JPWO2016020998A1 - 対基板作業装置 - Google Patents

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Abstract

対基板作業システムでは、CPUは、基板毎の複数の対基板作業の各々とヘッドの種類との対応関係と、同じ基板内での複数の対基板作業のうち2以上の対基板作業間の優先順序と、を含む作業情報を取得する(ステップS100)。そして、取得した対応関係に基づく対基板作業を行うにあたり、第1レーンと第2レーンとの一方のレーン(作業レーン)に搬送された基板に対してヘッド保持体が保持中のヘッドを用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく(ステップS130でNO)、且つ他方のレーンに搬送された基板に対して保持中のヘッドを用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がある場合(ステップS180でYES)には、CPUは、保持中のヘッドを交換することなく他方のレーンで実行可能な対基板作業を行うようヘッド保持体と移動部とを制御する(ステップS190,S140)。

Description

本発明は、対基板作業装置に関する。
従来、部品を基板上に実装する実装装置などの対基板作業装置が知られている。また、基板を搬送するレーンを2つ備えた実装装置が知られている。例えば、特許文献1に記載の実装装置は、第1レーン,第2レーンに保持された2枚の基板に部品を実装するにあたり、先行して搬入された先行基板を対象として部品実装動作を実行する。そして、この装置は、先行基板を対象とした部品実装動作が完了する前に後続基板が部品実装動作可能な状態となったならば、このタイミングにおいて先行基板への部品実装動作の対象となっている部品を後続基板における実装開始部品とする。こうすることで、この装置は、部品種切替時に必要となる作業の頻度を低減させている。なお、この装置は、基板が正規の実装位置に正しく位置決めされたか否かを検出する基板センサからの基板検出信号を用いて、後続基板が部品実装動作可能な状態か否かの判定を行っている。
特開2007−258319号公報
しかし、特許文献1に記載の実装装置は、後続基板が正しく位置決めされているか否かによって後続基板での部品実装動作の可否を判定しているに過ぎなかった。例えば、後続基板で部品を実装する複数の作業について作業間で守るべき優先順序が定められている場合があるが、そのような場合は考慮されていなかった。
本発明はこのような課題に鑑みなされたものであり、優先順序を守りつつ効率よく対基板作業を行うことを主目的とする。
本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。
本発明の対基板作業装置は、
基板に対する対基板作業を行う複数種類の対基板作業手段を収容可能な複数の収容部を有する収容手段と、
前記対基板作業手段を交換可能に保持する保持手段と、
前記保持手段を移動させる移動手段と、
前記基板を搬送する第1レーン及び第2レーンと、
前記基板毎の複数の対基板作業の各々と前記対基板作業手段の種類との対応関係を取得する対応関係取得手段と、
同じ基板内での前記複数の対基板作業のうち2以上の対基板作業間の優先順序を取得する優先順序取得手段と、
前記取得した対応関係に基づく前記対基板作業を行うにあたり、前記第1レーンと前記第2レーンとの一方のレーンに搬送された基板に対して前記保持手段が保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ他方のレーンに搬送された基板に対して該保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がある場合には、該保持中の対基板作業手段を交換することなく該他方のレーンで実行可能な対基板作業を行うよう前記保持手段と前記移動手段とを制御する制御手段と、
を備えたものである。
本発明の対基板作業装置では、基板毎の複数の対基板作業の各々と対基板作業手段の種類との対応関係と、同じ基板内での複数の対基板作業のうち2以上の対基板作業間の優先順序と、を取得する。そして、取得した対応関係に基づく対基板作業を行うにあたり、第1レーンと第2レーンとの一方のレーンに搬送された基板に対して保持手段が保持中の対基板作業手段を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ他方のレーンに搬送された基板に対して保持中の対基板作業手段を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がある場合には、保持中の対基板作業手段を交換することなく他方のレーンで実行可能な対基板作業を行うよう保持手段と移動手段とを制御する。こうすることで、複数の対基板作業間の優先順序を守りつつ、保持中の対基板作業手段を交換せずに一方のレーンと他方のレーンとの両方の対基板作業を行うことができ、対基板作業手段の交換回数を少なくすることができる。そのため、優先順序を守りつつ効率よく対基板作業を行うことができる。
本発明の対基板作業装置において、前記保持手段は、部品を保持する実装ヘッドと前記基板上に粘性流体を塗布する塗布ヘッドとの少なくとも一方を含む前記対基板作業手段としての複数種類のヘッドを交換可能に保持するヘッド保持体としてもよい。こうすれば、優先順序を守りつつヘッドの交換回数を少なくして効率よく対基板作業を行うことができる。
本発明の対基板作業装置において、前記保持手段は、部品を吸着する吸着ノズルと前記基板上に粘性流体を吐出する吐出ノズルとの一方である前記対基板作業手段としての複数種類のノズルを交換可能に保持するヘッドとしてもよい。こうすれば、優先順序を守りつつノズルの交換回数を少なくして効率よく対基板作業を行うことができる。
本発明の対基板作業装置において、前記制御手段は、前記一方のレーンに搬送された基板に対して前記保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ、前記他方のレーンに基板が搬送されていない場合に、該他方のレーンに基板が搬送されるまでの時間が所定の閾値未満のときには、該他方のレーンに基板が搬送されるまで該保持中の対基板作業手段を交換しなくてもよい。こうすれば、他方のレーンに基板が搬送されるまで待つことで、保持中の対基板作業手段を用いて他方のレーンに対して対基板作業を行える場合があるため、対基板作業手段の交換回数を少なくすることができる。この場合において、本発明の対基板作業装置は、前記他方のレーンへの基板の搬送に関する搬送情報を取得する搬送情報取得手段を備え、前記制御手段は、前記搬送情報に基づいて前記他方のレーンに基板が搬送されるまでの時間が前記閾値未満か否かを判定してもよい。
本発明の対基板作業装置において、前記他方のレーンへの基板の搬送に関する搬送情報を取得する搬送情報取得手段、を備え、前記制御手段は、前記一方のレーンに搬送された基板に対して前記保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ、前記他方のレーンに基板が搬送されていない場合に、該他方のレーンに基板が搬送されるのを待たずに該保持中の対基板作業手段を交換するか否かを前記搬送情報に基づいて判定してもよい。こうすれば、他方のレーンに基板が搬送されるまで待たずに対基板作業手段を交換することで待ち時間を減らすか、他方のレーンに基板が搬送されるまで待つことで対基板作業手段の交換回数を少なくするかを、搬送情報に基づいて適切に判定することができる。なお、前記制御手段は、前記搬送情報を取得したか否かに基づいて前記判定を行ってもよい。また、前記搬送情報取得手段は、前記他方のレーンの搬送の上流側の装置から前記搬送情報を取得してもよい。
本発明の対基板作業装置において、前記制御手段は、前記一方のレーンに搬送された基板に対して前記保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ前記他方のレーンに基板が搬送されていない場合に、該他方のレーンに搬送される基板に対して該保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がないときには、該他方のレーンに基板が搬送されるのを待たずに該保持中の対基板作業手段を交換して前記一方のレーンに搬送された基板に対する対基板作業を行ってもよい。こうすれば、不要な待ち時間を減らして効率よく対基板作業を行うことができる。
本実施形態の対基板作業システム10の構成の概略を示す構成図。 管理コンピュータ80のHDD84に記憶された作業情報85の説明図。 対基板作業処理ルーチンの一例を示すフローチャート。 対基板作業処理の様子を示す説明図。 サブルーチンの一例を示すフローチャート。
本発明の実施の形態を図面を参照しながら以下に説明する。図1は、対基板作業システム10の概略説明図である。本実施形態の対基板作業システム10は、基板90上への部品の実装処理や接着剤の塗布処理などの対基板作業を行う対基板作業装置11と、対基板作業に関する情報の管理、設定を行う実装管理コンピュータ80とを備えている。なお、本実施形態において、左右方向(X軸)、前後方向(Y軸)及び上下方向(Z軸)は、図1に示した通りとする。また、実装処理とは、部品を基板上に載置、配置、装着、挿入、接合、接着する処理などを含む。対基板作業システム10は、対基板作業装置11の搬送方向の上流側(左側)や下流側(右側)に図示しない他の対基板作業装置も備えており、これらの複数の対基板作業装置が対基板作業ラインを構成している。また、これらの複数の対基板作業装置及び管理コンピュータ80は、互いにLAN89を介して接続されている。
対基板作業装置11は、リール17から部品を送り出す部品供給装置16と、基板90を搬送する搬送部20と、搬送部20により搬送された基板90を裏面側からバックアップするバックアップ装置30と、作業部50のヘッド保持体51を移動させる移動部40と、種々の対基板作業を行う作業部50と、対基板作業装置11全体の制御を司る制御装置70とを備える。また、対基板作業装置11は、基板90に設けられた基準マークを撮像可能なマークカメラ46と、作業部50に保持された部品を撮像可能なパーツカメラ48と、複数のノズル56をストックしておくためのノズルストッカ60と、複数のヘッド52をストックしておくためのヘッドストッカ65と、を備えている。
部品供給装置16は、部品が格納されたテープが巻き付けられているリール17を複数備え、対基板作業装置11の前側に着脱可能に取り付けられている。このテープは、リール17から巻きほどかれ、作業部50に採取される採取位置に部品が位置するようにフィーダ部18によって送り出される。フィーダ部18は、対基板作業装置11に着脱可能なリール17の数に対応して複数配設されている。
搬送部20は、第1レーン22aおよび第2レーン22bの2つの基板搬送路が設けられたデュアルレーン方式の搬送装置として構成されており、対基板作業装置11の本体の中段部に設けられた支持台13上に配置されている。各レーンには、ベルトコンベア装置24a,24bが配設されている。ベルトコンベア装置24a,24bの駆動により、第1,第2レーン22a,22bの基板90はそれぞれ図1の左から右(搬送方向)へと搬送される。
バックアップ装置30は、第1レーン22aおよび第2レーン22bのそれぞれに対応して配設されている。バックアップ装置30は、図示しない昇降装置により昇降可能に設置されたバックアッププレート32と、バックアッププレート32に立設された複数のバックアップピン34とを備える。このバックアップ装置30は、搬送部20によりバックアッププレート32の上方に基板90が搬送された状態でバックアッププレート32を上昇させることで基板90を裏面側(下側)からバックアップする。
移動部40は、X軸ガイドレール41,X軸スライダ42,Y軸ガイドレール43,Y軸スライダ44を備えている。X軸スライダ42は、前後方向にスライド可能なY軸スライダ44の下面に、左右方向にスライド可能となるように取り付けられている。Y軸スライダ44は、前後方向に延びる左右一対のY軸ガイドレール43,43にスライド可能に取り付けられている。なお、Y軸ガイドレール43,43は、対基板作業装置11の内部に固定されている。Y軸スライダ44の下面には、左右方向に延びる前後一対のX軸ガイドレール41,41が設けられ、このX軸ガイドレール41,41にX軸スライダ42が左右方向にスライド可能に取り付けられている。作業部50は、X軸スライダ42が左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Y軸スライダ44が前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。なお、各スライダ42,44は、それぞれ図示しない駆動モータにより駆動される。
作業部50は、ノズル56と、1以上のノズル56を交換可能に保持するヘッド52と、ヘッド52を交換可能に保持するヘッド保持体51と、ヘッド52に保持されたノズル56をZ軸方向(上下方向)に昇降するZ軸モータ55と、を備えている。ヘッド保持体51は、例えば、第1〜第4ヘッド52A〜52Dの4種を装着、取り外し可能である。なお、第1〜第4ヘッド52A〜52Dをヘッド52と総称する。また、ヘッド保持体51は、図示しない駆動モータにより回転やZ軸方向への昇降が可能になっている。ノズル56には、部品を吸着する吸着ノズル57と、接着剤などの粘性流体を吐出する吐出ノズル58とが含まれる。
第1〜第3ヘッド52A〜52Cは、部品を保持する実装ヘッドとして構成されている。第1ヘッド52Aは、12個のノズルホルダを備えており、12本の吸着ノズル57を装着可能である。第2ヘッド52Bは、4個のノズルホルダを備えており、4本の吸着ノズル57を装着可能である。第3ヘッド52Cは、1本の吸着ノズル57を装着可能である。第1〜第3ヘッド52A〜52Cに装着(保持)された吸着ノズル57は、圧力を利用して、ノズル先端に部品を吸着したり、ノズル先端に吸着している部品を放したりすることができる。吸着ノズル57は、Z軸モータ55を駆動源とするホルダ昇降装置によってZ軸方向に昇降される。
第4ヘッド52Dは、接着剤を収容する収容室を内部に備えており、基板90に接着剤を塗布する塗布ヘッドとして構成されている。第4ヘッド52Dは、1個のノズルホルダを備えており、1本の吐出ノズル58を装着可能である。第4ヘッド52Dに装着(保持)された吐出ノズル58は、圧力を利用して、基板90に部品を接着するための接着剤をノズル先端の吐出口から吐出するものである。
マークカメラ46は、基板90を上方から撮像する装置であり、X軸スライダ42の下面に配設されている。マークカメラ46は、下方が撮像領域であり、基板90の基準位置や部品を配置する基準位置などを示す基板90に付された基準マークを読み取るカメラである。マークカメラ46は、作業部50の移動に伴ってX−Y方向へ移動する。
パーツカメラ48は、第2レーン22bの前方に配置されている。このパーツカメラ48の撮像範囲は、パーツカメラ48の上方である。パーツカメラ48は、作業部50がパーツカメラ48の上方を通過する際に、ヘッド保持体51に保持されたヘッド52,ヘッド52に保持されたノズル56,吸着ノズル57に保持された部品などを撮像可能である。パーツカメラ48は、撮像した画像を制御装置70へ出力する。
ノズルストッカ60は、ノズル56を収容可能なノズル収容部61を複数有するボックスである。ノズル収容部61は、吸着する部品の種類に適した複数種類の吸着ノズル57や、吐出する接着剤の量に応じた複数種類の吐出ノズル58を1つずつ収容可能である。
ヘッドストッカ65は、ヘッド52を収容可能なヘッド収容部66を複数(本実施形態では4個)有するボックスである。ヘッド収容部66は、第1〜第4ヘッド52A〜52Dをそれぞれ1つずつ収容可能である。
制御装置70は、CPU71を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラムを記憶するROM72、作業領域として用いられるRAM73、各種データを記憶するHDD74、外部装置と電気信号のやり取りを行うための入出力インタフェース75などを備えており、これらはバス76を介して接続されている。この制御装置70は、部品供給装置16,搬送部20,バックアップ装置30,移動部40,マークカメラ46,パーツカメラ48,作業部50などと双方向通信可能に接続されている。制御装置70は、搬送部20,バックアップ装置30,移動部40,及び作業部50などに制御信号を出力したり、マークカメラ46やパーツカメラ48からの画像信号を入力したりする。なお、移動部40の各スライダ42,44には図示しない位置センサが装備されており、制御装置70はそれらの位置センサからの位置情報を入力しつつ、各スライダ42,44の駆動モータを制御する。また、制御装置70は、管理コンピュータ80とLAN89を介して双方向通信可能に接続されており、互いにデータや制御信号のやり取りを行っている。
管理コンピュータ80は、対基板作業に関する情報を管理するPCであり、マウスやキーボードなどの入力デバイス87や、ディスプレイ88などを備えている。図2に示すように、管理コンピュータ80のHDD84には、作業情報85を含む生産ジョブデータが記憶されている。
図2に示すように、作業情報85には、基板90に対して行う対基板作業の作業順序、基板90に実装する部品の種別又は塗布する接着剤の吐出量,対基板作業に用いるヘッド52の種別,対基板作業に用いるノズル56の種別,対基板作業を行う基板90上の位置を表す作業座標,2以上の対基板作業間の優先順序,などを対応づけた情報が含まれている。なお、本実施形態では、優先順序には、数字の順序(1,2,・・・)で規定される第1優先順序と、アルファベットの順序(A,B,C,・・・)で規定される第2優先順序との2種類が含まれるものとした。また、第1優先順序は、部品の高さに基づいて、高さの低い部品を実装した後に高さの高い部品を実装するように定められた優先順序とした。この第1優先順序は、高さの高い部品を先に実装してしまい高さの低い部品の実装時の妨げになる(例えば作業部50や吸着された部品が先に実装された部品にぶつかるなど)などの不具合の発生を抑制するように、予め定められている。例えば、図2では、作業順序2に対応する部品を実装した後に作業順序8に対応する部品を実装するように定められている。第2優先順序は、部品上への接着剤の塗布や、部品上への他の部品の実装に関する優先順序とした。例えば、図2では、作業順序9〜11の対基板作業は、この第2優先順序を守りつつ実行するように定められている。作業順序9の対基板作業は、部品を基板90に実装する作業である。作業順序10の対基板作業は、作業順序9で実装した部品の上面に接着剤を塗布する作業である。作業順序11の対基板作業は、作業順序9で実装した部品上に部品を載置して、作業順序10で塗布した接着剤により固定する作業である。なお、図2における優先順序の欄の「−」は、対応する対基板作業について守るべき優先順序がないことを意味する。なお、このような作業情報85は、例えば基板90の種別毎に予め定められている。また、生産ジョブデータには、作業情報85の他に、基板90を何枚作製するかの情報や、基板90の基準マークの位置などの情報も含まれている。
次に、こうして構成された本実施形態の対基板作業システム10の動作について説明する。図3は、制御装置70のCPU71により実行される対基板作業処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、制御装置70のHDD74に記憶され、管理装置80から指令信号を受信したときなどに実行される。
このルーチンが実行されると、制御装置70のCPU71は、まず、作業情報85を含む生産ジョブデータを管理コンピュータ80から取得してHDD74に記憶する(ステップS100)。なお、CPU71は、生産ジョブデータを管理コンピュータ80から予め受信してHDD74に記憶しておいてもよい。
続いて、CPU71は、基板90を順次搬入する搬入処理を開始する(ステップS110)。この搬入処理では、CPU71は、まず、対基板作業装置11の上流側の他の対基板作業装置から基板90が各レーンに搬送されるまで待つ。なお、第1,第2レーン22a,22bの各々には、例えばレーンの上流端付近に図示しない基板検出センサが配設されており、CPU71はこの基板検出センサからの信号に基づいて基板90が各レーンに搬送されたか否かを判定する。基板90が第1,第2レーン22a,22bの少なくともいずれかに搬送されたと判定すると、CPU71は、基板90が検出されたレーンの搬送部20を制御して、ベルトコンベア装置24a,24bにより基板90を搬送させる。そして、CPU71は、バックアップ装置30を制御し、対基板作業を行う所定の作業位置でこの基板90を固定する。基板90を固定したレーンにおいて対基板作業が終了して基板90を排出すると、CPU71は、再び基板検出センサからの信号に基づいて次の基板90がレーンに搬送されるまで待つ。
搬入処理を開始したあと、CPU71は、作業対象となる作業レーンを設定する(ステップS120)。この処理では、CPU71は、第1,第2レーン22a,22bにおいて基板90が作業位置に固定されているか否かを調べる。そして、第1,第2レーン22a,22bのいずれか一方のレーンで基板90が作業位置に固定されているときには、そのレーンを作業レーンに設定する。また、両方のレーンで基板90が作業位置に固定されているときには、いずれか一方のレーンを作業レーンに設定する。例えば、CPU71は、作業情報85で指定された対基板作業がより多く終了している基板90に対応するレーンを作業レーンに設定する。なお、両方のレーンで基板90が作業位置に固定されているときにはCPU71は常に第1レーンを作業レーンに設定してもよい。
続いて、CPU71は、取得した作業情報85に基づき、作業レーンの基板90に対してヘッド保持体51が保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業があるか否かを判定する(ステップS130)。なお、CPU71は、必要に応じて(例えば固定された基板90に最初の対基板作業を行う前など)マークカメラ46を移動させて基板90に付された2次元コードなどの基板90の種別を示す情報をマークカメラ46に撮像させる。そして、CPU71は、撮像した画像に基づいて基板90の種別を判定して、対応する作業情報85を特定する。また、ヘッド保持体51がヘッド52を保持していないときには、CPU71は、作業レーンの基板90に対応する作業情報85に含まれる未実施の対基板作業のうち、優先順序を守りつつ実行可能な最も作業順序の小さい対基板作業を特定する。そして、特定した対基板作業の実行に必要なヘッド52の種別を作業情報85に基づいて判定し、判定した種別のヘッド52をヘッド保持体51に保持させる。ステップS130で作業レーンで実行可能な対基板作業があるときには、CPU71は、その基板90に対して保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ対基板作業を実行する(ステップS140)。ここでは、CPU71は、作業情報85で定められた優先順序を守りつつ、作業情報85で定められた作業順序については適宜順序を変更して対基板作業を行う。
例えば、ヘッド保持体51に第1ヘッド52Aが保持されているときには、CPU71は、まず、優先順序を守りつつ第1ヘッド52Aで実行可能な対基板作業を作業情報85に基づいて特定する。次に、CPU71は、作業情報85に基づいて第1ヘッド52Aの吸着ノズル57を適切なものに適宜交換する。吸着ノズル57を交換したときには、CPU71は、パーツカメラ48の上部に第1ヘッド52Aを移動させてパーツカメラ48に画像を撮像させ、画像に基づいて吸着ノズル57(第1ヘッド52Aに装着された吸着ノズル57の種類や装着状態など)の異常の有無を判定する。吸着ノズル57の状態に異常がある場合は、CPU71は吸着ノズル57の交換や作業者への異常の報知などを行う。吸着ノズル57に異常がないときや吸着ノズル57の交換をしていないときには、CPU71は、特定した対基板作業で指定されている部品を第1ヘッド52Aの吸着ノズル57に可能な限り(第1ヘッド52Aであれば12個まで)吸着して保持させる。次に、CPU71は、パーツカメラ48の上部に第1ヘッド52Aを移動させてパーツカメラ48に画像を撮像させ、画像に基づいて吸着ノズル57に保持された部品の保持状態(部品の異常、部品の傾きなどの姿勢、保持位置のずれなど)の異常の有無などを判定する。そして、CPU71は、異常がない部品については基板90上の指定された作業座標に順次配置(実装)するよう移動部40及び作業部50を制御する。また、CPU71は、異常がある部品は破棄する。また、CPU71は、必要に応じて(例えば1つの基板90における最初の対基板作業前など)基板90の基準マークをマークカメラ46に撮像させて基準マークの座標を検出する処理を行う。第2〜第3ヘッド52B〜52Cについても、保持可能な部品数が変わる以外は同様にして対基板作業を行う。
また、ヘッド保持体51に第4ヘッド52Dが保持されているときには、CPU71は、まず、優先順序を守りつつ第4ヘッド52Dで実行可能な対基板作業を作業情報85に基づいて特定する。次に、CPU71は、作業情報85に基づいて第4ヘッド52Dの吐出ノズル58を適切なものに適宜交換する。吐出ノズル58を交換したときには、CPU71は、パーツカメラ48の上部に第4ヘッド52Dを移動させてパーツカメラ48に画像を撮像させ、画像に基づいて吐出ノズル58の状態(第4ヘッド52Dに装着された吐出ノズル58の種類や装着状態など)の異常の有無を判定する。吐出ノズル58の状態に異常がある場合は、CPU71は吐出ノズル58の交換や作業者への異常の報知などを行う。吐出ノズル58に異常がない場合や吐出ノズル58の交換をしていないときには、CPU71は、基板90上の指定された作業座標に指定された吐出量の接着剤を塗布するよう搬送部20及び作業部50を制御する。
以上のようにステップS140の対基板作業を実行すると、CPU71は、作業レーンの基板90の対基板作業が全て完了したか否かを作業情報85に基づいて判定する(ステップS150)。作業レーンの基板90の対基板作業が全て完了していないときには、CPU71は、ステップS130以降の処理を行う。すなわち、作業レーンの基板90に対してヘッド保持体51が保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなくなるか、又は作業レーンの基板90の対基板作業が全て完了するまで、CPU71はステップS130〜S150の処理を繰り返す。
一方、ステップS130で作業レーンの基板90に対してヘッド保持体51が保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がないときには、CPU71は、作業レーンではない他のレーンに基板90が搬送されて基板90が作業位置に固定されているか否かを判定する(ステップS160)。そして、他のレーンで基板90が作業位置に固定されていないときには、CPU71は、他のレーンに次の基板90が搬入されて作業位置に固定されるまでの待ち時間が所定の閾値Tref未満か否かを判定する(ステップS170)。この処理では、CPU71は、対基板作業装置11の上流側の他の対基板作業装置から搬送情報を受信済みか否かを調べ、受信済みであるときには待ち時間が所定の閾値Tref未満であると判定するものとした。ここで、本実施形態の対基板作業システム10では、対基板作業装置11の上流側に隣接して、基板90にスクリーン印刷により接着剤を塗布する印刷装置として構成された他の対基板作業装置が設置されているものとした。そして、この印刷装置は、基板90へのスクリーン印刷が完了して基板90を排出する際に、下流の対基板作業装置11にLAN89を介して搬送情報を送信するものとした。ステップS170では、CPU71は、この搬送情報を受信済みであるか否かを判定する。なお、閾値Trefは、他方のレーンに基板90が搬送されるまで待たずにヘッド52の交換を行う場合と、他方のレーンに基板90が搬送されるまでヘッド52を交換せずに待ち保持中のヘッド52を用いて他方のレーンに対して対基板作業を行う場合とで、後者の方が結果的に全体の作業時間が短くなるような値として、経験的に定められているものとした。また、搬送情報が対基板作業装置11に送信されてから実際に対基板作業装置11に基板90が搬送されて作業位置に固体されるまでの時間は、閾値Trefを超えることがないように予め実験などにより確認しておくものとした。
ステップS160で他のレーンに基板90があり作業位置に固定済みであるとき、又はステップS170で待ち時間が所定の閾値Tref未満であるときには、CPU71は、取得した作業情報85に基づき、他のレーンの基板90に対してヘッド52を交換せずに優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業があるか否かを判定する(ステップS180)。すなわち、CPU71は、他のレーンの基板90に対してヘッド保持体51が保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業があるか否かを判定する。このとき、CPU71は、上述したステップS130と同様に、マークカメラ46により撮像した画像に基づいて基板90の種別を判定して、対応する作業情報85を特定する。なお、CPU71は、管理コンピュータ80から次に搬送される基板90の種別に関する情報を取得して基板90の種別を判定してもよい。特に基板90がまだ隣接する印刷装置から搬送されていないときには、CPU71は管理コンピュータ80から情報を取得して基板90の種別を判定することが好ましい。
そして、ステップS180で他のレーンの基板90に対してヘッド52を交換せずに優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業があるときには、CPU71は、他のレーンを作業レーンに設定して(ステップS190)、ステップS140以降の処理を行う。例えば、作業レーンが第1レーン22aであったときには、CPU71は、第2レーン22bを作業レーンに設定する。これにより、新たに設定された作業レーンに対して、ヘッド保持体51が保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなくなるか、又は作業レーンの基板90の対基板作業が全て完了するまで、CPU71はステップS130〜S150の処理を繰り返す。なお、CPU71は、ステップS190において基板90がまだ作業位置に固定されていないときには、固定されるのを待ってからステップS140以降の処理を行う。
一方、ステップS170で搬送情報を受信済みでないとき、又はステップS180で他のレーンの基板90に対してヘッド52を交換せずに優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がないときには、CPU71は、作業レーンの基板90に対して優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業を行うべく、ヘッド保持体51が保持しているヘッド52を交換する(ステップS200)。この処理では、CPU71は、作業部50を移動させてヘッド保持体51が保持しているヘッド52をヘッドストッカ65のヘッド収容部66に収容し、ヘッド収容部66に収容された交換対象のヘッド52をヘッド保持体51に装着して保持させる。なお、CPU71は、いずれのヘッド52に交換するかを例えば以下のように特定する。まず、CPU71は、作業レーンの基板90に対応する作業情報85に含まれる未実施の対基板作業のうち、優先順序を守りつつ実行可能な最も作業順序の小さい対基板作業を特定する。そして、CPU71は、特定した対基板作業の実行に必要なヘッド52の種別を作業情報85に基づいて判定し、判定した種別のヘッド52を交換対象として特定する。
次に、CPU71は、ヘッド保持体51が保持したヘッド52に関するキャリブレーション(較正)を実行する(ステップS210)。ステップS140以降の処理を行う。これにより、交換後のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなくなるか、又は作業レーンの基板90の対基板作業が全て完了するまで、CPU71はステップS130〜S150の処理を繰り返す。なお、キャリブレーションは、ヘッド52の装着誤差等に対処すべく、そのヘッド52の作業動作における位置を調整して確定するための処理である。例えば、CPU71は、パーツカメラ48を用いてヘッド52を撮像して、ヘッド保持体51に保持されたヘッド52の位置を測定したり、回転(自転)するヘッド52については自転の中心を測定したりする。
そして、ステップS150で作業レーンの基板90の対基板作業が全て完了したときには、CPU71は、バックアップ装置30及び搬送部20を制御して基板90を下流の他の対基板作業装置に向けて排出し(ステップS220)、生産完了したか否かを作業が完了した基板数に基づいて判定する(ステップS230)。生産完了していないときには、CPU71は、ステップS120以降の処理を実行する。一方、生産完了したときには、CPU71はこのルーチンを終了する。
ここで、上述した対基板作業処理ルーチンを行う様子について、図4を用いて説明する。図4は、対基板作業処理の様子を示す説明図である。図4の左側には、第1レーン22aの基板90用の作業情報85と、第2レーン22bの基板90用の作業情報85と、をそれぞれ示している。なお、ここでは第1,第2レーン22a,22bの基板90は同じ種別の基板90とし、作業情報85も同じであるものとした。また、図4では、作業情報85のうち作業順序,ヘッド種別,優先順序のみを示した。図4の中央には、第1レーン22aで行われる対基板作業を時系列に沿って上から下に並べて示した。図4の右側には、第2レーン22bで行われる対基板作業を時系列に沿って上から下に並べて示した。
以下、図4の時系列に沿って説明する。まず、対基板作業処理ルーチンにおいて、最初に第1レーン22aにのみ基板90が搬送されてきており、ヘッド保持体51には第1ヘッド52Aが保持されていたとする。この場合、CPU71は、ステップS110の搬入処理を開始したあと、ステップS120で第1レーン22aを作業レーンに設定し、第1ヘッド52Aで作業可能な作業順序1〜3の対基板作業をステップS140で順次実行していく。そして、作業順序3の対基板作業が終了すると、次のステップS130において第1レーンの作業情報85の中には保持中の第1ヘッド52Aを用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がないため、CPU71はステップS160以降の処理を行う。なお、第1レーンの基板90の作業情報85の中には、作業順序11に第1ヘッド52Aを用いた対基板作業があるが、これは第2優先順序として順位Cが対応づけられており、優先順序を守るためには順位A,Bの作業の後に実行する必要がある。そのため、CPU71は、第1ヘッド52Aを用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業はないと判定する。そして、他のレーンすなわち第2レーン22bにはまだ基板90が搬送されておらず搬送情報も受信済みでない場合、CPU71はステップS200でヘッド52を交換する。ここでは、作業情報85において優先順序を守りつつ実行可能な最も作業順序の小さい対基板作業は作業順序4の対基板作業であるため、CPU71は、これに対応する第2ヘッド52Bへの交換を行う。そして、ステップS210でキャリブレーションを実行したあと、CPU71は、ステップS140で第1レーン22aの基板90に対して作業順序4〜6の対基板作業を順次実行していく。
そして、第1レーン22aで作業順序6の対基板作業が終了すると、次のステップS130において第1レーンの作業情報85の中には保持中の第2ヘッド52Bを用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がないため、CPU71はステップS160以降の処理を行う。作業順序4〜6の対基板作業を順次実行している間に、第2レーン22bに基板90が搬送されて作業位置に固定されるか又は搬送情報を受信していた時には、CPU71は、ステップS180の処理を行う。ここで、第2レーンの基板90の作業情報85の中には、保持中の第2ヘッド52Bを用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業(作業順序4〜6)がある。そのため、CPU71は、ステップS190で第2レーン22bを作業レーンに設定して、ヘッド52の交換を行わずにそのままステップS140で第2レーン22bの基板90に対して作業順序4〜6の対基板作業を順次実行していく。
そして、第2レーン22bで作業順序6の対基板作業が終了すると、次のステップS130において第2レーンの作業情報85の中には保持中の第2ヘッド52Bを用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がないため、CPU71はステップS160以降の処理を行う。そして、ステップS180において、他方のレーンである第1レーン22aの基板90の作業情報85の中には、保持中の第2ヘッド52Bを用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がない(作業順序1〜6までは実行済みである)ため、CPU71は、ステップS200でヘッド52を第1ヘッド52Aに交換し、キャリブレーションを実行したあとでそのまま第2レーン22bの基板90に対して作業順序1,2,3の対基板作業を実行する。このように、CPU71は、優先順序を守りつつ、保持中のヘッド52を用いて実行可能な対基板作業を第1,第2レーン22a,22bについて順次行っていく。
以降は、図4に示すように、優先順序を守りつつ、保持中のヘッド52を用いて実行可能な対基板作業があれば適宜作業レーンを変更して作業を行い、保持中のヘッド52を用いて実行可能な対基板作業がなければヘッド52を交換して作業を行っていく。そして、図4に示すように、第2レーン22bの基板90に対して作業順序11の対基板作業が終了して基板90の対基板作業が全て完了すると、CPU71は、ステップS220で第2レーン22bの基板90を排出する。また、第1レーン22aの基板90についても、作業順序11の対基板作業が終了したときに基板90の対基板作業が全て完了し、その後基板90を排出する。以上のように対基板作業を行うことにより、作業レーンを変更しながら作業を行いつつ、各レーンのそれぞれの基板90への対基板作業において、優先順序は守られる。また、図4の例では、ヘッド52の交換を合計5回行っている。これに対し、例えば第1レーン22aでの基板90への対基板作業を全て完了してから第2レーン22bの基板90への対基板作業を行った場合、各レーンでヘッド52の交換は4回必要であるため、ヘッド52の交換を計8回行うことになる。このように、なるべくヘッド52を交換せずに作業レーンを変更して作業を行うことで、ヘッド52の交換回数やそれに伴うステップS210のキャリブレーションの作業の回数などを減らすことができる。なお、図4では第1,第2レーン22a,22bの基板90は同じ種別の基板90とし、作業情報85も同じであるものとして説明したが、これに限らず、第1レーン22aと第2レーン22bとで基板90の種類や対基板作業の内容(作業情報85)が異なっていてもよい。この場合も、ヘッド52の交換回数やキャリブレーションの作業の回数などを同様に減らすことができる。
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態のヘッド52が本発明の対基板作業手段に相当し、ヘッドストッカ65が収容手段に相当し、ヘッド保持体51が保持手段に相当し、移動部40が移動手段に相当し、第1レーン22aが第1レーンに相当し、第2レーン22bが第2レーンに相当し、CPU71が対応関係取得手段、優先順序取得手段、及び制御手段に相当する。また、CPU71が搬送情報取得手段に相当する。
以上説明した対基板作業システム10によれば、CPU71は、基板90毎の複数の対基板作業の各々とヘッド52の種類との対応関係と、同じ基板90内での複数の対基板作業のうち2以上の対基板作業間の優先順序と、を含む作業情報85を取得する。そして、取得した対応関係に基づく対基板作業を行うにあたり、第1レーン22aと第2レーン22bとの一方のレーン(作業レーン)に搬送された基板90に対してヘッド保持体51が保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ他方のレーンに搬送された基板90に対して保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がある場合には、保持中のヘッド52を交換することなく他方のレーンで実行可能な対基板作業を行うようヘッド保持体51と移動部40とを制御する。こうすることで、複数の対基板作業間の優先順序を守りつつ、保持中のヘッド52を交換せずに第1レーン22aと第2レーン22bとの両方の対基板作業を行うことができ、対基板作業手段の交換回数を少なくすることができる。そのため、優先順序を守りつつ効率よく対基板作業を行うことができる。
また、対基板作業装置11において、ヘッド保持体51は、部品を保持する実装ヘッド(第1〜第3ヘッド52A〜52C)と基板90上に接着剤を塗布する塗布ヘッド(第4ヘッド52D)とを含む対基板作業手段としての複数種類のヘッド52を交換可能に保持するヘッド保持体である。そのため、優先順序を守りつつヘッド52の交換回数を少なくして効率よく対基板作業を行うことができる。
さらに、CPU71は、作業レーンに搬送された基板90に対して保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ、他のレーンに基板90が搬送されていない場合に、他のレーンに基板90が搬送されるまでの時間が所定の閾値Tref未満のときには、他方のレーンに基板90が搬送されるまで保持中のヘッド52を交換しない。このように、他のレーンに基板90が搬送されるまで待つことで、保持中のヘッド52を用いて他のレーンに対して対基板作業を行える場合があるため、ヘッド52の交換回数を少なくすることができる。
さらにまた、CPU71は、他のレーンへの基板90の搬送に関する搬送情報を他のレーンの搬送の上流側の対基板作業装置から取得する。そして、CPU71は、搬送情報に基づいて他のレーンに基板90が搬送されるまでの時間が閾値Tref未満か否かを判定する。そのため、他のレーンに基板90が搬送されるまでの時間に関する判定をより適切に行うことができる。
そしてまた、CPU71は、一方のレーンに搬送された基板90に対して保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ、他のレーンに基板90が搬送されていない場合に、他方のレーンに基板90が搬送されるのを待たずに保持中のヘッド52を交換するか否かを搬送情報を取得した否かに基づいて判定する。そのため、他のレーンに基板90が搬送されるまで待たずにヘッド52を交換することで待ち時間を減らすか、他のレーンに基板90が搬送されるまで待つことでヘッド52の交換回数を少なくするかを、搬送情報に基づいて適切に判定することができる。
そしてまた、CPU71は、作業レーンに搬送された基板90に対して保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ他のレーンに基板90が搬送されていない場合に、他のレーンに搬送される基板90に対して保持中のヘッド52を用いて優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がないときには、他のレーンに基板90が搬送されるのを待たずに保持中のヘッド52を交換して作業レーンに搬送された基板90に対する対基板作業を行う。そのため、不要な待ち時間を減らして効率よく対基板作業を行うことができる。
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
例えば、上述した実施形態では、CPU71は、優先順序を守りつつヘッド52の交換回数を少なくするものとしたが、これに限られない。CPU71は、優先順序を守りつつ、保持手段が交換可能に保持する対基板作業手段の交換回数を少なくすればよい。例えば、上述した実施形態と同様に、ヘッド52が交換可能に保持するノズル56の交換回数を少なくしてもよい。この場合、CPU71は、ステップS140において図5に示すサブルーチンを行ってもよい。このサブルーチンは、ステップS330,S380,S400,S410がヘッド52ではなくノズル56についての処理になっている点以外は、上述した対基板作業処理ルーチンのステップS130〜140,S160〜S210と同様であるため、詳細な説明を省略する。
上述した実施形態では、CPU71は、対基板作業装置11の上流側の他の対基板作業装置から搬送情報を受信するものとしたが、これに限られない。例えば、管理コンピュータ80から取得してもよい。
上述した実施形態では、CPU71は、ステップS170の判定を搬送情報を受信したか否かに基づいて行うものとしたが、これに限られない。例えば、上流の対基板作業装置や管理コンピュータ80から、次に基板90が搬送されるまでの待ち時間を表す搬送情報を取得し、取得した搬送情報に基づいて待ち時間が閾値Tref未満であるか否かを判定してもよい。また、CPU71は、ステップS170において、対基板作業装置11の上流側の他の対基板作業装置から搬送情報を受信済みか否かによって待ち時間が所定の閾値Tref未満であると判定するものとしたが、これに限られない。例えば、ステップS170においてCPU71が対基板作業装置11の上流側の他の対基板作業装置から搬送情報を受信済みか否かを単に判定し、受信済みであればステップS180の処理に進み、受信済みでなければステップS200に進んでもよい。
上述した実施形態において、ヘッド52に装着される吸着ノズル57は部品を吸着して保持するものとしたが、部品を保持可能であれば特に限定されない。例えば、ヘッド52が、部品を挟持して採取するメカニカルチャックなどを装着するものとしてもよい。
上述した実施形態において、ステップS160,S170の少なくとも一方の処理を省略してもよい。また、ステップS160,S170の処理を行う前に、ステップS190の処理を行ってもよい。
上述した実施形態では、ステップS200において、CPU71は、優先順序を守りつつ実行可能な最も作業順序の小さい未実施の対基板作業の実行に必要な種別のヘッド52を交換対象として特定するものとしたが、これに限られない。例えば、CPU71は、直前に実行した対基板作業の次の作業順序の対基板作業が優先順位を守りつつ実行可能であれば、この対基板作業の実行に必要な種別のヘッド52を交換対象として特定してもよい。例えば、図4において、第2レーン22bの作業順序4〜6の対基板作業を行った後に、ステップS200で、CPU71が次の作業順序7の実行に必要な第3ヘッド52Cへの交換を行ってもよい。なお、この場合、次のステップS140ではCPU71は作業順序7,9の対基板作業を実行することになる。作業順序8の対基板作業は第3ヘッド52Cで行う作業であるが、第1優先順位として順位2が対応づけられており、優先順位を守るためには順位1の作業(作業順序2)の後に実行する必要があるためである。
上述した実施形態では、閾値Trefは他のレーンに次の基板90が搬入されて作業位置に固定されるまでの待ち時間に関する閾値としたが、これに限られない。例えば、他のレーンに次の基板90が搬送されたことを基板検出センサが検出するまでの待ち時間に関する閾値としてもよい。
上述した実施形態では、対基板作業装置11は対基板作業として基板90上への部品の実装処理と接着剤の塗布処理を行うものとしたが、これに限られない。例えば、対基板作業装置11は実装処理と塗布処理とのいずれか一方のみを行ってもよい。また、実装処理や塗布処理に限らず、基板90に対するどのような対基板作業を行ってもよい。対基板作業装置11が備える対基板作業手段や保持手段も、ヘッド52やヘッド保持体51に限らず、対基板作業の内容に応じた手段であればよい。
上述した実施形態において、第4ヘッド52Dは接着剤を塗布する塗布ヘッドであるものとしたが、接着剤に限らずはんだやろう材などの粘性流体を塗布するものであればよい。吐出ノズル58についても同様である。
上述した実施形態では、作業情報85には優先順序として部品の高さに関する第1優先順序と、部品上への接着剤の塗布や部品上への他の部品の実装に関する第2優先順序とが含まれるものとしたが、同じ基板90内での複数の対基板作業のうち2以上の対基板作業間の優先順序であれば、これに限られない。例えば、部品を実装したあとでその部品を覆うカバーを基板90上に取り付ける場合など、部品上への接着剤の塗布とは関連しないが部品の実装の順序には関連する優先順序などが作業情報85に含まれていてもよい。また、1つの対基板作業に関して第1優先順序(例えば順位1)と第2優先順序(例えば順位B)とが共に対応づけられているなど、1つの対基板作業に複数の種類の優先順序が対応づけられていてもよい。
上述した実施形態では、CPU71は、作業情報85を取得することで、基板90毎の複数の対基板作業の各々とヘッド52の種類との対応関係と、同じ基板90内での複数の対基板作業のうち2以上の対基板作業間の優先順序と、をまとめて取得しているが、これに限られない。例えば、CPU71は、対応関係と優先順序とを別のタイミングで取得したり、別の装置から取得したりしてもよい。
本発明は、基板に対して粘性流体を塗布したり部品を実装したりする対基板作業装置の技術分野に利用可能である。
10 対基板作業システム、11 対基板作業装置、13 支持台、16 部品供給装置、17 リール、18 フィーダ部、20 搬送部、22a 第1レーン、22b 第2レーン、24a,24b ベルトコンベア装置、30 バックアップ装置、32 バックアッププレート、34 バックアップピン、40 移動部、41 X軸ガイドレール、42 X軸スライダ、43 Y軸ガイドレール、44 Y軸スライダ、46 マークカメラ、48 パーツカメラ、50 作業部、51 ヘッド保持体、52 ヘッド、52A〜52D 第1〜第4ヘッド、55 Z軸モータ、56 ノズル、57 吸着ノズル、58 吐出ノズル、60 ノズルストッカ、61 ノズル収容部、65 ヘッドストッカ、66 ヘッド収容部、70 制御装置、71 CPU、72 ROM、73 RAM、74 HDD、75 入出力インターフェース、76 バス、80 管理コンピュータ、84 HDD、85 作業情報、87 入力デバイス、88 ディスプレイ、89 LAN、90 基板。

Claims (6)

  1. 基板に対する対基板作業を行う複数種類の対基板作業手段を収容可能な複数の収容部を有する収容手段と、
    前記対基板作業手段を交換可能に保持する保持手段と、
    前記保持手段を移動させる移動手段と、
    前記基板を搬送する第1レーン及び第2レーンと、
    前記基板毎の複数の対基板作業の各々と前記対基板作業手段の種類との対応関係を取得する対応関係取得手段と、
    同じ基板内での前記複数の対基板作業のうち2以上の対基板作業間の優先順序を取得する優先順序取得手段と、
    前記取得した対応関係に基づく前記対基板作業を行うにあたり、前記第1レーンと前記第2レーンとの一方のレーンに搬送された基板に対して前記保持手段が保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ他方のレーンに搬送された基板に対して該保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がある場合には、該保持中の対基板作業手段を交換することなく該他方のレーンで実行可能な対基板作業を行うよう前記保持手段と前記移動手段とを制御する制御手段と、
    を備えた対基板作業装置。
  2. 前記保持手段は、部品を保持する実装ヘッドと前記基板上に粘性流体を塗布する塗布ヘッドとの少なくとも一方を含む前記対基板作業手段としての複数種類のヘッドを交換可能に保持するヘッド保持体である、
    請求項1に記載の対基板作業装置。
  3. 前記保持手段は、部品を吸着する吸着ノズルと前記基板上に粘性流体を吐出する吐出ノズルとの一方である前記対基板作業手段としての複数種類のノズルを交換可能に保持するヘッドである、
    請求項1に記載の対基板作業装置。
  4. 前記制御手段は、前記一方のレーンに搬送された基板に対して前記保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ、前記他方のレーンに基板が搬送されていない場合に、該他方のレーンに基板が搬送されるまでの時間が所定の閾値未満のときには、該他方のレーンに基板が搬送されるまで該保持中の対基板作業手段を交換しない、
    請求項1〜3のいずれか1項に記載の対基板作業装置。
  5. 請求項1〜4のいずれか1項に記載の対基板作業装置であって、
    前記他方のレーンへの基板の搬送に関する搬送情報を取得する搬送情報取得手段、
    を備え、
    前記制御手段は、前記一方のレーンに搬送された基板に対して前記保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ、前記他方のレーンに基板が搬送されていない場合に、該他方のレーンに基板が搬送されるのを待たずに該保持中の対基板作業手段を交換するか否かを前記搬送情報に基づいて判定する、
    対基板作業装置。
  6. 前記制御手段は、前記一方のレーンに搬送された基板に対して前記保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がなく、且つ前記他方のレーンに基板が搬送されていない場合に、該他方のレーンに搬送される基板に対して該保持中の対基板作業手段を用いて前記優先順序を守りつつ実行可能な対基板作業がないときには、該他方のレーンに基板が搬送されるのを待たずに該保持中の対基板作業手段を交換して前記一方のレーンに搬送された基板に対する対基板作業を行う、
    請求項1〜5のいずれか1項に記載の対基板作業装置。
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