JPWO2015189878A1 - 太陽電池及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
受光面および裏面を有する一導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の裏面に配置され、櫛形状を有する真性の第1の非晶質系半導体層と、
前記第1の非晶質系半導体層上に配置され、前記半導体基板の導電型と異なる導電型を示す不純物を含む第2の非晶質系半導体層と、
前記第2の非晶質系半導体層上の一面全体に配置された第1の電極と、
前記半導体基板の裏面に配置され、前記第1の非晶質系半導体層と噛み合う櫛形状となり、一部が平面視において前記第1の電極に重なる真性の第3の非晶質系半導体層と、
前記第3の非晶質系半導体層上に配置され、前記半導体基板の導電型と同じ導電型を示す不純物を含む第4の非晶質系半導体層と、
前記第4の非晶質系半導体層上に配置された第2の電極と、を備えている。
受光面を有する一導電型の半導体基板における裏面に、真性の第1の非晶質系半導体層を形成する工程と、
前記第1の非晶質系半導体層上に、前記半導体基板の導電型と異なる導電型を示す不純物を含む第2の非晶質系半導体層を形成する工程と、
前記第2の非晶質系半導体層上に、第1の電極を形成する工程と、
前記第1の非晶質系半導体層、前記第2の非晶質系半導体層及び前記第1の電極を、前記半導体基板の裏面において櫛形状にエッチングする工程と、
前記第1の電極が設けられた前記半導体基板の裏面に、前記エッチングにより露出した前記半導体基板の部分を含んで真性の第3の非晶質系半導体層を形成する工程と、
前記第3の非晶質系半導体層上に前記半導体基板の導電型と同じ導電型を示す不純物を含む第4の非晶質系半導体層を形成する工程と、
前記第3の非晶質系半導体層及び前記第4の非晶質系半導体層を、前記第1の電極と噛み合い、前記第3の非晶質系半導体層の一部が前記第1の電極に平面視において重なる櫛形状にエッチングする工程と、
前記第4の非晶質系半導体層上に第2の電極を形成する工程と、を備えている。
図1は、太陽電池の第1の実施形態を示している。図2は、太陽電池の第1の実施形態の裏面の一部を示している。裏面の一部としたのは、櫛形状の一部が示されているからである。実際には櫛形状は、櫛歯の数がもっと多くてもよい。図1では、平面視を行う基板に垂直な方向Sを矢印で示している。図1では、光が進行する方向Pを白抜き矢印で示している。この太陽電池は、裏面電極型ヘテロ接合構造を有する太陽電池である。
図3は、太陽電池の第2の実施形態を示している。図4は、太陽電池の第2の実施形態の裏面の一部を示している。裏面の一部としたのは、櫛形状の一部が示されているからである。実際には櫛形状は、櫛歯の数がもっと多くてもよい。図3では、平面視を行う基板に垂直な方向Sを矢印で示している。図4では、光が進行する方向Pを白抜き矢印で示している。図4では、第1の電極11の縁部11aが二点鎖線で示されている。図4では、絶縁体層9が配置された領域を斜線で示している。図4では、絶縁体層9の第2の電極12に近い方の縁部を破線で示している。第2の実施形態では、第1の実施形態と同様の構成については同じ符号を付して説明を省略する。
以下、太陽電池の製造方法について説明する。
第1の非晶質系半導体層1を形成する工程;
第2の非晶質系半導体層2を形成する工程;
第1の電極11を形成する工程;
第1の非晶質系半導体層1、第2の非晶質系半導体層2及び第1の電極11を櫛形状にエッチングする工程;
第3の非晶質系半導体層3を形成する工程;
第4の非晶質系半導体層4を形成する工程;
第3の非晶質系半導体層3及び第4の非晶質系半導体層4を櫛形状にエッチングする工程;
第2の電極12を形成する工程。
第1の実施形態の太陽電池について、第1の電極11と第2の電極12との間の距離が太陽電池の特性に及ぼす影響を計算機のシミュレーションにより調べた。半導体基板10は、n型単結晶シリコン基板とした。非晶質系半導体層(第1〜第4及び主面上)は、全て非晶質シリコン層とした。第1の非晶質系半導体層1及び第3の非晶質系半導体層3(i型非晶質シリコン層)は、その厚みを5nmとし、電子濃度を1×1015cm−3とした。第2の非晶質系半導体層2(p型非晶質シリコン層)は、その厚みを5nmとし、櫛歯の幅を1.5mmとし、キャリア濃度を5×1018cm−3とした。第4の非晶質系半導体層4(n型非晶質シリコン層)は、その厚みを5nmとし、キャリア濃度を8×1018cm−3とした。受光面の非晶質系半導体層7(i型非晶質シリコン層)は、その厚みを5nmとし、電子濃度を1×1015cm−3とした。
第2の実施形態の太陽電池について、絶縁体層9の挿入が太陽電池の特性に及ぼす影響を計算機のシミュレーションにより調べた。計算のパラメータと手法は実施例1と同様とした。半導体基板10と絶縁体層9との界面の表面再結合速度は10cm/sとした。
日本国特許公開2013−168605号は太陽電池を開示する。しかし、この太陽電池では、p型電極はp型の非晶質シリコン層の一部にしか形成されていない。そのため、半導体基板中の少数キャリアである正孔を効率よく外部に取り出すことができない。日本国特許公開2013−131586号も同様である。一方、本開示の太陽電池では、p型電極がp型の非晶質系半導体層(非晶質シリコン層)の一面全体に形成され得るため、半導体基板中の少数キャリアである正孔を効率よく外部に取り出すことができ、効率が向上する。
Claims (6)
- 受光面および裏面を有する一導電型の半導体基板と、
前記半導体基板の裏面に配置され、櫛形状を有する真性の第1の非晶質系半導体層と、
前記第1の非晶質系半導体層上に配置され、前記半導体基板の導電型と異なる導電型を示す不純物を含む第2の非晶質系半導体層と、
前記第2の非晶質系半導体層上の一面全体に配置された第1の電極と、
前記半導体基板の裏面に配置され、前記第1の非晶質系半導体層と噛み合う櫛形状となり、一部が平面視において前記第1の電極に重なる真性の第3の非晶質系半導体層と、
前記第3の非晶質系半導体層上に配置され、前記半導体基板の導電型と同じ導電型を示す不純物を含む第4の非晶質系半導体層と、
前記第4の非晶質系半導体層上に配置された第2の電極と、を備えた、太陽電池。 - 前記第1の電極と前記第2の電極とは、平面視において離間し、
前記第1の電極と前記第2の電極との間の距離は、10μm以上100μm以下である、請求項1に記載の太陽電池。 - 前記第1の電極と前記第3の非晶質系半導体層との間に配置された絶縁体層をさらに備えた、請求項1に記載の太陽電池。
- 受光面を有する一導電型の半導体基板における裏面に、真性の第1の非晶質系半導体層を形成する工程と、
前記第1の非晶質系半導体層上に、前記半導体基板の導電型と異なる導電型を示す不純物を含む第2の非晶質系半導体層を形成する工程と、
前記第2の非晶質系半導体層上に、第1の電極を形成する工程と、
前記第1の非晶質系半導体層、前記第2の非晶質系半導体層及び前記第1の電極を、前記半導体基板の裏面において櫛形状にエッチングする工程と、
前記第1の電極が設けられた前記半導体基板の裏面に、前記エッチングにより露出した前記半導体基板の部分を含んで真性の第3の非晶質系半導体層を形成する工程と、
前記第3の非晶質系半導体層上に前記半導体基板の導電型と同じ導電型を示す不純物を含む第4の非晶質系半導体層を形成する工程と、
前記第3の非晶質系半導体層及び前記第4の非晶質系半導体層を、前記第1の電極と噛み合い、前記第3の非晶質系半導体層の一部が前記第1の電極に平面視において重なる櫛形状にエッチングする工程と、
前記第4の非晶質系半導体層上に第2の電極を形成する工程と、を備えた、太陽電池の製造方法。 - 櫛形状にエッチングされた前記第1の電極と、前記第1の電極がエッチングされて露出した前記半導体基板の裏面との境界部を跨ぐように絶縁体層を形成する工程をさらに備えた、請求項4に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第1の非晶質系半導体層、前記第2の非晶質系半導体層及び前記第1の電極をエッチングする工程は、エッチングマスクを印刷法で形成することを含む、請求項4又は5に記載の太陽電池の製造方法。
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