WO2011092929A1 - 流体制御器および流量制御装置 - Google Patents

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WO2011092929A1
WO2011092929A1 PCT/JP2010/070984 JP2010070984W WO2011092929A1 WO 2011092929 A1 WO2011092929 A1 WO 2011092929A1 JP 2010070984 W JP2010070984 W JP 2010070984W WO 2011092929 A1 WO2011092929 A1 WO 2011092929A1
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valve
limit switch
bolt
piston
fluid controller
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PCT/JP2010/070984
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隆 廣瀬
普 小川
俊英 吉田
耕平 執行
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株式会社フジキン
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    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means

Definitions

  • the present invention includes a valve and a limit switch that detects an open / closed state of the valve.
  • the present invention relates to a fluid controller that is preferably used in a device that performs flow control, and a flow control device that uses such a fluid controller. .
  • Patent Document 1 discloses a body in which a required fluid passage is formed, a control valve, a sensor and a switching valve attached to the body, and an outlet passage from the control valve. A first orifice provided in the outlet passage from the switching valve, and a control unit. When the switching valve is closed, the flow rate in the first orifice is controlled.
  • a device range variable flow control device
  • An object of the present invention is to provide a fluid controller capable of downsizing a fluid controller that combines a valve and a limit switch.
  • the fluid controller according to the present invention includes a valve that opens and closes a fluid passage and a limit switch that detects the operation of the valve.
  • the valve protrudes from the opening of the casing to open and close the valve. Accordingly, there is a moving member that linearly moves and comes into contact with the limit switch, and the limit switch faces the moving member and is attached so that the position can be adjusted.
  • a commercially available limit switch can be used as it is, so that the open / closed state of the valve can be detected with a simple configuration.
  • the moving member that is a component of the valve has a protruding portion that protrudes from the opening of the casing, and the limit switch is attached to the moving member so that the position can be adjusted.
  • the limit switch can be arranged, and the fluid controller combining the valve and the limit switch can be made compact.
  • the valve is not particularly limited, and usually the body provided with the fluid passage, the casing provided above the body, the valve body for opening and closing the fluid passage, and the valve body by moving up and down.
  • a valve stem that moves in the opening or closing direction and an actuator that drives the valve stem are provided.
  • the moving member is, for example, a piston provided at the upper end of a valve rod that moves up and down to open and close the fluid passage through the valve element.
  • the moving member is not limited to this, and the upper end portion of the valve stem itself may be used as a moving member that contacts the limit switch.
  • a member other than the piston is attached to the valve stem, and this is used as the limit switch. You may use as a moving member to contact
  • This fluid controller can be suitably used, for example, as a switching valve in a flow control device, but is not limited to this, and various fluid controllers that require a valve with a limit switch for detecting an open / close state are required. Can be used in applications.
  • the fluid controller further includes a limit switch positioning means.
  • the limit switch positioning means includes a first bolt fixed to the body of the valve, a second bolt fixed to the limit switch, and a female screw portion screwed to the first bolt at one end.
  • a female screw portion that is screwed to the second bolt is provided, and has a connecting screw that connects both bolts, and the pitch is different between the first bolt and the second bolt. Is preferred.
  • the axial direction of the bolt and connecting screw is parallel to the moving direction of the valve stem of the valve, and the positioning means of the limit switch is arranged close to the valve.
  • the first bolt and the second bolt are screws in the same direction (for example, right screws).
  • this limit switch positioning means when the connecting screw is rotated while preventing the first bolt and the second bolt from rotating together, the connecting screw is moved in the direction according to the screw alignment with the bolt having a large pitch.
  • the connecting screw moves in the same direction even with respect to a bolt with a small pitch, the distance between both ends of the limit switch positioning means (the distance from the head of the first bolt to the head of the second bolt). ) Is the difference in pitch between the first bolt and the second bolt ⁇ the number of rotations of the connecting screw. In this way, when the connecting screw is rotated, the amount of movement of the limit switch becomes a minute amount according to the difference in pitch, and the limit switch can be accurately positioned.
  • the pitch can be easily done by changing the bolt diameter, and the pitch can also be made different by setting one bolt as a coarse screw and the other as a fine screw. be able to.
  • Such bolts are commercially available and can be easily manufactured even if manufactured. By using not only coarse threads that are generally used, but also fine threads, a required pitch difference can be obtained using bolts according to the standard.
  • the first bolt includes a connection-side male screw portion that is screwed to the connection screw, a fixed-side male screw portion that is provided on the valve body and screwed to the screw portion, and an engagement for engaging the tool.
  • Part for example, hexagonal column-shaped engaging part
  • the second bolt is a connection-side male thread part screwed to the connection screw, and a limit switch (or a connection attached to the limit switch) It is assumed that it has a fixed-side male threaded portion that is screwed to the threaded portion because it is provided on the metal fitting) and an engaging portion (for example, a hexagonal columnar engaging portion) for engaging the tool.
  • the difference in pitch between the first bolt and the second bolt means that the pitch is different between the connection-side male screw portion of the first bolt and the connection-side male screw portion of the second bolt.
  • the limit switch positioning means and the valve are fixed by providing a female screw portion corresponding to the fixed-side male screw portion of the first bolt in the valve body and screwing the first bolt into the valve body.
  • the limit switch positioning means and the limit switch are fixed via a connection fitting.
  • the second bolt is attached to the connection fitting fixed to the limit switch with a screw or the like.
  • a female screw portion corresponding to the fixed-side male screw portion is provided, and the second bolt is screwed into the connection fitting.
  • the fixed-side male thread portion of each bolt may have the same pitch as the connection-side male thread portion or a different pitch.
  • the fixed male threaded part of each bolt is designed to be attached to the valve body or limit switch, and the connecting side and fixed side of each bolt are both male threaded parts, simplifying the mounting structure. be able to.
  • the fixed side of the limit switch positioning means is not limited to the male threaded portion of each bolt, but may be a female threaded portion, and may be limited by other appropriate configurations not depending on screw tightening. Switch positioning means may be attached to the body of the valve and the limit switch.
  • the limit switch positioning means further includes a first lock nut that prevents relative rotation between the connection screw and the first bolt, and a second lock nut that prevents relative rotation between the connection screw and the second bolt. It is preferable.
  • the fluid controller according to the present invention can be suitably used, for example, as a switching valve in a flow rate variable flow control device.
  • the flow rate variable type flow control device includes a body in which a required fluid passage is formed, a control valve attached to the body, a switching valve with a sensor and a limit switch, and a first passage provided in an outlet passage from the control valve.
  • An orifice, a second orifice provided in the outlet passage from the switching valve, and a control unit for controlling the flow rate are provided.
  • the switching valve is closed, the flow rate in the first orifice is controlled.
  • the switching valve is opened, the flow rate of the second orifice is controlled.
  • the application of the fluid controller according to the present invention is not limited to the flow rate control device as described above.
  • the valve has a moving member that partially protrudes from the opening of the casing, moves linearly as the valve opens and closes, and comes into contact with the limit switch. Because it is mounted to be adjustable in position, the limit switch can be arranged easily and using less space, and the fluid controller that combines the valve and limit switch can be made compact. Can do.
  • FIG. 1 is a front sectional view showing an embodiment of a flow control device using a fluid controller according to the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged front sectional view of the limit switch positioning means of the fluid controller according to the present invention.
  • FIG. 3 is an exploded view of the limit switch positioning means of the fluid controller according to the present invention.
  • FIG. 4 is an enlarged front sectional view of the valve of the fluid controller according to the present invention.
  • FIG. 1 shows a part of a flow control device using a fluid controller according to the present invention.
  • the flow control device (1) is a pressure type and a variable flow range type, and a body (2) in which a required fluid passage (2a) (2b) (2c) (2d) (2e) is formed, and Control valve (3) attached to the body (2), switching valve (6) with pressure sensor (4) and limit switch (7), control unit (not shown), outlet passage from the control valve (3)
  • the first orifice (9) provided in (2b) and the second orifice (10) provided in the outlet passage (2e) from the switching valve (6) are provided.
  • the control valve (3), pressure sensor (4), and switching valve (6) are arranged in this order from the left, and correspondingly, the body (2) has an inlet to the control valve (3).
  • a branch passage (2d) for allowing the outlet passage (2b) from the refrigerant to flow into the switching valve (6) and an outlet passage (2e) from the switching valve (6) are provided.
  • the outlet passage (2b) from the control valve (3) and the outlet passage (2e) from the switching valve (6) are arranged in parallel, and the orifices are arranged at the outlet portion of each outlet passage (2b) (2e). (9) (10) is provided.
  • a passage block (11) formed with an inlet passage (11a) leading to the inlet passage (2a) to the control valve (3).
  • a passage block (12) in which an outlet passage (2b) from the control valve (3) and an outlet passage (12a) leading to the outlet passage (2e) from the switching valve (6) are formed.
  • this flow control device (1) when the switching valve (6) is closed, the flow rate of the first orifice (9) is controlled, and when the switching valve (6) is opened, the second The flow rate in the orifice (10) is controlled, and the pressure upstream of the orifice (9) (10) is measured by the pressure sensor (4), and this pressure causes the orifice (9) (10) to be controlled.
  • the flow rate passing through the orifices (9) and (10) is controlled by adjusting the opening / closing amount of the control valve (3) while calculating the flow rate passing therethrough.
  • Two orifices (9) and (10) are provided in the outlet passage (2e) from the switching valve (6) (10) for large flow, and the outlet passage (2b) from the control valve (3)
  • the thing (9) provided in is used for a small flow rate. Therefore, when the switching valve (6) is closed, the fluid is discharged only from the outlet passage (2b) from the control valve (3), the small flow rate is controlled, and the switching valve (6) is When opened, the fluid is discharged from both the outlet passage (2b) from the control valve (3) and the outlet passage (2e) from the switching valve (6), and a large flow rate is controlled.
  • the above flow control device (1) is characterized by a switching valve (6) with a limit switch (7), and the control valve (3), pressure sensor (4), and two orifices (9) and (10) are well known. It is the same as that of the prior art in that a switching valve (6) for switching between the two orifices (9) and (10) is provided.
  • the fluid controller (5) includes a switching valve (6), a limit switch (7) for detecting the open / closed state of the switching valve (6), and a limit switch positioning means (8).
  • the switching valve (6) is a pneumatically-actuated normally-closed valve, and is opened and closed when the electromagnetic valve is activated by a signal from the control unit.
  • the open / close state of the switching valve (6) is detected by the limit switch (7) and input to the control unit.
  • the switching valve (6) is pressed against the casing (21) provided above the body (2), the annular valve seat (22) provided at the periphery of the branch passage (2d), and the annular valve seat (22).
  • a diaphragm (valve element) (23) that opens and closes the branch passage (2d) by being spaced apart
  • a diaphragm retainer (24) that presses the diaphragm (23) downward
  • a casing (21) that is raised or lowered
  • the valve rod (25) that moves the diaphragm (23) in the opening or closing direction
  • the upper and lower two-stage pistons (the upper first piston (26) and the lower first piston provided on the valve rod (25))
  • a compression coil spring (elastic member) (28) for urging the valve rod (25) downward
  • piston driving means for driving the first and second pistons (26, 27) ( 29).
  • the limit switch (7) is commercially available and comprises a main body (31), a detection unit (32), and a terminal unit (33), and is normally off and is a moving member to be detected (here, the first member described above).
  • the upper end portion of the piston (26) abuts on the detection portion (32) and pushes it up to turn on the switch.
  • the limit switch (7) is exposed to the upper surface of the first piston (26) exposed from the opening of the casing (21), whereby the first piston (26) moving integrally with the valve stem (25) is moved.
  • the limit switch (7) is turned on when it comes into contact with the limit switch (7).
  • the limit switch positioning means (8) is fixed to the connection fitting (41) attached to the limit switch (7), the first bolt (42) fixed to the body (2), and the connection fitting (41).
  • a second lock nut (46) for preventing relative rotation between the connecting screw (44) and the second bolt (43).
  • the connecting screw (44) has a female thread portion (44a) screwed to the first bolt (42) at the lower end and a second bolt (43) at the upper end.
  • a female thread portion (44b) to be screwed is provided.
  • the first bolt (42) includes a connection-side male screw portion (42a) that is screwed to the connection screw (44), and a fixed-side male screw portion (42b) that is provided on the body (2) and screwed to the screw portion. And a hexagonal column-shaped engaging portion (42c) for engaging the tool, and the second bolt (43) is connected to the connecting screw (44) and is connected to the connecting side male screw portion (43a).
  • a fixed-side male screw part (43b) that is provided on the connection fitting (41) of the limit switch (7) and screwed to the screw part, and a hexagonal column-shaped engagement part (43c) for engaging the tool And have.
  • each bolt (42) (43) and connecting screw (44) is parallel to the direction of movement of the valve stem (25) of the switching valve (6) (that is, all in the vertical direction), and limit switch positioning means ( 8) is arranged so as to be substantially in contact with the switching valve (6).
  • the first bolt (42) and the second bolt (43) are both right-handed, but have different pitches.
  • the connection-side male screw portion (42a) and the fixed-side male screw portion (42b) of the first bolt (42) are both M4 ⁇ 0.7 coarse screws
  • the connecting side external thread (43a) is an M3 ⁇ 0.35 fine thread
  • the fixed side external thread (43b) of the second bolt (43) is an M3 ⁇ 0.5 coarse thread. It is a screw.
  • the limit switch (7) is fixed to the second bolt (43) of M3 (pitch 0.35 mm) via the connection fitting (41), and the second bolt (M3 (pitch 0.35 mm)) ( 43) and a first bolt (42) of M4 (pitch 0.7 mm) are screwed into the connecting screw (44). Therefore, when the connecting screw (44) is rotated, the limit switch (7) advances downward due to the difference in bolt pitch between M3 and M4, and thereby the limit switch (7) can be aligned. After this alignment, the lock nuts (45) and (46) are tightened to prevent the first bolt (42) and the second bolt (43) from rotating, and the position of the limit switch (7) thereafter. Changes are prevented.
  • the lock nuts (45) and (46) are loosened and the first bolt (42) and the second bolt (43) are prevented from rotating together.
  • the connecting screw (44) moves in the direction according to the screw alignment with the first bolt (42) which is a bolt having a large pitch.
  • the second bolt (43) which is a bolt with a small pitch, so that the distance between both ends of the limit switch positioning means (8) (from the lower end of the first bolt (42) to the second
  • the amount of change in the distance to the upper end of the bolt (43) is between the connection-side male screw portion (42a) of the first bolt (42) and the connection-side male screw portion (43a) of the second bolt (43).
  • the difference in pitch (0.7-0.35) x the number of rotations of the connecting screw (44). Therefore, by rotating the connecting screw (44), the limit switch (7) moves according to the pitch difference (0.7-0.35).
  • the limit switch positioning means (8) is fixed to the body (2) by screwing the fixed-side male thread portion (42b) of the first bolt (42) to the body (2).
  • the limit switch positioning means (8) is configured such that the fixed external thread (43b) of the second bolt (43) is screwed onto the connection fitting (41) fixed to the limit switch (7) with a screw. Fixed to the limit switch (7).
  • FIG. 4 shows a cross-sectional view of the switching valve (6).
  • the internal structure of the switching valve (6) will be described below with reference to FIG.
  • the casing (21) includes a lower casing (51) screwed and fixed to the body (2), and an upper casing (52) coupled to the lower casing (51) by a connector (53).
  • the connector (53) is in the form of a ring having a through hole through which the valve stem (25) can be vertically moved and fluid-tightly inserted, and a screw is formed on the outer periphery.
  • the first piston (26) is disposed in the upper casing (52) so as to be vertically movable so that the lower surface thereof faces the upper surface of the connector (53), and the upper surface of the second piston (27) is It is arranged in the lower casing (51) so as to be movable up and down so as to face the lower surface of the connector (53).
  • the valve stem (25) is formed of two parts (stem (54) and stem piston (55)).
  • the stem (54) is composed of a shaft portion provided with a female screw portion at the upper portion and a flange portion provided at the lower end portion of the shaft portion, and the lower surface of the flange portion is brought into contact with the diaphragm retainer (24).
  • the stem piston (55) includes a shaft portion having a lower end screwed to the shaft portion of the stem (54), and a flange portion formed integrally with an intermediate portion of the shaft portion.
  • the flange portion of the stem piston (55) forms the second piston (27), and the combination of the stem (54) and the shaft portion of the stem piston (55) is the valve rod (25). .
  • the piston driving means (29) is a device for causing the driving gas to act on the pistons (26) and (27) in order to move the valve rod (25) upward, and the first and second driving gas introduction chambers (for that purpose) 56) (57) is formed below each piston (26) (27).
  • the first driving gas introduction chamber (56) is formed between the first piston (26) and the connector (53), and the second driving gas introduction chamber (57) is formed between the second piston (27) and the lower part. It is formed between the inward flange portion of the casing (51).
  • the upper casing (52) is formed so as to open upward, and the first piston (26) moves the piston upper end from the opening of the upper casing (52) when the valve rod (25) is in the upper position.
  • the valve rod (25) is provided at the upper end so as to be exposed.
  • a male thread portion is provided at the upper end of the valve stem (25) (the shaft portion of the stem piston (55)), and a through hole (26a) is provided in the first piston (26).
  • a female thread portion that is screwed onto the upper end of the valve stem (25) is provided below the through hole (26a).
  • the valve stem (25) and the first piston (26) are the first piston (26).
  • the upper end portion of the valve stem (25) is inserted into the lower portion of the through hole (26a) and screwed together to be coupled.
  • the upper part of the through hole (26a) of the first piston (26) is a drive gas introduction part (58) to which a pipe for introducing drive gas can be connected. And, in the valve stem (25), the axial passage (59) extending downward from the driving gas introduction portion (58), and the radial direction from the middle portion of the axial passage (59) to the first driving gas introduction chamber (56).
  • a radial passage (61) is formed from the lower end of the passage (60) and the axial passage (59) to the second drive gas introduction chamber (57).
  • this switching valve (6) when the driving gas is not introduced into the respective driving gas introduction chambers (56) (57) of the switching valve (6) (the switching valve (6) is closed), the valve rod (25) is in the closed position (downward position) by the urging force of the compression coil spring (28), and accordingly, the first piston (26) is also in the downward position. Therefore, the limit switch (7) is off.
  • the valve stem (25) resists the biasing force of the compression coil spring (28).
  • the first piston (26) is also moved to the upper position. As a result, it is detected that the upper end of the first piston (26) is in contact with the detection unit (32) of the limit switch (7), and the switching valve (6) is opened, and this is sent to the control unit.
  • the switching valve (6) disposed between the control valve (3) and the orifice (9) (10) is provided with the limit switch (7) as described above. Therefore, the flow control accuracy is excellent, and the space for installing the limit switch (7) is just a space for adding the limit switch positioning means (8) extending vertically, and is compact. Can be.
  • the limit switch positioning means (8) moves the limit switch (7) according to the pitch difference (0.7-0.35), the limit switch (7) can be accurately positioned.
  • the lock nut (45) (46) prevents the limit switch (7) from moving. Secured.
  • the flow control device (1) includes a pressure type using a pressure sensor as described above and a thermal type using a temperature sensor, and the fluid controller (5) is a thermal type. It can also be applied to things.
  • the fluid controller (5) can be used for applications other than the flow control device, for example, a component of a fluid control device called an integrated fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus. Can also be used.
  • a fluid control device a plurality of fluid control devices are arranged in series, and a plurality of lines formed by being connected without a pipe or a joint are installed in parallel on the base member. Integration is progressing, and the fluid control device includes, for example, a plurality of fluids that are upper layers so that a plurality of block-shaped joint members that are lower layers are attached to the base member by male screw members and straddle adjacent joint members. Control equipment is assumed to be installed.
  • the same function as that of the body (2) of the flow control device (1) can be given to the main body or passage block of the fluid control device (for example, on-off valve). It is easy to attach limit switch positioning means (8).
  • the movable range of the limit switch positioning means (8) is appropriately set according to the dimension of the switching valve (6) and the amount of movement of the first piston (26), and the female thread portion (44a) of the connecting screw (44). ) (44b) and the connecting-side male thread portions (42a) (43a) of the first and second bolts (42) and (43) can be lengthened to expand the movable range.
  • the limit switch for detecting the open / closed state is added to the valve, and the fluid controller combining the valve and the limit switch can be made compact, so that it is suitable as a switching valve in a flow control device, for example. It can be used for various other purposes.

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Abstract

　バルブとリミットスイッチとを合わせた流体制御器のコンパクト化が可能な流体制御器を提供する。　バルブ6は、ケーシング21の開口から突出する突出部を有しバルブ6の開閉に伴って直線移動してリミットスイッチ7に当接する移動部材としてのピストン26を有している。リミットスイッチ7は、ピストン26に臨まされて、リミットスイッチ位置決め手段8を介して位置調整可能に取り付けられている。リミットスイッチ位置決め手段8は、ボディ2に固定された第１のボルト42と、リミットスイッチ7に固定された第２のボルト43と、両ボルト42,43を連結する連結ねじ44とを有しており、第１のボルト42と第２のボルト43とでピッチが異なるものとされている。

Description

流体制御器および流量制御装置
　この発明は、バルブおよびバルブの開閉状態を検出するリミットスイッチを備えており、例えば、流量制御を行う装置で好適に使用される流体制御器およびこのような流体制御器を使用した流量制御装置に関する。
　この発明が対象とする流量制御装置として、特許文献１には、所要の流体通路が形成されたボディと、ボディに取り付けられたコントロールバルブ、センサおよび切換バルブと、コントロールバルブからの出口通路に設けられた第１のオリフィスと、切換バルブからの出口通路に設けられた第２のオリフィスと、制御部とを備えており、切換バルブが閉じられた場合、第１のオリフィスにおける流量の制御が行われ、切換バルブが開けられた場合、第２のオリフィスにおける流量の制御が行われるもの（レンジ可変型流量制御装置）が提案されている。
特開２００７－４６４４号公報
　上記特許文献１の流量制御装置における切換バルブでは、その開閉状態をリミットスイッチで検出することが好ましい。リミットスイッチをバルブに内蔵する場合、バルブの構成が複雑となって大型化し、また、リミットスイッチの位置調整がしにくくなるという問題があるため、リミットスイッチをバルブの外側に設置することが好ましいが、この場合には、リミットスイッチの配置のためのスペースが必要となり、バルブとリミットスイッチとを合わせた流体制御器のコンパクト化が課題となる。
　この発明の目的は、バルブとリミットスイッチとを合わせた流体制御器のコンパクト化が可能な流体制御器を提供することにある。
　この発明による流体制御器は、流体通路の開閉を行うバルブと、バルブの動作を検出するリミットスイッチとを備えている流体制御器において、バルブは、ケーシングの開口から一部を突出させバルブの開閉に伴って直線移動してリミットスイッチに当接する移動部材を有しており、リミットスイッチは、移動部材に臨まされて位置調整可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
　リミットスイッチは、市販のものをそのまま使用することができ、これにより、簡単な構成でバルブの開閉状態を検出することができる。そして、リミットスイッチの配置に際し、バルブの構成要素である移動部材がケーシングの開口から突出する突出部を有しており、リミットスイッチは、この移動部材に臨まされて位置調整可能に取り付けられているようにすることで、容易にかつ使用するスペースを少なくして、リミットスイッチの配置ができ、バルブとリミットスイッチとを合わせた流体制御器をコンパクト化することができる。
　バルブは、特に限定されるものではなく、通常、流体通路が設けられたボディと、ボディの上方に設けられたケーシングと、流体通路を開閉する弁体と、上昇または下降することにより弁体を開または閉方向に移動させる弁棒と、弁棒を駆動するアクチュエータとを備えているものとされる。
　移動部材は、例えば、上下移動することで弁体を介して流体通路を開閉する弁棒の上端部に設けられたピストンとされる。移動部材は、これに限られるものではなく、弁棒の上端部自体がリミットスイッチに当接する移動部材として使用されてもよく、弁棒にピストンとは別の部材を取り付けてこれをリミットスイッチに当接する移動部材として使用してもよい。
　この流体制御器は、例えば、流量制御装置における切換バルブとして好適に使用することができるが、これに限定されるものではなく、開閉状態を検出するリミットスイッチ付きとしたバルブを必要とする種々の用途で使用することができる。
　流体制御器は、リミットスイッチの位置決め手段をさらに備えていることが好ましい。
　リミットスイッチの位置決め手段は、バルブのボディに固定された第１のボルトと、リミットスイッチに固定された第２のボルトと、一端に第１のボルトにねじ合わされるめねじ部が、他端に第２のボルトにねじ合わされるめねじ部がそれぞれ設けられて両ボルトを連結する連結ねじとを有しており、第１のボルトと第２のボルトとでピッチが異なるものとされていることが好ましい。
　ボルトおよび連結ねじの軸方向は、バルブの弁棒の移動方向と平行とされ、リミットスイッチの位置決め手段は、バルブに近接して配置される。また、第１のボルトと第２のボルトとは、同じ方向のねじ（例えば右ねじ同士）とされる。このリミットスイッチ位置決め手段によると、第１のボルトおよび第２のボルトの共回りを防止しておいて、連結ねじを回転させると、連結ねじは、ピッチ大のボルトとのねじ合わせに従ってその方向に移動することになるが、連結ねじは、ピッチ小のボルトに対しても同じ方向に移動するので、リミットスイッチ位置決め手段の両端間隔（第１のボルトの頭から第２のボルトの頭までの距離）の変化量は、第１のボルトと第２のボルトとのピッチの差×連結ねじの回転数となる。このようにすると、連結ねじを回転させた場合、リミットスイッチの移動量は、ピッチの差に従う微少量となり、リミットスイッチを精度よく位置決めすることができる。
　ピッチが異なるようにするには、ボルト径を変更することで容易に行うことができ、また、同じボルト径として、一方を並目ねじ、他方を細目ねじとすることでもピッチが異なるようにすることができる。このようなボルトは市販されており、また、製作するとしても容易に製作することができる。そして、一般的に使用されている並目ねじだけでなく、細目ねじも使用することで、規格に従ったボルトを使用して、所要のピッチ差を得ることができる。
　例えば、第１のボルトは、連結ねじにねじ合わされる連結側おねじ部と、バルブのボディに設けられためねじ部にねじ合わされる固定側おねじ部と、工具を係合させるための係合部（例えば六角柱状の係合部）とを有しているものとされ、第２のボルトは、連結ねじにねじ合わされる連結側おねじ部と、リミットスイッチ（またはリミットスイッチに取り付けられた接続金具）に設けられためねじ部にねじ合わされる固定側おねじ部と、工具を係合させるための係合部（例えば六角柱状の係合部）とを有しているものとされる。この場合、第１のボルトと第２のボルトとでピッチが異なるとは、第１のボルトの連結側おねじ部と第２のボルトの連結側おねじ部とでピッチが異なることを意味するものとなる。例えば、第１のボルトの連結側おねじ部および第２のボルトの連結側おねじ部のいずれか一方をＭ４の並目ねじ（ピッチ０．７）とし、他方をＭ３の細目ねじ（ピッチ０．３５）とすると、連結ねじを１回転させた場合のリミットスイッチの移動量は、０．７－０．３５＝０．３５（ｍｍ）となる。
　リミットスイッチ位置決め手段とバルブとの固定は、バルブのボディに、第１のボルトの固定側おねじ部に対応するめねじ部が設けられて、第１のボルトがバルブのボディにねじ込まれることで行われることが好ましい。また、リミットスイッチ位置決め手段とリミットスイッチとの固定は、接続金具を介して行われることが好ましく、このような固定は、例えば、リミットスイッチにねじ等で固定された接続金具に、第２のボルトの固定側おねじ部に対応するめねじ部が設けられて、第２のボルトが接続金具にねじ込まれることで行われる。
　各ボルトの固定側おねじ部は、連結側おねじ部と同じピッチとしてもよく、異なるピッチであってもよい。各ボルトの固定側おねじ部は、バルブのボディまたはリミットスイッチに取り付けるための構成であり、各ボルトの連結側および固定側を両方ともおねじ部とすることで、取付けの構成を簡素化することができる。ただし、リミットスイッチ位置決め手段の固定側は、各ボルトのおねじ部に限定されるものではなく、めねじ部とされてもよく、また、ねじの締付けによらない他の適宜な構成によって、リミットスイッチ位置決め手段がバルブのボディおよびリミットスイッチに取り付けられるようにしてもよい。
　リミットスイッチ位置決め手段は、連結ねじと第１のボルトとの相対回転を阻止する第１のロックナットと、連結ねじと第２のボルトとの相対回転を阻止する第２のロックナットとをさらに有していることが好ましい。
　このようにすることで、リミットスイッチ位置決め手段によって精度よく位置合わせされた後のずれが防止され、信頼性がより一層向上する。
　この発明による流体制御器は、例えば、流量レンジ可変型流量制御装置における切換バルブに好適に使用することができる。流量レンジ可変型流量制御装置は、所要の流体通路が形成されたボディと、ボディに取り付けられたコントロールバルブ、センサおよびリミットスイッチ付き切換バルブと、コントロールバルブからの出口通路に設けられた第１のオリフィスと、切換バルブからの出口通路に設けられた第２のオリフィスと、流量の制御を行う制御部とを備えており、切換バルブが閉じられた場合、第１のオリフィスにおける流量の制御が行われ、切換バルブが開けられた場合、第２のオリフィスにおける流量の制御が行われるもので、このような流量制御装置においては、切換バルブの開閉状態は、リミットスイッチの信号で確認することが好ましいものとなっている。ここで、切換バルブの開度は小さく、リミットスイッチの位置合わせには、慎重な操作が必要であり、また、一度位置合わせを行ったリミットスイッチは、しっかりと固定される必要がある。そこで、このような流量レンジ可変型流量制御装置において、コントロールバルブとオリフィスとの間に配置されるリミットスイッチ付き切換バルブが上記の流体制御器（＝リミットスイッチ付き切換バルブ）とされることで、コンパクトでかつ流量制御の精度に優れた流量制御装置を得ることができる。
　この発明による流体制御器の用途が上記のような流量制御装置に限定されないことはもちろんである。
　この発明の流体制御器によると、バルブは、ケーシングの開口から一部を突出させバルブの開閉に伴って直線移動してリミットスイッチに当接する移動部材を有しており、リミットスイッチは、移動部材に臨まされて位置調整可能に取り付けられているので、容易にかつ使用するスペースを少なくして、リミットスイッチを配置することができ、バルブとリミットスイッチとを合わせた流体制御器をコンパクト化することができる。
図１は、この発明による流体制御器を使用した流量制御装置の１実施形態を示す正面断面図である。 図２は、この発明による流体制御器のリミットスイッチ位置決め手段の拡大正面断面図である。 図３は、この発明による流体制御器のリミットスイッチ位置決め手段の分解図である。 図４は、この発明による流体制御器のバルブの拡大正面断面図である。
(1)　　　 流量制御装置
(2)　　　 ボディ
(3)　　　 コントロールバルブ
(4)　　　 圧力センサ（センサ）
(5)　　　 流体制御器
(6)　　　 切換バルブ（バルブ）
(7)　　　 リミットスイッチ
(8)　　　 リミットスイッチ位置決め手段
(9)　　　 第１のオリフィス
(10)　　　第２のオリフィス
(21)　　　ケーシング
(23)　　　ダイヤフラム（弁体）
(25)　　　弁棒
(26)　　　第１ピストン（移動部材）
(29)　　　ピストン駆動手段
(42)　　　第１のボルト
(43)　　　第２のボルト
(44)　　　連結ねじ
(44a)(44b)めねじ部
(45)　　　第１のロックナット
(46)　　　第２のロックナット
　この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下・左右は、図１の上下・左右をいうものとする。
　図１は、この発明による流体制御器を使用した流量制御装置の一部を示している。
　流量制御装置(1)は、圧力式でかつ流量レンジ可変型のものであり、所要の流体通路(2a)(2b)(2c)(2d)(2e)が形成されたボディ(2)と、ボディ(2)に取り付けられたコントロールバルブ(3)、圧力センサ(4)およびリミットスイッチ(7)付き切換バルブ(6)と、制御部（図示略）と、コントロールバルブ(3)からの出口通路(2b)に設けられた第１のオリフィス(9)と、切換バルブ(6)からの出口通路(2e)に設けられた第２のオリフィス(10)とを備えている。
　コントロールバルブ(3)、圧力センサ(4)および切換バルブ(6)は、左からこの順で配置されており、これに対応して、ボディ(2)には、コントロールバルブ(3)への入口通路(2a)、コントロールバルブ(3)からの出口通路(2b)、コントロールバルブ(3)からの出口通路(2b)を圧力センサ(4)に連通させる連通路(2c)、コントロールバルブ(3)からの出口通路(2b)を切換バルブ(6)に流入させる分岐通路(2d)および切換バルブ(6)からの出口通路(2e)が設けられている。コントロールバルブ(3)からの出口通路(2b)と切換バルブ(6)からの出口通路(2e)とは、並列状に配置されて、各出口通路(2b)(2e)の出口部に上記オリフィス(9)(10)が設けられている。
　ボディ(2)の左側には、コントロールバルブ(3)への入口通路(2a)に通じる入口通路(11a)が形成された通路ブロック(11)が突き合わされており、ボディ(2)の右側には、コントロールバルブ(3)からの出口通路(2b)および切換バルブ(6)からの出口通路(2e)に通じる出口通路(12a)が形成された通路ブロック(12)が突き合わされている。
　この流量制御装置(1)によると、切換バルブ(6)が閉じられた場合、第１のオリフィス(9)における流量の制御が行われ、切換バルブ(6)が開けられた場合、第２のオリフィス(10)における流量の制御が行われるようになっており、オリフィス(9)(10)の上流側の圧力が圧力センサ(4)により測定され、この圧力によりオリフィス(9)(10)を通過する流量を演算しながら、コントロールバルブ(3)の開閉量を調整することにより、オリフィス(9)(10)を通過する流量が制御される。
　２つのオリフィス(9)(10)は、切換バルブ(6)からの出口通路(2e)に設けられたもの(10)が大流量用とされ、コントロールバルブ(3)からの出口通路(2b)に設けられたもの(9)が小流量用とされている。したがって、切換バルブ(6)が閉じられた場合には、流体は、コントロールバルブ(3)からの出口通路(2b)だけから排出されて、小流量の制御が行われ、切換バルブ(6)が開けられた場合には、流体は、コントロールバルブ(3)からの出口通路(2b)および切換バルブ(6)からの出口通路(2e)の両方から排出されて、大流量の制御が行われる。
　こうして、切換バルブ(6)の開閉という簡単な操作によって、大流量オリフィス（第２のオリフィス）(10)と小流量オリフィス（第１のオリフィス）(9)による流量制御を適宜に組み合わせることにより、広範囲の流量域にわたって精度のよい流量制御を行うことができる。
　上記の流量制御装置(1)において、リミットスイッチ(7)付き切換バルブ(6)に特徴があり、コントロールバルブ(3)、圧力センサ(4)および２つのオリフィス(9)(10)は、公知のもので、２つのオリフィス(9)(10)を切り換えるための切換バルブ(6)が設けられている点も従来と同様である。
　以下に、リミットスイッチ(7)付き切換バルブ(6)すなわちこの発明による流体制御器(5)を説明する。
　流体制御器(5)は、切換バルブ(6)と、切換バルブ(6)の開閉状態を検出するリミットスイッチ(7)と、リミットスイッチ位置決め手段(8)とを備えている。
　切換バルブ(6)は、空気圧作動の常時閉鎖型バルブであり、制御部からの信号によって電磁弁が作動することで、開閉されるようになっている。この切換バルブ(6)の開閉状態は、リミットスイッチ(7)により検出されて、制御部へ入力される。
　切換バルブ(6)は、ボディ(2)の上方に設けられたケーシング(21)と、分岐通路(2d)の周縁に設けられた環状弁座(22)と、環状弁座(22)に押圧または離間されて分岐通路(2d)を開閉するダイヤフラム（弁体）(23)と、ダイヤフラム(23)を下方に押圧するダイヤフラム押さえ(24)と、ケーシング(21)内に配置されて上昇または下降することによりダイヤフラム(23)を開または閉方向に移動させる弁棒(25)と、弁棒(25)に設けられた上下２段のピストン（上側の第１ピストン(26)および下側の第２ピストン(27)）と、弁棒(25)を下向きに付勢する圧縮コイルばね（弾性部材）(28)と、第１および第２ピストン(26)(27)を駆動するピストン駆動手段(29)とを備えている。
　リミットスイッチ(7)は、市販のもので、本体(31)、検知部(32)および端子部(33)からなり、通常時がオフで、検知対象となる移動部材（ここでは、上記第１ピストン(26)の上端部）が検知部(32)に当接してこれを押し上げることでスイッチがオンとされる。リミットスイッチ(7)は、ケーシング(21)の開口から露出した第１ピストン(26)の上面に臨まされており、これにより、弁棒(25)と一体で移動する第１ピストン(26)がリミットスイッチ(7)に当接した場合に、リミットスイッチ(7)がオンとなるようになっている。
　リミットスイッチ位置決め手段(8)は、リミットスイッチ(7)に取り付けられた接続金具(41)と、ボディ(2)に固定された第１のボルト(42)と、接続金具(41)に固定された第２のボルト(43)と、両ボルト(42)(43)を連結する連結ねじ(44)と、連結ねじ(44)と第１のボルト(42)との相対回転を阻止する第１のロックナット(45)と、連結ねじ(44)と第２のボルト(43)との相対回転を阻止する第２のロックナット(46)とからなる。
　図２および図３に詳しく示すように、連結ねじ(44)には、下端に第１のボルト(42)にねじ合わされるめねじ部(44a)が、上端に第２のボルト(43)にねじ合わされるめねじ部(44b)がそれぞれ設けられている。第１のボルト(42)は、連結ねじ(44)にねじ合わされる連結側おねじ部(42a)と、ボディ(2)に設けられためねじ部にねじ合わされる固定側おねじ部(42b)と、工具を係合させるための六角柱状の係合部(42c)とを有しており、第２のボルト(43)は、連結ねじ(44)にねじ合わされる連結側おねじ部(43a)と、リミットスイッチ(7)の接続金具(41)に設けられためねじ部にねじ合わされる固定側おねじ部(43b)と、工具を係合させるための六角柱状の係合部(43c)とを有している。
　各ボルト(42)(43)および連結ねじ(44)の軸方向は、切換バルブ(6)の弁棒(25)の移動方向と平行（すなわちすべてが上下方向）とされ、リミットスイッチ位置決め手段(8)は、切換バルブ(6)にほぼ接するようにして配置されている。
　第１のボルト(42)と第２のボルト(43)とは、いずれも右ねじであるが、そのピッチは異なるものとされている。具体的には、第１のボルト(42)の連結側おねじ部(42a)および固定側おねじ部(42b)は、いずれもＭ４×０．７の並目ねじで、第２のボルト(43)の連結側おねじ部(43a)は、Ｍ３×０．３５の細目ねじとされ、第２のボルト(43)の固定側おねじ部(43b)は、Ｍ３×０．５の並目ねじとされている。
　そして、リミットスイッチ(7)は、接続金具(41)を介して、Ｍ３（ピッチ０．３５ｍｍ）の第２のボルト(43)に固定され、Ｍ３（ピッチ０．３５ｍｍ）の第２のボルト(43)とＭ４（ピッチ０．７ｍｍ）の第１のボルト(42)とが連結ねじ(44)にねじ込まれている。したがって、連結ねじ(44)を回転すると、リミットスイッチ(7)は、Ｍ３とＭ４のボルトピッチの違いで下に進み、これにより、リミットスイッチ(7)の位置合わせができる。この位置合わせの後、ロックナット(45)(46)を締め付けることにより、第１のボルト(42)および第２のボルト(43)の回転が防止され、これ以降のリミットスイッチ(7)の位置の変化が防止される。
　このリミットスイッチ位置決め手段(8)によると、ロックナット(45)(46)を緩めておくとともに、第１のボルト(42)および第２のボルト(43)の共回りを防止しておいて、連結ねじ(44)を回転させると、連結ねじ(44)は、ピッチ大のボルトである第１のボルト(42)とのねじ合わせに従ってその方向に移動することになるが、連結ねじ(44)は、ピッチ小のボルトである第２のボルト(43)に対しても同じ方向に移動するので、リミットスイッチ位置決め手段(8)の両端間隔（第１のボルト(42)の下端から第２のボルト(43)の上端までの距離）の変化量は、第１のボルト(42)の連結側おねじ部(42a)と第２のボルト(43)の連結側おねじ部(43a)とのピッチの差（０．７－０．３５）×連結ねじ(44)の回転数となる。したがって、連結ねじ(44)を回転させることにより、リミットスイッチ(7)は、ピッチの差（０．７－０．３５）に従って移動する。
　リミットスイッチ位置決め手段(8)は、第１のボルト(42)の固定側おねじ部(42b)がボディ(2)にねじ合わされることで、ボディ(2)に固定される。また、リミットスイッチ位置決め手段(8)は、リミットスイッチ(7)にねじで固定された接続金具(41)に第２のボルト(43)の固定側おねじ部(43b)がねじ合わされることで、リミットスイッチ(7)に固定される。
　図４には、切換バルブ(6)の断面図が示されており、この図４を参照して、切換バルブ(6)の内部構造を以下に説明する。
　ケーシング(21)は、ボディ(2)にねじ合わされて固定された下部ケーシング(51)と、コネクタ(53)によって下部ケーシング(51)に結合された上部ケーシング(52)とからなる。コネクタ(53)は、弁棒(25)が上下移動可能にかつ流体密に挿通される貫通孔を有するリング状とされており、外周におねじが形成されている。下部ケーシング(51)の上端部および上部ケーシング(52)の下端部には、コネクタ(53)のおねじにねじ合わされるめねじ部が形成されており、下部ケーシング(51)が下側から、上部ケーシング(52)が上側からそれぞれコネクタ(53)にねじ合わされることで、下部ケーシング(51)と上部ケーシング(52)とが互いに突き合わされて結合されている。これにより、コネクタ(53)の上方および下方に、それぞれ第１ピストン(26)および第２ピストン(27)の移動空間が形成されている。そして、第１ピストン(26)は、その下面がコネクタ(53)の上面に対向するように、上下移動可能に上部ケーシング(52)内に配置され、第２ピストン(27)は、その上面がコネクタ(53)の下面に対向するように、上下移動可能に下部ケーシング(51)内に配置されている。
　弁棒(25)は、２つの部品（ステム(54)およびステムピストン(55)）から形成されている。ステム(54)は、上部にめねじ部が設けられた軸部と、軸部の下端部に設けられたフランジ部とからなり、フランジ部の下面がダイヤフラム押さえ(24)に当接させられている。ステムピストン(55)は、下端部がステム(54)の軸部にねじ合わされた軸部と、軸部の中間部に一体に形成されたフランジ部とからなる。ステムピストン(55)のフランジ部は、第２ピストン(27)を形成しており、ステム(54)とステムピストン(55)の軸部とを合わせたものが弁棒(25)となっている。
　ピストン駆動手段(29)は、弁棒(25)を上方に移動させるために、駆動ガスを各ピストン(26)(27)に作用させるもので、そのための第１および第２駆動ガス導入室(56)(57)が各ピストン(26)(27)の下方に形成されている。第１駆動ガス導入室(56)は、第１ピストン(26)とコネクタ(53)との間に形成されており、第２駆動ガス導入室(57)は、第２ピストン(27)と下部ケーシング(51)の内向きフランジ部との間に形成されている。第１および第２駆動ガス導入室(56)(57)に駆動ガス（圧縮空気）が導入されると、第１ピストン(26)および第２ピストン(27)に上向きの力が作用し、これにより、弁棒(25)が上方に移動させられる。これにより、図１に示す流量制御装置(1)において、分岐通路(2d)が開放状態となり、流体が出口通路(2e)に送られる。
　上部ケーシング(52)は、上方に開口するように形成されており、第１ピストン(26)は、弁棒(25)が上方位置にあるときに上部ケーシング(52)の開口からピストン上端部を露出させるように、弁棒(25)上端部に設けられている。具体的には、弁棒(25)（ステムピストン(55)の軸部）の上端部に、おねじ部が設けられるとともに、第１ピストン(26)に貫通孔(26a)が設けられて、貫通孔(26a)の下部に、弁棒(25)上端部にねじ合わされるめねじ部が設けられており、弁棒(25)と第１ピストン(26)とは、第１ピストン(26)の貫通孔(26a)下部に弁棒(25)上端部が挿入されてねじ合わされることで結合されている。
　第１ピストン(26)の貫通孔(26a)の上部は、駆動ガスを導入する配管が接続可能な駆動ガス導入部(58)とされている。そして、弁棒(25)内部に、駆動ガス導入部(58)から下方にのびる軸方向通路(59)、軸方向通路(59)中間部から第１駆動ガス導入室(56)に通じる径方向通路(60)および軸方向通路(59)下端部から第２駆動ガス導入室(57)に通じる径方向通路(61)が形成されている。これにより、駆動ガス導入部(58)は１つとされて、この駆動ガス導入部(58)から各駆動ガス導入室(56)(57)に駆動ガスが流入するようになされている。
　この切換バルブ(6)によると、切換バルブ(6)の各駆動ガス導入室(56)(57)に駆動ガスが導入されていない状態（切換バルブ(6)が閉の状態）では、弁棒(25)は、圧縮コイルばね(28)の付勢力によって、閉位置（下方位置）にあり、これに伴って、第１ピストン(26)も下方位置にある。したがって、リミットスイッチ(7)は、オフとなっている。各駆動ガス導入室(56)(57)に駆動ガスが導入される（切換バルブ(6)を開とする状態）と、弁棒(25)は、圧縮コイルばね(28)の付勢力に抗して、上方に移動させられ、これに伴って、第１ピストン(26)も上方位置に移動する。この結果、第１ピストン(26)の上端がリミットスイッチ(7)の検知部(32)に当接し、切換バルブ(6)が開となったことが検知され、これが制御部に送られる。
　この流量制御装置(1)によると、コントロールバルブ(3)とオリフィス(9)(10)との間に配置される切換バルブ(6)が上記のようなリミットスイッチ(7)付きのものとされることで、流量制御の精度に優れたものとなり、また、リミットスイッチ(7)を設置するためのスペースとしては、上下に伸びるリミットスイッチ位置決め手段(8)を追加するスペースだけでよく、コンパクトなものとすることができる。しかも、リミットスイッチ位置決め手段(8)によって、リミットスイッチ(7)がピッチの差（０．７－０．３５）に従って移動するので、精度よくリミットスイッチ(7)の位置合わせを行うことができる。また、リミットスイッチ(7)の位置合わせの後は、ロックナット(45)(46)によりリミットスイッチ(7)の移動が防止されるので、精度のよいリミットスイッチ(7)の位置合わせが長期にわたって確保される。
　なお、流量制御装置(1)としては、上記ように圧力センサを使用した圧力式のものの他、温度センサを使用した熱式のものがあり、上記の流体制御器(5)は、熱式のものにも適用可能である。
　また、上記の流体制御器(5)は、流量制御装置以外の用途にも使用可能であり、例えば、半導体製造装置で使用される集積化流体制御装置と称されている流体制御装置の構成要素としても使用できる。このような流体制御装置においては、複数の流体制御機器が直列状に配されてパイプや継手を介さずに接続されることによって形成された複数のラインをベース部材上に並列状に設置するという集積化が進んでおり、流体制御装置は、例えば、下段層となる複数のブロック状継手部材がおねじ部材によってベース部材に取り付けられ、隣り合う継手部材にまたがるように上段層となる複数の流体制御機器が取り付けられているものとされる。このような集積化流体制御装置では、その流体制御機器（例えば開閉弁）の本体または通路ブロックに上記流量制御装置(1)のボディ(2)と同様の機能を付与することができ、上記のリミットスイッチの位置決め手段(8)を取り付けることが容易となっている。
　なお、リミットスイッチ位置決め手段(8)の移動可能範囲は、切換バルブ(6)の寸法および第１ピストン(26)の移動量に応じて適宜設定され、連結ねじ(44)のめねじ部(44a)(44b)および第１および第２のボルト(42)(43)の連結側おねじ部(42a)(43a)を長くすることで、移動可能範囲を拡げることができる。
　この発明によると、開閉状態を検出するリミットスイッチがバルブに付加されるとともに、バルブとリミットスイッチとを合わせた流体制御器をコンパクト化することができるので、例えば、流量制御装置における切換バルブとして好適に使用することができ、その他の種々の用途でも使用することができる。

Claims (5)

  1. 　流体通路の開閉を行うバルブと、バルブの動作を検出するリミットスイッチとを備えている流体制御器において、バルブは、ケーシングの開口から一部を突出させバルブの開閉に伴って直線移動してリミットスイッチに当接する移動部材を有しており、リミットスイッチは、移動部材に臨まされて位置調整可能に取り付けられていることを特徴とする流体制御器。
  2. 　リミットスイッチの位置決め手段をさらに備えており、リミットスイッチ位置決め手段は、バルブのボディに固定された第１のボルトと、リミットスイッチに固定された第２のボルトと、一端に第１のボルトにねじ合わされるめねじ部が、他端に第２のボルトにねじ合わされるめねじ部がそれぞれ設けられて両ボルトを連結する連結ねじとを有しており、第１のボルトと第２のボルトとでピッチが異なるものとされていることを特徴とする請求項１の流体制御器。
  3. 　リミットスイッチ位置決め手段は、連結ねじと第１のボルトとの相対回転を阻止する第１のロックナットと、連結ねじと第２のボルトとの相対回転を阻止する第２のロックナットとをさらに有していることを特徴とする請求項２の流体制御器。
  4. 　バルブは、流体通路が設けられたボディと、ボディの上方に設けられたケーシングと、流体通路を開閉する弁体と、上昇または下降することにより弁体を開または閉方向に移動させる弁棒と、弁棒に設けられたピストンと、ピストンを駆動するピストン駆動手段とを備えており、ピストンは、弁棒が上方位置にあるときにケーシングの開口からピストン上端部を露出させるように、弁棒上端部に設けられており、該ピストンが、リミットスイッチに当接する移動部材とされていることを特徴とする請求項１から３までのいずれかの流体制御器。
  5. 　所要の流体通路が形成されたボディと、ボディに取り付けられたコントロールバルブ、センサおよびリミットスイッチ付き切換バルブと、コントロールバルブからの出口通路に設けられた第１のオリフィスと、切換バルブからの出口通路に設けられた第２のオリフィスと、流量の制御を行う制御部とを備えており、切換バルブが閉じられた場合、第１のオリフィスにおける流量の制御が行われ、切換バルブが開けられた場合、第２のオリフィスにおける流量の制御が行われる流量制御装置において、リミットスイッチ付き切換バルブは、請求項１から４までのいずれかの流体制御器とされて、コントロールバルブとオリフィスとの間に配置されていることを特徴とする流量制御装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110107796A (zh) * 2019-06-06 2019-08-09 新泰市佳兴液压机械有限公司 直通式定量阀

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5613420B2 (ja) * 2010-02-05 2014-10-22 株式会社フジキン 流体制御器
KR101940325B1 (ko) 2011-10-05 2019-01-18 가부시키가이샤 호리바 에스텍 유체 기구 및 상기 유체 기구를 구성하는 지지 부재 및 유체 제어 시스템
JP5665793B2 (ja) * 2012-04-26 2015-02-04 株式会社フジキン 可変オリフィス型圧力制御式流量制御器
US9454158B2 (en) 2013-03-15 2016-09-27 Bhushan Somani Real time diagnostics for flow controller systems and methods
JP6372998B2 (ja) * 2013-12-05 2018-08-15 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置
JP6527684B2 (ja) 2014-10-31 2019-06-05 株式会社フジキン バルブ、流体制御装置、半導体制御装置、および半導体製造方法
JP6539482B2 (ja) 2015-04-15 2019-07-03 株式会社フジキン 遮断開放器
JP6786096B2 (ja) 2016-07-28 2020-11-18 株式会社フジキン 圧力式流量制御装置
US10983538B2 (en) 2017-02-27 2021-04-20 Flow Devices And Systems Inc. Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller
WO2019102882A1 (ja) 2017-11-24 2019-05-31 株式会社フジキン バルブ装置およびその制御装置を用いた制御方法、流体制御装置および半導体製造装置
CN110159928B (zh) * 2018-02-13 2021-04-20 辛耘企业股份有限公司 流体控制装置
KR20230000975A (ko) * 2021-06-25 2023-01-03 가부시키가이샤 호리바 에스텍 유체 제어 장치, 유체 제어 시스템, 유체 제어 장치용 프로그램 및 유체 제어 방법

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5298067U (ja) * 1976-01-23 1977-07-23
JPS5637772U (ja) * 1979-08-30 1981-04-10
JPS56152310U (ja) * 1980-04-15 1981-11-14
GB2138108A (en) * 1983-04-14 1984-10-17 Apv Int Ltd Valve units and systems incorporating valve units
DE3432953A1 (de) * 1984-09-07 1986-03-20 Otto Tuchenhagen GmbH & Co KG, 2059 Büchen Vorrichtung zur anordnung und justierung von stellungsmeldern oder- gebern fuer hubventile
JPS644906U (ja) * 1987-06-27 1989-01-12
JPH01269706A (ja) * 1988-04-22 1989-10-27 Mitsubishi Motors Corp ２物の結合方法
JPH11265216A (ja) * 1998-03-17 1999-09-28 Omi Tadahiro 圧力式流量制御装置
EP1498648A1 (de) * 2003-07-14 2005-01-19 Bürkert Werke GmbH & Co. KG Stellungsmelder für Hubventilantriebe
JP2007004644A (ja) * 2005-06-27 2007-01-11 Tohoku Univ 流量レンジ可変型流量制御装置

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3074686A (en) * 1959-08-26 1963-01-22 Francis L Cain Adjustable automatic valve assembly
US3253612A (en) * 1963-07-30 1966-05-31 Sarco Company Inc Valve having an adjustable stop
US3565089A (en) * 1969-01-21 1971-02-23 Elkhart Brass Mfg Co Valve
US3712587A (en) * 1971-05-12 1973-01-23 American La France Inc Flow restricting valve
JPS5544266B2 (ja) * 1974-04-10 1980-11-11
US4030523A (en) * 1976-04-19 1977-06-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Digital flow control system
JPS5513411A (en) * 1978-07-12 1980-01-30 Hitachi Ltd Control method for flow controller
US4801051A (en) * 1984-03-26 1989-01-31 Nordson Corporation Flow control device for a fluid dispensing apparatus
US4884720A (en) * 1987-06-05 1989-12-05 The Coca-Cola Company Post-mix beverage dispenser valve with continuous solenoid modulation
JPH0551964U (ja) * 1991-12-10 1993-07-09 帝人製機株式会社 圧力容器の初期安全装置
JP2000065240A (ja) * 1998-08-21 2000-03-03 Neriki:Kk 止め弁
JP2002139161A (ja) * 2000-11-06 2002-05-17 Smc Corp 二方弁
US6742541B2 (en) * 2001-04-19 2004-06-01 Asco Controls, Lp Linear indicator for a valve
JP4028345B2 (ja) 2002-10-16 2007-12-26 古河電気工業株式会社 フラットケーブル用フラット導体の設計方法及びフラットケーブル
DE10249161B3 (de) * 2002-10-22 2004-01-29 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Einstellung eines Ankerhubs eines Magnetventils
CA2452809C (en) * 2002-12-10 2012-05-29 Montreal Bronze Foundry Limited Diaphragm valve having adjustable closure means
US6997202B2 (en) * 2002-12-17 2006-02-14 Advanced Technology Materials, Inc. Gas storage and dispensing system for variable conductance dispensing of gas at constant flow rate
CN1751200A (zh) * 2003-03-07 2006-03-22 喜开理株式会社 流量控制阀
WO2004081428A2 (en) * 2003-03-07 2004-09-23 Swagelok Company Valve with adjustable stop
JP2004308717A (ja) * 2003-04-03 2004-11-04 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd 流体作動弁
JP2005133404A (ja) * 2003-10-30 2005-05-26 Otis:Kk 束体
EP1860359B1 (en) * 2005-03-01 2013-07-10 Fujikura Rubber Ltd. Normally closed valve having minute flow amount regulating mechanism
DE102006055393A1 (de) 2006-05-05 2007-11-08 Robert Bosch Gmbh Ventil und hydraulische Steueranordnung
JP5019283B2 (ja) * 2006-10-11 2012-09-05 Ｓｍｃ株式会社 複合安全弁
JP5066474B2 (ja) * 2008-03-31 2012-11-07 アズビル株式会社 流量制御システム
US8033525B2 (en) * 2008-05-13 2011-10-11 Honeywell International Inc. Valve trim adjustor for a poppet control valve
US8490947B2 (en) * 2009-10-01 2013-07-23 Joe Leighton & Associates, Inc. Presettable gas valve with retainer
DE202010003659U1 (de) 2010-03-16 2010-07-15 Bürkert Werke GmbH Vorrichtung zur Endlagenerkennung in Hubventilen, Ventilbausatz sowie Sensormodul hierfür

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5298067U (ja) * 1976-01-23 1977-07-23
JPS5637772U (ja) * 1979-08-30 1981-04-10
JPS56152310U (ja) * 1980-04-15 1981-11-14
GB2138108A (en) * 1983-04-14 1984-10-17 Apv Int Ltd Valve units and systems incorporating valve units
DE3432953A1 (de) * 1984-09-07 1986-03-20 Otto Tuchenhagen GmbH & Co KG, 2059 Büchen Vorrichtung zur anordnung und justierung von stellungsmeldern oder- gebern fuer hubventile
JPS644906U (ja) * 1987-06-27 1989-01-12
JPH01269706A (ja) * 1988-04-22 1989-10-27 Mitsubishi Motors Corp ２物の結合方法
JPH11265216A (ja) * 1998-03-17 1999-09-28 Omi Tadahiro 圧力式流量制御装置
EP1498648A1 (de) * 2003-07-14 2005-01-19 Bürkert Werke GmbH & Co. KG Stellungsmelder für Hubventilantriebe
JP2007004644A (ja) * 2005-06-27 2007-01-11 Tohoku Univ 流量レンジ可変型流量制御装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110107796A (zh) * 2019-06-06 2019-08-09 新泰市佳兴液压机械有限公司 直通式定量阀
CN110107796B (zh) * 2019-06-06 2024-01-02 山东洁普斯自动化科技有限公司 直通式定量阀

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