JPWO2016009626A1 - 膜厚制御装置、膜厚制御方法および成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上記レート算出部は、上記振動子の発振周波数に基づいて、単位時間毎のレート換算値を算出するように構成される。
上記第1のフィルタ部は、上記レート算出部から出力されるレート換算値から異常値を除去するように構成される。
上記第2のフィルタ部は、上記第1のフィルタ部から出力されるレート換算値を平滑化するように構成される。
これにより、レート算出部から出力されるレート換算値に比較的大きな変動がある場合においても、第1のフィルタ部に入力される当該レート換算値の平滑化が可能となるため、測定精度の低下を抑制することができる。
算出されたレート換算値から異常値が除去される。
異常値が除去されたレート換算値は平滑化される。
このように、レート換算値の平滑化処理の前に、レート換算値から異常値を除去することで、異常値を原因とする成膜レートの測定精度の低下を抑制することができる。
上記蒸着源は、上記真空チャンバの内部に配置される。
上記膜厚センサは、上記真空チャンバの内部に配置され、所定の共振周波数で発振する振動子を有する。
上記膜厚モニタは、レート算出部と、第1のフィルタ部と、第2のフィルタ部と、出力部とを有する。上記レート算出部は、上記振動子の発振周波数に基づいて単位時間毎のレート換算値を算出するように構成される。上記第1のフィルタ部は、上記レート算出部から出力されるレート換算値から異常値を除去するように構成される。上記第2のフィルタ部は、上記第1のフィルタ部から出力されるレート換算値を平滑化するように構成される。上記出力部は、上記第2のフィルタ部から出力されるレート換算値に基づいて上記蒸着源を制御するための制御信号を生成するように構成される。
[成膜装置]
図1は、本発明の一実施形態に係る成膜装置を示す概略断面図である。本実施形態の成膜装置は、真空蒸着装置として構成される。
続いて、測定ユニット17について説明する。
図2は、測定ユニット17の一構成例を示す概略ブロック図である。測定ユニット17は、発振回路41と、測定回路42と、コントローラ43とを有する。
ところで一般に、膜厚センサを用いて測定された成膜レートをもとに蒸着源における蒸着材料の加熱温度を制御する場合、蒸着材料のスプラッシュやノイズなどの外乱の影響を受けることで膜厚センサの出力が瞬間的に大きく変動し、蒸着源に対する安定したフィードバック制御ができない場合がある。その解決方法として、膜厚センサの出力を平滑化処理することで、異常値の影響を抑える方法が知られている。
図7A,Bは、サンプル数が奇数個の場合における中央値の算出方法を説明する図である。ここでは理解を容易にするため、サンプル数は5個とした。時系列的に取得したデータが図7Aに示す値であった場合、これらを図7Bに示すように値が小さい順に並べ替える。この場合の中央値は、「順位3」の「4」となる。
一方、図8A,Bは、サンプル数が偶数個の場合における中央値の算出方法を説明する図である。ここでは理解を容易にするため、サンプル数は6個とした。時系列的に取得したデータが図8Aに示す値であった場合、これらを図8Bに示すように値が小さい順に並べ替える。この場合の中央値は、「順位3」の「3」および「順位4」の「4」についての算術平均値である「3.5」となる。
コントローラ43は、まず、測定回路42において測定された振動子20の発振周波数を取得し、レート算出部431で単位時間毎のレート換算値を算出する(ステップ201)。コントローラ43は、中央値演算部432において、レート算出部431から出力されたレート換算値から中央値を抽出することで、異常値を除去する(ステップ202)。続いてコントローラ43は、平滑化処理部433において、中央値演算部432から出力されたレート換算値を平滑化処理する(ステップ203)。そしてコントローラ43は、出力部434において、平滑化されたレート換算値をもとに上記所定の信号を生成し、対応する機器(モニタ、記録装置、蒸着源12など)へ出力する。
図3に示した異常値を含む測定値の実データを、本実施形態のフィルタによって処理した後のデータを図10に示す。
例えば、ステップ応答に対して(a)20点の移動平均と(b)10点の中央値演算および10点の移動平均とを比較した場合、(a)では20点の遅れ、(b)では15点の遅れとなり、同一点数で比較すると、図11に示すように本実施形態の中央値演算を含むフィルタを使用した方が遅れ時間を短くすることができる。
例えば、図11に示すように中央値演算の場合は、移動平均演算の場合に比べて、立ち上がりが遅いものの追従性が高いという特性を有する。また、蒸着材料がアルミニウム等の昇華性が高い材料の場合、レートの安定性が比較的高いためフィルタ時間は長めに設定されても大きな問題にならないことが多い。このような観点から、中央値演算の点数を移動平均演算の点数よりも多くして、レートの測定精度の向上を図るようにしてもよい。
比較例における移動平均演算の点数は40点、本実施形態における中央値演算および移動平均演算の点数はそれぞれ20点とした。
本実施形態によれば、比較例よりも、測定開始時のレートのバラツキを小さく抑えることができる。また本実施形態によれば、レートの変動幅を小さくすることができるとともに、レートが瞬間的に大きく変動したときの変動時間を短くすることができる。したがって本実施形態によれば、比較例よりも成膜レートの測定精度が高まり、蒸着源12への安定したフィードバック制御を実現することが可能となる。
図15は、本発明の他の実施形態におけるコントローラ43の処理手順を示すフローチャートである。
以下、第1の実施形態と異なる構成について主に説明し、上述の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。
なお、中央値演算部432から出力されるレート換算値は、上述と同様に、平滑化処理部433において平滑化処理され、得られた測定データが出力部434を介して外部の機器へ出力される(図6、ステップ304,305)。
例えば、上記第3のフィルタ部における平滑化処理に使用されるサンプル数は、中央値演算に使用されるサンプル数の1/2倍以下に設定される。これにより、遅延時間の増加を抑制しつつ、高精度なレート測定を確保することが可能となる。
11…真空チャンバ
12…蒸着源
14…膜厚センサ
17…測定ユニット
18…電源ユニット
20…振動子
41…発振回路
42…測定回路
43…コントローラ
431…レート算出部
432…中央値演算部
433…平滑化処理部
434…出力部
W…基板
Claims (7)
- 蒸着源を有する成膜装置に設置された振動子の発振周波数に基づいて成膜レートを測定し、測定された前記成膜レートに基づいて前記蒸着源を制御する膜厚制御装置であって、
前記振動子の発振周波数に基づいて、単位時間毎のレート換算値を算出するレート算出部と、
前記レート算出部から出力されるレート換算値から異常値を除去する第1のフィルタ部と、
前記第1のフィルタ部から出力されるレート換算値を平滑化する第2のフィルタ部と
を具備する膜厚制御装置。 - 請求項1に記載の膜厚制御装置であって、
前記第1のフィルタ部は、中央値演算フィルタで構成される
膜厚制御装置。 - 請求項1または2に記載の膜厚制御装置であって、
前記第2のフィルタ部は、移動平均フィルタで構成される
膜厚制御装置。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の膜厚制御装置であって、
前記レート算出部から出力される前記レート換算値を平滑化し、平滑化したレート換算値を前記第1のフィルタ部へ出力する第3のフィルタ部をさらに具備する
膜厚制御装置。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の膜厚制御装置であって、
前記第3のフィルタ部は、移動平均フィルタで構成される
膜厚制御装置。 - 蒸着源を有する成膜装置に設置された振動子の発振周波数に基づいて成膜レートを測定し、測定された前記成膜レートに基づいて前記蒸着源を制御する膜厚制御方法であって、
前記振動子の発振周波数に基づいて、単位時間毎のレート換算値を算出し、
算出されたレート換算値から異常値を除去し、
異常値が除去されたレート換算値を平滑化する
膜厚制御方法。 - 真空チャンバと、
前記真空チャンバの内部に配置された蒸着源と、
前記真空チャンバの内部に配置され、所定の共振周波数で発振する振動子を有する膜厚センサと、
前記振動子の発振周波数に基づいて単位時間毎のレート換算値を算出するレート算出部と、前記レート算出部から出力されるレート換算値から異常値を除去する第1のフィルタ部と、前記第1のフィルタ部から出力されるレート換算値を平滑化する第2のフィルタ部と、前記第2のフィルタ部から出力されるレート換算値に基づいて前記蒸着源を制御するための制御信号を生成する出力部と、を有する膜厚モニタと
を具備する成膜装置。
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