JPWO2016013515A1 - 極端紫外光生成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1.概要
2.用語の説明
3.EUV光生成システムの全体説明
3.1 構成
3.2 動作
4.タイミングセンサを使用したレーザ装置の制御
4.1 EUV光生成システムの構成
4.2 動作
5.タイミングセンサ
5.1 構成
5.2 動作
5.3 従来技術における課題
6.実施形態1のタイミングセンサ
6.1 構成
6.2 動作
6.3 効果
7.実施形態2のタイミングセンサ(スリット)
7.1 課題
7.2 構成
7.3 効果
8.実施形態3のタイミングセンサ(複数閾値)
8.1 構成・動作
8.2 効果
9.実施形態4のタイミングセンサ(多段受光面)
9.1 受光面の配置
9.1.1 構成
9.1.2 効果
9.2 タイミング制御
9.2.1 構成
9.2.2 動作
9.2.3 効果
10.実施形態5のタイミングセンサ(Z軸方向における分岐)
10.1 構成・動作
10.2 効果
11.実施形態6のタイミングセンサ(Y軸方向における分岐)
11.1 構成・動作
11.2 効果
12.実施形態7のタイミングセンサ(反射光の検出)
13.実施形態8のタイミングセンサ
13.1 タイミングセンサの構成
13.2 照明光学系の構成
13.3 動作
13.4 効果
14.実施形態9のタイミングセンサ
14.1 概要
14.2 ラインフィルタの構成
14.3 ラインフィルタ位置の例
14.4 ラインフィルタ位置の他例
14.5 効果
LPP方式のEUV光生成システムは、ターゲット供給部からドロップレットのターゲットを供給し、ドロップレットがプラズマ生成領域に到達した時にパルスレーザ光を照射し、プラズマ化することによってEUV光を生成してもよい。
本願において使用される用語を説明する。アレイは、配列された要素のグループを意味する。ターゲットの像は、照明光による、ターゲットの影の像(影ともいう)又はターゲットの反射光の像を意味する。
3.1 構成
図1に、例示的なLPP方式のEUV光生成システムの構成を概略的に示す。EUV光生成装置1は、少なくとも1つのレーザ装置3と共に用いられてもよい。本願においては、EUV光生成装置1及びレーザ装置3を含むシステムを、EUV光生成システム11と称する。図1に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、EUV光生成装置1は、チャンバ2、ターゲット供給部26を含んでもよい。
図1を参照すると、レーザ装置3から出力されたパルスレーザ光31は、レーザ光進行方向制御部34を経て、パルスレーザ光32としてウインドウ21を透過してチャンバ2内に入射してもよい。パルスレーザ光32は、少なくとも1つのレーザ光経路に沿ってチャンバ2内を進み、レーザ光集光ミラー22で反射されて、パルスレーザ光33として少なくとも1つのターゲット27に照射されてもよい。
4.1 EUV光生成システムの構成
図2は、EUV光生成システム11の構成例の一部断面図を示す。図2に示されるように、チャンバ2の内部には、レーザ光集光光学系22aと、EUV集光ミラー23と、ターゲット回収部28と、EUV集光ミラーホルダ81と、プレート82及び83とが設けられてもよい。
図3は、EUV光生成制御部5による、ターゲット供給部26及びレーザ装置3の制御を説明するブロック図を示す。EUV光生成制御部5は、ターゲット供給制御部51とレーザ制御部55とを含んでもよい。ターゲット供給制御部51は、ターゲット供給部26の動作を制御してもよい。レーザ制御部55は、レーザ装置3の動作を制御してもよい。
5.1 構成
図4A及び図4Bは、タイミングセンサ450の構成例を示している。以下の説明において、ターゲット軌道271に沿った方向をZ軸方向、Z軸方向に垂直で、ターゲット軌道271からターゲットセンサ4に向かう軸の方向をX軸方向、Z軸方向及びX軸方向に垂直な方向をY軸方向と呼ぶ。
光源46から出力された照明光は、照明光学系47のシリンドリカルレンズによって、ドロップレット軌道271上に楕円状に集光され得る。ドロップレット軌道271の集光領域40に楕円状に集光された照明光は、受光光学系42によって、光センサ41に転写され得る。
図5Aは、従来技術における、光センサの受光面411で結像された像を示している。楕円照明光の像412内に、ドロップレット27の影413が存在し得る。ドロップレット27が楕円ビームの集光領域40を通過すると、ドロップレット27の影413は、矢印419が示すように、Z軸方向において受光面411を通過し得る。そのため、受光面411における光量が変化し得る。
6.1 構成
図7Aは、本実施形態のターゲットセンサ4の構成例を示している。ターゲットセンサ4は、光センサ41と、信号生成部44とを含んでもよい。光センサ41は、複数のセンサ要素を含み、複数のセンサ要素がそれぞれの受光面を有してもよい。例えば、図7Aに示すように、光センサ41は、5つのセンサ要素661〜665を含み、センサ要素661〜665がそれぞれ、受光面601〜605を有してもよい。
照明光の楕円ビーム転写像は、複数の受光面601〜605の全てに渡って結像されてよい。ドロップレット27が照明光の集光領域40を通過すると、複数の受光面601〜605のいずれかに、ドロップレット27の影を生成し得る。
上述のように、ターゲットセンサ4は、照明光の転写像を複数の受光面601〜605で受光し、受光面601〜605それぞれの受光量に応じたセンサ信号を出力してもよい。これにより、受光面601〜605それぞれにおいて、照明光を受けている領域に対するドロップレットの影の領域の比率を、向上し得る。この結果、ターゲットセンサ4は、高いS/N比で、ドロップレット27を検出し得る。
7.1 課題
図8Aは、図7Bに示す照明光の転写像に対応するセンサ要素661、662の出力センサ信号を示している。図7Bに示す受光面601〜605における楕円ビームの転写像において、受光面601の受光量は、受光面602の受光量よりも小さくなり得る。そのため、図8Aに示すように、受光面601のセンサ要素661の出力レベルは、受光面602のセンサ要素662の出力レベルよりも低くなり得る。
図8B及び図8Cは、本実施形態のターゲットセンサ4の構成を示している。ターゲットセンサ4は、スリット板700を含んでもよい。図8Bは、ターゲットセンサ4をY軸方向において見た構成を示している。図8Cは、スリット板700と光センサ41の受光面601〜605との関係を示している。スリット板700は、受光面601〜605での受光量の差を小さくするように配置されてもよい。
本実施形態のスリット板700は、受光面601〜605が受光する光量を均一化し、光センサ41によるドロップレットの誤検出を抑制し得る。
8.1 構成・動作
図9Aは、本実施形態のターゲットセンサ4の構成を示している。本実施形態のターゲットセンサ4は、図8Aを参照して説明した課題を解決し得る。ターゲットセンサ4は、コンパレータ621〜625のそれぞれのための閾値電圧発生器631〜635を含んでもよい。閾値電圧発生器631〜635の出力端子は、それぞれ、コンパレータ621〜625のVin+端子に接続されてもよい。
本実施形態のターゲットセンサ4は、受光面601〜605が受光する光量に応じた閾値によって、光センサ41によるドロップレットの誤検出を抑制し得る。
9.1 受光面の配置
9.1.1 構成
図10A〜10Cは、本実施形態の光センサ41における受光面の配置例を示している。図10Aに示すように、光センサ41は、受光面601〜610を含んでもよい。受光面601〜610は、それぞれセンサ要素の受光面であってもよい。受光面601〜610のそれぞれに対応するセンサ信号が出力されてもよい。
本実施形態の光センサ41の多段受光面によれば、ドロップレット27の影653がいずれかの段の受光面連結部を通過する場合に他の段の受光面を通過することになるため、受光面連結部に重なることによる検出不良を抑制し得る。
9.2.1 構成
図11は、図10A、図10Bの構成に対応するターゲットセンサ4の構成例を示している。以下においては、図7Aの構成との相違点を主に説明する。光センサ41は、受光面606〜610をそれぞれ有する、センサ要素666〜670を含んでもよい。
センサ要素アレイ671のいずれかのセンサ要素がドロップレット27を検出すると、OR回路627が、Highレベルのパルスを出力し得る。OR回路627の出力は、遅延発生器641に入力されてもよい。遅延発生器641は、入力されたパルスを、設定されている遅延時間だけ遅らせて出力してもよい。遅延発生器641からのパルスは、OR回路629に入力されてもよい。
本実施形態のタイミング制御は、多段受光面におけるドロップレットの検出タイミングのずれを低減し、正確なタイミングで通過タイミング信号における検出パルスを生成し得る。
10.1 構成・動作
図12Aは、本実施形態のタイミングセンサ450の構成を示している。本実施形態のタイミングセンサ450は、照明光を分岐して、ドロップレットの影が移動する方向において配列された多段センサ要素アレイの各センサ要素アレイの受光面に、像を形成してもよい。
本実施形態によれば、タイミング制御回路を使用することなく、多段受光面におけるドロップレットの検出タイミングのずれを低減し、正確なタイミングで通過タイミング信号における検出パルスを生成し得る。
11.1 構成・動作
図13Aは、本実施形態のタイミングセンサ450の構成を示している。本実施形態のタイミングセンサ450は、照明光を分岐して、複数受光面において、複数受光面が配列された方向にずれた二つの像を形成してもよい。
本実施形態においては、ドロップレット影の移動方向と垂直な方向に配列された複数受光面上において、受光面の配列方向に並んで二つドロップレット影が結像され得る。そのため、少なくとも一方のドロップレット影が受光面連結部から外れ、ドロップレットを正確に検出し得る。
図14Aは、本実施形態のタイミングセンサ450の構成を示す。本実施形態のタイミングセンサ450は、ドロップレットによる反射光の像を検出してもよい。照明光のドロップレット27の軌道方向における長さL1は、ドロップレット27の間隔L2よりも短くてもよい。これにより、発光部45からの照明光内に、一つのドロップレット27のみが含まれ、複数のドロップレット27は含まれ得ない。
13.1 タイミングセンサの構成
図15は、本実施形態のタイミングセンサ450の構成を示している。発光部45は、光源46と照明光学系470との間に光ファイバ460を含んでもよい。光ファイバ460は、光源46の出力する光の波長を伝達させる材料で構成されてもよい。ファイバ入射光学系463は、光源46と光ファイバ460の入力端461との間に、配置されてもよい。
図16A及び図16Bは、照明光学系470の構成を示している。図16AはY軸方向において見た照明光学系470を示し、図16BはZ軸方向において見た照明光学系470を示している。
光源46が出力した光は、ファイバ入射光学系463によって光ファイバ460内を伝達してもよい。光ファイバの出力端462から出力された光は、照明光学系470の凸レンズ471により略平行光化され、プリズム472、473によってZ方向にビーム幅が拡張され、シリンドリカル凸レンズ474で集光されてもよい。
光ファイバ460によって光源46の光をウインドウ21a付近まで導くことで、光源46の配置自由度を高め得る。照明光学系470により、ビーム幅を拡大して高いNAで、照明光をシリンドリカル凸レンズ474に入射させ得る。これにより、単一のシリンドリカルレンズのみの構成に対して、Z方向においてより小さな幅のビームを集光し得る。
14.1 概要
プラズマから発生する電磁波によって、センサ信号にノイズが発生し得る。ノイズによって誤ったタイミングで通過タイミング信号が出力され得る。これにより、ドロップレットに適切にレーザ光が照射されない場合が発生し得る。転写光学系は電磁波に含まれる光の成分が受光部に入射するのを抑制し得る。しかし、転写光学系は、光以外の電磁波を必ずしも十分に抑制し得ない。
図18A〜18Dは、ラインフィルタの回路構成例を示している。ラインフィルタは、ローパスフィルタ(LPF)、バンドパスフィルタ(BPF)、バンドエリミネートフィルタ(BEF)の何れであってもよい。ラインフィルタは、図18A〜図18Dに示す回路の他に、DPSを使用するデジタルフィルタであってもよい。
図19は、本実施形態のターゲットセンサ4の構成例を示している。ターゲットセンサ4は、光センサ41と信号生成部44とを接続するセンサ信号経路に挿入されたラインフィルタ431〜435を含んでもよい。ラインフィルタ431は、センサ要素661からコンパレータ621へのセンサ信号経路に挿入されてもよい。ラインフィルタ432は、センサ要素662からコンパレータ622へのセンサ信号経路に挿入されてもよい。
図20は、本実施形態のタイミングセンサ450の構成を示している。タイミングセンサ450は、転写光学系である受光光学系42と、ラインフィルタ441との組み合わせを含んで構成されてもよい。受光光学系42は、ドロップレット軌道271の像を光センサ41の受光面に転写する転写光学系であってよい。
タイミングセンサが特定のフィルタ特性を有するラインフィルタを含むことにより、センサ信号に乗ったノイズを効果的に低減し得る。さらに、タイミングセンサが転写光学系とラインフィルタとの組み合わせを含むことにより、センサ信号に乗ったノイズをより効果的に低減し得る。また、ラインフィルタをセンサ要素とコンパレータとの間に挿入することにより、アナログ信号に乗ったノイズを効果的に低減し得る。
Claims (21)
- レーザ装置から出力されたパルスレーザ光をターゲットに照射することによって、プラズマを生成し、極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、
ターゲットを供給するターゲット供給部と、
前記ターゲット供給部から供給され、所定領域を通過するターゲットを検出するタイミングセンサと、
前記タイミングセンサからの、前記ターゲットの検出を示す信号に応じて前記レーザ装置を制御する制御部と、を含み、
前記タイミングセンサは、
前記所定領域に照明光を照射する発光部と、
前記発光部からの照明光を受光するターゲットセンサと、を含み、
前記ターゲットセンサは、
それぞれが、受光面での受光量に応じて変化するセンサ信号を出力する複数のセンサ要素と、
前記複数のセンサ要素それぞれからのセンサ信号を処理する信号生成部と、を含み、
前記複数のセンサ要素の受光面は、前記ターゲットの前記照明光による像が移動する第1方向と異なる第2方向において異なる位置に配置され、
前記信号生成部は、前記複数のセンサ要素のそれぞれからのセンサ信号と閾値とを比較し、前記複数のセンサ要素の少なくとも一つからのセンサ信号が閾値を超えた場合に、前記ターゲットの検出を示す信号を前記制御部に出力する、
極端紫外光生成装置。 - 請求項1に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記信号生成部は、
それぞれに、前記複数のセンサ要素それぞれからのセンサ信号が入力される複数のコンパレータと、
前記複数のコンパレータのそれぞれに閾値を供給する閾値生成部と、
前記複数のコンパレータの出力が入力されるOR回路と、を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項1に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記複数のセンサ要素は第1センサ要素アレイを構成し、
前記ターゲットセンサは、第2センサ要素アレイを構成する複数のセンサ要素をさらに含み、
前記第1センサ要素アレイの受光面は、前記第2方向において一列に連結され、
前記第2センサ要素アレイの受光面は、前記第2方向において一列に連結され、かつ、前記第1センサ要素アレイの受光面と前記第1方向において異なる位置に配置され、
前記第1センサ要素アレイの受光面連結部と、前記第2センサ要素アレイの受光面連結部とは、前記第2方向において異なる位置にあり、
前記信号生成部は、前記第1センサ要素アレイ及び前記第2センサ要素アレイの各センサ要素のセンサ信号と閾値とを比較し、少なくとも一つのセンサ要素からのセンサ信号が閾値を超えた場合に、前記ターゲットの検出を示す信号を前記制御部に出力する、極端紫外光生成装置。 - 請求項3に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記信号生成部は、前記第1センサ要素アレイと前記第2センサ要素アレイとによる同一ターゲットの検出タイミングの相違を調整する遅延回路を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項3に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記タイミングセンサは、前記発光部からの照明光を分岐して、前記第1センサ要素アレイ及び前記第2センサ要素アレイのそれぞれに照射する光学系を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項5に記載の極端紫外光生成装置であって、
分岐された前記照明光の一方の前記第1センサ要素アレイまでの光路長と、分岐された前記照明光の他方の前記第2センサ要素アレイまでの光路長とは実質的に同一である、極端紫外光生成装置。 - 請求項1に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記ターゲットセンサは、前記発光部からの照明光を分岐して、前記複数のセンサ要素の受光面において前記第2方向において異なる位置に照射する光学系を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項1に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記複数のセンサ要素は、前記発光部からの照明光における前記ターゲットの影の像を検出し、
前記タイミングセンサは、前記複数のセンサ要素の受光面に照射される前記発光部からの照明光の光量の差を小さくするように、前記受光面における受光範囲を制限するスリットを含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項1に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記信号生成部は、前記複数のセンサ要素の受光面における照明光プロファイルに応じた異なる閾値を使用する、極端紫外光生成装置。 - 請求項1に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記発光部は、断面プロファイルが前記第2の方向において長くなるように照明光を整形する光学系を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項1に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記ターゲットセンサは、断面プロファイルが前記第1方向よりも前記第2の方向において長い照明光の像を前記複数のセンサ要素の受光面に転写する光学系を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項2に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記ターゲットセンサは、前記複数のセンサ要素と前記複数のコンパレータとの間に挿入されたラインフィルタを含む、極端紫外光生成装置。 - レーザ装置から出力されたパルスレーザ光をターゲットに照射することによって、プラズマを生成し、極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、
ターゲットを供給するターゲット供給部と、
前記ターゲット供給部から供給され、所定領域を通過するターゲットを検出するタイミングセンサと、
前記タイミングセンサからの、前記ターゲットの検出を示す信号に応じて前記レーザ装置を制御する制御部と、を含み、
前記タイミングセンサは、
前記所定領域に照明光を照射する発光部と、
前記発光部からの照明光を受光するターゲットセンサと、を含み、
前記ターゲットセンサは、
それぞれが、受光面での受光量に応じて変化するセンサ信号を出力する複数のセンサ要素と、
前記複数のセンサ要素それぞれからのセンサ信号を処理する信号生成部と、を含み、
前記複数のセンサ要素の受光面は、前記ターゲットの前記照明光による像が移動する第1方向と異なる第2方向において異なる位置に配置され、
前記信号生成部は、前記複数のセンサ要素のそれぞれからのセンサ信号と閾値とを比較し、前記複数のセンサ要素の少なくとも一つからのセンサ信号が閾値を超えた場合に、前記ターゲットの検出を示す信号を前記制御部に出力し、
前記発光部は、断面プロファイルが前記第1方向よりも前記第2の方向において長くなるように照明光を整形する光学系を含み、
前記ターゲットセンサは、断面プロファイルが前記第1方向よりも前記第2の方向において長い照明光の像を前記複数のセンサ要素の受光面にわたって転写する光学系を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項13に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記信号生成部は、
それぞれに、前記複数のセンサ要素それぞれからのセンサ信号が入力される複数のコンパレータと、
前記複数のコンパレータのそれぞれに閾値を供給する閾値生成部と、
前記複数のコンパレータの出力が入力されるOR回路と、を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項13に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記複数のセンサ要素は第1センサ要素アレイを構成し、
前記ターゲットセンサは、第2センサ要素アレイを構成する複数のセンサ要素をさらに含み、
前記第1センサ要素アレイの受光面は、前記第2方向において一列に連結され、
前記第2センサ要素アレイの受光面は、前記第2方向において一列に連結され、かつ、前記第1センサ要素アレイの受光面と前記第1方向において異なる位置に配置され、
前記第1センサ要素アレイの受光面連結部と、前記第2センサ要素アレイの受光面連結部とは、前記第2方向において異なる位置にあり、
前記信号生成部は、前記第1センサ要素アレイ及び前記第2センサ要素アレイの各センサ要素のセンサ信号と閾値とを比較し、少なくとも一つのセンサ要素からのセンサ信号が閾値を超えた場合に、前記ターゲットの検出を示す信号を前記制御部に出力する、極端紫外光生成装置。 - 請求項15に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記信号生成部は、前記第1センサ要素アレイと前記第2センサ要素アレイとによる同一ターゲットの検出タイミングの相違を調整する遅延回路を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項15に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記タイミングセンサは、前記発光部からの照明光を分岐して、前記第1センサ要素アレイ及び前記第2センサ要素アレイのそれぞれに照射する光学系を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項17に記載の極端紫外光生成装置であって、
分岐された前記照明光の一方の前記第1センサ要素アレイまでの光路長と、分岐された前記照明光の他方の前記第2センサ要素アレイまでの光路長とは実質的に同一である、極端紫外光生成装置。 - 請求項13に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記ターゲットセンサは、前記発光部からの照明光を分岐して、前記複数のセンサ要素の受光面において前記第2方向において異なる位置に照射する光学系を含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項13に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記複数のセンサ要素は、前記発光部からの照明光における前記ターゲットの影の像を検出し、
前記タイミングセンサは、前記複数のセンサ要素の受光面に照射される前記発光部からの照明光の光量の差を小さくするように、前記受光面における受光範囲を制限するスリットを含む、極端紫外光生成装置。 - 請求項14に記載の極端紫外光生成装置であって、
前記ターゲットセンサは、前記複数のセンサ要素と前記複数のコンパレータとの間に挿入されたラインフィルタを含む、極端紫外光生成装置。
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WO2018203370A1 (ja) * | 2017-05-01 | 2018-11-08 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法 |
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07103799A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-04-18 | Boehringer Mannheim Gmbh | 液体の計量方法および装置 |
JP2003114104A (ja) * | 2001-10-03 | 2003-04-18 | Canon Inc | 飛翔物体位置測定方法及び装置 |
JP2004303725A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Xtreme Technologies Gmbh | プラズマの放射発散を安定化するための装置 |
JP2005310453A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Canon Inc | 光源装置、当該光源装置を有する露光装置 |
JP2006128157A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム |
JP2011003887A (ja) * | 2009-05-21 | 2011-01-06 | Gigaphoton Inc | チャンバ装置におけるターゲット軌道を計測及び制御する装置及び方法 |
WO2013161760A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステム及び極端紫外光生成システム |
WO2014006193A1 (en) * | 2012-07-06 | 2014-01-09 | ETH Zürich | Method for controlling an interaction between droplet targets and a laser and apparatus for conducting said method |
WO2014042003A1 (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-20 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成方法及び極端紫外光生成装置 |
JP2014086523A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Gigaphoton Inc | 極端紫外光生成装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7372056B2 (en) | 2005-06-29 | 2008-05-13 | Cymer, Inc. | LPP EUV plasma source material target delivery system |
US8653437B2 (en) | 2010-10-04 | 2014-02-18 | Cymer, Llc | EUV light source with subsystem(s) for maintaining LPP drive laser output during EUV non-output periods |
DE10339495B4 (de) | 2002-10-08 | 2007-10-04 | Xtreme Technologies Gmbh | Anordnung zur optischen Detektion eines bewegten Targetstromes für eine gepulste energiestrahlgepumpte Strahlungserzeugung |
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07103799A (ja) * | 1993-09-08 | 1995-04-18 | Boehringer Mannheim Gmbh | 液体の計量方法および装置 |
JP2003114104A (ja) * | 2001-10-03 | 2003-04-18 | Canon Inc | 飛翔物体位置測定方法及び装置 |
JP2004303725A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Xtreme Technologies Gmbh | プラズマの放射発散を安定化するための装置 |
JP2005310453A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Canon Inc | 光源装置、当該光源装置を有する露光装置 |
JP2006128157A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム |
JP2011003887A (ja) * | 2009-05-21 | 2011-01-06 | Gigaphoton Inc | チャンバ装置におけるターゲット軌道を計測及び制御する装置及び方法 |
WO2013161760A1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステム及び極端紫外光生成システム |
WO2014006193A1 (en) * | 2012-07-06 | 2014-01-09 | ETH Zürich | Method for controlling an interaction between droplet targets and a laser and apparatus for conducting said method |
WO2014042003A1 (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-20 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成方法及び極端紫外光生成装置 |
JP2014086523A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Gigaphoton Inc | 極端紫外光生成装置 |
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