JP2020009918A - 搬送用ハンド - Google Patents

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武士 芝田
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Abstract

【課題】吸着効率の向上を図ることができる搬送用ハンドを提供する。【解決手段】搬送用ハンド１０は、流体経路２８に接続される連通口２７が開口し且つワーク１１と対向する対向面２１を有する平板形状の本体２０と、前記対向面上において前記連通口の周囲を取り囲み、且つ、前記連通口と連通する吸着口３１を有する環状の台座３０と、前記連通口を覆い、且つ、前記流体経路の流体の圧力に応じて変形可能な膜部４０と、を備え、前記膜部は、前記流体経路が減圧されていない状態において平坦であって、前記対向面の延長線上、又は、前記対向面よりも前記吸着口側に配置されている。【選択図】図１

Description

本発明は、ワークを搬送するための搬送用ハンドに関する。
従来の搬送用ハンドとして、特許文献１の汎用真空チャックが知られている。この汎用真空チャックでは、上板、気室板、可撓薄膜及びチャック板がこの順で積層されている。上板には排気・加圧口が設けられ、気室板には気室が設けられ、チャック板には吸着口が設けられており、これらは互いに連通している。また、可撓薄膜は半球状凸部を有しており、排気時には半球状凸部は気室側に突出し、加圧時には半球状凸部は吸着口側に突出している。
特開平１０−４４０７９号公報
上記特許文献１の汎用真空チャックでは、可撓薄膜は半球状凸部を有しているため、可撓薄膜と排気・加圧口との間隔を広く設けなければならない。このため、この間の空間を加圧及び排気するのに時間を要する。また、半球状凸部を排気・加圧口側と吸気口側との間で反転させるためには、大きな圧力を要する。これらによって、吸着口上の被チャック物を吸着する効率に劣っている。
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、吸着効率の向上を図ることができる搬送用ハンドを提供することを目的としている。
本発明のある態様に係る搬送用ハンドは、流体経路に接続される連通口が開口し且つワークと対向する対向面を有する平板形状の本体と、前記対向面上において前記連通口の周囲を取り囲み、且つ、前記連通口と連通する吸着口を有する環状の台座と、前記連通口を覆い、且つ、前記流体経路の流体の圧力に応じて変形可能な膜部と、を備え、前記膜部は、前記流体経路が減圧されていない状態において平坦であって、前記対向面の延長線上、又は、前記対向面よりも前記吸着口側に配置されている。
この構成によれば、連通口を覆う膜部が平坦であるため、連通口の周囲を取り囲む台座の高さを低く抑えることができる。よって、台座上に配置されるワークを連通口に近づけ、膜部とワークとの間隔を小さくすることができる。また、平坦な膜部は半球状凸部よりも容易に変形するため、変形させる圧力を小さく抑えることができる。よって、ワークを吸着する効率を向上することができる。
前記膜部は、前記台座と一体的に形成されていてもよい。これによれば、膜部及び台座について同じ材料を用い、同じ工程で製造することができるため、製品及び製造のコストの低減化が図られる。
前記台座は、Ｏリングにより構成されていてもよい。これによれば、例えば、市販のＯリングを用いることができるため、製品及び製造のコストの低減化を図ることができる。
前記台座は、前記連通口側から離れるに伴い径が拡大する切頭円錐形状を有していてもよい。これによれば、ワークに膜部を密着させ易く、また、これらの密着面積を広げることができる。よって、膜部とワークとの間の空間の密閉性を向上し、より確実にワークを吸着することができる。
前記台座は、前記対向面側の基端の面積が、前記基端と反対側の先端の面積以上であってもよい。これによれば、台座と本体との接合力を確保すると共に、台座が変形することを抑制し、また、ワークとの接触面積を小さく抑えることができる。
前記台座は、前記本体と一体的に形成されていてもよい。これによれば、台座及び本体について同じ材料を用い、同じ工程で製造することができるため、製品及び製造のコストの低減化が図られる。
前記ワークは、半導体基板であってもよい。これによれば、流体経路に接続される連通口は膜部により覆われているため、ダスト等の不純物が流体経路から連通口を介して半導体基板に付着することを防止することができる。
前記搬送用ハンドはクリーンルームにおいて前記ワークを搬送してもよい。これによれば、流体経路に接続される連通口は膜部により覆われているため、ダスト等の不純物がクリーンルームに排出されることを防止することができる。
本発明は、搬送用ハンドにおいて吸着効率の向上を図ることができるという効果を奏する。
本発明の上記目的、他の目的、特徴、及び利点は、添付図面参照の下、以下の好適な実施態様の詳細な説明から明らかにされる。
本発明の実施の形態１に係る搬送用ハンドを上方から視た図である。 図１の搬送用ハンドの一部を示す断面図である。 図３（ａ）は、図２の搬送用ハンドの上にワークを配置した状態を示す断面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）のワークを吸着した状態を示す断面図である。 本発明の実施の形態２に係る搬送用ハンドの一部を示す断面図である。 本発明の実施の形態３に係る搬送用ハンドの一部を示す断面図である。 図６（ａ）及び図６（ｂ）は、本発明の実施の形態４に係る搬送用ハンドの一部を示す断面図である。
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、以下では全ての図面を通じて同一又は相当する要素には同一の参照符号を付して、その重複する説明を省略する。
（実施の形態１）
＜搬送用ハンドの構成＞
図１及び図２に示すように、本発明の一実施形態に係る搬送用ハンド１０は、半導体基板等のワーク１１を搬送するためのハンドであって、ロボット等の搬送装置に装着されて用いられる。例えば、これは、高い清純度が要求されるクリーンルームで使用される。なお、清浄度は、例えば、１ｍ3の空気中の微粒子数を１０のべき乗数で表したべき指数により表せる。
搬送用ハンド１０は、本体２０、台座３０及び膜部４０を有している。本体２０は、例えば、セラミックス、樹脂及び弾性材等により形成されており、厚みが薄い平板形状であって、厚み方向に直交する２つの平面を有している。この一方の平面（対向面２１）は、搬送用ハンド１０に載置されたワーク１１と対向する。なお、以下、対向面２１に直交する方向（厚み方向）の一方側を上側と称し、他方側を下側と称するが、搬送用ハンド１０の配置はこの方向に限定されない。この上下方向の場合、対向面２１は本体２０の上面となり、対向面２１の反対側の面は下面２２となる。
本体２０は、例えば、搬送装置に装着される一方端部２３から他方端部２４に向かって２つに分岐するＹ字形状を有している。但し、本体２０はＹ字形状に限定されず、矩形状及び円形状等の他の形状であってもよい。
２つの分岐部（第１分岐部２５、第２分岐部２６）は、互いに間隔を空けて平行に、一方端部２３側から他方端部２４側へ延びている。第１分岐部２５及び第２分岐部２６の各他方端部２４には連通口２７が設けられている。なお、搬送用ハンド１０における連通口２７の数は、２つに限定されず、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。複数の連通口２７は互いに間隔を空けて配置されている。
連通口２７は、例えば、円形状であって、対向面２１に開口し、流体経路２８を介して流体アクチュエータ（図示せず）に接続されている。流体経路２８は、流体が流通する経路であって、本体２０においてその一方端部２３から他方端部２４に延びて、連通口２７に接続されている。流体アクチュエータ（図示せず）は、例えば、ポンプ及びシリンダ等が挙げられる。流体には、例えば、空気等の気体、及び、水等の液体が用いられる。
台座３０は、例えば、密封可能なシール材から成り、Ｏリングが用いられる。台座３０は、可撓性であって、ＰＴＦＥ等の樹脂、及びゴム等、弾性材により形成されている。
台座３０は、環形状であって、例えば、対向面２１から突出する円環形状又は円筒形状である。台座３０は、一端開口（上側開口３１）、他端開口（下側開口）、及び、上側開口３１と下側開口との間の内部空間３３を有している。例えば、上側開口３１及び下側開口はそれぞれ１つの台座３０に１つずつ設けられている。
台座３０は、連通口２７の周囲を連続的に取り囲むように、本体２０の対向面２１に配置されている。台座３０は、例えば、連通口２７の周囲に設けられた本体２０の窪みに嵌められている。
台座３０の内部空間３３は、略円筒形状であって、対向面２１に直交する方向（上下方向）に延びている。台座３０の上側開口３１及び下側開口は上下方向に連通口２７に重なり、連通口２７は上側開口３１と下側開口との間に配置される。これにより、内部空間３３は、上側開口３１と連通口２７との間に設けられ、連通口２７を介して流体経路２８に連通している。この互いに連通する内部空間３３と流体経路２８とを合わせた総空間１２が形成される。
台座３０は、上下方向（台座３０の中心軸）に直交する断面積が対向面２１側から上側開口３１側に向かって小さくなっている。連通口２７よりも上方に配置されている上側開口３１は、連通口２７と連通する吸着口であって、例えば、連通口２７よりも径が大きくなっている。この上側開口３１の周囲を取り囲む外周縁に、台座３０の環状の上側端３４が設けられている。
膜部４０は、厚みが薄く、可撓性を有し、例えば、ＰＴＦＥ等の樹脂、及びゴム等、弾性材により形成されている。例えば、膜部４０は、円盤状であって、上下方向に直交する方向に拡がり、膜部４０の外周縁が台座３０の上側端３４に接続されている。これにより、膜部４０は、対向面２１よりも上方において台座３０の上側開口３１を塞ぎ、上側開口３１よりも下方の連通口２７を覆っている。
膜部４０は、内部空間３３と外部空間とを連通する孔を有さない。このため、膜部４０は、内部空間３３を含む総空間１２を密封し、総空間１２を外部空間と遮断している。この総空間１２には流体が充填されており、膜部４０は、総空間１２の流体の圧力に応じて変形可能である。
＜搬送用ハンドの使用方法＞
ワーク１１を搬送用ハンド１０により搬送する際には、まず、図３（ａ）に示すように、搬送用ハンド１０の対向面２１上にワーク１１を配置する。この際、対向面２１よりも上方に突出する台座３０の上側端３４にワーク１１が配置されている。このため、可撓性を有する台座３０はワーク１１の形状に沿って変形し、上側端３４及び／又はこれに接続される膜部４０の外周縁がワーク１１と密着し、ここにワーク１１との当接部が設けられる。
ここで、流体経路２８が減圧されていない状態において、台座３０の上側開口３１を塞ぐ膜部４０は平坦になるように、流体アクチュエータが制御されている。このため、膜部４０がワーク１１に沿う。
そして、台座３０の内部空間３３から流体を排出するように流体アクチュエータを稼働する。これにより、流体経路２８を介して内部空間３３の流体が流体アクチュエータ側に吸引されて、流体経路２８及び内部空間３３を含む総空間１２が減圧される。
よって、図３（ｂ）に示すように、可撓性の膜部４０は、連通口２７及び流体経路２８側へ撓むように変形して、ワーク１１から離れ、ワーク１１、膜部４０及び台座３０に囲まれた空間（膜空間４１）が形成される。膜空間４１の圧力が大気圧よりも低いため、この圧力差によってワーク１１が台座３０の上側開口３１に吸着される。
ここで、台座３０は、膜部４０の変形に伴い、ワーク１１の形状に沿って変形する。よって、台座３０とワーク１１との密着性が維持され、膜空間４１の気密性が確保されるため、ワーク１１を十分に吸着保持することができる。また、搬送用ハンド１０には、複数の台座３０が設けられているため、ワーク１１をより確実に保持しながら搬送することができる。さらに、対向面２１から突出する台座３０上にワーク１１が配置されるため、対向面２１とワーク１１との接触面積を低減することができる。
一方、吸着されたワーク１１を取り外す際には、台座３０の内部空間３３に流体を供給するように流体アクチュエータを稼働する。これにより、流体が流体経路２８から内部空間３３に流入し、総空間１２が増圧される。よって、図３（ａ）に示すように、下方に湾曲していた膜部４０は、平坦に戻るように変形する。このため、膜空間４１の圧力が大気圧に等しくなり、吸着されていたワーク１１が台座３０の上側開口３１から離れる。
ここで、膜部４０により総空間１２と外部空間とが遮断されているため、総空間１２に供給された流体が外部空間に排出されることがない。このため、外部空間がクリーンルームであっても、流体及びこれに含まれる不純物等により外部空間が汚染されることを防止することができる。
また、膜部４０は対向面２１よりも台座３０の上側開口３１側に配置されている。これにより、上側開口３１の周囲を取り囲む台座３０の上側端３４上に載置されるワーク１１と、膜部４０とを近づけることができる。よって、ワーク１１と膜部４０との間の膜空間４１が小さく、ワーク１１を吸着する吸着効率を向上することができる。
さらに、流体経路２８が減圧されていない状態において、膜部４０は平坦である。例えば、上記特許文献１のように、可撓薄膜が半球状凸部を有していると、半球状凸部を変形するためには大きな圧力を要する。これに対して、平坦な膜部４０を変形させるための圧力を小さくすることができるため、吸着効率をさらに向上することができる。
また、上記特許文献１の可撓薄膜の半球状凸部では、気室側に突出した形状と開口側に突出した形状のいずれかにしか変形しない。このため、ワーク１１と可撓薄膜との間の空間の圧力（吸着力）を任意に調整することができなかった。これに対し、平坦な膜部４０を変形させる場合、ワーク１１と膜部４０との間の膜空間４１の圧力は膜部４０の変形量に依存するため、膜空間４１の圧力を容易に調整することができる。よって、変形し易いワーク１１に対して大きな圧力が不要に作用することがなく、ワーク１１の変形等を防止することができる。
また、台座３０にＯリングを用いることにより、製品及び製造のコストの低減化を図ることができる。さらに、上下方向に直交する方向において、対向面２１における台座３０の面積が上側端３４の面積よりも大きい。このため、台座３０と本体２０との接合力を確保すると共に、台座３０が変形することを抑制し、また、ワーク１１との接触面積を小さく抑えることができる。
さらに、台座３０の内面は、連通口２７側から上側開口３１側に向かって拡径するテーパ形状である。これにより、台座３０の外径を大きくすることなく、上側開口３１及びこれを覆う膜部４０の面積を大きくし、膜部４０が変形しやすくすることができる。
なお、Ｏリングは対向面２１上に配置されていてもよい。また、台座３０は、周方向に直交する断面が矩形状又は台形状であってもよい。
（実施の形態２）
図４に示すように、本発明の実施の形態２に係る搬送用ハンド１０は、台座１３０の形状が実施の形態１と異なる。これ以外の構成については、実施の形態１と同様であるため、その説明を省略する。
台座１３０は、円筒部１３０ａ、係止部１３０ｂ及び拡径部１３０ｃを有し、これらは一体的に形成されている。係止部１３０ｂは、円筒部１３０ａの下端部から径方向の外側へ拡がる鍔形状を有している。
円筒部１３０ａは、一端開口（第１上側開口）、他端開口（第１下側開口）、及び、第１上側開口と第１下側開口との間の第１内部空間を有している。第１内部空間を取り囲む第１内周面は第１下側開口から第１上側開口に向かって径が拡大し、円筒部１３０ａの第１外周面は上下方向において径が一定である。このため、第１内周面と第１外周面との間の円筒部１３０ａの寸法（厚み）は、第１下側開口から第１上側開口に向かって小さくなっている。
拡径部１３０ｃは、切頭円錐形状であって、一端開口（第２上側開口１３１、吸着口）、他端開口（第２下側開口）、及び、第２上側開口１３１と第２下側開口との間の第２内部空間を有している。第２下側開口は円筒部１３０ａの第１上側開口と接続し、これらを介して第１内部空間と第２内部空間とは連通し、台座１３０の内部空間１３３が形成されている。
拡径部１３０ｃにおいて第２内部空間を取り囲む第２内周面、及び、第２内周面を取り囲む第２外周面は、第２下側開口から第２上側開口１３１に向かって径が拡大している。よって、第２内周面と第２外周面との間の寸法（厚み）は、第２下側開口から第２上側開口１３１に向かって一定であって、円筒部１３０ａの厚みよりも薄い。このため、拡径部１３０ｃは円筒部１３０ａよりも変形し易い。
台座１３０は、連通口２７の周囲を連続的に取り囲むように、本体２０の対向面２１上に配置されている。これにより、台座１３０の円筒部１３０ａの第１下側開口は、上下方向において連通口２７に重なって、連通口２７に接続する。このため、内部空間１３３は連通口２７を介して流体経路２８に連通し、互いに連通する内部空間１３３と流体経路２８とを合わせた総空間１２が形成される。
台座１３０は、係止部１３０ｂが連通口２７の周囲に設けられた本体２０の窪みに嵌められ、本体２０に固定されている。拡径部１３０ｃは、対向面２１上に配置される。
膜部４０の外周端は、第２上側開口１３１の周囲を取り囲む拡径部１３０ｃの上側端１３４に接続されている。膜部４０は、対向面２１よりも第２上側開口１３１側において、第２上側開口１３１を塞ぎ、これよりも下方の連通口２７を覆っている。これにより、膜部４０は、台座１３０の内部空間１３３及びこれを含む総空間１２を外部空間から遮断している。
ワーク１１を搬送用ハンド１０により搬送する際には、ワーク１１を台座１３０上に配置する。これにより、台座１３０の上側端１３４がワーク１１に密着し、第２上側開口１３１がワーク１１により覆われる。そこで、流体アクチュエータによって総空間１２を減圧すると、ワーク１１、膜部４０及び台座１３０により囲まれた膜空間４１が形成され、膜空間４１が大気圧よりも減圧される。これにより、ワーク１１が第２上側開口１３１に吸着される。
この際、拡径部１３０ｃがワーク１１の形状に沿って変形し易いため、ワーク１１に密着し、膜空間４１の気密性を維持し、ワーク１１を十分に吸着保持することができる。また、搬送用ハンド１０には、複数の台座１３０が設けられているため、ワーク１１をより確実に保持しながら搬送することができる。
（実施の形態３）
図５に示すように、本発明の実施の形態３に係る搬送用ハンド１０は、台座３０に対する膜部２４０の位置が実施の形態１と異なる。これ以外の構成については、実施の形態１と同様であるため、その説明を省略する。
膜部２４０の外周端は、連通口２７の周囲を取り囲む台座３０の内周面３０ａに接続されおり、対向面２１の延長線上に配置されている。これにより、膜部２４０は、連通口２７を覆って、総空間１２を外部空間から遮断している。
ワーク１１を搬送用ハンド１０により搬送する際には、ワーク１１を台座３０上に配置する。これにより、台座３０の上側端３４がワーク１１に密着し、上側開口３１がワーク１１により覆われる。そこで、流体アクチュエータによって総空間１２を減圧すると、ワーク１１、膜部２４０及び台座３０により囲まれた膜空間４１が形成され、膜空間４１が大気圧よりも減圧される。これにより、ワーク１１が上側開口３１に吸着される。
この膜部２４０は対向面２１の延長線上に配置されている。これにより、台座３０の上側端３４上に載置されるワーク１１と、膜部２４０とを近づけることができる。よって、ワーク１１と膜部２４０との間の膜空間４１が小さく、ワーク１１を吸着する吸着効率を向上することができる。
また、膜部２４０は、ワーク１１と接触する台座３０の上側端３４よりもワーク１１と反対側に設けられている。このため、膜部２４０がワーク１１と接触することがなく、搬送用ハンド１０におけるワーク１１との接触面積を小さくすることができる。
なお、実施の形態２に係る台座３０においても、実施の形態３と同様に、膜部２４０を対向面２１の延長線上に配置してもよい。この場合も、膜空間４１を小さくすることができるため、ワーク１１を吸着する吸着効率を向上することができる。
（実施の形態４）
図６（ａ）に示すように、本発明の実施の形態４に係る搬送用ハンド１０は、台座１３０の形状が実施の形態１と異なる。これ以外の構成については、実施の形態１と同様であるため、その説明を省略する。
台座３３０は、円筒形状であって、周方向に直交する断面が台形状である。このため、台座３３０は、本体２０の対向面２１側の基端３３５の面積が、基端３３５と反対側の先端３３４（上側端）の面積よりも大きく形成されている。台座３３０の変形を抑制することができると共に、先端３３４とこの上に配置されるワーク１１と接触面積を小さくすることができる。また、台座３３０の高さを低く抑えることができる。
台座３３０の内面は、連通口２７側から上側開口３３１側に向かって拡径するテーパ形状である。これにより、台座３３０の外径を大きくすることなく、上側開口３３１及びこれを覆う膜部４０の面積を大きくし、膜部４０が変形しやすくすることができる。
台座３３０は本体２０と一体的に形成されている。これによれば、台座３３０及び本体２０について同じ材料を用い、同じ工程で製造することができるため、製品及び製造のコストの低減化が図られる。また、台座３３０と本体２０との接合強度を高めることができる。
膜部４０は、台座３３０の先端３３４を覆うように台座３３０に接続されている。これにより、膜部４０は、対向面２１よりも上方において台座３３０の上側開口３３１を塞ぎ、上側開口３３１よりも下方の連通口２７を覆っている。
また、台座３３０の先端３３４が膜部４０により覆われているため、膜部４０において先端３３４を覆う部分がワーク１１と当接する。このため、台座３３０がワーク１１に当接しないため、台座３３０の材料の自由度を高めることができる。なお、膜部４０は、台座３３０の先端３３４がワーク１１に当接するように台座３３０に取り付けられていてもよい。
また、台座３３０を本体２０と別体で形成し、本体２０に接合してもよい。この場合、本体２０及び台座３３０についてそれぞれの特性に合わせた材料を選択することができ、これらの材料の自由度を高めることができる。
例えば、本体２０に剛性が高いセラミックスを用い、台座３３０に弾性材を用いてもよい。この場合、図６（ｂ）に示すように、台座３３０は、その先端３３４上に載置されるワーク１１の形状に合わせて変形し、密着することができる。よって、この場合、膜部４０は、台座３３０の先端３３４を覆わず、外周縁が台座３３０の内周面に接続していてもよい。
また、台座３３０は、周方向に直交する断面が矩形状であってもよい。このため、台座３３０は、その基端３３５の面積が、先端３３４の面積と等しく形成される。台座３３０の変形を抑制することができると共に、先端３３４とこの上に配置されるワーク１１と接触面積を小さくすることができる。また、台座３３０の高さを低く抑えることができると共に、台座３３０を容易に形成することができる。
上記全ての実施の形態において、膜部４０、２４０を台座３０、１３０と一体的に形成してもよい。この場合、膜部４０、２４０と台座３０、１３０とは同じ材料により同一工程において形成される。このため、製品及び製造コストを低減することができる。
また、上記全ての実施の形態において、膜部４０、２４０は、連通口２７を覆っていれば、連通口２７よりも上側開口３１、１３１、３３１側に設けられていてもよい。
なお、上記全実施の形態は、互いに相手を排除しない限り、互いに組み合わせてもよい。また、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明は実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなくその構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。
本発明の搬送用ハンドは、吸着効率の向上を図ることができる搬送用ハンド等として有用である。
１０ ：搬送用ハンド
１１ ：ワーク
２１ ：対向面
２７ ：連通口
３０ ：台座
３１ ：上側開口（吸着口）
３３ ：内部空間
４０ ：膜部
１３０ ：台座
１３１ ：第２上側開口（吸着口）
１３３ ：内部空間
２４０ ：膜部
３３０ ：台座
３３１ ：上側開口（吸着口）

Claims (8)

  1. 流体経路に接続される連通口が開口し且つワークと対向する対向面を有する平板形状の本体と、
    前記対向面上において前記連通口の周囲を取り囲み、且つ、前記連通口と連通する吸着口を有する環状の台座と、
    前記連通口を覆い、且つ、前記流体経路の流体の圧力に応じて変形可能な膜部と、を備え、
    前記膜部は、前記流体経路が減圧されていない状態において平坦であって、前記対向面の延長線上、又は、前記対向面よりも前記吸着口側に配置されている、搬送用ハンド。
  2. 前記膜部は、前記台座と一体的に形成されている、請求項１に記載の搬送用ハンド。
  3. 前記台座は、Ｏリングにより構成されている、請求項１又は２に記載の搬送用ハンド。
  4. 前記台座は、前記連通口側から離れるに伴い径が拡大する切頭円錐形状を有している、請求項１又は２に記載の搬送用ハンド。
  5. 前記台座は、前記対向面側の基端の面積が、前記基端と反対側の先端の面積以上である、請求項１に記載の搬送用ハンド。
  6. 前記台座は、前記本体と一体的に形成されている、請求項１に記載の搬送用ハンド。
  7. 前記ワークは、半導体基板である、請求項１〜６のいずれか一項に記載の搬送用ハンド。
  8. 前記搬送用ハンドはクリーンルームにおいて前記ワークを搬送する、請求項１〜７のいずれか一項に記載の搬送用ハンド。
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