JPWO2017094568A1 - 半導体装置の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2015年12月3日に日本国に出願された特願2015−236353号に基づき、優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。
10 ウェハ保持部
11 駆動機構
20 電解処理部
21 本体部
22 端子
23 直接電極
24 間接電極
30 直流電源
31 スイッチ
40 ノズル
50 制御部
60 銅めっき
100 スイッチ
110 端子
111 共通電極
112 コンデンサ
120 直流電源
123 スイッチ
130 ウェハ保持部
131 容器
132 駆動機構
C 銅イオン
M めっき液
S 硫酸イオン
W ウェハ(半導体ウェハ)
Claims (16)
- 半導体装置の製造装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板保持部に対向して配置され、当該基板保持部に保持された基板に電解処理を行う電解処理部と、
基板に電圧を印加するための端子と、を有し、
前記電解処理部は、
基板に供給された前記処理液に接触し、基板との間で電圧を印加するための直接電極と、
基板に供給された前記処理液に電界を形成する間接電極と、を有する。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造装置において、
前記電解処理部は、絶縁体からなる本体部をさらに有し、
前記直接電極は、前記本体部の表面に設けられ、
前記間接電極は、前記本体部の内部に設けられている。 - 請求項2に記載の半導体装置の製造装置において、
前記間接電極は、前記本体部の内部において複数積層して設けられている。 - 半導体装置の製造装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板保持部に対向して配置され、当該基板保持部に保持された基板に電解処理を行う電解処理部と、
基板に電圧を印加するための端子と、を有し、
前記電解処理部は、
絶縁体からなる本体部と、
前記本体部の表面に設けられ、基板に供給された前記処理液に接触し、基板との間で電圧を印加すると共に、基板に供給された前記処理液に電界を形成する共通電極と、
配線を介して前記共通電極に接続されたコンデンサと、を有する。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造装置において、
前記電解処理部は前記端子を保持する。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造装置において、
前記基板保持部又は前記電解処理部を相対的に移動させる移動機構をさらに有する。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造装置において、
前記基板保持部を回転させる回転機構をさらに有する。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造装置において、
前記基板保持部は、上面が開口した容器を備え、当該容器の内部に基板を保持し、且つ前記処理液を貯留する。 - 半導体装置の製造方法であって、
基板を保持する基板保持部と、当該基板保持部に保持された基板に電解処理を行う電解処理部と、を対向配置する第1の工程と、
処理液供給部によって、前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給する第2の工程と、
基板に電圧を印加するための端子を基板に接触させると共に、前記電解処理部が備える直接電極を前記処理液に接触させる第3の工程と、
前記電解処理部が備える間接電極に電圧を印加することで、前記処理液に電界を形成し、当該処理液中の被処理イオンを基板側に移動させる第4の工程と、
前記直接電極と基板との間に電圧を印加することで、基板側に移動した前記被処理イオンを酸化又は還元する第5の工程と、を有する。 - 請求項9に記載の半導体装置の製造方法において、
前記電解処理部は、絶縁体からなる本体部をさらに有し、
前記直接電極は、前記本体部の表面に設けられ、
前記間接電極は、前記本体部の内部に設けられている。 - 請求項10に記載の半導体装置の製造方法において、
前記間接電極は、前記本体部の内部において複数積層して設けられている。 - 半導体装置の製造方法であって、
基板を保持する基板保持部と、当該基板保持部に保持された基板に電解処理を行う電解処理部と、を対向配置する第1の工程と、
処理液供給部によって、前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給する第2の工程と、
基板に電圧を印加するための端子を基板に接触させると共に、前記電解処理部が備える共通電極を前記処理液に接触させる第3の工程と、
前記共通電極に電圧を印加することで、前記処理液に電界を形成し、当該処理液中の被処理イオンを基板側に移動させる第4の工程と、
前記共通電極と基板との間に電圧を印加することで、基板側に移動した前記被処理イオンを酸化又は還元する第5の工程と、を有し、
前記電解処理部は、絶縁体からなる本体部をさらに有し、
前記共通電極は、前記本体部の表面に設けられ、
前記共通電極には、配線を介してコンデンサが接続されている。 - 請求項9に記載の半導体装置の製造方法において、
前記電解処理部は前記端子を保持し、
前記第3の工程において、前記端子の高さを調整して当該端子を基板に接触させる。 - 請求項9に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3の工程において、移動機構によって前記基板保持部又は前記電解処理部を相対的に移動させる。 - 請求項9に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2の工程において、回転機構によって前記基板保持部を回転させながら、前記処理液供給部によって前記基板保持部に保持された基板に前記処理液を供給する。 - 請求項9に記載の半導体装置の製造方法において、
前記基板保持部は上面が開口した容器を備え、
前記第2の工程において、前記容器の内部に基板を保持しつつ、前記処理液供給部によって前記容器の内部に前記処理液を供給し貯留する。
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