための第１保護層４を形成する。第１保護層４の形成材料は、塩化第二鉄液によってエッチングされにくい材料であればよい。

図１８が示すように、第２ドライフィルムレジスト３をマスクとして、塩化第二鉄液を用いて蒸着マスク用基材１の第２面１Ｓｂをエッチングする。これによって、蒸着マスク用基材１の第２面１Ｓｂに、第２ドライフィルムレジスト３の第２貫通孔３ａを介して、第１面１Ｓａに向けて窪む大孔３２ＬＨを形成する。大孔３２ＬＨは、第２面１Ｓｂに開口する第２開口Ｈ２を有し、第２面１Ｓｂと対向する平面視において、第２開口Ｈ２は、第１開口Ｈ１よりも大きい。この際、上記条件１，２，３が満たされるため、エッチング液によるエッチングの結果や、洗浄液によるエッチング液の洗浄の結果について、蒸着マスク用基材１の表面でのばらつきが抑えられる。結果として、大孔３２ＬＨの形状や大きさについて、蒸着マスク用基材１の表面内での均一性を高めることが可能となる。この際に用いられるエッチング液もまた、酸性のエッチング液であって、蒸着マスク用基材１がインバーから構成される場合には、インバーをエッチングすることが可能なエッチング液であればよい。蒸着マスク用基材１をエッチングする方法もまた、蒸着マスク用基材１を酸性のエッチング液に浸漬するディップ式であってもよいし、蒸着マスク用基材１に酸性のエッチング液を吹き付けるスプレー式であってもよい。

図１９が示すように、第１保護層４と第２ドライフィルムレジスト３とを蒸着マスク用基材１から取り除くことによって、複数の小孔３２ＳＨと、各小孔３２ＳＨに繋がる大孔３２ＬＨとが形成されたマスク部３２が得られる。

なお、蒸着マスク用基材１を形成するための圧延用の母材１ａが形成されるとき、通常、圧延用の母材を形成するための材料中に混入した酸素を除くために、例えば、粒状のアルミニウムやマグネシウムなどの脱酸剤が、母材を形成するための材料に混ぜられる。アルミニウムやマグネシウムは、酸化アルミニウムや酸化マグネシウムなどの金属酸化物として母材に含まれる。これら金属酸化物の大部分は、母材が圧延される前に、母材から取り除かれる。一方で、金属酸化物の一部分は、圧延の対象となる母材に残る。この点、蒸着マスク用基材１の製造に電解を用いる製造方法によれば、金属酸化物がマスク部３２に混ざることが抑えられる。

［蒸着マスクの製造方法］
蒸着マスクの製造方法の各例を説明する。なお、図２０を参照して、ウェットエッチングによって孔を形成する方法を用いた一例を説明する。また、図２１を参照して、電解によって孔を形成する方法を用いた一例を説明し、図２２を参照して、電解によって孔を形成する方法を用いた他の例を説明する。また、図６で説明したマスク部３２を用いる蒸着マスクを製造する方法と、図７で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクを製造する方法とは、基材３２Ｋに対して行われるエッチングの形態が異なるが、それ以外の工程はほぼ同様である。以下では、図６で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクの製造方法を主に説明し、図７で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクの製造方法に関しては、その重複した説明を省略する。

図２０（ａ）〜（ｈ）が示す例のように、蒸着マスクの製造方法の一例では、まず、基材３２Ｋが準備される（図２０（ａ）参照）。なお、基材３２Ｋは、マスク板３２３として加工される上述した蒸着マスク用基材１の他に、その蒸着マスク用基材１を支持するための支持体ＳＰをさらに備えることが好ましい。なお、基材３２Ｋの第１面３２１は、上述した第１面１Ｓａに相当し、基材３２Ｋの第２面３２２は、上述した第２面１Ｓｂに相当する。

次いで、基材３２Ｋが有する第２面３２２にレジスト層ＰＲが形成され（図２０（ｂ）参照）、レジスト層ＰＲに対する露光、および、現像が行われることによって、第２面３２２にレジストマスクＲＭが形成される（図２０（ｃ）参照）。次に、レジストマスクＲＭを用いた第２面３２２からのウェットエッチングによって、基材３２Ｋに孔３２Ｈが形成される（図２０（ｄ）参照）。この際、ウェットエッチングが開始される第２面３２２には、第２開口Ｈ２が形成され、それよりも遅れてエッチングが行われる第１面３２１には、第２開口Ｈ２よりも小さい第１開口Ｈ１が形成される。次いで、レジストマスクＲＭが第２面３２２から除去されることによって、上述したマスク部３２が製造される（図２０（ｅ）参照）。最後に、第２面３２２における外縁部３２Ｅがフレーム部３１の内縁部３１Ｅに接合され、マスク部３２から支持体ＳＰが離型されることによって、蒸着マスク３０が製造される（図２０（ｆ）から（ｈ）参照）。

なお、図７で説明したマスク部３２を備える蒸着マスクの製造方法では、上述した工程が、支持体ＳＰを有さない基材３２Ｋにおいて、第１面３２１に対応する基材３２Ｋの面に施され、それによって、小孔３２ＳＨが形成される。次いで、小孔３２ＳＨを保護するためのレジストなどが小孔３２ＳＨに充填される。続いて、上述した工程が、第２面３２２に対応する基材３２Ｋの面に施され、それによって、マスク部３２が製造される。

図２０（ｆ）が示す例では、第２面３２２の外縁部３２Ｅをフレーム部３１の内縁部３１Ｅに接合する方法として、抵抗溶接が用いられる。この際、絶縁性を有した支持体ＳＰに、複数の孔ＳＰＨが形成される。各孔ＳＰＨは、支持体ＳＰのなかで、接合部３２ＢＮとなる部位と対向する部位に形成される。そして、マスク部３２に対してそれの外側に向けた応力が加えられた状態で、孔ＳＰＨを通じた通電によって、間欠的な接合部３２ＢＮが形成され、それによって、外縁部３２Ｅと内縁部３１Ｅとが溶着する。

図２０（ｇ）が示す例では、第２面３２２の外縁部３２Ｅをフレーム部３１の内縁部３１Ｅに接合する方法として、レーザー溶接が用いられる。この際、光透過性を有した支持体ＳＰが用いられ、支持体ＳＰを通じて、接合部３２ＢＮとなる部位にレーザー光が照射される。そして、間欠的なレーザー光が照射されることによって、間欠的な接合部３２ＢＮが形成され、あるいは、連続的にレーザー光が照射され続けることによって、連続的な接合部３２ＢＮが形成され、これによって、外縁部３２Ｅと内縁部３１Ｅとが溶着する。なお、マスク部３２に対してそれの外側に向けた応力が加えられた状態で、支持体ＳＰがマスク部３２を支持する場合には、マスク部３２に対する応力の印加を、この溶接では割愛することも可能である。

図２０（ｈ）が示す例では、第２面３２２の外縁部３２Ｅをフレーム部３１の内縁部３１Ｅに接合する方法として、超音波溶接が用いられる。この際、外縁部３２Ｅと内縁部３１Ｅとが、クランプＣＰなどで挟持され、接合部３２ＢＮとなる部位に超音波が印加される。超音波が直接印加される部材は、フレーム部３１であってもよいし、マスク部３２であってもよい。なお、超音波溶接が用いられた場合には、フレーム部３１や支持体ＳＰに、クランプＣＰによる圧着痕が形成される。

なお、図８、および、図９で説明した蒸着マスクは、図２１（ａ）〜（ｅ）で示す他の例、あるいは、図２２（ａ）〜（ｆ）で示す他の例によって製造することも可能である。

図２１（ａ）〜（ｅ）が示す例のように、蒸着マスクの製造方法の他の例では、まず、電解に用いられる電極ＥＰの表面である電極表面ＥＰＳに、レジスト層ＰＲが形成される（図２１（ａ）参照）。次いで、レジスト層ＰＲに対する露光、および、現像が行われることによって、パターンの一例であるレジストマスクＲＭが、電極表面ＥＰＳに形成される（図２１（ｂ）参照）。レジストマスクＲＭは、電極表面ＥＰＳと直交する断面において、電極表面ＥＰＳに頂部が位置する逆錐台状を有し、電極表面ＥＰＳからの距離が大きいほど、電極表面ＥＰＳに沿った断面での面積が大きい形状を有する。次に、レジストマスクＲＭを有した電極表面ＥＰＳを用いる電解が行われ、電極表面ＥＰＳのなかでレジストマスクＲＭ以外の領域に広がる金属板がマスク部３２として形成される（図２１（ｃ）参照）。

この際、レジストマスクＲＭが占有する空間以外に金属が堆積して金属板を形成するため、レジストマスクＲＭの形状に追従した形状を有する孔が、金属板には形成される。そして、マスク部３２の孔３２Ｈが、自己整合的に形成される。すなわち、電極表面ＥＰＳと接触する面が、第１開口Ｈ１を有する第１面３２１として機能し、第１開口Ｈ１よりも大きい開口である第２開口Ｈ２を有する最表面が、第２面３２２として機能する。

次に、電極表面ＥＰＳからレジストマスクＲＭのみが除去され、それによって、第１開口Ｈ１から第２開口Ｈ２までを中空とする孔３２Ｈが形成される（図２１（ｄ）参照）。最後に、第２開口Ｈ２を有した第２面３２２の外縁部３２Ｅに、内縁部３１Ｅの接合面３１１が接合され、次いで、マスク部３２を電極表面ＥＰＳから剥がすための応力がフレーム部３１に加えられる。あるいは、支持体などに接合されたマスク部３２が電極表面ＥＰＳから剥がされ、そのマスク部３２の第２面３２２における外縁部３２Ｅに、内縁部３１Ｅの接合面３１１が接合される。それによって、フレーム部３１にマスク部３２が接合された状態の蒸着マスク３０が製造される（図２１（ｅ）参照）。

図２２（ａ）〜（ｆ）が示す例のように、蒸着マスクの製造方法の他の例では、まず、電解に用いられる電極表面ＥＰＳにレジスト層ＰＲが形成される（図２２（ａ）参照）。次いで、レジスト層ＰＲに対する露光、および、現像が行われることによって、パターンの一例であるレジストマスクＲＭが、電極表面ＥＰＳに形成される（図２２（ｂ）参照）。レジストマスクＲＭは、電極表面ＥＰＳと直交する断面において、電極表面ＥＰＳに底部が位置する錐台状を有し、電極表面ＥＰＳからの距離が大きいほど、電極表面ＥＰＳに沿った断面での面積が小さい形状を有する。次に、レジストマスクＲＭを有した電極表面ＥＰＳを用いる電解が行われ、電極表面ＥＰＳのなかでレジストマスクＲＭ以外の領域に広がる金属板が、マスク部３２として形成される（図２２（ｃ）参照）。

ここでも、レジストマスクＲＭが占有する空間以外に金属が堆積して金属板を形成するため、レジストマスクＲＭの形状に追従した形状を有する孔が、金属板に形成される。そして、マスク部３２における孔３２Ｈが、自己整合的に形成される。すなわち、電極表面ＥＰＳと接触する面が、第２開口Ｈ２を有する第２面３２２として機能し、第２開口Ｈ２よりも小さい開口である第１開口Ｈ１を有する最表面が、第１面３２１として機能する。

次に、電極表面ＥＰＳからレジストマスクＲＭのみが除去され、それによって、第１開口Ｈ１から第２開口Ｈ２までを中空とする孔３２Ｈが形成される（図２２（ｄ）参照）。そして、第１開口Ｈ１を有した第１面３２１に、中間転写基材ＴＭが接合され、次いで、マスク部３２を電極表面ＥＰＳから剥がすための応力が中間転写基材ＴＭに加えられる。それによって、中間転写基材ＴＭにマスク部３２が接合された状態で、電極表面ＥＰＳから第２面３２２が離される（図２２（ｅ）参照）。最後に、第２開口Ｈ２を有した第２面３２２の外縁部３２Ｅに、内縁部３１Ｅの接合面３１１が接合され、次いで、中間転写基材ＴＭがマスク部３２から剥がされる。これによって、フレーム部３１にマスク部３２が接合された状態の蒸着マスク３０が製造される（図２２（ｆ）参照）。

［実施例］
図２３から図２９を参照して各実施例を説明する。
［実施例１］
インバーを材料とする母材１ａに圧延工程、および、圧延後の金属板から幅方向ＤＷに所望の大きさが得られるように金属板を切断するスリット工程を施す。これによって、圧延材１ｂを製造し、圧延材１ｂにアニール工程を施すことによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚みが２０μｍである実施例１の蒸着マスク用基材１を得た。次いで、図２３が示すように、長手方向ＤＬの長さが７００ｍｍである実施例１の測定用基材２Ｍを、実施例１の蒸着マスク用基材１から切り出した。続いて、切り出された測定用基材２Ｍの表面距離Ｌを、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷの全体にわたり測定し、実施例１の測定用基材２Ｍでの伸び差率を得た。この際、表面距離Ｌの測定条件として、以下に示す条件を用いた。
測定装置：株式会社ニコン製 ＣＮＣ画像測定システム ＶＭＲ−６５５５
計測範囲ＺＬの長手方向ＤＬの長さ ：５００ｍｍ
非計測範囲ＺＥの長手方向ＤＬの長さ ：１００ｍｍ
長手方向ＤＬの測定間隔 ：１ｍｍ
幅方向ＤＷの測定間隔 ：２０ｍｍ

実施例１の伸び差率の測定結果を図２４、および、表１に示す。なお、表１が示す伸び差率は、中央部ＲＣ、および、各端部ＲＥでの最大値である。
図２４が示すように、実施例１の中央部ＲＣが有する伸び差率の最大値は、２．４２×１０^−５以下であり、各端部ＲＥが有する伸び差率は、１０×１０^−５以下であり、上記条件２，３を満たすことが認められた。そして、実施例１では、幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥのなかの一方（端部Ａ）での伸び差率の最大値が、４．５６×１０^−５であり、中央部ＲＣでの伸び差率よりも大きく、幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥのなかの他方（端部Ｂ）での伸び差率の最大値が、１．５３×１０^−５であり、幅方向ＤＷの中央部ＲＣでの伸び差率よりも小さいことが認められた。すなわち、上記条件１が満たされることが認められた。なお、幅方向ＤＷの各端部ＲＥでの伸び差率の最大値の差は、３．０３×１０^−５であった。

［実施例２］
圧延ローラー５１，５２の間での押圧力を実施例１よりも高め、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚みが１５μｍである実施例２の蒸着マスク用基材１を得た。次いで、実施例１と同様に、実施例２の蒸着マスク用基材１から測定用基材２Ｍを切り出し、切り出された測定用基材２Ｍの表面距離Ｌを、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷの全体にわたり測定して、実施例２の測定用基材２Ｍでの伸び差率を得た。

実施例２の伸び差率の測定結果を図２５、および、表１に示す。
図２５が示すように、実施例２の中央部ＲＣが有する伸び差率の最大値は、０．７５×１０^−５であり、各端部ＲＥが有する伸び差率の最大値は、０．１０×１０^−５、および、０．６８×１０^−５であることが認められた。そして、実施例２では、幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥの伸び差率が、幅方向ＤＷの中央部ＲＣでの伸び差率よりも小さく、上記条件１，２，３が満たされることが認められた。

［実施例３］
圧延ローラー５１，５２の間での押圧力を実施例１よりも高め、かつ、実施例２とは異なる分布とし、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚みが１５μｍである実施例３の蒸着マスク用基材１を得た。次いで、実施例１と同様に、実施例３の蒸着マスク用基材１から測定用基材２Ｍを切り出し、切り出された測定用基材２Ｍの表面距離Ｌを、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷの全体にわたり測定して、実施例３の測定用基材２Ｍでの伸び差率を得た。

実施例３の伸び差率の測定結果を図２６、および、表１に示す。
図２６が示すように、実施例３の中央部ＲＣが有する伸び差率の最大値は、１．２３×１０^−５以下であり、各端部ＲＥが有する伸び差率は、１５×１０^−５以下であり、上記条件２，３を満たすことが認められた。そして、実施例３では、幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥのなかの一方（端部Ｂ）での伸び差率の最大値が、１．１１×１０^−５であり、中央部ＲＣでの伸び差率よりも小さく、幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥのなかの他方（端部Ａ）での伸び差率の最大値が、１２．５０×１０^−５であり、中央部ＲＣでの伸び差率よりも大きいことが認められた。すなわち、上記条件１を満たすことが認められた。なお、幅方向ＤＷの各端部ＲＥでの伸び差率の最大値の差は、１１．３９×１０^−５であった。

［比較例１］
圧延ローラー５１，５２の間での押圧力を実施例１よりも高め、かつ、圧延ローラー５１，５２の回転速度を実施例１よりも高め、その他の条件を実施例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚みが２０μｍである比較例１の蒸着マスク用基材１を得た。次いで、実施例１と同様に、比較例１の蒸着マスク用基材１から測定用基材２Ｍを切り出し、切り出された測定用基材２Ｍの表面距離Ｌを、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷの全体にわたり測定して、比較例１の測定用基材２Ｍでの伸び差率を得た。

比較例１の伸び差率の測定結果を図２７、および、表１に示す。
図２７が示すように、比較例１の中央部ＲＣが有する伸び差率の最大値は、９．６８×１０^−５であり、各端部ＲＥが有する伸び差率は、１５×１０^−５以下であり、上記条件２を満たさないことが認められた。そして、比較例１では、幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥでの伸び差率が、幅方向ＤＷの中央部ＲＣでの伸び差率よりも大きく、上記条件１を満たさないことも認められた。

［比較例２］
圧延ローラー５１，５２の間での押圧力の分布を比較例１から変更し、その他の条件を比較例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚みが２０μｍである比較例２の蒸着マスク用基材１を得た。次いで、比較例１と同様に、比較例２の蒸着マスク用基材１から測定用基材２Ｍを切り出し、切り出された測定用基材２Ｍの表面距離Ｌを、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷの全体にわたり測定して、比較例２の測定用基材２Ｍでの伸び差率を得た。

比較例２の伸び差率の測定結果を図２８、および、表１に示す。
図２８が示すように、比較例２の中央部ＲＣが有する伸び差率の最大値は、１９．６６×１０^−５であり、各端部ＲＥのなかの一方（端部Ａ）の伸び差率は、１５×１０^−５以上であり、上記条件２、および、３を満たさないことが認められた。そして、比較例２では、幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥのなかの他方（端部Ｂ）での伸び差率の最大値が、４．４８×１０^−５であり、中央部ＲＣでの伸び差率よりも小さく、幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥのなかの他方（端部Ａ）での伸び差率の最大値が、２６．５４×１０^−５であり、中央部ＲＣでの伸び差率よりも大きいことが認められた。すなわち、上記条件１を満たしていることが認められた。

［比較例３］
圧延ローラー５１，５２の間での押圧力の分布を比較例１から変更し、その他の条件を比較例１の条件と同様に設定することによって、幅方向ＤＷの長さが５００ｍｍであり、かつ、厚みが２０μｍである比較例３の蒸着マスク用基材１を得た。次いで、比較例１と同様に、比較例３の蒸着マスク用基材１から測定用基材２Ｍを切り出し、切り出された測定用基材２Ｍの表面距離Ｌを、測定用基材２Ｍの幅方向ＤＷの全体にわたり測定して、比較例３の測定用基材２Ｍでの伸び差率を得た。

比較例３の伸び差率の測定結果を図２９、および、表１に示す。
図２９が示すように、比較例３の中央部ＲＣが有する伸び差率の最大値は、１．１９×１０^−５であることが認められた。他方、比較例３の幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥのなかの一方（端部Ｂ）での伸び差率の最大値が、３．２４×１０^−５であり、中央部ＲＣでの伸び差率よりも大きく、幅方向ＤＷの両方の端部ＲＥのなかの他方（端部Ａ）での伸び差率の最大値が、１６．１０×１０^−５であり、中央部ＲＣでの伸び差率よりも大きいことが認められた。すなわち、上記条件２が満たされる一方で、上記条件１，３が満たされないことが認められた。

［パターンの精度］
各実施例１，２，３、および、各比較例１，２，３の蒸着マスク用基材１を用い、蒸着マスク用基材１の第１面１Ｓａに、厚さが１０μｍの第１ドライフィルムレジスト２を貼り着けた。次いで、第１ドライフィルムレジスト２に露光マスクを接触させて露光する露光工程、および、現像工程を施し、３０μｍの直径を有した複数の貫通孔２ａを、第１ドライフィルムレジスト２に格子状に形成した。続いて、第１ドライフィルムレジスト２をマスクとするエッチングを第１面１Ｓａに施して、格子状に位置する複数の孔３２Ｈを蒸着マスク用基材１に形成した。そして、蒸着マスク用基材１の幅方向ＤＷでの開口径を各孔３２Ｈについて計測した。各孔３２Ｈの幅方向ＤＷでの開口径のばらつきを表１に示す。なお、表１では、各孔３２Ｈが有する開口径のなかで、開口径の最大値と開口径の最小値との差が２．０μｍ以下である水準に○印を記載し、開口径の最大値と開口径の最小値との差が２．０μｍよりも大きい水準に×印を記載した。

表１が示すように、各実施例１，２，３では、開口径のばらつきがいずれも２．０μｍ以下であることが認められた。他方、各比較例１，２，３では、開口径のばらつきがいずれも２．０μｍよりも大きいことが認められた。

なお、比較例１では、各端部ＲＥでの伸び差率が、中央部ＲＣでの伸び差率よりも大きく、また、中央部ＲＣでの伸び差率が９．６８×１０^−５であって、３×１０^−５よりも大きく、条件１，２が満たされていない。そして、比較例１では、条件３が満たされているものの、幅方向ＤＷでの過大な伸び差率に伴う表面での大きな凹凸に起因して、開口径にばらつきが生じてしまうことも認められた。

また、実施例１，３と比較例２とでは、いずれも、一方の端部ＲＥでの伸び差率が、中央部ＲＣでの伸び差率よりも小さく、上記条件１が満たされている。また、これに対して、実施例１，３では、いずれも、中央部ＲＣでの伸び差率が、３．０×１０^−５以下である一方、比較例２では、中央部ＲＣの伸び差率が、３．０×１０^−５を越え、上記条件２が満たされていない。また、実施例１，２では、両方の端部ＲＥでの伸び差率が、１５×１０^−５以下である一方、比較例３では、一方の端部ＲＥでの伸び差率が、１５×１０^−５以下を越え、上記条件３が満たされていない。そして、実施例１，２での開口径のばらつきは、２．０μｍ以下である一方、比較例２での開口径のばらつきは、２．０μｍよりも大きい。

結果として、これら実施例１，３と比較例２との比較からは、中央部ＲＣでの伸び差率が３×１０^−５以下であること、および、各端部ＲＥでの伸び差率が１５×１０^−５以下であること、すなわち、条件２，３が満たされることによって、開口径のばらつきが抑えられることが認められた。言い換えれば、一方の端部ＲＥでの伸び差率が、中央部ＲＣでの伸び差率よりも小さいことが満たされる蒸着マスク用基材１であっても、上記条件２，３を満たさない構成では、そもそもの過大な伸び差率に伴う大きな凹凸に起因して、開口径にばらつきが生じてしまうことも認められた。

また、実施例１，３と比較例３とでは、いずれも、中央部ＲＣでの伸び差率は、３×１０^−５以下であり、条件２を満たす。これに対して、実施例１，３では、いずれも、一方の端部ＲＥでの伸び差率が、中央部ＲＣでの伸び差率よりも小さく、上記条件１が満たされている一方で、比較例３では、各端部ＲＥでの伸び差率が、いずれも中央部ＲＣの伸び差率よりも大きく、上記条件１が満たされていない。また、実施例１，２では、両方の端部ＲＥでの伸び差率が、１５×１０^−５以下であり、上記条件３が満たされる一方、比較例３では、一方の端部ＲＥでの伸び差率が、１５×１０^−５以下を越え、上記条件３が満たされていない。そして、実施例１，２での開口径のばらつきは、２．０μｍ以下である一方、比較例３での開口径のばらつきは、２．０μｍよりも大きい。

結果として、これら実施例１，２と比較例３との比較からは、条件３が満たされないことによって、開口径のばらつきが生じることが認められた。言い換えれば、中央部ＲＣでの伸び差率が、両方の端部ＲＥでの伸び差率よりも小さい蒸着マスク用基材１では、一方の端部ＲＥでの伸び差率が、他方の端部ＲＥでの伸び差率よりも大幅に大きくとも、中央部ＲＣでの液だまりなどに起因して、開口径にばらつきが生じてしまうことも認められた。

上記実施形態によれば、以下に列挙する効果が得られる。
（１）マスク部３２が備える孔の形状や孔の大きさに関わる精度を高めること、ひいては、蒸着によって形成されるパターンの精度を高めることが可能となる。なお、レジストを露光する方法は、レジストに露光マスクを接触させる方法に限らず、レジストに露光マスクを接触させない露光であってもよい。レジストに露光マスクを接触させる方法であれば、露光マスクの表面に蒸着マスク用基材が押し付けられるため、蒸着マスク用基材が備える波形状に起因した露光精度の低下を抑えられる。いずれの露光方法であっても、液体で表面を加工する工程での精度は高められ、ひいては、蒸着によって形成されるパターンの精度を高めることが可能となる。

（２）現像液による現像の結果や、その洗浄液による洗浄の結果について、蒸着マスク用基材１の表面でのばらつきを抑えられる。結果として、露光工程と、現像工程とを経て形成される第１貫通孔２ａや第２貫通孔３ａについて、その形状や大きさの均一性を、蒸着マスク用基材１の表面内で高めることが可能となる。

（３）エッチング液によるエッチングの結果や、その洗浄液によるエッチング液の洗浄の結果について、蒸着マスク用基材１の表面でのばらつきを抑えられる。また、剥離液によるレジスト層の剥離の結果や、その洗浄液による剥離液の洗浄の結果について、蒸着マスク用基材１の表面でのばらつきを抑えられる。結果として、小孔３２ＳＨの形状や大きさ、また、大孔３２ＬＨの形状や大きさに関して、蒸着マスク用基材１の表面内での均一性を高めることが可能となる。

（４）１つのフレーム部３１に必要とされる孔３２Ｈの総数量を、例えば、３つのマスク部３２で担う。すなわち、１つのフレーム部３１に必要とされるマスク部３２の総面積を、例えば、３つのマスク部３２に分割している。そのため、１つのフレーム部３１においてマスク部３２の一部に変形が生じた場合であっても、１つのフレーム部３１の全てのマスク部３２を交換する必要はない。そして、変形したマスク部３２と交換される新たなマスク部３２の大きさを、１つのフレーム部３１に１つのマスク部３２を備える構成と比べて、１／３程度に小さくすることが可能ともなる。

（５）測定用基材２Ｍを用いた表面距離Ｌの測定では、測定用基材２Ｍの長手方向ＤＬでの両方の端部を、非計測範囲ＺＥとして、表面距離Ｌの測定対象から除外している。各非計測範囲ＺＥは、蒸着マスク用基材１の切断によって、蒸着マスク用基材１とは異なる波形状を有する可能性を有した範囲である。そのため、非計測範囲ＺＥを測定対象から除外する測定であれば、表面距離Ｌの精度を高めることが可能である。

Ｃ…コア、Ｆ…応力、Ｌ…表面距離、Ｓ…蒸着対象、Ｖ…空間、Ｗ…寸法、ＣＰ…クランプ、ＤＬ…長手方向、ＤＷ…幅方向、ＥＰ…電極、Ｈ１…第１開口、Ｈ２…第２開口、Ｌｍ…最小表面距離、ＰＣ…中心、ＰＲ…レジスト層、ＲＣ…中央部、ＲＥ…端部、ＲＭ…レジストマスク、ＳＨ…ステップハイト、ＳＰ…支持体、ＴＭ…中間転写基材、ＺＥ…非計測範囲、ＺＬ…計測範囲、ＥＰＳ…電極表面、１…蒸着マスク用基材、１ａ…母材、１ｂ…圧延材、１Ｓａ，３２１…第１面、１Ｓｂ，３２２…第２面、２…測定用基材、２ａ…第１貫通孔、２Ｓ…表面、３ａ…第２貫通孔、４…第１保護層、１０…マスク装置、２０…メインフレーム、２１…メインフレーム孔、３０…蒸着マスク、３１…フレーム部、３１Ｅ…内縁部、３２，３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ…マスク部、３２ＢＮ…接合部、３２Ｅ…外縁部、３２Ｈ…孔、３２Ｋ…基材、３２ＬＨ…大孔、３２ＳＨ…小孔、３３，３３Ａ，３３Ｂ，３３Ｃ…フレーム孔、５０…圧延装置、５１，５２…圧延ローラー、５３…アニール装置、６１…第２保護層、３１１…接合面、３１２…非接合面、３２３…マスク板。

Claims (6)

1. 複数の孔がエッチングによって形成されることによって蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材であって、
   前記金属板の幅方向での各位置における前記金属板の長手方向に沿った形状は相互に異なっており、各形状は前記金属板の長手方向に繰り返す凹凸を有する波形状であり、
   前記金属板の表面での長手方向の長さが表面距離であり、
   前記金属板の幅方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、
   前記最小表面距離に対する前記金属板の幅方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が伸び差率であり、
   前記金属板の幅方向での中央部の伸び差率が、３×１０^−５以下であり、
   前記金属板の幅方向での両方の端部の伸び差率が、１５×１０^−５以下であり、
   前記金属板の幅方向での両方の端部のなかの少なくとも一方での伸び差率は、前記金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さい、
   蒸着マスク用基材。
2. 前記金属板の幅方向での両方の端部のなかの一方での伸び差率のみが、前記金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さく、
   前記両方の端部での伸び差率の最大値の差は、３×１０^−５以上１１×１０^−５以下である
   請求項１に記載の蒸着マスク用基材。
3. 前記金属板の幅方向での両方の端部での伸び差率が、前記金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さく、
   前記両方の端部での伸び差率、および、前記中央部での伸び差率が、１×１０^−５以下である
   請求項１に記載の蒸着マスク用基材。
4. 複数の孔がエッチングによって形成されることによって蒸着マスクの製造に用いられる、帯状を有した金属板である蒸着マスク用基材の製造方法であって、
   母材を圧延して前記金属板を得ることを含み、
   前記金属板の幅方向での各位置における前記金属板の長手方向に沿った形状は相互に異なっており、各形状は前記金属板の長手方向に繰り返す凹凸を有する波形状であり、
   前記金属板の表面での長手方向の長さが表面距離であり、
   前記金属板の幅方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、
   前記最小表面距離に対する前記金属板の幅方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が伸び差率であり、
   前記金属板を得ることでは、
   前記金属板の幅方向での中央部の伸び差率が３×１０^−５以下であり、
   前記金属板の幅方向での両方の端部の伸び差率が１５×１０^−５以下であり、
   前記金属板の幅方向での両方の端部のなかの少なくとも一方での伸び差率が、前記金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さくなるように、前記母材を圧延する、
   蒸着マスク用基材の製造方法。
5. 帯状を有した金属板にレジスト層を形成することと、
   前記レジスト層をマスクとしたエッチングによって前記金属板に複数の孔を形成してマスク部を形成することと、を含む蒸着マスクの製造方法であって、
   前記金属板の幅方向での各位置における前記金属板の長手方向に沿った形状は相互に異なっており、各形状は前記金属板の長手方向に繰り返す凹凸を有する波形状であり、
   前記金属板の表面での長手方向の長さが表面距離であり、
   前記金属板の幅方向の各位置での表面距離のなかの最小値が最小表面距離であり、
   前記最小表面距離に対する前記金属板の幅方向の各位置での表面距離と前記最小表面距離との差分の比率が伸び差率であり、
   前記金属板を得ることでは、
   前記金属板の幅方向での中央部の伸び差率が３×１０^−５以下であり、
   前記金属板の幅方向での両方の端部の伸び差率が１５×１０^−５以下であり、
   前記金属板の幅方向での両方の端部のなかの少なくとも一方での伸び差率が、前記金属板の幅方向の中央部の伸び差率よりも小さい、
   蒸着マスクの製造方法。
6. 複数の前記マスク部に対して、前記各マスク部が別々に備える１つの側面であって前記孔の開口が形成された前記側面と、単一のフレーム部とを、前記各マスク部が有する前記複数の孔を前記単一のフレーム部が囲うように、相互に接合することをさらに含む
   請求項５に記載の蒸着マスクの製造方法。

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