JPWO2017169663A1 - 液晶表示装置及び電子機器 - Google Patents

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Abstract

液晶表示装置における焼き付きを改善することを課題とする。本開示の液晶表示装置は、表示に寄与する有効画素が配置されて成る有効画素部(21)、有効画素部(21)に隣接して設けられ、表示に寄与しないダミー画素が配置されて成るダミー画素部(22)、及び、有効画素部(21)の各有効画素及びダミー画素部(22)の各ダミー画素を、液晶(70)に印加する電圧を一定の周期にて基準電圧を中心に反転させて駆動する画素駆動部、を備える。有効画素及びダミー画素は共に、画素トランジスタ(11)及び保持容量(13)を有している。そして、基準電圧に対する画素電位の保持特性について、有効画素部の保持特性に比べてダミー画素部の保持特性を非対称にする。

Description

本開示は、液晶表示装置及び電子機器に関する。
液晶表示装置において、2枚の基板間に液晶を封入して成る液晶パネルには、液晶やシール材等からのイオン性不純物が存在する場合がある。このイオン性不純物は、液晶パネルの駆動によって表示領域の特定箇所に滞留すると、液晶の保持率が低下し、焼き付きとして視認される。焼き付きは、同じ画像を繰り返して表示させた場合などに、次の画面に切り替えたときに、前の画像が残像として視認される現象である。
従って、焼き付きの少ない表示を実現するには、焼き付きの原因となる液晶層中のイオン性不純物を低減することが重要となるが、イオン性不純物を完全に排除することは材料特性上困難である。そのため、従来は、表示領域の周りにイオン性不純物をトラップさせることで焼き付きの低減を行っていた。例えば、表示領域の周りにダミー画素領域を設け、ダミー画素電極と共通電極との間に、液晶の透過率を変化させる閾値電圧(最大2V)よりも小さい電圧を印加するようにしていた(例えば、特許文献1参照)。
特開2014−206622号公報
特許文献1に記載の従来技術は、ダミー画素電極を電子見切り部として機能させるとともに、表示領域からイオン性不純物をダミー画素電極に引き寄せる(トラップする)ことで、イオン性不純物の低減を図っている。しかしながら、特許文献1に記載の従来技術では、ダミー画素電極と共通電極との間に印加する電圧が最大で2V程度であるため、イオン性不純物をトラップする能力が弱く、しかも、表示領域端で液晶分子が作る流れが乱れて、イオン性不純物をダミー画素領域へ排出する障壁となる。
本開示は、有効画素部の液晶層中のイオン性不純物をダミー画素部へより確実に排出し、当該ダミー画素部分にイオン性不純物をトラップすることによって焼き付きを改善することができる液晶表示装置及び当該液晶表示装置を有する電子機器を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するための本開示の液晶表示装置は、
表示に寄与する有効画素が配置されて成る有効画素部、
有効画素部に隣接して設けられ、表示に寄与しないダミー画素が配置されて成るダミー画素部、及び、
有効画素部の各有効画素及びダミー画素部の各ダミー画素を、液晶に印加する電圧を一定の周期にて基準電圧を中心に反転させて駆動する画素駆動部、
を備え、
有効画素部及びダミー画素は共に、画素トランジスタ及び保持容量を有しており、
基準電圧に対する画素電位の保持特性について、有効画素部の保持特性に比べてダミー画素部の保持特性を非対称にする。また、上記の目的を達成するための本開示の電子機器は、上記の構成の液晶表示装置を有する。
上記の構成の液晶表示装置、あるいは、当該液晶表示装置を有する電子機器において、有効画素部の保持特性に比べてダミー画素部の保持特性を非対称にすることで、反転駆動によって液晶層内で発生する直流電圧成分が、有効画素部よりもダミー画素部の方が大きくなる。そして、ダミー画素部の液晶層内で発生する直流電圧成分の作用によって、有効画素部の液晶層中のイオン性不純物を、ダミー画素部の配向膜にトラップする。
本開示によれば、ダミー画素部の液晶層内で発生する直流電圧成分の作用によって、有効画素部の液晶層中のイオン性不純物を、ダミー画素部の配向膜にトラップすることで、有効画素部の液晶層中のイオン性不純物をダミー画素部へより確実に排出することができる。
尚、ここに記載された効果に必ずしも限定されるものではなく、本明細書中に記載されたいずれかの効果であってもよい。また、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって、これに限定されるものではなく、また付加的な効果があってもよい。
図1は、本開示の技術が適用されるアクティブマトリクス型液晶表示装置のシステム構成の一例を示すブロック図である。 図2Aは、画素の回路構成の一例を示す回路図であり、図2Bは、液晶パネルの平面構造の構成の概略を示す平面図である。 図3は、液晶層中のイオン性不純物の流れを模式的に示す表示パネルの断面図である。 図4は、有効画素部及びダミー画素部の残留DC、並びに、ダミー画素部における残留DCの作用によるイオン性不純物のトラップについての説明図である。 図5Aは、液晶分子の流れに沿って移動した際にイオン性不純物が偏在する場所の一例を示す平面図であり、図5Bは、図5Aの円Xの部分におけるイオン性不純物の流れを示す拡大図である。 図6Aは、有効画素の薄膜トランジスタの平面図であり、図6Bは、図6AのA−A’線に沿った断面図である。 図7Aは、実施例1に係るダミー画素の薄膜トランジスタの平面図であり、図7Bは、図7AのB−B’線に沿った断面図である。 図8は、実施例1に係るダミー画素の薄膜トランジスタの製造方法の手順を示す工程図である。 図9は、実施例2に係るダミー画素の薄膜トランジスタの製造方法の手順を示す工程図である。 図10Aは、実施例3に係るダミー画素の薄膜トランジスタの平面図であり、図10Bは、図10AのC−C’線に沿った断面図である。 図11は、実施例3に係るダミー画素の薄膜トランジスタの製造方法の手順を示す工程図である。 図12は、実施例4に係るダミー画素の薄膜トランジスタの平面図である。 図13は、実施例4に係るダミー画素の薄膜トランジスタの製造方法の手順を示す工程図である。 図14Aは、実施例5に係る有効画素及びダミー画素の回路図であり、図14Bは、有効画素及びダミー画素の画素電位の変化を示す波形図である。 図15は、実施例5に係る有効画素及びダミー画素の保持容量の製造方法の手順を示す工程図である。 図16は、本開示の液晶表示装置(液晶パネル)を用いる3板式投射型表示装置の光学系の概略を示す構成図である。
以下、本開示の技術を実施するための形態(以下、「実施形態」と記述する)について図面を用いて詳細に説明する。本開示の技術は実施形態に限定されるものではなく、実施形態における種々の数値や材料などは例示である。以下の説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。尚、説明は以下の順序で行う。
1.本開示の液晶表示装置及び電子機器、全般に関する説明
2.本開示の技術が適用される液晶表示装置
2−1.システム構成
2−2.画素の回路構成
2−3.表示パネルの平面構造
2−4.イオン性不純物の流れ
3.本開示の一実施形態
3−1.実施例1(LDD領域の長さについて、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称にする例)
3−2.実施例2(LDD領域の濃度について、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称にする例)
3−3.実施例3(ゲート絶縁膜の膜厚について、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称にする例)
3−4.実施例4(ゲート電極へのコンタクト部とLDD領域との間の距離について、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称にする例)
3−5.実施例5(ダミー画素の保持容量の容量値を、有効画素の保持容量の容量値よりも小さくする例)
4.本開示の電子機器(投射型表示装置の例)
5.本開示の構成
<本開示の液晶表示装置及び電子機器、全般に関する説明>
本開示の液晶表示装置及び電子機器にあっては、液晶表示装置について、画面背面に置いた光源(バックライト)からの光を透過/遮断して表示する透過型であってもよいし、外光を光源として,その反射によって表示する反射型であってもよい。また、本開示の技術は、液晶モードによらず、あらゆる液晶モードの液晶表示装置に対応可能である。
そして、本開示の液晶表示装置及び電子機器にあっては、画素トランジスタの特性について、有効画素部の有効画素とダミー画素部のダミー画素とで異なる構成とすることができる。
上述した好ましい構成を含む本開示の液晶表示装置及び電子機器にあっては、画素トランジスタが低濃度不純物ドレイン領域を有するとき、ダミー画素部の画素トランジスタについて、低濃度不純物ドレイン領域の長さが、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称、あるいは又、低濃度不純物ドレイン領域の濃度が、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である構成とすることができる。また、ダミー画素について、ゲート絶縁膜の膜厚が、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である構成とすることができる。
また、上述した好ましい構成を含む本開示の液晶表示装置及び電子機器にあっては、画素トランジスタが、低濃度不純物ドレイン領域を有し、ゲート電極へのコンタクト部が低濃度不純物ドレイン領域の近傍にゲート長方向に沿って形成されているとき、ダミー画素について、低濃度不純物ドレイン領域とコンタクト部との間の距離が、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である構成とすることができる。
あるいは又、上述した好ましい構成を含む本開示の液晶表示装置及び電子機器にあっては、ダミー画素の保持容量の容量値について、有効画素の保持容量の容量値よりも小さい構成とすることができる。
あるいは又、上述した好ましい構成を含む本開示の液晶表示装置及び電子機器にあっては、画素駆動部について、ダミー画素に対して有効画素と同一の駆動を行う構成とすることができる。
あるいは又、上述した好ましい構成を含む本開示の液晶表示装置及び電子機器にあっては、画素電極の液晶側及び画素電極に対向する対向電極の液晶側に、配向膜が形成されているとき、配向膜について斜方蒸着膜から成る構成とすることができる。更に、ダミー画素について、遮光されている構成とすることができる。
<本開示の技術が適用される液晶表示装置>
先ず、本開示の技術が適用される液晶表示装置について、アクティブマトリクス型液晶表示装置を例に挙げて説明する。アクティブマトリクス型液晶表示装置は、画素の各々に対して独立した画素電極を配置し、これら画素電極の各々にスイッチング素子を接続して画素を選択的に駆動する、所謂、アクティブマトリクス駆動方式の表示装置である。
アクティブマトリクス型液晶表示装置では、第1の基板及び第2の基板の2枚の基板間に液晶を封入することによって液晶パネルが構成される。第1の基板は、スイッチング素子として例えばTFT(Thin Film Transistor;薄膜トランジスタ)が形成されたTFT基板である。第2の基板は、カラーフィルタや対向電極等が形成され、TFT基板に対して対向して設けられる対向基板である。そして、液晶パネルにおいて、スイッチング素子によるスイッチング制御と映像信号に基づく電圧印加によって液晶の配向を制御し、光の透過率を変えることで映像表示が行われる。
アクティブマトリクス型液晶表示装置では、交流駆動化されたアナログ映像信号を用いて、液晶に印加する電圧を一定の周期にて基準電圧を中心に反転させる反転駆動が行われる。ここで、「交流駆動化されたアナログ映像信号」とは、基準電圧VCOM(以下、「コモン電圧VCOM」と呼ぶ)を中心に所定の周期にて極性が反転するアナログ映像信号のことを言う。液晶に同極性の直流電圧を印加し続けた場合には、液晶の比抵抗(物質固有の抵抗値)等が劣化し易くなるが、アナログ映像信号を交流駆動化することで、この液晶劣化を防ぐことができる。
[システム構成]
本開示の技術が適用されるアクティブマトリクス型液晶表示装置のシステム構成の一例を図1に示す。図1に示すように、本適用例に係るアクティブマトリクス型液晶表示装置は、画素10が行方向及び列方向に2次元配列されて成る画素アレイ部20、及び、画素アレイ部20の各画素10を駆動する画素駆動部を有する。画素駆動部は、画素アレイ部20の各画素10を行単位で順次選択する垂直駆動部30A,30B、及び、行単位で選択された各画素10に交流駆動化されたアナログ映像信号を供給する水平駆動部40等から成る。
画素アレイ部20は、m行n列の画素配列となっている。このm行n列の画素配列に対して、画素行毎に走査線51(511,512,…,51m)が配線され、画素列毎に信号線52(521,522,…,52m)が配線されている。走査線51の両端は、垂直駆動部30A及び垂直駆動部30Bの対応する行の出力端に接続されている。信号線52の一端は、水平駆動部40の対応する列の出力端に接続されている。
尚、本例では、垂直駆動部30A及び垂直駆動部30Bを、画素アレイ部20を挟んで配置した両側駆動の構成を例に挙げたが、画素アレイ部20の一方側にのみ配置する片側駆動の構成とすることも可能である。但し、両側駆動の構成の方が、片側駆動の構成に比べて、走査線51によって各画素10に行単位で伝送される走査信号の伝播遅延を低減できる効果がある。
[画素の回路構成]
画素10の回路構成の一例を図2Aに示す。図2Aに示すように、画素10は、スイッチング素子として画素トランジスタ、例えば薄膜トランジスタ11を有する。薄膜トランジスタ11は、ゲート電極が走査線51(511,512,…,51m)に接続され、ソース電極が信号線52(521,522,…,52m)に接続されており、信号線52を通して供給される映像信号(画素電位)を画素10内に書き込む。
薄膜トランジスタ11のドレイン電極には、画素電極12が接続されている。薄膜トランジスタ11のドレイン電極には更に、保持容量13の一方の電極が接続されている。保持容量13は、薄膜トランジスタ11によって書き込まれた画素電位を保持する。保持容量13の他方の電極は、コモン線53に接続されている。コモン線53には、所定の直流電圧あるいは交流電圧がコモン電圧VCOMとして与えられる。このコモン電圧VCOMは、反転駆動の際の基準電圧となる。尚、図1では、図面の簡略化のために、コモン線53の図示を省略している。
[表示パネルの平面構造]
2枚の基板間に液晶を封入して成る液晶パネルの構成について説明する。液晶パネルの平面構造の構成の概略を図2Bに示す。図2Bに示すように、液晶パネル60は、画素10が行方向及び列方向に2次元配列されて成る画素アレイ部20の周りに周辺回路部61を有する。この周辺回路部61には、先述した垂直駆動部30A,30Bや、水平駆動部40等を含む画素駆動部が配置される。
画素アレイ部20は、表示に寄与する有効画素が配置されて成る有効画素部(有効画素領域)21、及び、有効画素部21に隣接して設けられ、表示に寄与しないダミー画素が配置されて成るダミー画素部(ダミー画素領域)22から成る。有効画素部21の各画素と、ダミー画素部22の各画素とは、同じ回路構成となっている。すなわち、図2Aに示すように、有効画素部21の各画素も、ダミー画素部22の各画素も、薄膜トランジスタ11、画素電極12、及び、保持容量13を有する回路構成となっている。
但し、有効画素部21の各画素が、入射光を取り込む開口部を有するのに対して、ダミー画素部22の各画素は、開口率ゼロの遮光された構成となっている。この遮光された構成のダミー画素部22は、有効画素部21の液晶層中のイオン性不純物をトラップするために設けられた領域である(その詳細については後述する)。このイオン性不純物は、液晶パネル60の駆動によって有効画素部21の特定箇所に滞留すると、液晶の保持率が低下し、焼き付きとして視認される。従って、焼き付きの少ない表示を実現するには、焼き付きの原因となる液晶層中のイオン性不純物を低減することが重要となる。
[イオン性不純物の流れ]
ここで、焼き付きの原因となる液晶層中のイオン性不純物の流れについて、図3を用いて説明する。図3は、液晶層中のイオン性不純物の流れを模式的に示す表示パネル60の断面図である。図3中、白抜きの矢印がイオン性不純物の流れを示している。
表示パネル60は、第1の基板としてのTFT基板と、第2の基板としての対向基板との間に、液晶分子LCが封入されて成る液晶層70が介在する構成となっている(図3では、TFT基板及び対向基板の図示を省略)。TFT基板側には、例えばITO(酸化インジウムスズ)から成る画素電極12が画素単位で(画素毎に)設けられている。そして、画素電極12の内側(液晶層70側)には、画素電極12を覆うように配向膜62が形成されている。
一方、対向基板側には、例えばITOから成る共通電極14が全画素共通に設けられている。共通電極14には、コモン電圧VCOMが印加される。そして、共通電極14の内側(液晶層70側)には、共通電極14の全面に亘って配向膜63が形成されている。TFT基板側の配向膜62及び対向基板側の配向膜63は共に、例えば、所定の方向から斜め蒸着して形成される斜方蒸着膜から成る。
上記の構成の表示パネル60において、画素電極12と共通電極14との間に交流電圧を印加して液晶層70を駆動することにより、液晶分子LCは、画素電極12と共通電極14との間に生ずる電界に応じて挙動(振動)する。そして、TFT基板側の配向膜62及び対向基板側の配向膜63と液晶層70との界面近傍に、配向膜62,63の斜め蒸着方向に液晶分子LCの振動に応じた流れが生ずる。
ここで、仮に、液晶層70に極性が正のイオン性不純物IP又は負のイオン性不純物INが含まれていると、イオン性不純物IP,INは、液晶分子LCが作る流れに沿って有効画素部21の特定箇所、例えば角部に向かって移動し、当該角部に滞留する場合がある。そして、有効画素部21の特定箇所にイオン性不純物IP,INが滞留すると、液晶の保持率が低下し、焼き付きとして視認される。
<本開示の一実施形態>
本開示の一実施形態に係る液晶表示装置(アクティブマトリクス型液晶表示装置)は、焼き付きの原因となる液晶層70中のイオン性不純物IP,INを有効画素部21において低減し、焼き付きが視認されない表示を実現するためになされたものである。
具体的には、本実施形態に係るアクティブマトリクス型液晶表示装置では、有効画素部21に隣接するダミー画素部22(図2B参照)において、斜方蒸着膜から成るTFT基板側の配向膜62及び対向基板側の配向膜63に、焼き付きの原因となる液晶層70中のイオン性不純物IP,INをトラップする。これにより、有効画素部21のイオン性不純物IP,INをダミー画素部22へより確実に排出し、有効画素部21における焼き付きを低減することができる。
本実施形態では、ダミー画素部22の配向膜(斜方蒸着膜)62,63に、有効画素部21の液晶層70中のイオン性不純物IP,INをトラップするために、先ず、有効画素部21の各有効画素と同じ回路構成のダミー画素部22の各ダミー画素の駆動を、有効画素部21の各有効画素と同一とする。具体的には、薄膜トランジスタ11が書き込む画素電位について、有効画素及びダミー画素共に、共通電極14に印加されるコモン電圧VCO M(図2A参照)に対して反転駆動させる。この有効画素及びダミー画素に対する同一の駆動(即ち、反転駆動)は、垂直駆動部30A,30Bや水平駆動部40等を含む画素駆動部による駆動の下に実行される。
ここで、アクティブマトリクス型液晶表示装置では、画素に光が入射すると、画素トランジスタである薄膜トランジスタ11でリーク(光リーク)が生じる。この光リークを踏まえて、反転駆動において、コモン電圧VCOMに対するHigh側とLow側の実効的な画素電位が略同じになるように、表示パネル60毎に、コモン電圧VCOMの設定が行われる。従って、画素電位の保持特性のコモン電圧VCOMに対する対称性が崩れると、液晶層70内で直流電圧成分が発生する。以下、この直流電圧成分を残留DCと呼ぶ。コモン電圧VCOMは、有効画素部21の光リークに合わせて設定されるため、有効画素部21では残留DCが小さい。
本実施形態では、上記の反転駆動において、画素電位の保持特性のコモン電圧VCOMに対する非対称性を、有効画素部21に比べてダミー画素部22で顕著になるように変化させる。換言すれば、コモン電圧VCOMに対する画素電位の保持特性について、有効画素部21の保持特性に比べてダミー画素部22の保持特性を非対称にする。このとき、画素電位のHigh/Lowのバランスについては不問とする。
コモン電圧VCOMに対する非対称性がダミー画素部22で顕著になる、即ち、画素電位の保持特性が有効画素部21に比べてダミー画素部22の方が非対称になることで、ダミー画素部22の残留DCの発生が、有効画素部21の残留DCの発生に比べて顕著になる。そして、有効画素部21の残留DCよりも大きいダミー画素部22の残留DCの作用により、有効画素部21の液晶層70中のイオン性不純物IP,INを、ダミー画素部22の配向膜(斜方蒸着膜)62,63にトラップさせる。
上述したように、コモン電圧VCOMに対する画素電位の保持特性について、有効画素部21の保持特性に比べてダミー画素部22の保持特性を非対称にし(即ち、非対称性を顕著にし)、ダミー画素部22の残留DCを有効画素部21の残留DCよりも大きくなるようにする。そして、このダミー画素部22の残留DCの作用により、図4に示すように、ダミー画素部22において、斜方蒸着膜から成る配向膜62,63に、有効画素部21の液晶層70中に存在するイオン性不純物IP,INをトラップできる。
特に、本実施形態では、有効画素部21の各有効画素と同じ回路構成のダミー画素部22の各ダミー画素の駆動を、有効画素部21の各有効画素と同一の駆動(反転駆動)としているため、イオン性不純物IP,INの流れを有効画素部21とダミー画素部22とで均一にすることができる。これにより、有効画素部21の液晶層70中に存在するイオン性不純物IP,INの、ダミー画素部22への侵入障壁を下げることができるため、トラップ効率を向上できる。
因みに、イオン性不純物IP,INは、先述したように、液晶分子LCが作る流れに沿って有効画素部21の角部(図5Aの円Xの部分)に向かって移動する。このとき、イオン性不純物IP,INの流れが有効画素部21とダミー画素部22とで均一でないと、有効画素部21とダミー画素部22との境界部分でイオン性不純物IP,INが滞留することになる。
これに対して、本実施形態によれば、ダミー画素部22への侵入障壁を下げることができるために、図5Bに示すように、有効画素部21のイオン性不純物IP,INをダミー画素部22へより確実に排出することができる。図5Aの円Xの部分におけるイオン性不純物IP,INの流れを拡大して示す図5Bにおいて、実線の矢印は、対向基板側のイオン性不純物IP,INの流れを示し、点線の矢印は、TFT基板側のイオン性不純物IP,INの流れを示しているが、この流れは共に逆方向であってもよい。
更に、本実施形態では、有効画素部21の各有効画素と同じ回路構成のダミー画素部22の各ダミー画素の駆動を、有効画素部21の各有効画素と同一の駆動(反転駆動)としているため、ダミー画素部22の各ダミー画素を駆動するための専用の駆動回路が不要である。これにより、画素駆動部を含むドライバIC等への負担が少ないというメリットもある。
以下に、コモン電圧VCOMに対する画素電位の保持特性について、有効画素部21の保持特性に比べてダミー画素部22の保持特性を非対称にする(非対称性を顕著にする)、即ち、ダミー画素部22の残留DCを有効画素部21の残留DCよりも大きくするための具体的な実施例について説明する。
以下に説明する実施例1乃至実施例4は、ダミー画素部22の残留DCを有効画素部21の残留DCよりも大きくするに当たって、画素電位を書き込む薄膜トランジスタ11の特性を、有効画素部21の有効画素とダミー画素部22のダミー画素とで異ならせる例である。
先ず、有効画素部21の有効画素の薄膜トランジスタ11の構造について説明する。有効画素の薄膜トランジスタ11の平面図を図6Aに示し、図6AのA−A’線に沿った断面図を図6Bに示す。有効画素の薄膜トランジスタ11は、最下層にゲート線(ボトムゲート)71が設けられ、その上の層としてゲート絶縁膜72が設けられている。ゲート絶縁膜72の上には、中央部にチャネル領域73が形成され、一方の端部に一方のソース/ドレイン領域74Aが、他方の端部に他方のソース/ドレイン領域74Bがそれぞれ形成されている。また、ゲート絶縁膜72の上において、一方のソース/ドレイン領域74A及び他方のソース/ドレイン領域74Bとチャネル領域73との間には、LDD(Lightly Doped Drain;低濃度不純物ドレイン)領域75A,75Bが形成されている。
チャネル領域73、ソース/ドレイン領域74A,74B、及び、LDD領域75A,75Bを含む層の上には、ゲート絶縁膜76が形成されている。尚、図6Bでは、ゲート絶縁膜76の図示を省略している。ゲート絶縁膜76の上には、チャネル領域73と対向してゲート電極(トップゲート)77が形成れている。また、ソース/ドレイン領域74A,74Bは、コンタクト部79A,79Bによって電気的に接続されている。
上記の構成の有効画素の薄膜トランジスタ11では、図6Aに示すように、ゲート電極77とゲート線71とのコンタクト部80A,80Bが、遮光を兼ねてLDD領域75A,75Bの近傍に、ゲート長方向(図6Aの上下方向)に沿って形成されている。
図6A及び図6Bから明らかなように、有効画素の薄膜トランジスタ11は、LDD領域75A,75Bの長さ、及び、ゲート絶縁膜76の膜厚が、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで対称となっている。LDD領域75A,75Bの濃度についても、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで対称となっている。また、LDD領域75A,75Bとコンタクト部80A,80Bとの間の距離が、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで対称となっている。
[実施例1]
実施例1は、LDD領域75A,75Bを有するダミー画素の薄膜トランジスタ11において、LDD領域75A,75Bの長さ(LDD長)について、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称にする例である。尚、有効画素の薄膜トランジスタ11においても、LDD長等が一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称であってもよい。この場合、ダミー画素の薄膜トランジスタ11は、有効画素の薄膜トランジスタ11よりもその非対称性が顕著であればよい。実施例1に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11の平面図を図7Aに示し、図7AのB−B’線に沿った断面図を図7Bに示す。
実施例1に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11では、LDD領域75について、一方のソース/ドレイン領域74A側を省略し、他方のソース/ドレイン領域74B側のみに設けた構成となっている。すなわち、LDD長に関して、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称な構成となっている。これにより、ダミー画素の薄膜トランジスタ11の特性を、有効画素の薄膜トランジスタ11の特性と異ならせることができる。
ダミー画素部22には、遮光しているため光が入射しない。ダミー画素の薄膜トランジスタ11において、ソース−ドレイン間のリーク電流は、チャネル領域73−LDD領域75間の接続部におけるPN接合の電界強度で決まる。この電界強度を下げるために、LDD領域75を形成することが一般的である。そして、ダミー画素の薄膜トランジスタ11において、LDD領域75の長さを、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称に設計することにより、コモン電圧VCOMに対する画素電位の保持特性を非対称にすることができる。
尚、本実施例では、LDD領域75について、一方のソース/ドレイン領域74A側を省略することで、LDD領域75の長さに関して、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称としているが、これに限らない。具体的には、LDD領域75の長さに関して、他方のソース/ドレイン領域74B側を省略するようにしても、コモン電圧VCOMに対する画素電位の保持特性を非対称にすることができる。
また、LDD領域75A,75Bの長さを、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで異ならせる、例えば、0.5μm以上異ならせることによっても、コモン電圧VCOMに対する画素電位の保持特性を非対称にすることができる。ここで例示した数値は、デバイス特性上差が出るおおよその値である。但し、デバイス設計によっては、上記の数値以下でもデバイス特性上差が出る。
(製造方法)
次に、実施例1に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11の製造方法について、図8の工程図を用いて説明する。
工程1では、ゲート線(ボトムゲート)71、ボトムゲート側のゲート絶縁膜72、チャネル領域73となる半導体層73A、及び、トップゲート側のゲート絶縁膜76まで形成し、チャネル領域73のためのイオン注入を行う。工程2では、ゲート線71に対するコンタクト部80A,80B(図7A参照)及びゲート電極(トップゲート)77を形成し、当該ゲート電極77をマスクとしてセルフアラインにてLDD領域75のためのイオン注入を行う。
次に、工程3では、例えば、他方のソース/ドレイン領域74B側のLDD形成領域のみを覆うようにレジスト82を形成し、ゲート電極77及びレジスト82をマスクとしてイオン注入を行ってソース/ドレイン領域74A,74Bを形成する。工程4では、層間膜83の形成、活性化アニール、ソース/ドレイン領域74A,74Bに対するコンタクト部79A,79Bの形成を行う。以降、配線工程となる。
本製造方法では、LDD領域75について、一方のソース/ドレイン領域74A側を省略する場合を例に挙げて説明したが、他方のソース/ドレイン領域74B側を省略する場合であっても、LDD長を変える場合であっても、工程3において、レジスト82の形成位置を変えることによって対応できる。
[実施例2]
実施例2は、実施例1の変形例であり、LDD領域75A,75Bを有するダミー画素の薄膜トランジスタ11において、LDD領域75A,75Bの濃度について、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称にする例である。
実施例2に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11では、一方のソース/ドレイン領域74A側のLDD領域75Aの濃度と、他方のソース/ドレイン領域74B側のLDD領域75Bの濃度とが異なるようにする。より具体的には、一方のソース/ドレイン領域74A側のLDD領域75Aの不純物濃度を相対的に濃くし、他方のソース/ドレイン領域74B側のLDD領域75Bの不純物濃度を相対的に薄くし、その差を例えば2倍以上とする。これにより、LDD長を非対称にする実施例1の場合と同様に、ダミー画素の薄膜トランジスタ11の特性を、有効画素の薄膜トランジスタ11の特性と異ならせことができる。
尚、本実施例では、一方のソース/ドレイン領域74A側のLDD領域75Aの不純物濃度を相対的に濃くし、他方のソース/ドレイン領域74B側のLDD領域75Bの不純物濃度を相対的に薄くするとしたが、その逆でもよい。また、ここで例示した数値は、デバイス特性上差が出るおおよその値である。但し、デバイス設計によっては、上記の数値以下でもデバイス特性上差が出る。
(製造方法)
次に、実施例2に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11の製造方法について、図9の工程図を用いて説明する。
ここでは、説明の簡略化のために、実施例1の工程1に相当する処理、及び、実施例1の工程2に相当する処理については省略する。実施例1の工程1に相当する処理は、ゲート線71、ゲート絶縁膜72、チャネル領域73となる半導体層73A、及び、ゲート絶縁膜76まで形成し、チャネル領域73のためのイオン注入を行う処理である。実施例1の工程2に相当する処理は、実施例1の工程2に相当する処理、即ち、ゲート線71に対するコンタクト部80A,80B及びゲート電極77を形成し、当該ゲート電極77をマスクとしてセルフアラインにてLDD領域75Bのためのイオン注入を行う処理である。
図9において、工程1では、ゲート電極77及びLDD領域75Bを覆うようにレジスト82を形成し、ゲート電極77及びレジスト82をマスクとしてLDD領域75Aのためのイオン注入を行う。ここで、LDD領域75Aの不純物濃度を相対的に濃く設定し、LDD領域75Bの不純物濃度を相対的に薄く設定する。
次に、工程2では、ゲート電極77及びLDD領域75A,75Bを覆うようにレジスト84を形成し、レジスト83をマスクとしてイオン注入を行ってソース/ドレイン領域74A,74Bを形成する。工程3では、層間膜83の形成、活性化アニール、ソース/ドレイン領域74A,74Bに対するコンタクト部79A,79Bの形成、及び、ゲート電極77に対するコンタクト部80A,80B(図7A参照)の形成を行う。以降、配線工程となる。
[実施例3]
実施例3は、ダミー画素の薄膜トランジスタ11において、ゲート絶縁膜の膜厚について、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称にする例である。実施例3に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11の平面図を図10Aに示し、図10AのC−C’線に沿った断面図を図10Bに示す。
実施例3に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11では、トップゲート側のゲート絶縁膜76について、一方のソース/ドレイン領域74A側の膜厚と、他方のソース/ドレイン領域74B側の膜厚とが異なるようにする。より具体的には、一方のソース/ドレイン領域74A側のゲート絶縁膜76の膜厚を相対的に薄くし、他方のソース/ドレイン領域74B側のゲート絶縁膜76の膜厚を相対的に厚くし、それらの膜厚が例えば10nm以上異なるようにする。
画素トランジスタにおいて、ソース−ドレイン間リークは、ゲート電極からの電界によっても影響を受けることが、GIDL(Gate Induced Drain Leakage)として知られている。ゲート絶縁膜76が薄いほど、ゲート電極からの電界の影響が大きくなる。従って、ゲート絶縁膜76の膜厚について、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称にすることで、コモン電圧VCOMに対する画素電位の保持特性を非対称にすることができる。
尚、本実施例では、一方のソース/ドレイン領域74A側のゲート絶縁膜76の膜厚を相対的に薄くし、他方のソース/ドレイン領域74B側のゲート絶縁膜76の膜厚を相対的に厚くするとしたが、その逆でもよい。また、ここで例示した数値は、デバイス特性上差が出るおおよその値である。但し、デバイス設計によっては、上記の数値以下でもデバイス特性上差が出る。
(製造方法)
次に、実施例3に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11の製造方法について、図11の工程図を用いて説明する。ここでは、説明の簡略化のために、実施例1の工程1に相当する処理、即ち、ゲート線71、ゲート絶縁膜72、チャネル領域73となる半導体層73A、及び、ゲート絶縁膜76まで形成し、チャネル領域73のためのイオン注入を行う処理については省略する。
工程1では、トップゲート側のゲート絶縁膜76の半分の位置までレジスト85を形成し、レジスト85をマスクとしてゲート絶縁膜76を加工する。加工についてはウェット加工でもドライ加工でも、ゲート絶縁膜76をエッチングできるものなら何でもよい。工程2では、ゲート線71に対するコンタクト部80A,80B及びゲート電極(トップゲート)77を形成し、当該ゲート電極77をマスクとしてセルフアラインにてLDD領域75A,75Bのためのイオン注入を行う。
次に、工程3では、ゲート電極77及びLDD領域75A,75Bを覆うようにレジスト82を形成し、当該レジスト82をマスクとしてイオン注入を行ってソース/ドレイン領域74A,74Bを形成する。工程4では、層間膜83の形成、活性化アニール、ソース/ドレイン領域74A,74Bに対するコンタクト部79A,79Bの形成、及び、ゲート電極77に対するコンタクト部80A,80B(図10A参照)の形成を行う。以降、配線工程となる。
[実施例4]
実施例4は、ゲート線71とゲート電極77とのコンタクト部80A,80BがLDD領域75A,75Bの近傍にゲート長方向に沿って形成されているダミー画素の薄膜トランジスタ11において、LDD領域75A,75Bとコンタクト部80A,80Bとの間の距離について、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称にする例である。実施例4に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11の平面図を図12に示す。
実施例4に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11では、コンタクト部80AとLDD領域75Aとの間の距離を、コンタクト部80BとLDD領域75Bとの間の距離よりも0.2μm以上短くすることで、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称にしている。
ゲート電極77へのコンタクト部80A,80Bが、LDD領域75A,75Bの近傍にゲート長方向(図12の上下方向)に沿って形成されている場合、平面図上のコンタクト部80A,80B−LDD領域75A,75B間の距離(平面距離)が、トップゲート側のゲート絶縁膜76の膜厚に相当する。従って、LDD領域75A,75Bとコンタクト部80A,80Bとの間の距離について、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称にすることにより、コモン電圧VCOMに対する画素電位の保持特性を非対称にすることができる。
尚、本実施例では、コンタクト部80AとLDD領域75Aとの間の距離を、コンタクト部80BとLDD領域75Bとの間の距離よりも短くするとしたが、その逆でもよい。また、ここで例示した数値は、デバイス特性上差が出るおおよその値である。但し、デバイス設計によっては、上記の数値以下でもデバイス特性上差が出る。
(製造方法)
次に、実施例4に係るダミー画素の薄膜トランジスタ11の製造方法について、図13の工程図を用いて説明する。
工程1では、ゲート線(ボトムゲート)71、ボトムゲート側のゲート絶縁膜72、チャネル領域73となる半導体層73A、及び、トップゲート側のゲート絶縁膜76まで形成し、チャネル領域73のためのイオン注入を行う。工程2では、ゲート線71に対するコンタクト部80A,80B及びゲート電極(トップゲート)77を形成し、当該ゲート電極77をマスクとしてセルフアラインにてLDD領域75A,75Bのためのイオン注入を行う。
次に、工程3では、ゲート電極77及びLDD領域75A,75Bを覆うようにレジスト82を形成し、当該レジスト82をマスクとしてイオン注入を行ってソース/ドレイン領域74A,74Bを形成する。工程4では、層間膜83の形成、活性化アニール、ソース/ドレイン領域74A,74Bに対するコンタクト部79A,79Bの形成、及び、ゲート電極77に対するコンタクト部80A,80B(図10A参照)の形成を行う。以降、配線工程となる。
上述した製造方法において、ゲート線71とゲート電極77とのコンタクト部80A,80Bの平面的なレイアウトを変えることで、LDD領域75A,75Bとコンタクト部80A,80Bとの間の距離について、一方のソース/ドレイン領域74A側と他方のソース/ドレイン領域74B側とで非対称にすることができる。
[実施例5]
実施例5は、ダミー画素の保持容量の容量値を、有効画素の保持容量の容量値よりも小さく設定することで、コモン電圧VCOMに対する画素電位の保持特性を非対称にする例である。実施例5に係る有効画素及びダミー画素の回路図を図14Aに示し、有効画素及びダミー画素の画素電位の波形図を図14Bに示す。ここで、ダミー画素の保持容量13を保持容量13Aとし、有効画素の保持容量13を保持容量13Bとする。
実施例5に係る有効画素及びダミー画素は、ダミー画素の保持容量13Aの容量値Csaを、有効画素の保持容量13Bの容量値Csbよりも小さく設定した構成となっている。保持容量13の容量値Csについては、保持容量13の電極面積、誘電膜の膜厚(電極間距離)、誘電膜の膜種を変えることによって容量値Csを変えることができる。図14Aでは、保持容量13の容量値Csの違いを、保持容量13のシンボルの大小で模式的に表している。
このように、ダミー画素の保持容量13Aの容量値Csaと有効画素の保持容量13Bの容量値Csbとを異ならせることにより、薄膜トランジスタ11として同じリーク電流でも、画素電位の低下の仕方を変えることができる。具体的には、ダミー画素の保持容量13Aの容量値Csaを、有効画素の保持容量13Bの容量値Csbよりも小さくすることで、図14Bに示すように、ダミー画素の暗時リーク(遮光状態でのリーク)が有効画素の光リーク(光照射時のリーク)よりも低下の度合いが大きくなる。これにより、コモン電圧V COMに対する画素電位の保持特性について、有効画素部21の保持特性に比べてダミー画素部22の保持特性を非対称にする(即ち、非対称性を顕著にする)ことができる。
(製造方法)
次に、実施例5に係る有効画素及びダミー画素の保持容量の製造方法について、図15の工程図を用いて説明する。
従来技術では、有効画素部21及びダミー画素部22を問わず、画素アレイ部20全体に亘って、有効画素及びダミー画素の各保持容量について、下部電極91、誘電体92、及び、上部電極93を順に形成していた。下部電極91及び上部電極93については、同じ材質でも、異種材質でも構わない。
続いて、実施例5に係る保持容量の製造方法について説明する。工程1では、下部電極91及び第1の誘電体92を形成し、しかる後、ダミー画素部22のみをレジスト84で覆い、有効画素部22の第1の誘電体92を除去する。工程2では、第2の誘電体95を形成する。第2の誘電体95については、第1の誘電体92と同じ材質でも、異種材質でも構わない。工程3では、上部電極93を形成する。従来と同様、下部電極91及び上部電極93については、同じ材質でも、異種材質でも構わない。
尚、本実施例では、誘電体の膜厚(下部電極91と上部電極93との間の距離)を変える場合を例に挙げて説明したが、電極面積を変える場合は、プロセスは従来技術と同じとなる。但し、平面的なレイアウトを変えることになる。
<本開示の電子機器>
以上説明した本開示の液晶表示装置は、電子機器に入力された映像信号、若しくは、電子機器内で生成した映像信号を、画像若しくは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示部(表示装置)として用いることができる。一例として、テレビジョンセット、投射型表示装置(プロジェクタ)、デジタルスチルカメラ、ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話機等の携帯端末装置、ビデオカメラなどの表示部として用いることができる。
本開示の液晶表示装置は、封止された構成のモジュール形状のものをも含む。一例として、画素アレイ部に透明なガラス等の対向部が貼り付けられて形成された表示モジュールが該当する。尚、表示モジュールには、外部から画素アレイ部への信号等を入出力するための回路部やフレキシブルプリントサーキット(FPC)などが設けられていてもよい。以下に、本開示の液晶表示装置を用いる電子機器の具体例として、投射型表示装置(プロジェクタ)を例示する。但し、ここで例示する具体例は一例に過ぎず、これに限られるものではない。
[投射型表示装置]
図16は、本開示の液晶表示装置(液晶パネル)を用いる、例えば3板式投射型表示装置の光学系の概略を示す構成図である。
図16において、白色ランプ等の光源101から発せられる白色光は、偏光変換素子102でP偏光からS偏光に変換された後、フライアイレンズ103で照明の均一化が図られてダイクロイックミラー104に入射する。そして、特定の色成分、例えばR(赤色)の光成分のみがダイクロイックミラー104を透過し、残りの色の光成分はダイクロイックミラー104で反射される。ダイクロイックミラー104を透過したRの光成分は、ミラー105で光路変更された後、レンズ106Rを通してRの液晶パネル107Rに入射する。
ダイクロイックミラー104で反射された光成分については、例えばG(緑色)の光成分がダイクロイックミラー108で反射されるとともに、B(青色)の光成分が当該ダイクロイックミラー108を透過する。ダイクロイックミラー108で反射されたGの光成分は、レンズ106Gを通してGの液晶パネル107Gに入射する。ダイクロイックミラー108を透過したBの光成分は、レンズ109を通過した後ミラー110で光路変更され、更にレンズ111を通過した後ミラー112で光路変更され、レンズ106Bを通してBの液晶パネル107Bに入射する。
尚、図16には示していないが、液晶パネル107R,107G,107Bの入射側及び出射側にはそれぞれ偏光板が配置される。周知の通り、入射側及び出射側の一対の偏光板を、偏光方向が互いに垂直(クロスニコル)になるように設置することでノーマリホワイトモードを設定でき、偏光方向が互いに平行(パラレルニコル)になるように設置することでノーマリブラックモードを設定できる。
液晶パネル107R,107G,107Bをそれぞれ通過したR,G,Bの各光成分は、当該ダイクロイックプリズム113において合成される。そして、このダイクロイックプリズム113で合成された光は、投射レンズ114に入射し、当該投射レンズ114によってスクリーン(図示せず)上に投射される。
上記の構成の3板式投射型表示装置において、光変調手段(ライトバルブ)としての液晶パネル107R,107G,107Bとして、先述した実施例1乃至実施例5に係る液晶表示装置(液晶パネル)を用いることができる。投射型表示装置では、液晶パネル107R,107G,107Bへの入射光の光束密度が、直視型の液晶表示装置に比べて高くなる。光束密度が高いほど焼き付きが顕著になることが知られており、実施例1乃至実施例5に係る液晶表示装置(液晶パネル)は、特に、投射型表示装置の光変調手段として用いて好適なものである。
そして、投射型表示装置において、その光変調手段として、実施例1乃至実施例5に係る液晶表示装置を用いることで、有効画素部の液晶層中のイオン性不純物をダミー画素部へより確実に排出することができるため、有効画素部の液晶層中のイオン性不純物に起因する焼き付きの少ない表示を実現できる。その結果、投射型表示装置の表示品位の向上に寄与することができる。
<本開示の構成>
尚、本開示は、以下のような構成をとることもできる。
[1]表示に寄与する有効画素が配置されて成る有効画素部、
有効画素部に隣接して設けられ、表示に寄与しないダミー画素が配置されて成るダミー画素部、及び、
有効画素部の各有効画素及びダミー画素部の各ダミー画素を、液晶に印加する電圧を一定の周期にて基準電圧を中心に反転させて駆動する画素駆動部、
を備え、
有効画素部及びダミー画素は共に、画素トランジスタ及び保持容量を有しており、
基準電圧に対する画素電位の保持特性について、有効画素部の保持特性に比べてダミー画素部の保持特性を非対称にする、
液晶表示装置。
[2]画素トランジスタの特性は、有効画素部の有効画素とダミー画素部のダミー画素とで異なる、
上記[1]に記載の液晶表示装置。
[3]画素トランジスタは、低濃度不純物ドレイン領域を有しており、
ダミー画素は、低濃度不純物ドレイン領域の長さが、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である、
上記[2]に記載の液晶表示装置。
[4]画素トランジスタは、低濃度不純物ドレイン領域を有しており、
ダミー画素は、低濃度不純物ドレイン領域の濃度が、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である、
上記[2]に記載の液晶表示装置。
[5]ダミー画素は、ゲート絶縁膜の膜厚が、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である、
上記[2]に記載の液晶表示装置。
[6] 画素トランジスタは、低濃度不純物ドレイン領域を有し、ゲート電極へのコンタクト部が低濃度不純物ドレイン領域の近傍にゲート長方向に沿って形成されており、
ダミー画素は、低濃度不純物ドレイン領域とコンタクト部との間の距離が、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である、
上記[2]に記載の液晶表示装置。
[7]ダミー画素の保持容量の容量値が、有効画素の保持容量の容量値よりも小さい、
上記[1]に記載の液晶表示装置。
[8]画素駆動部は、ダミー画素に対して有効画素と同一の駆動を行う、
上記[1]乃至[7]のいずれかに記載の液晶表示装置。
[9]画素電極の液晶側及び画素電極に対向する対向電極の液晶側には、配向膜が形成されており、
配向膜は斜方蒸着膜から成る、
上記[1]乃至[8]のいずれかに記載の液晶表示装置。
[10]ダミー画素は遮光されている、
上記[1]乃至[9]のいずれかに記載の液晶表示装置。
[11]表示に寄与する有効画素が配置されて成る有効画素部、
有効画素部に隣接して設けられ、表示に寄与しないダミー画素が配置されて成るダミー画素部、及び、
有効画素部の各有効画素及びダミー画素部の各ダミー画素を、液晶に印加する電圧を一定の周期にて基準電圧を中心に反転させて駆動する画素駆動部、
を備え、
有効画素部及びダミー画素は共に、画素トランジスタ及び保持容量を有しており、
基準電圧に対する画素電位の保持特性について、有効画素部の保持特性に比べてダミー画素部の保持特性を非対称にする、
液晶表示装置を有する電子機器。
10・・・画素、11・・・薄膜トランジスタ(TFT)、12・・・画素電極、13・・・保持容量、14・・・共通電極、20・・・画素アレイ部、21・・・有効画素部、22・・・ダミー画素部、30A,30B・・・垂直駆動部、40・・・水平駆動部、51(511,512,…,51m)・・・走査線、52(521,522,…,52m)・・・信号線、53・・・コモン線、60・・・液晶パネル、61・・・周辺回路部、62・・・TFT基板側の配向膜、63・・・対向基板側の配向膜、70・・・液晶層、71・・・ゲート線(ボトムゲート)、72、76・・・ゲート絶縁膜、73・・・チャネル領域、74A・・・一方のソース/ドレイン領域、74B・・・他方のソース/ドレイン領域、75(75A,75B)・・・LDD領域(低濃度不純物ドレイン)、77・・・ゲート電極(トップゲート)、79A,79B,80A,80B・・・コンタクト部、82,84・・・レジスト、83・・・層間膜、IP・・・正のイオン性不純物、IN・・・負のイオン性不純物、LC液晶分子

Claims (11)

  1. 表示に寄与する有効画素が配置されて成る有効画素部、
    有効画素部に隣接して設けられ、表示に寄与しないダミー画素が配置されて成るダミー画素部、及び、
    有効画素部の各有効画素及びダミー画素部の各ダミー画素を、液晶に印加する電圧を一定の周期にて基準電圧を中心に反転させて駆動する画素駆動部、
    を備え、
    有効画素部及びダミー画素は共に、画素トランジスタ及び保持容量を有しており、
    基準電圧に対する画素電位の保持特性について、有効画素部の保持特性に比べてダミー画素部の保持特性を非対称にする、
    液晶表示装置。
  2. 画素トランジスタの特性は、有効画素部の有効画素とダミー画素部のダミー画素とで異なる、
    請求項1に記載の液晶表示装置。
  3. 画素トランジスタは、低濃度不純物ドレイン領域を有しており、
    ダミー画素は、低濃度不純物ドレイン領域の長さが、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である、
    請求項2に記載の液晶表示装置。
  4. 画素トランジスタは、低濃度不純物ドレイン領域を有しており、
    ダミー画素は、低濃度不純物ドレイン領域の濃度が、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である、
    請求項2に記載の液晶表示装置。
  5. ダミー画素は、ゲート絶縁膜の膜厚が、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である、
    請求項2に記載の液晶表示装置。
  6. 画素トランジスタは、低濃度不純物ドレイン領域を有し、ゲート電極へのコンタクト部が低濃度不純物ドレイン領域の近傍にゲート長方向に沿って形成されており、
    ダミー画素は、低濃度不純物ドレイン領域とコンタクト部との間の距離が、一方のソース/ドレイン領域側と他方のソース/ドレイン領域側とで非対称である、
    請求項2に記載の液晶表示装置。
  7. ダミー画素の保持容量の容量値が、有効画素の保持容量の容量値よりも小さい、
    請求項1に記載の液晶表示装置。
  8. 画素駆動部は、ダミー画素に対して有効画素と同一の駆動を行う、
    請求項1に記載の液晶表示装置。
  9. 画素電極の液晶側及び画素電極に対向する対向電極の液晶側には、配向膜が形成されており、
    配向膜は斜方蒸着膜から成る、
    請求項1に記載の液晶表示装置。
  10. ダミー画素は遮光されている、
    請求項1に記載の液晶表示装置。
  11. 表示に寄与する有効画素が配置されて成る有効画素部、
    有効画素部に隣接して設けられ、表示に寄与しないダミー画素が配置されて成るダミー画素部、及び、
    有効画素部の各有効画素及びダミー画素部の各ダミー画素を、液晶に印加する電圧を一定の周期にて基準電圧を中心に反転させて駆動する画素駆動部、
    を備え、
    有効画素部及びダミー画素は共に、画素トランジスタ及び保持容量を有しており、
    基準電圧に対する画素電位の保持特性について、有効画素部の保持特性に比べてダミー画素部の保持特性を非対称にする、
    液晶表示装置を有する電子機器。
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