JPWO2017033423A1 - 圧電式リニアアクチュエータ、圧電駆動バルブ及び流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記圧電式リニアアクチュエータが取り付けられ、内部に流路が形成されたボディと、
前記圧電式リニアアクチュエータの前記出力部と兼用の弁棒と、
前記弁棒の操作により前記流路を開閉する弁体と、
を備えることを特徴とする。
前記圧電式リニアアクチュエータが取り付けられ、内部に流路が形成されたボディと、前記出力部と兼用の弁棒と、前記弁棒の操作により前記流路を開閉する弁体とを備える圧電駆動バルブと、
前記圧電駆動バルブを開閉制御する制御装置と、
を備えることを特徴とする。
同様に、出口側ブロック25をボディ16に固定するには、固定ボルト18を2本使用するが、一方の固定ボルト18は出口側ブロック25側から挿入され、もう一方の固定ボルト18はボディ16側から挿入される(図20参照)。このように、2本の固定ボルト18を対向状に配置して使用することで、固定ボルト18が出口側流路25aと干渉することを避けている。
2:積層圧電アクチュエータ
2a:半球状凸部
3:下部支持部材
3a:円錐状窪み部
3b:貫通孔
4:押圧部材
4a:円錐状窪み部
4b:皿状窪み部
4c:切欠溝
5:変位伝達部材
5a:ガイド穴
5b:係止部
5c:雌螺子孔
6:上部連結部材
6a:平板部
6b:円弧部
6c:雌螺子孔
6d:通孔
6e:切欠溝
7:調節螺子
8:出力部
8a:円柱状部
8b:アーム部
8c:係止溝
8d:環状溝
9:弾性体
10:ボンネット
10a:凹部
10b:通孔
10c:貫通孔
11:平行ピン
12:止め螺子
13:緩み止めナット
14:シール部材
15:圧力式流量制御装置
16:ボディ
16a:流路
16a′:垂直通路部
16a″:水平通路部
17:弁体
18:固定ボルト
19:弁体押え
20:押えアダプター
21:オリフィス
22:上流側の圧力検出器
23:ガスケット
24:入口側ブロック
24a:入口側流路
25:出口側ブロック
25a:出口側流路
26:下流側の圧力検出器
Claims (21)
- 円柱状の積層圧電アクチュエータと、前記積層圧電アクチュエータを支持すると共に、該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる下部支持部材と、前記積層圧電アクチュエータの左右両側に沿って延びると共に、前記下部支持部材に対して摺動可能に交差し且つ前記積層圧電アクチュエータの圧電効果による変位を伝達する一対の変位伝達部材と、前記下部支持部材の下方において前記一対の変位伝達部材に係止されて前記両変位伝達部材の下端部同士を連結する出力部とを備えた圧電式リニアアクチュエータであって、前記変位伝達部材のそれぞれは、前記積層圧電アクチュエータの外周面に沿う円弧状内周面を有し且つ円弧状内周面に連なる側面を有する長尺部材状に形成されており、前記各変位伝達部材の下端部に、前記下部支持部材が挿通される縦長のガイド穴が対向状に形成されており、該ガイド穴の下方側の内周縁部に前記出力部が係止されており、前記出力部は、上端部が前記一対の変位伝達部材の下端部間に挿入される円柱状部と、前記円柱状部の外周面に前記下部支持部材に沿って突出形成され、前記一対の変位伝達部材のガイド穴の下方側の内周縁部に係止される一対のアーム部とを備え、前記一対の変位伝達部材の幅寸法が、前記積層圧電アクチュエータの幅寸法と同一若しくは同程度の寸法に形成されていることを特徴とする圧電式リニアアクチュエータ。
- 前記一対の変位伝達部材のガイド穴の下方側の内周縁部を、前記出力部の各アームが係止される係止部とし、前記出力部の各アーム部の下面に、前記係止部に着脱自在に嵌合されて位置決めされる前記係止部と同じ形状の係止溝を形成したことを特徴とする請求項1に記載の圧電式リニアアクチュエータ。
- 前記係止部及び前記係止溝は、平面形状において同一円周上に位置する円弧形状としたことを特徴とする請求項2に記載の圧電式リニアアクチュエータ。
- 前記下部支持部材が連結されるボンネットを更に備え、該ボンネットには、前記一対の変位伝達部材の下端部、前記円柱状部の上部、前記一対のアーム部及び前記弾性体が収容される凹部と、前記円柱状部の下部が摺動可能に挿入される通孔とが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電式リニアアクチュエータ。
- 前記出力部は、前記円柱状部の下部外周面に形成した環状溝に嵌合された環状のシール部材を介して前記通孔に摺動可能に支持されていることを特徴とする請求項4に記載の圧電式リニアアクチュエータ。
- 前記ボンネットは、前記積層圧電アクチュエータの幅寸法と同一若しくは同程度の寸法に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の圧電式リニアアクチュエータ。
- 円柱状の積層圧電アクチュエータと、前記積層圧電アクチュエータを支持すると共に、該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる下部支持部材と、前記積層圧電アクチュエータの左右両側に沿って延びると共に、前記下部支持部材に対して摺動可能に交差し且つ前記積層圧電アクチュエータの圧電効果による変位を伝達する一対の変位伝達部材と、前記下部支持部材の下方において前記一対の変位伝達部材に係止されて前記両変位伝達部材の下端部同士を連結する出力部とを備えた圧電式リニアアクチュエータであって、前記変位伝達部材のそれぞれは、前記積層圧電アクチュエータの外周面に沿う円弧状内周面を有し且つ円弧状内周面に連なる側面を有する長尺部材状に形成されており、前記各変位伝達部材の下端部に、前記下部支持部材が挿通される縦長のガイド穴が対向状に形成されており、該ガイド穴の下方側の内周縁部に前記出力部が係止されており、前記出力部は、上端部が前記一対の変位伝達部材の下端部間に挿入される円柱状部と、前記円柱状部の外周面に前記下部支持部材に沿って突出形成され、前記一対の変位伝達部材のガイド穴の下方側の内周縁部に係止される一対のアーム部とを備え、前記一対の変位伝達部材の幅寸法が、前記積層圧電アクチュエータの幅寸法と同一若しくは同程度の寸法に形成されている圧電式リニアアクチュエータと、
前記圧電式リニアアクチュエータが取り付けられ、内部に流路が形成されたボディと、
前記圧電式リニアアクチュエータの前記出力部と兼用の弁棒と、
前記弁棒の操作により前記流路を開閉する弁体と、
を備えることを特徴とする圧電駆動バルブ。 - 前記一対の変位伝達部材のガイド穴の下方側の内周縁部を、前記出力部の各アームが係止される係止部とし、前記出力部の各アーム部の下面に、前記係止部に着脱自在に嵌合されて位置決めされる前記係止部と同じ形状の係止溝を形成したことを特徴とする請求項7に記載の圧電駆動バルブ。
- 前記係止部及び前記係止溝は、平面形状において同一円周上に位置する円弧形状としたことを特徴とする請求項8に記載の圧電駆動バルブ。
- 前記下部支持部材が連結されるボンネットを更に備え、該ボンネットには、前記一対の変位伝達部材の下端部、前記円柱状部の上部、前記一対のアーム部及び前記弾性体が収容される凹部と、前記円柱状部の下部が摺動可能に挿入される通孔とが形成されていることを特徴とする請求項7に記載の圧電駆動バルブ。
- 前記出力部は、前記円柱状部の下部外周面に形成した環状溝に嵌合された環状のシール部材を介して前記通孔に摺動可能に支持されていることを特徴とする請求項10に記載の圧電駆動バルブ。
- 前記ボンネットは、前記積層圧電アクチュエータの幅寸法と同一若しくは同程度の寸法に形成されていることを特徴とする請求項10に記載の圧電駆動バルブ。
- 前記弁体が金属ダイヤフラム弁体であることを特徴とする請求項7に記載の圧電駆動バルブ。
- 円柱状の積層圧電アクチュエータと、前記積層圧電アクチュエータを支持すると共に、該積層圧電アクチュエータの左右側方に延びる下部支持部材と、前記積層圧電アクチュエータの左右両側に沿って延びると共に、前記下部支持部材に対して摺動可能に交差し且つ前記積層圧電アクチュエータの圧電効果による変位を伝達する一対の変位伝達部材と、前記下部支持部材の下方において前記一対の変位伝達部材に係止されて前記両変位伝達部材の下端部同士を連結する出力部とを備えた圧電式リニアアクチュエータであって、前記変位伝達部材のそれぞれは、前記積層圧電アクチュエータの外周面に沿う円弧状内周面を有し且つ円弧状内周面に連なる側面を有する長尺部材状に形成されており、前記各変位伝達部材の下端部に、前記下部支持部材が挿通される縦長のガイド穴が対向状に形成されており、該ガイド穴の下方側の内周縁部に前記出力部が係止されており、前記出力部は、上端部が前記一対の変位伝達部材の下端部間に挿入される円柱状部と、前記円柱状部の外周面に前記下部支持部材に沿って突出形成され、前記一対の変位伝達部材のガイド穴の下方側の内周縁部に係止される一対のアーム部とを備え、前記一対の変位伝達部材の幅寸法が、前記積層圧電アクチュエータの幅寸法と同一若しくは同程度の寸法に形成されている圧電式リニアアクチュエータと、
前記圧電式リニアアクチュエータが取り付けられ、内部に流路が形成されたボディと、前記出力部と兼用の弁棒と、前記弁棒の操作により前記流路を開閉する弁体とを備える圧電駆動バルブと、
前記圧電駆動バルブを開閉制御する制御装置と、
を備えることを特徴とする流量制御装置。 - 前記一対の変位伝達部材のガイド穴の下方側の内周縁部を、前記出力部の各アームが係止される係止部とし、前記出力部の各アーム部の下面に、前記係止部に着脱自在に嵌合されて位置決めされる前記係止部と同じ形状の係止溝を形成したことを特徴とする請求項14に記載の流量制御装置。
- 前記係止部及び前記係止溝は、平面形状において同一円周上に位置する円弧形状としたことを特徴とする請求項15に記載の流量制御装置。
- 前記下部支持部材が連結されるボンネットを更に備え、該ボンネットには、前記一対の変位伝達部材の下端部、前記円柱状部の上部、前記一対のアーム部及び前記弾性体が収容される凹部と、前記円柱状部の下部が摺動可能に挿入される通孔とが形成されていることを特徴とする請求項14に記載の流量制御装置。
- 前記出力部は、前記円柱状部の下部外周面に形成した環状溝に嵌合された環状のシール部材を介して前記通孔に摺動可能に支持されていることを特徴とする請求項17に記載の流量制御装置。
- 前記ボンネットは、前記積層圧電アクチュエータの幅寸法と同一若しくは同程度の寸法に形成されていることを特徴とする請求項17に記載の流量制御装置。
- 前記弁体の下流側の流路内に介在されたオリフィスと、前記オリフィスの上流側の流路内の圧力を検出する圧力検出器と、を更に備え、
前記制御装置は、前記圧力検出器の検出値に基づいて前記圧電駆動バルブを開閉制御することを特徴とする請求項14に記載の流量制御装置。 - 前記ボディに連結され、前記ボディの上流側の流路に連通する入口側流路を有する入口側ブロックと、前記ボディに連結され、前記ボディの下流側の流路に連通する出口側流路を有すると共に、前記出口側流路内の圧力を検出する圧力検出器を設けた出口側ブロックと、を更に備えていることを特徴とする請求項14に記載の流量制御装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11892100B2 (en) | 2019-12-27 | 2024-02-06 | Fujikin Incorporated | Diaphragm valve, flow control device, fluid control device, and semiconductor manufacturing device |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019059043A1 (ja) * | 2017-09-25 | 2019-03-28 | 株式会社フジキン | バルブ装置、流量調整方法、流体制御装置、流量制御方法、半導体製造装置および半導体製造方法 |
WO2019104066A1 (en) | 2017-11-21 | 2019-05-31 | Vistadeltek, Llc | Compact circular linkage for a pushing actuator |
CN111433496A (zh) * | 2017-11-30 | 2020-07-17 | 株式会社富士金 | 阀装置、使用该阀装置的流体控制装置以及半导体制造装置 |
KR102337975B1 (ko) * | 2018-03-09 | 2021-12-10 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브 장치 |
CN109282073A (zh) * | 2018-09-20 | 2019-01-29 | 北京七星华创流量计有限公司 | 压电阀驱动器以及压电阀 |
WO2020066491A1 (ja) * | 2018-09-29 | 2020-04-02 | 株式会社フジキン | ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 |
JP2020089037A (ja) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | 株式会社堀場エステック | ピエゾアクチュエータ、流体制御バルブ、及び、流体制御装置 |
US11079035B2 (en) * | 2019-07-12 | 2021-08-03 | Pivotal Systems Corporation | Preloaded piezo actuator and gas valve employing the actuator |
JP7415628B2 (ja) | 2020-02-07 | 2024-01-17 | Tdk株式会社 | 圧電アクチュエータ |
JP7045738B1 (ja) * | 2021-03-23 | 2022-04-01 | 株式会社リンテック | 常時閉型流量制御バルブ |
CN114784178B (zh) * | 2022-06-22 | 2022-09-09 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 压电致动器及移动装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0434275A (ja) * | 1990-05-26 | 1992-02-05 | Stec Kk | 常閉型流体制御バルブ |
JP3291161B2 (ja) | 1995-06-12 | 2002-06-10 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
SE0004733D0 (sv) * | 2000-12-20 | 2000-12-20 | Piezomotor Uppsala Ab | Double bimorph electromechanical element |
JP2002247867A (ja) * | 2001-02-15 | 2002-08-30 | Yutaka Abe | 転動による積層圧電セラミックの変位拡大アクチュエーター |
JP4119109B2 (ja) | 2001-10-17 | 2008-07-16 | 株式会社フジキン | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 |
CN100511746C (zh) * | 2004-09-13 | 2009-07-08 | 株式会社电装 | 压电执行元件 |
JP4743763B2 (ja) * | 2006-01-18 | 2011-08-10 | 株式会社フジキン | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 |
JP5177864B2 (ja) * | 2008-06-04 | 2013-04-10 | 株式会社フジキン | 熱式質量流量調整器用自動圧力調整器 |
JP5301983B2 (ja) | 2008-12-26 | 2013-09-25 | 株式会社フジキン | ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置 |
JP5669384B2 (ja) * | 2009-12-01 | 2015-02-12 | 株式会社フジキン | 圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流量制御装置 |
JP4951091B2 (ja) * | 2010-05-28 | 2012-06-13 | 株式会社フジキン | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 |
US8729774B2 (en) * | 2010-12-09 | 2014-05-20 | Viking At, Llc | Multiple arm smart material actuator with second stage |
CN105940251B (zh) * | 2014-02-24 | 2018-08-03 | 株式会社富士金 | 压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置 |
CN204366662U (zh) * | 2014-12-15 | 2015-06-03 | 吉林大学 | 曲率半径可调式非球面凹透镜加工装置 |
DE102016112115A1 (de) * | 2016-07-01 | 2018-01-04 | Bürkert Werke GmbH | Ventillinearantrieb sowie Ventil |
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