JPWO2016063510A1 - ホール素子 - Google Patents
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Abstract
Description
ホール素子は、一般に、感磁部と、感磁部に電流を流すための電流電極対と、ホール起電力を検出するための出力電極対を有している、そして、出力電極対から検出されるホール起電力から感磁部に印加された磁気の大きさ及び向きを検出する。
例えば、特許文献1に記載のホール素子は、十字型のホール素子の4箇所の内隅部分を直角でなく斜めに角取りを施した形状にしたものである。
また、特許文献2に記載のホール素子は、感磁部の形状を十字型にして、さらに感磁部を半導体チップの表裏両面に設けて感度の向上を図るようにしたものである。
上述した特許文献1のホール素子、特許文献2のホール素子どちらもS/Nが十分ではないという問題があった。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、S/Nの優れたホール素子を提供することにある。
ただし、
の関係を満たす。
ただし、
の関係を満たす。
ただし、
図2は、本発明に係るホール素子の実施形態を説明するための構成図(その1)である。本実施形態のホール素子は、基板100と、基板100上に形成された第1の電極22aから第4の電極23bと、第1の電極22aから第4の電極23bに接続する感磁部10とを備えているホール素子である。
つまり、本実施形態のホール素子は、基板100と、基板100上に配置される第1の電極22a及び第2の電極23aと、基板100上で、かつ、第1の電極22aと対向する位置に配置される第3の電極22bと、基板100上で、かつ、第2の電極23aと対向する位置に配置される第4の電極23bと、第1から第4の電極に接続する感磁部10とを備えている。第1の電極22aと第3の電極22bは感磁部10に電流を流すための電流電極対である。第2の電極23aと第4の電極23bはホール起電力を検出するための出力電極対である。
感磁部10は、基板100を平面視したときに矩形状である第1の感磁領域10−1と、基板100を平面視したときに矩形状であり、かつ、第1の感磁領域10−1と垂直に交差する第2の感磁領域10−2と、基板100を平面視したときに第1の感磁領域10−1と第2の感磁領域10−2の交差する領域である交差領域10−0の近傍に形成された第3の感磁領域10−3から第6の感磁領域10−6とを備えている。なお、「平面視したとき」とは、「基板100を平面視したとき」を意味している。
また、第2の感磁領域10−2の各頂点を時計回りに順にB1、B2、B3、B4とする。第2の電極23aは、平面視で、B1及びB2と接続しており、第4の電極23bは、平面視で、B3及びB4と接続している。
A1及びA4を結ぶ線分とB2及びB3を結ぶ線分との交点をC1、A2及びA3を結ぶ線分とB2及びB3を結ぶ線分との交点をC2、A2及びA3を結ぶ線分とB1及びB4を結ぶ線分との交点をC3、A1及びA4を結ぶ線分とB1及びB4を結ぶ線分との交点をC4とする。C1〜C4で囲まれた領域が、交差領域10−0となる。
ただし、
の関係を満たすように構成されている。
A1及びD2を結ぶ線分の長さをARM1、A2及びD3を結ぶ線分の長さをARM2、A3及びD6を結ぶ線分の長さをARM3、A4及びD7を結ぶ線分の長さをARM4、B1及びD8を結ぶ線分の長さをARM5、B2及びD1を結ぶ線分の長さをARM6、B3及びD4を結ぶ線分の長さをARM7、B4及びD5を結ぶ線分の長さをARM8とする。ARM1からARM8は全て0であってもよく、また、電極の位置がずれた時のホール素子の特性変動を少なくするために、ARM1からARM8は全て0でなくてもよい。
図4(a)において、ARM1及びARM2があるので、第1の電極が矢印方向に位置ずれしてもA1,A2間の距離は変わらない。したがって、第1の電極の位置ずれが生じても特性の変動は極めて小さい。
同様に、ARM3から8を有するホール素子は、第2から第4の電極の位置ずれが生じても特性の変動は極めて小さい。
ARM1とARM2は同じ大きさであることが好ましく、ARM3とARM4は同じ大きさであることが好ましい。
同様に、ARM5、ARM6、ARM7及びARM8の少なくとも一つは、0.5%×LOUT以上であってもよく、1.0%×LOUT以上であってもよく、2.0%×LOUT以上であってもよい。ARM5とARM6は同じ大きさであることが好ましく、ARM7とARM8は同じ大きさであることが好ましい。
このような構成にすることにより、電流を第2の電極23aから第4の電極23bに流したときのホール起電力と、電流を第4の電極23bから第2の電極23aに流したときのホール起電力との差が小さくなる。つまり、電流の向きを自由に設定することが可能となり、ホール素子の実装自由度が向上する。
このような構成にすることにより、電流を第1の電極22aから第3の電極22bに流したときのホール起電力と、電流を第3の電極22bから第1の電極22aに流したときのホール起電力との差が小さくなる。つまり、電流の向きを自由に設定することが可能となり、ホール素子の実装自由度が向上する。
また、第3の感磁領域10−3から第6の感磁領域10−6の形状は、平面視で、互いに合同の形状である。
このような構成により、電流電極対と出力電極対を入れ替えて使用することができ、ホール素子の実装自由度が向上する。
なお、第3の感磁領域10−3から第6の感磁領域10−6の形状は、平面視で、互いに合同の形状でなくてもよい。
また、第3の感磁領域10−3及び第6の感磁領域10−6は、平面視で、直線M2に対して線対称な位置に配置されていなくてもよく、第4の感磁領域10−4及び第5の感磁領域10−5は、平面視で、直線M2に対して線対称な位置に配置されていなくてもよい。
第1の電極22a及び第3の電極22bは、平面視で、直線M1に対して線対称な形状であり、第2の電極23a及び第4の電極23bは、平面視で、直線M2に対して線対称な形状である。
電極が位置ずれしても感磁領域と電極との接触長さの変動が少なく、電極が位置ずれしても特性の変動が少ない。
また、第1の電極22aから第4の電極23bは、第1の電極22aと第3の電極22bとを結ぶ仮想直線と、第2の電極23aと第4の電極23bとを結ぶ仮想直線とが、平面視で交差するように基板100上に配置されている。本実施形態では、第1の電極22aと第3の電極22bとを結ぶ仮想直線と、第2の電極23aと第4の電極23bとを結ぶ仮想直線とが、平面視で直交している。
LIN/LOUTは、例えば、0.05以上20以下であり、0.2以上5以下であり、0.5以上2以下であり、0.8以上1.25以下である。
LINは、例えば、1μm以上300μm以下であり、10μm以上200μm以下であり、30μm以上150μm以下である。
LOUTは、例えば、1μm以上300μm以下であり、10μm以上200μm以下であり、30μm以上150μm以下である。
感磁部10は、GaAs,InSb,InAs,Siなどの半導体にドナー又はアクセプタとなる不純物が添加された領域である。隣接領域も同様に、GaAs,InSb,InAs,Siなどの半導体で形成されているが、ドナー又はアクセプタとなる不純物が少ないため、抵抗率が高い。
隣接領域のシートキャリア密度は、感磁部10のシートキャリア密度よりも小さく、例えば、感磁部10のシートキャリア密度の2.0%以下である。
基板100は、GaAs,InSb,InAs,Si基板などの半導体基板であってもよい。
また、第2の感磁領域10−2とは、感磁部10のうち、第2の電極23aと第4の電極23bに接続し、第2の電極23aと第4の電極23bの間の領域で感磁部10をはみ出さない最大の大きさの矩形状の領域である。つまり、電極の下の領域や電極付近のすそ野の領域は、第2の感磁領域10−2に含まれない。
第3の感磁領域10−3は、C1、D1及びD2を結ぶ三角形の領域である。D1とD2は、C1、D1及びD2を結ぶ三角形が感磁部10をはみ出さず、かつ、C1、D1及びD2を結ぶ三角形の面積が最大となる点である。第4から第6の感磁領域も同様に、D3からD8が定義される。
まず、WIN=WOUT=52μm、LIN=LOUT=100μm、第3の感磁領域から第6の感磁領域の合計面積S=0の形状のホール素子(以下、基準ホール素子)のS/Nを測定した。
次に、本実施形態のホール素子について、LINを100μmに固定し、LOUTを80μm、90μm、100μm、110m、120μmに変化させ、WIN、WOUT、点D1〜点D8の位置を様々変化させて、13万点のサンプルを作成した。
最後に、作成したサンプルのS/Nを測定し、基準ホール素子のS/Nで規格化をした。
図8(a)は、S/Nが1.2倍以上となった領域をグラフに示した図である。図8(a)の楕円A(点線)は、S/Nが1.2倍以上となった領域を近似するための点線である。図8(a)に示した楕円Aは、下記式(14)にa=0.14、b=0.68、x0=0.08、y0=0.59を代入して得られた楕円である。
x>0、y>0、0.7x+y≦0.7 ・・・(15)
なお、aはホール素子の測定されたS/Nのプロット値の領域を示す楕円の短軸の長さ、bは楕円の長軸の長さ、となる。
図8(c)は、S/Nが1.4倍以上となった領域をグラフに示した図である。図8(c)の楕円C(点線)は、S/Nが1.4倍以上となった領域を近似するための点線である。図8(c)に示した楕円Cは、式(14)にa=0.1、b=0.54、x0=0.08、y0=0.62を代入して得られた楕円である。楕円Cの領域内で、かつ、式(15)を満たす領域内(図8(c)の領域C’)のホール素子で、S/Nが1.4倍以上となった。
図9(b)は、S/Nが1.6倍以上となった領域をグラフに示した図である。図9(b)の楕円E(点線)は、S/Nが1.6倍以上となった領域を近似するための点線である。図9(b)に示した楕円Eは、式(14)にa=0.064、b=0.32、x0=0.08、y0=0.62を代入して得られた楕円である。楕円Eの領域内で、かつ、式(15)を満たす領域内(図9(b)の領域E’)のホール素子で、S/Nが1.6倍以上となった。
a,b,x,yの関係は、以下の表1のとおりである。
つまり、感磁部10は、基板100上に形成されたメサ構造内に形成されており、メサ構造の外縁は、平面視で、B2及びD1を結ぶ線分、D1及びD2を結ぶ線分、D2及びA1を結ぶ線分、A2及びD3を結ぶ線分、D3及びD4を結ぶ線分、D4及びB3を結ぶ線分、B4及びD5を結ぶ線分、D5及びD6を結ぶ線分、D6及びA3を結ぶ線分、A4及びD7を結ぶ線分、D7及びD8を結ぶ線分及びD8及びB1を結ぶ線分に沿っている。
従来のホール素子として、単純な十字型のホール素子の場合、つまり、感磁部が第1の感磁領域と第2の感磁領域のみ有している場合、本実施形態における第3〜第6の感磁領域がないため、Sが0となり、yは0となる。
また、本実施形態のホール素子において、幾何学的に存在し得るホール素子の形状はx>0かつ、y>0かつ、0.7x+y≦0.7の数式で定義される。
感磁部10の形状を、上述した距離関係を有する形状とするためには、感磁部10の形状を形成する際に使用するマスクの形状を上述した距離関係となるように設計すればよい。
3 内隅部分
5 ホール端子
6 電流端子
7 角取り部
10 感磁部
10−0 交差領域
10−1 第1の感磁領域
10−2 第2の感磁領域
10−3 第3の感磁領域
10−4 第3の感磁領域
10−5 第3の感磁領域
10−6 第6の感磁領域
22a 第1の電極
22b 第3の電極
23a 第2の電極
23b 第4の電極
31−3〜31−6 隣接領域
100 基板
Claims (23)
- 基板と、前記基板上に形成された第1の電極から第4の電極と、前記第1の電極から第4の電極のそれぞれに接続される感磁部と、を備えるホール素子であって、
前記感磁部は、
平面視で矩形状である第1の感磁領域と、
平面視で矩形状であり、かつ、前記第1の感磁領域と垂直に交差する第2の感磁領域と、
平面視で前記第1の感磁領域と前記第2の感磁領域の交差する領域である交差領域の近傍に形成された第3の感磁領域から第6の感磁領域と、
を有し、
前記第1の電極と前記第3の電極は、平面視で、前記交差領域を挟んで対向する位置に配置されており、
前記第2の電極と前記第4の電極は、平面視で、前記交差領域を挟んで対向する位置に配置されており、
前記第1の感磁領域の各頂点を時計回りに順にA1、A2、A3、A4とし、
前記第2の感磁領域の各頂点を時計回りに順にB1、B2、B3、B4としたときに、
前記第1の電極は、平面視で、前記A1及び前記A2と接続しており、
前記第2の電極は、平面視で、前記B1及び前記B2と接続しており、
前記第3の電極は、平面視で、前記A3及び前記A4と接続しており、
前記第4の電極は、平面視で、前記B3及び前記B4と接続しており、
前記A1及び前記A4を結ぶ線分と前記B2及び前記B3を結ぶ線分との交点をC1、
前記A2及び前記A3を結ぶ線分と前記B2及び前記B3を結ぶ線分との交点をC2、
前記A2及び前記A3を結ぶ線分と前記B1及び前記B4を結ぶ線分との交点をC3、
前記A1及び前記A4を結ぶ線分と前記B1及び前記B4を結ぶ線分との交点をC4、
前記B2及び前記C1を結ぶ線分上の点をD1、
前記A1及び前記C1を結ぶ線分上の点をD2、
前記A2及び前記C2を結ぶ線分上の点をD3、
前記B3及び前記C2を結ぶ線分上の点をD4、
前記B4及び前記C3を結ぶ線分上の点をD5、
前記A3及び前記C3を結ぶ線分上の点をD6、
前記A4及び前記C4を結ぶ線分上の点をD7、
前記B1及び前記C4を結ぶ線分上の点をD8、としたときに、
前記第3の感磁領域は、前記C1、前記D1及び前記D2を結ぶ三角形の領域であり、
前記第4の感磁領域は、前記C2、前記D3及び前記D4を結ぶ三角形の領域であり、
前記第5の感磁領域は、前記C3、前記D5及び前記D6を結ぶ三角形の領域であり、
前記第6の感磁領域は、前記C4、前記D7及び前記D8を結ぶ三角形の領域であり、
前記A1及び前記A2を結ぶ線分の長さをWIN、
前記B1及び前記B2を結ぶ線分の長さをWOUT、
前記A1及び前記A4を結ぶ線分の長さをLIN、
前記B1及び前記B4を結ぶ線分の長さをLOUT、
前記第3の感磁領域から第6の感磁領域の合計面積をS、
としたときに、以下の式(1)〜(3)
ただし、
の関係を満たすホール素子。 - 前記a及びbが、0<a≦0.12、0<b≦0.61の関係を満たす請求項1に記載のホール素子。
- 基板と、前記基板上に形成された第1の電極から第4の電極と、前記第1の電極から第4の電極のそれぞれに接続される感磁部と、を備えるホール素子であって、
前記感磁部は、
平面視で矩形状である第1の感磁領域と、
平面視で矩形状であり、かつ、前記第1の感磁領域と垂直に交差する第2の感磁領域と、
平面視で前記第1の感磁領域と前記第2の感磁領域の交差する領域である交差領域の近傍に形成された第3の感磁領域から第6の感磁領域と、
を有し、
前記第1の電極と前記第3の電極は、平面視で、前記交差領域を挟んで対向する位置に配置されており、
前記第2の電極と前記第4の電極は、平面視で、前記交差領域を挟んで対向する位置に配置されており、
前記第1の感磁領域の各頂点を時計回りに順にA1、A2、A3、A4とし、
前記第2の感磁領域の各頂点を時計回りに順にB1、B2、B3、B4としたときに、
前記第1の電極は、平面視で、前記A1及び前記A2と接続しており、
前記第2の電極は、平面視で、前記B1及び前記B2と接続しており、
前記第3の電極は、平面視で、前記A3及び前記A4と接続しており、
前記第4の電極は、平面視で、前記B3及び前記B4と接続しており、
前記A1及び前記A4を結ぶ線分と前記B2及び前記B3を結ぶ線分との交点をC1、
前記A2及び前記A3を結ぶ線分と前記B2及び前記B3を結ぶ線分との交点をC2、
前記A2及び前記A3を結ぶ線分と前記B1及び前記B4を結ぶ線分との交点をC3、
前記A1及び前記A4を結ぶ線分と前記B1及び前記B4を結ぶ線分との交点をC4、
前記B2及び前記C1を結ぶ線分上の点をD1、
前記A1及び前記C1を結ぶ線分上の点をD2、
前記A2及び前記C2を結ぶ線分上の点をD3、
前記B3及び前記C2を結ぶ線分上の点をD4、
前記B4及び前記C3を結ぶ線分上の点をD5、
前記A3及び前記C3を結ぶ線分上の点をD6、
前記A4及び前記C4を結ぶ線分上の点をD7、
前記B1及び前記C4を結ぶ線分上の点をD8、としたときに、
前記第3の感磁領域は、前記C1、前記D1及び前記D2を結ぶ三角形の領域であり、
前記第4の感磁領域は、前記C2、前記D3及び前記D4を結ぶ三角形の領域であり、
前記第5の感磁領域は、前記C3、前記D5及び前記D6を結ぶ三角形の領域であり、
前記第6の感磁領域は、前記C4、前記D7及び前記D8を結ぶ三角形の領域であり、
前記A1及び前記A2を結ぶ線分の長さをWIN、
前記B1及び前記B2を結ぶ線分の長さをWOUT、
前記A1及び前記A4を結ぶ線分の長さをLIN、
前記B1及び前記B4を結ぶ線分の長さをLOUT、
前記第3の感磁領域から第6の感磁領域の合計面積をS、としたときに、以下の式(4)〜(6)
ただし、
の関係を満たすホール素子。 - 前記a及びbが、0<a≦0.09、0<b≦0.45の関係を満たす請求項3に記載のホール素子。
- 前記a及びbが、0<a≦0.064、0<b≦0.32の関係を満たす請求項3に記載のホール素子。
- 前記a及びbが、0<a≦0.04、0<b≦0.19の関係を満たす請求項3に記載のホール素子。
- 前記A1及び前記D2を結ぶ線分の長さをARM1、
前記A2及び前記D3を結ぶ線分の長さをARM2、
前記A3及び前記D6を結ぶ線分の長さをARM3、
前記A4及び前記D7を結ぶ線分の長さをARM4、
前記B1及び前記D8を結ぶ線分の長さをARM5、
前記B2及び前記D1を結ぶ線分の長さをARM6、
前記B3及び前記D4を結ぶ線分の長さをARM7、
前記B4及び前記D5を結ぶ線分の長さをARM8、
としたときに、
ARM1からARM8が全て0ではない請求項1〜6のいずれか1項に記載のホール素子。 - 前記ARM1、前記ARM2、前記ARM3及び前記ARM4が全て0.5%×LIN以上であり、
前記ARM5、前記ARM6、前記ARM7及び前記ARM8が全て0.5%×LOUT以上である請求項7に記載のホール素子。 - 前記第3の感磁領域から第6の感磁領域の形状は、平面視で、互いに合同の形状である請求項1〜8のいずれか1項に記載のホール素子。
- 前記第3の感磁領域及び前記第4の感磁領域は、平面視で、前記A1及びA2を結ぶ線分の中点と、前記A3及びA4を結ぶ線分の中点と、を結ぶ直線M1に対して線対称な位置に配置されており、
前記第5の感磁領域及び前記第6の感磁領域は、平面視で、前記直線M1に対して線対称な位置に配置されている
請求項1〜9のいずれか1項に記載のホール素子。 - 前記感磁部は、平面視で、前記直線M1に対して線対称な形状である請求項10に記載のホール素子。
- 前記第3の感磁領域及び前記第6の感磁領域は、平面視で、前記B1及びB2を結ぶ線分の中点と、前記B3及びB4を結ぶ線分の中点と、を結ぶ直線M2に対して線対称な位置に配置されており、
前記第4の感磁領域及び前記第5の感磁領域は、平面視で、前記直線M2に対して線対称な位置に配置されている請求項1〜11のいずれか1項に記載のホール素子。 - 前記感磁部は、平面視で、前記直線M2に対して線対称な形状である請求項12に記載のホール素子。
- 前記第1の感磁領域から第6の感磁領域の抵抗率は、前記基板内の領域で、かつ、平面視で、前記第1の感磁領域から第6の感磁領域に隣接する領域の抵抗率より低い請求項1〜13のいずれか1項に記載のホール素子。
- 前記第1の感磁領域から第6の感磁領域のキャリア密度は、前記基板内の領域で、かつ、平面視で、前記第1の感磁領域から第6の感磁領域に隣接する領域のキャリア密度より高い請求項1〜14のいずれか1項に記載のホール素子。
- 前記感磁部は、前記基板上に形成されたメサ構造内に形成されており、
前記メサ構造の外縁は、平面視で、
前記B2及びD1を結ぶ線分、
前記D1及びD2を結ぶ線分、
前記D2及びA1を結ぶ線分、
前記A2及びD3を結ぶ線分、
前記D3及びD4を結ぶ線分、
前記D4及びB3を結ぶ線分、
前記B4及びD5を結ぶ線分、
前記D5及びD6を結ぶ線分、
前記D6及びA3を結ぶ線分、
前記A4及びD7を結ぶ線分、
前記D7及びD8を結ぶ線分、及び
前記D8及びB1を結ぶ線分
に沿っている請求項1〜15のいずれか1項に記載のホール素子。 - 前記第1の感磁領域から第6の感磁領域は、前記基板内に形成されている請求項1〜15のいずれか1項に記載のホール素子。
- WIN/WOUTは、0.05以上20以下であり、
LIN/LOUTは、0.05以上20以下であり、
LINは、1μm以上300μm以下であり、
LOUTは、1μm以上300μm以下である請求項1〜17のいずれか1項に記載のホール素子。 - 前記第1の感磁領域は、前記第1の電極と前記第3の電極とで挟まれた間の領域であり、前記感磁部をはみ出さない最大の大きさの平面視で矩形状の領域であり、
前記第2の感磁領域は、前記第2の電極と前記第4の電極とで挟まれた間の領域であり、前記感磁部をはみ出さない最大の大きさの平面視で矩形状の領域であり、
前記第3の感磁領域から第6の感磁領域は、感磁部をはみ出さない最大の三角形の領域である請求項1〜18のいずれか一項に記載のホール素子。 - 基板と、前記基板上に形成される第1の電極と、前記第1の電極と向かい合って形成される第3の電極と、第2の電極と、前記第2の電極と向かい合って形成される第4の電極と、前記第1の電極から第4の電極のそれぞれに接続される感磁部と、を備えるホール素子であって、
前記感磁部は、
前記第1の電極と前記第3の電極とで挟まれた間の領域であり、前記感磁部をはみ出さない最大の大きさの平面視で矩形状である第1の感磁領域と、
前記第2の電極と前記第4の電極とで挟まれた間の領域であり、前記感磁部をはみ出さない最大の大きさの平面視で矩形状であり、かつ、前記第1の感磁領域と垂直に交差する第2の感磁領域と、
平面視で前記第1の感磁領域と前記第2の感磁領域の交差する領域である交差領域の近傍に形成された第3の感磁領域から第6の感磁領域と、
を有し、
前記第1の感磁領域の各頂点を、第1の電極側をA1、A2、第3の電極側をA3、A4とし、
前記第2の感磁領域の各頂点を、第2の電極側をB1、B2、第3の電極側をB3、B4とし、
前記A1及び前記A4を結ぶ線分と前記B2及び前記B3を結ぶ線分との交点をC1、
前記A2及び前記A3を結ぶ線分と前記B2及び前記B3を結ぶ線分との交点をC2、
前記A2及び前記A3を結ぶ線分と前記B1及び前記B4を結ぶ線分との交点をC3、
前記A1及び前記A4を結ぶ線分と前記B1及び前記B4を結ぶ線分との交点をC4、
前記B2及び前記C1を結ぶ線分上の点をD1、
前記A1及び前記C1を結ぶ線分上の点をD2、
前記A2及び前記C2を結ぶ線分上の点をD3、
前記B3及び前記C2を結ぶ線分上の点をD4、
前記B4及び前記C3を結ぶ線分上の点をD5、
前記A3及び前記C3を結ぶ線分上の点をD6、
前記A4及び前記C4を結ぶ線分上の点をD7、
前記B1及び前記C4を結ぶ線分上の点をD8、としたときに、
前記第3の感磁領域は、前記C1、前記D1及び前記D2を結ぶ三角形の領域であり、
前記第4の感磁領域は、前記C2、前記D3及び前記D4を結ぶ三角形の領域であり、
前記第5の感磁領域は、前記C3、前記D5及び前記D6を結ぶ三角形の領域であり、
前記第6の感磁領域は、前記C4、前記D7及び前記D8を結ぶ三角形の領域であり、
前記A1及び前記A2を結ぶ線分の長さをWIN、
前記B1及び前記B2を結ぶ線分の長さをWOUT、
前記A1及び前記A4を結ぶ線分の長さをLIN、
前記B1及び前記B4を結ぶ線分の長さをLOUT、
前記第3の感磁領域から第6の感磁領域の合計面積をS、としたときに、以下の式(7)〜(9)
ただし、
- 前記第3の感磁領域から第6の感磁領域は、感磁部をはみ出さない最大の三角形の領域である請求項20に記載のホール素子。
- 前記第3の感磁領域から第6の感磁領域の形状は、平面視で、互いに合同の形状である請求項20又は21に記載のホール素子。
- 前記A1及び前記D2を結ぶ線分の長さをARM1、
前記A2及び前記D3を結ぶ線分の長さをARM2、
前記A3及び前記D6を結ぶ線分の長さをARM3、
前記A4及び前記D7を結ぶ線分の長さをARM4、
前記B1及び前記D8を結ぶ線分の長さをARM5、
前記B2及び前記D1を結ぶ線分の長さをARM6、
前記B3及び前記D4を結ぶ線分の長さをARM7、
前記B4及び前記D5を結ぶ線分の長さをARM8、
としたときに、
ARM1からARM8が全て0ではない請求項20〜22のいずれか1項に記載のホール素子。
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