JPWO2015118775A1

JPWO2015118775A1 - ガス注入装置及び補助部材

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Publication number: JPWO2015118775A1
Application number: JP2015561175A
Authority: JP
Inventors: 村田　正直; 正直村田; 山路　孝; 孝山路
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2014-02-07
Filing date: 2014-12-12
Publication date: 2017-03-23
Anticipated expiration: 2034-12-12
Also published as: TW201537659A; TWI611492B; CN105960704A; US20160307785A1; US10014200B2; WO2015118775A1; CN105960704B; JP6098737B2

Abstract

ガス注入装置（１）は、第１の容器（ＦＯＵＰ（１０Ａ））又は第２の容器が載置される載置部（２）と、載置部（２）に配置され、パージガスを吐出する吐出部（５）と、吐出部（５）の周縁を囲むように載置部（２）から突出して設けられる封止部（７）と、を備えている。吐出部（５）は、第２の容器の注入口に対してパージガスを注入する状態において当該注入口に非接触とされており、封止部（７）は、ＦＯＵＰ（１０Ａ）の注入口（１５Ａ）にパージガスを注入する状態において吐出部（５）と注入口（１５Ａ）との接触を妨げない。

Description

本発明は、ガス注入装置に関し、例えば、半導体ウェハー等を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−ＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）等の容器に対してガスを注入するガス注入装置に関する。

従来、気密容器の底部に設けられたガス注入口を介して、気密容器の内部にガスを注入するガス注入装置が知られている。例えば、特許文献１には、気密容器であるポッドの底部に形成された注入口に対して、ポッドを支持する支持面に設けられたインターフェース・シールからガスが注入されるシステムが示されている。

特表２００２−５１０１５０号公報

しかしながら、特許文献１に示されたシステムでは、インターフェース・シールを構成するグロメットが、ポッドにおいて注入口の取り付けられているウェルの形状に整合する大きさとなっている。よって、ポッドの底部に形成されるウェルの径がグロメットと整合しない場合には、当該システムを使用することが困難である。そのため、ウェルの径が異なる複数種類のポッドに対して当該システムを用いたときには、いずれかのウェルの径に対してグロメットが適合せず、適切にガスの注入を行うことができない虞がある。

本発明は、複数種類の容器において容器毎に径の異なる注入口を有する場合であっても、各種容器に対してガスを注入することができるガス注入装置を提供することを目的とする。

本発明の一側面に係るガス注入装置は、第１の容器に設けられた第１の注入口、又は、第２の容器に設けられ且つ第１の注入口よりも大きな径を有する第２の注入口にパージガスを注入するガス注入装置であって、第１の容器又は第２の容器が載置される載置部と、載置部に配置され、パージガスを吐出する吐出部と、第２の注入口に対してパージガスを注入する状態において、吐出部の周縁を囲むように載置部から突出して設けられる封止部と、を備え、吐出部は、第１の注入口に対してパージガスを注入する状態において第１の注入口に接触して当該第１の注入口を封止すると共に、第２の注入口に対してパージガスを注入する状態において第２の注入口に非接触とされており、封止部は、第２の注入口にパージガスを注入する状態において第２の注入口又は当該第２の注入口の周縁部に接触して第２の注入口を載置部との協働により封止すると共に、第１の注入口にパージガスを注入する状態において吐出部と第１の注入口との接触を妨げない。

このガス注入装置は、パージガスを吐出する吐出部と、第２の容器にパージガスを注入する際に吐出部の周縁を囲むように載置部から突出して設けられる封止部とを備えている。吐出部は、第１の注入口に対してパージガスを注入する状態において第１の注入口に接触して第１の注入口を封止する。これにより、ガス注入装置では、第１の容器に対して第１の注入口からパージガスを注入することができる。また、第２の注入口に対してパージガスを注入する状態において、吐出部は、第２の注入口に非接触とされている。このとき、吐出部の周縁を囲むように載置部から突出して設けられる封止部は、第２の注入口又は第２の注入口の周縁部に接触して第２の注入口を載置部との協働で封止する。これにより、ガス注入装置では、吐出部、載置部、封止部及び第２の注入口により画成される空間が気密に保たれるため、吐出部から吐出されたガスを第２の注入口に対して注入することができる。また、封止部は、第１の注入口にパージガスを注入する状態において吐出部と第１の注入口との接触を妨げない構成とされている。これにより、第１の注入口に対してパージガスの注入を吐出部により支障なく行うことができる。以上の構成により、ガス注入装置では、容器毎に径の異なる注入口を有する場合であっても、各種容器に対してパージガスを注入することができる。

一実施形態においては、封止部は、弾性体によって構成されてもよい。これにより、封止部は容易に変形可能となる。そのため、第１の注入口に対してガスの注入を行う場合、封止部が変形することで、吐出部と第１の注入口との接触が妨げられることがない。

一実施形態においては、封止部は、膜状の弾性体によって構成され、第２の注入口にパージガスが注入される状態において内側に向かって傾倒してその先端部が第２の注入口内に位置し、第２の注入口に接触してもよい。これによれば、第２の注入口にパージガスを注入する状態において、吐出部、載置部、封止部及び第２の注入口により画成される空間のガスの圧力によって、封止部が第２の注入口と密着しやすくなるため、ガスの漏れを抑制することができる。

また、本発明の一側面に係る補助部材は、パージガスが注入される注入口を有する容器が載置される載置部と、載置部に設けられ且つパージガスを吐出する吐出部と、を備えたガス注入装置に設けられ、パージガスの注入を補助する補助部材であって、環状を呈し、吐出部の周縁を囲むように取り付けられる基部と、基部から延設される側壁部と、を備え、壁部は、内側に向かって傾倒するテーパー形状を呈している。

この補助部材では、吐出部の周縁を囲む基部から側壁部が延設されているため、補助部材が吐出部の周縁を囲むように載置部から突出して設けられることになる。これにより、吐出部よりも径の大きな注入口に対してパージガスを注入する場合に、補助部材によって注入口を封止することができる。また、補助部材の側壁部がテーパー状に形成されているため、補助部材の内側を流れるガスの圧力によって、補助部材が注入口と密着しやすくなり、ガスの漏れを抑制することができる。

本発明によれば、複数種類の容器において容器毎に径の異なる注入口を有する場合であっても、各種容器に対してパージガスを注入することができるガス注入装置を提供することができる。

図１（ａ）は、ＦＯＵＰを示す斜視図であり、図１（ｂ）は、（ａ）のＦＯＵＰの底面図であり、図１（ｃ）は、（ｂ）と底部の形状が異なるＦＯＵＰの底面図である。図２は、一実施形態に係るガス注入装置を示す斜視図である。図３は、図２のガス注入装置におけるガス注入部の部分拡大断面図である。図４は、ガス注入装置とＦＯＵＰとの関係を示す部分拡大断面図である。図５は、ガス注入装置とＦＯＵＰとの関係を示す部分拡大断面図である。図６（ａ）〜図６（ｃ）は、他の実施形態に係るガス注入装置とＦＯＵＰとの関係を示す部分拡大断面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態について詳細に説明する。便宜上、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。なお、本発明は、容器内にガスを注入するためのガス注入装置に広く適用可能であるが、ここでは、ガスの注入口の径が異なる２種類のＦＯＵＰに対してガスの注入を行うガス注入装置に対して本発明を適用した場合の一例について説明する。

まず、本実施形態に係るガス注入装置１（図２参照）によってパージガスの注入が行われるＦＯＵＰについて説明する。図１（ａ）は、ＦＯＵＰ１０Ａ（第１の容器）を示す斜視図である。図１（ａ）に示されるように、ＦＯＵＰ１０Ａは、開口部１１Ａが前面（一側面）側に形成された容器本体１２Ａと、この容器本体１２Ａの開口部１１Ａに装着される蓋体１３Ａと、を備えている。容器本体１２Ａの内側には図示しないウェハー保持手段が設けられており、ＦＯＵＰ１０Ａ内にウェハーを収容できるようになっている。また、開口部１１Ａに蓋体１３Ａが装着されることで、ＦＯＵＰ１０Ａ内が気密に保持されるようになっている。

図１（ｂ）は、ＦＯＵＰ１０Ａにおける容器本体１２Ａの底面図である。図１（ｂ）に示されるように、容器本体１２Ａの底部１４Ａには、ＦＯＵＰ１０Ａ内へのパージガスの給気を行うための注入口（第１の注入口）１５Ａと、ＦＯＵＰ１０Ａ内のガパージガスを排出するための排出口１６Ａと、容器本体１２Ａをガス注入装置１に載置する際の位置決めに利用される位置決め部１７Ａと、が形成されている。

注入口１５Ａは、容器本体１２Ａの底部１４Ａにおいて、後方側（開口部１１Ａと反対側）の左右の隅部にそれぞれ１か所ずつ形成されている。排出口１６Ａは、容器本体１２Ａの底部１４Ａにおいて、前方側（開口部側）の左右の隅部にそれぞれ１か所ずつ形成されている。また、位置決め部１７Ａは、前方側の２か所と、後方側の１か所とに形成されている。ここで、ＦＯＵＰ１０Ａにおける注入口１５Ａは、例えば、所定の力によって押圧されることで開状態となるチェック弁によって構成されている。

図１（ｃ）は、ＦＯＵＰ１０Ａと構成の異なるＦＯＵＰ１０Ｂ（第２の容器）における容器本体１２Ｂの底面図である。ＦＯＵＰ１０Ｂは、底部１４Ｂにおける注入口１５Ｂ及び排出口１６Ｂの構成がＦＯＵＰ１０Ａと異なるものである。図１（ｃ）に示されるように、ＦＯＵＰ１０Ｂの容器本体１２Ｂの底部１４Ｂには、注入口（第２の注入口）１５Ｂと、排出口１６Ｂと、位置決め部１７Ｂと、が形成されている。

注入口１５Ｂは、容器本体１２Ｂの底部１４Ｂにおいて、後方側（開口部１１Ｂと反対側）の左右の隅部に形成されている。排出口１６Ｂは、容器本体１２Ｂの底部１４Ｂにおいて、前方側（開口部側）の左右の隅部に形成されている。また、位置決め部１７Ｂは、ＦＯＵＰ１０Ａと同様に、前方側の２か所と、後方側の１か所に形成されている。ここで、ＦＯＵＰ１０Ｂにおける注入口１５Ｂは、例えば、所定の圧力によってパージガスが供給されると開状態となるチェック弁によって構成されている。

ＦＯＵＰ１０Ｂの注入口１５Ｂ及び排出口１６Ｂの径は、ＦＯＵＰ１０Ａの注入口１５Ａ及び排出口１６Ａの径より大きく形成されている。本実施形態では、例えば、ＦＯＵＰ１０Ａの注入口１５Ａ及び排出口１６Ａの径は約２５ｍｍである。ＦＯＵＰ１０Ｂの注入口１５Ｂ及び排出口１６Ｂの径は、例えば、約５０ｍｍである。ここで、ＦＯＵＰ１０Ａ及びＦＯＵＰ１０Ｂは、例えば同一の規格に基づいて設計されている。そのため、ＦＯＵＰ１０Ａ及びＦＯＵＰ１０Ｂを位置決め部１７Ａ，１７Ｂによって、所定の位置に載置した場合、ＦＯＵＰ１０Ａにおける注入口１５Ａ及び排出口１６Ａの中心位置と、ＦＯＵＰ１０Ｂにおける対応する注入口１５Ｂ及び排出口１６Ｂの中心位置とは一致する。

次に、このようなＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂに対してパージガスを注入するためのガス注入装置１について説明する。図２は、ガス注入装置１を模式的に示した斜視図である。図２に示すガス注入装置１は、半導体製造ラインにおけるロードポート、パージストッカ、天井バッファ等に適用されるものである。ガス注入装置１は、載置部２（後述）に載置されたＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂの底部１４Ａ，１４Ｂに設けられた注入口１５Ａ，１５Ｂからパージガスを注入する。

図２に示されるように、ガス注入装置１は、ＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂが載置される載置部２と、ＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂにパージガスを注入するガス注入部４と、ＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂから排出されたパージガスを排出するガス排出部６と、を備えている。パージガスは、不活性ガスであり、例えば窒素ガスである。

載置部２は、ＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂが載置される上面（載置面）２ａを有している。載置部２は、例えば、略Ｕ字形状を呈している。載置部２には、ＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂの位置決め部１７Ａ，１７Ｂに対応する位置決めピン３が上面２ａから突設されており、ＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂを所定の位置に載置することができる。載置部２には、所定の位置に載置されたＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂの注入口１５Ａ，１５Ｂ及び排出口１６Ａ，１６Ｂに対応する位置に、ガス注入部４及びガス排出部６がそれぞれ配置されている。

図３は、ガス注入装置１におけるガス注入部４の部分拡大断面図である。図３に示されるように、ガス注入部４は、吐出部５と、封止部７と、を有している。吐出部５は、内側にパージガスが流通する管状部材（ノズル）である。吐出部５には、パージガスを供給するためのガス管等からなるガス供給手段（不図示）が接続されている。吐出部５は、その一端部５ａが載置部２の上面２ａよりも上方側に突出している。

吐出部５の一端部５ａには、その端面からさらに上方側に突出した環状の凸部５ｂが形成されている。本実施形態では、吐出部５の凸部５ｂがＦＯＵＰ１０Ａの注入口１５Ａに接触して、吐出部５と注入口１５Ａとが連通することで、ＦＯＵＰ１０Ａへのパージガスの注入が行われる。吐出部５の周囲には、例えば、図示しないシーリング材が配置されており、これにより、吐出部５と載置部２との間は気密性が確保されている。なお、注入口１５Ａの材質又は硬度等によっては、凸部５ｂと注入口１５Ａとが気密に連通し難い場合がある。この場合には、凸部５ｂの先端側にシーリング材を配置してもよい。

封止部７は、パージガスの注入を補助する部材であり、吐出部５の周縁を囲むように、吐出部５に対して略同心円状に配置されている。封止部７は、吐出部５よりも径の大きな環状を呈する基部７ａと、基部７ａから延設される側壁部７ｂと、を備えている。

基部７ａは、載置部２に形成された環状の溝部２ｂに配置され、溝部２ｂに対して気密に固定されている。封止部７の基部７ａが吐出部５の周縁を囲むように載置部２に配置されることで、載置部２から突出する側壁部７ｂも吐出部５の周縁を囲むように配置されている。側壁部７ｂは、内側に向かって傾倒するテーパー形状を呈しており、先端部７ｃ側に向かって径が徐々に小さくなっている。封止部７は、例えばフッ素ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、ウレタンゴム等の弾性体によって膜状（薄板状）に形成されており、外力の作用によって容易に弾性変形させることができる。本実施形態では、封止部７がＦＯＵＰ１０Ｂの注入口１５Ｂに接触して、吐出部５と注入口１５Ｂとが連通することで、ＦＯＵＰ１０Ｂへのパージガスの注入が行われる。

ガス排出部６は、ＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂそれぞれの排出口１６Ａ，１６Ｂに接触し、排出口１６Ａ，１６Ｂから排出されたパージガスを排出する。ガス排出部６には、排気用の排気管（不図示）が接続されている。

次に、図４及び図５を参照して、ガス注入装置１によりＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂのそれぞれにパージガスを注入する方法について説明する。最初に、ガス注入装置１によってＦＯＵＰ１０Ａにパージガスを注入する場合について説明する。図４は、ガス注入装置１とＦＯＵＰ１０Ａとの関係を示す部分拡大断面図である。図４に示されるように、ＦＯＵＰ１０Ａがガス注入装置１の載置部２に載置されると、ＦＯＵＰ１０Ａの底部１４Ａに接触した封止部７が、ＦＯＵＰ１０Ａに押圧されて押し下げられるように弾性変形する。このように封止部７が載置部２側に退避するため、ＦＯＵＰ１０Ａの注入口１５Ａに吐出部５の凸部５ｂが接触する。そして、チェック弁がパージガスの圧力によって開状態となる。なお、ＦＯＵＰ１０Ａの自重によって、注入口１５Ａが吐出部５に押圧されることで注入口１５Ａのチェック弁が開状態となるものもある。

注入口１５Ａは所定の弾性を備えて形成されているため、注入口１５Ａに吐出部５の凸部５ｂが接触すると、注入口１５Ａと吐出部５との接触面が封止され、吐出部５と注入口１５Ａとが連通する。この状態で、図４に矢印として示されるように、吐出部５からパージガスが吐出されることで、ＦＯＵＰ１０Ａ内にパージガスが注入される。

次に、ガス注入装置１によってＦＯＵＰ１０Ｂにパージガスを注入する場合について説明する。図５は、ガス注入装置とＦＯＵＰ１０Ｂとの関係を示す部分拡大断面図である。図５に示されるように、ＦＯＵＰ１０Ｂがガス注入装置１の載置部２に載置されると、封止部７がＦＯＵＰ１０Ｂの注入口１５Ｂに接触する。そして、封止部７は、注入口１５Ｂによって押圧されることで、内側に向かって傾倒するように弾性変形する。封止部７は、弾性体によって形成されているため、封止部７と注入口１５Ｂとの接触面は気密となっている。

本実施形態では、注入口１５Ｂが凹状に形成されており、封止部７の先端部７ｃは凹状に形成された注入口１５Ｂの内側に位置し、封止部７の外周面が注入口１５Ｂに接触している。ここで、封止部７及び吐出部５は載置部２に対して気密に固定されているため、封止部７と載置部２との協働によって、吐出部５と注入口１５Ｂとが連通するように封止される。このとき、吐出部５は、注入口１５Ｂの内側に離間して配置されおり、注入口１５Ｂに対して非接触となっている。この状態で、吐出部５からパージガスが所定の圧力で吐出されることで、ＦＯＵＰ１０Ｂ内にパージガスが注入される。

パージガスが注入されている状態では、吐出部５、載置部２、封止部７及び注入口１５Ｂにより画成される空間Ｓ内の圧力が高くなっている。これにより、封止部７が膨らむことで、封止部７の外周面が注入口１５Ｂに向かって押圧されるため、封止部７が注入口１５Ｂに対してより強く密着することになり、パージガスの漏れが抑制される。

以上説明したように、本実施形態に係るガス注入装置１は、パージガスを吐出する吐出部５と、ＦＯＵＰ１０Ｂにパージガスを注入する際に吐出部５の周縁を囲むように載置部２から突出して設けられる封止部７と、を備えている。吐出部５は、注入口１５Ａに対してパージガスを注入する状態において注入口１５Ａに接触して注入口１５Ａを封止する。これにより、ガス注入装置１では、ＦＯＵＰ１０Ａに対して注入口１５Ａからパージガスを注入することができる。

また、注入口１５Ｂに対してパージガスを注入する状態において、吐出部５は、注入口１５Ｂに非接触とされている。このとき、吐出部５の周縁を囲むように載置部２から突出して設けられる封止部７は、注入口１５Ｂに接触して注入口１５Ｂを載置部２との協働で封止する。これにより、ガス注入装置１では、吐出部５、載置部２、封止部７及び注入口１５Ｂにより画成される空間Ｓが気密に保たれるため、吐出部５から吐出されたパージガスを注入口１５Ｂに対して注入することができる。

また、封止部７は、注入口１５Ａにパージガスを注入する状態において吐出部５と注入口１５Ａとの接触を妨げない構成とされている。これにより、注入口１５Ａに対してパージガスの注入を吐出部５により支障なく行うことができる。以上の構成により、ガス注入装置１では、容器毎に径の異なる注入口を有する場合であっても、各種容器に対してパージガスを注入することができる。

また、封止部７は、弾性体によって構成されているため、容易に変形可能となっている。そのため、注入口１５Ａに対してパージガスの注入を行う場合、封止部７が変形することで、吐出部５と注入口１５Ａとの接触が妨げられることがない。

また、封止部７は、膜状の弾性体によって構成され、注入口１５Ｂにパージガスが注入される状態において内側に向かって傾倒してその先端部７ｃが注入口１５Ｂ内に位置し、注入口１５Ｂに接触している。そのため、注入口１５Ｂにパージガスを注入する状態において、吐出部５、載置部２、封止部７及び注入口１５Ｂにより画成される空間Ｓ内のガスの圧力によって、封止部７が注入口１５Ｂ側に押し付けられて、注入口１５Ｂと密着しやすくなるため、ガスの漏れを抑制することができる。

また、封止部（補助部材）７では、吐出部５の周縁を囲む基部７ａから側壁部７ｂが延設されているため、封止部７が吐出部５の周縁を囲むように載置部２から突出して設けられることになる。これにより、吐出部５よりも径の大きな注入口１５Ｂに対してパージガスを注入する場合に、封止部７によって注入口１５Ｂを封止することができる。また、封止部７の側壁部７ｂがテーパー状に形成されているため、封止部７の内側を流れるガスの圧力によって、封止部７が注入口１５Ｂと密着しやすくなり、ガスの漏れを抑制することができる。

本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、封止部７の形状として、内側に傾倒するテーパー形状を呈するものを示したがこれに限定されない。図６（ａ）に示されるように、ガス注入部４Ａの封止部２７が弾性体で形成される環状の部材であり、その断面形状が例えば長方形であってもよい。この場合、ＦＯＵＰ１０Ａに対してパージガスを注入するときには、ＦＯＵＰ１０Ａの底部１４Ａによって封止部２７が押圧されることで、封止部２７が弾性変形するため、吐出部５と注入口１５Ａとの接触が妨げられることがない（図６（ｂ）参照）。また、ＦＯＵＰ１０Ｂに対してパージガスを注入するときには、ＦＯＵＰ１０Ｂによって封止部２７が押圧されることで、封止部２７と注入口１５Ｂとが密着するため、吐出部５と注入口１５Ｂとが連通するように封止される（図６（ｃ）参照）。このように、封止部の形状は、特に限定されるものではなく、上記実施形態以外にも、例えば、断面形状が台形、半円形、逆Ｕ字型等であってもよい。

また、封止部７が載置部２に形成された環状の溝部２ｂに嵌合されている例を示したがこれに限定されない。例えば、封止部が平坦な載置部に対して接着等によって固定される構成であってもよい。この場合、封止部を備えていないガス供給装置に対して、別途補助部材を取り付けることで、補助部材が封止部として機能するようにしてもよい。また、封止部がアクチュエータ等によって上下動することで、載置部内に収容できる構成であってもよい。この場合、ＦＯＵＰ１０Ｂにパージガスを注入するときのみ、封止部を突出させることができる。

また、ガスを注入する容器として、注入口１５Ａ，１５Ｂ及び排出口１６Ａ，１６Ｂのみが異なるＦＯＵＰ１０Ａ，１０Ｂを示したが、これに限定されず、その他の部分が異なっていてもよいことは言うまでもない。また、容器としては、ＦＯＵＰ以外にもＳＭＩＦポッド等の様々なものを利用することができる。

また、ＦＯＵＰ１０Ｂが載置部２に載置された際に、封止部７がＦＯＵＰ１０Ｂの注入口１５Ｂに接触する構成を示したが、これに限定されない。封止部７は、ＦＯＵＰ１０Ｂの注入口１５Ｂにパージガスを注入する状態において、載置部２との協働により吐出部５と注入口１５Ｂとが連通するように封止できる構成であればよく、注入口１５Ｂの周縁部に接触してもよく、例えば底部１４Ｂに接触してもよい。

１…ガス注入装置、２…載置部、５…吐出部、７…封止部（補助部材）、７ａ…基部、７ｂ…側壁部、７ｃ…先端部、１０Ａ…ＦＯＵＰ（第１の容器）、１０Ｂ…ＦＯＵＰ（第２の容器）、１５Ａ…注入口（第１の注入口）、１５Ｂ…注入口（第２の注入口）。

Claims

第１の容器に設けられた第１の注入口、又は、第２の容器に設けられ且つ前記第１の注入口よりも大きな径を有する第２の注入口にパージガスを注入するガス注入装置であって、
前記第１の容器又は前記第２の容器が載置される載置部と、
前記載置部に配置され、前記パージガスを吐出する吐出部と、
前記第２の注入口に対して前記パージガスを注入する状態において、前記吐出部の周縁を囲むように前記載置部から突出して設けられる封止部と、を備え、
前記吐出部は、前記第１の注入口に対して前記パージガスを注入する状態において前記第１の注入口に接触して当該第１の注入口を封止すると共に、前記第２の注入口に対して前記パージガスを注入する状態において前記第２の注入口に非接触とされており、
前記封止部は、前記第２の注入口に前記パージガスを注入する状態において前記第２の注入口又は当該第２の注入口の周縁部に接触して当該第２の注入口を前記載置部との協働により封止すると共に、前記第１の注入口に前記パージガスを注入する状態において前記吐出部と前記第１の注入口との接触を妨げないことを特徴とするガス注入装置。
前記封止部は、弾性体によって構成されていることを特徴とする請求項１記載のガス注入装置。
前記封止部は、膜状の弾性体によって構成され、前記第２の注入口に前記パージガスが注入される状態において内側に向かって傾倒してその先端部が前記第２の注入口内に位置し、前記第２の注入口に接触することを特徴とする請求項２記載のガス注入装置。
パージガスが注入される注入口を有する容器が載置される載置部と、当該載置部に設けられ且つ前記パージガスを吐出する吐出部と、を備えたガス注入装置に設けられ、前記パージガスの注入を補助する補助部材であって、
環状を呈し、前記吐出部の周縁を囲むように取り付けられる基部と、
前記基部から延設される側壁部と、を備え、
前記側壁部は、内側に向かって傾倒するテーパー形状を呈していることを特徴とする補助部材。