JPWO2016121860A1 - 酸化鉄系強磁性膜及び酸化鉄系強磁性膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、任意の基板上に形成され、酸化鉄を含む酸化鉄系強磁性膜であって、酸化鉄中のε相の含有割合が70%以上であり、結晶子径が2nm以上100nm以下である酸化鉄系強磁性膜に関する。この磁性膜は、ε相の含有割合が70%以上である酸化鉄粉末を焼結してなるターゲット材にレーザー照射して酸化鉄粉末をアブレーションすると共に、これを高速で基板上に堆積させることで製造可能となる。本発明に係る磁性膜は、貴金属系以外の金属材料を主要成分とする新たな強磁性材料からなる磁性膜である。
Description
本発明は、任意の基板上に形成される酸化鉄(Fe2O3)からなる強磁性膜に関する。詳細には、ε相の酸化鉄を主体としてなり高保磁力等の磁気特性を有する磁性膜及びその製造方法に関する。
ハードディスク等の磁気記録媒体においては、多量の情報を省スペースで高密度に記録できることが求められている。この要求は、近年のITインフラの技術革新に伴い更に過酷なものとなっている。これまで、磁気記録媒体の記録密度向上の手段としては、記録層を構成する磁性材料の結晶粒径(結晶子径)の微小化によるものが一般的なものであった。しかし、磁性粉末の微粒子化による記録密度の向上にも限界があることが指摘されている。磁性材料の過度の微粒子化は熱揺らぎに対する耐性低下の要因となり、磁化が不安定となるという問題があるからである。
そのため最近の検討では、磁性粉末の微粒子化を念頭に置きつつ、構成材料そのものを新たな材料とする動きが出ている。この新規の磁性材料の特性としては、結晶磁気異方性が高く、かつ、保磁力が高い強磁性を発揮し得ることが要求される。こうした強磁性材料としてこれまで知られたものは、CoCrPt系(CoCrPt合金を基本とした3〜4元系合金)やFePt系合金(FePt合金を基本とした2〜3元系合金)等の磁性材料が知られている。特に、後者のFePt合金系磁性材料は、高保磁力・高結晶磁気異方性エネルギーで磁気特性が良好であることから最近開発が盛んな磁性材料である(特許文献1、2)。
上記の磁性材料は、磁気特性の観点からは有望なものが多いものの、Ptという貴金属の割合が高く、実用化の際にコスト面で支障が生じる可能性がある。そのため、具体的用途や使用環境等に応じることができるよう、多様な磁性材料の開発が求められるところである。そこで、本発明は、強磁性材料からなる磁性薄膜であって、貴金属系以外の金属材料を主要成分とする新たなもの、及び、その製造方法を提供する。
上記課題解決のため本発明者等は、磁性材料としてε(イプシロン)型の酸化鉄(ε−Fe2O3(III))の適用について検討・評価することとした。ε−Fe2O3は、従前から金属酸化物の中でも最大クラスの保磁力を有するとされている磁性材料であり、その薄膜は磁気記録媒体の記録層として有用であることが予見されるところである。そして、その構成元素はFeとOであり、貴金属を主体とする従来技術よりもコスト面でも優位性を示すことができると思われる。
もっとも、ε−Fe2O3については、薄膜化の可能性、及び、薄膜状態における磁気特性・有用性についての具体的な知見が少ないのが現状である。通常、バルクではFe2O3は、α相又はγ相が安定的であり、ε相は自然界では見出されない希少相であり、単一相で作り分けることは困難であるとされてきたからである。また、そもそも、ε−Fe2O3が発揮する高保磁力の起源について、その機構が明らかになっていないことも関連している。そこで本発明者等は、まず、ε相を含有するFe2O3薄膜の製造法について鋭意検討を行った。そして、製造されたFe2O3薄膜について、ε相の含有率、他の相(α相、γ相)の影響、粒子径等について検討を行い本発明に想到した。
即ち、本発明は、任意の基板上に形成され、酸化鉄を含む酸化鉄系強磁性膜であって、前記酸化鉄中のε相の含有割合が70%以上であり、結晶子径が2nm以上100nm以下である酸化鉄系強磁性膜である。
上記の通り、本発明に係る強磁性膜は、一定の含有率以上のε相を含んでなるFe2O3薄膜で構成される。全Fe2O3に対するε相の含有割合を70%以上とするのは、磁性膜の磁気特性を確保するためである。このε相の含有割合は、磁性膜のX線回折(XRD)パターンの測定結果を基に解析することができる。XRDによる回折ピークの解析方法としては、Rietveld解析、RIR解析、WPPF解析による定量分析法等がある。また、磁性膜を電子顕微鏡により直接観察して構成相を測定・算出しても良い。尚、ε相の含有割合の上限については当然に100%が好ましい
ε相以外のFe2O3は、α相であっても良くγ相であっても良い。いずれか一方だけが含まれていても良いが、双方混在していても良い。
そして、本発明に係るFe2O3磁性膜は、酸化鉄の(ε相を含む全Fe2O3の)結晶子径が2nm以上100nm以下の範囲内にある。結晶子径もまた磁性膜の磁気特性に影響を及ぼす。2nm未満の微小結晶子で構成された磁性膜は保磁力に乏しく磁気記録媒体としての有用性に欠ける。結晶子径の下限値は5nmが好ましい。一方、保磁力は結晶子径の増大と共に上昇する傾向があるが、100nmを超える結晶子径の磁性膜は磁性粒子が大きく記録密度が高められず有用性に欠けることから100nmを上限とする。結晶子径の上限値は30nmが好ましく、20nmがより好ましい。尚、この酸化鉄相の好ましい結晶子径とは平均値であり、磁性膜のXRDパターンを測定し、XRDピークの半値半幅をRietveld解析することにより算出することができる。
本発明に係る磁性膜は、組成としては酸化鉄(Fe2O3)を主体とし純度が高いことが好ましい。但し、以下の2つの系統の作用を考慮した付加的・付随的構成元素の含有が許容される。
付加的構成元素として、Fe2O3結晶中のFeサイトの一部にFe以外の他の金属元素を置換することができる。即ち、本発明ではFe2O3とは、Fe以外の他の金属元素(M)がドープされたFe2O3(化学式:MaFe2−aO3(Mは1種類以上の置換金属)で表される)が含まれる。このFeサイトへの他の金属のドープは、磁性膜の磁気特性向上に寄与する。ドープされる他の金属としては、Al、Rh、Ga、In等が挙げられ、これらの少なくとも1種の金属がドープされる。他の金属Mのドープ量は、MaFe2−aO3(Mは置換金属)としたとき、aに対して0以上2以下となる。aの好適な範囲としては、Alについては0以上1以下、Gaについては0以上1以下、Rhについては0以上0.5以下、Inについては0以上0.3以下であるものが好ましい。
また、本発明では、付随的構成元素としてSiの含有が許容される。Siは磁性膜の磁気特性に対して作用するものではないが、磁性膜の前駆材料であるFe2O3粉末を製造する際、安定的にε相を生成するために使用される保護材料である。また、Fe2O3粉末を薄膜化する際、ε相の状態を維持する作用もある。Siは磁性膜中で原子状態又は酸化物(シリカ)として存在する。
Siの含有量については、上記のFeサイトに他の金属Mがドープされた場合を考慮し、磁性膜を構成する金属元素([Fe+M])に対するSiのモル比(Si/[Fe+M])が、0.01以上10以下であるものが好ましく、0.1以上2.0以下であるものがさらに好ましい。尚、Fe2O3粉末の製造におけるSiO2(シリカ)の作用については、後に詳述する。
以上説明した本発明に係るFe2O3系強磁性膜は、任意の基板上に形成される。基板の種類は問われることは無く、ガラス、金属、プラスチック、樹脂、セラミックス、又はこれらから成る複合材料等、適宜に選択される。また、磁性膜の厚さについて特に限定されることはない。
次に、本発明に係るFe2O3系強磁性膜の製造方法について説明する。上記の通り、本発明は、薄膜を構成するFe2O3に対して一定以上のε相で構成されることを要求する。ここで、上記の通り、ε相の作り分けは困難であるとされており、これを薄膜化するのも困難であると考えられる。本発明者等は、ε−Fe2O3を主とする薄膜製造の方法について検討を行った結果、ε−Fe2O3は微粉末状のものであれば単相に近い状態での製造が可能であること、及び、そのようにして製造した微粉末状ε−Fe2O3を前駆材料として焼結したもの(ターゲット材)を利用することで薄膜の製造も可能となることを見出した。
即ち、本発明に係るFe2O3系強磁性膜の製造方法は、Fe2O3結晶におけるε相の含有割合が70%以上である酸化鉄粉末を焼結してなるターゲット材を用意する工程、前記ターゲット材にレーザー照射して、ターゲット材の少なくとも一部を加熱してアブレーションする工程、アブレーションにより生じた酸化鉄粒子を高速で基板上に堆積させる工程を含むものである。
本発明に係る方法で使用するε−Fe2O3を主体とする微粉末、ターゲット及び当該ターゲットを適用する薄膜形成プロセスについて説明する。本発明者等の検討によれば、ε相の微粉末は、SiO2マトリックス中に担持された鉄を含有する金属水酸化物や金属酸化物等の金属化合物微粒子を所定の温度(1000℃〜1400℃)で熱処理することで生成することができる。
本発明に係る磁性膜形成のためのターゲット材は、上記のようにして製造したε−Fe2O3を主体とした酸化鉄粉末を焼結して製造することができる。この酸化鉄粉末は、結晶子径が5nm以上100nm以下のものが好ましい。また、製造直後の酸化鉄粉末は、シリカを含むものであるが、これをそのまま焼結してターゲット材としても良いが、シリカを除去しても良い。シリカを除去する場合、酸化鉄粉末をアルカリ溶液(水酸化ナトリウムの水溶液等)に接触させてシリカを溶解・除去できる。
ターゲット材製造のための酸化鉄粉末の焼結条件としては、800℃以上1200℃以下、圧力90MPa以上196MPa以下とするのが好ましい。焼結は、熱間等方圧成型(HIP)、放電プラズマ焼結法(SPS)等によるのが好ましい。
そして、上記ターゲット材を適用する本発明に係る磁性膜の製造は、このターゲット材にレーザーを照射することで酸化鉄ターゲットをアブレーションさせ、アブレーションにより生成させた酸化鉄粒子を基板に堆積させる。ここで、アブレーションとは、高エネルギーのレーザー光を固体であるターゲット材に照射して、局所的に酸化鉄粒子を蒸発・気化させて飛散させる現象である。本発明の磁性膜製造工程において留意すべきは、ターゲット中の酸化鉄粉末の構造(ε−Fe2O3の結晶構造)を維持したままアブレーションし、それを速やかに基板に到達させることである。
そのため、ターゲットの加熱にレーザー加熱が適用される。速やかに高エネルギーを印加することで、結晶構造を維持したままε−Fe2O3をアブレーションさせるためである。このレーザー照射の条件としては、レーザーの照射面積を1.5mm2以下とすることが好ましい。また、照射するレーザーのエネルギーフルエンスが、2J/cm2以上100J/cm2以下で設定するのが好ましい。尚、レーザー照射は、減圧された不活性ガス雰囲気下、或いは、不活性ガスと酸素ガス混合雰囲気下で行うのが好ましい。
そして、アブレーションしたε−Fe2O3は、基板への輸送途中で変態するおそれもある。そのため、高速で基板に到達させることが重要である。このε−Fe2O3分子の輸送速度は、亜音速(マッハ数0.75まで)、遷音速(マッハ数0.75以上1.0未満)、超音速(マッハ数1.0以上5.0以下)の領域にまで高めたものが好ましい。その具体的手段としては、例えば、ターゲット材の気化領域(チャンバー)の真空度と成膜領域(チャンバー)の真空度との間に圧力差を設け、両チャンバー間を管により連結する。このとき、差圧により生起したガス流と共に、ターゲットをアブレーションすることで生成したε−Fe2O3粒子を成膜チャンバーまで搬送することができる。具体的には、気化チャンバーを0.15kPa(1.1Torr)〜90kPa(675Torr)の真空度とする一方で、成膜チャンバーを、0.1kPa(0.7Torr)〜90kPa(675Torr)の高真空度に設定しつつ、両者に圧力差を設定するのが好ましい。また、両チャンバー間を連結している管の先端にノズル(例えば,圧縮性流体力学を用いて設計される超音速ノズル、先細末広ノズル或いはラバールノズルと称されているノズル)を取り付け、ガス流を加速させることができる。
以上のように、酸化鉄粒子のアブレーション・堆積により磁性膜成膜がなされる。膜厚は堆積時間により制御できる。
以上説明したように、本発明は、これまで効率的な薄膜製造法についての報告例がなかったε−Fe2O3を主体とする強磁性膜に関するものである。本発明は、ε−Fe2O3の特性に従って、高保磁力等の磁気記録媒体に要求される磁気特性において優れた性質を有する。そして、Pt等の貴金属の使用量も低減でき、コスト面でも有利となる。
第1実施形態:以下、本発明の実施形態について説明する。本実施形態では、一部にAlをドープした水酸化鉄を製造し、ここから、ε−Fe2O3を主体とする酸化鉄を製造した。そして、ターゲット材に加工し、磁性薄膜を製造した。以下、各工程を詳述する。
純水4L、硝酸鉄(III)9水和物を540g、硝酸アルミニウム(III)9水和物を26g添加し、室温でよく撹拌しながら溶解させ、原料溶液とした。このときの仕込み組成は、AlとFeのモル比をAl:Fe=x:(2−x)と表すときx=0.1であった。次に、この原料用液を良く撹拌しながら、22.3%アンモニア水420gを滴下することにより、両液を撹拌混合し、鉄及びアルミニウムの水酸化物を生成させた。
次に、反応溶液を撹拌しながら、テトラエトキシシラン430gを加え、約1日撹拌を継続した。これによりシリカ被覆が進行する。そして、この溶液を遠心分離あるいは濾過することにより沈殿物を回収し、複数回洗浄した。回収物は、シリカで被覆された鉄及びアルミニウムの水酸化物粒子である。
得られたシリカ被覆−鉄及びアルミニウムの水酸化物粒子は乾燥後、大気雰囲気下の炉内において1040℃で4時間加熱して熱処理した。
熱処理後の粉末についてXRD分析したところ、ε−Fe2O3の結晶構造(斜方晶、空間群Pna21)に対応するピークが観察されε−Fe2O3結晶の生成が確認された。また、この酸化鉄中のε−Fe2O3の含有率を、XRDパターンをRietveld解析することにより検討した結果、ε相77%+α相23%であることが確認された。また、約20nmの結晶子径の揃った粉末であった。
製造したε−Fe2O3含有酸化鉄粉末をHIPにて焼結してターゲット材を製造した。HIPの条件は、焼結温度900℃、圧力100MPaで保持時間60分とした。製造したターゲット材の寸法は、φ30mm、厚み5mmとした。
図1は、本実施形態で使用した薄膜製造装置100の概略構成である。上記で製造したターゲット材Tは、気化チャンバー10に導入される。一方、磁性膜を形成する基板Sは成膜チャンバー20にセットされている。気化チャンバー10と成膜チャンバー20とは、輸送管30で連通している。輸送管30の先端(基板側)には、超音速ノズルが接続されている。また、気化チャンバー10にはレーザー照射装置L(光源:QスイッチNd:YAGパルスレーザー、出力425mJ)が取り付けられており、レーザー光は焦点レンズを通過することでターゲット材Tに任意のスポット面積でレーザー光が当てられている。
薄膜製造装置100による磁性膜の製造は、まず、気化チャンバーを80kPa(600Torr)にし、同時に成膜チャンバーを0.1kPa(0.75Torr)になるまで真空引きする。両チャンバーの真空度が設定値になったところで、レーザー照射装置Lよりレーザーをターゲットに照射して酸化鉄を気化する。気化した酸化鉄は、気化チャンバーと成膜チャンバーとの差圧により生起するガス流により加速され高速で基板に到達する。本実施形態では、成膜時間を10分とし、磁性膜の厚さを7.6μmとした。
成膜した磁性膜について、XRD分析にて磁性膜を構成する酸化鉄相の種類を検討した。ε相とα相の各相に対して2成分の解析を行った。図2は、XRD−Rietveld解析結果を示す。この解析結果から、酸化鉄の構成相として下記の相が生成していることが確認された。
成膜された磁性膜の全体的な相構成は、前駆材であるターゲット(酸化鉄粉末)と同様であり、ε相の含有率は70%以上(75.7%)を維持している。但し、磁性膜中のε相の結晶子径の分布は二極化しており、ターゲット原料を構成していた粒子と略同じ結晶子径の粒子(約20nm)と、約3nm(2.8nm)の小サイズの粒子が多く生成していることが示されている。磁性膜の成膜過程で結晶子径について微細化が生じていることが分かる。そして、この傾向はα相にも同様のものが見られた。
そして、本実施形態の磁性膜について、酸化鉄(ε相とα相)の平均結晶子径を各相、各結晶子径の存在割合をもとにした加重平均((2.8nm×64.7%)+(17.3nm×11.0%)+(2.8nm×18.7%)+(18.4nm×5.6%))を算出した。本実施形態の磁性膜における酸化鉄の結晶子径は、約5.3nmと計算された。
また、本実施形態で成膜した磁性膜について、構成する金属元素に対するSiのモル比(Si/[Fe+M]:本実施形態ではM=Al)を算出するため、XRF分析により各元素の比率を分析した。その結果、Fe:Al:Si=1.91:0.09:2.85であった。よって、モル比(Si/[Fe+Al])は、約1.4になることが確認された。尚、磁性膜の前駆材であるターゲット(酸化鉄粉末)についても、予め構成金属元素の比率を分析していた。ターゲットにおける各元素の比率は、Fe:Al:Si=1.91:0.09:2.81であった。つまり、ターゲットの構成比と、成膜された磁性膜の構成比はほぼ同じであることが確認できた。
次に、この磁性膜についての磁気特性を評価した。この評価は、超伝導量子干渉計(SQUID)にて磁気ヒステリシス曲線を測定し(温度300K)、磁性材料の保磁力(Hc)、飽和磁化(Ms)、残留磁化(Mr)を測定した。測定された磁気特性は、保磁力が3.5kOe、飽和磁化(5T)が2.85emu/g、残留磁化が0.3emu/gであった。
第2実施形態:ここでは、第1実施形態で製造したε−Fe2O3含有酸化鉄粉末を用いて、SPSによりターゲットを製造した。そして、このターゲットから磁性膜を成膜した。SPSの条件は、焼結温度950℃、圧力34MPaで保持時間10分とした。製造したターゲット材の寸法は、φ30mm、厚み3mmとした。
磁性膜の成膜は、第1実施形態と同じ薄膜製造装置(図1)を使用した。磁性膜の製造条件は、気化チャンバー圧力を40kPa(300Torr)とし、成膜チャンバー圧力を0.1kPa(0.75Torr)とした。その他の条件・工程は第1実施形態と同様とした。膜厚は、22.9μmであった。
成膜した磁性膜について、第1実施形態と同様にして、磁性膜を構成する酸化鉄相についてε相とα相の各相に対して2成分の解析を行い、表2の結果を得た。
本実施形態で成膜された磁性膜もε相の含有率が70%以上となっており、前駆材であるターゲット(酸化鉄粉末)の割合を維持している。また、この磁性膜でも結晶子径の微細化が生じており、ターゲット原料に含まれていた約20nmの粒子に加えて、約3nmの小サイズの粒子が生成していた。本実施形態の磁性膜においては、酸化鉄(ε相とα相)の平均結晶子径は、約7.5nmと計算された。尚、本実施形態の磁性膜における、構成金属元素に対するSiのモル比(Si/[Fe+Al])は第1実施形態と同じである。同じ酸化鉄粉末を使用しているからである。
そして、この磁性膜についての磁気特性(保磁力、飽和磁化、残留磁化(温度300K))を測定した。測定された磁気特性は、保磁力が5.6kOe、飽和磁化(5T)が4.4emu/g、残留磁化が0.9emu/gであった。
第3実施形態:第1実施形態と同様の工程で、熱処理条件を変更してε−Fe2O3含有酸化鉄粉末を製造した。酸化鉄粉末の製造は、硝酸鉄(III)9水和物と硝酸アルミニウム(III)9水和物とを溶解した原料溶液に、アンモニア水を滴下して水酸化物を生成し、この水酸化物をシリカ被覆したのち、熱処理して酸化鉄とした。本実施形態では熱処理条件として、1150℃で4時間加熱とした。
熱処理後の酸化鉄粉末についてのXRD分析及びRietveld解析の結果、ε相80%+α相20%であることが確認された。また、各相の結晶子径は、ε相が約23nmでα相が約38nmであった。
このε−Fe2O3含有酸化鉄粉末をSPSにて焼結してターゲット材を製造した。SPSの条件は、第2実施形態と同様とした。そして、製造したターゲット材から磁性膜を成膜した。磁性膜成膜は、第1、第2実施形態と同じ薄膜製造装置を使用した。磁性膜の製造条件は、第2実施形態と同様とした。膜厚は、23.1μmであった。
成膜した磁性膜について、第1、第2実施形態と同様にして、磁性膜を構成する酸化鉄相についてε相とα相の各相に対して2成分の解析を行い表3の結果を得た。
本実施形態で成膜された磁性膜もε相の含有率が70%以上となっており、前駆材であるターゲット(酸化鉄粉末)の割合を維持している。本実施形態の磁性膜においては、酸化鉄(ε相とα相)の平均結晶子径は、約17.4nmと計算される。尚、本実施形態の磁性膜における、構成金属元素に対するSiのモル比(Si/[Fe+Al])は第1、第2実施形態と同じである。酸化鉄粉末を製造する際の原料溶液の仕込み組成が同じだからである。
そして、この磁性膜についての磁気特性(保磁力、飽和磁化、残留磁化(温度300K))を測定した。測定された磁気特性は、保磁力が8.6kOe、飽和磁化(5T)が5.9emu/g、残留磁化が1.3emu/gであった。
本発明に係る磁性材料は、結晶磁気異方性を有する磁性合金粒子を保持するものであり、磁性合金粒子の結晶構造について効果的な規則化がなされており好適な磁気特性を有する。この磁性合金粒子を適宜に取り出して利用することで、記録密度を従来よりも高めた磁気記録媒体の開発が期待できる。
Claims (8)
- 任意の基板上に形成され、酸化鉄を含む酸化鉄系強磁性膜であって、
前記酸化鉄中のε相の含有割合が70%以上であり、
結晶子径が2nm以上100nm以下である酸化鉄系強磁性膜。 - 酸化鉄系強磁性膜を構成する金属元素([Fe+M]:MはFe以外の金属元素である)に対するSiのモル比(Si/[Fe+M])が、0.01以上10以下である請求項1記載の酸化鉄系強磁性膜。
- 請求項1又は請求項2記載の酸化鉄系強磁性膜の製造方法であって、
酸化鉄を含んでなるターゲット材であって、酸化鉄中のε相の含有割合が70%以上である酸化鉄粉末を焼結してなるターゲット材を用意する工程、
前記ターゲット材にレーザー照射して、ターゲット材の少なくとも一部を加熱してアブレーションする工程、
前記アブレーションにより生じる酸化鉄粒子を高速で基板上に堆積させる工程、を含む酸化鉄系強磁性膜の製造方法。 - 酸化鉄粒子を亜音速、遷音速、超音速のいずれかのガス流によって基板上に輸送し堆積させる請求項3記載の酸化鉄系強磁性膜の製造方法。
- ターゲットに照射するレーザーの照射面積が、1.5mm2以下である請求項3又は請求項4記載の酸化鉄系強磁性膜の製造方法。
- ターゲットに照射するレーザーのエネルギーフルエンスが、2J/cm2以上100J/cm2以下である請求項3〜請求項5のいずれかに記載の酸化鉄系強磁性膜の製造方法。
- 請求項1又は請求項2記載の酸化鉄系強磁性膜を任意の基板上に形成するためのターゲット材であって、
酸化鉄粉末を焼結してなり、
前記酸化鉄粉末は、ε相の含有割合が70%以上である酸化鉄からなるターゲット材。 - 酸化鉄粉末の少なくとも一部がSiO2で被覆されている請求項7記載のターゲット材。
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