JPWO2017104539A1 - 誘電体磁器組成物、誘電体磁器組成物の製造方法、及び積層型セラミック電子部品 - Google Patents

誘電体磁器組成物、誘電体磁器組成物の製造方法、及び積層型セラミック電子部品 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2017104539A1
JPWO2017104539A1 JP2017556011A JP2017556011A JPWO2017104539A1 JP WO2017104539 A1 JPWO2017104539 A1 JP WO2017104539A1 JP 2017556011 A JP2017556011 A JP 2017556011A JP 2017556011 A JP2017556011 A JP 2017556011A JP WO2017104539 A1 JPWO2017104539 A1 JP WO2017104539A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dielectric
ceramic
ceramic composition
dielectric ceramic
curie point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017556011A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6593781B2 (ja
Inventor
聡史 横溝
聡史 横溝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of JPWO2017104539A1 publication Critical patent/JPWO2017104539A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6593781B2 publication Critical patent/JP6593781B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • C04B35/462Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
    • C04B35/465Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
    • C04B35/468Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates based on barium titanates
    • C04B35/4682Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates based on barium titanates based on BaTiO3 perovskite phase
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B3/00Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
    • H01B3/02Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
    • H01B3/12Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances ceramics
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/1209Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
    • H01G4/1218Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3208Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3215Barium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3294Antimony oxides, antimonates, antimonites or oxide forming salts thereof, indium antimonate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/652Reduction treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6583Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures
    • C04B2235/6584Oxygen containing atmosphere, e.g. with changing oxygen pressures at an oxygen percentage below that of air
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6588Water vapor containing atmospheres
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Abstract

誘電体磁器組成物は、主成分が少なくともBa、Ca、Ti、及びSbを含有した非鉛系のペロブスカイト型化合物で形成され、キュリー点Tcが140℃以上である。Sb、Ba、Caの各含有量が、Ti100モル部に対しそれぞれ0.1〜5モル部、80モル部以上、15モル部以下が好ましい。この誘電体磁器組成物は、セラミック素原料を秤量して仮焼合成した後、成形加工を施し、その後還元性雰囲気下、焼成処理を行って作製される。誘電体層6a〜6gはこの誘電体磁器組成物で形成される。これにより還元雰囲気下で焼成しても誘電特性を損なうことなく高キュリー点を有する高温用途に適した非鉛系の誘電体磁器組成物とその製造方法、及びこの誘電体磁器組成物を使用した積層セラミックコンデンサ等の積層型セラミック電子部品を実現する。

Description

本発明は誘電体磁器組成物、誘電体磁器組成物の製造方法、及び積層型セラミック電子部品に関し、より詳しくは高キュリー点が要求される用途に適した非鉛系の誘電体磁器組成物とその製造方法、及びこの誘電体磁器組成物を使用した積層型セラミック電子部品に関する。
近年、積層型セラミック電子部品は種々の電子機器に搭載され、該積層型セラミック電子部品に使用される誘電体磁器組成物等のセラミック材料も盛んに研究・開発されている。
この種の誘電体磁器組成物では、キュリー点Tcを超えると強誘電性が消滅することから、より高温で強誘電性を維持するためには高キュリー点を有することが望まれる。
そして、例えば特許文献1には、チタン酸鉛,チタン酸カルシウム及びチタン酸アンチモンを基本成分とし、基本組成が化学式、(1−x−y)PbTiO−xCaTiO−ySb2/3TiO(但し、xは1.0〜35mol%,yは1.0〜30mol%)で表わされ、上記化学式のTiは、Mnで0.5〜5mol%置換された強誘電体磁器組成物が提案されている。
特許文献1では、PbTiO、CaTiO、及びSb2/3TiOを基本成分とする成分系に所定量のMnをTiの一部と置換する形態で含有させることにより、200℃以上の高キュリー点を有する耐熱性の良好な強誘電体磁器組成物を得ようとしている。
また、非特許文献1には、(Ba,Ca)TiO強誘電体の持続的なキュリー温度の局所構造源について報告されている。
この非特許文献1では、BaTiOのキュリー点Tcは、約400K(約127℃)であり、Baの一部をCaで置換することによりキュリー点Tcは上昇傾向となるが、キュリー点TcがピークとなるCaの含有量が存在し、キュリー点TcはBaの一部が所定量以上のCaで置換されると低下することが記載されている。具体的にはBa及びCaの総計に対するCaのモル比xが0.2の場合は、キュリー点Tcが約410K(約137℃)となり、BaTiOに比べて高くなるが、前記Caのモル比xが0.3に増量されるとキュリー点Tcは約375K(約102℃)となり、BaTiOに比べ低下することが記載されている。
特開平9−183652号公報(請求項1、表1)
I. Levin, et al.,"Local-structure origins of the sustained Curie temperature in (Ba,Ca)TiO3 ferroelectrics",Applied Physics Letters, 102, 162906 (2013)
積層型セラミック電子部品では、セラミック層と内部電極層とが交互に積層されており、通常、セラミック材料と内部電極材料とが同時焼成されて作製される。
この場合、内部電極材料としては、良導電性を有しかつ低価格での入手が可能なNiやCu等の卑金属材料を使用するのが望ましいが、卑金属材料を大気雰囲気中で焼成すると容易に酸化することから、還元性雰囲気で焼成する必要がある。
しかしながら、特許文献1は、セラミック材料がPbを含んでいることから、該セラミック材料を還元性雰囲気で焼成しようとすると、Pbが還元されてしまって所望の安定した誘電特性を得ることができず、このため卑金属材料との共焼成が困難である。
また、近年、世界的に環境問題に対する意識が高まっており、特に欧州連合(EU)では、電気・電子機器における特定有害物質の使用制限を規定したROHS(Restriction of Hazardous Substances)指令や、廃棄自動車の環境規制を規定したELV(End of Life Vehicles Directive)指令等で環境汚染を招くPbの使用規制が整備されてきている。したがって、特許文献1のようにPbを含有した誘電体磁器組成物は、環境負荷の軽減の観点からも好ましくない。
また、非特許文献1では、Baの一部をCaで置換しているものの、キュリー点Tcは最大でも137℃程度であり、140℃以上の高温用途に使用するのは困難である。
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、還元雰囲気下で焼成しても誘電特性を損なうことなく高キュリー点を有する高温用途に適した非鉛系の誘電体磁器組成物、誘電体磁器組成物の製造方法、及びこの誘電体磁器組成物を使用した積層セラミックコンデンサ等の積層型セラミック電子部品を提供することを目的とする。
本発明者は、上記目的を達成するためにBa、Ca、Tiに加え、Sbを含有したセラミック原料について鋭意研究を行ったところ、このセラミック原料を還元性雰囲気下で焼成したペロブスカイト型化合物を主成分とする誘電体磁器組成物は、非鉛系でありながらキュリー点Tcが140℃以上の高温になるという知見を得た。
本発明はこのような知見に基づきなされたものであって、本発明に係る誘電体磁器組成物は、主成分が少なくともBa、Ca、Ti、及びSbを含有した非鉛系のペロブスカイト型化合物で形成され、キュリー点Tcが140℃以上であることを特徴としている。
Ba、Ca、Ti、及びSbの各含有量は、キュリー点Tcが140℃以上となるように適宜配合することができるが、好ましい範囲は以下の通りである。
すなわち、本発明の誘電体磁器組成物は、前記Sbの含有量が、Ti100モル部に対し0.1〜5モル部であるのが好ましい。
また、本発明の誘電体磁器組成物は、前記Baの含有量が、Ti100モル部に対し80モル部以上であるのが好ましい。
また、本発明の誘電体磁器組成物は、前記Caの含有量が、Ti100モル部に対し15モル部以下であるのが好ましい。
また、本発明に係る誘電体磁器組成物の製造方法は、少なくともBa化合物、Ca化合物、Ti化合物、及びSb化合物を含むセラミック素原料を秤量し、前記セラミック素原料から主成分粉末を作製する主成分粉末作製工程と、前記主成分粉末に成形加工を施し、セラミック成形体を作製する成形体作製工程と、前記セラミック成形体を還元性雰囲気下、焼成し、キュリー点Tcが140℃以上のセラミック焼結体を作製する焼成工程とを含むことを特徴としている。
また、本発明の誘電体磁器組成物の製造方法は、前記還元性雰囲気は、酸素分圧が10-7〜10-11MPaであり、前記焼成時の焼成温度は1100〜1400℃であるのが好ましい。
また、本発明の誘電体磁器組成物の製造方法は、前記主成分粉末作製工程は、前記セラミック素原料の混合物を還元性雰囲気下、仮焼し、前記主成分粉末を合成するのが好ましい。
また、本発明に係る積層型セラミック電子部品は、誘電体層と内部電極層とが交互に積層されたセラミック焼結体を有する積層型セラミック電子部品において、前記内部電極層が、卑金属材料で形成されると共に、前記誘電体層が、上記いずれかに記載の誘電体磁器組成物で形成されていることを特徴としている。
本発明の誘電体磁器組成物によれば、主成分が少なくともBa、Ca、Ti、及びSbを含有した非鉛系のペロブスカイト型化合物で形成され、キュリー点Tcが140℃以上であるので、非鉛系であっても高温領域での誘電性を確保できる高温用途に適した誘電体磁器組成物を得ることができる。
本発明の誘電体磁器組成物の製造方法によれば、上述した主成分粉末作製工程、成形体作製工程、及び焼成工程を含むので、還元雰囲気下での焼成で高キュリー点Tcが得られることから、卑金属材料との共焼成が可能で高キュリー点を有する誘電体磁器組成物を製造することができる。
また、本発明の積層型セラミック電子部品によれば、誘電体層と内部電極とが交互に積層された積層型セラミック電子部品において、前記内部電極が、卑金属材料で形成されると共に、前記誘電体層が、上記いずれかに記載の誘電体磁器組成物で形成されているので、内部電極層に卑金属材料を使用した場合であっても、140℃以上の高温領域で所望の誘電特性を確保できる高温用途に適した積層セラミックコンデンサ等の積層型セラミック電子部品を得ることができる。
本発明の誘電体磁器組成物を使用して製造された積層セラミックコンデンサの一実施の形態を示す断面図である。
次に、本発明の実施の形態を詳説する。
本発明の一実施の形態としての誘電体磁器組成物は、主成分が、少なくともBa、Ca、Ti、及びSbを含有した非鉛系のペロブスカイト型化合物(一般式ABO)で形成され、キュリー点Tcが140℃以上である。そして、これにより主成分が非鉛系のBaTiO系化合物であっても、高キュリー点を有し、140℃以上の高温領域でも所望の誘電特性を確保できる高温用途に適した誘電体磁器組成物を得ることができる。
すなわち、高比誘電率が得られる誘電体磁器組成物としては、BaTiO系のペロブスカイト型化合物が広く知られている。
しかしながら、[背景技術]の項でも記載したように、BaTiOはキュリー点Tcが約127℃と低く、Caを含有したとしても、キュリー点Tcは最大で137℃程度であり、キュリー点を超えると強誘電性が消滅する。したがって単にBaの一部をCaで置換したのみでは140℃以上の高温用途に使用可能な誘電体磁器組成物を安定して得るのは困難である。
しかるに、本発明者の鋭意研究の結果、(Ba,Ca)TiOにSbを添加させ、還元性雰囲気下で熱処理すると、キュリー点Tcが140℃以上になることが分かった。その理由は以下のように推察される。
(Ba,Ca)TiOにSbを添加して大気雰囲気で熱処理した場合、SbはBサイトに固溶する。すなわち、Sbの化合物形態には、通常、Sb等の3価のSb化合物と、Sb等の5価のSb化合物が存在する。この場合、主成分粉末の合成、又は合成後の焼成処理を大気雰囲気で行うと、3価のSb化合物は酸化されて5価となり、5価のSb化合物は価数を維持する。そして、5価のSbのイオン半径は約0.060nmでありTiのイオン半径は約0.061nmであることから、5価のSbは、イオン半径が類似するTiの一部を置換する形態でBサイトに固溶する。
これに対し主成分粉末の合成、又は合成後の焼成処理を還元性雰囲気で行うと、3価のSb化合物は価数を維持し、5価のSb化合物は還元されて3価となる。そして、3価のSbは、イオン半径が約0.076nmであり、Tiのイオン半径(0.061nm)より大きいことから、Tiが配位するBサイトには固溶し難い。また、主成分粉末を大気雰囲気で仮焼合成し、焼成処理を還元性雰囲気で行った場合は、Sbはイオン半径の小さい5価からイオン半径の大きい3価になることから、仮焼合成後にはBサイトに固溶していても、還元雰囲気下の焼成処理によりBサイトから離脱し、イオン半径が0.135nmと大きいBaの配位するAサイトにBaの一部を置換する形態で固溶すると考えられる。
そして、このようにSbがAサイトに固溶する結果、SbはO原子と共有結合してAサイトの中心位置から変位し、これにより結晶軸のc軸とa軸との比c/aが大きくなって正方晶性が向上し、強誘電性が維持される温度、すなわちキュリー点Tcが向上すると考えられる。すなわち、ペロブスカイト型化合物では、キュリー点Tc以下では結晶構造は正方晶を維持して強誘電性を示すが、キュリー点Tcを超えると結晶構造が正方晶から立方晶に相転移し、これにより強誘電性が消滅する。しかるに、還元性雰囲気下での熱処理によってSbが還元されてAサイトに固溶すると、SbはO原子と共有結合し、その結果、SbはAサイトの中心位置から変位して正方晶性が向上し、キュリー点Tcが上昇すると考えられる。
しかも、本誘電体磁器組成物は、鉛を含まない非鉛系であることから、環境負荷も軽減され、さらに還元性雰囲気での熱処理で得られることから、NiやCu等の卑金属材料と共焼成することが可能となり、高温用途に適した誘電体磁器組成物を得ることができる。
ここで、ペロブスカイト型化合物は、少なくともBa、Ti、Ca、及びSbの各成分を含有し、かつ140℃以上のキュリー点Tcを有するのであれば、各成分の含有量は特に限定されるものではない。換言すればキュリー点Tcが140℃以上となるように各成分の含有量を配合することができる。
各成分の好ましい範囲の一例を述べると以下のようになる。
Baは、Tiと共に高比誘電率を有する誘電体磁器組成物を実現するための主要元素である。そして、キュリー点Tcが140℃以上の高温で所望の高比誘電率を得るためには、Ti100モル部に対し80モル部以上が好ましい。
Caは、BaTiO系化合物中に含有させることにより、キュリー点Tcの向上に寄与することから、本発明では必須の構成成分である。しかしながら、Caの含有量が、Ti100モル部に対し15モル部を超えると、キュリー点Tcは却って低下傾向になり、キュリー点Tcが140℃未満に低下するおそれがあることから15モル部以下が好ましい。
Sbは、上述したように還元雰囲気下の熱処理で主成分中に固溶させることにより、キュリー点Tcの向上に寄与し、キュリー点Tcを140℃以上とすることが可能である。そしてそのためにはSbの含有量は、Ti100モル部に対し0.1モル部以上が好ましい。一方、Sbを過度に含有させるとBaの含有量が相対的に低下して比誘電率の低下を招くおそれがあることから、Sbの含有量はTi100モル部に対し5モル部以下が好ましい。
また、ペロブスカイト化合物のAサイトとBサイトの比は、化学量論比では1.000であるが、化学量論比に限定されるものではなく、例えば(Ba+Ca)/Tiの比がモル比換算で0.95〜1.00の範囲となるように適宜調整することができる。
また、本誘電体磁器組成物は、上述したペロブスカイト型化合物が主成分(例えば、80モル%以上、好ましくは90モル%以上、より好ましくは95モル%以上)を形成していればよく、副成分として各種添加物を含有していてもよい。
次に、本誘電体磁器組成物の製造方法を詳述する。
まず、セラミック素原料として、Ba化合物、Ti化合物、Ca化合物、及びSb化合物を準備する。そしてこれらセラミック素原料を所定量秤量する。尚、Sbは揮発性元素であり、還元性雰囲気下で熱処理を施すと揮発することから、Sb化合物は過剰に秤量する。
次に、この秤量物をPSZ(Partially Stabilized Zirconia:部分安定化ジルコニア)ボール等の粉砕媒体及び純水と共にボールミルに投入し、十分に湿式で混合粉砕し、乾燥させた後、還元性雰囲気下又は大気雰囲気下、仮焼を行って合成し、主成分粉末を作製する。
ここで、還元性雰囲気で仮焼を行う場合は、Sb化合物が還元されるような酸素分圧、例えば10-7〜10-11MPaに雰囲気調整されたN−H−HOの還元性雰囲気下、900〜1100℃の温度で、1時間程度仮焼を行う。
一方、大気雰囲気で仮焼を行う場合は、大気雰囲気下、900〜1100℃の温度で、1時間程度仮焼を行う。
次に、上記主成分粉末を有機バインダや有機溶剤、粉砕媒体と共にボールミルに投入して湿式混合し、乾燥させた後、プレス加工を施してセラミック成形体を作製する。
そしてこの後、大気雰囲気下、温度250〜350℃で加熱し、バインダを燃焼させて除去し、さらに、H−N−HOガスからなる還元性雰囲気下、主成分中のSbが酸化されないような酸素分圧、例えば10-7〜10-11MPaに雰囲気調整し、所定温度で、2時間程度焼成し、これによりキュリー点Tcが140℃以上のセラミック焼結体である誘電体磁器組成物が作製される。
ここで、焼成時の焼成温度は、セラミック成形体を焼結できる温度であれば、特に限定されるものではないが、1100〜1400℃の温度範囲に設定するのが好ましい。すなわち、焼成温度が1100℃未満になると、焼成温度が低すぎてセラミック成形体を焼結させるのが困難となるおそれがある。一方、省エネルギーの観点からは焼成温度は1400℃以下が好ましい。
このように上記誘電体磁器組成物の製造方法では、還元雰囲気下での焼成で高キュリー点Tcが得られることから、卑金属材料との共焼成が可能で高キュリー点を有する誘電体磁器組成物を製造することができる。
次に、本発明の積層型セラミック電子部品について詳述する。
図1は本発明に係る誘電体磁器組成物を使用して製造された積層型セラミック電子部品としての積層セラミックコンデンサの一実施の形態を模式的に示した断面図である。
該積層セラミックコンデンサは、セラミック焼結体1に内部電極層2a〜2fが埋設されると共に、該セラミック焼結体1の両端部には外部電極3a、3bが形成され、さらに該外部電極3a、3bの表面には第1のめっき皮膜4a、4b及び第2のめっき皮膜5a、5bが形成されている。
すなわち、セラミック焼結体1は、本発明の誘電体磁器組成物で形成された誘電体層6a〜6gと内部電極層2a〜2fとが交互に積層されて焼成されてなり、内部電極層2a、2c、2eは外部電極3aと電気的に接続され、内部電極2b、2d、2fは外部電極3bと電気的に接続されている。そして、内部電極層2a、2c、2eと内部電極層2b、2d、2fとの対向面間で静電容量を形成している。
そして、本積層セラミックコンデンサでは、内部電極層2a〜2fが卑金属材料で形成されると共に、誘電体層6a〜6gが、上述した誘電体磁器組成物で形成されているので、内部電極層2a〜2fに卑金属材料を使用した場合であっても、140℃以上の高温領域で所望の誘電特性を確保できる高温用途に適した積層セラミックコンデンサを得ることができる。
上記積層セラミックコンデンサは以下の方法で容易に製造することができる。
まず、上記誘電体磁器組成物の製造方法で述べたのと同様の方法・手順で主成分粉末を作製する。
次いで、この主成分粉末を有機バインダや有機溶剤、粉砕媒体と共にボールミルに投入して湿式混合し、セラミックスラリーを作製し、リップ法やドクターブレード法等によりセラミックスラリーに成形加工を施し、焼成後の厚みが2μm程度又はそれ以下となるようにセラミックグリーンシートを作製する。
次いで、Ni、Cu等の卑金属材料を主成分とした内部電極用導電性ペーストを用意する。そしてこの内部電極用導電性ペーストを使用してセラミックグリーンシート上にスクリーン印刷を施し、前記セラミックグリーンシートの表面に所定パターンの導電膜を形成する。
次いで、導電膜が形成されたセラミックグリーンシートを所定方向に複数枚積層し、導電膜の形成されていないセラミックグリーンシートを最上層に配し、圧着し、所定寸法に切断して積層成形体を作製する。
そしてこの後、上述と同様の条件でバインダを除去した後、焼成処理を行い、セラミック焼結体1を作製する。
次に、セラミック焼結体1の両端面に外部電極用導電性ペーストを塗布し、600〜800℃の温度で焼付処理を行い、外部電極3a、3bを形成する。
尚、外部電極用導電性ペーストに含有される導電性材料についても、特に限定されるものではないが、低コスト化の観点から、AgやCu、或いはこれらの合金を主成分とした材料を使用するのが好ましい。
また、外部電極3a、3bの形成方法としては、積層成形体の両端面に外部電極用導電性ペーストを塗布した後、積層成形体と同時に焼成処理を施すようにしてもよい。
そして、最後に、電解めっきを施して外部電極3a、3bの表面にNi、Cu、Ni−Cu合金等からなる第1のめっき皮膜4a、4bを形成し、さらに該第1のめっき皮膜4a、4bの表面にはんだやスズ等からなる第2のめっき皮膜5a、5bを形成し、これにより積層セラミックコンデンサが製造される。
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。上記実施の形態では、積層型セラミック電子部品として積層セラミックコンデンサを例示したが、BaTiO系のペロブスカイト型化合物を主成分とした高温用途の各種積層型セラミック電子部品に適用可能であるのはいうまでもない。
また、Ba化合物、Ti化合物等のセラミック素原料についても、炭酸塩や酸化物、硝酸塩、水酸化物、有機酸塩、アルコキシド、キレート化合物等、合成反応の形態に応じて適宜選択することができる。
また、主成分粉末の合成方法についても、上述した固相法に限定されるものではなく、共沈法、水熱法、シュウ酸法等の合成法を使用してもよい。
次に、本発明の実施例を具体的に説明する。
〔試料の作製〕
セラミック素原料として、BaCO、CaCO、TiO、及びSbを用意し、Ba、Ca、Sbのモル部がTi100モル部に対し焼成後に表1となるように、これらセラミック素原料を秤量した。尚、Sbは還元性雰囲気下での焼成で揮発すると想定されることから、50〜100モル%過剰に秤量した。
次いで、これら秤量物をPSZボール及び純水と共にボールミルに投入し、十分に湿式で混合粉砕し、乾燥させた後、酸素分圧10-8.5MPaに調整されたH−N−HOガスの還元性雰囲気下、1100℃の温度で約1時間、仮焼し、粉砕して仮焼粉末(主成分粉末)を得た。
次に、ポリビニルアルコールの重量比率が2wt%となるように、仮焼粉末にポリビニルアルコールを添加し、混合物を得た。次いで、この混合物を一軸プレスで1000MPaの圧力を負荷し、これにより直径10mm、厚み0.5mmのセラミック成形体を得た。
次いで、酸素分圧が10-7〜10-11MPaに調整されたH−N−HOガスからなる還元性雰囲気下、又は酸素分圧が10-1.7MPaの大気雰囲気下、1000〜1400℃で約1時間焼成処理を行ない、これによりセラミック焼結体を得た。
次に、Agを主成分とした導電性ペーストをセラミック焼結体の両端面に塗布し、600℃の温度で焼付処理を行い、外部電極を形成し、試料番号1〜38の各試料を作製した。
〔試料の評価〕
試料番号1〜38の各試料について、外部電極形成前のセラミック焼結体をXRD法(X線回析法)で構造解析した。その結果、セラミック焼結体は、いずれもペロブスカイト型結晶構造を有することが確認された。
また、試料番号1〜38の各セラミック焼結体を溶解し、ICP−AES(誘導結合プラズマ−発光分光分析法)で分析したところ、Ti100モル部に対するBa、Ca、及びSbの各モル部が表1のようになることが確認された。
次に、試料番号1〜38の各試料について、比誘電率εr、及びキュリー点Tcを測定した。
ここで、比誘電率εrは、LCRメーター(アジレント・テクノロジー社製、 E4980A)を使用し、測定周波数1kHz、測定電圧0.5Vrms、温度25±3℃で測定した。
キュリー点Tcは、上記LCRメーターと恒温槽を使用し、−55〜+160℃の温度範囲で比誘電率を測定し、比誘電率が最大となる温度をキュリー点Tcとした。
表1は試料番号1〜38の成分組成、焼成温度、焼成雰囲気、比誘電率εr、及びキュリー点Tcを示している。
Figure 2017104539
試料番号1〜4、16、20は、焼成処理を還元性雰囲気で行っているものの、セラミック焼結体中にSbが含有されておらず、このためキュリー点Tcが121〜136℃となり、140℃未満であった。
試料番号8は、セラミック焼結体中にSbが含有されておらず、また、大気雰囲気で焼成しているため、キュリー点Tcが136℃となり、この場合も140℃未満であった。
試料番号9〜11は、キュリー点Tcが101〜132℃となり、140℃未満であった。これはセラミック焼結体中にSbを含有しているものの、大気雰囲気で焼成しているため、SbはAサイトに固溶せずにBサイトに固溶し、このため正方晶性を向上させることができず、キュリー点Tcを上昇させることができなかったものと思われる。
試料番号12〜15は、焼成温度が1000℃と過度に低く、セラミック成形体を焼結させることができなかった。
試料番号24、29、34は、セラミック焼結体中にCaが含有されておらず、このためキュリー点Tcは128〜132℃と低くなった。
試料番号28、33、38は、キュリー点Tcは134〜135℃であり、140℃未満となった。これはBa含有量がTi100モル部に対し80モル部未満と少なく、一方でCa含有量がTi100モル部に対し15モル部を超えたためと思われる。
これに対し試料番号5〜7、17〜19、21〜23、25〜27、30〜32、及び35〜37は、キュリー点Tcは140℃以上となり、良好なキュリー点が得られることが分かった。すなわち、Ba、Ca、Ti、Sbの含有量、及び焼成条件を適切に制御することにより、非鉛系であってもキュリー点Tcが140℃以上の高温用途に適した誘電体磁器組成物が得られることが分かった。因みに本実施例ではBa、Ca、Sbの含有量をTi100モル部に対しそれぞれ80モル部以上、15モル部以下、0.1〜5モル部の範囲とし、酸素分圧が10-7〜10-11MPaの還元性雰囲気下、1100〜1400℃の温度で焼成することにより、キュリー点Tcが140℃の誘電体磁器組成物を得ることができた。
還元雰囲気下で焼成しても誘電特性を損なうことなく高キュリー点を有する高温用途に適した非鉛系の誘電体磁器組成物及び積層セラミックコンデンサ等の積層型セラミック電子部品を実現する。
1 セラミック焼結体
2a〜2f 内部電極層
6a〜6g 誘電体層

Claims (8)

  1. 主成分が少なくともBa、Ca、Ti、及びSbを含有した非鉛系のペロブスカイト型化合物で形成され、
    キュリー点Tcが140℃以上であることを特徴とする誘電体磁器組成物。
  2. 前記Sbの含有量は、Ti100モル部に対し0.1〜5モル部であることを特徴とする請求項1記載の誘電体磁器組成物。
  3. 前記Baの含有量は、Ti100モル部に対し80モル部以上であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の誘電体磁器組成物。
  4. 前記Caの含有量は、Ti100モル部に対し15モル部以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の誘電体磁器組成物。
  5. 少なくともBa化合物、Ca化合物、Ti化合物、及びSb化合物を含むセラミック素原料を秤量し、前記セラミック素原料から主成分粉末を作製する主成分粉末作製工程と、
    前記主成分粉末に成形加工を施し、セラミック成形体を作製する成形体作製工程と、
    前記セラミック成形体を還元性雰囲気下、焼成し、キュリー点Tcが140℃以上のセラミック焼結体を作製する焼成工程とを含むことを特徴とする誘電体磁器組成物の製造方法。
  6. 前記還元性雰囲気は、酸素分圧が10-7〜10-11MPaであり、前記焼成時の焼成温度は1100〜1400℃であることを特徴とする請求項5記載の誘電体磁器組成物の製造方法。
  7. 前記主成分粉末作製工程は、前記セラミック素原料の混合物を還元性雰囲気下で仮焼し、前記主成分粉末を合成することを特徴とする請求項5又は請求項6記載の誘電体磁器組成物の製造方法。
  8. 誘電体層と内部電極層とが交互に積層された積層型セラミック電子部品において、
    前記内部電極層が、卑金属材料で形成されると共に、
    前記誘電体層が、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の誘電体磁器組成物で形成されていることを特徴とする積層型セラミック電子部品。
JP2017556011A 2015-12-18 2016-12-08 誘電体磁器組成物、誘電体磁器組成物の製造方法、及び積層型セラミック電子部品 Active JP6593781B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015246909 2015-12-18
JP2015246909 2015-12-18
PCT/JP2016/086574 WO2017104539A1 (ja) 2015-12-18 2016-12-08 誘電体磁器組成物、誘電体磁器組成物の製造方法、及び積層型セラミック電子部品

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2017104539A1 true JPWO2017104539A1 (ja) 2018-09-27
JP6593781B2 JP6593781B2 (ja) 2019-10-23

Family

ID=59056436

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017556011A Active JP6593781B2 (ja) 2015-12-18 2016-12-08 誘電体磁器組成物、誘電体磁器組成物の製造方法、及び積層型セラミック電子部品

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10519066B2 (ja)
JP (1) JP6593781B2 (ja)
WO (1) WO2017104539A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2801240C1 (ru) * 2022-04-18 2023-08-03 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Способ получения порошка цирконата-титаната бария-кальция для аддитивного производства

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5333753B1 (ja) * 1965-03-19 1978-09-16
JP2005089224A (ja) * 2003-09-16 2005-04-07 Murata Mfg Co Ltd 誘電体セラミック組成物および積層セラミックコンデンサ
WO2006117990A1 (ja) * 2005-04-28 2006-11-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. 圧電体磁器組成物、及び該圧電体磁器組成物の製造方法、並びに圧電セラミック電子部品
JP2012046372A (ja) * 2010-08-26 2012-03-08 Hitachi Metals Ltd Ptc素子および発熱モジュール

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2987762B2 (ja) 1996-11-05 1999-12-06 北陸電気工業株式会社 強誘電体磁器組成物
JP4870920B2 (ja) * 2004-09-30 2012-02-08 日本特殊陶業株式会社 誘電体磁器組成物及び電子部品
US8067325B2 (en) 2006-02-27 2011-11-29 Hitachi Metals, Ltd. Semiconductor ceramic composition
EP2377837B1 (en) * 2008-12-12 2018-08-08 Murata Manufacturing Co., Ltd. Semiconductor ceramic and positive temperature coefficient thermistor
EP2557575A4 (en) * 2010-04-08 2013-12-11 Hitachi Metals Ltd PTC ELEMENT AND HEAT ELEMENT MODULE
KR20130036594A (ko) 2011-10-04 2013-04-12 삼성전기주식회사 유전체 조성물 및 이를 포함하는 세라믹 전자 부품
KR101452048B1 (ko) * 2012-11-09 2014-10-22 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터, 적층 세라믹 커패시터의 회로 기판 실장 구조 및 적층 세라믹 커패시터의 포장체

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5333753B1 (ja) * 1965-03-19 1978-09-16
JP2005089224A (ja) * 2003-09-16 2005-04-07 Murata Mfg Co Ltd 誘電体セラミック組成物および積層セラミックコンデンサ
WO2006117990A1 (ja) * 2005-04-28 2006-11-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. 圧電体磁器組成物、及び該圧電体磁器組成物の製造方法、並びに圧電セラミック電子部品
JP2012046372A (ja) * 2010-08-26 2012-03-08 Hitachi Metals Ltd Ptc素子および発熱モジュール

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2801240C1 (ru) * 2022-04-18 2023-08-03 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Способ получения порошка цирконата-титаната бария-кальция для аддитивного производства

Also Published As

Publication number Publication date
US10519066B2 (en) 2019-12-31
WO2017104539A1 (ja) 2017-06-22
US20180265414A1 (en) 2018-09-20
JP6593781B2 (ja) 2019-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5131595B2 (ja) 誘電体セラミック、及びセラミック電子部品、並びに積層セラミックコンデンサ
JP5151990B2 (ja) 誘電体セラミックおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ
KR101464185B1 (ko) 적층 세라믹 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법
JP2007031273A (ja) 低温焼成用の誘電体磁器組成物及びこれを用いた積層セラミックコンデンサ
KR102137395B1 (ko) 적층 세라믹 콘덴서
JPWO2008010412A1 (ja) 誘電体セラミック及びその製造方法、並びに積層セラミックコンデンサ
JP6631854B2 (ja) 誘電体磁器組成物、積層セラミックコンデンサ、及び積層セラミックコンデンサの製造方法
JP2013028478A (ja) 誘電体磁器組成物、および電子部品
JP7357732B2 (ja) セラミックコンデンサ
JP6467648B2 (ja) 誘電体組成物、誘電体素子、電子部品および積層電子部品
KR101515522B1 (ko) 페로브스카이트형 복합 산화물의 제조방법
JP5153069B2 (ja) 誘電体磁器
JP4862501B2 (ja) 誘電体セラミック、その製造方法及び積層セラミックコンデンサ
JP6636744B2 (ja) 誘電体磁器組成物及びこれを用いた電子素子
JP2010208905A (ja) 誘電体セラミックの製造方法と誘電体セラミック、及び積層セラミックコンデンサの製造方法と積層セラミックコンデンサ
JP4349007B2 (ja) 積層型電子部品
JP7262640B2 (ja) セラミックコンデンサ
JP2011042529A (ja) 誘電体磁器組成物の製造方法
JP6593781B2 (ja) 誘電体磁器組成物、誘電体磁器組成物の製造方法、及び積層型セラミック電子部品
JP4954135B2 (ja) 誘電体磁器組成物、その製造方法、及び誘電体磁器コンデンサ
JP2010163321A (ja) 誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ
JP2010215423A (ja) 圧電体又は誘電体磁器組成物並びに圧電体デバイス及び誘電体デバイス
JP2006169050A (ja) 誘電体磁器組成物及び磁器コンデンサ並びにこれらの製造方法
JPWO2011004722A1 (ja) 複合酸化物粉末の製造方法および複合酸化物粉末

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180424

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190604

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190722

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190902

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6593781

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190915