JPWO2016017434A1 - 投影光学系及び投影装置 - Google Patents
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Abstract
加工や調整が簡易である回転対称な光学面を有する反射光学素子を使用しながらも、小型軽量で大画面投影可能な、画面全域に渡って良好な光学性能を有する投影光学系を提供する。画像表示素子から得られる像を拡大してスクリーン上に投影する投影装置100用の投影光学系40であって、画像表示素子側から順に、複数のレンズ群41aを有する屈折光学系41と、屈折光学系41から出射された光線を反射させてスクリーンまで導く反射光学系42と、を備え、反射光学系42は、少なくとも1つの反射光学素子42aを有し、反射光学素子42aは、光軸を中心とする同心円を境界とする複数の領域に分割され、その領域毎に異なる非球面式を用いた非球面形状を有する。
Description
本発明は、画像を投影する投影光学系及び当該投影光学系を組み込んだ投影装置に関する。
近年、画像表示素子に表示された画像を、投影光学系によってスクリーン上に拡大投影する投影装置には、小型軽量でありながら、短い投影距離でも大画面に映し出せる広角な投影光学系が望まれている。従来はビジネスでのプレゼンテーション等の用途では、スクリーンに正対させて配置するフロント投射型プロジェクターが大部分を占めていたが、フロント投射型プロジェクターは、発表者の影がスクリーンに映り込んだり、発表者の眼にプロジェクターの投射光が入り込み、眩しく感じたりする等の問題があった。そこで、そのような問題を解決するため、スクリーンの真下や真上等、スクリーンに近接した位置に配置できる短焦点プロジェクターが登場してきた。そのような短焦点プロジェクターでは、特に小型で大画面投影可能という要求が強いのが現状である。また、画像表示素子の高解像度化の動きも活発で、それに伴い投影光学系に対する高性能化への要求も高まってきている。
このような短焦点プロジェクター用の投影光学系としては、例えば特許文献1、2に記載のような、複数のレンズ群を有する屈折光学系と、ミラーを含む反射光学系とを組み合わせた構成の光学系が開示されている。
特許文献1の投影光学系は、プラスチックレンズを多用し積極的に軽量化を図っており、投影距離が短いにもかかわらず大画面投影を実現している。しかしながら、特許文献1の投影光学系では、屈折光学系の全長が十分小型化できているとはいえず、凹面ミラー部には奇数次非球面が使用されているが、光学性能も十分とはいえない。
また、特許文献2の投影光学系は、凹面ミラーに自由曲面(XY多項式面)を使用して形状自由度を向上させることで、良好な光学特性を得ている。しかしながら、特許文献2の投影光学系では、自由曲面が光軸に対して回転対称な面でないため、加工難易度が増加し、加工後の面形状補正が複雑化し、組み込み時の調整が複雑化する等の問題があり生産性を損なうこととなる。
本発明は、上記背景技術に鑑みてなされたものであり、加工や調整が簡易である回転対称な光学面を有する反射光学素子を使用しながらも、小型軽量で大画面投影が可能な、画面全域に渡って良好な光学性能を有する投影光学系を提供することを目的とする。
また、本発明は、上記投影光学系を組み込んだ投影装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に係る投影光学系は、画像表示素子から得られる像を拡大してスクリーン上に投影する投影装置用の投影光学系であって、画像表示素子側から順に、複数のレンズ群を有する屈折光学系と、屈折光学系から出射された光線を反射させてスクリーンまで導く反射光学系と、を備え、反射光学系は、少なくとも1つの反射光学素子を有し、反射光学素子は、光軸を中心とする同心円を境界とする複数の領域に分割され、その領域毎に異なる非球面式を用いた非球面形状を有する。ここで、反射光学系は、実質的にパワーを有しない光学素子(例えば、平板ガラス、反射ミラー等)を含んでいてもよい。
本発明の基本構成は、画像表示素子側から順に、複数のレンズ群を有する屈折光学系と、屈折光学系から出射された光線を反射させてスクリーンまで導く反射光学系とからなり、上記反射光学系は少なくとも1つの反射光学素子を有するというものである。これにより、小型ながら近接位置からの投射を可能にする短焦点プロジェクターの提供が可能になる。
ところで、一般的なプロジェクター光学系では、レンズ材料及び枚数の制限を受けるため、反射光学系に奇数次非球面や自由曲面等の特殊な面を使用して、形状自由度を向上させているのが現状である。投影距離が短く、大画面に対応した短焦点投影光学系では、画面全域に渡って良好な収差補正を行うためには、各光線が大きく分離した反射光学素子を自由度の大きな面形状で形成することが重要となってくる。
そこで、従来のように反射光学素子として通常の非球面形状よりも形状自由度の大きな自由曲面を有するものを使用すれば良いが、加工、加工後の測定、面の補正等が複雑化したり、反射光学素子を配置する際にも、複雑な調整が必要になったりといった不具合が生じる。
本発明の投影光学系における反射光学素子は、あくまで光軸に対して回転対称な面でありながらも、形状の自由度を向上させるために、光軸を中心とする同心円を境界とする複数の領域に分割せれるとともに、その領域毎に異なる非球面係数で表現されるような、輪帯非球面(以下、分割型の非球面とも称す)で形成されている。これにより、自由曲面を用いた場合の問題が解消できるとともに、小型軽量でありながらも、画面全域にわたって良好に収差補正のなされた、短焦点で大画面投影が可能な投影光学系を得ることができる。なお、反射光学系内には反射光学素子が少なくとも1つ存在すれば良く、プロジェクターのレイアウト次第では、上記の分割型の非球面を用いない反射光学素子を有していてもよい。
本発明の具体的な側面によれば、上記投影光学系は、以下の条件式を満足する。
0.50<|DS/TL|<1.00 … (1)
ただし、DSは屈折光学系内に配置された開口絞りから非球面形状を有する反射光学素子までの光軸上の距離であり、TLは画像表示素子から非球面形状を有する反射光学素子までの光軸上の距離である。
0.50<|DS/TL|<1.00 … (1)
ただし、DSは屈折光学系内に配置された開口絞りから非球面形状を有する反射光学素子までの光軸上の距離であり、TLは画像表示素子から非球面形状を有する反射光学素子までの光軸上の距離である。
条件式(1)は、屈折光学系内に配置された開口絞りから上述の非球面形状を有する反射光学素子までの光軸上の距離と、画像表示素子から非球面形状を有する反射光学素子までの光軸上の距離との比を適切に設定するための条件式である。
条件式(1)の値が下限を上回ることにより、領域分割された非球面が開口絞りから十分離れ、当該非球面に当たる光線が、スクリーン上に到達する像高毎に異なる位置となる。そのため、より独立に性能向上がしやすくなる。一方、条件式(1)の値が上限を下回ることで、反射光学素子の有効径を小さくでき、投影光学系全系の小型化が達成できるとともに、反射光学素子の加工性を損なわない。また、値|DS/TL|は、より望ましくは下式の範囲がよい。
0.60<|DS/TL|<0.90 … (1)'
条件式(1)の値が下限を上回ることにより、領域分割された非球面が開口絞りから十分離れ、当該非球面に当たる光線が、スクリーン上に到達する像高毎に異なる位置となる。そのため、より独立に性能向上がしやすくなる。一方、条件式(1)の値が上限を下回ることで、反射光学素子の有効径を小さくでき、投影光学系全系の小型化が達成できるとともに、反射光学素子の加工性を損なわない。また、値|DS/TL|は、より望ましくは下式の範囲がよい。
0.60<|DS/TL|<0.90 … (1)'
本発明の別の側面によれば、屈折光学系と反射光学系とは、共通の光軸を有する。この場合、屈折光学系と反射光学系とは互いに偏芯しておらず、光学系の組み立ての難易度を下げることができる。
本発明のさらに別の側面によれば、屈折光学系の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズの少なくとも一方の面は非球面形状を有し、非球面形状を有する当該少なくとも一方の面は光軸以外の点で極値を持つ形状を有している。この場合、スクリーン上の投影像の歪みを抑制し、高性能な投影像とすることができる。
本発明のさらに別の側面によれば、非球面形状を有する反射光学素子は、以下の条件式を満足する。
|Xin'(h)−Xout'(h)|<1.0E−3 … (2)
ただし、hは境界の光軸からの高さ[mm]であり、Xin'(h)は境界より光軸側の面における、境界位置での1階微分値であり、Xout'(h)は上記境界より外側の面における、境界位置での1階微分値である。なお、条件式(2)において、10のべき乗数をEを用いて表している。
|Xin'(h)−Xout'(h)|<1.0E−3 … (2)
ただし、hは境界の光軸からの高さ[mm]であり、Xin'(h)は境界より光軸側の面における、境界位置での1階微分値であり、Xout'(h)は上記境界より外側の面における、境界位置での1階微分値である。なお、条件式(2)において、10のべき乗数をEを用いて表している。
条件式(2)は、領域分割された非球面において、境界に接するそれぞれの領域の非球面式の境界上での1階微分値の差の絶対値を規定している。条件式(2)の値が上記範囲を満たすことで、領域分割された非球面において、非球面式が変化する境界で面の傾きが離散的に又は非連続的に変化することを防ぐことができる。そのため、境界におけるフレアーの発生等で光学性能が劣化することを防ぐことができる。
本発明のさらに別の側面によれば、以下の条件式を満足する。
−10.0<FLsc/FL<−0.50 … (3)
ただし、FLscは屈折光学系の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズの焦点距離であり、FLは屈折光学系全系の焦点距離である。ここでいう焦点距離は、近軸における焦点距離である。
−10.0<FLsc/FL<−0.50 … (3)
ただし、FLscは屈折光学系の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズの焦点距離であり、FLは屈折光学系全系の焦点距離である。ここでいう焦点距離は、近軸における焦点距離である。
条件式(3)は、屈折光学系の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズの焦点距離と、屈折光学系全系の焦点距離との比を適切に設定するための条件式である。
条件式(3)の値が下限を上回ることで、屈折光学系の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズの負の屈折力を適度に維持することができるようになる。そのため、像面湾曲の補正や歪曲収差の補正を良好に行うことができるようになる。一方、条件式(3)の値が上限を下回ることで、負の屈折力が必要以上に強くなりすぎず、反射光学素子の有効径を小さくすることができ、光学系全系の大きさを小さくすることができる。
条件式(3)の値が下限を上回ることで、屈折光学系の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズの負の屈折力を適度に維持することができるようになる。そのため、像面湾曲の補正や歪曲収差の補正を良好に行うことができるようになる。一方、条件式(3)の値が上限を下回ることで、負の屈折力が必要以上に強くなりすぎず、反射光学素子の有効径を小さくすることができ、光学系全系の大きさを小さくすることができる。
本発明のさらに別の側面によれば、反射光学系はパワーを有する反射光学素子を1枚のみ有する。一般に、反射光学系にパワーを有する反射光学素子が2枚以上あると、収差補正や光学系の小型化には有利ではあるが、光学設計や製造プロセスの複雑化、組み立ての難易度増加といった不具合が出てしまう。本発明のような領域分割された特殊な非球面形状を反射光学素子に使用することで、パワーを有する反射光学素子を2枚以上使用することなく、十分な小型化を達成できる。
上記目的を達成するため、本発明に係る投射装置は、上述の投影光学系と、投影光学系の光路前段に設けられた画像表示素子とを備える。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態にかかる投影光学系及び投影装置について説明する。
図1Aは、本実施形態に係る投影装置100の一例の内部構造及び使用形態を説明する図である。図1Aに示す投影装置100は、短焦点又は近距離投射型のプロジェクターであり、その内部に配置された屈折光学系の光軸と交差するスクリーン面(被投影面)Scに向けて表示光を出射し、映像の近接投射を行うものとなっている。
図1Bは、本実施形態に係る投影装置100の他の例の内部構造及び使用形態を説明する図である。図1Bに示す投影装置100は、その内部に配置された屈折光学系の光軸と略平行なスクリーン面(被投影面)Scに向けて表示光を出射し、映像の近接投射を行うものとなっている。
図1Aは、本実施形態に係る投影装置100の一例の内部構造及び使用形態を説明する図である。図1Aに示す投影装置100は、短焦点又は近距離投射型のプロジェクターであり、その内部に配置された屈折光学系の光軸と交差するスクリーン面(被投影面)Scに向けて表示光を出射し、映像の近接投射を行うものとなっている。
図1Bは、本実施形態に係る投影装置100の他の例の内部構造及び使用形態を説明する図である。図1Bに示す投影装置100は、その内部に配置された屈折光学系の光軸と略平行なスクリーン面(被投影面)Scに向けて表示光を出射し、映像の近接投射を行うものとなっている。
図1A及び1Bに示す投影装置100は、筐体100a内に、照明光学系10、偏光ビームスプリッター20、反射型液晶素子30、投影光学系40及び駆動回路60を組み込んだ構造を有する。
筐体100aは、箱状の部材であり、外形の一部に映像光PL1の射出窓100fを有するものとなっている。なお、筐体100a上の適所にユーザーが投影装置100を所望の動作状態にするための操作部を設けてもよい。
照明光学系10は、詳細な説明を省略するが、発光源(照明光源)、集光光学系、偏光変換素子等を備える。発光源としては、例えば3色のLED等を組み込んだものを用いることができ、集光光学系は、例えば3色のLED等からの照明光を略平行光に変換する。また偏光変換素子は、入射した光を特定の偏光状態に変換する。なお、発光源として、レーザーその他の励起光源と、励起光の照射によって蛍光を発生する蛍光体とを組み合わせたものを用いることもできる。
偏光ビームスプリッター20は、一対の直角プリズム22a,22bを貼り合わせたものであり、貼り合わせ面において、一方の直角プリズムの斜面には、照明光学系10から入射した所定方向の直線偏光を反射させる反射面21が形成されている。これにより、照明光学系10から出射され所定方向に直線偏光した状態の照明光を反射させ、反射型液晶素子30に入射させることができる。なお、反射型液晶素子30で変調され偏光方向が切り替わった光は、偏光ビームスプリッター20に戻されて反射面21を通過する。
反射型液晶素子30は、映像光を形成する表示素子(画像表示素子)であり、特に空間的な透過率を変化させることによって照明光から画像光を形成する点で光変調素子といえる。反射型液晶素子(画像表示素子)30は、板状の電子部品である画像表示パネルからなる。この反射型液晶素子30は、具体的には、例えばLCOS(Liquid crystal on silicon)とも称されるマイクロディスプレイであり、シリコンチップの表面に直接回路が形成され対向基板との間に液晶層を挟み込んだものである。
投影光学系40は、屈折光学系41と反射光学系42とを有する。屈折光学系41は、複数のレンズ群からなる。このレンズ群を構成する各レンズは、ガラスや樹脂材料で形成され、光軸方向から見て円形の輪郭を有する。ただし、反射光学素子42aに近いレンズは径が大きくなる傾向にあるため、使用しない領域の一部をカットすることもできる。各レンズの光学面は、球面又は非球面であり、回転対称な形状を有する。図1Aに示す反射光学系42は、出射側に反射光学素子42aを有する。反射光学素子42aは、ガラスや樹脂材料で形成され、表面に反射膜がコートされている。反射光学素子42aの光学面は、詳細は後述するが、分割型の非球面であり、光軸方向から見て回転対称な光学面形状を有するが、円形の輪郭から一部を切り取ったようなものとなっている。図1Bに示す反射光学系42は、出射側に反射光学素子42b,42aを有する。反射光学素子42b,42aは、ガラスや樹脂材料で形成され、表面に反射膜がコートされている。一方の反射光学素子42bの光学面は平面である。他方の反射光学素子42aの光学面は、分割型の非球面であり、光軸方向から見て回転対称な光学面形状を有するが、円形の輪郭から一部を切り取ったようなものとなっている。図1Bに示す構成の場合、スクリーン面Scに対し投影装置100を縦置きにでき、図1Aに示す構成よりも、配置スペースを有効利用できる。
駆動回路60は、これに組み込まれたプログラムや不図示の操作部からの指示に基づいて、照明光学系10、反射型液晶素子30等を適宜動作させることができる。駆動回路60は、例えば外部から入力されたビデオ信号等に基づいて照明光学系10及び反射型液晶素子30に対して駆動信号を出力し、反射型液晶素子30に表示動作を行わせる。
図2は、投影光学系40等の具体的な構成例を説明する側方断面図であり、図3は、画像の具体的な投射光路を示している。
図2に示す投影光学系40は、既に説明したように、画像表示素子である反射型液晶素子30側から順に、複数のレンズ群41aを有する屈折光学系41と、屈折光学系41から出射された光線を反射させてスクリーンまで導く反射光学系42と、から実質的になる。屈折光学系41と反射光学系42とは、共通の光軸を有する。そのため、屈折光学系41と反射光学系42とは互いに偏芯しておらず、光学系の組み立てが比較的容易となっている。図3に示すように、画像表示素子である反射型液晶素子30から屈折光学系41に入射された光は、屈折光学系41を透過した後、反射光学系42により反射される。反射光学系42により反射された光は、拡大されてスクリーン面Scに向かう。
投影光学系40のうち屈折光学系41における複数のレンズ群41aは、それぞれが1枚又は複数のレンズを含み、全体として例えばレンズL1〜L12で構成される。屈折光学系41の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズ(具体的にはレンズL12)の少なくとも一方の面は非球面形状を有する。このような非球面形状を有する少なくとも一方の面は光軸以外の点で極値を持つ形状となっている。
反射光学系42は、少なくとも1つの反射光学素子42aを有する。反射光学素子42aは、光軸を中心とする同心円を境界とする複数の領域に分割され、その領域毎に異なる非球面式を用いた非球面形状を有する。反射光学系42はパワーを有する反射光学素子42aを1枚のみ有する。なお、反射光学系42は、パワーを有しない反射光学素子をさらに有していてもよい。投影装置100のレイアウト次第では、反射光学素子を2つ、3つと増やしてもよい。たとえば、図2に示す投影光学系40のレンズL12と反射光学素子42aとの間に、光路を折り曲げる反射光学素子42bを付加すれば、図1Bに示す使用形態の投影装置100となる。
投影光学系40は、以下の条件式を満足する。
0.50<|DS/TL|<1.00 … (1)
ただし、DSは屈折光学系41内に配置された開口絞りSから反射光学素子42aまでの光軸上の距離であり、TLは画像表示素子から反射光学素子42aまでの光軸上の距離である。なお、値|DS/TL|は、より望ましくは下式の範囲がよい。
0.60<|DS/TL|<0.90 … (1)'
0.50<|DS/TL|<1.00 … (1)
ただし、DSは屈折光学系41内に配置された開口絞りSから反射光学素子42aまでの光軸上の距離であり、TLは画像表示素子から反射光学素子42aまでの光軸上の距離である。なお、値|DS/TL|は、より望ましくは下式の範囲がよい。
0.60<|DS/TL|<0.90 … (1)'
非球面形状を有する反射光学素子42aは、以下の条件式を満足する。
|Xin'(h)−Xout'(h)|<1.0E−3 … (2)
ただし、hは境界の光軸からの高さ[mm]であり、これに対する光軸方向の面位置Xを関数として考えた場合に、Xin'(h)はいずれか任意の境界より光軸側の面における、境界位置での1階微分値であり、Xout'(h)は境界より外側の面における、境界位置での1階微分値である。
|Xin'(h)−Xout'(h)|<1.0E−3 … (2)
ただし、hは境界の光軸からの高さ[mm]であり、これに対する光軸方向の面位置Xを関数として考えた場合に、Xin'(h)はいずれか任意の境界より光軸側の面における、境界位置での1階微分値であり、Xout'(h)は境界より外側の面における、境界位置での1階微分値である。
投影光学系40は、以下の条件式を満足する。
−10.0<FLsc/FL<−0.50 … (3)
ただし、FLscは屈折光学系41の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズの焦点距離であり、FLは屈折光学系41全系の焦点距離である。
−10.0<FLsc/FL<−0.50 … (3)
ただし、FLscは屈折光学系41の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズの焦点距離であり、FLは屈折光学系41全系の焦点距離である。
なお、一般的なプロジェクター光学系では、非常に大出力の光源を使用するため、画像表示素子に近い屈折光学系は光源からの熱の影響を受けやすく、プラスチックレンズを多用することが難しく、結果としてガラス球面レンズの比率が多くなってしまう。そのため、少ないレンズ枚数で良好な光学性能を得るために、反射光学系に奇数次非球面や自由曲面等の特殊な面を使用して、形状自由度を向上させているのが現状である。投影距離が短く、大画面に対応した短焦点投影光学系では、反射光学素子で反射された光線がスクリーン面に非常に大きな角度で入射し、かつ画面の上下方向の光路差が大きいため、画面全域に渡って良好な収差補正を行うためには、各光線が大きく分離した反射光学素子を自由度の大きな面形状で形成することが重要となってくる。
そこで、従来のように通常の非球面形状よりも形状自由度の大きな自由曲面を使用すれば良いが、自由曲面は光軸に対して回転対称な光学面ではなくなってしまうため、加工や加工後の測定、面の補正等が複雑化したり、反射光学素子を配置する際にも、複雑な調整が必要になったりといった不具合が生じる。
一方で、本実施形態の投影光学系40によれば、反射光学素子42aを、光軸を中心とする同心円を境界とする複数の領域に分割させ、その領域毎に異なる非球面係数で表現されるような、輪帯非球面で形成することにより、あくまで光軸に対して回転対称な面でありながらも、形状の自由度を向上させることができる。これにより、小型軽量でありながらも、画面全域にわたって良好に収差補正のなされた、短焦点で大画面投影が可能な投影光学系40を得ることができる。
〔実施例〕
以下、本発明の投影光学系の実施例を示す。各実施例において、非分割型の非球面の形状は、面の頂点を原点とし、光軸方向にX軸をとり、光軸と垂直方向の高さをhとして以下の「数1」で表す。また、領域分割型の非球面の形状は、上記非分割型の非球面と同様に以下の「数1」で表すが、領域毎に異なる値Ai、R、Kを用いる。
ただし、
Ai:i次の非球面係数
R :曲率半径
K :円錐定数
以下、本発明の投影光学系の実施例を示す。各実施例において、非分割型の非球面の形状は、面の頂点を原点とし、光軸方向にX軸をとり、光軸と垂直方向の高さをhとして以下の「数1」で表す。また、領域分割型の非球面の形状は、上記非分割型の非球面と同様に以下の「数1」で表すが、領域毎に異なる値Ai、R、Kを用いる。
Ai:i次の非球面係数
R :曲率半径
K :円錐定数
(実施例1)
実施例1の投影光学系のレンズ面等のデータを以下の表1に示す。なお、以下の表1等において、「Surf-N」は面番号を表し、「R」は曲率半径を表し、「D」は面間隔を表し、「nd」はd線屈折率を表し、「vd」はアッベ数を表す。また、「DDS」は、表示素子面を表し、「ASS」は、非球面を表し、「ST」は開口絞りを表し、「MRS」は反射面を表し、「SCS」はスクリーン面を表し、無限大を「INF」と表している。
〔表1〕
Surf-N R [mm] D [mm] nd vd
DDS 1.403
1 INF 17.250 1.5163 64.1
2 INF 2.500
3 33.653 7.000 1.8467 23.8
4 -91.570 0.500
5 33.601 5.374 1.8467 23.8
6 1357.291 3.236
7 -31.263 5.000 1.7552 27.5
8 13.171 6.256 1.6228 57.1
9 -18.777 1.707
10 -18.259 2.014 1.8052 25.4
11 -61.487 1.122
ASS 12 66.508 3.000 1.7720 50.0
ASS 13 471.381 0.660
ST 14 INF 1.439
15 44.504 1.200 1.7015 41.2
16 15.756 6.205 1.6228 57.1
17 -152.023 37.601
18 -2061.498 5.991 1.8340 37.2
19 -47.616 0.500
ASS 20 222.487 2.556 1.5447 56.2
ASS 21 38.957 3.679
22 44.395 7.500 1.8340 37.2
23 -163.985 8.509
ASS 24 -37.052 2.797 1.5447 56.2
ASS 25 21.129 119.965
MRS 26 -41.491 -250.012
SCS INF
実施例1の投影光学系のレンズ面等のデータを以下の表1に示す。なお、以下の表1等において、「Surf-N」は面番号を表し、「R」は曲率半径を表し、「D」は面間隔を表し、「nd」はd線屈折率を表し、「vd」はアッベ数を表す。また、「DDS」は、表示素子面を表し、「ASS」は、非球面を表し、「ST」は開口絞りを表し、「MRS」は反射面を表し、「SCS」はスクリーン面を表し、無限大を「INF」と表している。
〔表1〕
Surf-N R [mm] D [mm] nd vd
DDS 1.403
1 INF 17.250 1.5163 64.1
2 INF 2.500
3 33.653 7.000 1.8467 23.8
4 -91.570 0.500
5 33.601 5.374 1.8467 23.8
6 1357.291 3.236
7 -31.263 5.000 1.7552 27.5
8 13.171 6.256 1.6228 57.1
9 -18.777 1.707
10 -18.259 2.014 1.8052 25.4
11 -61.487 1.122
ASS 12 66.508 3.000 1.7720 50.0
ASS 13 471.381 0.660
ST 14 INF 1.439
15 44.504 1.200 1.7015 41.2
16 15.756 6.205 1.6228 57.1
17 -152.023 37.601
18 -2061.498 5.991 1.8340 37.2
19 -47.616 0.500
ASS 20 222.487 2.556 1.5447 56.2
ASS 21 38.957 3.679
22 44.395 7.500 1.8340 37.2
23 -163.985 8.509
ASS 24 -37.052 2.797 1.5447 56.2
ASS 25 21.129 119.965
MRS 26 -41.491 -250.012
SCS INF
実施例1の投影光学系のうち屈折光学系の非分割型の非球面係数を以下の表2に示す。なお、これ以降(表のレンズデータを含む)において、10のべき乗数(例えば2.5×10−02)をE(例えば2.5E−02)を用いて表すものとする。
〔表2〕
第12面
K=0.00000E+00, A4=0.49515E-04, A6=0.18515E-06, A8=-0.10691E-08,
A10=0.15204E-10, A12=0.00000E+00, A14=0.00000E+00
第13面
K=0.00000E+00, A4=0.55264E-04, A6=0.21022E-06, A8=-0.12199E-08,
A10=0.18347E-10, A12=0.00000E+00, A14=0.00000E+00
第20面
K=-0.50000E+02, A4=-0.14929E-04, A6=0.19417E-06, A8=-0.11755E-08,
A10=0.44385E-11, A12=-0.92069E-14, A14=0.77500E-17
第21面
K=0.28587E+01, A4=-0.12825E-04, A6=0.23694E-06, A8=-0.14145E-08,
A10=0.56090E-11, A12=-0.11935E-13, A14=0.88000E-17
第24面
K=-0.13831E+02, A4=0.33526E-04, A6=-0.46956E-07, A8=0.29452E-09,
A10=-0.10667E-11, A12=0.16139E-14, A14=-0.72000E-18
第25面
K=0.12509E-01, A4=0.14032E-04, A6=-0.15202E-06, A8=0.86518E-09,
A10=-0.34263E-11, A12=0.49938E-14, A14=-0.17200E-17
第12面
K=0.00000E+00, A4=0.49515E-04, A6=0.18515E-06, A8=-0.10691E-08,
A10=0.15204E-10, A12=0.00000E+00, A14=0.00000E+00
第13面
K=0.00000E+00, A4=0.55264E-04, A6=0.21022E-06, A8=-0.12199E-08,
A10=0.18347E-10, A12=0.00000E+00, A14=0.00000E+00
第20面
K=-0.50000E+02, A4=-0.14929E-04, A6=0.19417E-06, A8=-0.11755E-08,
A10=0.44385E-11, A12=-0.92069E-14, A14=0.77500E-17
第21面
K=0.28587E+01, A4=-0.12825E-04, A6=0.23694E-06, A8=-0.14145E-08,
A10=0.56090E-11, A12=-0.11935E-13, A14=0.88000E-17
第24面
K=-0.13831E+02, A4=0.33526E-04, A6=-0.46956E-07, A8=0.29452E-09,
A10=-0.10667E-11, A12=0.16139E-14, A14=-0.72000E-18
第25面
K=0.12509E-01, A4=0.14032E-04, A6=-0.15202E-06, A8=0.86518E-09,
A10=-0.34263E-11, A12=0.49938E-14, A14=-0.17200E-17
実施例1の投影光学系のうち反射光学系の反射面(第26面)の分割型の非球面係数を以下の表3に示す。この場合、第26面の非球面は、光軸からの高さをhとしたときの第1領域面の範囲0≦h≦15.6と、この周りを囲む中間の第2領域面の範囲15.6<h≦31.2と、外周の第3領域面の範囲31.2<hとに分かれている。また、これ以降において、条件式(2)に関する値|Xin'(h)−Xout'(h)|については、面形状の値が記載されている領域とその外側との境界の値とする。
〔表3〕
第26面
面の範囲 0≦h≦15.6 15.6<h≦31.2 31.2<h
R= -41.49079 -36.60379 -41.01869
K= -0.18000E+02 -0.42016E+01 -0.80421E+00
A4= -0.21682E-04 -0.24181E-05 0.14671E-05
A6= -0.37531E-08 -0.32722E-09 -0.35912E-09
A8= 0.40872E-09 0.11034E-11 0.97552E-13
A10= -0.67596E-12 0.62223E-16 -0.30986E-16
A12= -0.65352E-14 -0.53284E-18 0.84007E-20
A14= 0.29493E-16 -0.90831E-22 -0.99476E-24
A16= -0.38096E-19 0.19052E-24 0.74025E-29
|Xin'(h)-Xout'(h)| 0.546E-11 0.588E-07
〔表3〕
第26面
面の範囲 0≦h≦15.6 15.6<h≦31.2 31.2<h
R= -41.49079 -36.60379 -41.01869
K= -0.18000E+02 -0.42016E+01 -0.80421E+00
A4= -0.21682E-04 -0.24181E-05 0.14671E-05
A6= -0.37531E-08 -0.32722E-09 -0.35912E-09
A8= 0.40872E-09 0.11034E-11 0.97552E-13
A10= -0.67596E-12 0.62223E-16 -0.30986E-16
A12= -0.65352E-14 -0.53284E-18 0.84007E-20
A14= 0.29493E-16 -0.90831E-22 -0.99476E-24
A16= -0.38096E-19 0.19052E-24 0.74025E-29
|Xin'(h)-Xout'(h)| 0.546E-11 0.588E-07
図2は、既に説明したが、実施例1の投影光学系40等の断面図である。図3は、実施例1の画像の具体的な投射光路を説明する図である。投影光学系40は、屈折光学系41を構成する第1〜第12レンズL1〜L12と、反射光学系42を構成する反射光学素子42aとを有する。本実施例において、反射光学素子42aは、凹形状となっている。図中のSは開口絞り、Scはスクリーン面を示す。また、Fは例えば画像表示素子をLCOSとした場合のRGB各色を合成するためのプリズム等を想定した平行平板(本実施例では、偏光ビームスプリッター20)である。画像表示素子の方式によっては、Fは必要ない場合もあるが、Fは屈折力を持たない平行平板であるため、F以降の光学系は変えずになくすこともできる。その場合には、画像表示素子と第1レンズL1との空気間隔を最適な位置に設定するだけでよい。なお、第12レンズL12と反射光学素子42aとの間に、光路を折り曲げる反射光学素子を付加すれば、図1Bに示す使用形態の投影装置100となる。
図4A〜4Cは、実施例1のスクリーン上でのMTF(Modulation Transfer Function)特性図である。図4Aは、図5に示すスクリーン面ScのうちポイントF1〜F3のMTF特性図である。図4Bは、図5に示すポイントF4〜F6のMTF特性図である。図4Cは、図5に示すポイントF7〜F9のMTF特性図である。図4A〜4B中のFi−X(i=1〜9)は、Fiの位置での水平方向解像力を示し、Fi−Y(i=1〜9)は、Fiの位置での垂直方向解像力を示す。MTF評価ポイントは、以降の実施例においても実施例1と同様である。MTFを計算する上での波長ウェイトは以下の通りである(以降の実施例も同様)。
波長 重み
656.28nm 1
587.56nm 1
435.84nm 1
図4A〜4Cは、実施例1のスクリーン上でのMTF(Modulation Transfer Function)特性図である。図4Aは、図5に示すスクリーン面ScのうちポイントF1〜F3のMTF特性図である。図4Bは、図5に示すポイントF4〜F6のMTF特性図である。図4Cは、図5に示すポイントF7〜F9のMTF特性図である。図4A〜4B中のFi−X(i=1〜9)は、Fiの位置での水平方向解像力を示し、Fi−Y(i=1〜9)は、Fiの位置での垂直方向解像力を示す。MTF評価ポイントは、以降の実施例においても実施例1と同様である。MTFを計算する上での波長ウェイトは以下の通りである(以降の実施例も同様)。
波長 重み
656.28nm 1
587.56nm 1
435.84nm 1
(実施例2)
実施例2の投影光学系のレンズ面等のデータを以下の表4に示す。
〔表4〕
Surf-N R [mm] D [mm] nd vd
DDS 0.850
1 INF 17.250 1.5163 64.1
2 INF 2.500
ASS 3 42.027 7.853 1.5320 64.4
ASS 4 -16.349 0.500
5 59.079 5.000 1.7150 28.5
6 10.589 8.337 1.5717 60.6
7 -62.320 8.988
ASS 8 -237.540 1.690 1.8470 23.8
ASS 9 -28.075 0.500
ST 10 INF 2.399
11 -44.435 1.200 1.8372 31.5
12 62.223 15.444
ASS 13 -147.793 3.208 1.4931 66.4
ASS 14 -80.836 5.642
ASS 15 -28.348 4.412 1.6169 50.4
ASS 16 -26.240 7.154
ASS 17 39.592 9.080 1.6656 37.8
ASS 18 -120.911 3.451
ASS 19 82.070 3.898 1.8438 26.1
ASS 20 25.930 9.782
ASS 21 40.706 6.453 1.5292 56.6
ASS 22 70.050 5.101
ASS 23 -59.364 4.910 1.5710 52.2
ASS 24 -177.694 99.999
MRS 25 -36.761 -250.004
SCS INF
実施例2の投影光学系のレンズ面等のデータを以下の表4に示す。
〔表4〕
Surf-N R [mm] D [mm] nd vd
DDS 0.850
1 INF 17.250 1.5163 64.1
2 INF 2.500
ASS 3 42.027 7.853 1.5320 64.4
ASS 4 -16.349 0.500
5 59.079 5.000 1.7150 28.5
6 10.589 8.337 1.5717 60.6
7 -62.320 8.988
ASS 8 -237.540 1.690 1.8470 23.8
ASS 9 -28.075 0.500
ST 10 INF 2.399
11 -44.435 1.200 1.8372 31.5
12 62.223 15.444
ASS 13 -147.793 3.208 1.4931 66.4
ASS 14 -80.836 5.642
ASS 15 -28.348 4.412 1.6169 50.4
ASS 16 -26.240 7.154
ASS 17 39.592 9.080 1.6656 37.8
ASS 18 -120.911 3.451
ASS 19 82.070 3.898 1.8438 26.1
ASS 20 25.930 9.782
ASS 21 40.706 6.453 1.5292 56.6
ASS 22 70.050 5.101
ASS 23 -59.364 4.910 1.5710 52.2
ASS 24 -177.694 99.999
MRS 25 -36.761 -250.004
SCS INF
実施例2の投影光学系のうち屈折光学系の非分割型の非球面係数を以下の表5に示す。
〔表5〕
第3面
K=-0.66486E+01, A4=-0.26113E-04, A6=0.17899E-07, A8=0.96931E-09,
A10=-0.40522E-12
第4面
K=-0.47441E+01, A4=-0.11721E-03, A6=0.59519E-06, A8=-0.30797E-08,
A10=0.11110E-10
第8面
K=0.00000E+00, A4=-0.28065E-04, A6=0.00000E+00, A8=0.00000E+00,
A10=0.00000E+00
第9面
K=0.23027E+01, A4=-0.30301E-04, A6=0.00000E+00, A8=0.00000E+00,
A10=0.00000E+00
第13面
K=0.00000E+00, A4=0.64981E-04, A6=-0.35271E-06, A8=0.13748E-08,
A10=-0.70712E-11, A12=0.00000E+00
第14面
K=0.11341E+02, A4=0.19256E-05, A6=-0.30246E-06, A8=0.00000E+00,
A10=0.00000E+00
第15面
K=-0.51900E+01, A4=-0.17138E-03, A6=0.19547E-07, A8=-0.10545E-07,
A10=0.15482E-09, A12=-0.15194E-11, A14=0.10028E-13,
A16=-0.25290E-16
第16面
K=-0.19669E+01, A4=-0.68792E-04, A6=-0.14147E-07, A8=-0.55635E-09,
A10=0.35544E-11, A12=0.43889E-13, A14=-0.22907E-15,
A16=0.28000E-18
第17面
K=-0.27699E+01, A4=0.32390E-05, A6=0.76983E-08, A8=-0.25765E-10,
A10=0.00000E+00
第18面
K=0.19101E+02, A4=-0.58153E-05, A6=-0.24504E-08, A8=-0.55319E-12,
A10=0.00000E+00
第19面
K=0.10576E+02, A4=-0.90050E-05, A6=-0.10410E-06, A8=0.16745E-09,
A10=-0.11492E-12
第20面
K=0.12555E+00, A4=-0.10969E-04, A6=-0.87906E-07, A8=0.19354E-09,
A10=-0.21825E-12
第21面
K=-0.36655E+01, A4=0.43338E-05, A6=0.32794E-07, A8=-0.10898E-09,
A10=0.10311E-12, A12=-0.57040E-16
第22面
K=-0.36358E+02, A4=-0.62395E-05, A6=0.44262E-08, A8=-0.62622E-11,
A10=0.90596E-15
第23面
K=-0.18031E+02, A4=0.59210E-05, A6=-0.21451E-08, A8=0.10265E-10,
A10=0.00000E+00, A12=0.00000E+00, A14=0.00000E+00,
A16=0.00000E+00
第24面
K=0.41289E+02, A4=0.84790E-05, A6=0.54538E-08, A8=-0.26041E-10,
A10=0.10701E-12, A12=-0.25551E-15, A14=0.20000E-18,
A16=0.00000E+00
〔表5〕
第3面
K=-0.66486E+01, A4=-0.26113E-04, A6=0.17899E-07, A8=0.96931E-09,
A10=-0.40522E-12
第4面
K=-0.47441E+01, A4=-0.11721E-03, A6=0.59519E-06, A8=-0.30797E-08,
A10=0.11110E-10
第8面
K=0.00000E+00, A4=-0.28065E-04, A6=0.00000E+00, A8=0.00000E+00,
A10=0.00000E+00
第9面
K=0.23027E+01, A4=-0.30301E-04, A6=0.00000E+00, A8=0.00000E+00,
A10=0.00000E+00
第13面
K=0.00000E+00, A4=0.64981E-04, A6=-0.35271E-06, A8=0.13748E-08,
A10=-0.70712E-11, A12=0.00000E+00
第14面
K=0.11341E+02, A4=0.19256E-05, A6=-0.30246E-06, A8=0.00000E+00,
A10=0.00000E+00
第15面
K=-0.51900E+01, A4=-0.17138E-03, A6=0.19547E-07, A8=-0.10545E-07,
A10=0.15482E-09, A12=-0.15194E-11, A14=0.10028E-13,
A16=-0.25290E-16
第16面
K=-0.19669E+01, A4=-0.68792E-04, A6=-0.14147E-07, A8=-0.55635E-09,
A10=0.35544E-11, A12=0.43889E-13, A14=-0.22907E-15,
A16=0.28000E-18
第17面
K=-0.27699E+01, A4=0.32390E-05, A6=0.76983E-08, A8=-0.25765E-10,
A10=0.00000E+00
第18面
K=0.19101E+02, A4=-0.58153E-05, A6=-0.24504E-08, A8=-0.55319E-12,
A10=0.00000E+00
第19面
K=0.10576E+02, A4=-0.90050E-05, A6=-0.10410E-06, A8=0.16745E-09,
A10=-0.11492E-12
第20面
K=0.12555E+00, A4=-0.10969E-04, A6=-0.87906E-07, A8=0.19354E-09,
A10=-0.21825E-12
第21面
K=-0.36655E+01, A4=0.43338E-05, A6=0.32794E-07, A8=-0.10898E-09,
A10=0.10311E-12, A12=-0.57040E-16
第22面
K=-0.36358E+02, A4=-0.62395E-05, A6=0.44262E-08, A8=-0.62622E-11,
A10=0.90596E-15
第23面
K=-0.18031E+02, A4=0.59210E-05, A6=-0.21451E-08, A8=0.10265E-10,
A10=0.00000E+00, A12=0.00000E+00, A14=0.00000E+00,
A16=0.00000E+00
第24面
K=0.41289E+02, A4=0.84790E-05, A6=0.54538E-08, A8=-0.26041E-10,
A10=0.10701E-12, A12=-0.25551E-15, A14=0.20000E-18,
A16=0.00000E+00
実施例2の投影光学系のうち反射光学系の反射面(第25面)の分割型の非球面係数を以下の表6に示す。この場合、第25面の非球面は、光軸からの高さをhとしたときの第1領域面の範囲0≦h≦10.0と、この周りを囲む中間の第2領域面の範囲10.0<h≦20.0と、外周の第3領域面の範囲20.0<hとに分かれている。
〔表6〕
第25面
面の範囲 0≦h≦10.0 10.0<h≦20.0 20.0<h
R= -36.76054 -36.01738 -36.35260
K= -0.36718E+01 -0.25188E+01 -0.16919E+01
A4= 0.88048E-05 -0.89308E-06 0.95389E-06
A6= -0.37080E-06 -0.12432E-08 -0.29264E-08
A8= 0.25956E-08 0.10433E-11 0.26839E-11
A10= 0.80450E-11 -0.51612E-14 -0.10052E-14
A12= -0.78933E-13 0.79794E-17 -0.62681E-18
A14= -0.72699E-15 0.16528E-19 0.80544E-21
A16= 0.48289E-17 -0.31391E-22 -0.23860E-24
|Xin'(h)-Xout'(h)| 0.123E-09 0.908E-09
〔表6〕
第25面
面の範囲 0≦h≦10.0 10.0<h≦20.0 20.0<h
R= -36.76054 -36.01738 -36.35260
K= -0.36718E+01 -0.25188E+01 -0.16919E+01
A4= 0.88048E-05 -0.89308E-06 0.95389E-06
A6= -0.37080E-06 -0.12432E-08 -0.29264E-08
A8= 0.25956E-08 0.10433E-11 0.26839E-11
A10= 0.80450E-11 -0.51612E-14 -0.10052E-14
A12= -0.78933E-13 0.79794E-17 -0.62681E-18
A14= -0.72699E-15 0.16528E-19 0.80544E-21
A16= 0.48289E-17 -0.31391E-22 -0.23860E-24
|Xin'(h)-Xout'(h)| 0.123E-09 0.908E-09
図6は、実施例2の投影光学系40等の断面図である。図7は、実施例2の画像の具体的な投射光路を説明する図である。投影光学系40は、屈折光学系41を構成する第1〜第11レンズL1〜L11と、反射光学系42を構成する反射光学素子42aとを有する。本実施例において、反射光学素子42aは、凹形状となっている。なお、第11レンズL11と反射光学素子42aとの間に、光路を折り曲げる反射光学素子を付加すれば、図1Bに示す使用形態の投影装置100となる。図8A〜8Cは、実施例2のスクリーン上でのMTF特性図である。
(実施例3)
実施例3の投影光学系のレンズ面等のデータを以下の表7に示す。
〔表7〕
Surf-N R [mm] D [mm] nd vd
DDS 3.306
1 INF 25.750 1.5163 64.1
2 INF 5.000
3 173.572 3.547 1.6968 55.5
4 -37.827 0.501
5 27.971 4.743 1.7432 49.3
6 -21439.412 7.622
7 19.028 3.331 1.4875 70.2
8 -63.299 4.985 1.7847 25.7
9 28.280 1.393
ASS 10 -40.439 1.200 1.7618 26.5
ASS 11 60.060 0.765
12 INF 29.412
13 43.238 1.200 1.7432 49.3
14 19.469 13.101 1.7200 50.2
15 -86.471 0.500
16 50.329 4.983 1.7432 49.3
17 95.879 13.765
ASS 18 -29.305 1.200 1.4875 70.2
ASS 19 -211.891 5.064
ASS 20 -37.530 1.200 1.6989 30.1
ASS 21 56.839 8.458
22 -67.561 8.326 1.8061 40.9
23 -25.525 4.273
ASS 24 -20.653 4.679 1.4875 70.2
ASS 25 -29.951 108.940
MRS 26 41.050 -508.910
SCS INF
実施例3の投影光学系のレンズ面等のデータを以下の表7に示す。
〔表7〕
Surf-N R [mm] D [mm] nd vd
DDS 3.306
1 INF 25.750 1.5163 64.1
2 INF 5.000
3 173.572 3.547 1.6968 55.5
4 -37.827 0.501
5 27.971 4.743 1.7432 49.3
6 -21439.412 7.622
7 19.028 3.331 1.4875 70.2
8 -63.299 4.985 1.7847 25.7
9 28.280 1.393
ASS 10 -40.439 1.200 1.7618 26.5
ASS 11 60.060 0.765
12 INF 29.412
13 43.238 1.200 1.7432 49.3
14 19.469 13.101 1.7200 50.2
15 -86.471 0.500
16 50.329 4.983 1.7432 49.3
17 95.879 13.765
ASS 18 -29.305 1.200 1.4875 70.2
ASS 19 -211.891 5.064
ASS 20 -37.530 1.200 1.6989 30.1
ASS 21 56.839 8.458
22 -67.561 8.326 1.8061 40.9
23 -25.525 4.273
ASS 24 -20.653 4.679 1.4875 70.2
ASS 25 -29.951 108.940
MRS 26 41.050 -508.910
SCS INF
実施例3の投影光学系の屈折光学系の非分割型の非球面係数を以下の表8に示す。
〔表8〕
第10面
K=-0.53034E+01, A4=0.12261E-04, A6=0.26952E-06, A8=-0.13236E-07,
A10=0.17077E-09, A12=0.00000E+00
第11面
K=0.20381E+02, A4=0.50787E-04, A6=-0.27001E-06, A8=0.57871E-08,
A10=-0.10940E-09, A12=0.00000E+00
第18面
K=-0.59088E+00, A4=0.16105E-04, A6=0.12322E-07, A8=-0.83498E-10,
A10=-0.12726E-11, A12=0.73154E-14
第19面
K=0.49902E+02, A4=0.21381E-05, A6=-0.36944E-07, A8=-0.40752E-09,
A10=-0.56112E-12, A12=0.34276E-14
第20面
K=0.48633E+01, A4=-0.16722E-04, A6=-0.84905E-07, A8=-0.28736E-09,
A10=-0.34202E-12, A12=0.37718E-15
第21面
K=-0.26342E+00, A4=-0.17178E-06, A6=-0.26239E-08, A8=-0.46486E-11,
A10=-0.70023E-15, A12=-0.76890E-16
第24面
K=-0.16307E+00, A4=-0.64258E-05, A6=0.11148E-07, A8=-0.68104E-12,
A10=0.11781E-12, A12=-0.30700E-16
第25面
K=0.45218E+00, A4=-0.19932E-05, A6=-0.36702E-08, A8=0.92497E-11,
A10=0.14827E-13, A12=-0.11680E-16
〔表8〕
第10面
K=-0.53034E+01, A4=0.12261E-04, A6=0.26952E-06, A8=-0.13236E-07,
A10=0.17077E-09, A12=0.00000E+00
第11面
K=0.20381E+02, A4=0.50787E-04, A6=-0.27001E-06, A8=0.57871E-08,
A10=-0.10940E-09, A12=0.00000E+00
第18面
K=-0.59088E+00, A4=0.16105E-04, A6=0.12322E-07, A8=-0.83498E-10,
A10=-0.12726E-11, A12=0.73154E-14
第19面
K=0.49902E+02, A4=0.21381E-05, A6=-0.36944E-07, A8=-0.40752E-09,
A10=-0.56112E-12, A12=0.34276E-14
第20面
K=0.48633E+01, A4=-0.16722E-04, A6=-0.84905E-07, A8=-0.28736E-09,
A10=-0.34202E-12, A12=0.37718E-15
第21面
K=-0.26342E+00, A4=-0.17178E-06, A6=-0.26239E-08, A8=-0.46486E-11,
A10=-0.70023E-15, A12=-0.76890E-16
第24面
K=-0.16307E+00, A4=-0.64258E-05, A6=0.11148E-07, A8=-0.68104E-12,
A10=0.11781E-12, A12=-0.30700E-16
第25面
K=0.45218E+00, A4=-0.19932E-05, A6=-0.36702E-08, A8=0.92497E-11,
A10=0.14827E-13, A12=-0.11680E-16
実施例3の投影光学系のうち反射光学系の反射面(第26面)の分割型の非球面係数を以下の表9に示す。この場合、第26面の非球面は、光軸からの高さをhとしたときの第1領域面の範囲0≦h≦20.0と、この周りを囲む中間の第2領域面の範囲20.0<h≦40.0と、外周の第3領域面の範囲40.0<hとに分かれている。
〔表9〕
第26面
面の範囲 0≦h≦20.0 20.0<h≦40.0 40.0<h
R= 41.04984 35.48014 34.01286
K= 0.29246E+01 -0.56815E+01 -0.61299E+01
A4= -0.24436E-04 -0.16443E-06 0.12197E-06
A6= 0.19176E-06 0.12656E-09 -0.28280E-10
A8= -0.14056E-08 0.23170E-13 0.10562E-14
A10= 0.40828E-11 -0.48343E-16 0.49428E-18
A12= -0.44430E-14 0.12453E-19 -0.51100E-22
A14= 0.00000E+00 0.00000E+00 0.00000E+00
A16= 0.00000E+00 0.00000E+00 0.00000E+00
|Xin'(h)-Xout'(h)| 0.764E-13 0.125E-15
〔表9〕
第26面
面の範囲 0≦h≦20.0 20.0<h≦40.0 40.0<h
R= 41.04984 35.48014 34.01286
K= 0.29246E+01 -0.56815E+01 -0.61299E+01
A4= -0.24436E-04 -0.16443E-06 0.12197E-06
A6= 0.19176E-06 0.12656E-09 -0.28280E-10
A8= -0.14056E-08 0.23170E-13 0.10562E-14
A10= 0.40828E-11 -0.48343E-16 0.49428E-18
A12= -0.44430E-14 0.12453E-19 -0.51100E-22
A14= 0.00000E+00 0.00000E+00 0.00000E+00
A16= 0.00000E+00 0.00000E+00 0.00000E+00
|Xin'(h)-Xout'(h)| 0.764E-13 0.125E-15
図9は、実施例3の投影光学系40等の断面図である。図10は、実施例3の画像の具体的な投射光路を説明する図である。投影光学系40は、屈折光学系41を構成する第1〜第12レンズL1〜L12と、反射光学系42を構成する反射光学素子42aとを有する。本実施例において、反射光学素子42aは、凸形状となっている。なお、第12レンズL12と反射光学素子42aとの間に、光路を折り曲げる反射光学素子を付加すれば、図1Bに示す使用形態の投影装置100となる。図11A〜11Cは、実施例3のスクリーン上でのMTF特性図である。
以上、実施形態や実施例に即して本発明を説明したが、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。例えば、上記実施形態において、反射光学素子42aの領域を3つに分割したが、分割数は2つでも4つ以上でもよい。
また、上記実施形態において、表示素子としては、LCOS等の反射型液晶素子30に限らず、マイクロミラーからなるマイクロミラーデバイス、透過型のLCD等を用いることができる。この場合、偏光ビームスプリッター20は、それぞれに適合する光学系に変更する。
また、上記実施形態において、反射型液晶素子30は、単独で使用する場合に限らず、偏光ビームスプリッター20の別の側面に対向して追加の反射型液晶素子230を配置することもできる(図1参照)。
また、上記実施形態において、照明光学系10の光源としては、LEDに限らず、水銀ランプ、レーザー等を用いることができ、これらの光源を同種又は異種で組み合わせることもできる。特に、LEDやレーザーを光源とする場合、赤色・緑色・青色の光源数は出力に合わせ任意に組み合わせても良い。また、合波するための光学系を追加し、白色又は特定色に関して複数の光源を配置することで明るさを上げることもできる。
Claims (8)
- 画像表示素子から得られる像を拡大してスクリーン上に投影する投影装置用の投影光学系であって、前記画像表示素子側から順に、
複数のレンズ群を有する屈折光学系と、
屈折光学系から出射された光線を反射させてスクリーンまで導く反射光学系と、を備え、
前記反射光学系は、少なくとも1つの反射光学素子を有し、
前記反射光学素子は、光軸を中心とする同心円を境界とする複数の領域に分割され、その領域毎に異なる非球面式を用いた非球面形状を有する、投影光学系。 - 以下の条件式を満足する、請求項1に記載の投影光学系。
0.50<|DS/TL|<1.00 … (1)
ただし、
DS:前記屈折光学系内に配置された開口絞りから前記非球面形状を有する反射光学素子までの光軸上の距離
TL:前記画像表示素子から前記非球面形状を有する反射光学素子までの光軸上の距離 - 前記屈折光学系と前記反射光学系とは、共通の光軸を有する、請求項1及び2のいずれか一項に記載の投影光学系。
- 前記屈折光学系の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズの少なくとも一方の面は非球面形状を有し、前記非球面形状を有する少なくとも一方の面は光軸以外の点で極値を持つ形状を有している、請求項1〜3のいずれか一項に記載の投影光学系。
- 前記非球面形状を有する反射光学素子は、以下の条件式を満足する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の投影光学系。
|Xin'(h)−Xout'(h)|<1.0E−3 … (2)
ただし、
h:前記境界の前記光軸からの高さ
Xin'(h):前記境界より前記光軸側の面における、境界位置での1階微分値
Xout'(h):前記境界より外側の面における、境界位置での1階微分値 - 以下の条件式を満足する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の投影光学系。
−10.0<FLsc/FL<−0.50 … (3)
ただし、
FLsc:前記屈折光学系の最もスクリーンに近い位置に配置されたレンズの焦点距離
FL:前記屈折光学系全系の焦点距離 - 前記反射光学系はパワーを有する反射光学素子を1枚のみ有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の投影光学系。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の投影光学系と、
前記投影光学系の光路前段に設けられた前記画像表示素子とを備える、投影装置。
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