TWM563656U - 氣嘴組件及晶圓盒承載裝置 - Google Patents

Abstract

一種氣嘴組件包含固定件、連接件及彈性件。固定件具有相互連通的第一開口及第二開口，且其與固定件內部的容置槽相連通。連接件包含有止擋部及連接部，連接件的部份設置於容置槽中，止擋部用以限制連接件僅能相對固定件於軸向移動。連接部具有貫穿的連通孔。彈性件的部份設置於容置槽，彈性件的抵壓部對應抵頂連接件的止擋部，彈性件包含有與連通孔相互連通的穿孔。當晶圓盒固定設置於晶圓盒承載平台時，外露於第一開口的連接部能被晶圓盒抵壓，而使彈性件的對應產生彈性回復力，並據以使連接部緊密地與晶圓盒的氣體輸入結構相互連接。

Description

氣嘴組件及晶圓盒承載裝置

本創作涉及一種氣嘴組件及晶圓盒承載裝置，特別是一種應用於晶圓盒載運裝置的氣嘴組件，及具有氣嘴組件而可對晶圓盒的內部進行氣體交換的晶圓盒承載裝置。

現有的應用於晶圓盒承載裝置的氣嘴，是利用彈性的橡膠或是相關材料一體成型地製成。此種氣嘴在晶圓盒固定設置於承載裝置上時，氣嘴受晶圓盒抵壓後，會向任意方向變形，從而導致晶圓盒與多個氣嘴之間無法有效達到氣密的效果。另外，現有的承載裝置為了使晶圓盒穩固地固定設置於承載裝置上，多會於承載裝置上設置有相關的夾具，然，當夾具使晶圓盒固定設置於承載裝置時，會造成晶圓盒向夾具的一側傾斜，從而導致晶圓盒與多個氣嘴之間存在的無法有效氣密的問題更加嚴重。

緣此，本創作人乃潛心研究並配合學理的運用，而提出一種設計合理且有效改善上述問題的本創作。

本創作的主要目的在於提供一種氣嘴組件及晶圓盒承載裝置，用以改善現有技術中，應用於晶圓盒承載裝置的氣嘴無法與晶圓盒有效達到氣密的效果的問題。

為了實現上述目的，本創作提供一種氣嘴組件，其包含：一固定件、一連接件及一彈性件。固定件包含有一固定部及一延伸部，延伸部由固定部的一側延伸形成，延伸部於相反於固定部的一端形成有一第一開口，固定部於相反於延伸部的一側形成有一 第二開口，第一開口與第二開口彼此相互連通，而固定件於形成第二開口的一端內凹形成有容置槽。連接件包含有一止擋部及一連接部，連接部由止擋部的一側延伸形成，連接部具有一連通孔，連通孔貫穿連接部及止擋部；其中，連接件設置於固定件的容置槽中，且連接部對應外露於第一開口，而止擋部能與形成第一開口的側壁相互抵頂，而限制連接件相對於固定件於一軸向方向移動；其中，連接部用以與一晶圓盒的氣體輸入結構相互連接，而連通孔用以導引氣體通過晶圓盒的氣體輸入結構，以進入晶圓盒的內部。彈性件包含有一底部及一抵壓部，抵壓部由底部的一側延伸形成，抵壓部具有一穿孔，穿孔貫穿抵壓部及底部；其中，彈性件與固定件相互固定，而抵壓部對應位於容置槽中，且抵壓部對應抵頂連接件的止擋部，而穿孔及連通孔相互連通。其中，固定件固定設置於一晶圓盒承載平台時，連接部對應外露於第一開口；當晶圓盒固定設置於晶圓盒承載平台時，連接部能被晶圓盒抵壓，而使抵壓部對應產生一彈性回復力，彈性回復力能作用於連接件，而使連接部緊密地與晶圓盒的氣體輸入結構相互連接。

為了實現上述目的，本創作還提供一種晶圓盒承載裝置，其包含：一平台及多個氣嘴組件。平台用以承載一晶圓盒，多個氣嘴組件設置於平台，多個氣嘴組件與外部氣體交換設備連接，而當晶圓盒設置於平台上時，外部氣體交換設備能通過多個氣嘴組件對晶圓盒的內部進行充氣或是抽氣作業。各個氣嘴組件包含：一固定件、一連接件及一彈性件。固定件包含有一固定部及一延伸部，延伸部由固定部的一側延伸形成，延伸部於相反於固定部的一端形成有一第一開口，固定部於相反於延伸部的一側形成有一第二開口，第一開口與第二開口彼此相互連通，而固定件於形成第二開口的一端內凹形成有容置槽。連接件包含有一止擋部及一連接部，連接部由止擋部的一側延伸形成，連接部具有一連通孔，連通孔貫穿連接部及止擋部；其中，連接件設置於固定件的 容置槽中，且連接部對應外露於第一開口，連接部並對應外露於平台，而止擋部能與形成第一開口的側壁相互抵頂，而限制連接件相對於固定件於一軸向方向移動；其中，連接部用以與設置於平台的晶圓盒的氣體輸入結構相互連接，而連通孔用以導引氣體通過晶圓盒的氣體輸入結構，以進入晶圓盒的內部。彈性件包含有一底部及一抵壓部，抵壓部由底部的一側延伸形成，抵壓部具有一穿孔，穿孔貫穿抵壓部及底部；其中，彈性件與固定件相互固定，而抵壓部對應位於容置槽中，且抵壓部對應抵頂連接件的止擋部，而穿孔及連通孔相互連通。其中，當晶圓盒固定設置於平台時，連接部能被晶圓盒抵壓，而使抵壓部對應產生一彈性回復力，彈性回復力能作用於連接件，而使連接部緊密地與晶圓盒的氣體輸入結構相互連接。

本創作的有益效果可以在於：透過固定件、連接件及彈性件的相互配合，可以限制連接部在受晶圓盒抵壓時，僅可於軸向方向移動，且透過彈性件受壓所對應產生的彈性回復力，可以使連接部更緊密地抵頂晶圓盒，藉此可大幅提升氣密的效果。

為使能更進一步瞭解本創作的特徵及技術內容，請參閱以下有關本創作的詳細說明與附圖，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本創作加以限制者。

A‧‧‧晶圓盒承載裝置

A1‧‧‧平台

1‧‧‧氣嘴組件

10‧‧‧固定件

10a‧‧‧第一開口

10b‧‧‧第二開口

101‧‧‧固定部

102‧‧‧延伸部

1021‧‧‧側壁

103‧‧‧容置槽

104‧‧‧第一定位結構

20‧‧‧連接件

201‧‧‧止擋部

202‧‧‧連接部

2021‧‧‧連通孔

2022‧‧‧環形凹槽

2023‧‧‧定位結構

203‧‧‧第二定位結構

30‧‧‧彈性件

301‧‧‧底部

302‧‧‧抵壓部

3021‧‧‧穿孔

40‧‧‧底座

401‧‧‧氣室

402‧‧‧連通氣道

50‧‧‧環形彈性件

B‧‧‧晶圓盒

B1‧‧‧卡合槽

SP‧‧‧緩衝空間

圖1為本創作的晶圓承載裝置的示意圖。

圖2為圖1的局部放大示意圖。

圖3、4為本創作的氣嘴組件的分解示意圖。

圖5為本創作的氣嘴組件的局部剖面示意圖。

圖6為本創作的氣嘴組件與晶圓盒的分解剖面示意圖。

以下係藉由特定的具體實例說明本創作之氣嘴組件及晶圓承載裝置的實施方式，熟悉此技術之人士可由本說明書所揭示之內 容輕易地瞭解本創作之其他優點與功效。本創作亦可藉由其他不同的具體實例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本創作之精神下進行各種修飾與變更。又本創作之圖式僅為簡單說明，並非依實際尺寸描繪，亦即未反應出相關構成之實際尺寸，先予敘明。以下之實施方式係進一步詳細說明本創作之觀點，但並非以任何觀點限制本創作之範疇。

請參閱圖1，其為本創作的晶圓承載裝置的示意圖。如圖所示，晶圓盒承載裝置A包含有一平台A1及四個氣嘴組件1。平台A1用以承載一晶圓盒(圖未示，例如是FOUP)。四個氣嘴組件1設置於平台A1。平台A1內可以設置有外部氣體交換設備(圖未示)的相關氣體管路，且該些氣體管路可以是依據需求與部份的氣嘴組件1相連接。平台A1內還可以是設置有外部抽氣設備的相關管路，而該些管路可以是依據需求與部份的氣嘴組件1相連接。如此，平台A1內的控制模組可以依據需求，控制四個氣嘴組件1對設置於平台A1上的晶圓盒的內部，進行抽氣或是充氣作業。當然，晶圓盒承載裝置A所包含的氣嘴組件1的個數，不以圖中的4個為限，在不同的應用中，晶圓盒承載裝置A也可以是僅包含有2個氣嘴組件1。

在實際應用中，平台A1上可以是設置有一固定組件(圖未標示)及多種偵測器(圖未標示)。固定組件用以使設置於平台A1上的晶圓盒B固定設置於平台A1上，據以避免晶圓盒B在相關設備對其進行相關作業時相對於平台A1移動。多種偵測器用以偵測平台A1及設置於平台A1上的晶圓盒B的狀態，舉例來說，其中一種偵測器可以是用以偵測平台A1上是否設置有晶圓盒B，另一種可以是用以偵測晶圓盒B是否已與固定組件相互固定，或者偵測器也可以是配合晶圓盒B的設計，以偵測晶圓盒B的種類及其相對於平台A1的設置方向、位置等。

請一併參閱圖2至圖4，其為本創作的氣嘴組件的組裝及分解示意圖。如圖所示，氣嘴組件1包含有一固定件10、一連接件20、一彈性件30、一底座40及一環形彈性件50。固定件10與底座40相互固定於平台A1(如圖1所示)，連接件20及彈性件30設置於固定件10及底座40之間，且連接件20的部份外露於固定件10，環形彈性件50固定設置於連接件20外露於固定件10的部份。連接件20外露於固定件10的部份用以與設置於平台A1上的晶圓盒的氣體輸入結構相互連接。

進一步來說，固定件10可以包含有一固定部101及一延伸部102。固定部101用以與底座40相互固定，舉例來說，固定部101及底座40可以是分別具有相對應的鎖固孔或是穿孔，而固定部101及底座40可以透過鎖固件(例如螺絲)，而鎖固於平台A1上。在特殊的應用中，底座40可以是一體成型地設置於平台A1中，或者，固定件10可以是不與底座40相互固定，而是直接固定設置於平台A1。

延伸部102由固定部101的一側延伸形成，延伸部102於相反於固定部101的一端形成有一第一開口10a，固定部101於相反於延伸部102的一側形成有一第二開口10b，第一開口10a與第二開口10b彼此相互連通，而固定件10於形成第二開口10b的一端內凹形成有一容置槽103，而第一開口10a、第二開口10b及容置槽103是彼此相互連通。關於第一開口10a及第二開口10b的口徑大小，於此不加以限制，於本實施例中，是以第二開口10b的口徑大於第一開口10a的口徑為例，但不以此為限。於本實施例中，固定部101及延伸部102的外型是以圓柱狀為例，但不以此為限，固定件10的外型可以是依據需求變化。

連接件20包含有一止擋部201及一連接部202。連接部202由止擋部201的一側延伸形成，連接部202具有一連通孔2021，連通孔2021貫穿連接部202及止擋部201。止擋部201的外型及 其大小是依據容置槽103設計，連接部202的外型則是對應第一開口10a設計；當連接件20與固定件10相互連接時，連接部202是對應外露於第一開口10a，而止擋部201則是對應位於容置槽103中。

彈性件30包含有一底部301及一抵壓部302，抵壓部302由底部301的一側延伸形成，抵壓部302具有一穿孔3021，穿孔3021貫穿抵壓部302及底部301。底部301及抵壓部302的外型及大小可以是對應於第二開口10b及容置槽103的外型及大小設計，而彈性件30與固定件10相互固定時，底部301可以是對應遮蔽第二開口10b，抵壓部302則可以是對應設置容置槽103中。

特別說明的是，固定件10及連接件20的材質硬度是大於彈性件30的材質硬度，而固定件10及連接件20相較於彈性件30是不易變形的材質。舉例來說，固定件10及連接件20可以是以鐵氟龍製成，而彈性件30則可以是以橡膠、矽膠等材料製成。

底座40用以與固定件10相互固定，底座40包含有一氣室401及一連通氣道402，氣室401與連通氣道402相互連通，連通氣道402用以與外部氣體交換設備相連通。在實際應用中，底座40可以是獨立的構件，而底座40可以是先獨立與固定件10相互固定後，再一併固定設置於平台A1；或者，底座40可以是一體成型地設置於平台A1中，而固定件10可以是直接與底座40相互配合，而固定於平台A1上。在實際應用中，底座40可以是與固定件10為相同的材質製成，或者底座40可以是任何硬度高於彈性件30的材質製成。

請一併參閱圖5及圖6，圖5顯示為固定件10、連接件20及彈性件30相互連接的剖面示意圖，圖6顯示為固定件10、連接件20、彈性件30及底座40相互固定，且氣嘴組件1固定設置於平台A1上的示意圖。當固定件10、連接件20及彈性件30相互連接時，連接件20的連接部202是對應外露於第一開口10a，且連 接件20的止擋部201是對應與形成第一開口10a的側壁1021相互抵頂，而止擋部201及側壁1021能限制連接件20僅可相對於固定件10在一軸向方向(如圖6所示的Z軸方向)移動。

在實際實施中，固定件10、連接件20、彈性件30及底座40相互固定，且連接部202未受外力作用時，連接件20的止擋部201可以是受彈性件30推抵，而抵頂於形成第一開口10a的側壁1021，亦即，連接部202在未受外力作用的情況下，彈性件30可以是呈現為被抵壓的狀態。

請一併參閱圖4及圖5，在實際應用中，固定件10的容置槽103可以是對應形成有多個第一定位結構104，而止擋部201可以是對應形成有多個第二定位結構203，連接件20與固定件10相互連接時，多個第二定位結構203可以對應與多個第一定位結構104相互卡合，據以限制連接件20相對於固定件10的位置，並可限制連接件20相對於固定件10旋轉，藉此，更可以有效地限制連接件20相對於固定件10是於所述軸向方向(如圖6所示的Z軸方向)移動。

請復參圖5及圖6，在本實施例中，固定件10、彈性件30及底座40是分別具有鎖固孔或是穿孔，而固定件10、彈性件30及底座40配合外部的鎖固件或是相關構件，而相互固定於平台A1上，但不以此為限。在實際應用中，彈性件30的底部301及抵壓部302的外型可以是呈現為圓柱狀，且底部301的直徑是大於抵壓部302的直徑，而彈性件30與固定件10相互固定時，抵壓部302、形成容置槽103的側壁及連接件20的止擋部201將共同界定出一緩衝空間SP，如此，當外露於第一開口10a的連接部202受晶圓盒B抵壓時，連接部202將對應抵壓彈性件30的抵壓部302，而抵壓部302受壓後將可於緩衝空間SP中變形。

當晶圓盒B固定設置於平台A1時，連接部202能被晶圓盒B抵壓，而使抵壓部302對應產生一彈性回復力，彈性回復力則能 作用於連接件20，而使連接部202緊密地與晶圓盒B的氣體輸入結構相互連接。其中，由於連接部202是以硬度相對較硬的材料製成，且連接部202的活動範圍受限於止擋部201及形成第一開口10a的側壁1021，因此，連接部202受晶圓盒B抵壓時，僅會於軸向方向(如圖6所示的Z軸方向)移動，而連接部202不會向其他方向發生變形，且再配合彈性件30所產生的彈性回復力，連接部202將可有效地與晶圓盒B的氣體輸入結構之間形成氣密的效果。

更進一步來說，現有的氣嘴大多是以橡膠或是彈性件一體成型地製作，而當晶圓盒抵壓於此種現有的氣嘴時，現有的氣嘴將會向任意方向變形，如此將會大幅影響現有的氣嘴與晶圓盒之間的氣密性。本創作的氣嘴組件1，由於連接部202的活動範圍是被固定件10限制，因此，連接部202受晶圓盒B抵壓時，將不容易向非軸向方向(如圖6所示的Z軸方向)的方向移動，而連接部202與晶圓盒B之間將可達到相對於現有的氣嘴更好的氣密效果。

在不同的應用中，連接部202相反於止擋部201的一端，可以是形成有至少一環形凹槽2022。當連接部202與晶圓盒B的氣體輸入結構相互連接時，形成環形凹槽2022的結構將可對應抵頂晶圓盒B的氣體輸入結構，而形成環形凹槽2022的結構則能輔助使連接部202與晶圓盒B的氣體輸入結構之間形成有更好的氣密的效果。在另一應用中，還可以是於環形凹槽2022中設置環形彈性件50，環形彈性件50固定設置於環形凹槽2022中時，環形彈性件50的部份可以是對應外露於環形凹槽2022，如此，當連接部202與晶圓盒B的氣體輸入結構相互抵壓時，環形彈性件50將被晶圓盒B抵壓，從而可加強連接部202與晶圓盒B之間的氣密效果。

請一併參閱圖3及圖6，在較佳的應用中，連接部202向遠離止擋部201的方向可以是延伸形成有一定位結構2023，而晶圓盒 B的氣體輸入結構則可以是具有對應於定位結構2023的卡合槽B1。如此，當連接部202與晶圓盒B的氣體輸入結構相互抵壓，且外部氣體交換設備未將氣體輸入底座40中時，定位結構2023則可與卡合槽B1相互卡合，藉此，將可加強連接部202與晶圓盒B的氣體輸入結構彼此間的連接強度。當外部氣體交換設備將氣體輸入底座40中時，氣體將會於底座40的氣室401產生一氣體壓力，從而使彈性件30向遠離底座40的方向移動，進而可帶動連接部202向遠離底座40的方向移動，而連接部202與晶圓盒B的氣體輸入結構之間將會有更好的氣密效果。

透過定位結構2023及卡合槽B1的設計，可以使晶圓盒B在被平台A1的固定組件固定於平台A1，且外部氣體交換設備未對底座40輸入氣體時，各連接部202與晶圓盒B的各氣體輸入結構之間，僅為相互接觸，而在外部氣體交換設備對底座40輸入氣體時，連接部202仍可與晶圓盒B的氣體輸入結構緊密地連接。

相對地，在未具有定位結構2023的連接部202的實施例中，則需要針對固定組件、晶圓盒B及連接部202進行相關的設計，而使固定組件將晶圓盒B固定於平台A1，且外部氣體交換設備未對底座40輸入氣體時，晶圓盒B的氣體輸入結構是抵壓於連接部202，而非僅與連接部202接觸，如此，才可確保外部氣體交換設備對底座40輸入氣體時，連接部202與晶圓盒B的氣體輸入結構之間的氣密效果。

以上所述僅為本創作的較佳可行實施例，非因此侷限本創作的專利範圍，故舉凡運用本創作說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本創作的保護範圍內。

Claims (10)

1. 一種氣嘴組件，其包含：一固定件，其包含有一固定部及一延伸部，所述延伸部由所述固定部的一側延伸形成，所述延伸部於相反於所述固定部的一端形成有一第一開口，所述固定部於相反於所述延伸部的一側形成有一第二開口，所述第一開口與所述第二開口彼此相互連通，所述固定件於形成所述第二開口的一端內凹形成有一容置槽；一連接件，其包含有一止擋部及一連接部，所述連接部由所述止擋部的一側延伸形成，所述止擋部用以與形成所述第一開口的側壁相互抵頂，以限制所述連接件相對於所述固定件於一軸向方向移動，所述連接部具有一連通孔，所述連通孔貫穿所述連接部及所述止擋部；其中，當所述連接件設置於所述固定件的所述容置槽中時，所述連接部對應外露於所述第一開口；其中，所述連接部用以與一晶圓盒的氣體輸入結構相互連接，而所述連通孔用以導引氣體通過所述晶圓盒的氣體輸入結構，以進入所述晶圓盒的內部；以及一彈性件，其包含有一底部及一抵壓部，所述抵壓部由所述底部的一側延伸形成，所述抵壓部具有一穿孔，所述穿孔貫穿所述抵壓部及所述底部；其中，所述彈性件與所述固定件相互固定，而所述抵壓部對應位於所述容置槽中，且所述抵壓部對應抵頂所述連接件的所述止擋部，而所述穿孔及所述連通孔相互連通；其中，所述固定件固定設置於一晶圓盒承載平台時，所述連接部對應外露於所述第一開口；當所述晶圓盒固定設置於所述晶圓盒承載平台時，所述連接部能被所述晶圓盒抵 壓，而使所述抵壓部對應產生一彈性回復力，所述彈性回復力能作用於所述連接件，而使所述連接部緊密地與所述晶圓盒的氣體輸入結構相互連接。
2. 如請求項1所述的氣嘴組件，其中，所述連接部於相反於所述止擋部的一側，形成有至少一環形凹槽；其中，所述連接部與所述晶圓盒的氣體輸入結構相互連接時，形成所述環形凹槽的結構對應抵頂所述晶圓盒的氣體輸入結構，而形成所述環形凹槽的結構能輔助使所述連接部與所述晶圓盒的氣體輸入結構之間形成氣密的效果。
3. 如請求項2所述的氣嘴組件，其中，所述環形凹槽設置有一環形彈性件，所述環形彈性件的部份外露於所述環形凹槽；其中，所述連接部與所述晶圓盒的氣體輸入結構相互連接時，外露於所述環形凹槽的所述環形彈性件對應抵頂所述晶圓盒的氣體輸入結構，而所述環形彈性件能輔助使所述連接部與所述晶圓盒的氣體輸入結構之間形成氣密的效果。
4. 如請求項1所述的氣嘴組件，其中，所述氣嘴組件還包含有一底座，所述固定件與所述底座相互固定，所述連接件及所述彈性件對應設置於所述固定件及所述底座之間，所述底座包含有一氣室，所述氣室、所述穿孔、所述連通孔彼此相互連通；所述底座用以與外部氣體交換設備能提供氣體至所述氣室，或者外部氣體交換設備能導引所述氣室中的氣體向外排出。
5. 如請求項1至4其中任一項所述的氣嘴組件，其中，所述連接部向遠離所述固定件的方向延伸形成有一定位結構，所述定位結構用以與所述晶圓盒的氣體輸入結構的一卡合槽相互卡合。
6. 一種晶圓盒承載裝置，其包含：一平台，其用以承載一晶圓盒；多個氣嘴組件，其設置於所述平台，多個所述氣嘴組件與外部氣體交換設備連接，而當所述晶圓盒設置於所述平台上時，外部氣體交換設備能通過多個所述氣嘴組件對所述晶圓盒的內部進行充氣或是抽氣作業；各個所述氣嘴組件包含：一固定件，其包含有一固定部及一延伸部，所述延伸部由所述固定部的一側延伸形成，所述延伸部於相反於所述固定部的一端形成有一第一開口，所述固定部於相反於所述延伸部的一側形成有一第二開口，所述第一開口與所述第二開口彼此相互連通，所述固定件於形成所述第二開口的一端內凹形成有一容置槽；一連接件，其包含有一止擋部及一連接部，所述連接部由所述止擋部的一側延伸形成，所述止擋部用以與形成所述第一開口的側壁相互抵頂，以限制所述連接件相對於所述固定件於一軸向方向移動，所述連接部具有一連通孔，所述連通孔貫穿所述連接部及所述止擋部；其中，當所述連接件設置於所述固定件的所述容置槽中時，所述連接部對應外露於所述第一開口；其中，所述連接部用以與一晶圓盒的氣體輸入結構相互連接，而所述連通孔用以導引氣體通過所述晶圓盒的氣體輸入結構，以進入所述晶圓盒的內部；以及一彈性件，其包含有一底部及一抵壓部，所述抵壓部由所述底部的一側延伸形成，所述抵壓部具有一穿孔，所述穿孔貫穿所述抵壓部及所述底部；其中，所述彈性件與所述固定件相互固定，而所述抵壓部對應位於所述容置槽中，且所述抵壓部對應抵頂所述連接件的所述止擋 部，而所述穿孔及所述連通孔相互連通；其中，當所述晶圓盒固定設置於所述平台時，所述連接部能被所述晶圓盒抵壓，而使所述抵壓部對應產生一彈性回復力，所述彈性回復力能作用於所述連接件，而使所述連接部緊密地與所述晶圓盒的氣體輸入結構相互連接。
7. 如請求項6所述的晶圓盒承載裝置，其中，所述連接部於相反於所述止擋部的一側，形成有至少一環形凹槽，所述環形凹槽設置有一環形彈性件，所述環形彈性件的部份外露於所述環形凹槽；其中，所述連接部與所述晶圓盒的氣體輸入結構相互連接時，外露於所述環形凹槽的所述環形彈性件對應抵頂所述晶圓盒的氣體輸入結構，而所述環形彈性件能輔助使所述連接部與所述晶圓盒的氣體輸入結構之間形成氣密的效果。
8. 如請求項6所述的晶圓盒承載裝置，其中，所述氣嘴組件還包含有一底座，所述底座固定設置於所述平台，所述固定件與所述底座相互固定，所述連接件及所述彈性件對應設置於所述固定件及所述底座之間，所述底座包含有一氣室，所述氣室、所述穿孔、所述連通孔彼此相互連通；所述底座用以與外部氣體交換設備能提供氣體至所述氣室，或者外部氣體交換設備能導引所述氣室中的氣體向外排出。
9. 如請求項6至8其中任一項所述的晶圓盒承載裝置，其中，所述連接部向遠離所述固定件的方向延伸形成有一定位結構，所述定位結構用以與所述晶圓盒的氣體輸入結構的一卡合槽相互卡合。
10. 如請求項9所述的晶圓盒承載裝置，其中，所述平台設置有 一固定組件，所述固定組件能受控制而使設置於所述平台上的所述晶圓盒，固定設置於所述平台；當所述固定組件受控制而使所述晶圓盒固定設置於所述平台時，所述定位結構對應接觸所述晶圓盒的氣體輸入結構。