JPWO2016152730A1 - 外部共振器型発光装置 - Google Patents
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Abstract
光源3が、所望波長の光を発振する出射側端面Zおよびグレーティング素子4に対向する対向端面Yを有する。グレーティング素子4の光導波路が、光源3に対向する対向端面Xとこの対向端面と反対側の外側端面とを有する。ブラッググレーティング6と対向端面Xとの間に伝搬部5bを有する。光源の対向端面の反射率R01が35%以下である。光源の出射側端面の反射率R02が20%以下である。光導波路の対向端面の反射率RG2が光源の出射側端面の反射率R02よりも低く、ブラッググレーティングの反射率RGRが90%以上である。【選択図】 図1
Description
本発明は、外部共振器型発光装置に関するものである。
DBRレーザは、活性層の導波路の延長上の導波路面に凹凸を形成し、ブラッグ(Bragg)反射によるミラーを構成し、共振器を実現している(特許文献1〜特許文献4)。このレーザは、光導波層の両端に回折格子が設けられているので、活性層で発光した光は光導波層を伝搬し、この回折格子で一部が反射され、電流注入部に戻り、増幅される。回折格子から決められた方向に反射するのは、一つの波長の光だけであるので、レーザ光の波長は一定になる。
半導体基板中にモノリシック(monolithic)に形成されるDBRレーザは、活性層の導波路の延長上に回折格子が形成されるために、活性層で発生した熱が直接的に回折格子部分に伝熱することや、電流注入された電子が回折格子部分にも注入されることによって屈折率変動が大きくなり、温度変動により波長が変動したり、パワーが変動するといった問題がおこる。このため、ペルチェ(Peltier)素子などにより温度制御するのが一般的である。
また、この応用として、回折格子を、半導体とは異なる部品とし、外部で共振器を形成する、外部共振器型半導体レーザが開発されている。このタイプのレーザは、波長安定性、温度安定性、制御性がよいレーザとなる。外部共振器は、ファイバ・ブラッグ・グレーティング(FBG:Fiber Bragg Grating)や、ボリューム・ホログラム・グレーティング(VHG:Volume Hologram Grating)がある。
特許文献5(特開2010-171252)には、SiO2、SiO1−xNx(xは0.55乃至0.65)、あるいはSiとSiNをコア(core)層とする光導波路、およびこの光導波路にグレーティングを形成した外部共振器型レーザが開示されている。これは精密な温度制御なしで発振波長を一定に保つ外部共振器レーザで、このために回折格子の反射波長の温度変化率(ブラッグ反射波長の温度係数)を小さくすることを前提条件としている。その上でレーザ発振を縦モード (vertical mode)マルチモード(multi mode)とすることでパワー安定性を実現できることが記載されている。
特許文献6(特許第3667209)には、石英、InP、GaAs、LiNbO3、LiTaO3、ポリイミド樹脂とする光導波路に形成したグレーティングを利用した外部共振器がレーザが開示されている。これは、光源である半導体レーザの光射出面における反射率が実効反射率Re(実質的に0.1〜38.4%)であり、その上でレーザ発振を縦モードマルチモードとすることでパワー安定性を実現できることが記載されている。
本出願人は、特許文献7(WO 2014−196553)および特許文献8(特許第5641631)において、温度変化に伴うモードホップ(mode hopping)を抑制するような外部共振器型発光装置の構造を提案した。
また、本出願人は、特許文献9(特願2015−021044)において、温度変化に伴う外部共振器型発光装置のモードホップを抑制しつつ、グレーティング素子内で光路変更する構造を提案した。
特許文献7〜9の外部共振器型発光装置は、いずれも光源の下流側にグレーティング素子を設置するものである。そして、ブラッググレーティングの反射率を光源の出射側端面の反射率よりも大きくする必要があるために、ブラッググレーティングにおける反射による光源への帰還率が高くなっており、この点で出力が制限されていた。
更に、グレーティング素子に複数のブラッググレーティングを設けたい場合には、グレーティング素子を長くする必要があり、スペースが必要になる。更に、グレーティング素子に曲がり導波路を入れる場合には、複数の曲がり部が必要になるという問題があった。
本発明の課題は、別体の単独では発振不能な光源とグレーティング素子とを組み合わせたタイプの外部共振器型発光装置において、所望波長の光の出力を一層向上させることである。
本発明は、単独では半導体レーザ光を発振できない光源、および光導波路と少なくともこの光導波路内に形成されたブラッググレーティングを有するグレーティング素子を備えており、光源と前記グレーティング素子とが外部共振器を構成して所望波長の光を発振する外部共振器型発光装置である。光源が、所望波長のレーザ光を出射する出射側端面およびグレーティング素子に対向する対向端面を有しており、グレーティング素子の光導波路が、光源に対向する対向端面を有している。グレーティング素子のブラッググレーティングと前記対向端面との間に伝搬部を有しており、前記光源の前記対向端面の反射率R01が35%以下であり、光源の前記出射側端面の反射率R02が20%以下であり、光導波路の対向端面の反射率RG2が前記出射側端面の反射率R02よりも低く、前記ブラッググレーティングの反射率RGRが90%以上である。
本発明によれば、光源から見て上流側に、高い反射率を有するブラッググレーティングを備えた別体のグレーティング素子を設置している。これによって、光源の出射側における反射率を小さく設定できるので、帰還率が低くてもレーザ発振する。そして、光源出射側での反射率が小さいことから、発振した所望波長のレーザ光の出力を高くすることができる。
しかも、ブラッググレーティングにおけるグレーティング反射率を90%以上に設定したことから、グレーティング反射ピークの波長特性を平坦化できる。この結果、モードホップによるパワー変動を小さくすることができ、パワー安定性および出力の高い外部共振器型レーザを実現できる。
図1に示す本発明例の外部共振器型発光装置1は、半導体レーザ光を発振する光源3とグレーティング素子4とを備えている。グレーティング素子3は支持基板2上に形成されており、光源4もこの支持基板2上にマウントされている。
光源3の本体3c中には、半導体レーザ光を発振する活性層3dを備えている。ここで、光源3は、単独ではレーザ発振しない光源である。これは、光源3が、グレーティング素子がないときにはレーザ発振できず、グレーティング素子と外部共振器を構成することによって、矢印Aのようにレーザ光を発振することを意味する。
光源3は、具体的には、単独ではレーザ発振しないスーパールミネッセンスダイオードや半導体光増幅器(SOA)であってよい。
光源3は、具体的には、単独ではレーザ発振しないスーパールミネッセンスダイオードや半導体光増幅器(SOA)であってよい。
グレーティング素子4には、光源3からの光が伝搬するチャネル型光導波路5が形成されている。ブラッググレーティング6は光導波路5内に形成されている。光源3とブラッググレーティング6との間で外部共振器を構成しており、グレーティングのブラッグ回折条件を満足する波長で矢印Aのようにレーザ発振している。
光源3は、所望波長の光Aを発振する出射側端面Zおよびグレーティング素子4に対向する対向端面Yを有する。また、本例では、グレーティング素子4の光導波路5は、光源3に対向する対向端面Xおよびこの対向端面と反対側の外側端面Wを有する。ここで、光導波路の端面とは、光導波路の末端がスラブに連続することなく形成している表面のことである。
本例では、光導波路5のうち対向端面Xとブラッググレーティング6との間に、回折格子のない伝搬部5bが設けられている。また、光導波路5のうち外側端面Wとブラッググレーティング6との間にも、回折格子のない伝搬部5aが設けられている。また、光導波路5は支持基板31上に形成されている。
ここで、光源の出射側端面Zの反射率R02を20%以下とする。更に、グレーティング素子の対向端面Xの反射率RG2を反射率R02よりも低くする。これと同時に、ブラッググレーティングの反射率RGRを90%以上と高くする。
また光源の出射対向端面Yの反射率R01は、35%以下とする。
また光源の出射対向端面Yの反射率R01は、35%以下とする。
こうした構造では、光源の対向端面側には高反射膜を設けておらず、対向端面側での反射率も低いので、グレーティング素子がないと、レーザ発振条件を満足することは困難である。本例では、光源の対向端面Yからグレーティング素子へと入射した光は、やはり比較的反射率の低いグレーティング素子の対向端面Xから光導波路5内に入射し、反射率の高いブラッググレーティング6において反射され、光源に帰還する。
ここで、光源の出射側端面Zには20%以下の反射膜7を設けて、対向端面Y、光導波路の対向端面X、外側端面Wには、それぞれ低反射膜8、9、10を設けることによって、各端面における反射率を調整する。なお、各端面における反射率は、外部共振器型発光装置が発振する所望波長の光に対する反射率である。
ここで、光源の出射側端面の反射率R02は、出射光の出力を増大させるという観点からは、20%以下が好ましく、15%以下が更に好ましい。また、レーザ発振を安定にするという観点からは、2%以上が好ましい。
光導波路の対向端面の反射率RG2および外側端面の反射率RG1は、それぞれ12%以下が好ましい。これらは、出射光の出力向上および安定性という観点からは、3%以下が更に好ましく、1%以下が特に好ましい。
光導波路の対向端面の反射率RG2および外側端面の反射率RG1は、それぞれ12%以下が好ましい。これらは、出射光の出力向上および安定性という観点からは、3%以下が更に好ましく、1%以下が特に好ましい。
また、光源の出射側端面の反射率R02と、光源の対向端面の反射率R01、光導波路の対向端面の反射率RG2および前記外側端面の反射率RG1との差は、それぞれ、2%以上とすることができる。
ブラッググレーティングの反射率RGRは90%以上であるが、95%以上であることが好ましく,98%以上であることが更に好ましい。
光源の対向端面の反射率R01は、35%以下とする。このため光源の対向端面には、低反射膜や無反射膜を形成しなくてよく、へき開面とすることができる。しかし、レーザ光の光出力を大きくし、かつパワーを安定化する観点では、反射率R01を小さくした方がよく、この場合には3%以下が好ましく、さらに1%以下が特に好ましい。
ブラッググレーティングの反射率RGRは90%以上であるが、95%以上であることが好ましく,98%以上であることが更に好ましい。
光源の対向端面の反射率R01は、35%以下とする。このため光源の対向端面には、低反射膜や無反射膜を形成しなくてよく、へき開面とすることができる。しかし、レーザ光の光出力を大きくし、かつパワーを安定化する観点では、反射率R01を小さくした方がよく、この場合には3%以下が好ましく、さらに1%以下が特に好ましい。
図1の例では、グレーティング素子の端面と光源の端面との間にギャップGが設けられている。しかし、グレーティング素子と光源とが接していても良い。
図2は参考例の外部共振器型発光装置11に係るものである。
本装置11は、半導体レーザ光を発振する光源13とグレーティング素子14とを備えている。光源13とグレーティング素子14とは共通の支持基板2上に形成されている。
本装置11は、半導体レーザ光を発振する光源13とグレーティング素子14とを備えている。光源13とグレーティング素子14とは共通の支持基板2上に形成されている。
光源13の本体13c中には、半導体レーザ光を発振する活性層13dを備えている。ここで、光源13は、単独ではレーザ発振しない光源である。グレーティング素子14には、光源13からの光が伝搬するチャネル型光導波路15が形成されている。ブラッググレーティング6は光導波路15内に形成されている。光源13とブラッググレーティング6との間で外部共振器を構成しており、グレーティングのブラッグ回折条件を満足する所望波長で矢印Aのようにレーザ発振している。
ここで、所望波長は下式で定義される波長である。
所望波長λG=2×neff×Λ/P
neff:チャネル型光導波路の実効屈折率
Λ:グレーティングの周期(ピッチ)
P:グレーティング次数
ここで、所望波長は下式で定義される波長である。
所望波長λG=2×neff×Λ/P
neff:チャネル型光導波路の実効屈折率
Λ:グレーティングの周期(ピッチ)
P:グレーティング次数
光源13は、グレーティング素子に対向する出射側端面13bを有する。出射側端面13bの反対側には外側端面13aが設けられている。また、グレーティング素子14は、光源13に対向する対向端面14aおよびこの対向端面と反対側の出射側端面14bを有する。
本例では、光導波路15のうち対向端面14aとブラッググレーティング6との間に、回折格子のない伝搬部15bが設けられている。また、光導波路15のうち出射側端面14bとブラッググレーティング6との間にも、回折格子のない伝搬部15aが設けられている。
本参考例では、光源の下流側にグレーティング素子を設置するものであり、グレーティング素子11の出射側端面14bから所望波長のレーザ光を出射させる。そして、ブラッググレーティングの反射率RGRを光源の出射側端面の反射率R02よりも高くする必要があるために、ブラッググレーティング6における反射による光源13への帰還率が高くなっており、この点で出力が制限されていた。
グレーティング素子の断面構造やチャネル型光導波路の断面構造は特に限定されないが、以下に一例を示す。
図3には、グレーティング素子4の一例を示し、図4にはブラッググレーティングの形態を示し、図5には、チャネル型光導波路の横断面の一例を示す。
図3には、グレーティング素子4の一例を示し、図4にはブラッググレーティングの形態を示し、図5には、チャネル型光導波路の横断面の一例を示す。
光学材料層33が支持基板31上に設けられている。光学材料層33は、ブラッググレーティング6と同一面に形成されていてもよく、相対する面に形成されていてもよい。図5の例では、支持基板31上に下側バッファ層34を介して光学材料層33が形成されており、光学材料層33上に上側バッファ層35が形成されている。光学材料層33には例えば一対のリッジ溝32が形成されており、リッジ溝の間にリッジ部33cが形成され、リッジ型光導波路5が形成されている。リッジ溝32の外側には延在部33dが形成されている。
ブラッググレーティングは、光学材料層の平坦な下面33b側に形成していてもよく、上面33a側に形成していてもよい。ブラッググレーティング、およびリッジ溝の形状ばらつきを低減するという観点では、ブラッググレーティングを下面33b側に形成することによって、ブラッググレーティングとリッジ溝32とを光学材料層の反対側に設けることが好ましい。
なお、光導波路の幅Wmは、光導波路の横断面における幅のうち最も狭い部分の幅とする。
なお、光導波路の幅Wmは、光導波路の横断面における幅のうち最も狭い部分の幅とする。
図4は、ブラッググレーティングの形態の一例を示す斜視図である。tdはグレーティング深さであり、Λは周期(ピッチ)である。
上述の例では、光源およびグレーティング素子は支持基板の同一面上に形成している。しかし、グレーティング素子に実装用凹部を形成し、この実装用凹部に光源を実装することもできる。
図6には、光源とグレーティング素子24とを有する外部共振器型発光装置21を示す。グレーティング素子24には、光源23からの光が伝搬するチャネル型光導波路25とブラッググレーティング6とが形成されている。グレーティング素子24内には、エッチングや研磨加工によって凹部26が形成されており、凹部26内に光源23が実装されている。
この実施形態において、好ましくは、光源の長さをLLD、光源の幅をWLDとし、グレーティング素子の長さをLS、グレーティング素子の幅をWSとし、ブラッググレーティングの開始端から終端までの長さをLGとしたときに、
LS<(LLD+LG)、かつ WS≦LLD
の関係が成立しており、光源の長手方向とブラッググレーティングの長手方向とが交差している。
LS<(LLD+LG)、かつ WS≦LLD
の関係が成立しており、光源の長手方向とブラッググレーティングの長手方向とが交差している。
グレーティング素子24には、主面24aと例えば四つの側面24b、24c、24d、24eが形成されている。光導波路25は、ブラッググレーティング6が形成されている領域、曲がり部25a、およびまっすぐな出射部25bを有している。出射部25bは,光源の対向端面23aに対向している。また、本例では、グレーティング6の末端Pが端面を形成しておらず、スラブ型光導波路40に連続している。
光源23とブラッググレーティング6との間で外部共振器を構成しており、グレーティングのブラッグ回折条件を満足する波長で矢印Aのようにレーザ光を出射する。光源23は、所望波長の光Aを発振する出射側端面Zおよびグレーティング素子24に対向する対向端面Yを有する。また、グレーティング素子24は、光源23に対向する対向端面Xを有する。
本例では、光導波路25のうち対向端面Xとブラッググレーティング6との間に、回折格子のない伝搬部25a、25bが設けられている。
ここで、光源の対向端面Yの反射率R01およびグレーティング素子の対向端面Xの反射率RG2、光源の出射側端面Zの反射率R02を、本発明にしたがって調整する。なお、7は20%以下の反射膜、8は35%以下の低反射膜または無反射膜であるが、膜がなくてもよい。ただし、本例では、光導波路の対向端面と反対側の末端Pはスラブ光導波路40に連続しているので、光導波路の中でブラッググレーティングを伝搬してきた伝搬光はスラブ光導波路内に拡散していき、反射して戻ってきた光がチャネル型光導波路25に再結合しにくい。
本例では、グレーティング素子の長手方向DGが側面24b、24dと平行であり、光源23の長手方向DLに対して交差している。これによって、両者の長手方向が同じである場合に比べて、グレーティング素子24の長さLsを小さくしても、光源を実装可能である。しかも、チャネル型光導波路には、DGとDLとの交差角度θのぶんだけ湾曲する湾曲部分25aを設ければ光学的な接続が可能となるので、湾曲部分の光伝搬に伴う光損失が少ない。
グレーティング素子の長手方向DGと光源の長手方向DLとの交差角度θは、一般に、グレーティング素子の長さLsを小さくするという観点からは、45°以上が好ましく、60°以上が更に好ましい。また、交差角度θは略垂直であって良い。
好ましくは、光源の長さをLLD、光源の幅をWLDとし、グレーティング素子の長さをLS、グレーティング素子の幅をWSとし、ブラッググレーティングの開始端から終端までの長さをLGとしたときに、
LS<(LLD+LG)、かつ WS≦LLD
の関係が成立する。
LS<(LLD+LG)、かつ WS≦LLD
の関係が成立する。
ブラッググレーティングと光源との長手方向を同じにした場合の全長は(LLD+LG)となるので、この場合にはLSが(LLD+LG)以上でなければならない。したがって、LS<(LLD+LG)という条件では、ブラッググレーティングの長手方向と光源の長手方向との交差角度が0°よりも大きいことになる。また、ブラッググレーティングの幅WSが光源の長さLLDよりも大きい場合には、光源をブラッググレーティング素子上で幅方向に向けて実装できる。しかし、WS≦LLDの条件では、光源をブラッググレーティング上で幅方向に向けて実装することができない。こうした場合、光源の長手方向とブラッググレーティングの長手方向とが交差するように設置することによって、素子を小型化し、かつ光導波路の湾曲部分における損失を最小限とできる。
図7は参考例の外部共振器型発光装置60に係るものである。
本装置60は、光源23とグレーティング素子34とを備えている。グレーティング素子34には、光源23からの光が伝搬するチャネル型光導波路27とブラッググレーティング6とが形成されている。グレーティング素子34内には凹部26が形成されており、凹部26内に光源23が実装されている。
本装置60は、光源23とグレーティング素子34とを備えている。グレーティング素子34には、光源23からの光が伝搬するチャネル型光導波路27とブラッググレーティング6とが形成されている。グレーティング素子34内には凹部26が形成されており、凹部26内に光源23が実装されている。
グレーティング素子34の基板34には、主面34aと例えば四つの側面34b、34c、34d、34eが形成されている。光導波路27は、出射部27a、ブラッググレーティング6が形成されている領域、伝搬部27b、湾曲部27c、伝搬部27d、湾曲部27e、伝搬部2fを備えている。
光源23とブラッググレーティング6との間で外部共振器を構成しており、出射部27aから所望波長の光を矢印Aのように出射する。
光源23とブラッググレーティング6との間で外部共振器を構成しており、出射部27aから所望波長の光を矢印Aのように出射する。
こうした参考例においては、LS<(LLD+LG)、かつWS≦LLDの関係が成立する場合には、湾曲部分27c、27eを2箇所に設ける必要がある。あるいは、湾曲角度を全体で180°とする必要がある。このため、湾曲部分における光の伝搬損失が大きくなる。
図8に示す外部共振器型発光装置21Aは、図6の装置21と同様のものである。また、図9は、図8の装置21Aの縦断面図である。
本装置21Aでは、凹部26に面するグレーティング素子の対向端面Xに低反射膜9を図示している。また、グレーティング素子の対向端面Xと光源の対向端面Yとの間にギャップGを設けている。
本装置21Aでは、凹部26に面するグレーティング素子の対向端面Xに低反射膜9を図示している。また、グレーティング素子の対向端面Xと光源の対向端面Yとの間にギャップGを設けている。
図10に示す本発明例の装置21Bは、図6の装置21と同様のものである。ただし、装置21Bのグレーティング素子24Bにおいては、チャネル型光導波路25Bに複数のブラッググレーティングが形成されている。具体的には、ブラッググレーティング6A、6B、6C、6D、6Eが直列に光導波路内に形成されている。また、隣接するブラッググレーティングの間には、それぞれ、回折格子のない中間伝搬部25a、25b、25c、25dが形成されている。そして、末端のブラッググレーティング6Eと対向端面Xとの間に、テーパ部25e、湾曲部25fおよび出射部25gが形成されている。なお、LGは、両方の末端にあるブラッググレーティング6Aと6Eとの間の間隔である。
図11の装置60Aは、図7の装置31と同様のものである。ただし、装置60Aのグレーティング素子34Aにおいては、チャネル型光導波路27に複数のブラッググレーティングが形成されている。具体的には、ブラッググレーティング6A、6B、6C、6D、6Eが直列に光導波路内に形成されている。また、隣接するブラッググレーティングの間には、それぞれ、回折格子のない中間伝搬部が形成されている。そして、末端のブラッググレーティング6Eと対向端面との間に、伝搬部27b、湾曲部27c、伝搬部27d、湾曲部27eおよび伝搬部27fが形成されている。
図1の例では、グレーティング素子4のチャネル型光導波路5に外側端面が設けられており、外側端面における反射率を12%以下とした。しかし、図1の素子において、図6に示すように、チャネル型光導波路5の外側末端Pをスラブ光導波路40に連続させることができる。このような構造とすることにより、チャネル型光導波路から入射する光は、スラブ導波路中を拡がりながら伝搬するので、端面によって反射した光はさらに拡がり、再びチャネル導波路に結合する割合を低減できる。
同様に、図6、図8、図10の各例では、チャネル型光導波路の対向端面と反対側の末端Pがスラブ光導波路40に連続している。しかし、チャネル型光導波路の対向端面と反対側の末端に、図1に示すような外側端面を設け、外側端面の反射率を前述のように調整することもできる。
グレーティング素子のチャネル型光導波路の横断面形態は、更に種々変更できる。以下に好適形態を例示する。
図12に示す素子4Aでは、基板31上に接着層39、下側バッファ層34を介して光学材料層33が形成されており、光学材料層33上に上側バッファ層35が形成されている。光学材料層33の基板31と反対側には、例えば一対のリッジ溝32が形成されており、リッジ溝32の間にリッジ部33cが形成されている。また、各リッジ溝32の外側にはそれぞれ延在部33aが形成されている。
図12に示す素子4Aでは、基板31上に接着層39、下側バッファ層34を介して光学材料層33が形成されており、光学材料層33上に上側バッファ層35が形成されている。光学材料層33の基板31と反対側には、例えば一対のリッジ溝32が形成されており、リッジ溝32の間にリッジ部33cが形成されている。また、各リッジ溝32の外側にはそれぞれ延在部33aが形成されている。
この場合、ブラッググレーティングは平坦面33b側に形成していてもよく、リッジ溝のある33a面側に形成していてもよい。また、上側バッファ層35はなくてもよく、この場合、空気層が直接グレーティングに接することができる。
図13の素子4Bは、図12の素子4Aと同様のものである。ただし、素子4Bにおいては、リッジ溝32の横幅が大きくなっており、リッジ溝の底に略平坦面が形成されている。
図14に示す素子4Cでは、光学材料層の支持基板31側の主面33bに一対のリッジ溝32が形成されており、一対のリッジ溝間にリッジ部33cが形成されている。
上述の各例では、光導波路が、リッジ部と、このリッジ部を成形する少なくとも一対のリッジ溝からなるリッジ型光導波路である。この場合には、リッジ溝の下に光学材料が残されており、かつリッジ溝の外側にもそれぞれ光学材料からなる延在部が形成されている。
しかし、リッジ型光導波路において、リッジ溝の下にある光学材料を除去してしまうことで、ストライプ状の細長いコアを形成することもできる。この場合には、リッジ型光導波路が、光学材料からなる細長いコアからなり、コアの横断面が凸図形をなしている。このコアの周りには、バッファ層(クラッド層)や空気層が存在しており、バッファ層や空気層がクラッドとして機能する。
凸図形とは、コアの横断面の外側輪郭線の任意の二点を結ぶ線分が、コアの横断面の外側輪郭線の内側に位置することを意味する。このような図形としては、三角形、四角形、六角形、八角形などの多角形、円形、楕円形などを例示できる。四角形としては、特に、上辺と下辺と一対の側面を有する四角形が好ましく、台形が特に好ましい。
図15〜図18は、この実施形態に係るものである。
図15(a)のグレーティング素子4Dでは、支持基板31上にバッファ層34が形成されており、バッファ層34上に光導波路40が形成されている。光導波路の横断面(光伝搬方向と垂直な方向の断面)形状は台形であり、光導波路は細長く伸びている。本例では、光導波路40の上側面が下側面よりも狭くなっている。光導波路40内には、前述したような入射側伝搬部、ブラッググレーティング、出射側伝搬部が形成されている。
図15(a)のグレーティング素子4Dでは、支持基板31上にバッファ層34が形成されており、バッファ層34上に光導波路40が形成されている。光導波路の横断面(光伝搬方向と垂直な方向の断面)形状は台形であり、光導波路は細長く伸びている。本例では、光導波路40の上側面が下側面よりも狭くなっている。光導波路40内には、前述したような入射側伝搬部、ブラッググレーティング、出射側伝搬部が形成されている。
図15(b)のグレーティング素子4Eでは、支持基板31上にバッファ層46が形成されており、バッファ層46内に光導波路40が埋設されている。光導波路の横断面(光伝搬方向と垂直な方向の断面)形状は台形であり、光導波路は細長く伸びている。本例では、光導波路40の上側面が下側面よりも狭くなっている。バッファ層46は、光導波路40上の上側バッファ46a、下側バッファ46cおよび光導波路40の側面を被覆する側面バッファ46bを含む。
図15(c)のグレーティング素子4Fでは、支持基板31上にバッファ層46が形成されており、バッファ層46内に光導波路40Aが埋設されている。光導波路の横断面(光伝搬方向と垂直な方向の断面)形状は台形であり、光導波路は細長く伸びている。本例では、光導波路40Aの下側面が上側面よりも狭くなっている。
図16(a)のグレーティング素子4Gでは、支持基板31上にバッファ層34が形成されており、バッファ層34上に光導波路40が形成されている。そして、光導波路40が、別のバッファ層56によって包含され、埋設されている。バッファ層56は、上側バッファ56aおよび側面バッファ56bからなる。本例では、光導波路40の上側面が下側面よりも狭くなっている。
図16(b)のグレーティング素子4Hでは、支持基板31上にバッファ層34が形成されており、バッファ層34上に光導波路40Aが形成されている。そして、光導波路40Aが、別のバッファ層56によって包含され、埋設されている。バッファ層56は、上側バッファ56aおよび側面バッファ56bからなる。本例では、光導波路40Aの下側面が上側面よりも狭くなっている。
図17の素子4Jでは、支持基板31上にバッファ層46が形成されており、バッファ層46上に光導波路(コア)40が形成されている。光導波路の横断面(光伝搬方向と垂直な方向の断面)形状は台形であり、光導波路は細長く伸びている。本例では、光導波路40の上側面が下側面よりも狭くなっている。また、光導波路40の両側には溝42が形成されており、溝42の外側にそれぞれ延在部44が形成されている。光導波路40および延在部44をそれぞれ被覆するように上側クラッド43が形成されている。
光導波路の形状については、図18に示すように、ハイメサ構造といわれるものであってもよい。この素子4Kでは、支持基板31の上に下側バッファ層48を形成し、その上に光学材料層49を形成し、その上に上側バッファ層50を形成し、光導波路構造51とした。この際、下側バッファ層の幅よりも上側バッファ層の幅を狭くすることによって、台形形状にすることもできる。
好適な実施形態においては、本発明の外部共振器型発光装置が縦モードで単一モード発振する。
好適な実施形態においては、条件(1)、(2)、(3)、(4)を満足する。
ΔλG ≧0.8nm ・・・(1)
LG ≦500μm ・・・(2)
La ≦600μm ・・・(3)
1.7≦ nb ≦ 3.5 ・・・(4)
ΔλG ≧0.8nm ・・・(1)
LG ≦500μm ・・・(2)
La ≦600μm ・・・(3)
1.7≦ nb ≦ 3.5 ・・・(4)
式(1)において、ΔλGは、ブラッググレーティングのブラッグ反射率のピークにおける半値全幅である。ΔλGを0.8nm以上とすると、モードホップを抑制できる上で有用である。この観点からは、ΔλGを1.5nm以上とすることが更に好ましい。ΔλGの上限は特にないが、5nm以下とすることができる。
式(2)において、LGは、ブラッググレーティングの開始端から終端までの長さである。LGは、複数のピッチの異なるブラッググレーティングから構成されていてもよく。この場合、一つのブラッググレーティングの長さLbは、500μm以下でよいが外部共振器を短く構成するという観点で300μmが好ましく、150μm以下が一層好ましい。一方、所望の反射率を得るという観点でLbは、5μm以上が好ましい。
ブラッググレーティングの開始端から終端までの長さLGで考えた場合、外部共振器を短く構成し、モードホップを抑制するという観点で500μm以下がよく、さらに300μmが好ましく、150μm以下が一層好ましい。
ブラッググレーティングの開始端から終端までの長さLGで考えた場合、外部共振器を短く構成し、モードホップを抑制するという観点で500μm以下がよく、さらに300μmが好ましく、150μm以下が一層好ましい。
式(3)において、Laは、光源の活性層の長さである。ここで、Laは、600μm以下が好ましく、300μm以下が更に好ましい。
好適な実施形態においては、光源とグレーティング素子が直接光学的に接続されており、光源の活性層の出射側端面とブラッググレーティングの開始端との間の長さが910μm以下である。
また、好適な実施形態においては、Lm(対向端面とブラッググレーティングとの間の回折格子の無い伝搬部の長さ)(図1参照)は、1μm ≦Lm ≦100μmとすることが好ましい。
また、好適な実施形態においては、以下の条件を満足する。
光源の長さLLD≦600μm
支持基板の長さLS≦700μm
支持基板の幅WS≦600μm
光源の長さLLD≦600μm
支持基板の長さLS≦700μm
支持基板の幅WS≦600μm
本外部共振器型発光装置から出射する発振波長は、波長安定性を高めるという観点からは、990nm以下が特に好ましい。一方、波長が短くなると半導体の屈折率変化が大きくなる傾向があるので、この観点からは、発振波長は780nm以上が特に好ましい。また、活性層の材質や波長も適宜選択できる。
チャネル光導波路は、例えば外周刃による切削加工やレーザアブレーション加工することによって物理的に加工し、成形することによって得られる。
バッファ層は、光導波路のクラッド層として機能することができる。この観点からは、バッファ層の屈折率は、光学材料層の屈折率よりも低いことが好ましく、その屈折率差は0.2以上が好ましく、0.4以上が更に好ましい。
ブラッググレーティングは以下のようにして物理的、あるいは化学的なエッチングにより形成することができる。
具体例として、Ni、Tiなどの金属膜を高屈折率基板に成膜し、フォトリソグラフィーにより周期的に窓を形成しエッチング用マスクを形成する。その後、反応性イオンエッチングなどのドライエッチング装置で周期的なグレーティング溝を形成する。最後に金属マスクを除去することにより形成できる。
具体例として、Ni、Tiなどの金属膜を高屈折率基板に成膜し、フォトリソグラフィーにより周期的に窓を形成しエッチング用マスクを形成する。その後、反応性イオンエッチングなどのドライエッチング装置で周期的なグレーティング溝を形成する。最後に金属マスクを除去することにより形成できる。
光導波路(光学材料層)中には、光導波路の耐光損傷性を更に向上させるために、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、スカンジウム(Sc)及びインジウム(In)からなる群より選ばれる1種以上の金属元素を含有させてもよく、この場合、マグネシウムが特に好ましい。また結晶中には、ドープ成分として、希土類元素を含有させることができる。希土類元素としては、特にNd、Er、Tm、Ho、Dy、Prが好ましい。
また、光学材料層は、支持基体上に薄膜形成法によって成膜して形成してもよい。こうした薄膜形成法としては、スパッタ、蒸着、CVDを例示できる。この場合には、光学材料層は支持基体に直接形成されており、上述した接着層は存在しない。
また、光学材料層の厚さは0.5〜3.0μmであることが更に好ましい。
また、光学材料層の厚さは0.5〜3.0μmであることが更に好ましい。
支持基体の具体的材質は特に限定されず,ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、石英ガラスなどのガラスや水晶、Si、アルミナ、窒化アルミ、サファイアなどを例示することができる。
また、光源素子、グレーティング素子の各端面は、それぞれ、端面反射を抑制するために斜めカットしていてもよい。また、グレーティング素子と支持基板の接合は、接着固定でもよく、直接接合でもよい。
グレーティング素子における光源実装用凹部のエッチングの方法については、以下の方法で実施することができる。
まず、グレーティング素子(実際にはウエハの状態)の表面全面にTi、Ni等の金属を成膜して、レジスト塗布後、マスクアライナーにて半導体レーザの外周エリアをエッチングするためのメタルマスクパターンを形成し、フッ素系ガスのドライエッチングにより支持基板上までエッチングし、光源の実装部を形成することができる。光導波路の入射側端面は、光軸に対して89°以上の角度をなすことが可能であり、かつ鏡面とすることも可能である。その後、入力端面には無反射コートすることも可能である。
まず、グレーティング素子(実際にはウエハの状態)の表面全面にTi、Ni等の金属を成膜して、レジスト塗布後、マスクアライナーにて半導体レーザの外周エリアをエッチングするためのメタルマスクパターンを形成し、フッ素系ガスのドライエッチングにより支持基板上までエッチングし、光源の実装部を形成することができる。光導波路の入射側端面は、光軸に対して89°以上の角度をなすことが可能であり、かつ鏡面とすることも可能である。その後、入力端面には無反射コートすることも可能である。
(実施例1)
図1、3、4、5に示すような外部共振器型発光装置を試作し、特性を評価した。
具体的には、石英からなる支持基板31にスパッタ装置にてSiO2からなるバッファ層34を1μm、Ta2O5からなる光学材料層33を1.2μm成膜した。次に、光学材料層33上にTiを成膜して、電子ビーム描画装置により露光してグレーティングパターンを作製した。その後、Tiパターンをマスクにしてフッ素系の反応性イオンエッチングにより、ピッチ間隔Λ197nm、長さLb200μmのグレーティング溝を形成した。グレーティングの溝深さtdは130nmとした。次に、上記と同様にして反応性イオンエッチングにより、図1に示す形状の光導波路を形成した。
図1、3、4、5に示すような外部共振器型発光装置を試作し、特性を評価した。
具体的には、石英からなる支持基板31にスパッタ装置にてSiO2からなるバッファ層34を1μm、Ta2O5からなる光学材料層33を1.2μm成膜した。次に、光学材料層33上にTiを成膜して、電子ビーム描画装置により露光してグレーティングパターンを作製した。その後、Tiパターンをマスクにしてフッ素系の反応性イオンエッチングにより、ピッチ間隔Λ197nm、長さLb200μmのグレーティング溝を形成した。グレーティングの溝深さtdは130nmとした。次に、上記と同様にして反応性イオンエッチングにより、図1に示す形状の光導波路を形成した。
グレーティング素子の光学特性は、広帯域波長光源であるスーパ・ルミネッセンス・ダイオード(SLD)を使用して、グレーティング素子に光を入力して出力光を光スペクトルアナライザで分析することにより、その透過特性から反射特性を評価した。その結果、図19に示すように、TEモードに対して中心波長830nm、最大反射率は90%で、半値全幅△λGは3nmの特性を得た。
次に、図1に示すようなレーザモジュールを実装した。光源素子は単独ではレーザ発振できないGaAs系の半導体光アンプでグレーティング側の出射端面には0.1%ARコート、反対の出射端面には反射率8%となるように誘電体膜を形成した。
光源素子仕様:
中心波長: 830nm
出力: 30mW
半値幅: 50nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
光源素子仕様:
中心波長: 830nm
出力: 30mW
半値幅: 50nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
モジュール実装後、ペルチェ素子を使用することなく電流制御(ACC)で駆動したところ、グレーティングの反射波長に対応した中心波長830nmで発振し、出力は50mWであった。また動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、発振波長の温度係数は0.03nm/℃、モードホップによる出力変動が大きくなる温度域は50℃、その温度域でのパワー出力変動は、モードホップが起こっても、0.5%以内であった。
(実施例2)
実施例1と同じグレーティング素子を使用して、図1に示すようなレーザモジュールを実装した。ただし、使用した光源素子は、単独ではレーザ発振できないGaAs系の半導体光アンプとした。光源のグレーティング側の対向端面には反射膜は成膜せずにへき開面のままとした。光源の対向端面の反射率は30%であった。光源の出射端面には、反射率8%となるように誘電体膜を形成した。
光源素子仕様:
中心波長: 830nm
出力: 35mW
半値幅: 40nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
実施例1と同じグレーティング素子を使用して、図1に示すようなレーザモジュールを実装した。ただし、使用した光源素子は、単独ではレーザ発振できないGaAs系の半導体光アンプとした。光源のグレーティング側の対向端面には反射膜は成膜せずにへき開面のままとした。光源の対向端面の反射率は30%であった。光源の出射端面には、反射率8%となるように誘電体膜を形成した。
光源素子仕様:
中心波長: 830nm
出力: 35mW
半値幅: 40nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
モジュール実装後、ペルチェ素子を使用することなく電流制御(ACC)で駆動したところ、グレーティングの反射波長に対応した中心波長830nmで発振し、出力は45mWであった。また動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、発振波長の温度係数は0.03nm/℃、モードホップによる出力変動が大きくなる温度域は50℃、その温度域でのパワー出力変動は、モードホップが起こっても、0.5%以内であった。
(比較例1)
図2に示すようなレーザモジュールを作製した。実施例1と構成に合わせるようにし、光源素子は、単独ではレーザ発振できないGaAs系の半導体光アンプで上流側端面の反射率は90%、グレーティング側の出射端面には0.1%無反射コートした。
またグレーティングは実施例1と同様の方法で作製し、その反射率は10%、半値幅△λGは3nmになるようにグレーティング深さと長さを調整した。
図2に示すようなレーザモジュールを作製した。実施例1と構成に合わせるようにし、光源素子は、単独ではレーザ発振できないGaAs系の半導体光アンプで上流側端面の反射率は90%、グレーティング側の出射端面には0.1%無反射コートした。
またグレーティングは実施例1と同様の方法で作製し、その反射率は10%、半値幅△λGは3nmになるようにグレーティング深さと長さを調整した。
光源素子仕様:
中心波長: 830nm
出力: 30mW
半値幅: 50nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
中心波長: 830nm
出力: 30mW
半値幅: 50nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
モジュール実装後、ペルチェ素子を使用することなく電流制御(ACC)で駆動したところ、グレーティングの反射波長に対応した中心波長830nmで発振し、出力は40mWであった。また動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、発振波長の温度係数は0.03nm/℃、モードホップによる出力変動が大きくなる温度域は50℃、その温度域でのパワー出力変動はモードホップが起こっても1%以内であった。
図20は、比較例1におけるグレーティング反射率の波長依存性を示す。
実施例1と比較例1のパワー出力変動の差異を考察するために、反射ピーク値を規格化したグレーティングの反射特性を図21に示す。この結果から、実施例で使用するグレーティングの場合、反射ピーク付近での反射率の変動が小さく温度が変動してもゲインの変動が小さいために出力変動が小さくなったと考えられる。
実施例1と比較例1のパワー出力変動の差異を考察するために、反射ピーク値を規格化したグレーティングの反射特性を図21に示す。この結果から、実施例で使用するグレーティングの場合、反射ピーク付近での反射率の変動が小さく温度が変動してもゲインの変動が小さいために出力変動が小さくなったと考えられる。
(比較例2)
比較例1と同じ素子を作製した。次に、図2に示すようなレーザモジュールを実装した。ただし、比較例1とは異なり、光源素子は単独でレーザ発振するGaAs系の半導体レーザを使用し、グレーティングの反対側の端面には反射率90%、グレーティング側の出射端面には8%の反射率の誘電体膜を形成した。
比較例1と同じ素子を作製した。次に、図2に示すようなレーザモジュールを実装した。ただし、比較例1とは異なり、光源素子は単独でレーザ発振するGaAs系の半導体レーザを使用し、グレーティングの反対側の端面には反射率90%、グレーティング側の出射端面には8%の反射率の誘電体膜を形成した。
光源素子仕様:
中心波長: 830nm
出力: 30mW
半値幅: 0.1nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
中心波長: 830nm
出力: 30mW
半値幅: 0.1nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
モジュール実装後、ペルチェ素子を使用することなく電流制御(ACC)で駆動したところ、グレーティングの反射波長に対応した中心波長830nmで発振し、出力は25mWであった。また動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、発振波長の温度係数は0.03nm/℃、モードホップによる出力変動が大きくなる温度域は50℃、その温度域でのパワー出力変動はモードホップが起こっても1%以内であった。
(実施例3)
図3、4、5、10に示すような外部共振器型発光装置を作製した。
具体的には、実施例1と同様のグレーティング素子を作製した。ただし、実施例1とグレーティング素子とは異なり、図10に示すように、ブラッググレーティング6A〜6Eを形成した。各ブラッググレーティングの設計は以下のとおりである。各中間伝搬部25a〜25dの長さは5μmとし、グレーティングの溝深さtdはそれぞれ130nmとした。
6A: ピッチ間隔Λ 196nm 長さ 100μm
6B: ピッチ間隔Λ 196.5nm 長さ 100μm
6C: ピッチ間隔Λ 197nm 長さ 100μm
6D: ピッチ間隔Λ 197.5nm 長さ 100μm
6E: ピッチ間隔Λ 198nm 長さ 100μm
図3、4、5、10に示すような外部共振器型発光装置を作製した。
具体的には、実施例1と同様のグレーティング素子を作製した。ただし、実施例1とグレーティング素子とは異なり、図10に示すように、ブラッググレーティング6A〜6Eを形成した。各ブラッググレーティングの設計は以下のとおりである。各中間伝搬部25a〜25dの長さは5μmとし、グレーティングの溝深さtdはそれぞれ130nmとした。
6A: ピッチ間隔Λ 196nm 長さ 100μm
6B: ピッチ間隔Λ 196.5nm 長さ 100μm
6C: ピッチ間隔Λ 197nm 長さ 100μm
6D: ピッチ間隔Λ 197.5nm 長さ 100μm
6E: ピッチ間隔Λ 198nm 長さ 100μm
さらに光導波路を形成するために、上記と同様な方法で反応性イオンエッチングし、直線部は幅Wm3μm、深さTr1μm、曲がり部は幅Wm0.5μm、深さTr1μmのリッジ形状を形成した。曲がり部の曲率半径は10μmとし、直線部と曲がり部は長さ5μmのテーパ構造によって接続した。最後に上側バッファ層となるSiO2層を1μmスパッタにて形成した。
その後、ダイシング装置にてバー状に切断し、両端面を光学研磨し、両端面を0.1%のARコートを形成し、最後にチップ切断を行いグレーティング素子を作製した。素子サイズは幅Ws600mm、長さLs700μmとした。
グレーティング素子の光学特性は、広帯域波長光源であるスーパ・ルミネッセンス・ダイオード(SLD)を使用して、グレーティング素子にTEモードの光を入力して出力光を光スペクトルアナライザで分析することにより、その透過特性から反射特性を評価した。
測定したグレーティング素子の反射中心波長は、それぞれ825.8nm、827.9nm、830nm、832.1nm、834.2nmであり、反射率は90%であった。また反射率75%で両者の反射特性が交差しており、50%以上の波長領域が824nmから835nmの11nmあることを確認した。
グレーティング素子の光学特性は、広帯域波長光源であるスーパ・ルミネッセンス・ダイオード(SLD)を使用して、グレーティング素子にTEモードの光を入力して出力光を光スペクトルアナライザで分析することにより、その透過特性から反射特性を評価した。
測定したグレーティング素子の反射中心波長は、それぞれ825.8nm、827.9nm、830nm、832.1nm、834.2nmであり、反射率は90%であった。また反射率75%で両者の反射特性が交差しており、50%以上の波長領域が824nmから835nmの11nmあることを確認した。
次に、このグレーティング素子を使用した外部共振器型レーザの特性評価のために、図10に示すようにレーザモジュールを実装した。光源素子は単独ではレーザ発振できないGaAs系の半導体光アンプを使用し、グレーティングの反対側の端面には反射率90%、グレーティング側の出射端面には0.1%無反射コートした。
光源素子仕様:
中心波長: 830nm
出力: 30mW
半値幅: 50nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
中心波長: 830nm
出力: 30mW
半値幅: 50nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
モジュール実装後、ペルチェ素子を使用することなく電流制御(ACC)で駆動したところ、温度0℃にて中心波長824nmでレーザ発振し、出力35mWが得られた。次に動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、温度60℃、発振波長836nmまで安定にレーザ発振した。この温度域内ではモードホップが起こるもののパワー出力変動は0.5%以内であった。
(実施例4)
実施例3と同じグレーティング素子を使用して、図10に示すようなレーザモジュールを実装した。ただし、使用した光源素子は、単独ではレーザ発振できないGaAs系の半導体光アンプとした。光源のグレーティング側の対向端面には反射膜は成膜せずにへき開面のままとした。光源の対向端面の反射率は30%であった。光源の出射端面には、反射率8%となるように誘電体膜を形成した。
光源素子仕様:
中心波長: 830nm
出力: 35mW
半値幅: 40nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
実施例3と同じグレーティング素子を使用して、図10に示すようなレーザモジュールを実装した。ただし、使用した光源素子は、単独ではレーザ発振できないGaAs系の半導体光アンプとした。光源のグレーティング側の対向端面には反射膜は成膜せずにへき開面のままとした。光源の対向端面の反射率は30%であった。光源の出射端面には、反射率8%となるように誘電体膜を形成した。
光源素子仕様:
中心波長: 830nm
出力: 35mW
半値幅: 40nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
モジュール実装後、ペルチェ素子を使用することなく電流制御(ACC)で駆動したところ、温度0℃にて中心波長824nmでレーザ発振し、出力25mWが得られた。次に動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、温度60℃、発振波長836nmまで安定にレーザ発振した。この温度域内ではモードホップが起こるもののパワー出力変動は0.5%以内であった。
(比較例3)
実施例2と同様にして外部共振器型発光装置を作製した。ただし、装置の構成は、図11に示すようにした。
具体的には、実施例2と同様にしてグレーティング素子を作製した。ただし、グレーティング素子におけるブラッググレーティングのパターンは、図11に示すようにし、設計値は以下のとおりである。
6A: ピッチ間隔Λ196nm 長さ 60μm
6B: ピッチ間隔Λ196.5nm 長さ 60μm
6C: ピッチ間隔Λ197nm 長さ 60μm
6D: ピッチ間隔Λ197.5nm 長さ 60μm
6E: ピッチ間隔Λ198nm 長さ 60μm
実施例2と同様にして外部共振器型発光装置を作製した。ただし、装置の構成は、図11に示すようにした。
具体的には、実施例2と同様にしてグレーティング素子を作製した。ただし、グレーティング素子におけるブラッググレーティングのパターンは、図11に示すようにし、設計値は以下のとおりである。
6A: ピッチ間隔Λ196nm 長さ 60μm
6B: ピッチ間隔Λ196.5nm 長さ 60μm
6C: ピッチ間隔Λ197nm 長さ 60μm
6D: ピッチ間隔Λ197.5nm 長さ 60μm
6E: ピッチ間隔Λ198nm 長さ 60μm
さらに図11に示すような光導波路27を形成するために、上記と同様な方法で反応性イオンエッチングし、直線部は幅Wm3μm、深さTr1μm、曲がり部は幅Wm0.5μm、深さTr1μmのリッジ形状を形成した。曲がり部の曲率半径は10μmとし、直線部と曲がり部は長さ5μmのテーパ構造によって接続した。最後に上側バッファ層となるSiO2層を1μmスパッタにて形成した。
その後、ダイシング装置にてバー状に切断し、両端面を光学研磨し、両端面を0.1%のARコートを形成し、最後にチップ切断を行いグレーティング素子を作製した。素子サイズは幅600mm、長さLwg 700μmとした。
グレーティング素子の光学特性は、広帯域波長光源であるスーパ・ルミネッセンス・ダイオード(SLD)を使用して、グレーティング素子にTEモードの光を入力して出力光を光スペクトルアナライザで分析することにより、その透過特性から反射特性を評価した。
測定したグレーティング素子の反射中心波長は、それぞれ825.8nm、827.9nm、830nm、832.1nm、834.2nmであり、反射率は10%であった。また反射率6%で両者の反射特性が交差しており、5%以上の波長領域が824nmから835nmの11nmあることを確認した。
測定したグレーティング素子の反射中心波長は、それぞれ825.8nm、827.9nm、830nm、832.1nm、834.2nmであり、反射率は10%であった。また反射率6%で両者の反射特性が交差しており、5%以上の波長領域が824nmから835nmの11nmあることを確認した。
次に、このグレーティング素子を使用した外部共振器型レーザの特性評価のために、図11に示すようにレーザモジュールを実装した。光源素子は単独ではレーザ発振できないGaAs系の半導体光アンプを使用し、グレーティングの反対側の端面には反射率90%、グレーティング側の出射端面には5%の反射率の誘電体膜を形成した。
光源素子仕様:
中心波長: 830nm
出力: 30mW
半値幅: 0.1nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
中心波長: 830nm
出力: 30mW
半値幅: 0.1nm
レーザ素子長 300μm
実装仕様:
Lg: 0.5μm
Lm: 5μm
モジュール実装後、ペルチェ素子を使用することなく電流制御(ACC)で駆動したところ、温度0℃にて中心波長824nmでレーザ発振し、出力20mWが得られた。次に動作温度範囲を評価するために恒温槽内にモジュールを設置し、レーザ発振波長の温度依存性、出力変動を測定した。その結果、温度60℃、発振波長836nmまで安定にレーザ発振した。この温度域内ではモードホップが起こるもののパワー出力変動は1%以内であった。
Claims (11)
- 単独では半導体レーザ光を発振できない光源、および光導波路と少なくともこの光導波路内に形成されたブラッググレーティングを有するグレーティング素子を備えており、前記光源と前記グレーティング素子とが外部共振器を構成して所望波長の光を発振する外部共振器型発光装置であって、
前記光源が、前記所望波長の光を発振する出射側端面および前記グレーティング素子に対向する対向端面を有しており、前記グレーティング素子の前記光導波路が前記光源に対向する対向端面を有しており、前記グレーティング素子の前記ブラッググレーティングと前記対向端面との間に伝搬部を有しており、前記光源の前記対向端面の反射率R01が35%以下であり、前記光源の前記出射側端面の反射率R02が20%以下であり、前記光導波路の前記対向端面の反射率RG2が前記光源の前記出射側端面の反射率R02よりも低く、前記ブラッググレーティングの反射率RGRが90%以上であることを特徴とする、外部共振器型発光装置。 - 前記光導波路に前記対向端面と反対側の外側端面が設けられており、前記光導波路の前記外側端面の反射率RG1が前記光源の前記出射側端面の反射率R02よりも低いことを特徴とする、請求項1記載の装置。
- 前記グレーティング素子が、前記光導波路の前記対向端面と反対側に連続するスラブ光導波路を備えていることを特徴とする、請求項1記載の装置。
- 前記グレーティング素子に実装用凹部が形成されており、この実装用凹部に前記光源が実装されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記光源の長さをLLD、前記光源の幅をWLDとし、前記グレーティング素子の長さをLS、前記グレーティング素子の幅をWSとし、前記ブラッググレーティングの開始端から終端までの長さをLGとしたときに、
LS<(LLD+LG)、かつ WS≦LLD
の関係が成立しており、前記光源の長手方向と前記ブラッググレーティングの長手方向とが交差していることを特徴とする、請求項4記載の装置。 - 前記光源および前記グレーティング素子が支持基板上に形成されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 以下の条件(1)、(2)、(3)および(4)を満足することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載の装置。
ΔλG ≧0.8nm ・・・(1)
LG ≦500μm ・・・(2)
La ≦600μm ・・・(3)
1.7≦ nb ≦ 3.5 ・・・(4)
(式(1)において、ΔλGは、前記ブラッググレーティングのブラッグ反射率のピークにおける半値全幅である。
式(2)において、LGは、前記ブラッググレーティングの開始端から終端までの長さである。
式(3)において、Laは、前記光源の活性層の長さである。
式(4)において、nbは、前記ブラッググレーティングを構成する材質の屈折率である。)
- 前記光源と前記グレーティング素子が直接光学的に接続されており、前記光源の活性層の出射側端面と前記ブラッググレーティングの開始端との間の長さが910μm以下であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記光導波路が、リッジ部と、このリッジ部を成形する少なくとも一対のリッジ溝からなることを特徴とする。請求項1〜8のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記光導波路が細長いコアからなり、前記コアの横断面が凸図形をなしていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記ブラッググレーティングを構成する材質が、ガリウム砒素、ニオブ酸リチウム単結晶、酸化タンタル、酸化亜鉛および酸化アルミニウムからなる群より選択されることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一つの請求項に記載の装置。
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